JPH0915181A - 臭気センサ - Google Patents
臭気センサInfo
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- JPH0915181A JPH0915181A JP18463795A JP18463795A JPH0915181A JP H0915181 A JPH0915181 A JP H0915181A JP 18463795 A JP18463795 A JP 18463795A JP 18463795 A JP18463795 A JP 18463795A JP H0915181 A JPH0915181 A JP H0915181A
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 感ガス部に吸着された臭気分子を速やかに除
去し、センサ出力電圧のテーリング防止を図る。 【構成】 熱伝導が良好な非導電性の基板１の上に、金
属酸化物半導体からなる感ガス部を有する臭気検出部２
と、放電によりオゾンを発生するオゾン発生部３と、臭
気検出部２およびオゾン発生部３を加熱するヒータ部４
とが形成されている。オゾン発生部３の駆動でオゾンを
発生させると、感ガス部に吸着されている臭気分子がオ
ゾン分解時に発生する酸素と置換したり酸化されて、感
ガス部から速やかに離脱する。
去し、センサ出力電圧のテーリング防止を図る。 【構成】 熱伝導が良好な非導電性の基板１の上に、金
属酸化物半導体からなる感ガス部を有する臭気検出部２
と、放電によりオゾンを発生するオゾン発生部３と、臭
気検出部２およびオゾン発生部３を加熱するヒータ部４
とが形成されている。オゾン発生部３の駆動でオゾンを
発生させると、感ガス部に吸着されている臭気分子がオ
ゾン分解時に発生する酸素と置換したり酸化されて、感
ガス部から速やかに離脱する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は臭気センサに関し、例え
ば空気清浄器における異臭検知のための臭気センサなど
として有効に利用することができる。
ば空気清浄器における異臭検知のための臭気センサなど
として有効に利用することができる。
【０００２】
【従来の技術】例えば車両用の空気清浄器あるいは換気
装置などにおいては、車室内の喫煙時の煙草臭などの異
臭に応じて空気清浄器や換気装置を自動的にオン／オフ
制御するために、臭気センサが用いられている。その一
例として、特開昭６１−１９６８１６号公報に記載の車
両用換気制御装置がある。これは、車室内にガスセンサ
を設け、このガスセンサによって検知される喫煙時の煙
草臭等が所定レベル以上で且つ所定時間以上持続してい
るか否かを判別し、所定レベル以上で且つ所定時間以上
持続している場合に換気手段を駆動し、ガスセンサによ
って検知される喫煙時の煙草臭等が所定レベル以下とな
ることで換気手段を停止するようにしたものである。ガ
スセンサとしては、一般に、ＳｎＯ2 系等の金属酸化物
半導体からなる感ガス部を有するものが用いられてい
る。この種のセンサは、金属酸化物半導体が、清浄な大
気中では半導体粒子表面への酸素の吸着により高い抵抗
値を示し、喫煙時の煙草臭等の臭気分子の吸着で抵抗値
が減少することを利用して、臭気濃度に応じて電圧出力
を与えるようになっている。
装置などにおいては、車室内の喫煙時の煙草臭などの異
臭に応じて空気清浄器や換気装置を自動的にオン／オフ
制御するために、臭気センサが用いられている。その一
例として、特開昭６１−１９６８１６号公報に記載の車
両用換気制御装置がある。これは、車室内にガスセンサ
を設け、このガスセンサによって検知される喫煙時の煙
草臭等が所定レベル以上で且つ所定時間以上持続してい
るか否かを判別し、所定レベル以上で且つ所定時間以上
持続している場合に換気手段を駆動し、ガスセンサによ
って検知される喫煙時の煙草臭等が所定レベル以下とな
ることで換気手段を停止するようにしたものである。ガ
スセンサとしては、一般に、ＳｎＯ2 系等の金属酸化物
半導体からなる感ガス部を有するものが用いられてい
る。この種のセンサは、金属酸化物半導体が、清浄な大
気中では半導体粒子表面への酸素の吸着により高い抵抗
値を示し、喫煙時の煙草臭等の臭気分子の吸着で抵抗値
が減少することを利用して、臭気濃度に応じて電圧出力
を与えるようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この種の臭
気センサでは、臭気検出後、臭気濃度が低下しても、臭
気分子が感ガス部から離脱する速度が遅いために、図６
に示すようにセンサ出力電圧がテーリングし、センサ出
力電圧が初期の無臭レベルに復帰するのに極めて時間が
かかるという問題がある。センサ出力電圧のテーリング
は速くても数分から十数分におよび、この間に、図６に
示すように、低濃度の臭気ａが発生すると、センサ出力
電圧はテーリングの上に乗るようなかたちの出力電圧ｂ
を発生し、実際の臭気濃度ａよりも高い濃度を表すセン
サ出力電圧を発生することとなる。これは加成性からく
るもので、センサ出力電圧は実際の臭気濃度とかけ離れ
たものとなる。その結果、臭気検出の際に、設定濃度以
下であるにも拘らず、設定濃度以上であると誤検出する
おそれがあった。
気センサでは、臭気検出後、臭気濃度が低下しても、臭
気分子が感ガス部から離脱する速度が遅いために、図６
に示すようにセンサ出力電圧がテーリングし、センサ出
力電圧が初期の無臭レベルに復帰するのに極めて時間が
かかるという問題がある。センサ出力電圧のテーリング
は速くても数分から十数分におよび、この間に、図６に
示すように、低濃度の臭気ａが発生すると、センサ出力
電圧はテーリングの上に乗るようなかたちの出力電圧ｂ
を発生し、実際の臭気濃度ａよりも高い濃度を表すセン
サ出力電圧を発生することとなる。これは加成性からく
るもので、センサ出力電圧は実際の臭気濃度とかけ離れ
たものとなる。その結果、臭気検出の際に、設定濃度以
下であるにも拘らず、設定濃度以上であると誤検出する
おそれがあった。
【０００４】本発明は、上記観点に基づいてなされたも
ので、その目的は、感ガス部に吸着された臭気分子を速
やかに除去することができ、センサ出力電圧のテーリン
グ防止を図ることのできる臭気センサを提供することに
ある。
ので、その目的は、感ガス部に吸着された臭気分子を速
やかに除去することができ、センサ出力電圧のテーリン
グ防止を図ることのできる臭気センサを提供することに
ある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明においては、熱伝
導が良好な非導電性の基板と、前記基板に設けられ、金
属酸化物半導体からなる感ガス部を有する臭気検出部
と、前記基板に設けられ、放電電極と誘導電極との間の
放電によりオゾンを発生するオゾン発生部と、前記基板
に設けられ、前記基板を加熱することにより前記臭気検
出部および前記オゾン発生部を加熱するヒータ部とを有
し、前記臭気検出部の感ガス部に吸着された臭気分子を
前記オゾン発生部の駆動によって発生するオゾンによっ
て除去するようにした臭気センサによって、上記目的を
達成する。
導が良好な非導電性の基板と、前記基板に設けられ、金
属酸化物半導体からなる感ガス部を有する臭気検出部
と、前記基板に設けられ、放電電極と誘導電極との間の
放電によりオゾンを発生するオゾン発生部と、前記基板
に設けられ、前記基板を加熱することにより前記臭気検
出部および前記オゾン発生部を加熱するヒータ部とを有
し、前記臭気検出部の感ガス部に吸着された臭気分子を
前記オゾン発生部の駆動によって発生するオゾンによっ
て除去するようにした臭気センサによって、上記目的を
達成する。
【０００６】
【作用】オゾン発生部の駆動によってオゾンを発生させ
ると、臭気検出部の感ガス部に吸着されている臭気分子
が、オゾン分解時に発生する酸素と置換したり酸化され
て、感ガス部から速やかに離脱することとなる。従っ
て、オゾン発生部を駆動すれば、感ガス部からの臭気分
子の離脱速度を速くすることができ、センサ出力電圧の
テーリング防止を図ることができる。また、本発明で
は、オゾン発生部が臭気検出部と同一の基板に設けら
れ、臭気検出部と共にヒータ部によって加熱されるの
で、湿度が高い場合でも、確実な放電を得ることがで
き、オゾン発生に支障をきたすことはない。
ると、臭気検出部の感ガス部に吸着されている臭気分子
が、オゾン分解時に発生する酸素と置換したり酸化され
て、感ガス部から速やかに離脱することとなる。従っ
て、オゾン発生部を駆動すれば、感ガス部からの臭気分
子の離脱速度を速くすることができ、センサ出力電圧の
テーリング防止を図ることができる。また、本発明で
は、オゾン発生部が臭気検出部と同一の基板に設けら
れ、臭気検出部と共にヒータ部によって加熱されるの
で、湿度が高い場合でも、確実な放電を得ることがで
き、オゾン発生に支障をきたすことはない。
【０００７】
【実施例】図１は本発明の一実施例を示す構成図であ
る。
る。
【０００８】図１において、１は熱伝導が良好な非導電
性の基板で、本例ではアルミナ基板が用いられている。
このアルミナ基板１上に、臭気検出部２，オゾン発生部
３およびヒータ部４が形成されている。アルミナ基板１
は図示しない支持部材を介してケース基板５に保持され
ている。ケース基板５には臭気検出部２，オゾン発生部
３およびヒータ部４が形成されたアルミナ基板１を覆う
保護網６が設けられ、臭気検出部２等が周囲の雰囲気に
さらされるようになっている。臭気検出部２は、センサ
出力端子７ａ，７ｂに接続されていると共に、直流電源
８に接続される電源端子９ａ，９ｂに接続されている。
オゾン発生部３は、交流高周波電源１０に接続される電
源端子１１ａ，１１ｂに接続されている。ヒータ部４
は、直流電源８に接続される電源端子１２ａ，１２ｂに
接続されている。センサ出力端子７ａ，７ｂおよび電源
端子９ａ，９ｂ，１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂはケ
ース基板５の外部に引き出されている。
性の基板で、本例ではアルミナ基板が用いられている。
このアルミナ基板１上に、臭気検出部２，オゾン発生部
３およびヒータ部４が形成されている。アルミナ基板１
は図示しない支持部材を介してケース基板５に保持され
ている。ケース基板５には臭気検出部２，オゾン発生部
３およびヒータ部４が形成されたアルミナ基板１を覆う
保護網６が設けられ、臭気検出部２等が周囲の雰囲気に
さらされるようになっている。臭気検出部２は、センサ
出力端子７ａ，７ｂに接続されていると共に、直流電源
８に接続される電源端子９ａ，９ｂに接続されている。
オゾン発生部３は、交流高周波電源１０に接続される電
源端子１１ａ，１１ｂに接続されている。ヒータ部４
は、直流電源８に接続される電源端子１２ａ，１２ｂに
接続されている。センサ出力端子７ａ，７ｂおよび電源
端子９ａ，９ｂ，１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂはケ
ース基板５の外部に引き出されている。
【０００９】図２は図１の臭気検出部２の一例を示す構
成図である。臭気検出部２は、アルミナ基板１の上に真
空蒸着により薄膜形成された金属酸化物半導体１３から
なる感ガス部１４と、金属酸化物半導体１３の上に一対
のくしの歯状の白金薄膜電極１５，１６を互いに非接触
の状態ですだれ状に組合せることにより形成された電極
部１７とを有している。感ガス部１４を構成する金属酸
化物半導体１３は、ＳｎＯ2 系等で、清浄な雰囲気中で
は半導体粒子表面への酸素の吸着により高い抵抗値を示
し、喫煙時の煙草臭等の臭気分子の吸着で抵抗値が減少
する。電極部１７を構成する一対の白金薄膜電極１５，
１６の一端は電源端子９ａ，９ｂに接続されており、そ
れらの他端はセンサ出力端子７ａ，７ｂに接続されてい
る。このような臭気検出部２は、ヒータ部４によるアル
ミナ基板１の加熱を通して加熱状態におかれることで、
臭気濃度に応じた金属酸化物半導体１３の抵抗値変化を
センサ電圧出力として、センサ出力端子７ａ，７ｂに与
える。
成図である。臭気検出部２は、アルミナ基板１の上に真
空蒸着により薄膜形成された金属酸化物半導体１３から
なる感ガス部１４と、金属酸化物半導体１３の上に一対
のくしの歯状の白金薄膜電極１５，１６を互いに非接触
の状態ですだれ状に組合せることにより形成された電極
部１７とを有している。感ガス部１４を構成する金属酸
化物半導体１３は、ＳｎＯ2 系等で、清浄な雰囲気中で
は半導体粒子表面への酸素の吸着により高い抵抗値を示
し、喫煙時の煙草臭等の臭気分子の吸着で抵抗値が減少
する。電極部１７を構成する一対の白金薄膜電極１５，
１６の一端は電源端子９ａ，９ｂに接続されており、そ
れらの他端はセンサ出力端子７ａ，７ｂに接続されてい
る。このような臭気検出部２は、ヒータ部４によるアル
ミナ基板１の加熱を通して加熱状態におかれることで、
臭気濃度に応じた金属酸化物半導体１３の抵抗値変化を
センサ電圧出力として、センサ出力端子７ａ，７ｂに与
える。
【００１０】図３は図１のオゾン発生部３の一例を示す
構成図、図４は図３のＡ−Ａ断面図である。オゾン発生
部３は、アルミナ基板１の上に形成された誘導電極１８
と、誘導電極１８の上に形成されたアルミナ被膜１９
と、アルミナ被膜１９の上に形成された放電電極２０と
を有している。誘導電極１８および放電電極２０は、例
えば酸化タングステンからなり、アルミナ被膜１９をは
さんで対向している。誘導電極１８は、縦長の略長方形
状で、一端が一方の電源端子１１ｂに接続されている。
放電電極２０は、誘導電極１８よりも幅の狭い縦長形状
で、両側面に放電効率を上げるための複数の刺部２０ａ
を有し、一端が他方の電源端子１１ａに接続されてい
る。このようなオゾン発生部３は、電源端子１１ａ，１
１ｂを通して交流高周波電源１０から例えば０．１〜
０．５Ａ，４〜５ＫＶ，３０〜４０ＫＨｚの高周波電源
が印加されることで、放電電極２０と誘導電極１８との
間に沿面放電が発生し、空気中の酸素を原料としてオゾ
ンを発生する。なお、保護網６のメッシュの大きさをオ
ゾン発生部３の放電による電磁波を吸収するように構成
することが可能で、これによれば、放電に起因する電磁
波の外部への漏洩を低減することができる。
構成図、図４は図３のＡ−Ａ断面図である。オゾン発生
部３は、アルミナ基板１の上に形成された誘導電極１８
と、誘導電極１８の上に形成されたアルミナ被膜１９
と、アルミナ被膜１９の上に形成された放電電極２０と
を有している。誘導電極１８および放電電極２０は、例
えば酸化タングステンからなり、アルミナ被膜１９をは
さんで対向している。誘導電極１８は、縦長の略長方形
状で、一端が一方の電源端子１１ｂに接続されている。
放電電極２０は、誘導電極１８よりも幅の狭い縦長形状
で、両側面に放電効率を上げるための複数の刺部２０ａ
を有し、一端が他方の電源端子１１ａに接続されてい
る。このようなオゾン発生部３は、電源端子１１ａ，１
１ｂを通して交流高周波電源１０から例えば０．１〜
０．５Ａ，４〜５ＫＶ，３０〜４０ＫＨｚの高周波電源
が印加されることで、放電電極２０と誘導電極１８との
間に沿面放電が発生し、空気中の酸素を原料としてオゾ
ンを発生する。なお、保護網６のメッシュの大きさをオ
ゾン発生部３の放電による電磁波を吸収するように構成
することが可能で、これによれば、放電に起因する電磁
波の外部への漏洩を低減することができる。
【００１１】ヒータ部４は、アルミナ基板１の上に形成
された例えば白金薄膜ヒータで、アルミナ基板１を加熱
することにより、臭気検出部２およびオゾン発生部３を
加熱する。この加熱によって、臭気検出部２が臭気濃度
に応じたセンサ出力電圧を与えることが可能になること
に加えて、オゾン発生部３が湿度が高い場合でも確実な
沿面放電によってオゾンを発生させることが可能とな
る。すなわち、湿度が高いとオゾン発生部３の放電が起
こりにくくなるが、ヒータ部４によって加熱されるため
湿度が下がり、湿度が高い場合でも確実な沿面放電を得
ることができる。なお、ヒータ部４による加熱温度は例
えば４００〜５００℃である。
された例えば白金薄膜ヒータで、アルミナ基板１を加熱
することにより、臭気検出部２およびオゾン発生部３を
加熱する。この加熱によって、臭気検出部２が臭気濃度
に応じたセンサ出力電圧を与えることが可能になること
に加えて、オゾン発生部３が湿度が高い場合でも確実な
沿面放電によってオゾンを発生させることが可能とな
る。すなわち、湿度が高いとオゾン発生部３の放電が起
こりにくくなるが、ヒータ部４によって加熱されるため
湿度が下がり、湿度が高い場合でも確実な沿面放電を得
ることができる。なお、ヒータ部４による加熱温度は例
えば４００〜５００℃である。
【００１２】オゾン発生部３は、間欠的に、または、臭
気検出部２による臭気検出後短時間の間駆動される。オ
ゾン発生部３を間欠的に駆動する場合には、オゾン発生
部３が駆動されているときの臭気検出部２のセンサ出力
電圧はセンサ出力としては用いず、オゾン発生部３が駆
動されていないときの臭気検出部２のセンサ出力電圧が
センサ出力として用いられる。オゾン発生部３を臭気検
出後短時間駆動する場合も、同様に、オゾン発生部３が
駆動されているときの臭気検出部２のセンサ出力電圧は
センサ出力としては用いられない。オゾン発生部３を臭
気検出後短時間駆動する場合における臭気検出後か否か
の判断は、例えば、臭気検出部２のセンサ出力電圧が上
昇から下降に転じたか否かの検出、あるいは、臭気検出
部２のセンサ出力電圧が所定レベルに達したか否かの検
出等に基づいて行うことができる。
気検出部２による臭気検出後短時間の間駆動される。オ
ゾン発生部３を間欠的に駆動する場合には、オゾン発生
部３が駆動されているときの臭気検出部２のセンサ出力
電圧はセンサ出力としては用いず、オゾン発生部３が駆
動されていないときの臭気検出部２のセンサ出力電圧が
センサ出力として用いられる。オゾン発生部３を臭気検
出後短時間駆動する場合も、同様に、オゾン発生部３が
駆動されているときの臭気検出部２のセンサ出力電圧は
センサ出力としては用いられない。オゾン発生部３を臭
気検出後短時間駆動する場合における臭気検出後か否か
の判断は、例えば、臭気検出部２のセンサ出力電圧が上
昇から下降に転じたか否かの検出、あるいは、臭気検出
部２のセンサ出力電圧が所定レベルに達したか否かの検
出等に基づいて行うことができる。
【００１３】以上のごとき構成で、臭気検出部２が臭気
検出でセンサ出力電圧を与えている状態で、オゾン発生
部３を駆動してオゾンを発生させると、臭気検出部２の
感ガス部１４にオゾンが近づき、オゾンが電子親和力の
大きな酸素に分解されて感ガス部１４に吸着され、感ガ
ス部１４を構成する金属酸化物半導体１３から電子を受
け取ってＯ- 等の負電荷吸着種を生成する。これによ
り、吸着されていた臭気分子は酸素に置換されたり酸化
されて感ガス部１４から離脱する。この結果、感ガス部
１４を構成する金属酸化物半導体１３の粒子界面のポテ
ンシャルバリアが高くなり、金属酸化物半導体の１３の
電気抵抗が増加して、センサ出力電圧が低下することと
なる。
検出でセンサ出力電圧を与えている状態で、オゾン発生
部３を駆動してオゾンを発生させると、臭気検出部２の
感ガス部１４にオゾンが近づき、オゾンが電子親和力の
大きな酸素に分解されて感ガス部１４に吸着され、感ガ
ス部１４を構成する金属酸化物半導体１３から電子を受
け取ってＯ- 等の負電荷吸着種を生成する。これによ
り、吸着されていた臭気分子は酸素に置換されたり酸化
されて感ガス部１４から離脱する。この結果、感ガス部
１４を構成する金属酸化物半導体１３の粒子界面のポテ
ンシャルバリアが高くなり、金属酸化物半導体の１３の
電気抵抗が増加して、センサ出力電圧が低下することと
なる。
【００１４】図５は図１の構成における臭気濃度とセン
サ出力電圧との関係を示す実験結果の一例を示す図であ
る。図５において、時刻ｔはオゾン発生時点を示してい
る。センサ出力電圧が上昇から下降に転じた時刻ｔでオ
ゾン発生部３を駆動してオゾンを発生させると、センサ
出力電圧がテーリングすることなく急激に低下して初期
の無臭レベルに復帰することがわかる。
サ出力電圧との関係を示す実験結果の一例を示す図であ
る。図５において、時刻ｔはオゾン発生時点を示してい
る。センサ出力電圧が上昇から下降に転じた時刻ｔでオ
ゾン発生部３を駆動してオゾンを発生させると、センサ
出力電圧がテーリングすることなく急激に低下して初期
の無臭レベルに復帰することがわかる。
【００１５】以上述べた実施例では薄膜タイプの金属酸
化物半導体を感ガス部とする臭気検出部を有するものに
ついて説明したが、焼結タイプの金属酸化物半導体を感
ガス部とするものついても適用できることは勿論であ
る。
化物半導体を感ガス部とする臭気検出部を有するものに
ついて説明したが、焼結タイプの金属酸化物半導体を感
ガス部とするものついても適用できることは勿論であ
る。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、熱
伝導が良好な非導電性の基板の上に、金属酸化物半導体
からなる感ガス部を有する臭気検出部と、オゾンを発生
するオゾン発生部と、臭気検出部およびオゾン発生部を
加熱するヒータ部とを形成し、臭気検出部の感ガス部に
吸着された臭気分子をオゾン発生部の駆動によって発生
するオゾンによって除去するようにしたので、感ガス部
からの臭気分子の離脱速度を速くすることができ、セン
サ出力電圧のテーリング防止を図ることができる。ま
た、本発明では、オゾン発生部が臭気検出部と同一の基
板に設けられ、臭気検出部と共にヒータ部によって加熱
されるので、湿度が高い場合でも、確実な放電を得るこ
とができ、オゾン発生に支障をきたすことはない。
伝導が良好な非導電性の基板の上に、金属酸化物半導体
からなる感ガス部を有する臭気検出部と、オゾンを発生
するオゾン発生部と、臭気検出部およびオゾン発生部を
加熱するヒータ部とを形成し、臭気検出部の感ガス部に
吸着された臭気分子をオゾン発生部の駆動によって発生
するオゾンによって除去するようにしたので、感ガス部
からの臭気分子の離脱速度を速くすることができ、セン
サ出力電圧のテーリング防止を図ることができる。ま
た、本発明では、オゾン発生部が臭気検出部と同一の基
板に設けられ、臭気検出部と共にヒータ部によって加熱
されるので、湿度が高い場合でも、確実な放電を得るこ
とができ、オゾン発生に支障をきたすことはない。
【図１】図１は本発明の一実施例を示す構成図である。
【図２】図２は図１の臭気検出部の一例を示す構成図で
ある。
ある。
【図３】図３は図１のオゾン発生部の一例を示す構成図
である。
である。
【図４】図４は図３のＡ−Ａ断面図である。
【図５】図５は図１の構成における臭気濃度とセンサ出
力電圧との関係を示す実験結果の一例を示す図である。
力電圧との関係を示す実験結果の一例を示す図である。
【図６】図６は従来の臭気センサにおける臭気濃度とセ
ンサ出力電圧との関係を示す説明図である。
ンサ出力電圧との関係を示す説明図である。
１ アルミナ基板 ２ 臭気検出部 ３ オゾン発生部 ４ ヒータ部 １３ 金属酸化物半導体 １４ 感ガス部 １８ 誘導電極 ２０ 放電電極
Claims (3)
- 【請求項１】 熱伝導が良好な非導電性の基板と、 前記基板に設けられ、金属酸化物半導体からなる感ガス
部を有する臭気検出部と、 前記基板に設けられ、放電電極と誘導電極との間の放電
によりオゾンを発生するオゾン発生部と、 前記基板に設けられ、前記基板を加熱することにより前
記臭気検出部および前記オゾン発生部を加熱するヒータ
部とを有し、 前記臭気検出部の感ガス部に吸着された臭気分子を前記
オゾン発生部の駆動によって発生するオゾンによって除
去するようにした臭気センサ。 - 【請求項２】 前記オゾン発生部を間欠的に駆動し、前
記オゾン発生部を駆動していないときの前記臭気検出部
の出力をセンサ出力として用いるようにした請求項１に
記載の臭気センサ。 - 【請求項３】 前記臭気検出部による臭気検出後、前記
オゾン発生部を短時間駆動するようにした請求項１に記
載の臭気センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18463795A JPH0915181A (ja) | 1995-06-27 | 1995-06-27 | 臭気センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18463795A JPH0915181A (ja) | 1995-06-27 | 1995-06-27 | 臭気センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0915181A true JPH0915181A (ja) | 1997-01-17 |
Family
ID=16156723
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18463795A Pending JPH0915181A (ja) | 1995-06-27 | 1995-06-27 | 臭気センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0915181A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017130773A1 (ja) * | 2016-01-27 | 2017-08-03 | 京セラ株式会社 | 検査装置及び検査システム |
| WO2017130774A1 (ja) * | 2016-01-29 | 2017-08-03 | 京セラ株式会社 | 検査装置及び検査システム |
| WO2017150216A1 (ja) * | 2016-02-29 | 2017-09-08 | 京セラ株式会社 | 冷蔵庫及び管理システム |
-
1995
- 1995-06-27 JP JP18463795A patent/JPH0915181A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017130773A1 (ja) * | 2016-01-27 | 2017-08-03 | 京セラ株式会社 | 検査装置及び検査システム |
| JPWO2017130773A1 (ja) * | 2016-01-27 | 2018-02-08 | 京セラ株式会社 | 検査装置及び検査システム |
| WO2017130774A1 (ja) * | 2016-01-29 | 2017-08-03 | 京セラ株式会社 | 検査装置及び検査システム |
| JPWO2017130774A1 (ja) * | 2016-01-29 | 2018-02-08 | 京セラ株式会社 | 検査装置及び検査システム |
| US11360069B2 (en) | 2016-01-29 | 2022-06-14 | Kyocera Corporation | Inspection apparatus and inspection system |
| WO2017150216A1 (ja) * | 2016-02-29 | 2017-09-08 | 京セラ株式会社 | 冷蔵庫及び管理システム |
| JPWO2017150216A1 (ja) * | 2016-02-29 | 2018-04-12 | 京セラ株式会社 | 冷蔵庫及び管理システム |
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