JPH09147742A - 陰極線管用カソードペレットの製造方法 - Google Patents
陰極線管用カソードペレットの製造方法Info
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- JPH09147742A JPH09147742A JP30235795A JP30235795A JPH09147742A JP H09147742 A JPH09147742 A JP H09147742A JP 30235795 A JP30235795 A JP 30235795A JP 30235795 A JP30235795 A JP 30235795A JP H09147742 A JPH09147742 A JP H09147742A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来のＣＲＴ用カソードペレットの製造方法
では大量のカソードペレットを効率良く低コストで製造
することができない。 【解決手段】 ＨＩＰ処理により焼結されたインゴット
をスライスしてウェハを得る工程と、前記ウェハを研磨
して所定の厚さの研磨済ウェハを得る工程と、前記研磨
済ウェハをダイ−ポンチセットまたはレーザビームによ
り打ち抜いてカソードペレットを得る工程とを具備した
製造方法を提案する。 【効果】 処理バッチの大型化と、各工程の自動化と、
工程数の低減との相乗効果により大量のカソードペレッ
トを効率良く低コストで製造できるようになる。
では大量のカソードペレットを効率良く低コストで製造
することができない。 【解決手段】 ＨＩＰ処理により焼結されたインゴット
をスライスしてウェハを得る工程と、前記ウェハを研磨
して所定の厚さの研磨済ウェハを得る工程と、前記研磨
済ウェハをダイ−ポンチセットまたはレーザビームによ
り打ち抜いてカソードペレットを得る工程とを具備した
製造方法を提案する。 【効果】 処理バッチの大型化と、各工程の自動化と、
工程数の低減との相乗効果により大量のカソードペレッ
トを効率良く低コストで製造できるようになる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は陰極線管（以後ＣＲ
Ｔと略称する）に使用されるカソードペレットの製造方
法に関し、特に生産性を改良した製造方法に関するもの
である。
Ｔと略称する）に使用されるカソードペレットの製造方
法に関し、特に生産性を改良した製造方法に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】ＣＲＴ用カソードペレットの従来の製造
方法を図３を参照して説明する。図３において（ａ）〜
（ｅ）はカソードペレットの製造プロセスを工程順に示
し、３１は熱間等方加圧処理（以後ＨＩＰ処理と称す
る）により焼結されたインゴット、３２は上記インゴッ
ト３１をスライスして得られたウェハ、３３は上記ウェ
ハ３２から切り出された正四角柱ブロック、３４は上記
正四角柱ブロック３３を研磨して得られた円柱ブロッ
ク、３５は上記円柱ブロック３４をスライスして得られ
たカソードペレットである。
方法を図３を参照して説明する。図３において（ａ）〜
（ｅ）はカソードペレットの製造プロセスを工程順に示
し、３１は熱間等方加圧処理（以後ＨＩＰ処理と称す
る）により焼結されたインゴット、３２は上記インゴッ
ト３１をスライスして得られたウェハ、３３は上記ウェ
ハ３２から切り出された正四角柱ブロック、３４は上記
正四角柱ブロック３３を研磨して得られた円柱ブロッ
ク、３５は上記円柱ブロック３４をスライスして得られ
たカソードペレットである。
【０００３】Ｎｉ金属粉末またはＮｉを主成分とする合
金の粉末と、Ｂａを含むアルカリ土類金属の炭酸塩の粉
末とを混合し、ＨＩＰ処理をおこなうことにより前記粉
末混合物が焼結されインゴット３１が得られる。次にダ
イヤモンドブレードまたはワイヤソー等により前記イン
ゴット３１を薄く多数枚スライスすることでウェハ３２
が得られる。次に再びダイヤモンドブレードまたはワイ
ヤーソー等により前記ウェハ３２をその厚さと同じピッ
チ寸法で切断することで断面が正方形の正四角柱ブロッ
ク３３が得られる。次に芯無し円柱研削機により前記正
四角柱ブロック３３の外周部を研削することで断面が真
円の円柱ブロック３４が得られる。最後に再びダイヤモ
ンドブレードまたはワイヤーソー等により前記円柱ブロ
ック３４を薄く多数枚スライスすることでカソードペレ
ット３５が得られる。
金の粉末と、Ｂａを含むアルカリ土類金属の炭酸塩の粉
末とを混合し、ＨＩＰ処理をおこなうことにより前記粉
末混合物が焼結されインゴット３１が得られる。次にダ
イヤモンドブレードまたはワイヤソー等により前記イン
ゴット３１を薄く多数枚スライスすることでウェハ３２
が得られる。次に再びダイヤモンドブレードまたはワイ
ヤーソー等により前記ウェハ３２をその厚さと同じピッ
チ寸法で切断することで断面が正方形の正四角柱ブロッ
ク３３が得られる。次に芯無し円柱研削機により前記正
四角柱ブロック３３の外周部を研削することで断面が真
円の円柱ブロック３４が得られる。最後に再びダイヤモ
ンドブレードまたはワイヤーソー等により前記円柱ブロ
ック３４を薄く多数枚スライスすることでカソードペレ
ット３５が得られる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のＣＲＴ
用カソードペレットの製造方法には以下の問題点があ
る。大量のカソードペレット３５を効率良く製造するた
めには正四角柱ブロック３３の長さが長くなければなら
ないが、脆い焼結体を細長い形状にすると非常に折れ易
くなり取り扱いが困難になる。また次工程で円柱ブロッ
ク３４を製造する場合にその直径精度はブロックの長さ
が長い程場所によるばらつきが出易く精度が落ちる。こ
れらの理由により正四角柱ブロック３３の長さが制限さ
れるためカソードペレット３５の製造効率を高くできな
い。したがって、ある程度以上インゴット及びウェハを
大型化してもコストダウンの効果が得難い。また、正四
角柱ブロック３３の外周部を研削して円柱ブロック３４
を製造する工程ではブロックを１本ずつ加工しなければ
ならない上、加工中にたびたびブロックを円柱研削機か
ら外して直径を測定しなければならないため、著しく加
工効率が悪い。以上の理由により従来の製造方法では大
量のカソードペレット３５を効率良く、したがって低コ
ストで製造することができない。本発明は上記問題点に
鑑み提案されたもので、その目的は大量のカソードペレ
ットを効率良く、したがって低コストで製造する方法を
実現することである。
用カソードペレットの製造方法には以下の問題点があ
る。大量のカソードペレット３５を効率良く製造するた
めには正四角柱ブロック３３の長さが長くなければなら
ないが、脆い焼結体を細長い形状にすると非常に折れ易
くなり取り扱いが困難になる。また次工程で円柱ブロッ
ク３４を製造する場合にその直径精度はブロックの長さ
が長い程場所によるばらつきが出易く精度が落ちる。こ
れらの理由により正四角柱ブロック３３の長さが制限さ
れるためカソードペレット３５の製造効率を高くできな
い。したがって、ある程度以上インゴット及びウェハを
大型化してもコストダウンの効果が得難い。また、正四
角柱ブロック３３の外周部を研削して円柱ブロック３４
を製造する工程ではブロックを１本ずつ加工しなければ
ならない上、加工中にたびたびブロックを円柱研削機か
ら外して直径を測定しなければならないため、著しく加
工効率が悪い。以上の理由により従来の製造方法では大
量のカソードペレット３５を効率良く、したがって低コ
ストで製造することができない。本発明は上記問題点に
鑑み提案されたもので、その目的は大量のカソードペレ
ットを効率良く、したがって低コストで製造する方法を
実現することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は前述のように従
来の製造方法では大量のカソードペレットを効率良く、
したがって低コストで製造することができないという問
題点を解決するために提案されたもので、Ｎｉ金属粉末
またはＮｉを主成分とする合金の粉末と、Ｂａを含むア
ルカリ土類金属の炭酸塩の粉末とを混合し、ＨＩＰ処理
により焼結するＣＲＴ用カソードペレットの製造方法に
おいて、ＨＩＰ処理により焼結されたインゴットをスラ
イスしてウェハを得る工程と、前記ウェハを研磨して所
定の厚さの研磨済ウェハを得る工程と、前記研磨済ウェ
ハを打ち抜いてカソードペレットを得る工程を具備する
ことを特徴とする。また、インゴットをスライスして厚
さ０．３ｍｍ〜３ｍｍのウェハとし、前記ウェハを研磨
して厚さ０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの研磨済ウェハを得る
ことを特徴とする。またダイ−パンチ金型により研磨済
ウェハを打ち抜いてカソードペレットを得ることを特徴
とする。また、レーザビームにより研磨済ウェハを打ち
抜いてカソードペレットを得ることを特徴とする。
来の製造方法では大量のカソードペレットを効率良く、
したがって低コストで製造することができないという問
題点を解決するために提案されたもので、Ｎｉ金属粉末
またはＮｉを主成分とする合金の粉末と、Ｂａを含むア
ルカリ土類金属の炭酸塩の粉末とを混合し、ＨＩＰ処理
により焼結するＣＲＴ用カソードペレットの製造方法に
おいて、ＨＩＰ処理により焼結されたインゴットをスラ
イスしてウェハを得る工程と、前記ウェハを研磨して所
定の厚さの研磨済ウェハを得る工程と、前記研磨済ウェ
ハを打ち抜いてカソードペレットを得る工程を具備する
ことを特徴とする。また、インゴットをスライスして厚
さ０．３ｍｍ〜３ｍｍのウェハとし、前記ウェハを研磨
して厚さ０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの研磨済ウェハを得る
ことを特徴とする。またダイ−パンチ金型により研磨済
ウェハを打ち抜いてカソードペレットを得ることを特徴
とする。また、レーザビームにより研磨済ウェハを打ち
抜いてカソードペレットを得ることを特徴とする。
【０００６】前述のように、ＨＩＰ処理により焼結され
たインゴットをスライスしてウェハを得る工程と、前記
ウェハを研磨して所定の厚さを有する研磨済ウェハを得
る工程と、前記研磨済ウェハを打ち抜いてカソードペレ
ットを得る工程とからなる製造方法により、従来の製法
と異なりインゴットおよびウェハの大きさにカソードペ
レットの寸法精度が依存しなくなるため従来の製造方法
に比べインゴットおよびウェハが大型化でき１バッチの
処理量が多くできる。また、研磨済ウェハを打ち抜いて
カソードペレットを得る製造方法により、カソードペレ
ットの直径が一定になるので、一々カソードペレットの
寸法測定を行う必要がなくなり、大量のカソードペレッ
トを自動かつ高速で製造することが可能になる。また、
本発明の製造方法により全工程数が従来の製造方法より
少なくなる。上記作用の相乗効果で本発明の製造方法に
より大量のカソードペレットを効率良く低コストで製造
することが実現される。
たインゴットをスライスしてウェハを得る工程と、前記
ウェハを研磨して所定の厚さを有する研磨済ウェハを得
る工程と、前記研磨済ウェハを打ち抜いてカソードペレ
ットを得る工程とからなる製造方法により、従来の製法
と異なりインゴットおよびウェハの大きさにカソードペ
レットの寸法精度が依存しなくなるため従来の製造方法
に比べインゴットおよびウェハが大型化でき１バッチの
処理量が多くできる。また、研磨済ウェハを打ち抜いて
カソードペレットを得る製造方法により、カソードペレ
ットの直径が一定になるので、一々カソードペレットの
寸法測定を行う必要がなくなり、大量のカソードペレッ
トを自動かつ高速で製造することが可能になる。また、
本発明の製造方法により全工程数が従来の製造方法より
少なくなる。上記作用の相乗効果で本発明の製造方法に
より大量のカソードペレットを効率良く低コストで製造
することが実現される。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について以下
図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施例のカ
ソードペレットの製造方法を説明するための、各工程に
対応したワークの形状を示す図である。図において
（ａ）〜（ｄ）はカソードペレットの製造プロセスを工
程順に示し、１１はＨＩＰ処理により焼結されたインゴ
ット、１２は上記インゴット１１をスライスして得られ
たウェハ、１３は上記ウェハを研磨して所定の厚さにし
た研磨済ウェハ、１４は前記研磨済ウェハ１４を打ち抜
いて得られたカソードペレットを示す。
図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施例のカ
ソードペレットの製造方法を説明するための、各工程に
対応したワークの形状を示す図である。図において
（ａ）〜（ｄ）はカソードペレットの製造プロセスを工
程順に示し、１１はＨＩＰ処理により焼結されたインゴ
ット、１２は上記インゴット１１をスライスして得られ
たウェハ、１３は上記ウェハを研磨して所定の厚さにし
た研磨済ウェハ、１４は前記研磨済ウェハ１４を打ち抜
いて得られたカソードペレットを示す。
【０００８】次に図１に示す本発明の一実施例の製造方
法を説明する。平均粒径５μｍのＮｉ金属粉末と平均粒
径２μｍの（Ｂａ・Ｓｒ・Ｃａ）ＣＯ3 粉末とを体積比
４５：５５で混合し、混合粉末を内径１４０ｍｍ、内の
り高さ１４０ｍｍの円筒形ニトリルゴム型に詰めフタを
フッソ樹脂系粘着テープで密封した。次に前記ゴム型入
り混合粉末に、冷間静水圧加圧装置により４０００ｋｇ
／ｃｍ2 の等方的圧力で加圧し、ゴム型内の混合粉末を
直径約１２０ｍｍ、高さ約１２０ｍｍの円柱状成形体に
変換した。次に前記成形体を円筒形軟鋼製カプセルに真
空度１０-6Ｔｏｒｒで真空封止した。その際、前記成形
体と前記カプセルが直接接触しないように両者の間にＢ
Ｎ（ボロンナイトライド）製の粉末を詰めた。次に前記
のカプセル封入済成形体にＨＩＰ処理装置により９００
℃、１５００ｋｇ／ｃｍ2 の熱と等方的圧力を加え、カ
プセル内の成形体を焼結体インゴット１１に変換した。
カプセルから取り出されたインゴットは直径約１００ｍ
ｍ、高さ約１００ｍｍの円柱形であった。
法を説明する。平均粒径５μｍのＮｉ金属粉末と平均粒
径２μｍの（Ｂａ・Ｓｒ・Ｃａ）ＣＯ3 粉末とを体積比
４５：５５で混合し、混合粉末を内径１４０ｍｍ、内の
り高さ１４０ｍｍの円筒形ニトリルゴム型に詰めフタを
フッソ樹脂系粘着テープで密封した。次に前記ゴム型入
り混合粉末に、冷間静水圧加圧装置により４０００ｋｇ
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直径約１２０ｍｍ、高さ約１２０ｍｍの円柱状成形体に
変換した。次に前記成形体を円筒形軟鋼製カプセルに真
空度１０-6Ｔｏｒｒで真空封止した。その際、前記成形
体と前記カプセルが直接接触しないように両者の間にＢ
Ｎ（ボロンナイトライド）製の粉末を詰めた。次に前記
のカプセル封入済成形体にＨＩＰ処理装置により９００
℃、１５００ｋｇ／ｃｍ2 の熱と等方的圧力を加え、カ
プセル内の成形体を焼結体インゴット１１に変換した。
カプセルから取り出されたインゴットは直径約１００ｍ
ｍ、高さ約１００ｍｍの円柱形であった。
【０００９】次に前記インゴット１１をダイヤモンドブ
レードを具備したスライサーでスライスし、厚さ０．８
ｍｍのウェハ１２を多数得た。次に前記ウェハ１２を平
面研磨機に装着し、ダイヤモンドスラリーを用いて両面
を研磨し、両面の平面度、平行度を調整しながら厚さを
減じて、最終的に厚さ０．２ｍｍの研磨済ウェハ１３を
多数得た。
レードを具備したスライサーでスライスし、厚さ０．８
ｍｍのウェハ１２を多数得た。次に前記ウェハ１２を平
面研磨機に装着し、ダイヤモンドスラリーを用いて両面
を研磨し、両面の平面度、平行度を調整しながら厚さを
減じて、最終的に厚さ０．２ｍｍの研磨済ウェハ１３を
多数得た。
【００１０】次に前記研磨済ウェハ１３を超鋼製のダイ
−パンチ金型を具備した小型プレス機にて打ち抜き、直
径１．１ｍｍ厚さ０．２ｍｍの円板状カソードペレット
１４を多数得た。この場合、前記研磨済ウェハ１３に表
裏の差がないため、得られたカソードペレット１４の表
裏を区別する必要はなかった。以後、カソード構体の組
み立てに関して図２を参照して説明する。図において、
２０はカソード構体、１４は前記カソードペレット、２
１はＮｉ製キャップ、２２はＮｉＣｒ合金製スリーブ、
２３はアルミナコーティッドＷヒータである。
−パンチ金型を具備した小型プレス機にて打ち抜き、直
径１．１ｍｍ厚さ０．２ｍｍの円板状カソードペレット
１４を多数得た。この場合、前記研磨済ウェハ１３に表
裏の差がないため、得られたカソードペレット１４の表
裏を区別する必要はなかった。以後、カソード構体の組
み立てに関して図２を参照して説明する。図において、
２０はカソード構体、１４は前記カソードペレット、２
１はＮｉ製キャップ、２２はＮｉＣｒ合金製スリーブ、
２３はアルミナコーティッドＷヒータである。
【００１１】前記カソードペレット１４をキャップ２
１、スリーブ２２に順次挿入し、スリーブ２２の側面お
よびキャップ２１の底面からレーザビームを照射しカソ
ードペレット１４、キャップ２１、スリーブ２２を溶接
固着させた。次にスリーブ２２の下方開口部からヒータ
２３を挿入固定した。
１、スリーブ２２に順次挿入し、スリーブ２２の側面お
よびキャップ２１の底面からレーザビームを照射しカソ
ードペレット１４、キャップ２１、スリーブ２２を溶接
固着させた。次にスリーブ２２の下方開口部からヒータ
２３を挿入固定した。
【００１２】以後前記カソード構体２０をＣＲＴ用電子
銃（図示せず）に組み込み、該電子銃を取り付けた排気
管付ガラスステム（図示せず）をＣＲＴ用ガラスバルブ
（図示せず）に封入し、該排気管を排気装置（図示せ
ず）に装着してガラスバルブ内を排気脱ガスした。排気
工程中にヒータ２３に通電してカソードペレット１４を
約１０００℃に加熱し、カソードペレット１４内の（Ｂ
ａ・Ｓｒ・Ｃａ）ＣＯ3を熱分解して（Ｂａ・Ｓｒ・Ｃ
ａ）Ｏに変換し、その後更に高真空に排気した後前記排
気管を溶融封止してＣＲＴ（図示せず）を得た。
銃（図示せず）に組み込み、該電子銃を取り付けた排気
管付ガラスステム（図示せず）をＣＲＴ用ガラスバルブ
（図示せず）に封入し、該排気管を排気装置（図示せ
ず）に装着してガラスバルブ内を排気脱ガスした。排気
工程中にヒータ２３に通電してカソードペレット１４を
約１０００℃に加熱し、カソードペレット１４内の（Ｂ
ａ・Ｓｒ・Ｃａ）ＣＯ3を熱分解して（Ｂａ・Ｓｒ・Ｃ
ａ）Ｏに変換し、その後更に高真空に排気した後前記排
気管を溶融封止してＣＲＴ（図示せず）を得た。
【００１３】上記実施例において、インゴット１１から
ウェハ１２をスライスする工程および研磨済ウェハ１３
からカソードペレット１４を打ち抜く工程は、ワークの
セット以外は全て自動で行われたため、カソードペレッ
ト１４の製造に要するコストのうち、これらの工程の加
工コストは非常に僅かであった。また、ウェハ１２を研
磨して研磨済ウェハ１３を得る工程は研磨中にワークを
外して平面度、平行度、厚さを測定する必要があるため
全自動ではできなかったが１枚のウェハ１２から得られ
るカソードペレット１４が多数であるためカソードペレ
ット１４の１個あたりに換算した加工コストは僅かであ
った。
ウェハ１２をスライスする工程および研磨済ウェハ１３
からカソードペレット１４を打ち抜く工程は、ワークの
セット以外は全て自動で行われたため、カソードペレッ
ト１４の製造に要するコストのうち、これらの工程の加
工コストは非常に僅かであった。また、ウェハ１２を研
磨して研磨済ウェハ１３を得る工程は研磨中にワークを
外して平面度、平行度、厚さを測定する必要があるため
全自動ではできなかったが１枚のウェハ１２から得られ
るカソードペレット１４が多数であるためカソードペレ
ット１４の１個あたりに換算した加工コストは僅かであ
った。
【００１４】上記実施例においては、研磨済ウェハ１３
からカソードペレット１４を得る方法として、ダイ−パ
ンチ金型を用いて機械的に打ち抜いたが、その代わりに
レーザビームをカソードペレット１４の形状に合わせて
円周状に研磨済ウェハ１３の表面で走査し、レーザビー
ムの走査した部分を研磨済ウェハ１３の裏面まで貫通し
て溶融除去することによりカソードペレット１４を得る
こともできた。一定の寸法のカソードペレット１４を大
量に生産する場合はダイ−パンチ金型を用いるプレス法
が効率が良い。一方、直径の異なるカソードペレット１
４を少量多品種生産する場合はレーザビーム法が効率が
良い。また、正方形、楕円形など真円でないカソードペ
レット１４の少量試作にもレーザビーム法が適してい
る。
からカソードペレット１４を得る方法として、ダイ−パ
ンチ金型を用いて機械的に打ち抜いたが、その代わりに
レーザビームをカソードペレット１４の形状に合わせて
円周状に研磨済ウェハ１３の表面で走査し、レーザビー
ムの走査した部分を研磨済ウェハ１３の裏面まで貫通し
て溶融除去することによりカソードペレット１４を得る
こともできた。一定の寸法のカソードペレット１４を大
量に生産する場合はダイ−パンチ金型を用いるプレス法
が効率が良い。一方、直径の異なるカソードペレット１
４を少量多品種生産する場合はレーザビーム法が効率が
良い。また、正方形、楕円形など真円でないカソードペ
レット１４の少量試作にもレーザビーム法が適してい
る。
【００１５】また、上記説明から明らかなようにインゴ
ット１１、ウェハ１２は大型化する程カソードペレット
１４の製造コスト内の加工コストが低減できるので設備
の許す限り大型化するのが有利である。
ット１１、ウェハ１２は大型化する程カソードペレット
１４の製造コスト内の加工コストが低減できるので設備
の許す限り大型化するのが有利である。
【００１６】インゴット１１をスライスしてウェハ１２
を得る場合、ウェハ１２の厚さが薄すぎるとスライス中
ないしスライス後にウェハ１２が変形してしまい以後の
工程が不可能になる。したがってウェハ厚さは最小０．
３ｍｍ必要である。また、ウェハ１２の厚さが厚い場合
は取り扱いは容易だが、次工程で研磨済ウェハ１３を製
造するときに研磨して廃棄する部分が多くなり不経済で
ある。このためウェハ厚さは最大３ｍｍまでが実用的で
ある。
を得る場合、ウェハ１２の厚さが薄すぎるとスライス中
ないしスライス後にウェハ１２が変形してしまい以後の
工程が不可能になる。したがってウェハ厚さは最小０．
３ｍｍ必要である。また、ウェハ１２の厚さが厚い場合
は取り扱いは容易だが、次工程で研磨済ウェハ１３を製
造するときに研磨して廃棄する部分が多くなり不経済で
ある。このためウェハ厚さは最大３ｍｍまでが実用的で
ある。
【００１７】次に研磨済ウェハ１３の厚さは直接カソー
ドペレット１４の厚さとなるためカソード構体２０の熱
効率、寿命などを考慮して決定される。カソード構体２
０の熱効率を重視する場合はカソードペレット１４の厚
さが薄い程有利である。しかし、あまりにも薄いと組み
立ての取り扱いが困難になる上、カソード寿命も短くな
って実用性が損なわれるため、最小０．１ｍｍは必要で
ある。このため研磨済ウェハ１３の厚さも最小０．１ｍ
ｍ必要である。一方カソードの寿命はカソードペレット
１４に含まれる（Ｂａ・Ｓｒ・Ｃａ）ＣＯ3 の量にほぼ
比例するため、カソードペレット１４の厚さが厚い程、
長寿命となる。しかしＣＲＴの場合ヒータパワーが限ら
れているためカソードペレット１４が厚くなりすぎると
十分カソードペレット１４の温度が上がらなくなり、電
子放射が必要量得られなくなる。したがって寿命を重視
する場合でもカソードペレット１４の厚さ、すなわち、
研磨済ウェハ１３の厚さは最大０．５ｍｍに押さえられ
る。したがって、研磨済ウェハの厚さは０．１ｍｍ〜
０．５ｍｍの範囲で熱効率と寿命とのバランスを考慮し
て決定される。
ドペレット１４の厚さとなるためカソード構体２０の熱
効率、寿命などを考慮して決定される。カソード構体２
０の熱効率を重視する場合はカソードペレット１４の厚
さが薄い程有利である。しかし、あまりにも薄いと組み
立ての取り扱いが困難になる上、カソード寿命も短くな
って実用性が損なわれるため、最小０．１ｍｍは必要で
ある。このため研磨済ウェハ１３の厚さも最小０．１ｍ
ｍ必要である。一方カソードの寿命はカソードペレット
１４に含まれる（Ｂａ・Ｓｒ・Ｃａ）ＣＯ3 の量にほぼ
比例するため、カソードペレット１４の厚さが厚い程、
長寿命となる。しかしＣＲＴの場合ヒータパワーが限ら
れているためカソードペレット１４が厚くなりすぎると
十分カソードペレット１４の温度が上がらなくなり、電
子放射が必要量得られなくなる。したがって寿命を重視
する場合でもカソードペレット１４の厚さ、すなわち、
研磨済ウェハ１３の厚さは最大０．５ｍｍに押さえられ
る。したがって、研磨済ウェハの厚さは０．１ｍｍ〜
０．５ｍｍの範囲で熱効率と寿命とのバランスを考慮し
て決定される。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、ＨＩＰ処理によっ
て焼結されたインゴットをスライスしてウェハを得る工
程と、前記ウェハを研磨して所定の厚さを有する研磨済
ウェハを得る工程と、前記研磨済ウェハを打ち抜いてカ
ソードペレットを得る工程とからなる製造方法により、
インゴットおよびウェハの大きさにカソードペレットの
寸法精度が依存しなくなるためインゴットおよびウェハ
が大型化でき、１バッチの処理量が多くできる。また研
磨済ウェハを打ち抜いてカソードペレットを得る製造方
法により、カソードペレットの直径が常に一定の精度で
得られるようになるため大量のカソードペレットを自動
かつ高速で製造することが可能になる。また本発明の製
造方法により全工程数が従来の製造方法より少なくな
る。上記効果の相乗作用で本発明の製造方法により大量
のカソードペレットを効率良く低コストで製造すること
が実現される。
て焼結されたインゴットをスライスしてウェハを得る工
程と、前記ウェハを研磨して所定の厚さを有する研磨済
ウェハを得る工程と、前記研磨済ウェハを打ち抜いてカ
ソードペレットを得る工程とからなる製造方法により、
インゴットおよびウェハの大きさにカソードペレットの
寸法精度が依存しなくなるためインゴットおよびウェハ
が大型化でき、１バッチの処理量が多くできる。また研
磨済ウェハを打ち抜いてカソードペレットを得る製造方
法により、カソードペレットの直径が常に一定の精度で
得られるようになるため大量のカソードペレットを自動
かつ高速で製造することが可能になる。また本発明の製
造方法により全工程数が従来の製造方法より少なくな
る。上記効果の相乗作用で本発明の製造方法により大量
のカソードペレットを効率良く低コストで製造すること
が実現される。
【図１】 本発明の一実施例のＣＲＴ用カソードペレッ
トの製造工程を説明するための図 （ａ）インゴット（ｂ）ウェハ（ｃ）研磨済ウェハ
（ｄ）カソードペレット
トの製造工程を説明するための図 （ａ）インゴット（ｂ）ウェハ（ｃ）研磨済ウェハ
（ｄ）カソードペレット
【図２】 本発明によって製造されたカソードペレット
を使用したＣＲＴ用カソード構体を示す図
を使用したＣＲＴ用カソード構体を示す図
【図３】 ＣＲＴ用カソードペレットの従来の製造方法
を説明するための図 （ａ）インゴット（ｂ）ウェハ（ｃ）正四角柱ブロック
（ｄ）円柱ブロック（ｅ）カソードペレット
を説明するための図 （ａ）インゴット（ｂ）ウェハ（ｃ）正四角柱ブロック
（ｄ）円柱ブロック（ｅ）カソードペレット
１１ インゴット １２ ウェハ １３ 研磨済ウェハ １４ カソードペレット ２０ カソード構体 ２１ キャップ ２２ スリーブ ２３ ヒータ
Claims (4)
- 【請求項１】Ｎｉ金属粉末またはＮｉを主成分とする合
金の粉末と、Ｂａを含むアルカリ土類金属の炭酸塩の粉
末とを混合し、熱間等方加圧処理により焼結する陰極線
管用カソードペレットの製造方法において、 熱間等方加圧処理により焼結されたインゴットをスライ
スしてウェハを得る工程と、 前記ウェハを研磨して所定の厚さを有する研磨済ウェハ
を得る工程と、前記研磨済ウェハを打ち抜いてカソード
ペレットを得る工程とを具備することを特徴とする陰極
線管用カソードペレットの製造方法。 - 【請求項２】インゴットをスライスして厚さ０．３ｍｍ
〜３ｍｍのウェハとし、前記ウェハを研磨して厚さ０．
１ｍｍ〜０．５ｍｍの研磨済ウェハを得ることを特徴と
する請求項１に記載の陰極線管用カソードペレットの製
造方法。 - 【請求項３】ダイーパンチ金型により研磨済ウェハを打
ち抜いてカソードペレットを得ることを特徴とする請求
項１に記載の陰極線管用カソードペレットの製造方法。 - 【請求項４】レーザビームにより研磨済ウェハを打ち抜
いてカソードペレットを得ることを特徴とする請求項１
に記載の陰極線管用カソードペレットの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30235795A JPH09147742A (ja) | 1995-11-21 | 1995-11-21 | 陰極線管用カソードペレットの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30235795A JPH09147742A (ja) | 1995-11-21 | 1995-11-21 | 陰極線管用カソードペレットの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09147742A true JPH09147742A (ja) | 1997-06-06 |
Family
ID=17907939
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30235795A Pending JPH09147742A (ja) | 1995-11-21 | 1995-11-21 | 陰極線管用カソードペレットの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09147742A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014097661A1 (ja) * | 2012-12-22 | 2014-06-26 | 株式会社小松精機工作所 | 金属粉末の製造方法及び金属粉末 |
-
1995
- 1995-11-21 JP JP30235795A patent/JPH09147742A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014097661A1 (ja) * | 2012-12-22 | 2014-06-26 | 株式会社小松精機工作所 | 金属粉末の製造方法及び金属粉末 |
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