JPH09148874A - 弾性表面波素子 - Google Patents
弾性表面波素子Info
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- JPH09148874A JPH09148874A JP30095995A JP30095995A JPH09148874A JP H09148874 A JPH09148874 A JP H09148874A JP 30095995 A JP30095995 A JP 30095995A JP 30095995 A JP30095995 A JP 30095995A JP H09148874 A JPH09148874 A JP H09148874A
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- electrode
- surface acoustic
- acoustic wave
- wave device
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】周波数特性の通過帯域幅の角形比が大きく、重
み付き型IDTの電極対数が多い弾性表面波装置におい
て、端面反射、バルク波、TTEの3種類の主要不要波以外
にIDTの形状寸法に起因して発生する帯域内リップルを
低減する。 【解決手段】前記不要波はIDT内の電極最端部に集中す
る電荷、微小電極指交差幅のIDT内に占める割合に起因
して発生するため、電荷緩和用電極をIDT電極最端部に
設ける。また、入力(出力)電極側に近い微小電極指交差
幅で構成されるサイドローブを削除し入力(出力)電極か
ら遠い側のサイドローブの包絡線とバスバーとの間の引
き出し線部に吸音材を形成する。
み付き型IDTの電極対数が多い弾性表面波装置におい
て、端面反射、バルク波、TTEの3種類の主要不要波以外
にIDTの形状寸法に起因して発生する帯域内リップルを
低減する。 【解決手段】前記不要波はIDT内の電極最端部に集中す
る電荷、微小電極指交差幅のIDT内に占める割合に起因
して発生するため、電荷緩和用電極をIDT電極最端部に
設ける。また、入力(出力)電極側に近い微小電極指交差
幅で構成されるサイドローブを削除し入力(出力)電極か
ら遠い側のサイドローブの包絡線とバスバーとの間の引
き出し線部に吸音材を形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は特に重み付き型電極
の対数が多く、かつ、使用周波数の1波長(λ)以下の電
極指交差幅を多く含む構成となる弾性表面波装置に関す
る。
の対数が多く、かつ、使用周波数の1波長(λ)以下の電
極指交差幅を多く含む構成となる弾性表面波装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】弾性表面波装置は一般にTV用バンドパス
フィルタ等に使用される。該弾性表面波装置の構成は圧
電基板上にくし歯状の電極指(IDT：Inter Digital Tran
sduser)から構成される入力電極と出力電極とを所定の
距離隔てて配置し、該両電極間を伝播する表面波を利用
して所望の周波数特性を得るものである。
フィルタ等に使用される。該弾性表面波装置の構成は圧
電基板上にくし歯状の電極指(IDT：Inter Digital Tran
sduser)から構成される入力電極と出力電極とを所定の
距離隔てて配置し、該両電極間を伝播する表面波を利用
して所望の周波数特性を得るものである。
【０００３】図10に一般的な弾性表面波装置の概略を示
す。入出力電極の一方はくし歯状電極指の交差幅が一定
な正規型電極2、他方は電極内で電極指の交差幅が異な
る重み付き型電極3である。表面波(SAW：Surface Acous
tic Wave)を利用するSAWフィルタでは前記正規型電極
2、重み付き型電極3の電極指対数、あるいは電極指の交
差幅12、13などを変えて所望の周波数特性を得ている。
該SAWフィルタでは圧電基板1上の入出力電極の形状寸法
と基本設計上で1対1に対応する表面波の他にフィルタ特
性としては不要な波が発生し、所望とするフィルタ特性
を得るための障害となる。該不要波の代表としては、
(1)端面反射：表面波は前記IDTの両側に発生するため圧
電基板の端面に到達し該端面から反射して出力電極に到
達する不要波。(2)バルク波：IDTから圧電基板の厚さ方
向に伝わり基板底面から反射して出力電極に到達する不
要波。(3)TTE(Triple Transit Echo)：入力電極から出
力電極に達した表面波が出力電極で反射して入力電極に
戻り、再び出力電極に到達するもの等、3種類の不要波
がある。該3種類の不要波については以下の方法で抑圧
することが知られている。すなわち、(a)端面反射は圧
電基板の端面に吸音材を塗布することで抑圧できる。
(b)バルク波は基板底面を粗す等の方法により抑圧でき
る。(c)TTEはいわゆる(λ/8)幅の電極指から成るスプリ
ット電極、および入出力電極のインピーダンスと入出力
回路のインピーダンスの関係を調整することにより抑圧
できる。
す。入出力電極の一方はくし歯状電極指の交差幅が一定
な正規型電極2、他方は電極内で電極指の交差幅が異な
る重み付き型電極3である。表面波(SAW：Surface Acous
tic Wave)を利用するSAWフィルタでは前記正規型電極
2、重み付き型電極3の電極指対数、あるいは電極指の交
差幅12、13などを変えて所望の周波数特性を得ている。
該SAWフィルタでは圧電基板1上の入出力電極の形状寸法
と基本設計上で1対1に対応する表面波の他にフィルタ特
性としては不要な波が発生し、所望とするフィルタ特性
を得るための障害となる。該不要波の代表としては、
(1)端面反射：表面波は前記IDTの両側に発生するため圧
電基板の端面に到達し該端面から反射して出力電極に到
達する不要波。(2)バルク波：IDTから圧電基板の厚さ方
向に伝わり基板底面から反射して出力電極に到達する不
要波。(3)TTE(Triple Transit Echo)：入力電極から出
力電極に達した表面波が出力電極で反射して入力電極に
戻り、再び出力電極に到達するもの等、3種類の不要波
がある。該3種類の不要波については以下の方法で抑圧
することが知られている。すなわち、(a)端面反射は圧
電基板の端面に吸音材を塗布することで抑圧できる。
(b)バルク波は基板底面を粗す等の方法により抑圧でき
る。(c)TTEはいわゆる(λ/8)幅の電極指から成るスプリ
ット電極、および入出力電極のインピーダンスと入出力
回路のインピーダンスの関係を調整することにより抑圧
できる。
【０００４】しかし、要求される周波数特性が厳しくな
ると、上記手法では十分に対応できなくなってくる。以
下、この点について述べる。周波数特性の通過帯域幅の
角形比が大きくなるに従い重み付き型IDTの電極対数は
増加し、重み付き型IDTの交差幅が小さい領域がIDT全体
に占める割合が多くなる。その結果、SAWフィルタの中
心周波数の波長(λ)と略等しい電極指交差幅の占める割
合が多くなる。該電極対数の多い弾性表面波装置に共通
して前記不要波とは異なる不要波が存在し、SAWフィル
タの周波数帯域内にリップルとなって表われ所望の周波
数特性を得るのに不都合が生じる。前記した3種の主要
な不要波である端面反射、バルク波、TTE等とは異なる
表面波スプリアスを抑制する方法として特公平3-12485
号等に開示されている。しかし、IDTの電極指交差幅を
考慮した観点では配慮されていなかった。
ると、上記手法では十分に対応できなくなってくる。以
下、この点について述べる。周波数特性の通過帯域幅の
角形比が大きくなるに従い重み付き型IDTの電極対数は
増加し、重み付き型IDTの交差幅が小さい領域がIDT全体
に占める割合が多くなる。その結果、SAWフィルタの中
心周波数の波長(λ)と略等しい電極指交差幅の占める割
合が多くなる。該電極対数の多い弾性表面波装置に共通
して前記不要波とは異なる不要波が存在し、SAWフィル
タの周波数帯域内にリップルとなって表われ所望の周波
数特性を得るのに不都合が生じる。前記した3種の主要
な不要波である端面反射、バルク波、TTE等とは異なる
表面波スプリアスを抑制する方法として特公平3-12485
号等に開示されている。しかし、IDTの電極指交差幅を
考慮した観点では配慮されていなかった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前記3種の主要不要波
とは異なる不要波を把握するため実験も含め種々検討を
行なった。その結果、以下に示す2つの発生要因がある
ことがわかった。
とは異なる不要波を把握するため実験も含め種々検討を
行なった。その結果、以下に示す2つの発生要因がある
ことがわかった。
【０００６】(ｉ) IDTの電極指両端に電荷が集中し設
計時に比べ大きな励振が生じている。
計時に比べ大きな励振が生じている。
【０００７】(ii) 重み付き型電極のIDT対数が多く、S
AWフィルタの使用帯域周波数の1波長(λ)以下の微小電
極指交差幅の数がIDT内に占める割合が多くなると前記
不要波が目立ってくる。また、重み付き型電極のサイド
ローブ同士の大小関係も前記不要波が目立ってくること
に影響している。
AWフィルタの使用帯域周波数の1波長(λ)以下の微小電
極指交差幅の数がIDT内に占める割合が多くなると前記
不要波が目立ってくる。また、重み付き型電極のサイド
ローブ同士の大小関係も前記不要波が目立ってくること
に影響している。
【０００８】したがって、本発明の課題は前記3種の主
要不要波以外に存在するIDT形状に依存する不要波を低
減することにある。
要不要波以外に存在するIDT形状に依存する不要波を低
減することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】即ち、該課題を解決する
ため、以下の手段を用いる。
ため、以下の手段を用いる。
【００１０】前記(ｉ)については重み付き型電極の両端
に電束集中による端部効果から、余計に生じる電荷を電
極指以外の部分に配分して緩和させる。
に電束集中による端部効果から、余計に生じる電荷を電
極指以外の部分に配分して緩和させる。
【００１１】前記(ii)については微小電極指交差幅が不
要波発生に関与する要因として以下のように考察する。
すなわち、SAWフィルタに用いる圧電基板は音速異方性
を持っているため入出力IDT方向に表面波が最も効率良
く伝わるように構成されるが、いわゆる回折現象があり
電極指交差幅が1λ付近の微小電極指交差幅部では入出
力IDT間の表面波伝播中心軸方向と異なる方向へも伝わ
る表面波成分が交差幅の大きい電極指に比べ相対的に大
きくなり不要波として悪影響を与え、該1λ付近の微小
電極指交差幅で構成されるサイドローブ数が多くなれば
なるほど前記影響は増大し周波数特性にリップルとなっ
て現われるのである。したがって、前記3種の主要不要
波以外に存在するIDT形状に依存する不要波を低減する
には、前記微小電極指交差幅の数を縮小する必要があ
る。
要波発生に関与する要因として以下のように考察する。
すなわち、SAWフィルタに用いる圧電基板は音速異方性
を持っているため入出力IDT方向に表面波が最も効率良
く伝わるように構成されるが、いわゆる回折現象があり
電極指交差幅が1λ付近の微小電極指交差幅部では入出
力IDT間の表面波伝播中心軸方向と異なる方向へも伝わ
る表面波成分が交差幅の大きい電極指に比べ相対的に大
きくなり不要波として悪影響を与え、該1λ付近の微小
電極指交差幅で構成されるサイドローブ数が多くなれば
なるほど前記影響は増大し周波数特性にリップルとなっ
て現われるのである。したがって、前記3種の主要不要
波以外に存在するIDT形状に依存する不要波を低減する
には、前記微小電極指交差幅の数を縮小する必要があ
る。
【００１２】本発明の第一の手段は、IDT最端電極指の
外側に電荷緩和用ダミー電極を設ける。第二の手段は、
重み付き型電極内のメインローブに対し正規型電極側と
反対側にあるサイドローブの電極指交差幅の包絡線とバ
スバーとの間に形成される電極指引出線部に表面波吸音
材を形成する。正規型電極側には1λ以下のサイドロー
ブは形成しない。
外側に電荷緩和用ダミー電極を設ける。第二の手段は、
重み付き型電極内のメインローブに対し正規型電極側と
反対側にあるサイドローブの電極指交差幅の包絡線とバ
スバーとの間に形成される電極指引出線部に表面波吸音
材を形成する。正規型電極側には1λ以下のサイドロー
ブは形成しない。
【００１３】前記微小電極指交差幅の数を縮小させる別
の手段としては、重み付き型電極の開口長をサイドロー
ブの電極指交差幅全てが1λ以上となるように開口長を
決定する方法もある。
の手段としては、重み付き型電極の開口長をサイドロー
ブの電極指交差幅全てが1λ以上となるように開口長を
決定する方法もある。
【００１４】
実施例１ 前記第一の手段における具体例としてTVIFフィルタ用の
バンドパスフィルタに適用した例について説明する。
バンドパスフィルタに適用した例について説明する。
【００１５】図1は圧電基板1にLiNbO3(リチウムナイオ
ベート:LN)を用いて入力電極にIDT対数を6対とする正規
型電極2、出力電極に重み付き型電極3を用い対数は125
対として設計した弾性表面波装置の概略である。重み付
き型電極3内のサイドローブ6数は15個であり、メインロ
ーブ5の電極指交差幅は28波長相当として電極形成し
た。また、電極構成は電極内反射に強い電極指幅がλ/8
となるスプリット型電極を用いた。IDT内の電極指間隔
は等ピッチである。
ベート:LN)を用いて入力電極にIDT対数を6対とする正規
型電極2、出力電極に重み付き型電極3を用い対数は125
対として設計した弾性表面波装置の概略である。重み付
き型電極3内のサイドローブ6数は15個であり、メインロ
ーブ5の電極指交差幅は28波長相当として電極形成し
た。また、電極構成は電極内反射に強い電極指幅がλ/8
となるスプリット型電極を用いた。IDT内の電極指間隔
は等ピッチである。
【００１６】本実施例では重み付き型電極3の入力側IDT
最端部のバスバーからSAW伝播路方向と入力電極側に延
び、長さが3λ相当のIDTとは約30度の角度をなす電荷緩
和用電極7を設けた。さらに、該電荷緩和用電極7をSAW
伝播路上に形成したことによる音速位相を補正するため
音速補正用電極8を電荷緩和用電極7を形成しなかったSA
W伝播路領域に形成した。入出力間のシールド用として
形成するアース電極4は前記電荷緩和用電極7との距離を
同じとするためSAW伝播路中心軸で折り返す"くの字型"
とした。この"くの字型"とすることにより若干のサイズ
短縮効果もある。
最端部のバスバーからSAW伝播路方向と入力電極側に延
び、長さが3λ相当のIDTとは約30度の角度をなす電荷緩
和用電極7を設けた。さらに、該電荷緩和用電極7をSAW
伝播路上に形成したことによる音速位相を補正するため
音速補正用電極8を電荷緩和用電極7を形成しなかったSA
W伝播路領域に形成した。入出力間のシールド用として
形成するアース電極4は前記電荷緩和用電極7との距離を
同じとするためSAW伝播路中心軸で折り返す"くの字型"
とした。この"くの字型"とすることにより若干のサイズ
短縮効果もある。
【００１７】その結果、重み付き型電極3最端部に集中
する電荷は本発明の電荷緩和用電極7により緩和されSAW
フィルタ帯域内に表われていたリップルは約0.5dB低減
し所望の周波数特性を得ることができた。
する電荷は本発明の電荷緩和用電極7により緩和されSAW
フィルタ帯域内に表われていたリップルは約0.5dB低減
し所望の周波数特性を得ることができた。
【００１８】実施例２ 以下に、前記第二の手段の具体例として実施例１と同じ
SAWフィルタを用いて行なった例について図2を用いて説
明する。
SAWフィルタを用いて行なった例について図2を用いて説
明する。
【００１９】前記、SAWフィルタの重み付き型電極3内で
電極指交差幅が1λ相当以下となるサイドローブ数は10
個である。本実施例では入力電極2側の重み付き型電極3
内の微小電極指交差幅のサイドローブ10個分を削除し、
入力側電極指とは反対側のサイドローブ6領域のバスバ
ー11とサイドローブ包絡線6の間に吸音材を10を塗布形
成した。すなわち、重み付き型電極3はメインローブ5に
対し、左右非対称な構成となっている。
電極指交差幅が1λ相当以下となるサイドローブ数は10
個である。本実施例では入力電極2側の重み付き型電極3
内の微小電極指交差幅のサイドローブ10個分を削除し、
入力側電極指とは反対側のサイドローブ6領域のバスバ
ー11とサイドローブ包絡線6の間に吸音材を10を塗布形
成した。すなわち、重み付き型電極3はメインローブ5に
対し、左右非対称な構成となっている。
【００２０】その結果、正規型電極2とは反対側の微小
電極指交差幅から発生する不要波は重み付き型電極3の
サイドローブ包絡線6外に形成した吸音材10により吸収
され、入力電極側の微小電極指交差幅から発生していた
不要波は微小電極指交差幅を削除したことにより不要波
発生は抑圧された。本発明の悪影響としては一方のサイ
ドローブを削除し重み付き型電極を非対称としたため、
帯域内にリップルが発生したが本発明で対象とする不要
波に対しては小さく特性的には本発明適用前よりも約0.
7dB改善されたSAWフィルタを得ることができた。また、
本実施例によれば重み付き型電極の電極指対数を125対
から90対に減少できたため素子の小型化も実現できコス
ト低減を同時に得ることができた。さらに、入出力間距
離が短縮したことにより群遅延時間も短縮し、リップル
の周期も短くなる効果が得られた。
電極指交差幅から発生する不要波は重み付き型電極3の
サイドローブ包絡線6外に形成した吸音材10により吸収
され、入力電極側の微小電極指交差幅から発生していた
不要波は微小電極指交差幅を削除したことにより不要波
発生は抑圧された。本発明の悪影響としては一方のサイ
ドローブを削除し重み付き型電極を非対称としたため、
帯域内にリップルが発生したが本発明で対象とする不要
波に対しては小さく特性的には本発明適用前よりも約0.
7dB改善されたSAWフィルタを得ることができた。また、
本実施例によれば重み付き型電極の電極指対数を125対
から90対に減少できたため素子の小型化も実現できコス
ト低減を同時に得ることができた。さらに、入出力間距
離が短縮したことにより群遅延時間も短縮し、リップル
の周期も短くなる効果が得られた。
【００２１】なお、本実施例による方法はサイドローブ
の電極指交差幅が飽和傾向を示すサイドローブの領域に
関係して効果を発揮するので、該領域のサイドローブの
数が3個以上の時に特に効力を発揮した。
の電極指交差幅が飽和傾向を示すサイドローブの領域に
関係して効果を発揮するので、該領域のサイドローブの
数が3個以上の時に特に効力を発揮した。
【００２２】実施例３ 他実施例として前記実施例２において、正規型電極2側
の微小電極指交差幅のサイドローブをバスバーにスリッ
トを設け電気的に遮断した図3に示す構造とした場合に
おいても本発明の目的は達成された。
の微小電極指交差幅のサイドローブをバスバーにスリッ
トを設け電気的に遮断した図3に示す構造とした場合に
おいても本発明の目的は達成された。
【００２３】実施例４ 他実施例として前記、実施例１、実施例２を組み合わせ
た図4に示す構造とした場合においても本発明の目的は
達成された。
た図4に示す構造とした場合においても本発明の目的は
達成された。
【００２４】他実施例として図5、6に示すように正規型
電極2と反対側の重み付き型電極3のバスバー11と電極指
交差幅の包絡線6との間のバスバー11と電極指交差部5、
6とを結ぶ引き出し線部を全面電極14とした場合。ま
た、図7、8に示すように重み付き型電極3の両端部に電
荷緩和用電極7を設けた場合、図9に示すように電荷緩和
用電極7をバスバー11の外側に向けた場合においても本
発明の目的は達成された。さらに、重み付き型電極の開
口長をサイドローブを含め全ての電極指交差幅が1λ以
上となるようにした場合においても、本発明で対象とし
た不要波は抑圧された。
電極2と反対側の重み付き型電極3のバスバー11と電極指
交差幅の包絡線6との間のバスバー11と電極指交差部5、
6とを結ぶ引き出し線部を全面電極14とした場合。ま
た、図7、8に示すように重み付き型電極3の両端部に電
荷緩和用電極7を設けた場合、図9に示すように電荷緩和
用電極7をバスバー11の外側に向けた場合においても本
発明の目的は達成された。さらに、重み付き型電極の開
口長をサイドローブを含め全ての電極指交差幅が1λ以
上となるようにした場合においても、本発明で対象とし
た不要波は抑圧された。
【００２５】
【発明の効果】本発明は周波数特性の角形比が大きく、
重み付き型電極のIDT電極対数が多いSAWフィルタに発生
する帯域内リップルを低減した弾性表面波装置を提供す
ること。また、本発明の第二の手段によればコスト低減
達成にも効果を発揮できる。
重み付き型電極のIDT電極対数が多いSAWフィルタに発生
する帯域内リップルを低減した弾性表面波装置を提供す
ること。また、本発明の第二の手段によればコスト低減
達成にも効果を発揮できる。
【図１】本発明の実施例を説明するための弾性表面波装
置の概略図。
置の概略図。
【図２】本発明の実施例を説明するための弾性表面波装
置の概略図。
置の概略図。
【図３】本発明の実施例を説明するための弾性表面波装
置の概略図。
置の概略図。
【図４】本発明の実施例を説明するための弾性表面波装
置の概略図。
置の概略図。
【図５】本発明の実施例を説明するための弾性表面波装
置の概略図。
置の概略図。
【図６】本発明の実施例を説明するための弾性表面波装
置の概略図。
置の概略図。
【図７】本発明の実施例を説明するための弾性表面波装
置の概略図。
置の概略図。
【図８】本発明の実施例を説明するための弾性表面波装
置の概略図。
置の概略図。
【図９】本発明の実施例を説明するための弾性表面波装
置の概略図。
置の概略図。
【図１０】従来例を説明するための弾性表面波装置の概
略図。
略図。
1-----圧電基板 2-----正規型電
極 3-----重み付き型電極 4-----アース電
極 5-----メインローブ包絡線 6-----サイドロ
ーブ包絡線 7-----電荷緩和用電極 8-----音速補正
用電極 9-----λ/4電極 10-----吸音材 11-----バスバー 12、13-----電極指
交差幅
極 3-----重み付き型電極 4-----アース電
極 5-----メインローブ包絡線 6-----サイドロ
ーブ包絡線 7-----電荷緩和用電極 8-----音速補正
用電極 9-----λ/4電極 10-----吸音材 11-----バスバー 12、13-----電極指
交差幅
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 芝 隆司 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株式 会社日立製作所マルチメディアシステム開 発本部内 (72)発明者 湯原 章綱 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株式 会社日立製作所マルチメディアシステム開 発本部内
Claims (5)
- 【請求項１】圧電基板上にくし歯状電極から成る入出力
電極を設け、少なくとも一方の電極は重み付き型電極か
ら構成され、該重み付き型電極の電極指交差幅が使用中
心周波数の波長(λ)に対し1λ以下の電極指交差幅を有
する弾性表面波装置において、前記重み付き型電極の左
右の電極指最端部の少なくとも一方に電荷緩和用ダミー
電極を設けたことを特徴とする弾性表面波装置。 - 【請求項２】請求項１記載の弾性表面波装置は、重み付
き型電極中の電極指交差幅から形作られる図形的なパタ
ンのメインローブの両端に形成される複数のサイドロー
ブの交差幅をサイドローブにメインローブに近い側から
番号Nを与えてS(N)とし、メインローブから離れるに従
いサイドローブ番号(N)を多くしたとき、該サイドロー
ブ比(S(N+1)/S(N))が略一定から増加に転じ、さらに略
一定となるサイドローブの数が3個以上あることを特徴
とする弾性表面波装置。 - 【請求項３】弾性表面波装置の入出力電極の少なくとも
一方が重み付き型電極であって、サイドローブの数がメ
インローブを中心に左右で異なる構成であり、該メイン
ローブが他方の電極側に近く形成されていることを特徴
とする弾性表面波装置。 - 【請求項４】弾性表面波装置の入出力電極の少なくとも
一方が重み付き型電極であって、電極指交差幅が1λ以
下のサイドローブを除く、残りのサイドローブはメイン
ローブを中心にして左右で同数であり、該電極指交差幅
が1λ以下のサイドローブは正規型電極に対して反対側
にのみ形成されていることを特徴とする弾性表面波装
置。 - 【請求項５】弾性表面波装置の入出力電極の少なくとも
一方が重み付き型電極で、メインローブに対して左右の
サイドローブ数が同数に構成され、正規型電極に近い側
の電極指交差幅が１λ以下のサイドローブはバスバーに
スリットを設け電気的にメインローブと分離されている
ことを特徴とする弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30095995A JPH09148874A (ja) | 1995-11-20 | 1995-11-20 | 弾性表面波素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30095995A JPH09148874A (ja) | 1995-11-20 | 1995-11-20 | 弾性表面波素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09148874A true JPH09148874A (ja) | 1997-06-06 |
Family
ID=17891145
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30095995A Pending JPH09148874A (ja) | 1995-11-20 | 1995-11-20 | 弾性表面波素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09148874A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100451081B1 (ko) * | 2002-05-15 | 2004-10-02 | 엘지이노텍 주식회사 | 표면 탄성파 필터의 잡음 방지 구조 |
-
1995
- 1995-11-20 JP JP30095995A patent/JPH09148874A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100451081B1 (ko) * | 2002-05-15 | 2004-10-02 | 엘지이노텍 주식회사 | 표면 탄성파 필터의 잡음 방지 구조 |
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