JPH09138256A

JPH09138256A - 被検査基板のアライメント方法

Info

Publication number: JPH09138256A
Application number: JP7318498A
Authority: JP
Inventors: Yukihiro Hirai; 幸廣平井; Norihide Yamaguchi; 憲栄山口
Original assignee: NIPPON MAIKURONIKUSU KK; Micronics Japan Co Ltd
Current assignee: NIPPON MAIKURONIKUSU KK; Micronics Japan Co Ltd
Priority date: 1995-11-14
Filing date: 1995-11-14
Publication date: 1997-05-27

Abstract

(57)【要約】【目的】搬送用のロボットアームに被検査基板を載せ
た状態でプリアライメントを実施して、プリアライメン
ト領域から測定部に被検査基板を移す際に液晶基板の位
置ずれを生じにくくする。また、プリアライメントのた
めのＸＹθステージを不要にする。【構成】カセット４８内の液晶基板５０をロボットア
ーム５８に載せて、プリアライメント領域４４に移送す
る。ロボットアーム５８をＹ軸方向に移動して、二つの
Ｙ位置センサ６６、６８を用いて液晶基板５０のＸ辺７
４のＸ軸に対する傾斜角αを求める。液晶基板５０を４
本のチャックピン６４に載せかえて、回転台５６を時計
方向に角度αだけ回転し、ロボットアーム５８で再び液
晶基板５０を吸着して、回転台５６を反時計方向に角度
αだけ戻す。液晶基板５０のＹ方向の位置を定めてか
ら、ロボット本体５４をレール６０に沿ってＸ軸方向に
移動して、液晶基板５０のＹ辺７６がＸ位置センサ７０
で検出されるようにする。これでプリアライメントが完
了する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は矩形の被検査基板
をプローブ装置に対してアライメントする方法に関し、
特に、プリアライメント領域で被検査基板をプリアライ
メントする方法に特徴のあるアライメント方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】図１１は、液晶表示パネル基板（以下
「液晶基板」という。）を検査するための従来の装置構
成を示す平面図である。この従来装置において、液晶基
板のアライメント方法を説明する。カセット設置台１０
上のカセット１２には多くの液晶基板１１が収納されて
いる。ロボット１４はカセット１２から液晶基板１１を
１枚ずつ取り出して、これをプリアライメント部１６に
移送する。ロボット１４はレール１８に沿って移動で
き、ロボットアーム２０は鉛直軸の回りを回転できる。
プリアライメント部１６では液晶基板１１のプリアライ
メントを実施して、液晶基板１１の予備的な位置決めを
する。プリアライメントが完了したら、ＣＣＤカメラを
用いて液晶基板１１上の認識符号を読み取る。次に、ロ
ボット１４をレール１８に沿って移動して液晶基板１１
を測定ステージ２２に載せかえる。次に、測定ステージ
２２を移動して液晶基板１１をプローブ装置２４の下に
もってきて、液晶基板上の２個のアライメントマークを
利用したパターン認識により、液晶基板とプローブ装置
との間でファインアライメントを実施する。これによ
り、液晶基板の電極はプローブ装置のプローブ針に対し
て正しく位置決めされる。一般的に、プリアライメント
では液晶基板の位置決め精度は±０．５ｍｍ程度であ
り、ファインアライメントでは位置決め精度は±５μｍ
程度である。

【０００３】なお、上述の従来方法において、プリアラ
イメントを省略して、直接、液晶基板１１を測定ステー
ジ２２に載せて、ファインアライメントだけで液晶基板
とプローブ装置との位置合わせをすることも考えられ
る。しかし、このようにすると、プローブ装置の上方に
設けた２個のＣＣＤカメラを用いて液晶基板の２個のア
ライメントマークを撮影するときに、２個のカメラの視
野内にアライメントマークが必ずしも入るとは限らな
い。すなわち、液晶基板の位置が大きくずれている恐れ
がある。アライメントマークが見つからないときには、
ファインアライメントを実行する前に、まず、カメラの
視野内にアライメントマークが入るように、測定ステー
ジまたはプローブ装置を動かす必要がある。このような
アライメントマーク探索作業は時間がかかり、アライメ
ントを長びかせる原因になる。したがって、上述のよう
にプリアライメントを実施して、ファインアライメント
用のカメラの視野内にアライメントマークが入る程度に
液晶基板をあらかじめ位置合わせしてから、測定ステー
ジに液晶基板を載せることが行われている。

【０００４】また、プリアライメントを実施する別の目
的として、プリアライメント領域で液晶基板上の認識符
号を読み取るのが好都合であることが挙げられる。液晶
基板には製造工程の途中で固有の認識符号が印刷され、
それ以降の製造工程及び検査工程で、この認識符号が各
液晶基板の管理のために使用される。この認識符号は、
一般に、液晶基板の外周部電極の外側に印刷されてい
る。この認識符号は、符号を構成する文字の高さが０．
３〜０．５ｍｍ程度と小さく、文字数は８〜２０文字が
一般的である。これをＣＣＤカメラで撮影してＯＣＲ
（オプティカル・コード・リーダ）装置で文字認識して
いる。図１２はカメラの視野２６に入っている認識符号
２８の例を示す。このように、認識符号は文字が小さく
て横幅が長いので、ＣＣＤカメラに対して液晶基板があ
る程度正確に位置決めされないと、認識符号がカメラの
視野から外れて、うまく読み取れない。液晶基板をプリ
アライメントすれば、このプリアライメント領域上で液
晶基板の認識符号を読みとることができる。

【０００５】ところで、プリアライメント領域で読み取
る代わりに、液晶基板の測定部において液晶基板の認識
符号を読み取るようにすることも考えられる。測定部で
は液晶基板はファインアライメントされるので液晶基板
の位置決めは正確であリ、その観点からは認識符号の読
み取りには支障がないように思える。しかし、認識符号
は被測定電極の外側に印刷されているので、被測定電極
にプローブ針を接触できるような位置関係でファインア
ライメントをすると、認識符号はプローブ装置のプロー
ブユニットやフレーム等の下側に隠れてしまって、カメ
ラでの読み取りができない問題がある。したがって、上
述のようにプリアライメント領域で液晶基板の認識符号
を読み取るのが都合がよい。

【０００６】図１３は図１１に示すプリアライメント部
１６とロボット１４を示す平面図であり、図１４はその
側面図である。カセット１２内の液晶基板１１はロボッ
トアーム２０の上面に真空吸着される。ロボットア−ム
２０は水平面内で１８０度回転してから伸長することに
より、液晶基板１１をプリアライメントステージ３０の
４本のチャックピン３２の上方に搬送する。ロボットア
ーム２０を下降させると、液晶基板１１はチャックピン
３２の上端の吸着パッドで吸着される。プリアライメン
トステージ３０はＸ軸方向とＹ軸方向に移動でき、さら
に、Ｚ軸回りにθ回転できる。すなわち、Ｘステージと
Ｙステージとθステージとを備えている。上方から見て
矩形のプリアライメントステージ３０の外側には、二つ
のＹ位置センサ３４、３６と、一つのＸ位置センサ３８
がある。液晶基板１１を載せたプリアライメントステー
ジ３０は、最初にＹステージがＹ軸方向に移動して、二
つのＹ位置センサ３４、３６が液晶基板のＸ辺３９（Ｘ
軸にほぼ平行な辺）の位置をそれぞれ検出する。この検
出結果から、液晶基板のＸ辺３９のＸ軸に対する傾斜角
αを求めることができる。次に、θステージが傾斜角α
と同じ角度だけ逆方向に回転して、液晶基板のθずれを
補正し、矩形の液晶基板の各辺がＸ軸及びＹ軸の方向と
一致するようにする。再びＹステージを移動して液晶基
板のＸ辺３９がＹ位置センサ３４、３６で検出されるよ
うにＹ方向の位置決めを完了してから、Ｘステージを移
動して液晶基板のＹ辺４０（Ｙ軸にほぼ平行な辺）がＸ
位置センサ３８で検出できるようにし、Ｘ方向の位置決
めも完了する。これでプリアライメントが完了する。こ
の状態で、ＣＣＤカメラ４２を用いて液晶基板１１上の
認識符号を読み取る。

【０００７】認識符号を読み取った後に、液晶基板１１
をチャックピン３２からロボットアーム２０上に載せか
えて、図１１の測定ステージ２２に移す。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来のアライ
メント方法は、プリアライメント部に高価なＸＹθステ
ージを設ける必要がある。また、プリアライメントが済
んだ液晶基板を測定ステージに移す際に、まず、プリア
ライメントステージからロボットアームに載せかえて、
さらに、ロボットアームから測定ステージに載せかえる
ことになるので、２回の載せかえ作業に伴って液晶基板
の位置が狂いやすい。

【０００９】この発明は上述の問題点を解決するために
なされたものであり、その目的は、矩形の被検査基板を
プローブ装置に対してアライメントする場合に、プリア
ライメント領域の機構を簡素化するとともに、被検査基
板をプリアライメント領域から測定部に移す際に被検査
基板の位置ずれが生じにくいようなアライメント方法を
提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】この発明のアライメント
方法は、ロボットアーム上に被検査基板を載せたままの
状態で被検査基板のプリアライメントを完了して、この
状態からロボットアームを用いて被検査基板を測定部に
載せかえるようにしたものである。すなわち、この発明
のアライメント方法は、矩形の被検査基板をプローブ装
置に対してアライメントする方法において、次の（イ）
〜（ワ）の各段階を備えるものである。（イ）直交するＸ軸及びＹ軸に平行に移動できて、か
つ、ＸＹ平面に垂直なＺ軸の回りに回転できるロボット
アームと、プリアライメント領域において矩形の被検査
基板が正しく位置したときに被検査基板の一辺（以下
「Ｘ辺」という。）を検出できる第１及び第２のＹ位置
センサと被検査基板の前記一辺に垂直な他辺（以下「Ｙ
辺」という。）を検出できるＸ位置センサとを準備し
て、前記二つのＹ位置センサを互いにＸ軸に平行に所定
距離Ｄだけ離して配置する段階。（ロ）前記ロボットア
ームによって被検査基板を前記プリアライメント領域に
移送する段階。（ハ）前記ロボットアームで被検査基板
を保持した状態で前記ロボットアームをＹ軸に平行に移
動して、被検査基板のＸ辺が前記第１のＹ位置センサで
検出されるときの前記ロボットアームの座標Ｙａを得る
段階。（ニ）前記ロボットアームをＹ軸に平行に移動し
て、被検査基板のＸ辺が前記第２のＹ位置センサで検出
されるときの前記ロボットアームの座標Ｙｂを得る段
階。（ホ）前記座標ＹａとＹｂの差ΔＹと前記所定距離
Ｄとに基づいて、被検査基板のＸ辺とＸ軸との間の傾斜
角を演算する段階。（ヘ）前記プリアライメント領域に
配置された支持装置上に前記ロボットアームから被検査
基板を載せかえる段階。（ト）前記ロボットアームを前
記傾斜角と同じ方向に同じ角度だけＺ軸の回りに回転す
る段階。（チ）前記支持装置上の被検査基板を前記ロボ
ットアームで再び保持する段階。（リ）前記ロボットア
ームを前記傾斜角と反対の方向に同じ角度だけＺ軸の回
りに回転する段階。（ヌ）前記（ハ）と（ニ）の段階を
実行して座標ＹａとＹｂを得て、ＹａとＹｂの差が許容
範囲内にあることを確認する段階。（ル）前記ロボット
アームをＸ軸に平行に移動して、被検査基板のＹ辺が前
記Ｘ位置センサで検出されるようにして、プリアライメ
ントを完了する段階。（ヲ）前記ロボットアームにより
被検査基板を測定ステージに載せかえる段階。（ワ）被
検査基板を載せた前記測定ステージをプローブ装置のと
ころまで移動してから、プローブ装置と被検査基板との
間でファインアライメントを実行する段階。

【００１１】この発明では、プリアライメント完了後の
被検査基板をロボットアームに載せかえる必要がないの
で、プリアライメント領域から測定部に被検査基板を移
す際に、液晶基板の位置ずれが生じにくい。また、搬送
用のロボットアームで被検査基板を動かしてプリアライ
メントをしているので、プリアライメントのためのＸＹ
θステージが不要となる。

【００１２】この発明の方法を実施する場合に、プリア
ライメントを完了したら、その状態で被検査基板の認識
符号を読み取るようにするのが好ましい。

【００１３】この発明が対象とする被検査基板は矩形で
あリ、典型的には液晶基板である。被検査基板としては
矩形であれば液晶基板以外の基板でもよく、例えば、プ
ラズマ・ディスプレイ・パネル等のその他の表示パネル
基板であってもよいし、表示パネル以外の基板であって
もよい。

【００１４】

【発明の実施の形態】図１は、この発明の方法の一実施
形態を実施するための液晶基板検査装置におけるプリア
ライメント領域４４とロボット４６とを示す平面図であ
り、図２はその側面図である。カセット４８は複数の液
晶基板５０を収納している。カセット４８とプリアライ
メント領域４４の間にはロボット４６が配置されてい
る。このロボット４６は、ロボット本体５４と回転台５
６とロボットアーム５８とを備えている。ロボット本体
５４はレール６０に沿ってＸ軸方向に移動できる。回転
台５６はロボット本体５４に対してＺ軸５２の回りに回
転できて、かつ昇降可能である。ロボットアーム５８は
回転台５６上をその長手方向にスライドできる。ロボッ
トアーム５８の先端付近の上面には液晶基板を真空吸着
するための吸着溝が形成されている。なお、座標軸を説
明すると、ロボット本体５４の移動方向に平行にＸ軸を
とり、これに垂直にＹ軸をとる。Ｘ軸とＹ軸は水平面内
にある。そして、Ｚ軸５２（回転台５６の回転軸）はＸ
Ｙ平面に垂直である。

【００１５】プリアライメント領域４４にはプリアライ
メント台６２があり、このプリアライメント台６２の上
面には４本のチャックピン６４と２個のＹ位置センサ６
６、６８と１個のＸ位置センサ７０が固定されている。
チャックピン６４の上端には真空吸着パッドがある。Ｙ
位置センサとＸ位置センサは、それぞれ、発光素子と受
光素子が対になっており、発光素子から出た光が液晶基
板に当たるとその反射光が受光素子で検出されるように
なっている。２個のＹ位置センサ６６、６８は、これら
を結ぶ直線がＸ軸に平行になるように配置されており、
互いに距離Ｄだけ離れている。液晶基板５０のＸ辺７４
（Ｘ軸に平行な辺）がＹ位置センサ６６、６８で検出さ
れたときに、液晶基板５０はＹ軸方向に位置合わせされ
た状態になり、液晶基板５０のＹ辺７６（Ｙ軸に平行な
辺）がＸ位置センサ７０で検出されたときに、液晶基板
５０はＸ軸方向に位置合わせされた状態となる。位置セ
ンサ６６、６８、７０の各受光素子において、受光量が
所定の設定値を越えたら（すなわち、液晶基板からの反
射光が確認されたら）、液晶基板の各辺が位置センサの
ところに到達したものと判定している。なお、位置セン
サとして、上述の反射式の代わりに透過式のセンサを用
いてもよい。この場合は、受光量が所定の設定値を下回
ったときに液晶基板の各辺が位置センサのところに到達
したものと判定する。プリアライメント台６２の上方に
は、液晶基板５０の認識符号を読み取るためのＣＣＤカ
メラ７２が配置されている。そして、液晶基板５０が所
定の位置合わせ状態にあるときに、液晶基板５０上の認
識符号がＣＣＤカメラ７２の視野に入るようになってい
る。

【００１６】プリアライメント領域４４とロボット４６
以外の装置構成は、図１１に示す従来例と同じであるの
で、その説明は省略する。

【００１７】次に、液晶基板５０のプリアライメント方
法を説明する。図１において、まずロボット４６をレー
ル６０に沿って移動して、液晶基板５０を取り出そうと
するカセット４８に対向させる。図１では、カセット４
８はプリアライメント領域４４に対向するように描かれ
ているが、実際のカセット４８は、図１１に示すように
レールに沿って複数個配置されているので、液晶基板を
取り出そうとするカセットのところまでロボット４６を
移動する必要がある。

【００１８】カセット４８にロボット４６が対向した
ら、取り出そうとする液晶基板５０の下側にロボットア
ーム５８が来るように回転台５６を昇降してから、図３
に示すように、回転台５６を時計方向に回転して、ロボ
ットアーム５８をカセット４８の方にもってくる。そし
て、ロボットアーム５８の伸縮を調節してから、ロボッ
トアーム５８の先端の上面に液晶基板５０を吸着保持す
る。

【００１９】次に、ロボット４６をレール６０に沿って
移動してプリアライメント領域４４に対向させるととも
に回転台５６を１８０度だけ反時計方向に回転して、図
４に示すように、ロボットアーム５８の先端の液晶基板
５０をプリアライメント台６２の上方にもってくる。こ
のとき、ロボットアーム５８の伸縮方向がＹ軸に平行に
なるように、回転台５６の停止角度位置を設定する。

【００２０】次に、図５に示すように、ロボットアーム
５８をＹ軸方向に移動して、液晶基板５０のＸ辺７４が
第１のＹ位置センサ６６で検出されるようにする。そし
て、このときのロボットアーム５８のスライド位置をＹ
ａとして記憶する。次に、図６に示すように、ロボット
アーム５８を再びＹ軸方向に移動して、液晶基板５０の
Ｘ辺７４が第２のＹ位置センサ６８で検出されるように
する。このときのロボットアーム５８のスライド位置を
Ｙｂとして記憶する。液晶基板５０のＸ辺７４は、一般
的に、Ｘ軸に対して厳密には平行になっていないから、
座標ＹａとＹｂは異なっている。ロボット４６に接続さ
れている制御装置においては、ＹａとＹｂの差ΔＹと、
二つのＹ位置センサ６６、６８の距離Ｄとを用いて、液
晶基板５０のＸ辺７４のＸ軸に対する傾斜角αを演算す
る。すなわち、次の式（１）からαを求める。

【００２１】

【数１】ｔａｎ α ＝ ΔＹ／Ｄ …（１）

【００２２】図６では、液晶基板５０のＸ辺７４がＸ軸
に対して時計方向に角度αだけ傾斜している。

【００２３】次に、回転台５６を下降させ、ロボットア
ーム５８による液晶基板５０の吸着を解除して、液晶基
板５０を４本のチャックピン６４に載せかえる。それか
ら、図７に示すように、回転台５６を時計方向に（すな
わち傾斜角αと同じ方向に）角度αだけ回転する。その
後、回転台５６を上昇させて、ロボットアーム５８で再
び液晶基板５０を吸着保持する。この状態では、ロボッ
トアーム５８のスライド方向もＹ軸に対して角度αだけ
傾斜している。

【００２４】次に、図８に示すように、ロボットアーム
５８に液晶基板５０を載せた状態で回転台５６を反時計
方向に角度αだけ回転する。すなわち、回転台５６を元
の角度位置まで戻す。これにより、液晶基板５０のＸ辺
７４はＸ軸に平行になる。また、ロボットアーム５８の
スライド方向もＹ軸に平行になる。

【００２５】次に、図９に示すように、ロボットアーム
５８をＹ軸方向に移動して、液晶基板５０のＸ辺７４が
第１のＹ位置センサ６６で検出されるようにし、このと
きのロボットアーム５８のスライド位置を新たなＹａと
して記憶する。さらに、液晶基板５０のＸ辺７４が第２
のＹ位置センサ６８で検出されるときのロボットアーム
５８のスライド位置を新たなＹｂとして記憶する。とこ
ろで、最初の傾斜角αについて上述のような修正作業を
実施しているので、液晶基板５０のＸ辺７４はＸ軸にほ
ぼ平行になっており、ＹａとＹｂの差ΔＹは非常に小さ
くなっている。この差ΔＹが許容範囲（例えば０．５ｍ
ｍ）に入っていれば、次の段階に移行する。もし、許容
範囲に入っていなければ傾斜角の修正作業を繰り返す。

【００２６】次に、図１０に示すように、ロボット本体
５４をレール６０に沿ってＸ軸方向に移動して、液晶基
板５０のＹ辺７６がＸ位置センサ７０で検出されるよう
にする。

【００２７】以上の作業により、液晶基板５０は所定の
位置合わせ状態になり、プリアライメントが完了する。
そして、重要な点は、液晶基板５０がロボットアーム５
８に載った状態でプリアライメントが完了することであ
る。この状態で、液晶基板５０上の認識符号をＣＣＤカ
メラ７２で読み取る。

【００２８】次に、ロボットアーム５８に載ったままの
液晶基板５０を、ロボット４６によって測定ステージに
移送し、測定ステージに液晶基板５０を載せかえる。プ
リアライメント領域４４において液晶基板５０は３個の
センサ６６、６８、７０のところに正しく位置合わせさ
れたので、この状態から、ロボット本体５４を所定距離
だけＸ軸方向に移動するとともにロボットアーム５８を
所定距離だけＹ軸方向に移動すれば、液晶基板５０は測
定ステージ上の所定位置に到達することになる。なお、
プリアライメント領域から測定ステージヘと液晶基板を
移送する場合に、液晶基板のＹ軸方向の位置は同じにし
ておくような装置配置にしておくこともできる。この場
合は、ロボット本体５４のＸ軸方向の移動だけで液晶基
板を測定ステージに載せかえることができる。

【００２９】このようにして、ロボットアームに液晶基
板が載ったままの状態でプリアライメントが完了するの
で、プリアライメント領域から測定ステージに液晶基板
を移送する場合に、液晶基板をロボットアームに載せか
える作業が不要になり、プリアライメント領域から測定
ステージに液晶基板を移す際の液晶基板の位置ずれが生
じにくくなる。

【００３０】測定ステージに液晶基板を載せかえた後
は、測定ステージをプローブ装置のところまで移動し
て、液晶基板のファインアライメントを実施してから、
プローブ装置のプローブ針を液晶基板の電極に接触させ
て、液晶基板の検査を実施する。

【００３１】図１の実施形態の具体的な寸法例を説明す
ると、矩形の液晶基板のＸ辺７４が６５０ｍｍ、Ｙ辺７
６が５５０ｍｍのときに、二つのＹ位置センサ６６、６
８の距離Ｄは４５０ｍｍである。この距離は、チャック
ピン６４のＸ軸方向の配置間隔にほぼ等しい。図４〜図
７では液晶基板５０の各辺はＸＹ軸から大きく傾斜して
いるように描かれているが、これは図面を見易くするた
めに誇張して描いているものであり、実際の装置では、
α＝１°以下の角度ずれである。実際の測定例を説明す
ると、Ｘ辺７４が６５０ｍｍのときに、二つのＹ位置セ
ンサ６６、６８による検出値Ｙａ、Ｙｂの差ΔＹは、最
大で約６ｍｍであった。そして、本発明のプリアライメ
ントを実施すると、この差ΔＹは、例えば０．５ｍｍ以
下に収まる。

【００３２】

【発明の効果】この発明のアライメント方法は、搬送用
のロボットアームに被検査基板を載せた状態でプリアラ
イメントを実施するので、プリアライメントを完了した
後の被検査基板をロボットアームに載せかえる必要がな
くなり、プリアライメント領域から測定部に被検査基板
を移す際に、液晶基板の位置ずれが生じにくい。また、
搬送用のロボットアームで被検査基板を動かすことによ
ってプリアライメントを実施しているので、プリアライ
メントのためのＸＹθステージが不要となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の方法の一実施形態を実施するための
液晶基板検査装置におけるプリアライメント領域とロボ
ットとを示す平面図である。

【図２】図１の側面図である。

【図３】プリアライメント工程の第１段階を示す平面図
である。

【図４】プリアライメント工程の第２段階を示す平面図
である。

【図５】プリアライメント工程の第３段階を示す平面図
である。

【図６】プリアライメント工程の第４段階を示す平面図
である。

【図７】プリアライメント工程の第５段階を示す平面図
である。

【図８】プリアライメント工程の第６段階を示す平面図
である。

【図９】プリアライメント工程の第７段階を示す平面図
である。

【図１０】プリアライメント工程の第８段階を示す平面
図である。

【図１１】液晶基板を検査するための従来の装置構成を
示す平面図である。

【図１２】カメラの視野に入っている認識符号を示す拡
大図である。

【図１３】図１１のプリアライメント部とロボットを示
す平面図である。

【図１４】図１３の側面図である。

【符号の説明】

４４プリアライメント領域４６ロボット４８カセット５０液晶基板５２Ｚ軸５４ロボット本体５６回転台５８ロボットアーム６０レール６２プリアライメント台６４チャックピン６６、６８Ｙ位置センサ７０Ｘ位置センサ７２ＣＣＤカメラ７４Ｘ辺７６Ｙ辺

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所 // Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｇ０１Ｒ 31/28 Ｊ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】矩形の被検査基板をプローブ装置に対し
てアライメントする方法において、次の各段階を備える
アライメント方法。（イ）直交するＸ軸及びＹ軸に平行に移動できて、か
つ、ＸＹ平面に垂直なＺ軸の回りに回転できるロボット
アームと、プリアライメント領域において矩形の被検査
基板が正しく位置したときに被検査基板の一辺（以下
「Ｘ辺」という。）を検出できる第１及び第２のＹ位置
センサと被検査基板の前記一辺に垂直な他辺（以下「Ｙ
辺」という。）を検出できるＸ位置センサとを準備し
て、前記二つのＹ位置センサを互いにＸ軸に平行に所定
距離Ｄだけ離して配置する段階。（ロ）前記ロボットアームによって被検査基板を前記プ
リアライメント領域に移送する段階。（ハ）前記ロボットアームで被検査基板を保持した状態
で前記ロボットアームをＹ軸に平行に移動して、被検査
基板のＸ辺が前記第１のＹ位置センサで検出されるとき
の前記ロボットアームの座標Ｙａを得る段階。（ニ）前記ロボットアームをＹ軸に平行に移動して、被
検査基板のＸ辺が前記第２のＹ位置センサで検出される
ときの前記ロボットアームの座標Ｙｂを得る段階。（ホ）前記座標ＹａとＹｂの差ΔＹと前記所定距離Ｄと
に基づいて、被検査基板のＸ辺とＸ軸との間の傾斜角を
演算する段階。（ヘ）前記プリアライメント領域に配置された支持装置
上に前記ロボットアームから被検査基板を載せかえる段
階。（ト）前記ロボットアームを前記傾斜角と同じ方向に同
じ角度だけＺ軸の回りに回転する段階。（チ）前記支持装置上の被検査基板を前記ロボットアー
ムで再び保持する段階。（リ）前記ロボットアームを前記傾斜角と反対の方向に
同じ角度だけＺ軸の回りに回転する段階。（ヌ）前記（ハ）と（ニ）の段階を実行して座標Ｙａと
Ｙｂを得て、ＹａとＹｂの差ΔＹが許容範囲内にあるこ
とを確認する段階。（ル）前記ロボットアームをＸ軸に平行に移動して、被
検査基板のＹ辺が前記Ｘ位置センサで検出されるように
して、プリアライメントを完了する段階。（ヲ）前記ロボットアームにより被検査基板を測定ステ
ージに載せかえる段階。（ワ）被検査基板を載せた前記測定ステージをプローブ
装置のところまで移動してから、プローブ装置と被検査
基板との間でファインアライメントを実行する段階。
【請求項２】前記（ル）の段階と（ヲ）の段階の間
で、被検査基板の認識符号を読み取ることを特徴とする
請求項１記載のアライメント方法。
【請求項３】矩形の被検査基板をプローブ装置に対し
てアライメントする方法において、次の各段階を備える
アライメント方法。（イ）互いに交差する第１座標軸及び第２座標軸に平行
に移動できて、かつ、第１座標軸及び第２座標軸を含む
平面に垂直な第３座標軸の回りに回転できるロボットア
ームと、プリアライメント領域において矩形の被検査基
板が正しく位置したことを検出できるセンサとを準備す
る段階。（ロ）前記ロボットアームによって被検査基板を前記プ
リアライメント領域に移送する段階。（ハ）前記ロボットアームで保持した状態の被検査基板
が前記プリアライメント領域上で正しく位置するように
前記ロボットアームを移動させてプリアライメントを完
了する段階。（ニ）前記ロボットアームにより被検査基板を測定ステ
ージに載せかえる段階。（ホ）被検査基板を載せた前記測定ステージをプローブ
装置のところまで移動してから、プローブ装置と被検査
基板との間でファインアライメントを実行する段階。
【請求項４】前記（ハ）の段階と（ニ）の段階の間
で、被検査基板の認識符号を読み取ることを特徴とする
請求項３記載のアライメント方法。