JPH09131561A - 塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造装置および製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 スリットダイの軽量化を図り、均一な塗膜の
形成を安定して行うことができる塗布装置および塗布方
法並びにカラーフィルタの製造装置および製造方法を提
供する。 【解決手段】 塗布方法を実施し、カラーフィルタの製
造に使用される塗布装置は、フロントリップ５８および
リアリップ６０からなるスリットダイ４０と、これらフ
ロントリップ５８とリアリップ６０との間に形成され、
その下端開口が吐出口７０として規定されたスリット６
８と、フロントリップ５８に設けられ、スリット６８お
よび吐出口７０の大きさを調整する複数の差動ねじ８０
とを備えており、各差動ねじ８０はその軸線がスリット
６８に沿いほぼ平行に延びている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、塗布装置および
塗布方法に係わり、特に平坦な枚葉部材の表面に塗布液
を吐出しながら塗膜を形成すカラー液晶ディスプレイ用
のカラーフィルタの製造に適した塗布装置および塗布方
法並びにこれら装置および方法を用いたカラーフィルタ
の製造装置および製造方法に関する。

【０００２】

【関連する背景技術】カラー液晶ディスプレイ用のカラ
ーフィルタは、ガラス基板上に３原色の細かな格子模様
を有しており、このような格子模様はガラス基板上に黒
色の塗膜を形成した後、赤、青、緑の３原色に塗り分け
て得られる。それゆえ、カラーフィルタの製造には、ガ
ラス基板上に黒、赤、青、緑の塗布液を塗布して塗膜を
形成するための塗布工程が不可欠となる。この種の塗布
工程には従来、塗布装置としてスピナー、バーコータあ
るいはロールコータが使用されていたが、塗布液の消費
量を削減し、また、塗膜の物性を向上する上で、近年に
至ってはダイコータの使用が検討されている。

【０００３】ダイコータは塗布液を吐出する塗布器いわ
ゆるスリットダイを備えており、このスリットダイはた
とえば実開平2-25073号公報に開示されている。この公
知のスリットダイは上方に向けて開口した吐出口を有
し、この吐出口から塗布液がウエブに向けて吐出され、
これにより、そのウエブ上に塗布液の塗膜が形成される
ことになる。

【０００４】より詳しくは、スリットダイはウエブの走
行方向でみて前後に位置した一対のリップを有してお
り、これらリップ間にて形成されたスリットの開口端が
吐出口として規定されている。そして、一方のリップ
は、吐出口側に位置したネック部を有しており、このネ
ック部はそのリップの外面にその幅方向に沿って延びる
溝により形成されている。さらに、リップには溝を横断
するようにして複数の調整ボルトが取り付けられてお
り、これら調整ボルトはその進退によりリップのネック
部を弾性的に撓ませ、これにより、スリットの間隙幅、
つまり、吐出口の間隙幅がスリットダイの幅方向に均一
となるように微調整可能となっている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】公知のスリットダイ
は、バックロールに巻き付きながら走行するウエブに対
して塗布液を上向きに吐出するものであるため、そのス
リットダイを単に下向きに配置しても、ガラス基板のよ
うな枚葉部材にはそのままでは適用することができな
い。

【０００６】つまり、上述した調整ボルトはそのボルト
軸線がスリットに向かうようにして取り付けられている
ため、調整ボルト側のリップはウエブの走行方向に沿う
厚みが大きく確保されており、このため、スリットダイ
はその重量が重くなっている。さらに、近年、カラー液
晶ディスプレイの大型化により、ガラス基板の幅も増大
する傾向にあり、これに伴い、スリットダイ自体の幅も
広く確保する必要がある。このため、スリットダイの重
量はますます増加することになる。通常、スリットダイ
はその両端にて支持されるため、その自重が増加する
と、スリットダイ自体に撓みが発生し、その吐出口とガ
ラス基板との間のクリアランスが吐出口の幅方向に沿っ
て一様ではなくなり、ガラス基板上に塗膜を均一な膜厚
で形成できなくなってしまう。

【０００７】この発明は、上述した事情に基づいてなさ
れたもので、その目的とするところは、塗布器の軽量化
を図り、被塗布部材上に均一な膜厚で安定して塗膜を形
成することができる塗布装置および塗布方法並びにカラ
ーフィルタの製造装置および製造方法を提供することに
ある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の目的は、この発明
の塗布装置および塗布方法、並びに、カラーフィルタの
製造装置および製造方法によって達成され、請求項１の
塗布装置は、塗布液を供給する供給手段と、この供給手
段から供給された塗布液を吐出するための一方向に延び
る吐出口を有した塗布器と、塗布器または被塗布部材の
いずれか一方を相対的に移動させる移動手段とを備えて
おり、そして、その塗布器は、被塗布部材の相対的な進
行方向でみた場合、その進行方向に沿って配置された一
対のリップと、これらリップ間に形成されたリップ間隙
と、一対のリップのうちの一方にリップに吐出口の長手
方向に配列された複数のリップ間隙調整ボルトを備えて
おり、これらリップ間隙調整ボルトのボルト軸線は被塗
布部材の面とのなす角度が９０°を中心として進行方向
の前後２０°の範囲内にある。

【０００９】請求項１の塗布装置によれば、各リップ間
隙調整ボルトはリップ間のリップ間隙に対してほぼ平行
に延びているので、被塗布部材の相対的な進行方向でみ
た塗布器の厚みに関し、その薄肉化が図られる。したが
って、塗布器の軽量化が図れ、被塗布部材の表面に形成
される塗膜はその膜厚が均一となる。請求項２の塗布装
置は各リップ間隙調整ボルトが差動ねじからなってお
り、この場合、これら差動ねじの進退を介してリップ間
隙および吐出口の大きさが微調整される。

【００１０】請求項３の塗布装置は、リップ間隙が０．
０５mm以上、０．３mm以下に設定されており、この場
合、吐出口からの塗布液は一様かつ安定して吐出され
る。請求項４の塗布装置は被塗布部材として枚葉部材が
用いられ、この場合、枚葉部材の表面に均一な厚みの塗
膜が形成される。請求項５のカラーフィルタの製造装置
は、上述した塗布器の１つを用いてカラーフィルタを製
造するものとなっており、この場合、製造されたカラー
フィルタは高品質となる。

【００１１】請求項６の塗布方法は、請求項１の塗布装
置を使用し、この塗布器の吐出口から塗布液を吐出しな
がら、塗布器または被塗布部材のいずれか一方を相対的
に移動させることにより、被塗布部材の表面に塗布液の
塗膜を形成し、この場合、請求項１の塗布装置と同様な
作用が発揮される。請求項７のカラーフィルタの製造方
法は、請求項６の塗布方法によりカラーフィルタを製造
し、この場合、製造されたカラーフィルタは高品質なも
とのなる。

【００１２】

【発明の実施の形態】図１を参照すると、カラーフィル
タの製造に適用された塗布装置いわゆるダイコータが示
されており、ダイコータは基台２を備えている。基台２
上には一対のガイド溝レール４が設けられており、これ
らガイド溝レール４には、ステージ６が配置され、この
ステージ６の上面はサクション面として構成されてい
る。ステージ６はガイド溝レール４上を水平方向に往復
動自在となっている。詳しくはステージ６の下面からは
一対のスライド脚８が突出されており、これらスライド
脚８が対応するガイド溝レール４に摺動自在に嵌合され
ている。各ガイド溝レール４を構成する外側のプレート
部材４ａは、その上端縁がほぼ直角にして内側に折り曲
げられ、ステージ６のスライド脚８に形成したサイド溝
１０にはめ込まれている。

【００１３】一対のガイド溝レール４間には送り機構を
内蔵したケーシング１２が配置されており、ケーシング
１２はガイド溝レール４に沿って延びている。送り機構
は、図２に示されているようにボールねじからなるフィ
ードスクリュー１４を有しており、フィードスクリュー
１４はステージ６の下面に固定されたナット状のコネク
タ１６にねじ込まれ、このコネクタ１６を貫通して延び
ている。フィードスクリュー１４の両端部は図示しない
軸受に回転自在に支持されており、その一端にはＡＣサ
ーボモータ１８が連結されている。なお、ケーシング１
２の上面にはコネクタ１６の移動を許容する開口が形成
されているが、図１にはその開口が省略されている。

【００１４】基台２の上面にはその一端側に位置してセ
ンサ支柱２０が配置されている。センサ支柱２０は逆Ｌ
字形をなし、その先端は一方のガイド溝レール４の上方
まで延びている。センサ支柱２０の先端には電動型の昇
降アクチュエータ２１が取り付けられており、この昇降
アクチュエータ２１に厚みセンサ２２が下向きして取り
付けられている。厚みセンサ２２としてはレーザ変位
計、電子マイクロ変位計、超音波厚さ計などを使用する
ことができる。

【００１５】さらに、基台２の上面にはセンサ支柱２０
よりも基台２の中央側に位置してダイ支柱２４が配置さ
れており、このダイ支柱２４もまた逆Ｌ字形をなしてい
る。ダイ支柱２４の先端には昇降機構２６が取り付けら
れており、昇降機構２６は図１には詳細に示されていな
いけれども、昇降ブラケットを備えており、この昇降ブ
ラケットは一対のガイドロッドに昇降自在に取り付けら
れている。これらガイドロッド間にはボールねじからな
るフィードスクリューが配置されており、このフィード
スクリューは昇降ブラケットを貫通するようにして、こ
の昇降ブラケットにねじ込まれている。フィードスクリ
ューの上端部はガイドロッドおよびフィードスクリュー
を収容するケーシング２８に軸受を介して回転自在に支
持されており、その上端にはＡＣサーボモータ３０が連
結されている。

【００１６】昇降ブラケットには、コ字形をなしたダイ
ホルダ３２が垂直面内で回転自在に取り付けられてお
り、このダイホルダ３２は一対のガイド溝レール４の上
方をこれらガイド溝レール４間に亘って水平に延びてい
る。さらに、昇降ブラケットには、ダイホルダ３２の上
方に位置して水平バー３６が固定されており、この水平
バー３６はダイホルダ３２に沿って延びている。水平バ
ー３６の両端部には、空圧型の調整アクチュエータ３８
がそれぞれ取り付けられている。これら調整アクチュエ
ータ３８は水平バー３６の下面から突出する伸縮可能な
ロッドを有しており、これらロッドがダイホルダ３２の
両端に当接されている。

【００１７】ダイホルダ３２内には塗布器としてのスリ
ットダイ４０が取り付けられている。図２に示されてい
るようにスリットダイ４０からは塗布液の供給ホース４
２が延びており、この供給ホース４２の先端はシリンジ
ポンプ４４の電磁切換え弁４６の供給ポートに接続され
ている。電磁切換え弁４６の吸引ポートからは吸引ホー
ス４８が延びており、この吸引ホース４８の先端部は、
塗布液を蓄えたタンク５０内に挿入されている。

【００１８】シリンジポンプ４４のポンプ本体５２は、
電磁切換え弁４６の切換え作動により供給ホース４２お
よび吸引ホース４８の一方に選択的に接続可能となって
いる。そして、これら電磁切換え弁４６およびポンプ本
体５２はコンピュータ５４に電気的に接続され、このコ
ンピュータ５４からの制御信号を受けて、それらの作動
が制御されるようになっている。また、コンピュータ５
４は前述した昇降アクチュエータ２１および厚みセンサ
２２もまた電気的に接続されている。

【００１９】さらに、シリンジポンプ４４の作動を制御
するため、コンピュータ５４にはシーケンサ５６もまた
電気的に接続されている。このシーケンサ５６は、ステ
ージ６側のフィードスクリュー１４のＡＣサーボモータ
１８や、昇降機構２６つまりそのＡＣサーボモータ３０
の作動をシーケンス制御するものであり、そのシーケン
ス制御のために、シーケンサ５６にはＡＣサーボモータ
１８，３０の作動状態を示す信号、ステージ６の移動位
置を検出する位置センサ５８からの信号、スリットダイ
４０の作動状態を検出するセンサ（図示しない）からの
信号などが入力され、一方、シーケンサ５６からはシー
ケンス動作を示す信号がコンピュータ５４に出力される
ようになっている。なお、位置センサ５８を使用する代
わりに、ＡＣサーボモータ１８にエンコーダを組み込
み、このエンコーダから出力されるパルス信号に基づ
き、シーケンサ５６にてステージ６の位置を検出するこ
とも可能である。

【００２０】図示されていないが、ダイコータには、ス
テージ６上に枚葉部材としてカラーフィルタのためにガ
ラス基板Ａを供給するためのローダや、ステージ６から
ガラス基板Ａを取り外すためのアンローダが備えられて
おり、これらローダ、アンローダにはその主要構成部分
にたとえば円筒座標系産業用ロボットを使用することが
できる。

【００２１】図１から明らかなように前述したスリット
ダイ４０は、一対のガイド溝レール４間に亘り、ステー
ジ６の往復動方向と直交する方向に水平に延び、その両
端にてダイホルダ３２に支持されている。ここで、スリ
ットダイ４０の水平調整は、水平バー３６の両端に設け
た調整アクチュエータ３８の伸縮ロッドを進退させ、ダ
イホルダ３２をその回転軸線の回りに回転させることに
より行うことができる。

【００２２】図３を参照すれば、スリットダイ４０の詳
細が示されている。このスリットダイ４０は長尺なブロ
ック形状をなしたフロントリップ５８およびリアリップ
６０を備えており、これらリップ５８，６０はステージ
６の往復動方向（図３中矢印Ｂ方向）でみて前後に張り
合わせられ、互いに一体的に結合されている。なお、フ
ロントリップ５８およびリアリップ６０はステージ６の
往動方向でみて前後に位置付けられている。

【００２３】フロントリップ５８の下面はリアリップ６
０側の部分が下方に向けて突出し、一方、リアリップ６
０の後面下部にはフロントリップ５８の下面に連なるよ
うにして傾斜面が形成されており、これにより、スリッ
トダイ４０の下面中央にその幅方向に延びるノズル部６
２が形成されている。スリットダイ４０内の中央部分に
はマニホールド６４が形成されており、このマニホール
ド６４はスリットダイ４０の長手方向、すなわち、ステ
ージ６の往復動方向と直交する方向に延びている。マニ
ホールド６４は前述した塗布液の供給ホース４２に内部
通路６６（図４参照）を介して常時接続されている。

【００２４】マニホールド６４からは下方に向けてスリ
ット６８が垂直に延びており、このスリット６８はスリ
ットダイ４０におけるノズル部６２の下端に開口してい
る。スリット６４の下端開口、つまり、吐出口７０はマ
ニホールド６４と同様にステージ６の往復動方向と直交
する方向に延びている。具体的にはスリット６８は、フ
ロントリップ５８とリアリップ６０との間にシム（図示
しない）を介在させて形成されており、このシムの厚み
により、スリット６８および吐出口７０の隙間はたとえ
ば０．０５mm以上、０．３mm以下に設定されている。

【００２５】そして、たとえばフロントリップ５８の前
面には吐出口７０側に位置して溝７２が形成されてい
る。この溝７２はフロントリップ５８の両端に亘って水
平に延びて、フロントリップ５８を上側部分７４と下側
部分７６とに区分しており、これら上側部分７４と下側
部分７６とはネック部７８を介して相互に連結されてい
る。

【００２６】フロントリップ５８には複数の差動ねじ８
０を有した調整機構が備えられており、これら差動ねじ
８０は吐出口７０の長手方向に等間隔を存して配置され
ている。各差動ねじ８０およびその取り付けに関して詳
述すると、フロントリップ５８の上側部分７４には上下
方向に貫通して、ねじ孔が形成されており、このねじ孔
に差動ねじ８０の親ねじ８２が上方からねじ込まれてい
る。親ねじ８２はフロントリップ５８の上面から突出し
たヘッド８４を有し、このヘッド８４を回すことで、そ
のねじ孔内を進退することができる。

【００２７】親ねじ８２内にはその下端に開口するねじ
孔が同心的に形成されており、このねじ孔には子ねじ８
６が下方からねじ込まれている。この子ねじ８６の下端
はナット８８にねじ込まれており、このナット８８はフ
ロントリップ５８の下側部分７６に固定されている。し
たがって、フロントリップ５８の上側部分７４と下側部
分７６とは差動ねじ８０を介して相互に連結されてい
る。

【００２８】親ねじ８２および子ねじ８６のねじの向き
は同一であり、そして、親ねじ８２のねじピッチＰ1
は、子ねじ８６のねじピッチＰ2よりも大きく設定され
ている。そして、図３から明らかなように差動ねじ８０
の軸線Ｎと往復動方向Ｂとのなす角度θは９０°を中心
とし、スライダ６の往復動方向でみて前後２０°の範囲
内にある。つまり、θは７０°〜１１０°の範囲にあ
り、差動ねじ８０はスリット６８にほぼ沿って延びてい
る。すなわち、本実施例では、往復動方向Ｂとガラス基
板Ａの平面方向とが一致しているから、両者の方向は一
致している。要は、各差動ねじ８０のボルト軸線はガラ
ス基板、つまり、被塗布部材の面とのなす角度が９０°
を中心として進行方向の前後７０°〜１１０°の範囲内
にあることが必要である。

【００２９】次に、カラーフィルタの製造に係わる一工
程、つまり、上述したダイコータを使用して行われる塗
布方法を説明する。まず、ダイコータにおける各作動部
の原点復帰が行われると、ステージ６は厚みセンサ２２
の下方に位置付けられ、また、タンク５０から吸引ホー
ス４８および供給ホース４２を経て、スリットダイ４０
内のマニホールド６２およびスリット６４内に至る経路
内は塗布液で満たされている。

【００３０】この状態で、図示しないローダからステー
ジ６上にガラス基板Ａが供給され、このガラス基板Ａは
ステージ６上にサクション圧を受けて保持される。ここ
で、ガラス基板Ａは、スリットダイ４０における吐出口
６６の吐出幅Ｗよりも広い幅寸法を有している。ガラス
基板Ａのローディングが完了すると、厚みセンサ２２が
所定の位置まで下降され、ガラス基板Ａの厚みが厚みセ
ンサ２２により測定される。測定後、厚みセンサ２２は
元の位置まで上昇される。

【００３１】上述したガラス基板Ａのローディングの開
始と同時に、シリンジポンプ４４の電磁切換え弁４６が
ポンプ本体５２と吸引ホース４８とを接続すべく切換え
作動され、そして、ポンプ本体５２にタンク５０内の塗
布液を吸引ホース４８を通じて吸引する吸引動作を行わ
せる。シリンジポンプ４４内に所定量の塗布液が吸引さ
れると、シリンジポンプ４４の電磁切換弁４６はポンプ
本体５２と供給ホース４２とを接続すべく切換え作動さ
れ、そして、ステージ６はスリットダイ４０に向けて往
動され、スリットダイ４０の直前で停止される。この
後、スリットダイ４０が下降され、スリットダイ４０の
下面とガラス基板Ａの上面との間に所定のクリアラン
ス、すなわち、形成すべき塗膜の厚さに対して数倍、た
とえば０．１mmのクリアランスＨ（図５参照）が確保さ
れる。クリアランスＨは、厚みセンサ２２により測定し
たガラス基板Ａの厚さを考慮し、ステージ６とスリット
ダイ４０との間の距離を測定する距離センサ（図示しな
い）からの出力信号に基づき、スリットダイ４０の下降
を制御することで正確に決定される。

【００３２】次に、ステージ６をさらに往動させ、ガラ
ス基板Ａの上面において、塗膜の開始すべきスタートラ
インをスリットダイ４０の吐出口６６の直下に位置付
け、ステージ６を一旦停止させる。このステージ６の一
旦停止と実質的に同時に、シリンジポンプ４４に塗布液
の吐出動作を開始させ、塗布液をスリットダイ４０に向
けて供給する。したがって、スリットダイ４０の吐出口
６６からガラス基板Ａ上に塗布液Ｌが吐出される。ここ
で、吐出口６６はその間隙がスリットダイ４０の長手方
向、つまり、ステージ６の往復動方向に沿って一定であ
るから、吐出口６６からはガラス基板Ａのスタートライ
ンに沿って一様に塗布液Ｌが吐出され、この結果、スリ
ットダイ４０とガラス基板Ａとの間にはメニスカスを有
する液溜まりＣ（図２参照）がスタートラインに沿って
形成される。

【００３３】このような液溜まりＣの形成と同時に、吐
出口６からの塗布液Ｌの吐出を継続しながら、ステージ
６を一定の速度で往動方向に進行させると、図２に示さ
れているようにガイド基板Ａの上面に塗布液Ｌの塗膜Ｄ
が連続して形成される。なお、塗膜Ｄの形成にあたって
は、ステージ６の往動を一旦停止することなく、ガラス
基板Ａのスタートラインがスリットダイ４０の吐出口６
６を通過するタイミングにて、吐出口６６から塗布液Ｌ
を吐出するようにしてもよい。

【００３４】ステージ６の進行に伴い、ガラス基板Ａ上
にて塗膜Ｄの形成を終了すべきフィニッシュラインがス
リットダイ４０と吐出口６６の直前位置に到達すると、
この時点で、シリンジポンプ４４の吐出動作が停止され
る。このようにしてスリットダイ４０の吐出口６６から
の塗布液Ｌの吐出が停止されても、ガラス基板Ａの上面
の液溜まりＣの塗布液を消費（スキーズ）しながら、塗
膜Ｄの形成がフィニッシュラインまで継続される。な
お、ガラス基板Ａ上のフィニッシュラインがスリットダ
イ４０の吐出口６６を通過した時点で、シリンジポンプ
４４の吐出動作を停止するようにしてもよい。

【００３５】ガラス基板Ａ上のフィニッシュラインが吐
出口６６を通過する時点または通過した時点で、シリン
ジポンプ４４の吸引動作がわずかに行われ、これによ
り、スリットダイ４０のスリット６４内の塗布液Ｌはマ
ニホールド６２側に吸引される。この後、スリットダイ
４０は元の位置まで上昇され、スリットダイ４０からの
塗布液Ｌの吐出工程が終了する。なお、スリットダイ４
０の上昇位置にて、その下端面に付着している塗布液Ｌ
がクリーナ（図示しない）により拭き取られる。

【００３６】一方、ステージ６の往動は、塗布液Ｌの吐
出工程が終了しても継続されており、ステージ６がガイ
ド溝レール４の終端に到達した時点で、その往動が停止
される。この状態で、塗膜Ｄが形成されたガラス基板Ａ
はアンローダによりステージ６上から取り外される。こ
の後、ステージ６は復動され、図１に示す初期位置に戻
されて一連の塗布工程が終了する。初期位置にて、ステ
ージ６は新たなガラス基板がローディングされるまで待
機する。

【００３７】上述したガラス基板Ａ上への塗膜Ｄの形成
に関し、その膜厚を均一にするには、スリットダイ４０
におけるスリット６８、つまり、その吐出口７０の間隙
幅をその長手方向に沿って均一に調整しなければならな
いが、この調整は各差動ねじ８０により行うことができ
る。すなわち、差動ねじ８０の親ねじ８２がたとえば１
回転されると、その子ねじ８６は、親ねじ８２のねじピ
ッチＰ1と子ねじ８６のねじピッチＰ2と差に基づき進退
する。この進退はフロントリップ５８のネック部７８を
弾性的に撓ませ、これにより、スリットダイ４０におけ
る吐出口７０の間隙幅をその長手方向に均一に調整する
ことができる。ここで、差動ねじ８０はその軸線がスリ
ット６８に沿って取り付けられているために、その子ね
じ８６の進退がスリット６８の間隙幅を直接的に変化さ
せることはない。つまり、子ねじ８６の進退量に対する
吐出口７０の間隙調整量を小さく抑えることができ、そ
の微調整が可能となる。

【００３８】また、上述したように各差動ねじ８０はス
リット６８に沿って取り付けられているため、フロント
リップ５８において、そのステージ６の往動方向に沿う
厚みを増加させることなく、各差動ねじ８０の取り付け
が可能となる。したがって、フロントリップ５８の薄肉
化が可能となり、たとえガラス基板Ａの大型化に伴い、
スリットダイ４０の幅が広くなったとしてもスリットダ
イ４０の自重を軽量化することができる。

【００３９】スリットダイ４０の自重が軽いと、図４中
の２点鎖線で示されているようなスリットダイ４０の撓
みが殆ど無視できる程度まで抑えられるので、スリット
ダイ４０の吐出口７０とガラス基板Ａとの間のクリアラ
ンスが吐出口７０の長手方向に沿ってほぼ均一となる。
この結果、ガラス基板Ａ上への塗膜Ｄの形成に関して、
その膜厚を安定して均一にすることができる。図４で
は、スリットダイ４０がその両端で支持されていること
を明瞭に示すため、その支持構造を誇張して示してあ
る。

【００４０】スリットダイ４０においては、スリット６
８の間隙が０．０５〜０．３mmの範囲に設定されている
ことから、吐出口７０からの塗布液Ｌの吐出がより一様
となる。すなわち、スリット６８の間隙が０．０５mm以
上に確保されていると、スリット６８を規定するフロン
トリップ５８およびリアリップ６０の内面に関して、加
工精度上、その平面性を十分に確保できる。一方、スリ
ット６８の間隙が０．３mmを越えてしまうと、スリット
６８およびマニホールド６４内の塗布液の吐出圧を十分
に保持することが困難になり、吐出口７０から一様に塗
布液Ｌを吐出することができない。

【００４１】上述したように一実施例では枚葉部材に対
しての塗布に関して説明したが、この発明は被塗布部材
が帯状の長尺なもの、また、エンドレスのものでも適用
でき、この場合、塗布器はその被塗布部材に対して連続
塗布を行うことになるが可能である。また、塗布器は下
向きに限らず、上向きや斜め向きであっても同様に適用
可能である。

【００４２】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１，６の塗
布装置および塗布方法によれば、被塗布部材の大型化に
伴い塗布器自体の幅が増加したとしても、軽量な塗布器
の使用が可能となるから、塗布器自体の撓みに起因した
吐出口と被塗布部材との間のクリアランスの変動を効果
的に抑えることができ、被塗布部材上に均一な膜厚の塗
膜を安定して形成することができる。請求項２の塗布装
置によれば、塗布器のリップ間隙および吐出口に対する
微調整が可能となり、請求項３の塗布装置によれば、塗
布器の吐出口からの塗布液の一様な吐出が可能となり、
請求項４の塗布装置並びに請求項５，７の製造装置およ
び製造方法によれば、高品質なカラーフィルタの製造が
可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ダイコータを示した概略斜視図である。

【図２】図１のダイコータを塗布液の供給系をも含めて
示した概略構成図である。

【図３】スリットダイを示した縦断面図である。

【図４】スリットダイにおけるフロントリップの内側の
面を示した図である。

【符号の説明】

６ ステージ １４ フィードスクリュー ４０ スリットダイ（塗布器） ４４ シリンジポンプ（供給手段） ５０ タンク ５８ フロントリップ ６０ リアリップ ６４ マニホールド ６８ スリット（リップ間隙） ７０ 吐出口 ７０ 傾斜面 ７２ 溝 ８０ 差動ねじ（リップ間隙調整ねじ） ８２ 親ねじ ８６ 子ねじ Ａ ガラス基板（被塗布部材、枚葉部材）

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 塗布液を供給する供給手段と、 前記供給手段から供給された塗布液を吐出するための一
   方向に延びる吐出口を有する塗布器と、 前記塗布器または被塗布部材のいずれか一方を相対的に
   移動させる移動手段とを備えた塗布装置において、 前記塗布器は、前記被塗布部材の相対的な進行方向でみ
   た場合、その進行方向に沿って配置された一対のリップ
   と、これらリップ間に形成されたリップ間隙と、前記一
   対のリップのうちのいずれか一方のリップに前記吐出口
   の長手方向に配列された複数のリップ間隙調整ボルトと
   を備えており、 前記リップ間隙調整ボルトのボルト軸線は前記被塗布部
   材の面とのなす角度が９０°を中心として前記進行方向
   の前後２０°の範囲内にあることを特徴とする塗布装
   置。
2. 【請求項２】 前記リップ間隙調整ボルトは差動ねじで
   あることを特徴とする、請求項１に記載の塗布装置。
3. 【請求項３】 前記リップ間隙は、０．０５mm以上、
   ０．３mm以下であることを特徴とする、請求項１または
   ２に記載の塗布装置。
4. 【請求項４】 前記被塗布部材は枚葉部材であることを
   特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載の塗布装
   置。
5. 【請求項５】 請求項１〜４のいずれかに記載の塗布装
   置を用いて、カラーフィルタを製造することを特徴とす
   るカラーフィルタの製造装置。
6. 【請求項６】 請求項１に記載の塗布器を使用し、この
   塗布器の吐出口から塗布液を吐出しながら、前記塗布器
   または前記被塗布部材のいずれか一方を相対的に移動さ
   せることにより、前記被塗布部材の表面に塗布液の塗膜
   を形成することを特徴とする塗布方法。
7. 【請求項７】 請求項６に記載の塗布方法により、カラ
   ーフィルタを製造することを特徴とするカラーフィルタ
   の製造方法。