JPH09128917A - ディスクドライブサスペンション - Google Patents

ディスクドライブサスペンション

Info

Publication number
JPH09128917A
JPH09128917A JP8126948A JP12694896A JPH09128917A JP H09128917 A JPH09128917 A JP H09128917A JP 8126948 A JP8126948 A JP 8126948A JP 12694896 A JP12694896 A JP 12694896A JP H09128917 A JPH09128917 A JP H09128917A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
load beam
pole member
microactuator
disk drive
drive suspension
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP8126948A
Other languages
English (en)
Inventor
Ryan A Jurgenson
エイ． ジャーゲンソン ライアン
C Goss Lloyd
シー． ゴス ロイド
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hutchinson Technology Inc
Original Assignee
Hutchinson Technology Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=23816711&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=JPH09128917(A) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Hutchinson Technology Inc filed Critical Hutchinson Technology Inc
Publication of JPH09128917A publication Critical patent/JPH09128917A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B21/00—Head arrangements not specific to the method of recording or reproducing
    • G11B21/02—Driving or moving of heads
    • G11B21/08—Track changing or selecting during transducing operation
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B21/00—Head arrangements not specific to the method of recording or reproducing
    • G11B21/02—Driving or moving of heads
    • G11B21/10—Track finding or aligning by moving the head ; Provisions for maintaining alignment of the head relative to the track during transducing operation, i.e. track following
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
    • G11B5/4873—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives the arm comprising piezoelectric or other actuators for adjustment of the arm
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/54—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head into or out of its operative position or across tracks
    • G11B5/55—Track change, selection or acquisition by displacement of the head
    • G11B5/5521—Track change, selection or acquisition by displacement of the head across disk tracks
    • G11B5/5552—Track change, selection or acquisition by displacement of the head across disk tracks using fine positioning means for track acquisition separate from the coarse (e.g. track changing) positioning means
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002—Electrical device making
    • Y10T29/4902—Electromagnet, transformer or inductor
    • Y10T29/49021—Magnetic recording reproducing transducer [e.g., tape head, core, etc.]
    • Y10T29/49032—Fabricating head structure or component thereof
    • Y10T29/4906—Providing winding
    • Y10T29/49064—Providing winding by coating

Landscapes

  • Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
  • Moving Of Heads (AREA)
  • Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】磁気ヘッドを高速で正確に位置決めでき、軽量
でかつ薄型のマイクロアクチュエータを備えるディスク
ドライブサスペンションを提供すること。 【解決手段】ディスクドライブサスペンション８は、剛
性領域17を備えた負荷ビーム12と、負荷ビーム12の基端
部に設けられたベース14と、負荷ビーム12の先端部に設
けられて、読み取り書き込みヘッドを受け取って支持す
るたわみ部16とを備える。また、たわみ部16及び読み取
り書き込みヘッドを剛性領域17に対してトラッキング軸
線沿いに移動させるために、負荷ビーム12上にマイクロ
アクチュエータ10が設けられ、このマイクロアクチュエ
ータ10は、たわみ部16に取り付けられた可動極部材42
と、負荷ビーム12の剛性領域17に可動極部材42に隣接し
て取り付けられた固定極部材と、固定極部材を囲むコイ
ル46,48 とを有している。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、記録媒体の上方に
読み取り書き込みヘッドを支持するためのサスペンショ
ンに関するものである。特に、本発明は、トラッキング
マイクロアクチュエータを備えたヘッドサスペンション
アセンブリに関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気ディスクドライブは、回転ディスク
の情報トラックの上方に磁気読み取り書き込みヘッドを
支持するサスペンションを備えている。公知で広く使用
されているワトラス(Watrous) 形サスペンションは、基
端部にベースプレートを、先端部にたわみ部を、たわみ
部に隣接して比較的剛性の領域を、またベースプレート
と剛性領域との間にばね領域をそれぞれ備えた負荷ビー
ムを設けている。磁気ヘッドを設けた空気軸受スライダ
がたわみ部に取り付けられている。サスペンションのベ
ースプレートはアクチュエータアームに取り付けられ
る。サーボ制御システムで制御されたモータがアクチュ
エータアームを回転させて、磁気ヘッドを磁気ディスク
の所望の情報トラックの上方に位置決めする。
【０００３】ディスクドライブ製造業者は、小型化しな
がらも記憶容量を高めたドライブを開発し続けている。
記憶容量の増加は、１つには磁気ディスクの情報トラッ
クの密度の増加によっても（すなわち、トラックの幅を
狭く、またはトラックの間隔を近接させた、一方または
両方のトラックを用いることによって）可能である。し
かし、トラック密度が高くなるほど、モータ及びサーボ
制御システムが磁気ヘッドを所望サーボトラックの上方
に高速で正確に位置決めすることがますます困難にな
る。
【０００４】これらの問題を解決するためにマイクロア
クチュエータまたは精密トラッキングモータの使用が提
案されてきた。そのようなマイクロアクチュエータの１
つがデニー・Ｋ．ミュー(Denny K. Miu)他の論文「小型
コンピュータディスクドライブ用のシリコン微細構造
体」ＩＥＥＥ制御システムズ（1994年12月）に開示され
ている。このマイクロアクチュエータはシリコンから加
工され、たわみ部とスライダとの間に配置されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、改良型のマイ
クロアクチュエータの必要性は常にある。すなわち、マ
イクロアクチュエータは磁気ヘッドを高速で正確に位置
決めできなければならない。マイクロアクチュエータ
は、サスペンションの共振特性に対する悪影響を最小限
に抑えるために軽量で、またディスク間の隙間を狭くで
きるように比較的薄くなければならない。商品化するた
めには、マイクロアクチュエータはさらに信頼性が高
く、また効率的に製造できなければならない。
【０００６】このような事情に鑑みて、本発明は、磁気
ヘッドを高速で正確に位置決めでき、軽量でかつ薄型の
マイクロアクチュエータを備えるヘッドサスペンション
を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、軽量で縦断面
が低く、製造効率が高いトラッキングマイクロアクチュ
エータを備えたサスペンションである。サスペンション
の１つの実施の形態は、剛性領域と基端部及び先端部と
を備えた負荷ビームを設けている。負荷ビームの基端部
にベースが設けられている。読み取り書き込みヘッドを
受け取って支持できる形状のたわみ部が、負荷ビームの
先端部に設けられている。負荷ビーム上のマイクロアク
チュエータが、たわみ部を剛性領域に対してトラッキン
グ軸線沿いに移動させる。
【０００８】マイクロアクチュエータは、たわみ部に設
けられた可動極部材と、可動極部材に隣接して負荷ビー
ムの剛性領域に取り付けられた一対のコイルとを備えた
電磁装置となる。コイルは、可動極部材に作用してたわ
み部をトラッキング軸線に沿って移動させる電磁力を発
生する。サスペンションの１つの実施の形態は、舌片を
備えたＴ字形たわみ部を設けている。この形態では、マ
イクロアクチュエータの可動極部材を舌片の自由端部に
取り付けることができる。サスペンションの別の実施の
形態は、アームで負荷ビームから懸架されたジンバルを
備えたジンバル形たわみ部を設けている。この形態で
は、マイクロアクチュエータの可動極部材がジンバルア
ームの１つに取り付けられている。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。図１には、本発明によるトラッキングマ
イクロアクチュエータ10を備えたヘッドサスペンション
８の全体が示されている。
【００１０】図示のように、サスペンション８は、基端
部にベース14を、先端部にＴ字形たわみ部16を、たわみ
部に隣接して比較的剛性の領域17を、またベースと剛性
領域との間にラジアスすなわちばね領域18をそれぞれ備
えた負荷ビーム12を設けている。ベースプレート20がベ
ース14に溶接されており、サスペンション８をディスク
ドライブアクチュエータアーム（図１には示されていな
い）に取り付けるためのスエージ (swage)ブロック22を
備えている。
【００１１】一対の溝レール24が、負荷ビーム12の両側
に剛性領域17の長さ方向に沿って形成されている。レー
ル24及びベース14から延出したタブ26によって、読み取
り書き込みヘッドのリード線（図示せず）が位置決めか
つ支持されている。負荷ビーム12は、従来のようにして
ステンレス鋼または他の弾性材料の薄板から形成するこ
とができる。
【００１２】図示の実施の形態では、たわみ部16は負荷
ビーム12から分離して形成されて、サスペンション８の
製造中に負荷ビームに溶接その他の方法で負荷ビームに
取り付けられている。このたわみ部16は、取り付け部分
27と、取り付け部分から延出した一対の離設アーム28
と、アームの先端部間に延在したクロス部材30とを備え
ている。
【００１３】アーム28及びクロス部材30は、たわみ部16
の先端部にギャップ31を形成している。舌片32がクロス
部材30からギャップ31内へ負荷ビームベース14に向かっ
て延出している。クロス部材及び舌片32の平面がアーム
の平面からずれるように、クロス部材30がアーム28から
食い違っている。舌片32は、さらに従来の負荷点ディン
プル34も備えている。図１には示されていないが、磁気
読み取り書き込みヘッドを備えたスライダを接着または
他の方法で舌片32に取り付けることによって、サスペン
ション８からヘッドジンバルアセンブリを形成すること
ができる。
【００１４】図１〜図４を参照しながら、マイクロアク
チュエータ10をさらに詳細に説明する。図示の実施の形
態では、マイクロアクチュエータ10は、磁界発生構造部
40と可動極部材42とを備えた電磁装置である。可動極部
材42は、舌片32に取り付けられてそれから延出し、自由
端部43を備えている。可動部材42はNiFeまたは他の比較
的透磁率が高い磁性材料から形成されている。
【００１５】図１〜図４では見えないが、可動極部材42
と舌片32の極部材取り付け部分との間にスペーサ部材を
設けて、可動部材を磁界発生構造部40の固定極部材（後
述する）と同じ相対高さに位置決めできるようにするこ
とができる。スペーサ部材はポリイミドまたは他の材料
から形成することができる。
【００１６】磁界発生構造部40は、負荷ビーム12の剛性
領域17に対して固定されており、図１及び図２に示され
ている実施の形態では、たわみ部16上に形成されてい
る。構造部40は、固定または静止極部材44と一対のコイ
ル46及び48とを備えている。極部材44は、NiFeまたは他
の比較的透磁率が高い磁性材料から形成された、側部が
ほぼ３の形をした部材であり、一対の半円部分50及び52
を備えて、中央端部56と側端部54及び58とを備えてい
る。極部材の端部54、56及び58によって形成されるギャ
ップ60が、可動極部材42の自由端部43の三方の縁部を取
り囲んでいる。コイル46及び48は、Cu、BeCuまたは他の
導電性材料からなる複数の個別ループを備えており、極
部材44の半円部分50及び52に囲むように形成されてい
る。
【００１７】図示の実施の形態では、コイル46及び48
の、極部材44の端部54及び58にそれぞれ隣接した第１端
部は、共に共通リード線61に電気接続されている。コイ
ル46の第２端部はリード線62に接続されているのに対し
て、コイル48の第２端部はリード線64に接続されてい
る。図示されていないが、リード線61、62及び64はサス
ペンション８の長さ方向に沿って延出して（またはサス
ペンションに沿って延出したリード線に接続されて）、
トラッキングサーボシステムからトラッキングドライブ
信号を受け取るように接続されている。
【００１８】前述したように、サスペンション８は、読
み取り書き込みヘッド（図示せず）を備えたスライダを
接着その他の方法で舌片32に取り付けることによってヘ
ッドサスペンションアセンブリを形成できる構造になっ
ている。ヘッドサスペンションアセンブリは、スライダ
を磁気ディスクの表面の上方に支持できるように磁気デ
ィスクドライブ（図示せず）のアクチュエータアームに
取り付けられる構造になっている。リード線61、62及び
64に加えられたトラッキング制御信号によって、磁界発
生構造部40が磁界を発生し、それが可動極部材42に力を
加えることによって、たわみ部の舌片32をそれのニュー
トラル位置から横方向トラッキング軸線70に沿って移動
させることができる。
【００１９】たわみ部16及びマイクロアクチュエータ10
は、トラッキング軸線70に沿った移動が磁気ディスク上
の情報トラックに対してほぼ直交するように、サスペン
ション８上に位置決めされる。すなわち、トラッキング
制御信号がリード線61及び64に加えられると、コイル48
が励磁されて固定極部材端部56及び58間に磁界を発生す
る。コイル48によって発生した磁界が可動極部材42及び
舌片32を固定極部材44の端部58の方へ引く。同様に、ト
ラッキング制御信号がリード線61及び62に加えられる
と、コイル46が励磁されて、可動極部材42及びたわみ部
舌片32が固定極部材44の端部54の方へ引かれる。
【００２０】従って、マイクロアクチュエータ10は精密
トラッキングアクチュエータとして機能する。トラッキ
ング制御信号に応答して、マイクロアクチュエータ10は
たわみ部舌片32を、またそのためそれに取り付けられた
スライダ及び読み取り書き込みヘッドをディスクの個々
の情報トラックに対して駆動して位置決めする。舌片32
のニュートラル位置からの移動量を制御するため、トラ
ッキング制御信号の大きさがサーボシステムによって制
御される。アーム28及びクロス部材30は弾性を備えてい
るため、コイル46及び48が励磁されなくなると、舌片32
はニュートラル位置へ押し戻される。
【００２１】図３及び図４に示されているように、コイ
ル46及び48の各ループすなわち巻線は、極部材44の下側
に延在するほぼ平坦な下側ループ部分72と、極部材の上
方に延在するほぼ逆Ｕ字形の上側ループ部分74とを備え
ている。各上側ループ部分74の両端部は、隣接の下側ル
ープ部分72の対応端部に電気接続されている。極部材44
は、下側誘電部材すなわち絶縁部材76によって下側ルー
プ部分72から離して電気的に絶縁されている。
【００２２】図示の実施の形態では、下側絶縁部材76は
極部材44と同じ形状に形成されている。絶縁部材76は、
ポリイミドまたは適当な誘電特性を備えた他の誘電材料
から形成することができる。極部材44はまた、下側絶縁
部材76と同じ誘電材料から形成できる上側絶縁部材78に
よって上側ループ部分74から離して電気的に絶縁されて
いる。上側絶縁部材78の内部表面が極部材44及び下側絶
縁部材76の側部から離されて、空気ギャップ80が形成さ
れている。後述するように、コイル46及び48は、たわみ
部16の取り付け部分27の上表面上に低縦断面部材として
形成することができる。誘電体すなわち絶縁層82がコイ
ル46、48及びリード線61、62、64をたわみ部16の表面か
ら分離している。
【００２３】次に、図３〜図５を参照しながら、たわみ
部16及びマイクロアクチュエータ10を形成する方法を説
明する。本実施の形態では、取り付け部分27、アーム2
8、クロス部材30、舌片32、絶縁層82、コイル46、48の
下側ループ部分72及びリード線61、62、64が、図５に概
略的に示されている90のような積層薄板材から形成され
ている。
【００２４】薄板90は、ステンレス鋼（すなわちたわみ
部を形成する弾性構造材料）からなる下側層92と、下側
層の上に重なったポリイミドまたは他の誘電材料からな
る中間層94と、中間層の上に重なったCuまたはBeCuまた
は他の導電材からなる上側層96とを含んでいる。従来式
または他の公知の技術を用いて、たわみ部16の所望の外
形寸法を有するブランクを薄板材90から切り取って、取
り付け部分27、アーム28、クロス部材30及び舌片32を形
成するために下側層92をパターン化してエッチング処理
する。次に、取り付け部分27上に絶縁層82、下側ループ
部分72及びリード線61、62、64を形成するため、中間層
94及び上側層96をパターン化してエッチング処理する。
次に、舌片に取り付けられたスライダ用のジンバル支持
隙間を形成できるように舌片32の平面をアーム28の平面
からずらすため、やはり従来通りにクロス部材30を形成
することができる。
【００２５】可動極部材42及び（用いる場合は）対応の
スペーサ部材、固定極部材44及び下側絶縁部材76も同様
にして、ポリイミドまたは他の誘電材料からなる下側層
100び下側層の上に重なったNiFeまたは他の比較的透磁
率が高い材料からなる上側層102 を含む積層薄板材98か
ら成形またはエッチング処理される。上側ループ部分74
及び絶縁部材78は、ポリイミドまたは他の誘電材料から
なる下側層106 及び下側層の上に重なったCu、BeCuまた
は他の導電材からなる上側層108 を含む積層薄板材104
からエッチングで成形することができる。適当な大きさ
の部材を薄板104 からエッチング処理した後、その部材
を従来の技術（例えばダイまたはプレス）を用いて適当
な形状に成形することができる。適当な整合または位置
合わせを確保できるようにタブ付け技術を用いて、成形
及びエッチング処理された薄板98を成形及びエッチング
処理された薄板90に接着剤で付着させるか、他の方法で
取り付けることができる。同様に、成形及びエッチング
処理された薄板104 を薄板90及び98に整合させて取り付
ける。次に、各上側ループ部分74の両端部を下側ループ
部分72の対応端部にスェット(sweat) 溶接または他の従
来技術によって溶接する。次に、最終的な成形及びタブ
取り作業を行えば、マイクロアクチュエータ10を備えた
たわみ部16の形成が完了する。たわみ部16を負荷ビーム
12の先端部に溶接または他の方法で取り付けることによ
って、サスペンション８の形成が完了する。
【００２６】図６及び図７は、一体型ジンバル116 （す
なわちジンバル形たわみ部）及び本発明の第２の実施形
態に従ったトラッキングマイクロアクチュエータ10' を
備えたサスペンション108 の先端部を示している。
【００２７】ジンバル116 は、負荷ビーム112 を形成し
ているステンレス鋼または他の材料と同じ部品から形成
されている。図示のように、負荷ビーム112 には一対の
外側部材128 が設けられており、それらがサスペンショ
ン108 の先端130 で連結されてギャップ131 を形成して
いる。ジンバル116 には、外側リング133 がギャップ13
1 内にリングと先端130 との間に延在した第１横揺れ軸
線アーム134 によって支持されている。ジンバル116 に
はさらに一対の半円形スロット135 が設けられており、
その各々の端部は他方のスロットの端部から離れて一対
の縦揺れ軸線アーム136 を形成している。
【００２８】アーム136 はリング133 からスライダ付着
パッド137 を支持している。第２横揺れ軸線アーム138
がリング133 の第１横揺れ軸線アーム134 とは反対側か
らマイクロアクチュエータ10' に向かって延出してい
る。ブリッジ支持部材139 が第２横揺れ軸線アーム138
に固定されている。ブリッジ支持部材139 は横揺れ軸線
アームにほぼ直交する取り付け向きに設けられて、ギャ
ップ131 を横切っている。ブリッジ支持部材139 の端部
は接着または他の方法で部材128 に取り付けられてい
る。ブリッジ支持部材139 は、ポリイミドまたは他の可
撓性材料から形成されているので、ジンバル116 をマイ
クロアクチュエータ10' によってトラッキング軸線170
に沿って移動できるようにしながら、ジンバル116 を負
荷ビーム112に対して支持している。
【００２９】マイクロアクチュエータ10' は、図１〜図
５を参照しながら前述したマイクロアクチュエータ10と
同一にすることができるが、この場合は16のような分離
形たわみ部に取り付けられるのではなく、直接的に負荷
ビーム112 に取り付けられている。従って、マイクロア
クチュエータ10の対応機構及び部材と構造的及び機能的
の両方またはいずれか一方が同じであるマイクロアクチ
ュエータ10' の機構及び部材は、図６及び図７では同一
の参照番号にダッシュを付けて示す。
【００３０】サスペンション108 もサスペンション８と
同様にして上記のように形成することができる。すなわ
ち、負荷ビーム112 、ジンバル116 、絶縁層82' 、下側
ループ部分72' びリード線61' 、62' 、64' はすべて、
図５に90で示されているような積層薄板材からエッチン
グ処理して成形することができる。
【００３１】固定極部材44' 、下側絶縁部材76' 、可動
極部材42' 及びブリッジ支持部材139 は、図５に98で示
されているような積層薄板材からエッチング処理して成
形することができる。コイル46' び48' の上側ループ部
分74' 及び絶縁部材78' は、図５に104 で示されている
ような積層薄板材からエッチング処理して成形すること
ができる。次に、これらの３つの成形薄板材をサスペン
ション８について説明したようにして組み合わせて仕上
げることによって、サスペンション108 が完成する。
【００３２】図７に示されているように、サスペンショ
ン108 はまた、効果的な電磁結合が得られるように固定
極部材44' を可動極部材42' と同じ高さに配置するため
にスペーサ141 を備えている。スペーサ141 は、負荷ビ
ーム112 を形成しているステンレス鋼からエッチング処
理で形成できる。
【００３３】図８、図９及び図10は、本発明の第３の実
施形態に従ったトラッキングマイクロアクチュエータ1
0" を備えたサスペンション208 の先端部を示してい
る。
【００３４】サスペンション208 は、剛性領域217 を備
えた負荷ビーム212 を設けている。一対のフランジまた
はレール224 が負荷ビーム212 の両側に剛性領域217 の
長さ方向に沿って形成されている。たわみ部216 は負荷
ビーム212 から分離して形成されて、サスペンション20
8 の製造中に溶接その他の方法で負荷ビームに取り付け
られている。このたわみ部216 は、取り付け部分227
と、取り付け部分から延出した一対の離設アーム228
と、アームの先端部間に延在したクロス部材230 とを備
えている。アーム228 及びクロス部材230 は、たわみ部
216 の先端部にギャップ231 を形成している。舌片232
がクロス部材230 からギャップ231 内へ負荷ビームベー
ス（図８〜図10では見えない）に向かって延出してい
る。舌片232 はさらに従来の負荷点ディンプル234 も備
えている。変更例（図示せず）では、負荷点ディンプル
を負荷ビーム212 に形成している。
【００３５】一対の細長いスロット235 が負荷ビーム21
2 の剛性領域217 の両側でレール224 に近接して形成さ
れている。図示のように、スロット235 は負荷ビーム21
2 の先端部付近に位置しているが、スロットの先端部は
負荷ビームの先端部よりも手前にある。スロット235 間
に延在した横方向スロット237 も負荷ビーム212 の剛性
領域217 に形成されている。スロット235 及び237 によ
って、負荷ビーム212先端部にたわみ部取り付け領域239
が形成されている。たわみ部形成領域239 は負荷ビー
ム212 の残りの部分にレール224 で取り付けられてい
る。
【００３６】たわみ部216 の取り付け部分227 は負荷ビ
ーム212 の取り付け領域239 に溶接その他の方法で取り
付けられており、舌片232 が負荷ビームの先端部より先
まで延出している。スロット235 の領域のレール224
は、たわみ部取り付け領域239と負荷ビーム212 の残り
の部分との間を負荷ビームの平面に直交する軸線に沿っ
た相対運動に対して比較的剛直に支持する一方で、マイ
クロアクチュエータ10"が取り付け領域を残りの負荷ビ
ーム部分に対してトラッキング軸線270 沿いに移動させ
ることができるようにする十分な弾性的可撓性を与え
る。
【００３７】マイクロアクチュエータ10" は、図１〜図
５を参照しながら前述したマイクロアクチュエータ10と
同一にすることができるが、この場合は16のような分離
形たわみ部に取り付けられるのではなく、直接的に負荷
ビーム212 の取り付け部分239 に隣接して取り付けられ
ている。従って、マイクロアクチュエータ10の対応機構
及び部材と構造的及び機能的の両方またはいずれか一方
が同じであるマイクロアクチュエータ10" の機構及び部
材は、図８及び図10では同一の参照番号に二重のダッシ
ュを付けて示す。
【００３８】サスペンション208 もサスペンション８と
同様にして上記のように形成することができる。すなわ
ち、負荷ビーム212 、絶縁層82" 、下側ループ部分72"
及びリード線61" 、62" 、64" はすべて、図５に90で示
されているような積層薄板材からエッチング処理して成
形することができる。たわみ部216 も、図５に90で示さ
れているような積層薄板材からエッチング処理で成形す
ることができる。固定極部材44" 、下側絶縁部材76" 、
可動極部材42" 及びこれの下側にある誘電部材239 は、
図５に98で示されているような積層薄板材からエッチン
グ処理して成形することができる。コイル46" 及び48"
の上側ループ部分74" 及び絶縁部材78"は、図５に104
で示されているような積層薄板材からエッチング処理し
て成形することができる。固定極部材44" はまた、図10
に示されている実施の形態ではスペーサ241 で負荷ビー
ム212 の表面から離されている。次にこれらの３つの成
形薄板材をサスペンション８について説明したようにし
て組み合わせて仕上げることによって、サスペンション
208 が完成する。
【００３９】以上に好適な実施の形態を参照しながら本
発明を説明してきたが、本発明の特許請求の範囲内にお
いて様々な変更を加えることができることは理解される
であろう。
【００４０】
【発明の効果】本発明に従ったトラッキングマイクロア
クチュエータを備えたサスペンションは重要な利点を与
えることができる。マイクロアクチュエータは比較的軽
量で、サスペンションの共振特性をさほど損なうことは
ないであろう。さらに、かさばるマイクロアクチュエー
タ（すなわち磁界発生構造部）が、たわみ部の可動部分
ではなく負荷ビーム上に配置されているので、たわみ部
の可動部分はマイクロアクチュエータを収容するための
追加支持を加える設計変更を行う必要がない。いずれの
リード線もギャップを横切ってたわみ部の可動部分まで
延出する必要がないので、たわみ部の静止姿勢特性がマ
イクロアクチュエータの影響を受けることはない。マイ
クロアクチュエータは信頼性が高く、縦断面が比較的低
く、製造効率が比較的高い。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるトラッキングマイクロアクチュエ
ータを備えた分離型Ｔ字たわみ部を設けたサスペンショ
ンの上面図である。
【図２】図１に示されているたわみ部の詳細図である。
【図３】図１に示されているマイクロアクチュエータの
詳細図である。
【図４】図３に示されているマイクロアクチュエータの
４−４線に沿った断面図である。
【図５】図１に示されているたわみ部を形成できる積層
薄板材の説明図である。
【図６】一体型ジンバル式たわみ部を有する、本発明に
よるトラッキングマイクロアクチュエータを備えたサス
ペンションの説明図である。
【図７】図６に示されているマイクロアクチュエータの
７−７線に沿った断面図である。
【図８】横方向に移動可能な先端を有する、本発明によ
るトラッキングマイクロアクチュエータを備えたサスペ
ンションの説明図である。
【図９】図８に示されているサスペンションの先端の詳
細図である。
【図１０】図９に示されているマイクロアクチュエータ
の10−10線に沿った断面図である。
【符号の説明】 ８、108 、208 ディスクドライブサスペンション 12、112 、212 負荷ビーム 14 ベース 16、116 、226 たわみ部 10、10' 、10" マイクロアクチュエータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ロイド シー． ゴス アメリカ合衆国 ミネソタ 55381 シル バー レイク スワン レイク ロード 12368

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 剛性領域と基端部及び先端部とを備えた
    負荷ビームと、 負荷ビームの基端部に設けられたベースと、 負荷ビームの先端部に設けられて、読み取り書き込みヘ
    ッドを収容して支持できる形状のたわみ部と、 負荷ビームに設けられて、トラッキング制御信号に応答
    してたわみ部を剛性領域に対してトラッキング軸線沿い
    に移動させるマイクロアクチュエータとを有しているこ
    とを特徴とするディスクドライブサスペンション。
  2. 【請求項２】 マイクロアクチュエータは、電磁マイク
    ロアクチュエータを含むことを特徴とする請求項１に記
    載のディスクドライブサスペンション。
  3. 【請求項３】 マイクロアクチュエータは、 たわみ部に設けられた可動極部材と、 可動極部材に隣接して負荷ビームの剛性領域に取り付け
    られて、可動極部材に作用してたわみ部をトラッキング
    軸線に沿って移動させる電磁力を発生する少なくとも１
    つのコイルと、 各コイル内に設けられて、端部が可動極部材に隣接した
    ギャップを形成している固定極部材とを有していること
    を特徴とする請求項２に記載のディスクドライブサスペ
    ンション。
  4. 【請求項４】 マイクロアクチュエータは、固定極部材
    を備えた１対のコイルを設けており、コイルは可動極部
    材の両側で負荷ビームの剛性領域に取り付けられている
    ことを特徴とする請求項３に記載のディスクドライブサ
    スペンション。
  5. 【請求項５】 可動極部材及び固定極部材は剛性領域に
    対して同一高さに配置されていることを特徴とする請求
    項３に記載のディスクドライブサスペンション。
  6. 【請求項６】 各コイルは、 下側ループ部材と、 端部が隣接の下側ループ部材に電気的に接続されている
    上側ループ部材とを備えた複数の相互連結ループを有し
    ていることを特徴とする請求項３に記載のディスクドラ
    イブサスペンション。
  7. 【請求項７】 マイクロアクチュエータは、さらに、 コイル内に設けられて、端部が可動極部材に隣接したギ
    ャップを形成している固定極部材と固定極部材をコイル
    の下側ループ部材から分離させる誘電材料からなる下側
    層と、 固定極部材をコイルの上側ループ部材から分離させる誘
    電材料からなる上側層とを有していることを特徴とする
    請求項６に記載のディスクドライブサスペンション。
  8. 【請求項８】 コイルの上側ループ部材は、Ｕ字形部材
    であることを特徴とする請求項７に記載のディスクドラ
    イブサスペンション。
  9. 【請求項９】 さらに、負荷ビームの剛性領域とコイル
    の下側ループ部材との間に誘電材料の層を設けているこ
    とを特徴とする請求項７に記載のディスクドライブサス
    ペンション。
  10. 【請求項１０】 マイクロアクチュエータは縦断面が低
    いマイクロアクチュエータであることを特徴とする請求
    項３に記載のディスクドライブサスペンション。
  11. 【請求項１１】 たわみ部は、自由端部を負荷ビームの
    剛性領域に向けて延出させた舌片を備えたＴ字形たわみ
    部を有しており、 可動極部材は舌片の自由端部に取り付けられており、 コイルは可動極部材に隣接して負荷ビームに取り付けら
    れていることを特徴とする請求項３に記載のディスクド
    ライブサスペンション。
  12. 【請求項１２】 負荷ビームは、さらに、たわみ部を含
    む負荷ビームの先端部分を剛性領域から可動支持する１
    つまたは複数のアームを備えており、 可動極部材は負荷ビームの先端部分に取り付けられてお
    り、 マイクロアクチュエータのコイルは可動極部材に隣接し
    て負荷ビームの剛性領域に取り付けられていることを特
    徴とする請求項３に記載のディスクドライブサスペンシ
    ョン。
  13. 【請求項１３】 たわみ部はジンバルを備えており、 可動極部材はジンバルに取り付けられており、 コイルは可動極部材に隣接して負荷ビームに取り付けら
    れていることを特徴とする請求項３に記載のディスクド
    ライブサスペンション。
JP8126948A 1995-06-01 1996-05-22 ディスクドライブサスペンション Pending JPH09128917A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US457432 1995-06-01
US08/457,432 US5657188A (en) 1995-06-01 1995-06-01 Head suspension with tracking microactuator

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH09128917A true JPH09128917A (ja) 1997-05-16

Family

ID=23816711

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8126948A Pending JPH09128917A (ja) 1995-06-01 1996-05-22 ディスクドライブサスペンション

Country Status (2)

Country Link
US (2) US5657188A (ja)
JP (1) JPH09128917A (ja)

Families Citing this family (123)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09198827A (ja) * 1996-01-16 1997-07-31 Nec Corp 磁気ディスク用サスペンション
US5862015A (en) * 1996-05-23 1999-01-19 Hutchinson Technology Incorporated Head suspension with resonance feedback transducer
JP3653602B2 (ja) * 1996-10-31 2005-06-02 株式会社日立製作所 磁気ディスク装置
US6052251A (en) 1996-11-01 2000-04-18 Seagate Technology, Inc. Actuator arm integrated piezoelectric microactuator
USRE38340E1 (en) * 1996-11-04 2003-12-02 Seagate Technology Llc Multi-point bending of bars during fabrication of magnetic recording heads
KR100356101B1 (ko) * 1996-12-04 2003-01-14 우릴크 로보우 육류 또는 야채 또는 농산물 및 사료를 소독 또는 살균하기 위한 방법 및 장치.
US5898541A (en) * 1996-12-04 1999-04-27 Seagate Technology, Inc. Leading surface slider microactuator
US5943189A (en) * 1996-12-05 1999-08-24 Seagate Technology, Inc. Piezoelectric engageable slider and slider microactuator
JP2001503552A (ja) * 1996-12-16 2001-03-13 シーゲイト テクノロジー エルエルシー バイモルフ圧電マイクロアクチュエータのヘッドとフレクシャとの組立体
WO1998044488A1 (en) 1997-03-31 1998-10-08 Seagate Technology, Inc. Flexure microactuator
US5867347A (en) * 1997-06-13 1999-02-02 Hutchinson Technology Incorporated Head suspension with stacked coil microactuator for tracking axis adjustment of a read/write head
US5898544A (en) * 1997-06-13 1999-04-27 Hutchinson Technology Incorporated Base plate-mounted microactuator for a suspension
US6396667B1 (en) 1997-06-24 2002-05-28 Seagate Technology Llc Electromagnetic disc drive microactuator and suspension
US6122149A (en) * 1997-06-24 2000-09-19 Seagate Technology, Inc. Magnetic microactuator and inductive sensor having shaped pole configuration
US6728077B1 (en) * 1997-07-03 2004-04-27 Seagate Technology Llc Suspension-level piezoelectric microactuator
WO1999006993A1 (en) * 1997-07-29 1999-02-11 Seagate Technology, Inc. Low mass disc drive suspension
US6362542B1 (en) 1997-08-15 2002-03-26 Seagate Technology Llc Piezoelectric microactuator for precise head positioning
US6269687B1 (en) 1997-09-22 2001-08-07 Seagate Technology Llc Force sensing slider
US6288985B1 (en) 1997-09-22 2001-09-11 Seagate Technology Llc Microactuator for fine tracking in a magneto-optical drive
JP2982761B2 (ja) * 1997-09-25 1999-11-29 日本電気株式会社 磁気ヘッド位置決め機構
US6067215A (en) * 1997-10-09 2000-05-23 Seagate Technology, Inc. Magnetic shielding for electromagnetic microactuator
US6163434A (en) * 1997-10-23 2000-12-19 Seagate Technology Llc Piezoresistive position sensors embedded in disc drive microactuator
EP0913921B1 (en) 1997-10-29 2006-05-03 STMicroelectronics S.r.l. Method for manufacturing a semiconductor material integrated microactuator, in particular for a hard disc mobile read/write head, and a microactuator obtained thereby
US5936805A (en) * 1997-12-12 1999-08-10 International Business Machines Corporation Disk drive with secondary VCM actuator
US5982585A (en) * 1997-12-30 1999-11-09 International Business Machines Corporation Rotary electrostatic microactuator with optimum flexure arrangement
US6195227B1 (en) * 1997-12-30 2001-02-27 International Business Machines, Inc. Integrated 3D limiters for microactuators
US6219193B1 (en) 1998-02-20 2001-04-17 Seagate Technology Llc Superpositioning microactuator control and write current signals in a disc drive
US6282066B1 (en) 1998-03-20 2001-08-28 Seagate Technology Llc Microactuator suspension with multiple narrow beams
JPH11273279A (ja) * 1998-03-20 1999-10-08 Fujitsu Ltd ディスク装置及びヘッドキャリッジ装置
US6295185B1 (en) 1998-04-07 2001-09-25 Seagate Technology Llc Disc drive suspension having a moving coil or moving magnet microactuator
US6157522A (en) * 1998-04-07 2000-12-05 Seagate Technology Llc Suspension-level microactuator
US6215629B1 (en) 1998-04-16 2001-04-10 Seagate Technology Llc Unitary synchronous flexure microactuator
DE69826242D1 (de) 1998-05-05 2004-10-21 St Microelectronics Srl Herstellungsverfahren für eine Festplatten-Lese/Schreibeinheit, mit mikrometrischer Betätigung
US6362939B1 (en) 1998-05-07 2002-03-26 Seagate Technology Llc. Balanced microactuator suspension
US6735055B1 (en) 1998-05-07 2004-05-11 Seagate Technology Llc Microactuator structure with vibration attenuation properties
US6239947B1 (en) * 1998-05-11 2001-05-29 International Business Machines Corporation Milliactuator with integrated sensor and drivers and method of manufacturing the same
US6078473A (en) * 1998-05-13 2000-06-20 Seagate Technology, Inc. Gimbal flexure for use with microactuator
US6055132A (en) * 1998-06-04 2000-04-25 Internatinal Business Machines Corporation Integrated lead suspension flexure for attaching a micro-actuator with a transducer slider
US6249064B1 (en) 1998-06-05 2001-06-19 Seagate Technology Llc Magneto-striction microactuator
US6359758B1 (en) 1998-06-11 2002-03-19 Seagate Technology, Llc Rigid body microactuator having elastic joint attachment
US6414822B1 (en) 1998-06-11 2002-07-02 Seagate Technology Llc Magnetic microactuator
DE69830789D1 (de) 1998-07-30 2005-08-11 St Microelectronics Srl Fernbedienbarer integrierter Microantrieb, insbesondere für einen Lese/Schreibköpf einer Festplattenanlage
EP0977180B1 (en) * 1998-07-30 2005-02-09 STMicroelectronics S.r.l. Method for assembling an actuator device for a hard disc device, comprising a read/write transducer, a microactuator and a suspension and the actuator device thus obtained
US6141188A (en) * 1998-08-21 2000-10-31 Iomega Corporation Secondary actuator
US6320730B1 (en) 1998-09-26 2001-11-20 Seagate Technology Llc Low-stress disc drive microactuator cradle
EP0991175B1 (en) 1998-09-30 2005-08-17 STMicroelectronics S.r.l. High-performance integrated microactuator, particularly for a hard disc read/write transducer
US6297936B1 (en) 1998-11-09 2001-10-02 Seagate Technology Llc Integral load beam push-pull microactuator
US6233124B1 (en) 1998-11-18 2001-05-15 Seagate Technology Llc Piezoelectric microactuator suspension assembly with improved stroke length
US7116523B2 (en) * 1998-12-21 2006-10-03 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Interconnect module for use in a suspension assembly
US6268984B1 (en) 1999-01-22 2001-07-31 Seagate Technology Llc Magnet configuration for head-level microactuator
US6549375B1 (en) * 1999-01-29 2003-04-15 Seagate Technology Llc Suspension gimbal with reduced pitch stiffness, compliant preloading bridge and unloading limiters
US6538838B1 (en) 1999-02-22 2003-03-25 Seagate Technology Llc Method and apparatus for closed-loop spin-stand testing
US6510752B1 (en) 1999-02-22 2003-01-28 Seagate Technology Llc Method and apparatus for testing microactuators on a suspension assembly
EP1031965B1 (en) * 1999-02-23 2005-04-27 STMicroelectronics S.r.l. Micrometric actuation, hard disk read/write unit
JP2000276805A (ja) * 1999-03-19 2000-10-06 Fujitsu Ltd 光学ヘッドおよびこれに用いるコイル組立体
US6487028B1 (en) 1999-03-25 2002-11-26 International Business Machines Corporation Servo system for disk-flutter in rotating storage systems
US6339512B1 (en) 1999-03-25 2002-01-15 International Business Machines Corporation Disk-flutter servo control in rotating storage system with optimum disk thickness
CN1344406A (zh) 1999-04-21 2002-04-10 西加特技术有限责任公司 用于磁盘驱动调节器控制的自适应h型无限硬件控制器
US6351354B1 (en) * 1999-05-07 2002-02-26 Seagate Technology Llc Head to flexure interconnection for disc drive microactuator
KR100601607B1 (ko) * 1999-06-02 2006-07-14 삼성전자주식회사 디스크 드라이브의 헤드 서스펜션 조립체
US6414823B1 (en) 1999-06-09 2002-07-02 Seagate Technology Llc Coil-structures for magnetic microactuator
US6507463B1 (en) 1999-06-11 2003-01-14 Seagate Technology, Inc. Micro disc drive employing arm level microactuator
US6798609B1 (en) 1999-07-28 2004-09-28 Seagate Technology, Inc. Magnetic microactuator with capacitive position sensor
US6859345B2 (en) 1999-08-17 2005-02-22 Seagate Technology Llc Bending microactuator having a two-piece suspension design
US6473259B1 (en) 1999-09-24 2002-10-29 Seagate Technology Llc Disk head height control
US6574077B1 (en) 1999-12-02 2003-06-03 Seagate Technology Llc Microactuator assembly having improved standoff configuration
EP1122721A1 (en) 2000-02-02 2001-08-08 STMicroelectronics S.r.l. Process for manufacturing a microintegrated structure protected against contaminating particles, and thereby obtained microintegrated structure
US6697232B1 (en) 2000-03-24 2004-02-24 Seagate Technology Llc Bonded transducer-level electrostatic microactuator for disc drive system
US6493177B1 (en) 2000-03-30 2002-12-10 Seagate Technology Llc Microactuator assisted seek and hysteresis correction method and apparatus for a disk drive
US6683757B1 (en) 2000-04-05 2004-01-27 Seagate Technology Llc Slider-level microactuator for precise head positioning
US6785086B1 (en) 2000-04-05 2004-08-31 Seagate Technology Llc Transducer-level microactuator with dual-axis control
US6760195B2 (en) 2000-04-17 2004-07-06 Seagate Technology Llc Intrinsically excitable actuator assembly
US6721124B2 (en) 2000-05-09 2004-04-13 Maxtor Corporation Method and apparatus for providing an intelligent settle scheme for a hard disk drive with dual stage actuators
US6744589B2 (en) 2000-05-10 2004-06-01 Seagate Technology Llc Single-sided unipolar device driver for a piezoelectric transducer in a disc drive
US6683758B2 (en) 2000-06-01 2004-01-27 Seagate Technology Llc Fabrication method for integrated microactuator coils
US6765766B2 (en) 2000-07-11 2004-07-20 Seagate Technology Llc Bonding tub improved electromagnetic microactuator in disc drives
US6851120B2 (en) * 2000-07-13 2005-02-01 Seagate Technology Llc Micro-actuator structure for improved stability
SG92724A1 (en) 2000-07-24 2002-11-19 Inst Data Storage Head suspension assembly with piezoelectric beam micro actuator
US6954339B2 (en) 2000-10-04 2005-10-11 Seagate Technology Llc Suspension assembly including a shape memory flexure element to adjust flexure or preload force
US6765765B2 (en) 2000-10-04 2004-07-20 Seagate Technology Llc Head gimbal assembly with in-situs adjustable pitch and roll
US6778350B2 (en) 2000-10-06 2004-08-17 Seagate Technology Llc Feed forward control of voice coil motor induced microactuator disturbance
CN1188849C (zh) * 2000-11-23 2005-02-09 新科实业有限公司 带有优化的悬挂装置的旋转压电微动臂机构
US6614628B2 (en) 2001-01-19 2003-09-02 Seagate Technology Llc Moving coil micro actuator with reduced rotor mass
JP3631688B2 (ja) 2001-03-19 2005-03-23 アルプス電気株式会社 磁気ヘッド装置
US7006333B1 (en) * 2001-06-28 2006-02-28 Magnecomp Corporation Suspension with flexure mounted microactuator
US6725526B2 (en) 2002-01-14 2004-04-27 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Method of forming microsuspension assemblies for direct access storage devices
US6930860B1 (en) 2002-02-12 2005-08-16 Maxtor Corporation Micro-flexure suspension including piezoelectric elements for secondary actuation
US6833978B2 (en) 2002-04-24 2004-12-21 Hitachi Global Storage Technologies Micro-actuator integrated lead suspension head terminations
EP1359569A1 (en) * 2002-05-03 2003-11-05 STMicroelectronics S.r.l. Read/write assembly for magnetic hard disks
US7149060B2 (en) * 2002-10-01 2006-12-12 Magnecomp Corporation Actuation device and method for high density hard disk drive head
US20040061969A1 (en) * 2002-10-01 2004-04-01 Kr Precision Public Company Limited Method and structure for operating high density hard disk drive head using piezo electric drive
US20040125511A1 (en) * 2002-12-26 2004-07-01 Kr Precision Public Company Limited Method and apparatus for fine tuning read/write head on hard disk drive and integrated fabrication process
US20040125509A1 (en) * 2002-12-27 2004-07-01 Kr Precision Public Company Limited Method for fabricating multilayered thin film PZT structures for small form factors
US20040125508A1 (en) * 2002-12-27 2004-07-01 Kr Precision Public Company Limited Method and apparatus for forming a plurality of actuation devices on suspension structures for hard disk drive suspension
US7375930B2 (en) 2002-12-27 2008-05-20 Magnecomp Corporation Apparatus for PZT actuation device for hard disk drives
JP4583715B2 (ja) * 2003-01-08 2010-11-17 信越化学工業株式会社 磁気ヘッド用サスペンション
US6879468B2 (en) * 2003-01-08 2005-04-12 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Magnetic head actuator having an improved microactuator oscillatably supported by metallic micro-beams
US7230800B2 (en) * 2003-07-24 2007-06-12 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Microactuator for a hard disk drive with an integrated gimbal function
US6831539B1 (en) 2003-08-28 2004-12-14 Seagate Technology Llc Magnetic microactuator for disc with integrated head connections and limiters drives
US7417830B1 (en) 2005-08-31 2008-08-26 Magnecomp Corporation Head gimbal assembly with dual-mode piezo microactuator
US8228641B2 (en) * 2009-11-03 2012-07-24 Seagate Technology Llc Controlling mechanical distortion in a member
US8885299B1 (en) 2010-05-24 2014-11-11 Hutchinson Technology Incorporated Low resistance ground joints for dual stage actuation disk drive suspensions
WO2013138619A1 (en) 2012-03-16 2013-09-19 Hutchinson Technology Incorporated Mid-loadbeam dual stage actuated (dsa) disk drive head suspension
WO2014035591A1 (en) 2012-08-31 2014-03-06 Hutchinson Technology Incorporated Damped dual stage actuation disk drive suspensions
US8681456B1 (en) 2012-09-14 2014-03-25 Hutchinson Technology Incorporated Co-located gimbal-based dual stage actuation disk drive suspensions
WO2014059128A2 (en) 2012-10-10 2014-04-17 Hutchinson Technology Incorporated Co-located gimbal-based dual stage actuation disk drive suspensions with dampers
US8941951B2 (en) 2012-11-28 2015-01-27 Hutchinson Technology Incorporated Head suspension flexure with integrated strain sensor and sputtered traces
US8891206B2 (en) 2012-12-17 2014-11-18 Hutchinson Technology Incorporated Co-located gimbal-based dual stage actuation disk drive suspensions with motor stiffener
US8699186B1 (en) 2013-02-22 2014-04-15 Magnecomp Corporation DSA suspension with mid-load beam mounted dual actuators
US8896969B1 (en) 2013-05-23 2014-11-25 Hutchinson Technology Incorporated Two-motor co-located gimbal-based dual stage actuation disk drive suspensions with motor stiffeners
US8717712B1 (en) 2013-07-15 2014-05-06 Hutchinson Technology Incorporated Disk drive suspension assembly having a partially flangeless load point dimple
US8792214B1 (en) 2013-07-23 2014-07-29 Hutchinson Technology Incorporated Electrical contacts to motors in dual stage actuated suspensions
US8675314B1 (en) 2013-08-21 2014-03-18 Hutchinson Technology Incorporated Co-located gimbal-based dual stage actuation disk drive suspensions with offset motors
US10276776B2 (en) 2013-12-24 2019-04-30 Viking At, Llc Mechanically amplified smart material actuator utilizing layered web assembly
US8896970B1 (en) 2013-12-31 2014-11-25 Hutchinson Technology Incorporated Balanced co-located gimbal-based dual stage actuation disk drive suspensions
US8867173B1 (en) 2014-01-03 2014-10-21 Hutchinson Technology Incorporated Balanced multi-trace transmission in a hard disk drive flexure
US8834660B1 (en) 2014-01-07 2014-09-16 Hutchinson Technology Incorporated Visco pad placement in disk drives
US9153283B1 (en) * 2014-09-30 2015-10-06 Western Digital Technologies, Inc. Data storage device compensating for hysteretic response of microactuator
US9070392B1 (en) 2014-12-16 2015-06-30 Hutchinson Technology Incorporated Piezoelectric disk drive suspension motors having plated stiffeners
US9318136B1 (en) 2014-12-22 2016-04-19 Hutchinson Technology Incorporated Multilayer disk drive motors having out-of-plane bending
US9296188B1 (en) 2015-02-17 2016-03-29 Hutchinson Technology Incorporated Partial curing of a microactuator mounting adhesive in a disk drive suspension
US9734852B2 (en) 2015-06-30 2017-08-15 Hutchinson Technology Incorporated Disk drive head suspension structures having improved gold-dielectric joint reliability
US9646638B1 (en) 2016-05-12 2017-05-09 Hutchinson Technology Incorporated Co-located gimbal-based DSA disk drive suspension with traces routed around slider pad

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4814908A (en) * 1986-12-03 1989-03-21 Magnetic Peripherals Inc. Thermo servo for track centering on a disk
US4858040A (en) * 1987-08-25 1989-08-15 Ampex Corporation Bimorph actuator for a disk drive
JP3064336B2 (ja) * 1989-06-28 2000-07-12 株式会社日立製作所 情報取扱い装置およびデイスク装置
US5216559A (en) * 1990-06-01 1993-06-01 Iomega Corporation Carrier structure for read/write heads
JP2607756B2 (ja) * 1990-07-18 1997-05-07 シーゲイト テクノロジー インターナショナル 磁気ディスクのトラック上でトランスデューサーを位置決めする装置
EP0518626A3 (en) * 1991-06-10 1993-03-17 Fujitsu Limited Magnetic disk drive and method for assembling the same
DE69220468T2 (de) * 1991-07-23 1997-10-16 Fujitsu Ltd Gerät zur feineinstellung eines kopfes
DE69227660T2 (de) * 1991-09-18 1999-04-22 Fujitsu Ltd., Kawasaki, Kanagawa Speicher mit hin- und herbewegendem Kopf
DE69232043T2 (de) * 1992-02-19 2002-03-21 Tandberg Data Asa, Oslo Verfahren und Vorrichtung zur Positionierung eines Magnetkopfes
US5535074A (en) * 1992-05-04 1996-07-09 Read-Rite Corporation Disk drive apparatus having up and down head supsensions independently loadable into a space between immediately adjacent disks
US5359474A (en) * 1992-09-18 1994-10-25 Riederer Thomas P System for the sub-micron positioning of a read/write transducer
EP0591885B1 (en) * 1992-10-06 1998-01-28 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Piezoelectric head actuator
JPH07201148A (ja) * 1993-12-29 1995-08-04 Toshiba Corp 磁気ディスク装置
US5521778A (en) * 1994-08-30 1996-05-28 International Business Machines Corporation Disk drive with primary and secondary actuator drives
US5539596A (en) * 1994-12-29 1996-07-23 International Business Machines Corporation Integrated suspension, actuator arm and coil assembly with common structural support layer

Also Published As

Publication number Publication date
US5657188A (en) 1997-08-12
US5793571A (en) 1998-08-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH09128917A (ja) ディスクドライブサスペンション
JP4143171B2 (ja) 懸架装置用のベースプレートに据え付けられたマイクロアクチュエータ
US6078473A (en) Gimbal flexure for use with microactuator
US6590748B2 (en) Combined servo-tracking and preload-controlling microactuator
JP3282823B2 (ja) マルチピース一体型サスペンション・アセンブリ、その作成方法および磁気記憶システム
US5454158A (en) Method of making integral transducer-suspension assemblies for longitudinal recording
US5560097A (en) Method of making a integrated transducer-suspension assembly for vertical recording
US6930860B1 (en) Micro-flexure suspension including piezoelectric elements for secondary actuation
US6597539B1 (en) Suspension assembly for supporting a read/write head over a rotating storage disk with dynamically adjustable fly height
US6201668B1 (en) Gimbal-level piezoelectric microactuator
US5867347A (en) Head suspension with stacked coil microactuator for tracking axis adjustment of a read/write head
EP0548290A4 (en) Improved reverse rail head suspension
US20230260541A1 (en) Low Profile Suspension Design
JP2001143415A (ja) マイクロアクチュエータ
JP2982761B2 (ja) 磁気ヘッド位置決め機構
JP2023512245A (ja) サスペンションダンピング
JPH09153263A (ja) 一体型リードサスペンション
US6271995B1 (en) Magnetic head for recording with ultra low force
JP3584306B2 (ja) 磁気記録装置
US7929249B2 (en) Spring loaded head for reduced fly height and tracking control
JPH1153854A (ja) ヘッド支持機構とそれを備えた磁気ディスク装置
JPS6353751A (ja) 磁気ヘツド支持装置
JP2001057040A (ja) ヘッドサスペンション、ヘッド・ジンバル組立体、およびアクチュエータ