JPH09123330A

JPH09123330A - 形状回復装置

Info

Publication number: JPH09123330A
Application number: JP7303677A
Authority: JP
Inventors: Keizo Higashiyama; 恵三東山
Original assignee: Mitsubishi Cable Industries Ltd
Current assignee: Mitsubishi Cable Industries Ltd
Priority date: 1995-10-26
Filing date: 1995-10-26
Publication date: 1997-05-13

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は、形状回復力に優れた形状回復装置
及びマイクロアクチュエータを提供するものである。【解決手段】形状記憶合金と形状記憶ポリマーとから
なる形状記憶複合体を、形状記憶複合体、ペルチェ素
子、形状記憶複合体の順に積層させてなることを特徴と
する形状回復装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、形状回復力に優れ
た形状回復装置に関するものであり、また、形状回復力
に優れたマイクロアクチュエータに関するものである。

【０００２】

【従来技術および発明が解決しようとする課題】近年、
形状記憶合金（以下ＳＭＡという）や形状記憶ポリマー
（以下ＳＭＰという）の形状記憶材料を用いた駆動装置
が、各種の機械および装置のアクチュエータ等として利
用されている。これらの形状記憶材料は、加熱により所
望の一定形状となり、また、冷却により元の形状に戻
る。この場合、加熱の方法についてはヒータ、光からの
熱変換等の方法があるが、冷却法については装置の小型
化の点から自然放冷にて冷却される場合が多い。しか
し、その場合、冷却速度が遅いために、回復動作を短時
間に繰り返す装置では応答性の点で問題があり、また、
温度コントロールが正確ではないので、形状回復動作の
スピードの制御が困難となり、アクチュエータとしての
機能は非常に制限されたものになるという問題があっ
た。

【０００３】また、ＳＭＡおよびＳＭＰ単独では形状回
復動作は一方向にのみ起こる一方向性（不可逆性）であ
る。ＳＭＡについては熱処理あるいは加工条件を施すこ
とにより、二方向性（可逆性）を付与することも可能で
あるが、加熱時と冷却時とでは形状回復力が大きく異な
り、一度変形を起こしたものを元通りの形状に戻すこと
は困難であった。つまり、それ自身で回復前の形状に戻
すことができないので、駆動装置として繰り返し操作さ
せるためには回復前の形状に戻す作用をする部品を必要
とし、装置の小型化及び軽量化の点で問題があった。

【０００４】上記問題を解決するため、ＳＭＡ、ペルチ
ェ素子、ＳＭＡの順に積層させた駆動装置、すなわち、
ペルチェ素子の両面にＳＭＡを設置し、該ペルチェ素子
の加熱面及び冷却面を利用し、かつ、回復前の形状に戻
す作用をする部品としてＳＭＡを用いた駆動装置が提案
されている（特開昭６１−１４７７０号）。しかし、上
記ペルチェ素子を利用した駆動装置のＳＭＡの回復動作
は一方向にのみ起こる一方向性（不可逆性）である。ま
た、駆動装置としてＳＭＡを用いた場合、ＳＭＡの形状
回復力が小さいため、さらなる駆動力を必要とする装置
においては使用できないという問題があった。

【０００５】本発明は、形状回復力に優れた形状回復装
置を提供することを目的としたものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、形状記憶複合
体、ペルチェ素子、形状記憶複合体の順に積層させたこ
とによって、形状回復力に優れる形状回復装置を提供す
るものである。さらに、上記の形状記憶複合体を、ある
形状回復動作を記憶した形状記憶合金と、形状記憶合金
の回復動作と異なる方向の形状回復動作を記憶した形状
記憶ポリマーとからなり、形状記憶合金の形状回復温
度（マルテンサイト逆変態温度、Ａｆ）が形状記憶ポリ
マーの形状回復温度（ガラス転移温度、Ｔｇ）より高
く、形状記憶合金の（回復応力×断面積）または発生
力が形状記憶ポリマーの（回復応力×断面積）と同じに
なる温度を、Ａｆと形状記憶合金のマルテンサイト変態
温度（Ｍｆ）の間にくるように設定することによって、
二方向性の形状回復動作をなす形状回復装置を提供する
ものである。また、本発明は、形状記憶合金と形状記憶
ポリマーとからなる形状記憶複合体を、形状記憶複合
体、ペルチェ素子、形状記憶複合体の順に積層させてな
り、上記二つの形状記憶複合体は加熱時に同方向の形状
回復動作をなし、かつ、上記二つの形状記憶複合体の一
端にはそれぞれ連結棒（１）が接続され、該連結棒
（１）はピン（２）を介して回転可能に取り付けられた
回転棒（３）に接続させることによって、形状回復力に
優れるマイクロアクチュエータを提供するものである。
また、本発明は、形状記憶合金と形状記憶ポリマーとか
らなる形状記憶複合体を、形状記憶複合体、ペルチェ素
子、形状記憶複合体の順に積層させてなり、上記二つの
形状記憶複合体は加熱時に異なる方向の形状回復動作を
なし、かつ、上記二つの形状記憶複合体の一端にはそれ
ぞれ連結棒（１）が接続され、該連結棒（１）は作動体
（４）に接続させることによって、形状回復力に優れる
マイクロアクチュエータを提供するものである。

【０００７】以下に本発明に用いられる材料について詳
細に説明する。本発明で用いるＳＭＰとしては、ＳＭＰ
として通常使用されるものであれば特に制限はなく、ポ
リウレタン、ポリノルボルネン、ポリイソプレン、スチ
レン−ブタジエン共重合体などが挙げられるが、形状回
復温度であるガラス転移温度（以下Ｔｇという。）を任
意に設定できるという点から特にポリウレタンが好適で
ある。ＳＭＰとして通常使用されるポリウレタンは、ポ
リオール、ジイソシアネート、及び、短鎖グリコールや
アミン類などの鎖延長剤からなるブロック共重合体であ
って、これら構成成分のモル比を変えることによって、
形状回復温度であるＴｇを−３０℃から６０℃まで自由
に設定できる。なお、本発明において、ＴｇはＪＩＳ
Ｋ７１２１に準拠して測定した値である。

【０００８】本発明で用いるＳＭＡとしては、ＳＭＡと
して通常使用されるものであれば特に制限はないが、Ｓ
ＭＡの形状回復温度であるマルテンサイト逆変態温度
（以下Ａｆという。）がＳＭＰの成形温度（１２０〜２
００℃）以下のものが好ましく、中でも特に、ＡｆがＳ
ＭＰの成形温度よりかなり低いＴｉ−Ｎｉ系ＳＭＡおよ
び銅系ＳＭＡが好適に使用される。Ｔｉ−Ｎｉ系ＳＭＡ
としては、Ｔｉ−Ｎｉ二元合金、Ｔｉ−Ｎｉ−Ｃｕ合
金、Ｔｉ−Ｎｉ−Ｎｂ合金、Ｔｉ−Ｎｉ−Ｆｅ合金等が
挙げられ、これらＴｉ−Ｎｉ系ＳＭＡのＡｆは−１０℃
〜１００℃である。また、銅系ＳＭＡとしてはＣｕ−Ｚ
ｎ−Ａｌ合金、Ｃｕ−Ａｌ−Ｎｉ合金等が挙げられ、こ
れら銅系ＳＭＡのＡｆは−１００℃〜１００℃である。

【０００９】ＳＭＡは、低温ではマルテンサイト相（以
下、Ｍ相という）の構造であり、ある温度以上で母相の
構造に相変態する材料である。形状回復効果はこの相変
態を利用している。Ｍ相のＳＭＡを加熱していくと、徐
々に母相への変態（マルテンサイト逆変態）が発生し、
やがて完全な母相になる。一般に、この母相変態の終了
する温度をＡｆ点と呼び、このＡｆ点がＳＭＡの形状回
復温度とされる。また、逆に、母相となっている温度域
から冷却していくと、徐々にマルテンサイト変態が発生
し、やがて完全なＭ相になる。マルテンサイト変態の終
了温度をＭｆ点と呼ぶ。

【００１０】本発明においては、上記のＳＭＡ、ＳＭＰ
から任意に選んで組み合わせることができる。ただし、
二方向性の点から、ＳＭＡの形状回復時にはすでにＳＭ
Ｐが軟化している必要があることから、ＳＭＡのＡｆ点
がＳＭＰのＴｇより上であることが好ましい。さらに、
二方向性の点から、Ａｆ点より温度を低下させたとき
に、ＳＭＰが硬化するまでの間にＳＭＡの形状回復力よ
りＳＭＰの形状回復力が大きくなることが必要であるこ
とから、ＳＭＰのＴｇはＳＭＡのＭｆ点より下であるこ
とが好ましい。ＳＭＡとＳＭＰの形状回復温度の差は特
に制限はないが、実用性を考慮すると、好ましくはＴｇ
がＭｆ点より１０℃以上低い、より好ましくはＴｇがＭ
ｆ点より２０〜４０℃以上低いものが好適である。好ま
しいＳＭＡとＳＭＰの組み合わせは、例えば、Ｔｇが２
０〜４０℃の形状記憶ポリウレタンと、Ａｆ点が５０〜
８０℃、Ｍｆ点が３０〜６０℃のＴｉ−Ｎｉ系ＳＭＡ、
特にＴｉ−Ｎｉ二元合金、Ｔｉ−Ｎｉ−Ｃｕ系ＳＭＡと
の組み合わせが挙げられる。

【００１１】本発明に用いられるＳＭＡとＳＭＰとから
なる形状記憶複合体は、ＳＭＡにある形状回復動作を記
憶させ、ＳＭＰにＳＭＡの形状回復動作と同方向の形状
回復動作を記憶させた場合、ＳＭＡ単独の場合よりも形
状回復力に優れる。また、本発明に用いられるＳＭＡと
ＳＭＰとからなる形状記憶複合体において、ＳＭＡにあ
る形状回復動作を記憶させ、ＳＭＰにＳＭＡの形状回復
動作と異なる方向の形状回復動作を記憶させた場合、す
なわち、二方向性の形状回復動作をさせる場合には、高
温（ＳＭＡのＡｆ点以上）ではＳＭＡが記憶した形状を
保っているが、低温（ＳＭＡのＭｆ点以下であってＳＭ
ＰのＴｇ以上）では、ＳＭＰが、柔らかくなったＳＭＡ
の形状保持力に打ち勝って自身の形状にＳＭＡを従わせ
るのが好ましい。この場合、ＳＭＡとＳＭＰの形状回復
力のバランスは、ＳＭＡの形状回復力、すなわち（回復
応力×断面積）あるいは発生力とＳＭＰの（回復応力×
断面積）が等しくなる温度をＳＭＡのＡｆ点とＭｆ点の
間に設定することによってとることができる。上記温度
がＡｆ点より高いと、加熱時にＳＭＡが十分に形状回復
した状態にならない場合があり、また上記温度がＭｆ点
より低いと、冷却時にＳＭＰが十分に形状回復した状態
にならない場合があり、形状記憶複合体の変位量が低
減、あるいは二方向性が失われる傾向にある。

【００１２】なお、本発明において、ＳＭＡをコイル状
に加工した場合、その形状回復力は（回復応力×断面
積）ではなくなるので、その場合には形状回復力を発生
力ということにする。本発明に用いられる形状記憶複合
体において、コイル状に加工したＳＭＡにＳＭＰを被覆
して二方向性の形状回復動作をさせる場合には、ＳＭＡ
の発生力を計算や測定により求めておき、ＳＭＰの（回
復応力×断面積）がその発生力と同等になる温度がＳＭ
ＡのＡｆ点とＭｓ点の間になるように、ＳＭＰの種類、
シートの厚さを決定するのが好ましい。

【００１３】本発明に用いられる形状記憶複合体は種々
の方法で製造される。まず、ＳＭＡを板状、線材、コイ
ル状等に加工し、その後、ＳＭＰを被覆するのが好まし
い。ＳＭＡの形状に特に制限はないが、形状回復の変位
量を大きくとれる点から特に、コイル状に加工すること
が好ましい。また、ＳＭＰの被覆方法としては、ＳＭＡ
の表面に加熱溶融したＳＭＰを被覆する方法あるいは溶
剤に溶解したＳＭＰを塗布して乾燥する方法、ＳＭＡの
上にＳＭＰを押出しコートする方法あるいはホットプレ
スする方法等が挙げられ、さらに、ＳＭＡ全体をＳＭＰ
のシートで覆い、ホットプレスする方法もある。なお、
本発明に用いられる形状記憶複合体において二方向性の
形状回復動作をさせる場合には、ＳＭＰはＳＭＡと異な
った形状を記憶させるのが好ましく、その場合には、Ｓ
ＭＰの被覆前にＳＭＡは自身が記憶している形状とは異
なる、即ち、ＳＭＰに記憶させるべき形状に変形させて
おくことが好ましい。また、ＳＭＰを所望の形状に成型
するために熱をかける場合、４００℃以上の熱をかける
とＳＭＡの再記憶が起こる恐れがあるので、好ましくは
３００℃以下、さらに好ましくは２００℃以下の熱をか
ける。

【００１４】本発明においては、ペルチェ素子の両面に
形状記憶複合体を配し、ペルチェ素子の吸熱面に配され
た形状記憶複合体を冷却すると同時に、ペルチェ素子の
発熱面に配された形状記憶複合体を加熱する。ペルチェ
素子は、２種類の金属または半導体の接合面を通じて電
流を流すとき、その接合部には発熱または吸熱が生ずる
現象を利用したものであり、電流を流す方向によって吸
熱面と発熱面が逆転するものである。本発明で用いるペ
ルチェ素子としては、通常使用されるものであれば特に
制限はない。

【００１５】本発明においては、形状記憶複合体の変位
量を有効に生かすため、形状記憶複合体の一端をペルチ
ェ素子に対して固定させることが好ましい。固定方法は
特に制限はなく、接着剤、針金等の治具で固定する方法
などが挙げられる。

【００１６】図１に本発明のマイクロアクチュエータの
一実施態様を示す。本発明のマイクロアクチュエータ
は、形状記憶合金と形状記憶ポリマーとからなる形状記
憶複合体（５）を、形状記憶複合体、ペルチェ素子
（６）、形状記憶複合体の順に積層させてなり、上記二
つの形状記憶複合体は加熱時に同方向の形状回復動作を
なし、かつ、上記二つの形状記憶複合体の一端にはそれ
ぞれ連結棒（１）が接続され、該連結棒（１）はピン
（２）を介して回転可能に取り付けられた回転棒（３）
に接続されているものである。つまり、上記のマイクロ
アクチュエータは、上記二つの形状記憶複合体に同時に
異なる方向の形状回復動作をさせることによって、回転
棒に回転動作を行わせるものである。この回転動作は、
一つの形状記憶複合体の形状回復動作による場合より、
２倍の形状回復力にて動作させることができる。また、
一つの形状記憶複合体の形状回復動作による場合より、
大きな対象物を回転させることもできる。

【００１７】図２に本発明の別のマイクロアクチュエー
タの一実施態様を示す。本発明の別のマイクロアクチュ
エータは、形状記憶合金と形状記憶ポリマーとからなる
形状記憶複合体（５）を、形状記憶複合体、ペルチェ素
子（６）、形状記憶複合体の順に積層させてなり、上記
二つの形状記憶複合体は加熱時に異なる方向の形状回復
動作をなし、かつ、上記二つの形状記憶複合体の一端に
はそれぞれ連結棒（１）が接続され、該連結棒（１）は
作動体（４）に接続されているものである。つまり、上
記のマイクロアクチュエータは、上記二つの形状記憶複
合体に同時に同方向の形状回復動作をさせることによっ
て、作動体に前後方向の往復動作を行わせるものであ
る。この往復動作は、一つの形状記憶複合体の形状回復
動作による場合より、２倍の形状回復力にて動作させる
ことができる。

【００１８】

【発明の実施の形態】本発明の形状回復装置およびマイ
クロアクチュエータは、エアコンの吹き出し口風向偏向
フラップ駆動機構、胃カメラや工業用エンドスコープ等
の内視鏡の屈曲機構の駆動用アクチュエータ、電磁調理
器の温度表示用アクチュエータ、自動車燃料蒸発ガス排
出防止装置のバルブ切換用アクチュエータ、サイフォン
式コーヒーメーカの調圧アクチュエータ、オートデシケ
ータのドライユニットのシャッター開閉用アクチュエー
タ、防火ダンパーのダンパー切換用アクチュエータ等に
適用される。

【００１９】（実施例１）図３に本発明の形状回復装置
の一実施態様を示す。断面積１．０ｍｍ²のＴｉ−Ｎｉ
二元合金のＳＭＡ線材（Ａｆ点：８０℃、Ｍｆ点：５０
℃）を熱処理して図１のような折り曲げた形状を記憶さ
せた。このＳＭＡ線材を伸長して直線状態にし、その上
にポリウレタン系ＳＭＰ（Ｔｇ：３０℃）を厚さ４．５
ｍｍになるように被覆した。成型温度は２００℃であ
る。この形状記憶複合体（５）をペルチェ素子（６）の
両面にそれぞれ配置し、一端を固定した。ペルチェ素子
にある方向に電流を流すと、発熱面側の形状記憶複合体
は折れ曲がり、吸熱面側の形状記憶複合体は伸長したま
まであった。次に、電流を逆方向に流すと、発熱面と吸
熱面とが逆転するので、折れ曲がっていた形状記憶複合
体は伸長し始め、伸長したままであった形状記憶複合体
は折れ曲がってきた。

【００２０】（実施例２）図１に本発明のマイクロアク
チュエータの一実施態様を示す。断面積０．３ｍｍ²の
Ｔｉ−Ｎｉ−Ｃｕ合金のＳＭＡ線材（Ａｆ点：７０℃、
Ｍｆ点：５８℃）を、外径１．２ｍｍの粗巻き状コイル
にした状態で、形状記憶熱処理を行った。このコイルを
圧縮（密巻き）し、その状態で周りにポリウレタン系Ｓ
ＭＰ（Ｔｇ：４０℃）のシート（厚さ０．２ｍｍ）を図
２のように円筒状になるように巻き付け、加熱してこの
形状で固着させた（成型温度は２００℃）。この形状記
憶複合体（５）二つをペルチェ素子（６）の両面にそれ
ぞれ配置し、形状記憶複合体の一端に連結棒（１）を接
続し、該連結棒（１）をピン（２）を介して回転可能に
取り付けられた回転棒（３）に接続させる。まず、ペル
チェ素子にある方向に電流を流すと、発熱面側の形状記
憶複合体は伸長し、吸熱面側の形状記憶複合体は収縮し
たままであった。次に、電流を逆方向に流すと、発熱面
と吸熱面とが逆転するので、伸長していた形状記憶複合
体は収縮し始め、収縮したままであった形状記憶複合体
は伸長してきた。つまり、このマイクロアクチュエータ
は、上記二つの形状記憶複合体が同時に異なる方向の形
状回復動作を行わせることによって、回転棒に回転動作
を行わせるものである。

【００２１】

【発明の効果】本発明の形状回復装置は、形状記憶合金
と形状記憶ポリマーとからなる形状記憶複合体を、形状
記憶複合体、ペルチェ素子、形状記憶複合体の順に積層
させたことによって、形状回復力に優れるため、従来よ
り大きな駆動力を必要とする装置にも使用することがで
きる。さらに、形状記憶複合体が、ある形状回復動作を
記憶した形状記憶合金と、形状記憶合金の回復動作と異
なる方向の形状回復動作を記憶した形状記憶ポリマーと
からなり、形状記憶合金の形状回復温度（マルテンサ
イト逆変態温度、Ａｆ）が形状記憶ポリマーの形状回復
温度（ガラス転移温度、Ｔｇ）より高く、形状記憶合
金の（回復応力×断面積）または発生力が形状記憶ポリ
マーの（回復応力×断面積）と同じになる温度を、Ａｆ
と形状記憶合金のマルテンサイト変態温度（Ｍｆ）の間
にくるように設定してなることによって、形状記憶複合
体が二方向性の形状回復動作を行うため、元の形状に戻
すための部材を必要とせず、素子の小型化、軽量化を図
ることができる。また、ＳＭＡをＳＭＰで被覆すること
によって、耐食性および絶縁性にも優れるため、医療用
など用途の幅が広がる。また、ＳＭＡのコイルの外周を
ＳＭＰで被覆することによって、より形状回復力に優れ
た形状回復装置を得ることができる。また、ＳＭＰを、
ポリウレタン、ポリノルボルネン、ポリイソプレンおよ
びスチレン−ブタジエン共重合体から選ばれるポリマー
の１種または２種以上とすることによって、形状回復温
度の設定が容易になる。また、ＳＭＡを、Ｔｉ−Ｎｉ系
形状記憶合金または銅系形状記憶合金とすることによっ
て、Ａｆ点がＳＭＰの成形温度よりかなり低いため、形
状記憶複合体の製造が容易になる。また、本発明のマイ
クロアクチュエータは、形状記憶合金と形状記憶ポリマ
ーとからなる形状記憶複合体を、形状記憶複合体、ペル
チェ素子、形状記憶複合体の順に積層させてなり、上記
二つの形状記憶複合体は加熱時に同方向の形状回復動作
をなし、かつ、上記二つの形状記憶複合体の一端にはそ
れぞれ連結棒（１）が接続され、該連結棒（１）はピン
（２）を介して回転可能に取り付けられた回転棒（３）
に接続されていることによって、形状回復力に優れるた
め、従来より大きな駆動力を必要とする装置にも使用す
ることができる。また、本発明の別のマイクロアクチュ
エータは、形状記憶合金と形状記憶ポリマーとからなる
形状記憶複合体を、形状記憶複合体、ペルチェ素子、形
状記憶複合体の順に積層させてなり、上記二つの形状記
憶複合体は加熱時に異なる方向の形状回復動作をなし、
かつ、上記二つの形状記憶複合体の一端にはそれぞれ連
結棒（１）が接続され、該連結棒（１）は作動体（４）
に接続されていることによって、形状回復力に優れるた
め、従来より大きな駆動力を必要とする装置にも使用す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のマイクロアクチュエータの一実施態様
を示したものである。

【図２】本発明の別のマイクロアクチュエータの一実施
態様を示したものである。

【図３】本発明の形状回復装置の一実施態様を示したも
のである。

【符号の簡単な説明】

（１）連結棒（２）ピン（３）回転棒（４）作動体（５）形状記憶複合体（６）ペルチェ素子

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】形状記憶合金と形状記憶ポリマーとから
なる形状記憶複合体を、形状記憶複合体、ペルチェ素
子、形状記憶複合体の順に積層させてなることを特徴と
する形状回復装置。
【請求項２】形状記憶複合体が、ある形状回復動作を
記憶した形状記憶合金と、形状記憶合金の回復動作と異
なる方向の形状回復動作を記憶した形状記憶ポリマーと
からなり、形状記憶合金の形状回復温度（マルテンサ
イト逆変態温度、Ａｆ）が形状記憶ポリマーの形状回復
温度（ガラス転移温度、Ｔｇ）より高く、形状記憶合
金の（回復応力×断面積）または発生力が形状記憶ポリ
マーの（回復応力×断面積）と同じになる温度を、Ａｆ
と形状記憶合金のマルテンサイト変態温度（Ｍｆ）の間
にくるように設定してなる請求項１記載の形状回復装
置。
【請求項３】形状記憶複合体が、形状記憶合金に形状
記憶ポリマーを被覆してなる請求項１または請求項２に
記載の形状回復装置。
【請求項４】形状記憶複合体が、形状記憶合金のコイ
ルの外周を形状記憶ポリマーで被覆してなる請求項１〜
３いずれかに記載の形状回復装置。
【請求項５】形状記憶ポリマーが、ポリウレタン、ポ
リノルボルネン、ポリイソプレンおよびスチレン−ブタ
ジエン共重合体から選ばれるポリマーの１種または２種
以上である請求項１〜４いずれかに記載の形状回復装
置。
【請求項６】形状記憶合金が、Ｔｉ−Ｎｉ系形状記憶
合金または銅系形状記憶合金である請求項１〜５いずれ
かに記載の形状回復装置。
【請求項７】形状記憶合金と形状記憶ポリマーとから
なる形状記憶複合体を、形状記憶複合体、ペルチェ素
子、形状記憶複合体の順に積層させてなり、上記二つの
形状記憶複合体は加熱時に同方向の形状回復動作をな
し、かつ、上記二つの形状記憶複合体の一端にはそれぞ
れ連結棒（１）が接続され、該連結棒（１）はピン
（２）を介して回転可能に取り付けられた回転棒（３）
に接続されていることを特徴とするマイクロアクチュエ
ータ。
【請求項８】形状記憶合金と形状記憶ポリマーとから
なる形状記憶複合体を、形状記憶複合体、ペルチェ素
子、形状記憶複合体の順に積層させてなり、上記二つの
形状記憶複合体は加熱時に異なる方向の形状回復動作を
なし、かつ、上記二つの形状記憶複合体の一端にはそれ
ぞれ連結棒（１）が接続され、該連結棒は作動体（４）
に接続されていることを特徴とするマイクロアクチュエ
ータ。
【請求項９】形状記憶複合体が、ある形状回復動作を
記憶した形状記憶合金と、形状記憶合金の回復動作と異
なる方向の形状回復動作を記憶した形状記憶ポリマーと
からなり、形状記憶合金の形状回復温度（マルテンサ
イト逆変態温度、Ａｆ）が形状記憶ポリマーの形状回復
温度（ガラス転移温度、Ｔｇ）より高く、形状記憶合
金の（回復応力×断面積）または発生力が形状記憶ポリ
マーの（回復応力×断面積）と同じになる温度を、Ａｆ
と形状記憶合金のマルテンサイト変態温度（Ｍｆ）の間
にくるように設定してなる請求項７または請求項８に記
載のマイクロアクチュエータ。
【請求項１０】形状記憶複合体が、形状記憶合金に形
状記憶ポリマーを被覆してなる請求項７〜９いずれかに
記載のマイクロアクチュエータ。
【請求項１１】形状記憶複合体が、形状記憶合金のコ
イルの外周を形状記憶ポリマーで囲ってなる請求項７〜
１０いずれかに記載のマイクロアクチュエータ。
【請求項１２】形状記憶ポリマーが、ポリウレタン、
ポリノルボルネン、ポリイソプレンおよびスチレン−ブ
タジエン共重合体から選ばれるポリマーである請求項７
〜１１いずれかに記載のマイクロアクチュエータ。
【請求項１３】形状記憶合金が、Ｔｉ−Ｎｉ系形状記
憶合金または銅系形状記憶合金である請求項７〜１２い
ずれかに記載のマイクロアクチュエータ。