JPH11239751A

JPH11239751A - 凹凸基材への塗液の塗布装置および方法並びにプラズマディスプレイの製造装置および方法

Info

Publication number: JPH11239751A
Application number: JP6044698A
Authority: JP
Inventors: Yoshiyuki Kitamura; 義之北村; Mamoru Kishida; 守岸田; Toshio Yasuda; 登志夫安田
Original assignee: Toray Industries Inc
Current assignee: Toray Industries Inc
Priority date: 1998-02-25
Filing date: 1998-02-25
Publication date: 1999-09-07
Anticipated expiration: 2018-02-25
Also published as: JP3912635B2

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】プラズマディスプレイのように一定の凹凸状
パターンが形成された基材の凹部に塗液を塗布するに際
し、基材のストライプ方向等に合わせて基材の凹部のみ
に精度良く均一に塗液を塗布する。【解決手段】表面に一方向にストライプ状に一定ピッ
チで凹凸部が形成されている凹凸基材を固定するテーブ
ル６と、凹凸基材の凹凸部と対面して複数の開口部４４
を有する塗液吐出装置と、塗液吐出装置に塗液を供給す
る供給手段５０と、テーブルと塗液吐出装置を３次元的
に相対移動させる移動手段とを備えた凹凸基材への塗液
の塗布装置において、凹凸基材のストライプ方向検知手
段と、塗液吐出装置の開口部検知手段と、開口部の凹部
に対する相対位置検知手段と、開口部の位置を凹凸基材
の凹部に位置決めし、ストライプ方向に沿って開口部を
凹部に対し相対的に移動させる制御手段とを有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板上に凹凸状の
特定のパターンが形成されたもの、特に一定形状の隔壁
を等ピッチで配置したプラズマディスプレイパネルや、
ストライプ形ブラックマトリックス式のカラー受像管の
パネル内面等における一定パターンの塗布に適用でき
る、凹凸基板への塗液の塗布装置および塗布方法、並び
にこれらの装置および方法を使用したプラズマディスプ
レイの製造装置および製造方法の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、ディスプレイはその方式において
次第に多様化してきている。現在注目されているものの
一つが、従来のブラウン管よりも大型で薄型軽量化が可
能なプラズマディスプレイである。これは、一定ピッチ
で一方向に延びる隔壁によりストライプ状の凹凸部をガ
ラス基板上に形成し、該凹凸部の凹部に赤（Ｒ）、緑
（Ｇ）、青（Ｂ）の蛍光体を充填し、任意の部位を紫外
線により発光させ、所定のカラーパターンを達成するも
のである。

【０００３】蛍光体がストライプ状に構成されていると
いう構造は、ストライプ形ブラックマトリックス式のカ
ラー受像管のパネルも有している。

【０００４】このような構造のものを高い生産性と高品
質で製造するには、蛍光体を一定のパターン状に、塗り
分ける技術が重要となる。

【０００５】通常は、隔壁パターンを形成後、特開平５
−１４４３７５号公報に示されるように一色の蛍光体を
全面スクリーン印刷し、必要な部分のみフォトリソグラ
フィー法で残すようにして、高精度のパターンが得られ
るようにしている。しかし、この方法では、Ｒ、Ｇ、Ｂ
の各蛍光体パターンを形成するために、各色の塗布、露
光、現像、乾燥等の工程を３回繰り返す必要があり、コ
ストがかかる上、生産性に著しく劣るという欠点を持
つ。

【０００６】単にガラス基板上にストライプ状の着色パ
ターンを形成する他の方法としては、ノズルを用いる特
開平５−１１１０５号公報や特開平５−１４２４０７公
報等に記載されている方法があるが、表面が平坦な基板
を対象に先端が平坦なノズルで３色同時に塗布するもの
であるため、表面に凹凸が形成されているものに対して
はこの技術をそのまま用いることはできない。

【０００７】また、特開昭５２−１３４３６８号公報、
特開昭５４−１３２５０号公報、特開昭５４−１３２５
１号公報等には、ストライプ形ブラックマトリックス式
のカラー受像管のパネル内面の、凸状となっているブラ
ックマトリックス間の凹部に所定の蛍光体を塗布する方
法として、蛇行防止等の制御装置を有する改良されたノ
ズル装置を用いることが示されている。しかし、一本の
ノズルを用いているために、表面の複数の凹凸部に対し
て同時に塗布する方法には適用できず、一本のノズルに
よる塗布のために時間がかかるという問題がある。

【０００８】また、ノズルを用いて平坦な基板上にスト
ライプ状に隔壁を形成する技術が特開平９−９２１３４
号公報に開示されているが、基板上に既に凹凸部が形成
されており、その凹凸部の凹部に沿うように塗液を精度
良く塗布していく工程には採用し難い。

【０００９】すなわち、本発明においては、表面に一方
向にストライプ状に一定ピッチで凹凸部が形成されてい
る凹凸基材の凹部に、複数の開口部（吐出孔）をもつノ
ズルで塗液をストライプ状に精度良く塗布することを前
提とするものであるが、とくに、このような複数の吐出
孔をもつノズルで、凹凸基材の凹部に沿って、つまり、
凹凸基材の凹部の方向（ストライプの方向）や凹部との
相対位置関係を所定の位置関係に保ちつつ、塗液を精度
良く塗布していく技術は開示されていない。

【００１０】また、このような塗布を伴うプラズマディ
スプレイ等の工業的製造工程においては、その塗布が繰
り返し行われることになるが、最初に塗液をストライプ
状に試し塗りして、それをその後の繰り返し塗布のため
の位置決めの基準にできれば、大量生産の際の凹凸基材
の凹部の位置決めや、ノズルの開口部と凹凸基材の凹部
との相対的な位置決めが、極めて容易にかつ効率よく行
える可能性があるが、このような提案もなされていな
い。

【００１１】さらに、凹凸基材の凸部の高さは、実際に
はかなりの大きさで変動するために、それに対応してノ
ズル位置を上下させないと安定して凹部のみに塗布する
ことは困難であるが、長期の生産に有効な具体的な技術
手段は開示されていない。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】そこで本発明の課題
は、プラズマディスプレイの隔壁のように、表面に一方
向にストライプ状に一定ピッチで凹凸部が形成された凹
凸基材の凹部に、とくに凹部の延在方向に沿って容易に
精度良く、かつ、均一に塗布することができ、それによ
って高生産性と高品質を実現できる、凹凸基材への塗液
の塗布装置および塗布方法並びにプラズマディスプレイ
の製造装置および製造方法を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の凹凸基材への塗液の塗布装置は、表面に一
方向にストライプ状に一定ピッチで凹凸部が形成されて
いる凹凸基材を固定するテーブルと、凹凸基材の凹凸部
と対面して複数の開口部を有する塗液吐出装置と、塗液
吐出装置に塗液を供給する供給手段と、テーブルと塗液
吐出装置を３次元的に相対移動させる移動手段とを備え
た凹凸基材への塗液の塗布装置において、凹凸基材のス
トライプ方向を直接または間接的に検知するストライプ
方向検知手段と、塗液吐出装置の開口部の位置を直接ま
たは間接的に検知する開口部検知手段と、塗液吐出装置
の開口部の凹凸基材の凹部に対する相対位置を検知する
相対位置検知手段と、塗液吐出装置の開口部の位置を凹
凸基材の凹部に位置決めするとともに、検知した凹凸基
材のストライプ方向に沿って塗液吐出装置の開口部が凹
凸基材の凹部に対し相対的に移動するように制御する制
御手段とを有することを特徴とするものからなる（第１
の装置）。

【００１４】また、本発明に係る凹凸基材への塗液の塗
布装置は、表面に一方向にストライプ状に一定ピッチで
凹凸部が形成されている凹凸基材を固定するテーブル
と、凹凸基材の凹凸部と対面して複数の開口部を有する
塗液吐出装置と、塗液吐出装置に塗液を供給する供給手
段と、テーブルと塗液吐出装置を３次元的に相対移動さ
せる移動手段とを備えた凹凸基材への塗液の塗布装置に
おいて、凹凸基材のストライプ方向を直接または間接的
に検知するストライプ方向検知手段と、塗液吐出装置の
開口部の位置を直接または間接的に検知する開口部検知
手段と、検知したストライプ方向が塗液の塗布方向に平
行なるように凹凸基材の設置位置を修正する修正手段
と、塗液吐出装置の開口部の凹凸基材の凹部に対する相
対位置を検知する相対位置検知手段と、塗液吐出装置の
開口部の位置を凹凸基材の凹部に位置決めする制御手段
とを有することを特徴とするものからなる（第２の装
置）。

【００１５】さらに、本発明に係る凹凸基材への塗液の
塗布装置は、表面に一方向にストライプ状に一定ピッチ
で凹凸部が形成されている凹凸基材を固定するテーブル
と、凹凸基材の凹凸部と対面して複数の開口部を有する
塗液吐出装置と、塗液吐出装置に塗液を供給する供給手
段と、テーブルと塗液吐出装置を３次元的に相対移動さ
せる移動手段とを備えた凹凸基材への塗液の塗布装置に
おいて、表面が平坦な平滑基材上に一旦塗液吐出装置か
ら塗液を吐出して塗液のストライプを形成し、この塗液
のストライプ方向を検知する塗液ストライプ検知手段
と、検知した塗液のストライプ方向と凹凸基材の凹凸部
のストライプ方向を概略一致させるすストライプ方向一
致化手段とを有することを特徴とするものからなる（第
３の装置）。

【００１６】この第３の装置においては、さらに、塗液
のストライプの位置を検知する塗液ストライプ位置検知
手段と、検知した塗液のストライプ位置に凹凸基材の任
意の凹部を一致させる制御手段とを有することが好まし
い。

【００１７】さらに、第１ないし第３の装置において
は、さらに、凹凸基材の凹部底面の高さ方向の位置を検
知する手段と、凹凸基材の凹部底面から凸部頂上までの
高さに検知した凹部底面の高さ方向の位置を加算する演
算手段と、演算した値に基づいて基材の凸部頂上位置と
塗液吐出装置の開口部面との間隙を制御する間隙制御手
段とを有することが望ましい。

【００１８】本発明に係る凹凸基材への塗液の塗布方法
は、表面に一方向にストライプ状に一定ピッチで凹凸部
が形成されている凹凸基材と、凹凸基材の凹凸部と対面
して複数の開口部を有する塗液吐出装置とを相対的に移
動させ、かつ前記塗液吐出装置に塗液を供給して開口部
より塗液を吐出し、凹凸基材の凹部に所定厚さ塗布する
塗布方法であって、凹凸基材のストライプ方向を直接ま
たは間接的に検知するとともに、塗液吐出装置の開口部
の位置を直接または間接的に検知して、開口部位置に凹
凸基材の凹部を位置決めするとともに、塗液吐出装置の
開口部の凹凸基材の凹部に対する相対位置を検知しつ
つ、検知した凹凸基板のストライプ方向に沿って塗液吐
出装置の開口部が凹凸基板に対し相対的に移動するよう
にして塗布することを特徴とする方法からなる（第１の
方法）。

【００１９】また、本発明に係る凹凸基材への塗液の塗
布方法は、表面に一方向にストライプ状に一定ピッチで
凹凸部が形成されている凹凸基材と、凹凸基材の凹凸部
と対面して複数の開口部を有する塗液吐出装置とを相対
的に移動させ、かつ前記塗液吐出装置に塗液を供給して
開口部より塗液を吐出し、凹凸基材の凹部に所定厚さ塗
布する塗布方法であって、凹凸基材のストライプ方向を
直接または間接的に検知するとともに、塗液吐出装置の
開口部の位置を直接または間接的に検知して、検知した
ストライプ方向が塗布方向と平行になるように凹凸基材
の設置位置を修正するとともに、塗液吐出装置の開口部
の凹凸基材の凹部に対する相対位置を検知し、開口部の
位置に凹凸基材の凹部を位置決めして塗布することを特
徴とする方法からなる（第２の方法）。

【００２０】さらに、本発明に係る凹凸基材への塗液の
塗布方法は、表面に一方向にストライプ状に一定ピッチ
で凹凸部が形成されている凹凸基材と、凹凸基材の凹凸
部と対面して複数の開口部を有する塗液吐出装置とを相
対的に移動させ、かつ前記塗液吐出装置に塗液を供給し
て開口部より塗液を吐出し、凹凸基材の凹部に所定厚さ
塗布する塗布方法であって、表面が平坦な平滑基材上に
一旦塗液吐出装置から塗液を吐出して塗液のストライプ
を形成した後に、この塗液のストライプ方向を検知し、
この塗液のストライプ方向と凹凸基材の凹凸部のストラ
イプ方向を概略一致させて塗布することを特徴とする方
法からなる（第３の方法）。

【００２１】この第３の方法においては、さらに、塗液
のストライプを形成した後に、この塗液の任意のストラ
イプの位置を検知し、検知した塗液のストライプ位置に
凹凸基材の任意の凹部を一致させて塗布することが好ま
しい。

【００２２】また、第１ないし第３の方法においては、
さらに、凹凸基材の凹部底面の高さ方向の位置を検知
し、凹凸基材の凹部底面から凸部頂上までの高さに検知
した凹部底面の高さ方向の位置を加算するとともに、加
算した値に基づいて基材の凸部頂上位置と塗液吐出装置
の開口部面との間隙を一定に保って塗布することが望ま
しい。

【００２３】そして、本発明に係るプラズマディスプレ
イの製造装置は、塗液が赤色、緑色、青色のいずれかの
色に発光する蛍光体粉末を含むペーストであって、前述
のいずれかの塗液の塗布装置を用いたことを特徴とする
ものからなる。

【００２４】また、本発明に係るプラズマディスプレイ
の製造方法は、塗液が赤色、緑色、青色のいずれかの色
に発光する蛍光体粉末を含むペーストであって、上述の
いずれかの塗液の塗布方法を用いることを特徴とする方
法からなる。

【００２５】上記第１の装置および方法を用いることに
より、塗液吐出装置（ノズル）の開口部の位置が検知さ
れるとともに、基材の凹凸部のストライプ方向も検知さ
れ、開口部の位置と凹凸基材の凹部との相対位置関係が
所定の関係に保たれつつ、ストライプに沿ってノズルの
開口部が相対的に精度良く移動される。したがって、塗
布の途中も常に所定の塗布精度、塗布状態に保たれ、凹
凸基材の凹部のみに高精度の塗布が可能になり、所望の
高品質の塗布基材が得られる。

【００２６】また、上記第２の装置および方法を用いる
ことにより、塗液吐出装置（ノズル）の開口部の位置を
検知されるとともに、基材の凹凸部のストライプ方向も
検知され、ストライプ方向がノズルまたは基材の走行方
向と平行になるように、基材が位置決めされる。したが
って、この状態で塗布を開始あるいは続行すれば、ノズ
ルの開口部と凹凸基材の凹部とは、ストライプ方向に沿
って精度良く相対移動されることになり、凹凸基材の凹
部のみに高精度の塗布が可能になり、所望の高品質の塗
布基材が得られる。

【００２７】さらに、上記第３の装置および方法を用い
ることにより、一度平坦な基材に試し塗りをしてそのス
トライプ方向を検知し、以降はそれに凹凸基板のストラ
イプ方向や幅方向の位置を合わせるようにするので、初
期基準位置が明確化されるとともに、その初期基準位置
に対して容易に以降の基材等の位置決めを行うことがで
きるようになり、高精度な塗布状態を確保しつつ、とく
に大量生産の際の製造が容易化される。

【００２８】このような装置および方法を用いてプラズ
マディスプレイを製造することにより、凹凸基材の凹部
への塗液の塗布を、精度良くかつ均一に、しかも安定し
て行うことができ、優れた品質のプラズマディスプレイ
をトラブルなく安定して製造することができる。

【００２９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施形態
を図面に基づいて説明する。図１ないし図４および図７
は、本発明の一実施態様に係る塗布装置を示しており、
図１は、塗布装置の全体斜視図、図２は図１のテーブル
６とノズル２０回りの模式図、図３は図１のノズル２０
を下側からみた拡大平面図、図４は塗布装置に設けられ
た位置決めユニット部の平面図、図７は塗布装置に設け
られたテーブル回転機構を、それぞれ示している。

【００３０】まず、図１ないし図３に基づいて塗布装置
全体の構成を説明し、続いて図４に示すような位置決め
ユニットを用いた位置制御について説明する。

【００３１】図１は、本発明に係るプラズマディスプレ
イパネルの製造に適用される塗布装置を示している。こ
の塗布装置は基台２を備えている。基台２上には、一対
のガイド溝レール８が設けられており、このガイド溝レ
ール８上にはテーブル６が配置されている。このテーブ
ル６の上面には、表面に凹凸が一定ピッチで一方向にス
トライプ状に形成された基材４が、真空吸引によってテ
ーブル面に固定可能となるように、複数の吸着孔７が設
けられている。また、基材４は図示しないリフトピンに
よってテーブル６上を昇降する。さらにテーブル６はス
ライド脚９を介してガイド溝レール８上をＸ軸方向に往
復動自在となっている。

【００３２】一対のガイド溝レール８間には、図２に示
す送りねじ機構を構成するフィードスクリュー１０が、
テーブル６の下面に固定されたナット状のコネクタ１１
を貫通して延びている。フィードスクリュー１０の両端
部は軸受１２に回転自在に支持され、さらに片方の一端
にはＡＣサーボモータ１６が連結されている。

【００３３】図１に示すように、テーブル６の上方に
は、塗液吐出装置であるノズル２０がホルダー２２を介
して昇降機構３０、幅方向移動機構３６に連結してい
る。昇降機構３０は昇降可能な昇降ブラケット２８を備
えており、昇降機構３０のケーシング内部で一対のガイ
ドロッドに昇降自在に取り付けられている。また、この
ケーシング内にはガイドロッド間に位置してボールねじ
からなるフィードスクリュー（図示しない）もまた回転
自在に配置されており、ナット型のコネクタを介して昇
降ブラケット２８と連結されている。さらにフィードス
クリューの上端には図示しないＡＣサーボモータが接続
されており、このＡＣサーボモータの回転によって昇降
ブラケット２８を任意に昇降動作させることができるよ
うになっている。

【００３４】さらに、昇降機構３０はＹ軸移動ブラケッ
ト３２（アクチュエータ）を介して幅方向移動機構３６
に接続されている。幅方向移動機構３６はＹ軸移動ブラ
ケット３２をノズル２０の幅方向、すなわちＹ軸方向に
往復自在に移動させるものである。動作のために必要な
ガイドロッド、フィードスクリュー、ナット型コネクタ
ー、ＡＣサーボモータ等は、ケーシング内に昇降機構３
０と同じように配置されている。幅方向移動機構３６は
支柱３４により基台２上に固定されている。

【００３５】これらの構成によって、ノズル２０はＺ軸
とＹ軸方向に自在に移動させることができる。

【００３６】ノズル２０は、テーブル６の往復動方向と
直交する方向、つまりＹ軸方向に水平に延びているが、
これを直接保持するコの字形のホルダー２２は昇降ブラ
ケット２８内にて回転自在に支持されており、垂直面内
で自在に図中の矢印方向に回転することができる。

【００３７】このホルダ２２の上方には水平バー２４も
昇降ブラケット２８に固定されている。この水平バー２
４の両端部には、電磁作動型のリニアアクチュエータ２
６が取り付けられている。このリニアアクチュエータ２
６は水平バー２４の下面から突出する伸縮ロッドを有し
ており、これら伸縮ロッドがホルダ２２の両端部に接触
することによってホルダ２２の回転角度を規制すること
ができ、結果としてノズル２０の傾き度を任意に設定す
ることができる。

【００３８】さらに図１を参照すると、基台２の上面に
は逆Ｌ字形のセンサ支柱３８が固定されており、その先
端にはテーブル６上の基材４の凹部底面の位置（高さ）
を測定する高さセンサ４０が取り付けられている。高さ
センサ４０は、基材４の凸部頂上を測定できるようにも
セットできるが、多くの場合、凸部頂上よりも凹部底面
の方が幅が広いので、測定が容易となる。その代わり、
凹部底面と凸部頂上の高さの差（隔壁高さ）をあらかじ
め全体コントローラ６０に覚え込ませておく必要があ
る。また、高さセンサ４０の隣には、基材４の隔壁間の
凹部の位置を検知するカメラ７２が支柱７０に取り付け
られている。図２に示すように、カメラ７２は画像処理
装置７４に電気的に接続されており、基材４がＸ方向に
移動する時に、所定の隔壁間の凹部位置の基材幅方向
（Ｘ方向）の変化を定量的に求めることができる。すな
わちこれによって、塗布開始となる所定の隔壁の凹部Ｙ
方向位置Ｙｓが得られるとともに、凹部のＸ方向に対す
る傾き、つまり、凹部の方向も算出できる。

【００３９】さらに、テーブル６の一端には、センサー
ブラケット６４を介して、ノズル２０の開口部のある下
端面（開口部面）のテーブル６に対する垂直方向の位置
を検出するセンサー６６とノズル２０の開口部位置を検
知するカメラ８２が取り付けられている。カメラ８２も
画像処理装置７４に電気的に接続されており、ノズル２
０の開口部位置がＹ方向に対して定量的に求められる。

【００４０】カメラ７２とカメラ８２は一定の距離に固
定されているので、ノズル２０の開口部位置と所定の隔
壁の凹部位置の相対距離を求めることができる。カメラ
７２、８２が移動するように構成されている場合には、
これらが基準位置に対してどれだけ移動したかを示す測
定手段、たとえばリニアスケール、エンコーダ等が必要
となる。

【００４１】図２に示すように、ノズル２０はそのマニ
ホールド４１内に塗液４２が充填されており、開口部で
ある吐出孔４４が開口部先端面４５上で長手方向に一直
線状にならんでいる（図３参照）。そしてこの吐出孔４
４より塗液４２が吐出される。ノズル４０には供給ホー
ス４６が接続されており、さらに吐出用電磁切換え弁４
８、供給ユニット５０、吸引ホース５２、吸引用電磁切
換え弁５４、塗液タンク５６へと連なっている。塗液タ
ンク５６には塗液４２が蓄えられている。塗液４２は、
赤色、緑色、青色のいずれかの色に発光する蛍光体粉末
を含むペーストからなる。

【００４２】供給ユニット５０の具体例としては、ピス
トン、ダイヤフラム型等の定容量ポンプ、チュービング
ポンプ、ギアポンプ、モーノポンプ、さらには液体を気
体の圧力で押し出す圧送コントローラ等がある。供給装
置コントローラ５８からの制御信号をうけて、供給ユニ
ット５０や、各々の電磁切換え弁の動作を行なわせ、塗
液タンク５６から塗液４２を吸引して、ノズル２０に塗
液４２を供給することができる。塗液タンク５６から定
容量ポンプへの塗液４２の吸引動作を安定化させるため
に、塗液タンク５６に空気、窒素等の気体で圧力を付加
してもよい。圧力の大きさは０．０１〜１ＭＰａ、特に
０．０２〜０．５ＭＰａが好ましい。

【００４３】供給装置コントローラはさらに、全体コン
トローラ６０に電気的に接続されている。この全体コン
トローラ６０には、モータコントローラ６２、高さセン
サー４０の電気入力等、カメラ７２、８２の画像処理装
置７４からの情報、隔壁の高さ等、すべての制御情報が
電気的に接続されており、全体のシーケンス制御を司れ
るようになっている。全体コントローラ６０は、コンピ
ュータでも、シーケンサでも、制御機能を持つものなら
ばどのようなものでもよい。

【００４４】またモータコントローラ６２には、テーブ
ル６を駆動するＡＣサーボモータ１６や、昇降機構３０
と幅方向移動機構３６のそれぞれのアクチュエータ７
６、７８（たとえば、ＡＣサーボモータ）、さらにはテ
ーブル６の移動位置を検出する位置センサ６８からの信
号、ノズル２０の作動位置を検出するＹ、Ｚ軸の各々の
リニアセンサ（図示しない）からの信号などが入力され
る。なお、位置センサ６８を使用する代わりに、ＡＣサ
ーボモータ１６にエンコーダを組み込み、このエンコー
ダから出力されるパルス信号に基づき、テーブル６の位
置を検出することも可能である。モータコントローラ６
２も全体コントローラ６０の統括下で制御される。たと
えば、カメラ８２の画像処理装置７４からの情報に基づ
いて、全体コントローラ６０は所定の隔壁の凹部にノズ
ル２０の開口部を合わせるためのＹ方向位置、凹部のＸ
方向に対する傾き角度から、塗布のために基材をＸ方向
に移動させる時のノズル２０のＹ方向位置を演算し、そ
の動作が実現できるようにモータコントローラ６２に指
令を送る。

【００４５】次に、ここまでに説明した塗布装置の構成
を使用して塗液を塗布する方法について説明する。まず
準備動作として、テーブル６と、ノズル２０をＹ軸座標
Ｙａの位置に移動させて、ノズル２０の吐出孔４４の一
番端部にあるものをカメラ８２の真上にくるようにす
る。そして、画像処理によってカメラ基準点からの位置
変化量ｌｃを求める。この動作はノズル２０をホルダー
２２に取り付けた時に一度だけ行えばよい。完了すれ
ば、テーブル６、ノズル２０は各々原点に復帰させる。

【００４６】次いで塗布装置における各作動部の原点復
帰が行われるとテーブル６、ノズル２０は各々Ｘ軸、Ｙ
軸、Ｚ軸の準備位置に移動する。この時、塗液タンク５
６〜ノズル２０まで塗液はすでに充満されており、吐出
用電磁切換え弁４８は開、吸引用電磁切換え弁５４は閉
の状態にする。そして、テーブル６の表面には図示しな
いリフトピンが上昇し、図示しないローダから隔壁が一
定ピッチのストライプ状に形成されている基材４がリフ
トピン上部に載置される。

【００４７】次にリフトピンを下降させて基材４をテー
ブル６の上面に載置し、図示しないアライメント装置に
よって基材４の端面を基準にしたテーブル６上の位置決
めが行われた後に基材２を吸着する。

【００４８】次にテーブル６はカメラ７２と、高さセン
サー４０の真下に基材４の塗布開始部となる隔壁部（凹
部底面）がくるまで移動し、停止する。カメラ７２はテ
ーブル６上に位置決めされた基材４上のＹ方向隔壁端部
を写し出すようにあらかじめ位置調整されており、画像
処理によって一番端の凹部の位置を検出し、カメラ基準
点からの位置変化量ｌａを求める。一方、カメラ７２の
基準点と、所定のＹ軸座標位置Ｙａにある時のノズル２
０の最端部に位置する吐出孔４４間の位置を測定するカ
メラ８２の基準点間の長さｌｂは、事前の調整時に測定
し、情報として全体コントローラ６０に入力しているの
で、画像処理装置７４からカメラ７２の基準点からの隔
壁凹部の位置変化量ｌａが電送されると、ノズル２０の
最端部に位置する吐出孔４４が隔壁端部の凹部の真上と
なるＹ軸座標値Ｙｃを計算し（例えば、Ｙｃ＝Ｙａ＋
（ｌｃ＋ｌｂ−ｌａ））、ノズル２０をその位置に移動
させる。なお、カメラ７２は、ノズル２０やホルダ２２
に取り付けても同じ機能が得られる。

【００４９】次に、基材４が、その塗布開始部がノズル
２０の吐出孔４４の真下にくるようにＸ方向に移動を始
めるが、カメラ７２による凹部の位置の検知は継続す
る。凹部の位置は変化していくから、その都度、上記に
示したようにＹ軸座標値Ｙｃを演算し、ノズル２０を基
材４のＸ方向位置に合わせて、そのＹ軸座標値Ｙｃに移
動させる。以上の動作によって、隔壁の凹部の方向（ス
トライプ方向）に合わせて、ノズル２０の吐出孔４４を
移動させることができる。通常は隔壁の凹部は一直線で
あるから、基材４のＸ方向の定まった２点で隔壁凹部の
位置を測定すれば、Ｘ方向に対する隔壁凹部の傾き角度
が演算できるので（凹部のストライプ方向が求められ
る）、ノズル２０を配置するＹ軸座標値Ｙｃをこの傾き
角度から演算して求めてもよい。この場合、隔壁凹部位
置の測定が２点ですむので、制御が簡素化できる。

【００５０】以上の開口部の位置を検知する手段として
は、間接的なものとなるが、図４に示すような位置セン
サー１００でノズル２０の端部を測定するようにするこ
とも可能である。この場合、センサー１００とカメラ７
２の基準点との相対位置Ｙｘｃ、ノズル端部から開口部
の右端までの距離ｂ等はあらかじめ得られるので、セン
サー１００でセンサー１００〜ノズル２０の右端面まで
の距離Ｙｃｏを測定し、このときのノズル２０のＹ軸方
向移動ユニットの座標値Ｙｎｃを求めれば、ノズル２０
の一番右端の開口部を基材の一番右端の凹部の位置にも
ってくることができる。カメラ７２の基準点から基材の
一番右端の凹部位置までの位置変化ｌａが得られると、
Ｙ軸座標値Ｙ_CIは、Ｙ_CI＝Ｙｎｃ−（Ｙｘｃ−Ｙｃｏ−
ｂ−ｌａ）となる。なお、ノズル２０の開口部位置の検
知はノズル２０を取り付けた後、一度だけやっておけば
よい。

【００５１】一方、この間に高さセンサ４０は基材４の
隔壁凹部底面の垂直方向の位置を検知し、テーブル６上
面との位置の差から基材４の隔壁凹部底面の高さを算出
する。この高さに、あらかじめ与えておいた隔壁の高さ
（底面と頂上部との差）と、ノズル２０開口部〜基材４
の隔壁頂上部間の間隙値を加算して、ノズル２０のＺ軸
リニアセンサー上での下降すべき値を演算し、その位置
にノズルを移動する。これによって、テーブル６上での
隔壁凹部底面位置が基材ごとに変化しても、塗布に重要
なノズル２０開口部〜基材上の隔壁頂上部間の間隙を常
に一定に保てるようになる。以上の動作は基材４が移動
を始めてからも行えるので、基材４の全領域にわたっ
て、ノズル２０開口部〜基材上の隔壁頂上部間の間隙を
一定に保つことも可能となる。

【００５２】次にテーブル６をノズル２０の方へ向けて
動作を開始させ、ノズル２０の開口部の真下に基材４の
塗布開始位置が到達する前に所定の塗布速度まで増速さ
せておく。テーブル６の動作開始位置と塗布開始位置ま
での距離は塗布速度まで増速できるよう十分確保できて
いなければならない。

【００５３】さらに基材４の塗布開始位置がノズル２０
の開口部の真下に至るまでの所に、テーブル６の位置を
検知する位置センサー６８を配置しておき、テーブル６
がこの位置に達したら、供給ユニット５０の動作を開始
して塗液４２のノズル２０への供給を開始する。ノズル
２０開口部より吐出される塗液４２が基材４に達するに
は、基材〜ノズル開口部間の間隙だけ時間遅れが生じ
る。そのため、事前に塗液４２をノズル２０に供給する
ことによって、基材４の塗布開始位置がノズル２０開口
部の丁度真下に来たところでノズル２０から吐出された
所定量の塗液４２が基板４に到達するので、ほとんど厚
みむらゼロの状態で塗布を開始することができる。塗液
４２の供給を開始する位置は位置センサー６８の設置場
所を変えて調整することができる。この位置センサー６
８の代わりに、モータあるいはフィードスクリューにエ
ンコーダを接続したり、テーブルにリニアセンサーを付
けたりすると、エンコーダやリニアセンサーの値で検知
しても同様なことが可能となる。

【００５４】塗布は、基材４の塗布終了位置がノズル２
０の開口部の真下付近に来るまで行われる。すなわち、
基材４はいつもテーブル６上の定められた位置に置かれ
ているから、基材４の塗布終了位置がノズル２０の開口
部の（ａ）たとえば真下にくる５ｍｍ前や、（ｂ）丁度
真下になる位置に相当するテーブル６の位置に、位置セ
ンサーやそのエンコーダ値をあらかじめ設定しておき、
テーブル６が（ａ）に対応する位置にきたら、全体コン
トローラ６０から供給装置コントローラ５８に停止指令
を出して塗液４２のノズル２０への供給を停止して、
（ｂ）の位置までスキージ塗工し、次いでテーブル６が
（ｂ）に対応する位置にきたら、ノズル２０を上昇させ
て完全に塗液４２をたちきる。塗液４２が比較的高粘度
の液体である場合には、単に塗液の供給を停止しただけ
では、残圧によるノズル２０開口部からの塗液吐出まで
も瞬時に停止することは難しい。そのために、塗液の供
給を停止するとと同時にノズル２０内のマニホールド４
１圧力を大気圧にすると、短時間で開口部からの塗液の
吐出停止が可能となるので、供給ユニットにこのような
機能をもたせるか、あるいは、供給ユニットの吐出電磁
切換え弁４８〜ノズル２０の間に大気開放バルブを設け
るのが望ましい。

【００５５】さて、塗布終了位置を通過しても、テーブ
ル６は動作を続け、終点位置にきたら停止する。このと
き塗布すべき部分がまだ残っている場合には、次の塗布
すべき開始位置までノズルをＹ軸方向に塗布幅分（ノズ
ルピッチ×穴数）移動して、以下テーブル６を反対方向
に移動させることを除いては同じ手順で塗布を行う。ま
た、２回目以降は、隔壁凹部のＸ方向に対する傾き角度
は大体同じなので、測定して求めてもよいし、測定を省
略して１回目の値を使用してノズル２０を配置するＹ軸
座標値Ｙｃを求めてもよい。１回目と同一のテーブル６
の移動方向で塗布を行なうのなら、ノズル２０は次の塗
布すべき開始位置までＹ軸方向に移動、テーブル６はＸ
軸準備位置まで復帰させる。

【００５６】そして塗布工程が完了したら、基材４をア
ンローダで移載する場所までテーブル６を移動して停止
させ、基材４の吸着を解除するとともに大気開放した後
に、リフトピンを上昇させて基材４をテーブル６の面か
ら引き離し、持ち上げる。

【００５７】このとき図示されないアンローダによって
基材４の下面が保持され、次の工程に基材４を搬送す
る。基材４をアンローダに受け渡したら、テーブル６は
リフトピンを下降させ原点位置に復帰する。

【００５８】このとき、吐出用電磁切換え弁４８を閉、
吸引用電磁切換え弁５４を開状態にして供給ユニット５
０を動作させ、塗液タンク５６から１枚の基材の塗布に
必要な量だけ塗液を供給する。

【００５９】以上の塗布工程において、別の実施態様で
は、塗布前に、図５に示すようなテーブル回転機構を用
いて、基材４のストライプ方向とノズル２０の走行方向
の一致化の調整制御を行う。

【００６０】図５は、吸着テーブル６がＸ軸方向に走行
できるとともに、Ｘ−Ｙ平面内で回転できるようにした
もので、基材４のストライプ方向と吸着テーブル６の進
行方向の平行度を容易に修正できるようにしてある。吸
着テーブル６は、走行基台１１１上に、回転可能に支持
されており、この間に周知のターンテーブル機構が介在
されている。ターンテーブル機構の回転角度の制御は、
サーボモータ等を用いて精度良く行うことができる。

【００６１】基材４のストライプ方向は、上記で示した
ものほか、たとえば次のようにしても検知できる。図
１、図２に示したカメラ７２は、凹凸基材４の端部の凹
部や、端部に付されたアライメントマークを検知するカ
メラで、電気的に画像処理装置７４に連結されている。
まず、基材４の先頭から終了部までをカメラ７２の下を
通過するように吸着テーブル６を走行させる。これによ
って凹部のＹ軸方向の位置が先頭と終了部で変わってい
るので、これを画像処理によって検出し、凹部の傾きを
求める。アライメントマークは凹部と平行になるように
設けられているから、先頭と終了部にあるアライメント
マークのＹ軸方向の位置の違いを画像処理によって検知
して、凹部の傾きを求めてもよい。

【００６２】また、前述したのと同じように、カメラ８
２で写し出したものから画像処理によってえられるノズ
ル２０の開口部の最端部位置は前述した手段によって知
ることができ、カメラ７２とカメラ８２の基準点間の距
離はあらかじめ分かっているから、たとえば一番左端の
開口部を凹凸基材４の一番左端の凹部にＹ軸方向に基材
先頭部で位置合わせすることができる。凹部でなくアラ
イメントマーク位置を検出しているときは、アライメン
トマークと凹部との相対距離はあらかじめ得られている
ので、凹部を直接測定するのと同じように凹部とノズル
開口部を位置合わせすることができる。

【００６３】凹部の傾きを算出してストライプ方向がわ
かったら、それが吸着テーブル６の走行方向（Ｘ方向）
と一致する（傾き角度をゼロにする）ように吸着テーブ
ル６を回転させる。吸着テーブル６の回転によって凹部
の塗布すべき先頭位置がＹ軸方向に変化するが、その位
置を計算によって求めてもよいし、またカメラ７２で再
測定してもよいが、必要に応じて、ノズル２０のＹ軸方
向の位置決め位置Ｙｃを修正する。

【００６４】ここでノズル２０の開口部を検知するカメ
ラ８２やセンサー１００はノズル２０の左右の最端部の
開口部ばかりでなく、所定の中央部の開口部を検知でき
るような位置に配してもよい。また、カメラ７２も一番
右側の凹部や、右側のアライメントマークを検知できる
ように吸着テーブル６の右側に配してもよいし、所定の
中央部の凹部を検知できるようにしてもよい。

【００６５】通常ノズル２０の開口部の穴数は基材４の
凹部の数より少なく、一度塗布したら次の位置まで所定
ピッチ分移動して塗布を繰り返すが、大抵の場合、隔壁
凹部のストライプ方向を測定してそれが吸着テーブル６
の走行方向に一致するよう一度回転によって修正すれ
ば、以降は行う必要はない。

【００６６】図６は、平坦な基材をを用いた試し塗りを
行った後に凹凸基材４のストライプ方向の調整を行う例
を示している。１２１、１２２はカメラである。まず、
平坦な基材１２３の先頭を吸着テーブル６についている
マーク１２６にあわせて吸着固定し、ノズル２０で試し
塗りを行う。塗布したものを吸着テーブル６から離さな
いで、塗布した一番左端のラインにカメラ１２１、１２
２をＸ方向に適当な距離をおいて合わせる。このときの
位置合わせは、カメラのセンターにある十字マークにラ
インを合わせるようにする。

【００６７】次に凹凸のある基材４を吸着テーブル６上
に置き、カメラ１２１、１２２の十字部分に一番左端の
凹部があうように基材４を手で動かして配置する。この
とき基材４の先頭が吸着テーブル６のマーク１２６にも
合うようにもする。次に塗布を行えば、基材４の凹部に
のみ塗布することができる。

【００６８】凹部に直接的に合わせる代わりに凹凸基材
４のアライメントマークに合わせてもよい。このとき、
たとえばアライメントマークから一番左側の凹部までな
ら、その距離分だけノズル２０を右側に移動させる必要
があるが、これを行えば直接合わせるのと全く同じよう
に凹部のみ塗布することができる。以上の手段を用いれ
ば、カメラ８２のようにノズル２０の開口部位置を検知
する手段が不要となる。

【００６９】また、吸着テーブル６がさらにＹ軸移動と
回転が可能であるようにしておくことにより、上述の凹
凸基材４を吸着してから、凹部、アライメントマークを
カメラ１２１、１２２の十字部分への位置合わせをより
容易にしかも精度よくできる。さらに、カメラ１２１、
１２２を画像処理装置に電気的に接続すれば、この動作
を自動的に行うこともできる。

【００７０】試し塗りをしたものでストライプのの方向
と位置を、カメラ７２と画像処理で検知して測定し、そ
の絶対位置（Ｙ方向の）を知ることができる。これから
逆にノズル２０の吐出口の位置がわかるので、カメラ８
２のようにノズル２０の開口部を直接測定する手段がな
くても、ノズル２０の絶対位置を求めることができる。
そしてこの位置上方から、上述の方法によって、Ｘ方向
に移動する凹凸基材４の凹部にノズル２０の吐出口を合
わせて塗布することもできる。この時、カメラ１２１、
１２２は不要である。

【００７１】また、基材４の凹部やアライメントマーク
の位置や傾きをカメラ７２で測定し、それを先に測定し
た試し塗りしたものでのストライプの位置と方向と比較
し、両者が一致するように吸着テーブル６を回転、Ｙ軸
方向に移動させてもよいし、吸着テーブル６を回転し、
ノズル２０を所定位置に位置決めして基材４の凹部に塗
布してもよい。

【００７２】なお、前述の塗液塗布装置の全体構成にお
いて、高さセンサー４０としては、レーザ、超音波等を
利用した非接触測定形式のもの、ダイヤルゲージ、差動
トランス等を利用した接触測定形式のもの等、測定可能
な原理のものならいかなるものを用いてもよい。

【００７３】また、前記実施態様では基材はＸ軸方向に
移動し、ノズルがＹ軸、Ｚ軸方向に移動する場合での適
用例について記述したが、ノズル２０と基材４が相対的
に３次元的に移動できる構造、形式のものであるのな
ら、テーブル、ノズルの移動形式はいかなるものでもよ
い。

【００７４】また、前述の実施態様では、塗布はテーブ
ルの移動、凹凸のピッチ方向への移動は、ノズルの移動
によって行う例を示したが、塗布をノズルの移動、凹凸
のピッチ方向への移動をテーブルの移動で行ってもよ
い。

【００７５】さらに、本発明における基材としては、ガ
ラス板の他、鉄板、アルミ板等、枚葉状のものならどの
ようなものでもよい。また、一種類の塗液を塗布する場
合について詳しく言及したが、赤、青、緑等の３色の蛍
光体を同時に塗布する場合にも本発明は適用できる。

【００７６】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明の凹凸基材
への塗液の塗布装置および方法によれば、凹凸基材のス
トライプ状の凹部に、ノズルの複数の吐出孔を精度よく
位置決めすることができ、かつ、ストライプ方向とノズ
ルとの相対移動方向、さらにはノズルの開口部面と隔壁
頂上部との間隙も精度よく合わせることができるように
なったので、塗液を凹部のみに精度よくかつ均一に塗布
することができるようになった。これによって、塗布す
べき以外のところを塗布して歩留まりを低下させること
がなくなり、高い収率を実現して生産性を向上させるこ
とができるとともに、コストも低減できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施態様に係る塗液の塗布装置の全
体斜視図である。

【図２】図１の装置のテーブル６とノズル２０周りの構
成を示す模式図である。

【図３】図１の装置におけるノズル２０を下側からみた
拡大平面図である。

【図４】ノズル２０の開口部を間接的に測定する手段の
正面図である。

【図５】図１の装置におけるテーブル回転機構部を示す
概略斜視図である。

【図６】本発明の別の実施態様に係る位置決め・ストラ
イプ方向合わせ手段の概略平面図である。

【符号の説明】

２基台４基材６テーブル８ガイド溝レール１０フィードスクリュー１６ＡＣサーボモータ２０ノズル２６リニアアクチュエータ３０昇降機構３６幅方向移動機構４０高さセンサー４２塗液４４開口部（吐出孔）４５開口部面５０供給ユニット５６塗液タンク５８供給装置コントローラ６０全体コントローラ６６センサー７２カメラ８２カメラ１００センサー１１１走行基台１２１、１２２カメラ１２３平坦な基材１２６吸着テーブル６のマーク

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】表面に一方向にストライプ状に一定ピッチ
で凹凸部が形成されている凹凸基材を固定するテーブル
と、凹凸基材の凹凸部と対面して複数の開口部を有する
塗液吐出装置と、塗液吐出装置に塗液を供給する供給手
段と、テーブルと塗液吐出装置を３次元的に相対移動さ
せる移動手段とを備えた凹凸基材への塗液の塗布装置に
おいて、凹凸基材のストライプ方向を直接または間接的
に検知するストライプ方向検知手段と、塗液吐出装置の
開口部の位置を直接または間接的に検知する開口部検知
手段と、塗液吐出装置の開口部の凹凸基材の凹部に対す
る相対位置を検知する相対位置検知手段と、塗液吐出装
置の開口部の位置を凹凸基材の凹部に位置決めするとと
もに、検知した凹凸基材のストライプ方向に沿って塗液
吐出装置の開口部が凹凸基材の凹部に対し相対的に移動
するように制御する制御手段とを有することを特徴とす
る、凹凸基材への塗液の塗布装置。
【請求項２】表面に一方向にストライプ状に一定ピッチ
で凹凸部が形成されている凹凸基材を固定するテーブル
と、凹凸基材の凹凸部と対面して複数の開口部を有する
塗液吐出装置と、塗液吐出装置に塗液を供給する供給手
段と、テーブルと塗液吐出装置を３次元的に相対移動さ
せる移動手段とを備えた凹凸基材への塗液の塗布装置に
おいて、凹凸基材のストライプ方向を直接または間接的
に検知するストライプ方向検知手段と、塗液吐出装置の
開口部の位置を直接または間接的に検知する開口部検知
手段と、検知したストライプ方向が塗液の塗布方向に平
行なるように凹凸基材の設置位置を修正する修正手段
と、塗液吐出装置の開口部の凹凸基材の凹部に対する相
対位置を検知する相対位置検知手段と、塗液吐出装置の
開口部の位置を凹凸基材の凹部に位置決めする制御手段
とを有することを特徴とする、凹凸基材への塗液の塗布
装置。
【請求項３】表面に一方向にストライプ状に一定ピッチ
で凹凸部が形成されている凹凸基材を固定するテーブル
と、凹凸基材の凹凸部と対面して複数の開口部を有する
塗液吐出装置と、塗液吐出装置に塗液を供給する供給手
段と、テーブルと塗液吐出装置を３次元的に相対移動さ
せる移動手段とを備えた凹凸基材への塗液の塗布装置に
おいて、表面が平坦な平滑基材上に一旦塗液吐出装置か
ら塗液を吐出して塗液のストライプを形成し、この塗液
のストライプ方向を検知する塗液ストライプ検知手段
と、検知した塗液のストライプ方向と凹凸基材の凹凸部
のストライプ方向を概略一致させるすストライプ方向一
致化手段とを有することを特徴とする、凹凸基材への塗
液の塗布装置。
【請求項４】さらに、塗液のストライプの位置を検知す
る塗液ストライプ位置検知手段と、検知した塗液のスト
ライプ位置に凹凸基材の任意の凹部を一致させる制御手
段とを有する、請求項３の凹凸基材への塗液の塗布装
置。
【請求項５】さらに、凹凸基材の凹部底面の高さ方向の
位置を検知する手段と、凹凸基材の凹部底面から凸部頂
上までの高さに検知した凹部底面の高さ方向の位置を加
算する演算手段と、演算した値に基づいて基材の凸部頂
上位置と塗液吐出装置の開口部面との間隙を制御する間
隙制御手段とを有することを特徴とする、請求項１ない
し４のいずれかに記載の凹凸基材への塗液の塗布装置。
【請求項６】表面に一方向にストライプ状に一定ピッチ
で凹凸部が形成されている凹凸基材と、凹凸基材の凹凸
部と対面して複数の開口部を有する塗液吐出装置とを相
対的に移動させ、かつ前記塗液吐出装置に塗液を供給し
て開口部より塗液を吐出し、凹凸基材の凹部に所定厚さ
塗布する塗布方法であって、凹凸基材のストライプ方向
を直接または間接的に検知するとともに、塗液吐出装置
の開口部の位置を直接または間接的に検知して、開口部
位置に凹凸基材の凹部を位置決めするとともに、塗液吐
出装置の開口部の凹凸基材の凹部に対する相対位置を検
知しつつ、検知した凹凸基板のストライプ方向に沿って
塗液吐出装置の開口部が凹凸基板に対し相対的に移動す
るようにして塗布することを特徴とする、凹凸基材への
塗液の塗布方法。
【請求項７】表面に一方向にストライプ状に一定ピッチ
で凹凸部が形成されている凹凸基材と、凹凸基材の凹凸
部と対面して複数の開口部を有する塗液吐出装置とを相
対的に移動させ、かつ前記塗液吐出装置に塗液を供給し
て開口部より塗液を吐出し、凹凸基材の凹部に所定厚さ
塗布する塗布方法であって、凹凸基材のストライプ方向
を直接または間接的に検知するとともに、塗液吐出装置
の開口部の位置を直接または間接的に検知して、検知し
たストライプ方向が塗布方向と平行になるように凹凸基
材の設置位置を修正するとともに、塗液吐出装置の開口
部の凹凸基材の凹部に対する相対位置を検知し、開口部
の位置に凹凸基材の凹部を位置決めして塗布することを
特徴とする、凹凸基材への塗液の塗布方法。
【請求項８】表面に一方向にストライプ状に一定ピッチ
で凹凸部が形成されている凹凸基材と、凹凸基材の凹凸
部と対面して複数の開口部を有する塗液吐出装置とを相
対的に移動させ、かつ前記塗液吐出装置に塗液を供給し
て開口部より塗液を吐出し、凹凸基材の凹部に所定厚さ
塗布する塗布方法であって、表面が平坦な平滑基材上に
一旦塗液吐出装置から塗液を吐出して塗液のストライプ
を形成した後に、この塗液のストライプ方向を検知し、
この塗液のストライプ方向と凹凸基材の凹凸部のストラ
イプ方向を概略一致させて塗布することを特徴とする、
凹凸基材への塗液の塗布方法。
【請求項９】さらに、塗液のストライプを形成した後
に、この塗液の任意のストライプの位置を検知し、検知
した塗液のストライプ位置に凹凸基材の任意の凹部を一
致させて塗布する、請求項８の凹凸基材への塗液の塗布
方法。
【請求項１０】さらに、凹凸基材の凹部底面の高さ方向
の位置を検知し、凹凸基材の凹部底面から凸部頂上まで
の高さに検知した凹部底面の高さ方向の位置を加算する
とともに、加算した値に基づいて基材の凸部頂上位置と
塗液吐出装置の開口部面との間隙を一定に保って塗布す
ることを特徴とする、請求項６ないし９のいずれかに記
載の凹凸基材への塗液の塗布方法。
【請求項１１】塗液が赤色、緑色、青色のいずれかの色
に発光する蛍光体粉末を含むペーストであって、請求項
１ないし５のいずれかに記載の塗液の塗布装置を用いた
ことを特徴とする、プラズマディスプレイの製造装置。
【請求項１２】塗液が赤色、緑色、青色のいずれかの色
に発光する蛍光体粉末を含むペーストであって、請求項
６ないし１０のいずれかに記載の塗液の塗布方法を用い
ることを特徴とする、プラズマディスプレイの製造方
法。