JPH09145332A - 物体の計測装置における検出データ読出し装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】物体からの反射光に基づき物体の形状等を計測
装置において計測精度を向上させる。 【解決手段】シャッタ手段１０は、被計測物体７が停止
しているとき開き、光検出器アレイ９の各光検出器は、
同じ位置Ｚにおけるオプティカルスライス観察像を光電
変換によって蓄積する。そして、光検出器アレイ９の各
光検出器から蓄積された電荷を読み出す間は、シャッタ
手段１０が閉じられるとともに被計測物体７は移動され
る。このため、光検出器アレイ９の各光検出器の検出デ
ータは、同じ位置Ｚのものとして得られ、その同じ位置
の検出データを読み出すことができる。また、上記構成
において、シャッタ手段１０を開く代わりに、光源１を
点灯させ、シャッタ手段１０を閉じる代わりに、光源１
を消灯させるようにしてもよい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、所定の方向に移
動する物体に光を入射してその反射光を光検出器アレイ
で受光することにより物体の計測を行う物体の計測装置
に関し、特に、光検出器アレイの検出データを読み出す
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術および発明が解決しようとする課題】所定
の方向に移動する物体に光を入射してその反射光を光検
出器アレイで受光することにより物体の形状を測定する
技術としては、例えば特開平４ー２６５９１８号公報に
示すように、共焦点光学系を２次元的に配置したものが
ある。

【０００３】すなわち、図１０に示す装置では、光源１
の光は、レンズ２、３を介して平行光となり、ピンホー
ルアレイＰＨ１に入射される。ピンホールアレイＰＨ１
は、ピンホールがマトリックス状に配置されたものであ
る。

【０００４】ピンホールアレイＰＨ１を通過した光は、
ハーフミラー４を透過し、開口絞りによってテレセント
リック系を構成するレンズ５ａ、５ｂによって集光さ
れ、被計測物体７に投光される。被計測物体７は、Ｚ軸
方向に変位可能な移動ステージ８上に載置されている。

【０００５】被計測物体７で反射された光は、レンズ５
ａ、５ｂで集光され、ハーフミラー４で反射され、ピン
ホールアレイＰＨ１と共役な位置に結像する。この結像
位置にピンホールアレイＰＨ２を配置し、ピンホールを
通過する光を光検出器アレイ９の各光検出器で検出す
る。

【０００６】かかる構成によれば、移動制御部４０によ
って、移動ステージ８をＺ方向に変位させながら、３次
元計測部３０において、光検出器アレイ９の個々の光検
出器の出力を別々にサンプリングし、各Ｚ位置毎のいわ
ゆるオプティカルスライス観察像を取得し、各々の光検
出器の出力が最大になったときのＺ方向位置を物体７の
表面位置として計測することができる。

【０００７】図１１は光検出器アレイ９の個々の光検出
器Ｄ11、Ｄ12、Ｄ13、…Ｄ21…Ｄmnの配置態様を示す平
面図である。

【０００８】ここで、通常、ＭＯＳ型などの光検出器ア
レイ９の個々の光検出器の検出データを読み出すには、
同図１１に示すように、ラスタスキャンによって、光電
変換により各光検出器Ｄ11…に蓄積された電荷を１検出
器ごとに読み出していく。したがって、最初の光検出器
Ｄ11と最後の光検出器Ｄmnでは、読み出される時間に差
が生じる。

【０００９】このように、移動ステージ８をＺ方向に変
位させながら、光検出器アレイ９の個々の光検出器の検
出データを順次サンプリングする場合、光検出器ごと
に、読み出される時間に差があるため、光検出器ごとに
検出時点のＺ位置が異なってしまう。これによって計測
誤差を招来するという問題があった。

【００１０】また、移動ステージ８は、例えばパルスモ
ータなどで駆動されるため、被計測物体７は、図１２に
示すようにステップ状に移動し、連続的に移動しない。

【００１１】このため、ある光検出器では、検出データ
が、Ａに示すように同じＺ位置のデータであり、他のあ
る光検出器では、検出データが、Ｂに示すように異なる
Ｚ位置にまたがったデータであるという具合に、光検出
器ごとに、検出データのＺ位置移動量が異なってしま
い、これがさらに計測誤差が広げる要因となっていた。
この発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、
光検出器アレイの各検出器の検出データが、すべて同じ
Ｚ位置となるように、検出データを読み出すことができ
るようにして、物体の形状等の計測の精度を向上させる
ことを目的とするものである。

【００１２】

【課題を解決するための手段および効果】そこで、この
発明の主たる発明では、被計測物体を所定の方向に移動
させる移動手段と、光源から前記所定の方向に移動する
被計測物体に向けて光を投光する投光手段と、前記被計
測物体で反射された光を、複数設けられた光検出器で検
出する光検出器アレイと、前記被計測物体の各移動位置
毎に、前記光検出器アレイの各光検出器の検出データを
読み出す読出し手段とを具え、前記読み出された各移動
位置毎の検出データに基づき前記被計測物体の計測を行
うようにした物体の計測装置において、停止指令に応じ
て前記被計測物体の移動を停止させる移動停止手段と、
前記投光手段と前記被計測物体の間または前記被計測物
体と前記光検出器の間に設けられ、閉指令に応じて前記
光検出器アレイに入力される光を遮断するシャッタ手段
と、光検出行程では、前記移動停止手段に対して停止指
令を出力するとともに、前記シャッタ手段に対する閉指
令をオフし、この停止指令が出力され、かつ閉指令がオ
フされている間に、前記光検出器アレイの各光検出器で
光を検出し、検出データ読出し行程では、前記移動停止
手段に対する停止指令をオフするとともに、前記シャッ
タ手段に対して閉指令を出力し、この停止指令がオフさ
れ、かつ閉指令が出力されている間に、前記読出し手段
に、前記光検出器アレイの各光検出器の検出データの読
出しを行わせる制御手段とを具えている。

【００１３】このような構成によれば、シャッタ手段
は、被計測物体が停止しているとき開くので、光検出器
アレイの各光検出器は、同じ位置におけるオプティカル
スライス観察像を光電変換によって蓄積する。そして、
光検出器アレイの各光検出器から蓄積された電荷を読み
出す間は、シャッタ手段が閉じられるとともに被計測物
体は移動される。このため、光検出器アレイの各光検出
器の検出データは、同じ位置のものとして得られ、その
同じ位置の検出データを読み出すことができる。また、
上記構成において、シャッタ手段を開く代わりに、光源
を点灯させ、シャッタ手段を閉じる代わりに、光源を消
灯させるようにしてもよい。

【００１４】また、上記構成において、シャッタ手段が
開いている時間あるいは光源が点灯している時間が十分
短い場合には、シャッタ手段が開いている間あるいは光
源が点灯している間、物体を停止させることなく、オプ
ティカルスライス観察像を光電変換して光検出器アレイ
の各光検出器に蓄積するようにしてもよい。この場合に
は、光検出器アレイの各光検出器の検出データは、ほぼ
同じ位置のものとして得られ、そのほぼ同じ位置の検出
データを読み出すことができる。そして、物体の移動停
止に伴う計測時間の遅滞を被ることなく、計測精度を向
上させることができる。

【００１５】さらに、また、上記構成において、シャッ
タ手段が開いている間あるいは光源が点灯している間
に、光検出器アレイの各光検出器に電荷を蓄積するとと
もに、蓄積された検出データを読み出す処理を行うよう
にしてもよい。

【００１６】このように、光検出器アレイの各検出器の
検出データが、すべて同じＺ位置となるように、検出デ
ータが読み出されるので、物体の形状等の計測の精度が
飛躍的に向上する。

【００１７】なお、シャッタ手段が開いている時間ある
いは光源が点灯している時間は、被計測物体の反射率に
応じて設定される。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明に係
る物体の計測装置における検出データ読出し装置の実施
の形態について説明する。

【００１９】・実施例１ 図１は、実施例１の全体構成である。この装置は、図１
０に示す装置に光シャッタ１０を付加してなるものであ
り、図１０と同一のものには同一の符号を付与して説明
を省略する。

【００２０】光シャッタ１０は、３次元計測部３０から
出力される閉指令に応じて、光路を遮断し、閉指令がオ
フされると、光を通過させるものであり、図１の場合、
光源１とレンズ２の間に配設されている。なお、光シャ
ッタ１０の配設位置としては、これに限定されることな
く、光源１とピンホールアレイＰＨ１の間の任意の位
置、ピンホールアレイＰＨ１とハーフミラー４の間の任
意の位置、ハーフミラー４と被計測物体７の検査面との
間の任意の位置、ピンホールアレイＰＨ２とハーフミラ
ー４の間の任意の位置、ピンホールアレイＰＨ２と光検
出器アレイ９の間の位置、等、光路を遮断し、光検出器
アレイ９に光を入射させないようにすることができる場
所であれば、任意の位置に配設可能である。

【００２１】ここで、光シャッタ１０としては、例え
ば、つぎのものを使用することができる。

【００２２】（１）機械式シャッタ ・カメラシャッタなどの機械式シャッタ ・円盤（筒）光チョッパ （２）偏光回転光学素子と偏光板で構成するシャッタ ここで、偏光回転光学素子とは、旋光性や屈折率が、磁
界、電界、電磁波などによって変化し、偏光方向を回転
させる素子のことである。つぎのものを使用することが
できる。

【００２３】・液晶（旋光性） ・ポッケルス効果（ＰＬＺＴなど） ・ファラデー効果（旋光性） ・（光）カー効果（ＣＳ２など） などを使用することができる。

【００２４】図２（ａ）、（ｂ）は、かかるシャッタの
作用を説明する図であり、同図２（ａ）に示すように、
通常は、入射光が偏光板１２を通過するように、偏光板
１２の方向を設定しておく。そして、図２（ｂ）に示す
ように、磁界、電界、電磁波などを偏光回転光学素子１
１に印加することにより偏光方向を回転させ、偏光板１
２を光が通過できなくなるようにする。

【００２５】（３）散乱性液晶シャッタ 散乱性液晶シャッタとは、透過散乱型の液晶を利用した
シャッタのことであり、磁界、電界、電磁波などを印加
することにより透過率の変化する素子のことである。透
過率を変化させて光を透過させたり、光を散乱させたり
（光を遮断させたり）するものである。

【００２６】（４）電子式シャッタ 電子式シャッタは、例えばＳＯＮＹ ＸＣ７７ＲＲＣＥ
を使用することができる。光検出器アレイ９上に配置さ
れ、光を遮断する。

【００２７】なお、上記（２）、（３）のシャッタを配
設する際には、光学系の収差を考慮して、光源１とピン
ホールアレイＰＨ１の間に、配設するのが望ましい。

【００２８】図３は、実施例１（図１）の３次元計測部
３０および移動制御部４０で行われる処理の手順を示す
フローチャートである。

【００２９】同図３に示すように、まず、移動制御部４
０から、Ｚ軸方向に移動する移動ステージ８に対して移
動停止指令が出力され、移動ステージ８は停止される
（ステップ１０１）。そして、これと同時に、３次元計
測部３０から光シャッタ１０に対して出力される閉指令
がオフにされて、光シャッタ１０は開放され、光源１と
レンズ２の間を光が通過できるようになる（ステップ１
０２）。

【００３０】やがて、設定された時間が経過した時点
で、３次元計測部３０から光シャッタ１０に対して閉指
令が出力されて、光シャッタ１０は閉じられ、光源１と
レンズ２の間の光路は遮断される（ステップ１０４）。
そして、これと同時に、移動制御部４０から移動ステー
ジ８に対して出力される移動停止指令がオフにされ、移
動ステージ８は移動を開始する（ステップ１０６）。

【００３１】ここで、光シャッタ１０が開かれている時
間は、被計測物体７の反射率に応じて設定される。

【００３２】このようにして、被計測物体７が停止さ
れ、かつ光シャッタ１０が開かれている間に、光検出器
アレイ９の各光検出器で、光が電荷として蓄積される。
このため、光検出器アレイ９の各検出器の検出データ
は、すべて同じＺ位置のものとして取得される（ステッ
プ１０３）。

【００３３】そして、被計測物体７がＺ方向に移動して
いる間（ステップ１０６）、３次元計測部３０では、光
検出器アレイ９の各光検出器から、検出データを読み出
す処理が行われる（ステップ１０５）。そして、この検
出データに基づき物体７の形状が計測される。移動ステ
ージ８が所定移動量ΔＺだけ移動すると、手順は、再度
ステップ１０１に移行され、以後同様の処理が繰り返し
実行される。

【００３４】このように、光検出器アレイ９の各検出器
の検出データは、すべて同じＺ位置のものとして読み出
されるので、物体７の形状の計測の精度が飛躍的に向上
することとなる。

【００３５】また、図４に示すような手順で処理してい
もよい。図４に示すステップ２０１、２０２、２０３、
２０４、２０５、２０６は、それぞれ図３に示すステッ
プ１０１、１０２、１０３、１０５、１０４、１０６に
対応するものである。

【００３６】すなわち、上記ステップ１０５と同じ「検
出データの読出しの処理」（ステップ２０４）を、被計
測物体７が移動され、かつ光シャッタ１０が閉じている
間に、行うのではなく、被計測物体７が停止され、かつ
光シャッタ１０が開かれている間に、行うようにしても
よい（ステップ２０１〜２０６）。

【００３７】また、光シャッタ１０が開いている時間が
十分短く、その間のＺ方向の移動量をほとんど無視でき
るのであれば、図５に示すような手順で処理してもよ
い。図５に示すステップ３０１、３０２、３０３、３０
４は、それぞれ図３に示すステップ１０２、１０３、１
０４、１０５に対応するものである。

【００３８】図５の場合には、図３の場合と異なり、移
動ステージ８が停止されることなく、連続して移動され
る。

【００３９】すなわち、光シャッタ１０が開かれている
間（ステップ３０１〜ステップ３０３）に、光検出器ア
レイ９で光が受光、検出され（ステップ３０２）、光シ
ャッタ１０が閉じている間に、光検出器アレイ９から、
検出データが読み出される（ステップ３０４）。

【００４０】さらに、図５において、図４と同様に、
「検出データの読出しの処理」（ステップ３０４）を、
光シャッタ１０が開かれている間に、行うようにしても
よい。すなわち、図５において、ステップ３０１、３０
２、３０３、３０４の順序で処理を繰り返し行うのでは
なく、ステップ３０１、３０２、３０４、３０３の順序
で処理を繰り返し行うようにする。

【００４１】図５の場合、被計測物体７は連続して移動
するため、図３のものに比べて、物体７が停止している
間のロスがない分、計測時間の短縮を図れる。

【００４２】しかしながら、光シャッタ１０が開いてい
る間（ステップ３０１〜ステップ３０３）は、移動して
いる被計測物体７からの反射光が光検出器アレイ９の各
検出器で検出されるので、精度の点では、図３のものに
比べて僅かに劣ることになる。

【００４３】しかし、光検出器アレイ９の各光検出器
は、すべて、被計測物体７が同じ移動量だけ移動してい
る間における反射光を同じ条件で受光するので、従来に
くらべて計測誤差が小さくなる。

【００４４】・実施例２ 図６は、図１の光シャッタ１０の代わりに、偏光回転光
学素子１３とハーフミラー（偏光ビームスプリッタ）４
と１／４波長板１４とで構成されるシャッタを配設した
実施例を示している。図１と同一のものには、同一の符
号を付けてその説明を省略する。

【００４５】３次元計測部３０は、偏光回転光学素子１
３に対して磁界、電界、電磁波などを所要に印加して、
偏光方向を回転させる。

【００４６】シャッタを開く場合には、ピンホールアレ
イＰＨ１から出る光の偏光が、Ｐ偏光になるように、偏
光方向が回転される。この結果、光が偏光ビームスプリ
ッタ４、１／４波長板１４を透過して被計測物体７に投
射される。そして、被計測物体７からの反射光は、１／
４波長板１４を透過してＳ偏光となり、偏光ビームスプ
リッタ４で反射して光検出器アレイ９で受光される。シ
ャッタを閉じる場合には、ピンホールアレイＰＨ１から
出る光の偏光が、Ｓ偏光になるように、偏光方向が回転
される。この結果、光が偏光ビームスプリッタ４で反射
され（破線参照）、光検出器アレイ９に戻る投光成分
は、無くなり、光検出器アレイ９で光は受光されなくな
る。

【００４７】３次元計測部３０、移動制御部４０では、
上述した実施例１と同様にして、図３に示す処理、また
は図４に示す処理、または図５に示す処理が実行され
る。

【００４８】・実施例３ 図７は、図１に示す光シャッタ１０の代わりに、光偏向
手段１５と開口６´とで構成されるシャッタを使用した
実施例の要部を示す図である。図１と同一のものには、
同一の符号を付けてその説明を省略する。

【００４９】このシャッタは、光路中であれば図１の任
意の場所に配設することができる。３次元計測部３０
は、光偏向手段１５に対して所要の信号を入力して、光
偏向手段１５から出力される光の向きを、実線あるいは
破線に示すごとく変化させる。

【００５０】シャッタを開く場合には、光偏向手段１５
によって光の向きが、実線に示すごとく変化される。こ
の結果、光は開口６´を通過して、光検出器アレイ９で
光が受光される。

【００５１】シャッタを閉じる場合には、光偏向手段１
５によって光の向きが、破線に示すごとく変化される。
この結果、光は開口６´を通過しなくなり、光検出器ア
レイ９で光は受光されなくなる。

【００５２】３次元計測部３０、移動制御部４０では、
上述した実施例１と同様にして、図３に示す処理、また
は図４に示す処理、または図５に示す処理が実行され
る。

【００５３】光偏向手段１５としては、例えば、以下の
ものを使用することができる。

【００５４】・ポリゴンミラー、ガルバノミラー ・ＡＯＭ（Ｑスイッチ） ・実施例４ さて、光学系を図１０に示す従来の構成としたままで、
実施例１ないし実施例３のようにシャッタを配設したも
のと同等の効果を得ることができる実施例について以下
説明する。

【００５５】すなわち、図１０において、光源１を点
灯、消灯が自在のものとし、３次元計測部３０から光源
１に対して所要に点灯させるための指令信号（オン信
号）、光源１を消灯させるための指令信号（オフ信号）
を出力可能に構成すればよい。

【００５６】シャッタを開くのと同じ効果を得たいとき
には、光源１に対して点灯指令を出力し、光源１を点灯
させればよい。この結果、光検出器アレイ９で光が受光
される。

【００５７】シャッタを閉じるのと同じ効果を得たいと
きには、光源１に対する点灯指令をオフして、光源１を
消灯させればよい。この結果、光検出器アレイ９で光が
受光されなくなる。

【００５８】３次元計測部３０、移動制御部４０では、
上述した実施例１と同様にして、図３に示す処理、また
は図４に示す処理、または図５に示す処理が実行され
る。

【００５９】ただし、「シャッタを開かせる」処理の代
わりに、「光源１を点灯させる」処理を行わせるように
し（ステップ１０２、ステップ２０２、ステップ３０
１）、「シャッタを閉じさせる」処理の代わりに、「光
源１を消灯させる」処理を行わせるようにする（ステッ
プ１０４、ステップ２０５、ステップ３０３）。

【００６０】光源１としては、点滅を電気的に制御し得
るものであれば任意のものを使用することができる。例
えば、 ・フラッシュランプ ・パルスレーザ ・ＬＥＤ、ＥＬ、レーザダイオードなどの半導体発光素
子 を使用することができる。

【００６１】・実施例５ 図８は、図１０に示す光源１、レンズ２、レンズ３、ピ
ンホールアレイＰＨ１の代わりに、点光源アレイ１６を
使用した実施例である。

【００６２】図１０のピンホールアレイＰＨ１の各ピン
ホールに対応する部分に、点光源アレイ１６の各点発光
素子がそれぞれ位置されるように、配置されている。

【００６３】この実施例５に対して、上述した実施例
１、実施例２、実施例３と同様なシャッタを配設して、
３次元計測部３０、移動制御部４０で、上述した実施例
１と同様にして、図３に示す処理、または図４に示す処
理、または図５に示す処理を実行させることができる。

【００６４】また、シャッタを配設することなく、上述
した実施例４と同様に、点光源アレイ１６の点灯、消灯
を制御することで、シャッタの開、閉と同等の処理を行
うようにしてもよい。

【００６５】・実施例６ 図９は、本出願人に係る先願（特願平６ー２３７８０４
号）の明細書の実施例に記載された発明に、本発明を適
用した場合を示している。

【００６６】、この装置では、ホログラム２０は、光学
系の点光源アレイと受光光を透過する光学部品として機
能する。

【００６７】すなわち、ホログラム２０は、点光源光の
発生手段として用いられるものであり、光源２１からレ
ンズ２２、レンズ２３を介して参照光が入射されること
によって、あたかもピンホールアレイＰＨの各ピンホー
ルから光が出射したような光を再生する。

【００６８】このようにしてホログラム３は、参照光に
よって物体光を再生する。物体光は、ピンホールアレイ
ＰＨの各ピンホールより出射される複数の波面である。
この実施例では、レンズ１９ａによって変換された複数
の平行光を想定している。

【００６９】再生された複数の物体光は、レンズ１９ｂ
によって被計測物体７の検査面に集光され、物体７で反
射された光が、レンズ１９ｂ、ホログラム２０、レンズ
１９ａを介して、ピンホールアレイＰＨ、レンズ１７の
背後の光検出器アレイ９で検出される。つまり、ピンホ
ールアレイＰＨの各ピンホールを通過する光が、接眼レ
ンズ１７を介して１対１で光検出器アレイ９の各光検出
器に結像される。この場合、ピンホールアレイＰＨのピ
ンホールのピッチと光検出器アレイ９の光検出器のピッ
チは同一である必要はなく、接眼レンズ１７の倍率に対
応して各々のピッチを設定すればよい。

【００７０】ここで、光源２１とレンズ２２の間には、
上述した実施例１（図１）、実施例３（図７）に示され
るシャッタと同等の光シャッタ１８を配設し、３次元計
測部３０、移動制御部４０で、上述した実施例１と同様
にして、図３に示す処理、または図４に示す処理、また
は図５に示す処理を実行させることができる。

【００７１】また、光シャッタ１８を配設することな
く、上述した実施例４と同様に、点光源アレイ１６の点
灯、消灯を制御することで、シャッタの開、閉と同等の
処理を行うようにしてもよい。

【００７２】なお、以上説明した実施例では、共焦点光
学系を応用した３次元計測装置に適用される場合を例に
とって説明したが、本発明としては、所定の方向に移動
する物体に光を入射してその反射光を光検出器アレイで
受光することにより物体の計測を行う物体の計測装置で
あれば、任意の計測装置に適用可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は この発明の実施例１の構成を示す図で
ある。

【図２】図２（ａ）、（ｂ）は、図１に示す光シャッタ
として偏光回転光学素子と偏光板で構成したものを使用
したときの作用を説明する図である。

【図３】図３は、実施例の処理手順の第１例を示すフロ
ーチャートである。

【図４】図４は、実施例の処理手順の第２例を示すフロ
ーチャートである。

【図５】図５は、実施例の処理手順の第２例を示すフロ
ーチャートである。

【図６】図６は、この発明の実施例２の構成を示す図で
ある。

【図７】図７は、この発明の実施例３の構成の要部を示
す図である。

【図８】図８は、この発明の実施例５の構成を示す図で
ある。

【図９】図９は、この発明の実施例６の構成を示す図で
ある。

【図１０】図１０は、従来技術の構成を示す図である。

【図１１】図１は、光検出器アレイから、検出データが
読み出されていく様子を説明する平面図である。

【図１２】図１２は、被計測物体が時間の経過ととも
に、ステップ状に移動位置を変化させていくことを説明
するグラフである。

【符号の説明】

９ 光検出器アレイ １０ 光シャッタ ３０ ３次元計測部 ４０ 移動制御部

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被計測物体を所定の方向に移動させ
   る移動手段と、光源から前記所定の方向に移動する被計
   測物体に向けて光を投光する投光手段と、前記被計測物
   体で反射された光を、複数設けられた光検出器で検出す
   る光検出器アレイと、前記被計測物体の各移動位置毎
   に、前記光検出器アレイの各光検出器の検出データを読
   み出す読出し手段とを具え、前記読み出された各移動位
   置毎の検出データに基づき前記被計測物体の計測を行う
   ようにした物体の計測装置において、 停止指令に応じて前記被計測物体の移動を停止させる移
   動停止手段と、 前記投光手段と前記被計測物体の間または前記被計測物
   体と前記光検出器の間に設けられ、閉指令に応じて前記
   光検出器アレイに入力される光を遮断するシャッタ手段
   と、 光検出行程では、前記移動停止手段に対して停止指令を
   出力するとともに、前記シャッタ手段に対する閉指令を
   オフし、この停止指令が出力され、かつ閉指令がオフさ
   れている間に、前記光検出器アレイの各光検出器で光を
   検出し、 検出データ読出し行程では、前記移動停止手段に対する
   停止指令をオフするとともに、前記シャッタ手段に対し
   て閉指令を出力し、この停止指令がオフされ、かつ閉指
   令が出力されている間に、前記読出し手段に、前記光検
   出器アレイの各光検出器の検出データの読出しを行わせ
   る制御手段とを具えた物体の計測装置における検出デー
   タ読出し装置。
2. 【請求項２】 被計測物体を所定の方向に移動させ
   る移動手段と、光源から前記所定の方向に移動する被計
   測物体に向けて光を投光する投光手段と、前記被計測物
   体で反射された光を、複数設けられた光検出器で検出す
   る光検出器アレイと、前記被計測物体の各移動位置毎
   に、前記光検出器アレイの各光検出器の検出データを読
   み出す読出し手段とを具え、前記読み出された各移動位
   置毎の検出データに基づき前記被計測物体の計測を行う
   ようにした物体の計測装置において、 前記投光手段と前記被計測物体の間または前記被計測物
   体と前記光検出器の間に設けられ、閉指令に応じて前記
   光検出器アレイに入力される光を遮断するシャッタ手段
   と、 光検出行程では、前記シャッタ手段に対する閉指令をオ
   フし、この閉指令がオフされている間に、前記光検出器
   アレイの各光検出器で光を検出し、 検出データ読出し行程では、前記シャッタ手段に対して
   閉指令を出力し、この閉指令が出力されている間に、前
   記読出し手段に、前記光検出器アレイの各光検出器の検
   出データの読出しを行わせる制御手段とを具えた物体の
   計測装置における検出データ読出し装置。
3. 【請求項３】 被計測物体を所定の方向に移動させ
   る移動手段と、光源から前記所定の方向に移動する被計
   測物体に向けて光を投光する投光手段と、前記被計測物
   体で反射された光を、複数設けられた光検出器で検出す
   る光検出器アレイと、前記被計測物体の各移動位置毎
   に、前記光検出器アレイの各光検出器の検出データを読
   み出す読出し手段とを具え、前記読み出された各移動位
   置毎の検出データに基づき前記被計測物体の計測を行う
   ようにした物体の計測装置において、 停止指令に応じて前記被計測物体の移動を停止させる移
   動停止手段と、 消灯指令に応じて前記光源を消灯させる消灯手段と、 光検出行程では、前記移動停止手段に対して停止指令を
   出力するとともに、前記消灯手段に対する消灯指令をオ
   フし、この停止指令が出力され、かつ消灯指令がオフさ
   れている間に、前記光検出器アレイの各光検出器で光を
   検出し、 検出データ読出し行程では、前記移動停止手段に対する
   停止指令をオフするとともに、前記消灯手段に対して消
   灯指令を出力し、この停止指令がオフされ、かつ消灯指
   令が出力されている間に、前記読出し手段に、前記光検
   出器アレイの各光検出器の検出データの読出しを行わせ
   る制御手段とを具えた物体の計測装置における検出デー
   タ読出し装置。
4. 【請求項４】 被計測物体を所定の方向に移動させ
   る移動手段と、光源から前記所定の方向に移動する被計
   測物体に向けて光を投光する投光手段と、前記被計測物
   体で反射された光を、複数設けられた光検出器で検出す
   る光検出器アレイと、前記被計測物体の各移動位置毎
   に、前記光検出器アレイの各光検出器の検出データを読
   み出す読出し手段とを具え、前記読み出された各移動位
   置毎の検出データに基づき前記被計測物体の計測を行う
   ようにした物体の計測装置において、 消灯指令に応じて前記光源を消灯させる消灯手段と、 光検出行程では、前記消灯手段に対する消灯指令をオフ
   し、この消灯指令がオフされている間に、前記光検出器
   アレイの各光検出器で光を検出し、 検出データ読出し行程では、前記消灯手段に対して消灯
   指令を出力し、この消灯指令が出力されている間に、前
   記読出し手段に、前記光検出器アレイの各光検出器の検
   出データの読出しを行わせる制御手段とを具えた物体の
   計測装置における検出データ読出し装置。
5. 【請求項５】 被計測物体を所定の方向に移動させ
   る移動手段と、光源から前記所定の方向に移動する被計
   測物体に向けて光を投光する投光手段と、前記被計測物
   体で反射された光を、複数設けられた光検出器で検出す
   る光検出器アレイと、前記被計測物体の各移動位置毎
   に、前記光検出器アレイの各光検出器の検出データを読
   み出す読出し手段とを具え、前記読み出された各移動位
   置毎の検出データに基づき前記被計測物体の計測を行う
   ようにした物体の計測装置において、 停止指令に応じて前記被計測物体の移動を停止させる移
   動停止手段と、 前記投光手段と前記被計測物体の間または前記被計測物
   体と前記光検出器の間に設けられ、閉指令に応じて前記
   光検出器アレイに入力される光を遮断するシャッタ手段
   と、 前記移動停止手段に対して停止指令を出力するととも
   に、前記シャッタ手段に対する閉指令をオフし、この停
   止指令が出力され、かつ閉指令がオフされている間に、
   前記光検出器アレイの各光検出器で光を検出するととも
   に、前記読出し手段に、前記光検出器アレイの各光検出
   器の検出データの読出しを行わせる制御手段とを具えた
   物体の計測装置における検出データ読出し装置。
6. 【請求項６】 被計測物体を所定の方向に移動させ
   る移動手段と、光源から前記所定の方向に移動する被計
   測物体に向けて光を投光する投光手段と、前記被計測物
   体で反射された光を、複数設けられた光検出器で検出す
   る光検出器アレイと、前記被計測物体の各移動位置毎
   に、前記光検出器アレイの各光検出器の検出データを読
   み出す読出し手段とを具え、前記読み出された各移動位
   置毎の検出データに基づき前記被計測物体の計測を行う
   ようにした物体の計測装置において、 前記投光手段と前記被計測物体の間または前記被計測物
   体と前記光検出器の間に設けられ、閉指令に応じて前記
   光検出器アレイに入力される光を遮断するシャッタ手段
   と、 前記シャッタ手段に対する閉指令をオフし、この閉指令
   がオフされている間に、前記光検出器アレイの各光検出
   器で光を検出するとともに、前記読出し手段に、前記光
   検出器アレイの各光検出器の検出データの読出しを行わ
   せる制御手段とを具えた物体の計測装置における検出デ
   ータ読出し装置。
7. 【請求項７】 被計測物体を所定の方向に移動させ
   る移動手段と、光源から前記所定の方向に移動する被計
   測物体に向けて光を投光する投光手段と、前記被計測物
   体で反射された光を、複数設けられた光検出器で検出す
   る光検出器アレイと、前記被計測物体の各移動位置毎
   に、前記光検出器アレイの各光検出器の検出データを読
   み出す読出し手段とを具え、前記読み出された各移動位
   置毎の検出データに基づき前記被計測物体の計測を行う
   ようにした物体の計測装置において、 停止指令に応じて前記被計測物体の移動を停止させる移
   動停止手段と、 消灯指令に応じて前記光源を消灯させる消灯手段と、 前記移動停止手段に対して停止指令を出力するととも
   に、前記消灯手段に対する消灯指令をオフし、この停止
   指令が出力され、かつ消灯指令がオフされている間に、
   前記光検出器アレイの各光検出器で光を検出するととも
   に、前記読出し手段に、前記光検出器アレイの各光検出
   器の検出データの読出しを行わせる制御手段とを具えた
   物体の計測装置における検出データ読出し装置。
8. 【請求項８】 被計測物体を所定の方向に移動させ
   る移動手段と、光源から前記所定の方向に移動する被計
   測物体に向けて光を投光する投光手段と、前記被計測物
   体で反射された光を、複数設けられた光検出器で検出す
   る光検出器アレイと、前記被計測物体の各移動位置毎
   に、前記光検出器アレイの各光検出器の検出データを読
   み出す読出し手段とを具え、前記読み出された各移動位
   置毎の検出データに基づき前記被計測物体の計測を行う
   ようにした物体の計測装置において、 消灯指令に応じて前記光源を消灯させる消灯手段と、 前記消灯手段に対する消灯指令をオフし、この消灯指令
   がオフされている間に、前記光検出器アレイの各光検出
   器で光を検出するとともに、前記読出し手段に、前記光
   検出器アレイの各光検出器の検出データの読出しを行わ
   せる制御手段とを具えた物体の計測装置における検出デ
   ータ読出し装置。