JPH09150027A

JPH09150027A - トンネル式クリーンルーム用フィルタユニット

Info

Publication number: JPH09150027A
Application number: JP31059895A
Authority: JP
Inventors: Seishirou Yoshizaki; 誠司郎吉崎; Akira Kato; 彰加藤
Original assignee: Sanki Engineering Co Ltd
Current assignee: Sanki Engineering Co Ltd
Priority date: 1995-11-29
Filing date: 1995-11-29
Publication date: 1997-06-10
Anticipated expiration: 2015-11-29
Also published as: JP3639021B2

Abstract

(57)【要約】【課題】境界領域に位置する作業員からの発塵を高速
流域に巻き込むことを防止すると共に、良好な気流分布
を与えることができるトンネル式クリーンルーム用フィ
ルタユニットを提供することにある。【解決手段】クリーンルーム用エアフィルタが、短径
方向に切断した断面略半楕円形状を為すと共に、短径方
向に吹き出す領域の濾材面積が大きい。クリーンルーム
用エアフィルタが、短径方向に切断した断面略１／４楕
円形状を為す。短径方向に吹き出す領域の曲率が、長径
方向に吹き出す領域の曲率より小さい。短径方向に吹き
出す領域の曲率が、短径方向に吹き出す領域と長径方向
に吹き出す領域との間の中間に吹き出す領域の曲率より
小さい。短径方向に吹き出す領域が、直線である。短径
方向に吹き出す領域が、濾材密度を高くしている。短径
方向に吹き出す領域が、濾材高さを高くして、濾材面積
を増加させている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体工場、精密
機械工場、薬品製造工場等の無塵室或いは無菌室に適用
されるトンネル式クリーンルームに用いられるフィルタ
ユニットに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体工場に於ては、超ＬＳＩ
の高集積化・超微細化に伴なう製造技術の高度化への対
応として超清浄度空間の必要性が増大し、クラス１〜１
００の清浄度を有するクリーンルームが要求されてい
る。この要求に応えるものとしては、垂直層流方式のク
リーンルームとトンネル方式クリーンルームとがある。

【０００３】処で、垂直層流方式のクリーンルームは、
天井の全面に高性能フィルタを施設すると共に、温湿度
を室全体として制御する必要があり、室内の生産装置毎
の温度制御の不均衡を起こす虞があった。これに対し、
トンネル式クリーンルームは、そのエリア分けにより作
業部毎に高精度に制御することができる可能性があると
いう利点を有する。

【０００４】このトンネル式クリーンルームとしては、
例えば、特開昭６１−２８２７４２号公報がある。これ
を図１４により説明する。図に於て、１はトンネル式ク
リーンルームである。このトンネル式クリーンルーム１
には垂れ壁２により高い清浄度を必要とする高速流域Ａ
と境界域Ｃと低速流域Ｂとが区画されている。

【０００５】高速流域Ａには、高性能フィルタ３が施設
されている。この高性能フィルタ３は、トンネル状室内
の天井側に設けた給気チャンバ４に取り付けてある。高
性能フィルタ３の下方には、トンネル式クリーンルーム
１の床５上に配置された生産機械６が位置している。低
速流域Ｂ側の垂れ壁２と天井７との間には、吹出口８が
設けられている。この吹出口８は、２つの高性能フィル
タ９，１０と、両高性能フィルタ９，１０に清浄空気を
送る給気チャンバ１１と、給気チャンバ１１内に位置し
垂れ壁２よりの高性能フィルタ９の上部に設けたダンパ
１２とで構成されている。

【０００６】境界域Ｃは、高性能フィルタ９からの吹出
によって形成される。このトンネル式クリーンルーム１
によれば、高性能フィルタ３を介して高速流域Ａの全域
に亘って清浄空気を略鉛直下向きに０．３〜０．４m/se
c程度の速度で層流状に吹き出し、低速流域Ｂでは、清
浄空気を高性能フィルタ１０を介して拡散的に０．０５
〜０．２m/sec程度の室内平均降下風速になるように吹
き出している。

【０００７】そして、境界域Ｃに於ては、水平に取り付
けた高性能フィルタから清浄空気を略鉛直下向きに０．
３〜０．４m/sec程度の速度で吹き出している。この境
界域Ｃに於ける高速流域Ａの気流流れと同じ気流流れを
高性能フィルタ９とダンパ１２によって形成するため、
境界域Ｃ側に位置する作業員からの発塵の巻き込みを防
止することができる。

【０００８】図１５は、同じく特開昭６１−２８２７４
２号公報に記載されてあるトンネル式クリーンルームで
ある。この場合には、高性能フィルタ１３を天井側に施
設し、１つの吹出口１４に境界域用１４ａと低速流域用
１４ｂとを設けたものである。このトンネル式クリーン
ルームに於ても、図１４と同様に境界域Ｃ側に位置する
作業員からの発塵の巻き込みを防止することができる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】処が、図１４に示すト
ンネル式クリーンルームでは、ダンパ１２によって境界
域Ｃの風速を調整するものであるため、ダンパ１２の調
整に手間取ると共に、高性能フィルタ９、１０がそれぞ
れ直線で形成され、高性能フィルタ９、１０の為す角度
がかなり大きな角度を持つため、高性能フィルタ９、１
０の夫々から吹き出す気流により、新たな境界域ができ
る。夫れにより、境界域ｃは、高性能フィルタ９の幅の
文だけ位置がずれたに過ぎないことになる可能性が大き
い。

【００１０】又、図１５に示すトンネル式クリーンルー
ムでは、高性能フィルタ１３から吹出口１４内に動圧が
掛かるため、清浄空気は横向きの低速流域用１４ｂより
も下向きの境界域用１４ａから出やすくなり、高速流域
Ａの流速よりも速くなる可能性がある。その場合には、
境界域Ｃ側に位置する作業員からの発塵の巻き込みを防
止することができない。

【００１１】一方、従来のトンネル式クリーンルーム空
調システムとしては、図１６に示すものが知られてい
る。このシステムでは、高速流域Ａの給気チャンバ４と
低速流域Ｂの給気チャンバ１１と床下空間１５とが配管
１６により空調機（図示せず）に連絡され、床下空間１
５内の空気を、空調機の冷温水コイル及びファンに導い
た後、空調された空気を高速流域Ａの給気チャンバ４と
低速流域Ｂの給気チャンバ１１に供給し、フィルタ３及
び吹出口９，１０からトンネル式クリーンルーム１内に
吹き出させることによりトンネル式クリーンルーム１内
の空気の空調及び浄化が行われている。

【００１２】然し乍ら、このような従来のトンネル式ク
リーンルーム空調システムでは、一台の空調機によりト
ンネル式クリーンルーム１内の空調を行っているため、
トンネル式クリーンルーム１内に部分的に発生する熱負
荷に有効に対応することが困難であるという問題があっ
た。一方、クリーンルームとしては、例えば、実公平５
−３８８２１号公報の第３図に示されている全面ラミナ
ーフロー方式や同じく第４図に示されているコンベンシ
ョナル方式が知られている。

【００１３】然し、全面ラミナーフロー方式のもので
は、整った層流となるが、天井チャンバーやフィルタ全
面設置を必要とし、天井が低く、高価となるという欠点
がある。又、コンベンショナル方式のものは、清浄空気
の吹出が一方向で局部的であるため、フィルタ側方に渦
流が発生し停滞して循環できず、清浄化できないという
欠点がある。

【００１４】そこで、これらの問題点を解決するものと
して、実公平５−３８８２１号公報に記載される断面略
半円形状のクリーンルーム用エアフィルタや実開昭６３
−４３６２０号公報に記載される略円弧状のクリーンル
ーム用エアフィルタのように、クリーンルーム用エアフ
ィルタ面から放射状に気流を吹き出すものが提案されて
いる。

【００１５】処で、断面略半円形状や略円弧状のクリー
ンルーム用エアフィルタから吹き出される気流は、図１
７及び図１８のように、フィルタ面１７から矢印で示す
ように放線方向へ均等に吹き出される。速度をベクトル
で表すと、フィルタ面１を出た直後のベクトルの絶対長
はどの位置も同一であり、フィルタ面１７でのベクトル
密度もどの部位も同じである。

【００１６】尚、図１７は断面１／４半円クリーンルー
ム用エアフィルタを示し、図１８は断面略半円形状クリ
ーンルーム用エアフィルタを示す。ここで、図１９に示
すように、このフィルタユニット１８をクリーンルーム
１９に用い、気流分布を良好にする目的で床２０には全
面パンチングパネル等が設けられて全面均一吸込とされ
ている。

【００１７】クリーンルーム１９の天井２１には、フィ
ルタユニット１８が取り付けられている。クリーンルー
ム１９には、空調装置２３がフィルタユニット１８のサ
プライチャンバ２２と床下空間２４とを連絡し、清浄空
気を循環するようになっている。又、クリーンルーム１
９は、経済性のため、フィルタユニット１８のフィルタ
列の設置ピッチを大きく取りたいので、図２０のように
横長の室内に空気を送ることになる。

【００１８】よって、壁２５とフィルタユニット１８の
中心位置までの距離Ｗがクリーンルーム１９の高さＨよ
りも大きく設定されている。図２０は、一点鎖線を対称
軸とみなし、壁の条件をなくして、鏡面展開すると、図
１９と同義となる。以下、対称軸の右側だけを表示する
図２０に基づいて説明する。

【００１９】図２１に於て、フィルタユニット１８下方
の鉛直方向（−Ｚ方向）では、風速は、図２２に示すよ
うに、吹出点２６から離れるに従いその流体の部分（流
体要素）２７が空間の拡がりと共に拡がり連続の式によ
り風速は減少する。然し、ある程度下方に進むと、床２
０の吸い込みにより隣り合った要素も下向きベクトルと
なり、流体要素２７は拡大せず、一定速度となり床２０
まで達する。

【００２０】これに対し、Ｘ軸方向は図２５に示すとお
りとなる。先ず、最初に吹き出した流体要素２８は、水
平方向（＋Ｘ方向）には、境界層を別としても空間の拡
がりと共に拡がり、連続の式により風速は減少する。
又、境界層からの粘性の影響も少なからず受け、風速は
更に減少する。又、隣り合った流体要素２８は、吸込条
件により−Ｚ方向への力を受け、Ｘ軸方向に進むと壁２
５に当たって、吸込方向、−Ｚ方向へ流れ、ベクトル方
向が変わる。

【００２１】これにより、水平方向に進んでいる流体要
素２８は、壁２５面で下方に引かれ、速度も又非常に減
少しているので、図２３に示すように負圧２９となる。
これが渦３０の核となり、天井２１と壁２５との隅部に
発生してしまう。これにより、水平方向の壁２５ぎわの
流体要素２８Ａでは、図２４に示すように、天井２１に
沿って−Ｘ方向にベクトルが発生し、更に水平方向の風
速減少に勢いを付けて渦３０の成長を促している。

【００２２】これらの要因により、天井２１と壁２５の
隅部に渦３０が大きく成長してしまい、定常的に存在す
ることになる。この渦３０により、この中に入り込んだ
塵埃がなかなか排出されず、清浄化しずらくなる。又、
この渦３０の成長に伴い、吹き出された風速ベクトルの
かなりの部分のＸ成分が渦運動のエネルギーとして使わ
れてしまい、壁２５にぶつかったＸ→−Ｚ成分に変化す
るベクトル量も減少する。

【００２３】その結果、図２５に示すように、壁２５に
近いエリアの−Ｚ方向ベクトル量も減少し、このエリア
の風速が遅くなり、クリーンルーム１９で必要な床上１
５００ｍｍまでの−Ｚ方向ベクトル量分布が部屋全体と
して悪くなる。即ち、図２５に於ける領域３１の風速が
遅くなる。本発明は斯かる従来の問題点を解決するため
に為されたもので、その目的は、境界領域に位置する作
業員からの発塵を高速流域に巻き込むことを防止すると
共に、良好な気流分布を与えることができるトンネル式
クリーンルーム用フィルタユニットを提供することにあ
る。

【００２４】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、クリ
ーンルーム用エアフィルタが、短径方向に切断した断面
略半楕円形状を為すと共に、短径方向に吹き出す領域の
濾材面積が大きいことを特徴とするものである。請求項
２の発明は、クリーンルーム用エアフィルタが、短径方
向に切断した断面略１／４楕円形状を為すことを特徴と
するものである。

【００２５】請求項３の発明は、短径方向に吹き出す領
域の曲率が、長径方向に吹き出す領域の曲率より小さい
ことを特徴とするものである。請求項４の発明は、短径
方向に吹き出す領域の曲率が、短径方向に吹き出す領域
と長径方向に吹き出す領域との間の中間に吹き出す領域
の曲率より小さいことを特徴とするものである。

【００２６】請求項５の発明は、短径方向に吹き出す領
域が、直線であることを特徴とするものである。請求項
６の発明は、短径方向に吹き出す領域が、濾材密度を高
くしていることを特徴とするものである。請求項７の発
明は、短径方向に吹き出す領域が、濾材高さを高くし
て、濾材面積を増加させていることを特徴とするもので
ある。

【００２７】（作用）請求項１乃至請求項５の発明に於
ては、ファンフィルタユニットにより高性能フィルタか
らトンネル式クリーンルームの高速流域内に流入され
る。又、請求項１乃至請求項５の発明に於ては、高速流
域では従来と同様に生産機械に向かって流れる高速層流
を形成する。

【００２８】一方、低速流域と境界域では、短径方向に
切断した断面略半楕円形状を為すクリーンルーム用エア
フィルタを備えたクリーンルーム用フィルタユニット
が、水平方向に対する曲率が垂直方向の曲率より小さく
なるため、水平方向の空間の拡がりに対し受け持つ流体
要素を増やすことができ、これにより、水平方向に対す
る流体要素の空間への拡がりが少なくなり、吹出からか
なり遠くまで風速を持って負圧の発生が抑えられる。

【００２９】又、垂直方向では、断面略半楕円形状を為
すクリーンルーム用エアフィルタを備えたクリーンルー
ム用フィルタユニットが、下からの吸い込みがあるた
め、流体要素に対する空間の拡がりが少なく、ある程度
進むと、それ以上拡がらなくなるため、この部分は風速
を維持し易く、空間の他の部分に比べて早くなる傾向が
ある。そこで、他の部分と同じような空間の拡がりを持
たせるため、クリーンルーム用エアフィルタのフィルタ
面の曲率を大きくする。

【００３０】以上により、低速流域では短径方向に切断
した断面略半楕円形状を為すクリーンルーム用エアフィ
ルタを備えたクリーンルーム用フィルタユニットから均
一な低速流を形成することができる。又、フィルタユニ
ット短径部分に多くの濾材面積を割り当てたので、境界
域は他の低速域に比べて多風量を与えることができる。
又、濾材を短径部で漸増させ放射状に気流吹き出しをし
ているので、境界域では自然に高速流域から離れるに従
って高速流域と隣り合うエリア部分の吹出風量が低速に
なっている。

【００３１】そのため、境界域に於て、上昇気流が起こ
らず、室内が安定した下向きの気流が得られる。

【００３２】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に示す実施の
形態に基づいて説明する。

【００３３】図１は、請求項１乃至請求項７の一実施の
形態に係るトンネル式クリーンルーム用フィルタユニッ
トを適用した空調システムを示す。図に於て、４１はト
ンネル式クリーンルームである。このトンネル式クリー
ンルーム４１には垂れ壁４２により高い清浄度を必要と
する高速流域Ａと境界域Ｃと低速流域Ｂとが区画されて
いる。

【００３４】トンネル式クリーンルーム４１は、低速流
域Ｂの天井４３側にトンネル式クリーンルーム４１内に
清浄空気を吹き出すトンネル式クリーンルーム用フィル
タユニット４９が取り付けられ、床４４には全面に穿孔
されたパンチングメタルが施設されている。そして、天
井空間４６と床下空間４５とは、空調機４７を介して連
絡している。床上には生産機械４８が配置されている。

【００３５】トンネル式クリーンルーム用フィルタユニ
ット４９は、図１に示すように、短径方向に切断した断
面略半楕円形状を為すクリーンルーム用エアフィルタ５
０と、サプライヤチャンバ５１とで構成されている。
又、サプライヤチャンバ５１には、空調機４７の風がダ
クト５２で供給されたり、或いはモータファン５２が配
設されたりしている。

【００３６】高速流域Ａには、ファンフィルタユニット
５３が配置されている。このファンフィルタユニット５
３は、横断面直方形形状で筒状のユニット本体５４の下
端開口部５５には、ＵＬＰＡフィルタ，ＨＥＰＡフィル
タ等の高性能フィルタ５６が配置されている。空調機４
７を駆動してダクト５２を介して清浄空気をファンフィ
ルタユニット５３及びトンネル式クリーンルーム用フィ
ルタユニット４９へ供給することによって、トンネル式
クリーンルーム４１へ清浄空気を供給する。高性能フィ
ルタ５６で浄化された後、高速流域Ａ内に０．３〜０．
４m/secの高速で吹き出される。

【００３７】一方、トンネル式クリーンルーム用フィル
タユニット４９からは、０．０５〜０．２m/secの低速
で清浄空気が吹き出される。ここで、トンネル式クリー
ンルーム用フィルタユニット４９の作用を、図６乃至図
１３より詳述する。上述した図２２に示す従来例に於け
るＸ方向の流体要素の距離による変化に着目し、図７に
示すように、トンネル式クリーンルーム用フィルタユニ
ット４９のクリーンルーム用エアフィルタ５０の短径方
向に吹き出す領域５０Ａのフィルタ面５０ａの曲率を、
従来の断面半円形状のクリーンルーム用エアフィルタの
曲率より小さくすることにより、即ち、−Ｚ方向に並ぶ
流体要素のベクトル方向の−Ｚ成分を半円断面より少し
ずつ増やすことで、Ｘ方向の空間の拡がりに対し受け持
つ流体要素８７を増やした。

【００３８】これにより、Ｘ方向に対する流体要素８７
の空間への拡がりが少なくなり、吹出からかなり遠くま
で風速を持って負圧の発生が抑えられる。一方、図８に
示すように、−Ｚ方向でトンネル式クリーンルーム用フ
ィルタユニット４９のクリーンルーム用エアフィルタ５
０の直下の長径方向に吹き出す領域５０Ｂは、床４４か
らの吸い込みがあるため、流体要素８８に対する空間の
拡がりが少なく、−Ｚ方向にある程度進むと、それ以上
拡がらなくなる。

【００３９】よって、この部分は風速を維持し易く、空
間の他の部分に比べて早くなる傾向がある。そこで、他
の部分と同じような空間の拡がりを持たせるため、トン
ネル式クリーンルーム用フィルタユニット４９のクリー
ンルーム用エアフィルタ５０の直下の長径方向に吹き出
す領域５０Ｂのフィルタ面５０ｂの曲率を大きくする。
これらの曲率を満たすための形状は、図９に示すよう
に、短径の半径ａ＜長径の半径ｂの縦長楕円形状が当て
はまる。

【００４０】曲率１／ρの夫々の大きさの関係を図９及
び図１０により説明する。図９は、本実施の形態に係る
トンネル式クリーンルーム用フィルタユニット４９のク
リーンルーム用エアフィルタ５０の基本構成を示す。図
１０は従来の断面半円径形状のトンネル式クリーンルー
ム用フィルタユニットを示す。図９及び図１０に於て、
短径の半径をａ、長径の半径をｂ、曲率を１／ρ、短径
と楕円曲線との交点、即ち、クリーンルーム用エアフィ
ルタ５０の短径方向に吹き出す領域５０Ａを（１／ρ）
ｄ、長径と楕円曲線との交点、即ち、クリーンルーム用
エアフィルタ５０の直下の長径方向に吹き出す領域５０
Ｂを（１／ρ）ｃ、半円形状のクリーンルーム用エアフ
ィルタ１７の半径をｒ、半円形状のクリーンルーム用エ
アフィルタ１７の真下の吹出を（１／ρ）ａ、天井２１
と半円形状のクリーンルーム用エアフィルタ１７の交点
を（１／ρ）ｂとすると、本実施の形態に係るトンネル
式クリーンルーム用フィルタユニット４９のクリーンル
ーム用エアフィルタ５０の縦長楕円形状は、（１／ρ）
ｃ＞（１／ρ）ａ＞（１／ρ）ｄ、且つａ＜ｂとなる。

【００４１】この形状でトンネル式クリーンルーム用フ
ィルタユニット４９のクリーンルーム用エアフィルタ５
０の断面を形成すれば、均等吹出、均等吸込の条件で低
速域に於て良好な気流分布を得ることができる。又、図
２〜図４に示すように、クリーンルーム用エアフィルタ
５０の短径方向に吹き出す領域５０Ａの濾材面積を増や
したことで、境界域Ｃに多風量を与えている。これと放
射状に気流を吹き出していることで、境界域Ｃを低速域
→高速域にかけて風速を漸増させている。

【００４２】即ち、図２では、クリーンルーム用エアフ
ィルタ５０の短径方向に吹き出す領域５０Ａを直線状と
している（請求項５）。図３では、クリーンルーム用エ
アフィルタ５０の短径方向に吹き出す領域５０Ａの濾材
の密度５０Ａ１が他の濾材の密度５０Ａ２より密になっ
ている（請求項６）。図４では、クリーンルーム用エア
フィルタ５０の短径方向に吹き出す領域５０Ａの濾材の
折り高さ５０Ａ３が他の濾材の折り高さ５０Ａ４より高
くしてある（請求項７）。

【００４３】これにより、垂れ壁下方の高速流域と低速
流域との境界部の吹出速が、略等速となり、境界域Ｃで
の乱れによる渦は殆ど発生しなくなる。以上のように、
トンネル式クリーンルーム用フィルタユニット４９のク
リーンルーム用エアフィルタ５０から吹き出された清浄
空気は、垂れ壁４２に流体要素８７で表される気流がぶ
つかると、高速流域Ａの速度と略同等或いはやや遅めの
速度となって、図７のように、垂れ壁４２に沿って境界
域Ｃへ降下するため、高速流域Ａと境界域Ｃとの間で
は、下向きの安定した気流が形成され、上昇気流が発生
しない。

【００４４】図５は、請求項２のトンネル式クリーンル
ーム用フィルタユニットの一実施の形態を示す。本実施
の形態は、短径方向に切断した断面略１／４楕円形状を
為すトンネル式クリーンルーム用フィルタユニット６６
を用いる点で図１に示すトンネル式クリーンルーム用フ
ィルタユニット５０と相違する。

【００４５】即ち、トンネル式クリーンルーム用フィル
タユニット６６のクリーンルーム用エアフィルタ６７が
短径方向に切断した断面略１／４楕円形状を為してい
る。それに伴って、サプライヤチャンバ６８が小さくな
っている。従って、クリーンルーム６９は、図１のクリ
ーンルーム６０の半分となっている。

【００４６】この実施の形態に於ても、上記実施の形態
と同様の作用効果を奏することができる。尚、上記実施
の形態では、サプライヤチャンバを用いた場合について
説明したが、本発明はこれに限らず、天井チャンバに供
給される清浄空気をファンで圧送するものであっても良
い。

【００４７】又、トンネル式クリーンルーム用エアフィ
ルタは、例えば、図１２に示すように、所定の長さにさ
れたクリーンルーム用エアフィルタ５１をパッキング７
１を介して枠体７２で連結すると共に開口側を支持部材
７３で閉鎖したダクト７４にしても良い。このクリーン
ルーム用エアフィルタダクトの基本構成は、クリーンル
ーム用エアフィルタの構造以外は特開昭６３−２９４４
４０号公報に開示されるものと同様である。

【００４８】更には、図１３に示すように、クリーンル
ーム用エアフィルタの外側を保護カバー７５で覆っても
良い。更に又、本発明に使用されるクリーンルーム用エ
アフィルタは、例えば、実公平５−３８８２１号公報に
記載されるように、複数に分割したものを連結したもの
でも或いは一つのものでも良い。

【００４９】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１乃至７に
記載された発明によれば、クリーンルーム用エアフィル
タが、短径方向に切断した断面略半楕円形状又は短径方
向に切断した断面略１／４楕円形状を為すと共に、短径
方向に吹き出す領域の濾材面積が大きいため、通常の横
長のクリーンルームに良好な気流分布を与えることがで
きる。又、クリーンルーム内の気流分布を均一化でき
る。クリーンルームの隅部の渦領域を縮小でき、同じ風
量で更にクリーン化ができる。

【００５０】又、高速流域と低速流域の境界域で流速を
なだらかに変化させることで渦の発生を防ぎ、非常に清
浄化能力を高くしている。

【図面の簡単な説明】

【図１】請求項１乃至７に係るトンネル式クリーンルー
ム用フィルタユニットを空調システムに適用した一実施
の形態を示す説明図である。

【図２】図１の空調システムに於ける断面１／４半円形
状のクリーンルーム用エアフィルタの説明図である。

【図３】図１の空調システムに於ける断面１／４半円形
状のクリーンルーム用エアフィルタの説明図である。

【図４】図１の空調システムに於ける断面１／４半円形
状のクリーンルーム用エアフィルタの説明図である。

【図５】請求項２のトンネル式クリーンルーム用フィル
タユニットの一実施の形態を示す断面図である。

【図６】図１のトンネル式クリーンルームに於けるトン
ネル式クリーンルーム用フィルタユニットの吹き出しに
関する説明図である。

【図７】図６に於けるトンネル式クリーンルーム用フィ
ルタユニットの短径方向の吹き出しに関する説明図であ
る。

【図８】図６に於けるトンネル式クリーンルーム用フィ
ルタユニットの長径方向の吹き出しに関する説明図であ
る。

【図９】図１に於けるトンネル式クリーンルーム用フィ
ルタユニットの基本構成を示す説明図である。

【図１０】従来の断面半円形状のトンネル式クリーンル
ーム用フィルタユニットの基本構成を示す説明図であ
る。

【図１１】図１に於けるトンネル式クリーンルーム空調
システムの別の実施の形態を示す説明図である。

【図１２】図１に於けるトンネル式クリーンルーム用フ
ィルタユニットの別の実施の形態を示す説明図である。

【図１３】図１に於けるトンネル式クリーンルーム用フ
ィルタユニットの別の実施の形態を示す説明図である。

【図１４】従来のトネル式クリーンルームを示す説明図
である。

【図１５】従来のトンネル式クリーンルームを示す説明
図である。

【図１６】従来のトンネル式クリーンルームを示す説明
図である。

【図１７】従来の断面１／４半円形状のクリーンルーム
用フィルタの説明図である。

【図１８】従来の断面半円形状のクリーンルーム用フィ
ルタの説明図である。

【図１９】図１８の断面半円形状のクリーンルーム用フ
ィルタを用いたクリーンルームの説明図である。

【図２０】図１９の断面半円形状のクリーンルーム用エ
アフィルタを用いたクリーンルームの説明図である。

【図２１】図１７又は図１８のクリーンルーム用エアフ
ィルタの垂直方向の吹き出し状態を示す説明図である。

【図２２】図１７又は図１８のクリーンルーム用エアフ
ィルタの水平方向の吹き出し状態を示す説明図である。

【図２３】図１７又は図１８のクリーンルーム用エアフ
ィルタの水平方向の吹き出し状態を示す説明図である。

【図２４】図１７又は図１８のクリーンルーム用エアフ
ィルタの水平方向の吹き出し状態を示す説明図である。

【図２５】図１７又は図１８のクリーンルーム用エアフ
ィルタの水平方向の吹き出し状態を示す説明図である。

【符号の説明】

４１トンネル式クリーンルーム４２垂れ壁４３天井４４床４５床下空間４６天井空間４７空調機４８生産機械５０トンネル式クリーンルーム用フィルタユニット５０Ａクリーンルーム用エアフィルタ５０の短径方向
に吹き出す領域５１ユニット本体５３ファンフィルタユニット５５高性能フィルタ６０軸流型ファンＡ高速流域Ｂ低速流域Ｃ境界域

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】クリーンルーム用エアフィルタが、短径
方向に切断した断面略半楕円形状を為すと共に、短径方
向に吹き出す領域の濾材面積が大きいことを特徴とする
トンネル式クリーンルーム用フィルタユニット。
【請求項２】クリーンルーム用エアフィルタが、短径
方向に切断した断面略１／４楕円形状を為すことを特徴
とするトンネル式クリーンルーム用フィルタユニット。
【請求項３】短径方向に吹き出す領域の曲率が、長径
方向に吹き出す領域の曲率より小さいことを特徴とする
請求項１又は２記載のトンネル式クリーンルーム用フィ
ルタユニット。
【請求項４】短径方向に吹き出す領域の曲率が、短径
方向に吹き出す領域と長径方向に吹き出す領域との間の
中間に吹き出す領域の曲率より小さいことを特徴とする
請求項３記載のトンネル式クリーンルーム用フィルタユ
ニット。
【請求項５】短径方向に吹き出す領域が、直線である
ことを特徴とする請求項１又は２記載のトンネル式クリ
ーンルーム用フィルタユニット。
【請求項６】短径方向に吹き出す領域が、濾材密度を
高くしていることを特徴とする請求項１又は２記載のト
ンネル式クリーンルーム用フィルタユニット。
【請求項７】短径方向に吹き出す領域が、濾材高さを
高くして、濾材面積を増加させていることを特徴とする
請求項１又は２記載のトンネル式クリーンルーム用フィ
ルタユニット。