JPH09127420A - 共焦点走査顕微鏡の走査装置 - Google Patents
共焦点走査顕微鏡の走査装置Info
- Publication number
- JPH09127420A JPH09127420A JP30853995A JP30853995A JPH09127420A JP H09127420 A JPH09127420 A JP H09127420A JP 30853995 A JP30853995 A JP 30853995A JP 30853995 A JP30853995 A JP 30853995A JP H09127420 A JPH09127420 A JP H09127420A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pinhole
- array surface
- lens
- optical element
- optical path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 Ｎｉｐｋｏｗ ｄｉｓｋによる共焦点走査型
の共焦点走査顕微鏡は光量が十分でない、Ｎｉｐｋｏｗ
ｄｉｓｋからの反射光が完全に除去できないという課
題があった。 【解決手段】 課題解決のために、集光レンズが複数個
配列された集光レンズ配列面と個々の集光レンズと光学
的に同軸に配列されたピンホールを持つピンホール配列
面とを有する光路分岐光学素子と、この光路分岐光学素
子により集光レンズの光軸に垂直な方向に分岐された光
路に挿入されピンホール配列面の像を結像する結像レン
ズと、この結像レンズの結像光束をピンホール配列面に
垂直な方向に偏向する偏向光学素子と、集光レンズ配列
面とピンホール配列面と光路分岐光学系と結像レンズと
偏向光学素子とが固定されモーターにより回転する回転
体とより共焦点走査顕微鏡の走査装置を構成する。
の共焦点走査顕微鏡は光量が十分でない、Ｎｉｐｋｏｗ
ｄｉｓｋからの反射光が完全に除去できないという課
題があった。 【解決手段】 課題解決のために、集光レンズが複数個
配列された集光レンズ配列面と個々の集光レンズと光学
的に同軸に配列されたピンホールを持つピンホール配列
面とを有する光路分岐光学素子と、この光路分岐光学素
子により集光レンズの光軸に垂直な方向に分岐された光
路に挿入されピンホール配列面の像を結像する結像レン
ズと、この結像レンズの結像光束をピンホール配列面に
垂直な方向に偏向する偏向光学素子と、集光レンズ配列
面とピンホール配列面と光路分岐光学系と結像レンズと
偏向光学素子とが固定されモーターにより回転する回転
体とより共焦点走査顕微鏡の走査装置を構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、共焦点走査顕微鏡
の走査装置に関する。
の走査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】共焦点走査顕微鏡は、一般的な光学顕微
鏡を超える分解能を達成できかつ物体の３次元形状が観
察可能であることで知られている。共焦点走査顕微鏡の
共焦点走査の方法はレーザービームを光学偏向素子（Ａ
Ｏ素子、ＥＯ素子、ガルバノミラー、ポリゴンミラーな
ど）で走査する方法と、Ｎｉｐｋｏｗ ｄｉｓｋと呼ば
れる円盤を回転させて走査する方法とがある。この２種
類の走査方法のうちでＮｉｐｋｏｗ ｄｉｓｋによる方
法は、レーザービームによる方法と比べて構造がずっと
単純で、白色光を光源として用いればカラーの画像が得
られるなどの利点があり近年注目されている。
鏡を超える分解能を達成できかつ物体の３次元形状が観
察可能であることで知られている。共焦点走査顕微鏡の
共焦点走査の方法はレーザービームを光学偏向素子（Ａ
Ｏ素子、ＥＯ素子、ガルバノミラー、ポリゴンミラーな
ど）で走査する方法と、Ｎｉｐｋｏｗ ｄｉｓｋと呼ば
れる円盤を回転させて走査する方法とがある。この２種
類の走査方法のうちでＮｉｐｋｏｗ ｄｉｓｋによる方
法は、レーザービームによる方法と比べて構造がずっと
単純で、白色光を光源として用いればカラーの画像が得
られるなどの利点があり近年注目されている。
【０００３】Ｎｉｐｋｏｗ ｄｉｓｋによる共焦点走査
型の共焦点顕微鏡の構造を図４に示す。照明光が光路分
岐光学素子１を通ってＮｉｐｋｏｗ ｄｉｓｋ４１上に
投射される。Ｎｉｐｋｏｗ ｄｉｓｋ４１は図５に示す
ような螺旋状に配置されたピンホールを多数持つもので
あり、光はこのピンホールを通過して対物レンズ１１に
より集光され物体１２に投射される。物体からの反射光
は同一の対物レンズ１１により集光されＮｉｐｋｏｗ
ｄｉｓｋ４１に対して収束する。Ｎｉｐｋｏｗｄｉｓｋ
４１のピンホールを再び通過した反射光は光路分岐光学
素子１を介して結像レンズ４により集光され、ピンホー
ルの像が２次元光電センサ６上に結像するように収束す
る。Ｎｉｐｋｏｗ ｄｉｓｋ４１の各ピンホールと対物
レンズ１１は共焦点光学系をなしており、モーター８で
Ｎｉｐｋｏｗ ｄｉｓｋ４１を回転させることによりピ
ンホールが対物レンズ１１の像面上を走査することにな
って、２次元光電センサ６上に物体１２の共焦点画像が
得られる。
型の共焦点顕微鏡の構造を図４に示す。照明光が光路分
岐光学素子１を通ってＮｉｐｋｏｗ ｄｉｓｋ４１上に
投射される。Ｎｉｐｋｏｗ ｄｉｓｋ４１は図５に示す
ような螺旋状に配置されたピンホールを多数持つもので
あり、光はこのピンホールを通過して対物レンズ１１に
より集光され物体１２に投射される。物体からの反射光
は同一の対物レンズ１１により集光されＮｉｐｋｏｗ
ｄｉｓｋ４１に対して収束する。Ｎｉｐｋｏｗｄｉｓｋ
４１のピンホールを再び通過した反射光は光路分岐光学
素子１を介して結像レンズ４により集光され、ピンホー
ルの像が２次元光電センサ６上に結像するように収束す
る。Ｎｉｐｋｏｗ ｄｉｓｋ４１の各ピンホールと対物
レンズ１１は共焦点光学系をなしており、モーター８で
Ｎｉｐｋｏｗ ｄｉｓｋ４１を回転させることによりピ
ンホールが対物レンズ１１の像面上を走査することにな
って、２次元光電センサ６上に物体１２の共焦点画像が
得られる。
【０００４】以上が基本的な構造であるが、実際にはＮ
ｉｐｋｏｗ ｄｉｓｋ４１上に投射された照明光がＮｉ
ｐｋｏｗ ｄｉｓｋ４１上で反射して光路分岐光学素子
１を介して２次元光電センサ６に届いてしまう（以下で
は、このような光をｄｉｓｋ反射光と呼ぶことにする）
問題が発生するため、このｄｉｓｋ反射光除去の対策が
必要である。図４にはこのためにいくつかの偏光光学部
品が挿入され、ｄｉｓｋ反射光の除去が行われている。
即ち、まず照明光を直線偏光として、光路分岐光学素子
１（偏光ビームスプリッター）に入射させる。そして、
ｄｉｓｋからの反射光を偏光板１０によりカットする。
ピンホールを通過した光は１／４波長板９により円偏光
となり、物体１２で反射して再び１／４波長板９を通過
する際に照明光と直交する直線偏光となる。再びピンホ
ールを通過した光は偏光板１０とは平行ニコルの関係だ
から偏光板１０をそのまま通過して２次元光電センサ６
に到達する。このようにして物体１２からの反射光にＮ
ｉｐｋｏｗ ｄｉｓｋ４１からの反射光が混じるのを防
いでいる。
ｉｐｋｏｗ ｄｉｓｋ４１上に投射された照明光がＮｉ
ｐｋｏｗ ｄｉｓｋ４１上で反射して光路分岐光学素子
１を介して２次元光電センサ６に届いてしまう（以下で
は、このような光をｄｉｓｋ反射光と呼ぶことにする）
問題が発生するため、このｄｉｓｋ反射光除去の対策が
必要である。図４にはこのためにいくつかの偏光光学部
品が挿入され、ｄｉｓｋ反射光の除去が行われている。
即ち、まず照明光を直線偏光として、光路分岐光学素子
１（偏光ビームスプリッター）に入射させる。そして、
ｄｉｓｋからの反射光を偏光板１０によりカットする。
ピンホールを通過した光は１／４波長板９により円偏光
となり、物体１２で反射して再び１／４波長板９を通過
する際に照明光と直交する直線偏光となる。再びピンホ
ールを通過した光は偏光板１０とは平行ニコルの関係だ
から偏光板１０をそのまま通過して２次元光電センサ６
に到達する。このようにして物体１２からの反射光にＮ
ｉｐｋｏｗ ｄｉｓｋ４１からの反射光が混じるのを防
いでいる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】以上がＮｉｐｋｏｗ
ｄｉｓｋによる共焦点走査型の共焦点顕微鏡の構造であ
るが、この走査機構には互いに関連する２つの問題点が
ある。一つは光量である。 Ｎｉｐｋｏｗ ｄｉｓｋ４
１上のピンホールは互いに離れており、かつその径は小
さいから、ピンホールを通過できる照明光はわずかであ
る。ピンホールを通過できる照明光は一般に１％程度に
すぎない。そのため物体１２で反射して再びピンホール
を通過し２次元光電センサ６に到達する光は非常にかす
かなものとなる（物体１２の反射率が低い場合は特
に）。今一つは、 ｄｉｓｋ反射光の除去である。ｄｉ
ｓｋ反射光はかなり強いものであり、逆に物体１２から
の反射光は上記のようにかすかなものであるから、偏光
利用による対策がなされていても完全にｄｉｓｋ反射光
がカットされるわけではないことからやはり十分とはい
えない。
ｄｉｓｋによる共焦点走査型の共焦点顕微鏡の構造であ
るが、この走査機構には互いに関連する２つの問題点が
ある。一つは光量である。 Ｎｉｐｋｏｗ ｄｉｓｋ４
１上のピンホールは互いに離れており、かつその径は小
さいから、ピンホールを通過できる照明光はわずかであ
る。ピンホールを通過できる照明光は一般に１％程度に
すぎない。そのため物体１２で反射して再びピンホール
を通過し２次元光電センサ６に到達する光は非常にかす
かなものとなる（物体１２の反射率が低い場合は特
に）。今一つは、 ｄｉｓｋ反射光の除去である。ｄｉ
ｓｋ反射光はかなり強いものであり、逆に物体１２から
の反射光は上記のようにかすかなものであるから、偏光
利用による対策がなされていても完全にｄｉｓｋ反射光
がカットされるわけではないことからやはり十分とはい
えない。
【０００６】そこで本発明は、ピンホールを通過する光
量を大きくできかつｄｉｓｋ反射光の少ない共焦点走査
顕微鏡の走査装置を提供することを目的とするものであ
る。
量を大きくできかつｄｉｓｋ反射光の少ない共焦点走査
顕微鏡の走査装置を提供することを目的とするものであ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】目的達成のために、集光
レンズが複数個配列された集光レンズ配列面と、この配
列された個々の集光レンズと光学的に同軸に配列された
ピンホールを持つピンホール配列面と、前記集光レンズ
配列面と前記ピンホール配列面との間に位置し、前記集
光レンズの光軸方向と前記集光レンズの光軸に垂直な方
向とに光路を分岐する光路分岐光学素子と、前記光路分
岐光学素子により前記集光レンズの光軸に垂直な方向に
分岐された光路に挿入され前記ピンホール配列面の像を
結像する結像レンズと、前記結像レンズの結像光束を前
記ピンホール配列面に垂直な方向に偏向する偏向光学素
子と、前記集光レンズ配列面と前記ピンホール配列面と
前記光路分岐光学系と前記結像レンズと前記偏向光学素
子とが固定されモーターにより回転する回転体とより共
焦点走査顕微鏡の走査装置を構成する。このようにすれ
ば集光レンズにより照明光を集光してピンホールに収束
させることができるから、ピンホールを通過する照明光
量を大きくすることができる。また、ピンホール通過し
ない照明光が大幅に減るためにｄｉｓｋ反射光も少なく
することができる。
レンズが複数個配列された集光レンズ配列面と、この配
列された個々の集光レンズと光学的に同軸に配列された
ピンホールを持つピンホール配列面と、前記集光レンズ
配列面と前記ピンホール配列面との間に位置し、前記集
光レンズの光軸方向と前記集光レンズの光軸に垂直な方
向とに光路を分岐する光路分岐光学素子と、前記光路分
岐光学素子により前記集光レンズの光軸に垂直な方向に
分岐された光路に挿入され前記ピンホール配列面の像を
結像する結像レンズと、前記結像レンズの結像光束を前
記ピンホール配列面に垂直な方向に偏向する偏向光学素
子と、前記集光レンズ配列面と前記ピンホール配列面と
前記光路分岐光学系と前記結像レンズと前記偏向光学素
子とが固定されモーターにより回転する回転体とより共
焦点走査顕微鏡の走査装置を構成する。このようにすれ
ば集光レンズにより照明光を集光してピンホールに収束
させることができるから、ピンホールを通過する照明光
量を大きくすることができる。また、ピンホール通過し
ない照明光が大幅に減るためにｄｉｓｋ反射光も少なく
することができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。図１は本発明に係る共焦点
走査顕微鏡の例である。１は偏光プリズム型の光路分岐
光学素子（偏光ビームスプリッター）である。その上面
は、図２（ａ）に示すような螺旋形にマイクロレンズ２
ａが並べられた集光レンズ配列面２となっており、また
その下面は、図２（ｂ）に示すように集光レンズ配列面
２のマイクロレンズ２ａと同様の配列でピンホールが並
べられたピンホール配列面３となっている。集光レンズ
配列面２においてマイクロレンズ２ａ以外の領域は遮光
マスク２ｂで覆われている。偏光プリズム型の光路分岐
光学素子１を透過する方向（平行ニコル）に直線偏光し
た照明光が図１に示すように平行光で集光レンズ配列面
２に入射すると、入射した光は各マイクロレンズ２ａの
焦点位置に収束する。この位置にピンホール配列面３が
設置されており（各ピンホールの中心が各マイクロレン
ズ２ａの光軸上に位置するように配置されている）、
このため各マイクロレンズ２ａに入射した光はそのほと
んどがピンホールを通過する。また、集光レンズ配列面
２に入射した照明光のうちマイクロレンズ２ａに入射し
ないものは遮光マスク２ｂにより遮光され、ピンホール
配列面３には届かないから、ピンホール配列面３でピン
ホールを通過せずに反射する光（ｄｉｓｋ反射光に相当
する光）はほとんど無い。
施の形態について説明する。図１は本発明に係る共焦点
走査顕微鏡の例である。１は偏光プリズム型の光路分岐
光学素子（偏光ビームスプリッター）である。その上面
は、図２（ａ）に示すような螺旋形にマイクロレンズ２
ａが並べられた集光レンズ配列面２となっており、また
その下面は、図２（ｂ）に示すように集光レンズ配列面
２のマイクロレンズ２ａと同様の配列でピンホールが並
べられたピンホール配列面３となっている。集光レンズ
配列面２においてマイクロレンズ２ａ以外の領域は遮光
マスク２ｂで覆われている。偏光プリズム型の光路分岐
光学素子１を透過する方向（平行ニコル）に直線偏光し
た照明光が図１に示すように平行光で集光レンズ配列面
２に入射すると、入射した光は各マイクロレンズ２ａの
焦点位置に収束する。この位置にピンホール配列面３が
設置されており（各ピンホールの中心が各マイクロレン
ズ２ａの光軸上に位置するように配置されている）、
このため各マイクロレンズ２ａに入射した光はそのほと
んどがピンホールを通過する。また、集光レンズ配列面
２に入射した照明光のうちマイクロレンズ２ａに入射し
ないものは遮光マスク２ｂにより遮光され、ピンホール
配列面３には届かないから、ピンホール配列面３でピン
ホールを通過せずに反射する光（ｄｉｓｋ反射光に相当
する光）はほとんど無い。
【０００９】ピンホールを通過した照明光は１／４波長
板９によって円偏光となり、対物レンズ１１による結像
作用を受けて、物体１２面上にピンホールの像を結ぶ。
物体１２からの反射光は同一の対物レンズ１１により結
像作用を受けて収束光となり、１／４波長板９によって
照明光と直交する直線偏光となって再びピンホールを通
過する（このように再びピンホールを通過した反射光を
戻り光と呼ぶことにする）。戻り光は光路分岐光学素子
１により偏向され結像レンズ４の結像作用を受けて、ピ
ンホール配列面３の像を２次元光電センサ６上に結ぶ。
偏向光学素子５は結像レンズ４の結像光束を偏向してピ
ンホール配列面３とその像とを平行にするために設けて
ある。偏向光学素子５上の偏光板１０は戻り光と平行ニ
コルの関係となっており、戻り光はそのまま透過する。
板９によって円偏光となり、対物レンズ１１による結像
作用を受けて、物体１２面上にピンホールの像を結ぶ。
物体１２からの反射光は同一の対物レンズ１１により結
像作用を受けて収束光となり、１／４波長板９によって
照明光と直交する直線偏光となって再びピンホールを通
過する（このように再びピンホールを通過した反射光を
戻り光と呼ぶことにする）。戻り光は光路分岐光学素子
１により偏向され結像レンズ４の結像作用を受けて、ピ
ンホール配列面３の像を２次元光電センサ６上に結ぶ。
偏向光学素子５は結像レンズ４の結像光束を偏向してピ
ンホール配列面３とその像とを平行にするために設けて
ある。偏向光学素子５上の偏光板１０は戻り光と平行ニ
コルの関係となっており、戻り光はそのまま透過する。
【００１０】光路分岐光学素子１（集光レンズ配列面２
とピンホール配列面３を含む）と結像レンズ４と偏向光
学素子５（偏光板１０を含む）とは、透明な平行平板形
の回転体７（例えば平行平板ガラス）上に固定されてお
り、モーター８の回転により回転体７とともに回転す
る。図３に示すように偏向光学素子５は、回転体７の回
転中心に対して光路分岐光学素子１とは反対側に位置し
ており、集光レンズ配列面２上及びピンホール配列面３
上のピンホールの螺旋パターンの中心（図２参照）と、
ピンホールの像の螺旋パターンの中心と、回転体７の回
転中心とは一致している。図３は結像レンズ４の倍率が
０．７５倍の時の例である。
とピンホール配列面３を含む）と結像レンズ４と偏向光
学素子５（偏光板１０を含む）とは、透明な平行平板形
の回転体７（例えば平行平板ガラス）上に固定されてお
り、モーター８の回転により回転体７とともに回転す
る。図３に示すように偏向光学素子５は、回転体７の回
転中心に対して光路分岐光学素子１とは反対側に位置し
ており、集光レンズ配列面２上及びピンホール配列面３
上のピンホールの螺旋パターンの中心（図２参照）と、
ピンホールの像の螺旋パターンの中心と、回転体７の回
転中心とは一致している。図３は結像レンズ４の倍率が
０．７５倍の時の例である。
【００１１】２次元光電センサ６は、照明光が照射され
る位置と、回転体７の回転中心に対して反対側の位置に
設置され、固定されている（回転体７と一緒に回転しな
い）。これにより回転体７が回転すると２次元光電セン
サ６上をピンホールの像が走査する事になり、２次元光
電センサ６の露光時間を少なくともピンホールの像全て
が通過する時間以上に設定しておくことで共焦点画像が
得られる。回転体７の回転の周期は、２次元光電センサ
６の撮像周期（露光開始から次の画像の露光開始までの
時間であり、露光時間＜撮像周期が成り立つ）に等し
く、例えば２次元光電センサ６がＮＴＳＣ規格のテレビ
カメラの場合、撮像周期は１／６０秒だから６０回／秒
の回転数で回転させる。
る位置と、回転体７の回転中心に対して反対側の位置に
設置され、固定されている（回転体７と一緒に回転しな
い）。これにより回転体７が回転すると２次元光電セン
サ６上をピンホールの像が走査する事になり、２次元光
電センサ６の露光時間を少なくともピンホールの像全て
が通過する時間以上に設定しておくことで共焦点画像が
得られる。回転体７の回転の周期は、２次元光電センサ
６の撮像周期（露光開始から次の画像の露光開始までの
時間であり、露光時間＜撮像周期が成り立つ）に等し
く、例えば２次元光電センサ６がＮＴＳＣ規格のテレビ
カメラの場合、撮像周期は１／６０秒だから６０回／秒
の回転数で回転させる。
【００１２】２次元光電センサ６の露光はピンホールの
像のみによって行われ、それ以外の部分では２次元光電
センサ６に照明光あるいは戻り光は入射しない（照明光
の照射位置に偏向光学素子５が来たとき、照明光と偏向
光学素子５上の偏光板１０は直交ニコルの関係となるた
め偏向光学素子５内に照明光は入らない。従って２次元
光電センサ６に照明光あるいは戻り光が到達することは
ない）。
像のみによって行われ、それ以外の部分では２次元光電
センサ６に照明光あるいは戻り光は入射しない（照明光
の照射位置に偏向光学素子５が来たとき、照明光と偏向
光学素子５上の偏光板１０は直交ニコルの関係となるた
め偏向光学素子５内に照明光は入らない。従って２次元
光電センサ６に照明光あるいは戻り光が到達することは
ない）。
【００１３】以上の例では直線偏光照明、偏光プリズム
型の光路分岐光学素子１、偏向光学素子５、１／４波長
板９など、不必要な光（迷光）をできるだけカットする
目的で偏光を利用しているが必ずしも偏光を利用する必
要はない。偏光を利用しない場合明らかに問題となる点
は照明光の照射位置に偏向光学素子５が来たときの光の
処理であるが、これは２次元光電センサ６のシャッター
機能を用いて解決できる。またこの例では集光レンズ配
列面２やピンホール配列面３が光路分岐光学素子１の表
面に直接形成されているが、平行平板のガラス、光学樹
脂、光学結晶などに形成して光路分岐光学素子１に張り
付けても良いし、回転体７上に形成しても良い。またこ
の例では回転体７として透明なものを用いているが、透
明でないものに螺旋パターンの部分だけ穴をあけたもの
でもよい。
型の光路分岐光学素子１、偏向光学素子５、１／４波長
板９など、不必要な光（迷光）をできるだけカットする
目的で偏光を利用しているが必ずしも偏光を利用する必
要はない。偏光を利用しない場合明らかに問題となる点
は照明光の照射位置に偏向光学素子５が来たときの光の
処理であるが、これは２次元光電センサ６のシャッター
機能を用いて解決できる。またこの例では集光レンズ配
列面２やピンホール配列面３が光路分岐光学素子１の表
面に直接形成されているが、平行平板のガラス、光学樹
脂、光学結晶などに形成して光路分岐光学素子１に張り
付けても良いし、回転体７上に形成しても良い。またこ
の例では回転体７として透明なものを用いているが、透
明でないものに螺旋パターンの部分だけ穴をあけたもの
でもよい。
【００１４】
【発明の効果】マイクロレンズ２ａが照明光を集光する
ことによりピンホールを通過する照明光量を大きくする
ことができ、また、ピンホール通過しない照明光が大幅
に減るためにｄｉｓｋ反射光も少なくすることができ
る。また、回転体７周辺の光学部品（集光レンズ配列面
２、ピンホール配列面３、光路分岐光学素子１、結像レ
ンズ４、偏向光学素子５、偏光板１０など）は全て一体
化させることが可能であるため、全体がコンパクトにな
り、また振動の影響なども受けにくくなる。
ことによりピンホールを通過する照明光量を大きくする
ことができ、また、ピンホール通過しない照明光が大幅
に減るためにｄｉｓｋ反射光も少なくすることができ
る。また、回転体７周辺の光学部品（集光レンズ配列面
２、ピンホール配列面３、光路分岐光学素子１、結像レ
ンズ４、偏向光学素子５、偏光板１０など）は全て一体
化させることが可能であるため、全体がコンパクトにな
り、また振動の影響なども受けにくくなる。
【図１】本発明の実施の形態の一例を示した図である。
【図２】集光レンズ配列面、ピンホール配列面の一例を
示した図である。
示した図である。
【図３】回転体の上面を示した図である。
【図４】従来技術を説明するための図である。
【図５】Ｎｉｐｋｏｗ ｄｉｓｋを説明するための図で
ある。
ある。
１ 光路分岐光学素子 ２ 集光レンズ配列面 ３ ピンホール配列面 ４ 結像レンズ ５ 偏向光学素子 ６ ２次元光電センサ ７ 回転体 ８ モーター ９ １／４波長板 １０ 偏光板 １１ 対物レンズ １２ 物体 ４１ Ｎｉｐｋｏｗ ｄｉｓｋ
Claims (1)
- 【請求項１】 共焦点画像を得るために内部に２次元的
な走査装置を有する共焦点走査顕微鏡において、集光レ
ンズが複数個配列された集光レンズ配列面と、この配列
された個々の集光レンズと光学的に同軸に配列されたピ
ンホールを持つピンホール配列面と、前記集光レンズ配
列面と前記ピンホール配列面との間に位置し、前記集光
レンズの光軸方向と前記集光レンズの光軸に垂直な方向
とに光路を分岐する光路分岐光学素子と、前記光路分岐
光学素子により前記集光レンズの光軸に垂直な方向に分
岐された光路に挿入され前記ピンホール配列面の像を結
像する結像レンズと、前記結像レンズの結像光束を前記
ピンホール配列面に垂直な方向に偏向する偏向光学素子
と、前記集光レンズ配列面と前記ピンホール配列面と前
記光路分岐光学系と前記結像レンズと前記偏向光学素子
とが固定されモーターにより回転する回転体とより構成
されることを特徴とする共焦点走査顕微鏡の走査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30853995A JPH09127420A (ja) | 1995-11-02 | 1995-11-02 | 共焦点走査顕微鏡の走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30853995A JPH09127420A (ja) | 1995-11-02 | 1995-11-02 | 共焦点走査顕微鏡の走査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09127420A true JPH09127420A (ja) | 1997-05-16 |
Family
ID=17982252
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30853995A Pending JPH09127420A (ja) | 1995-11-02 | 1995-11-02 | 共焦点走査顕微鏡の走査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09127420A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09257440A (ja) * | 1996-03-26 | 1997-10-03 | Takaoka Electric Mfg Co Ltd | ２次元配列型共焦点光学装置 |
| JPH10318733A (ja) * | 1997-05-20 | 1998-12-04 | Takaoka Electric Mfg Co Ltd | ２次元配列型共焦点光学装置 |
| US5878152A (en) * | 1997-05-21 | 1999-03-02 | Cognex Corporation | Depth from focal gradient analysis using object texture removal by albedo normalization |
| US5912768A (en) * | 1996-12-31 | 1999-06-15 | Cognex Corporation | Depth-from-defocus optical apparatus with invariance to surface reflectance properties |
| US6025905A (en) * | 1996-12-31 | 2000-02-15 | Cognex Corporation | System for obtaining a uniform illumination reflectance image during periodic structured illumination |
| US6148120A (en) * | 1997-10-30 | 2000-11-14 | Cognex Corporation | Warping of focal images to correct correspondence error |
| US6219461B1 (en) | 1997-07-29 | 2001-04-17 | Cognex Corporation | Determining a depth |
| JP2002341252A (ja) * | 2001-05-21 | 2002-11-27 | Sony Corp | 画像取得装置および画像処理装置 |
| JP2009300348A (ja) * | 2008-06-17 | 2009-12-24 | Opcell Co Ltd | レーザ走査装置 |
| JP2010151745A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-08 | Omron Corp | 変位センサ |
| JP2013160612A (ja) * | 2012-02-03 | 2013-08-19 | Takaoka Electric Mfg Co Ltd | 立体形状計測装置 |
-
1995
- 1995-11-02 JP JP30853995A patent/JPH09127420A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09257440A (ja) * | 1996-03-26 | 1997-10-03 | Takaoka Electric Mfg Co Ltd | ２次元配列型共焦点光学装置 |
| US5912768A (en) * | 1996-12-31 | 1999-06-15 | Cognex Corporation | Depth-from-defocus optical apparatus with invariance to surface reflectance properties |
| US6025905A (en) * | 1996-12-31 | 2000-02-15 | Cognex Corporation | System for obtaining a uniform illumination reflectance image during periodic structured illumination |
| JPH10318733A (ja) * | 1997-05-20 | 1998-12-04 | Takaoka Electric Mfg Co Ltd | ２次元配列型共焦点光学装置 |
| US5878152A (en) * | 1997-05-21 | 1999-03-02 | Cognex Corporation | Depth from focal gradient analysis using object texture removal by albedo normalization |
| US6219461B1 (en) | 1997-07-29 | 2001-04-17 | Cognex Corporation | Determining a depth |
| US6269197B1 (en) | 1997-07-29 | 2001-07-31 | Cognex Corporation | Determining a depth |
| US6483950B1 (en) | 1997-07-29 | 2002-11-19 | Cognex Corporation | Determining a depth |
| US6148120A (en) * | 1997-10-30 | 2000-11-14 | Cognex Corporation | Warping of focal images to correct correspondence error |
| JP2002341252A (ja) * | 2001-05-21 | 2002-11-27 | Sony Corp | 画像取得装置および画像処理装置 |
| JP2009300348A (ja) * | 2008-06-17 | 2009-12-24 | Opcell Co Ltd | レーザ走査装置 |
| JP2010151745A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-08 | Omron Corp | 変位センサ |
| JP2013160612A (ja) * | 2012-02-03 | 2013-08-19 | Takaoka Electric Mfg Co Ltd | 立体形状計測装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6388808B1 (en) | Confocal microscopic equipment | |
| US4927254A (en) | Scanning confocal optical microscope including an angled apertured rotating disc placed between a pinhole and an objective lens | |
| US5022743A (en) | Scanning confocal optical microscope | |
| US5717519A (en) | Confocal microscope | |
| US5283684A (en) | Method of constructing confocal microscope components | |
| US9116353B2 (en) | Microscope device | |
| US4062623A (en) | Device for observing an object | |
| JP2836829B2 (ja) | 走査式共焦点型光学顕微鏡 | |
| JP3350918B2 (ja) | ２次元配列型共焦点光学装置 | |
| JP2663780B2 (ja) | 共焦点用光スキャナ | |
| JPH0618785A (ja) | 共焦点型レーザ走査透過顕微鏡 | |
| JPH04350818A (ja) | 共焦点光学系 | |
| JPH09127420A (ja) | 共焦点走査顕微鏡の走査装置 | |
| JPS63765B2 (ja) | ||
| JP2016110056A (ja) | 共焦点スキャナ、共焦点顕微鏡 | |
| JP3585018B2 (ja) | 共焦点装置 | |
| JP2006091507A (ja) | 共焦点顕微鏡 | |
| US6185035B1 (en) | Optical microscope | |
| US5847867A (en) | Confocal microscope | |
| JP3327432B2 (ja) | 共焦点光スキャナ | |
| JP3159006B2 (ja) | 共焦点光スキャナ | |
| JP2571859B2 (ja) | 走査型光学顕微鏡 | |
| JPS607764B2 (ja) | 走査型光検出装置 | |
| JP2692416B2 (ja) | 共焦点用光スキャナ | |
| JP7196422B2 (ja) | 顕微鏡システム |