JPH09153441A - 基板処理システム - Google Patents
基板処理システムInfo
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- JPH09153441A JPH09153441A JP7335885A JP33588595A JPH09153441A JP H09153441 A JPH09153441 A JP H09153441A JP 7335885 A JP7335885 A JP 7335885A JP 33588595 A JP33588595 A JP 33588595A JP H09153441 A JPH09153441 A JP H09153441A
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- processing
- recipe
- station
- stations
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P95/00—Generic processes or apparatus for manufacture or treatments not covered by the other groups of this subclass
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P74/00—Testing or measuring during manufacture or treatment of wafers, substrates or devices
- H10P74/23—Testing or measuring during manufacture or treatment of wafers, substrates or devices characterised by multiple measurements, corrections, marking or sorting processes
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Program-control systems
- G05B19/02—Program-control systems electric
- G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
- G05B19/41865—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by job scheduling, process planning, material flow
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/31—From computer integrated manufacturing till monitoring
- G05B2219/31151—Lan local area network
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/31—From computer integrated manufacturing till monitoring
- G05B2219/31206—Exchange of parameters, data, programs between two station, station and central or host or remote
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/32—Operator till task planning
- G05B2219/32129—Select program for specified machine from library, file server
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/45—Nc applications
- G05B2219/45031—Manufacturing semiconductor wafers
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 各処理ステーションに処理レシピを容易に設
定することのできる基板処理システムを提供する。 【解決手段】 基板の処理を行なうための複数の処理ス
テーションと管理ステーションとをコンピュータネット
ワークで互いに接続した基板処理システムを構成する。
各処理ステーションは、基板を処理するための複数の処
理ユニットと、処理レシピを記憶するための第１の記憶
手段と、他の処理ステーションから処理レシピをコピー
して第１の記憶手段に格納する装置間レシピコピー手段
と、を備える。また、管理ステーションは、複数の処理
ステーションのための処理レシピを記憶する第２の記憶
手段と、第２の記憶手段と複数の処理ステーションのそ
れぞれの第１の記憶手段との間で処理レシピを転送して
記憶させるレシピアップロード／ダウンロード手段と、
を備える。
定することのできる基板処理システムを提供する。 【解決手段】 基板の処理を行なうための複数の処理ス
テーションと管理ステーションとをコンピュータネット
ワークで互いに接続した基板処理システムを構成する。
各処理ステーションは、基板を処理するための複数の処
理ユニットと、処理レシピを記憶するための第１の記憶
手段と、他の処理ステーションから処理レシピをコピー
して第１の記憶手段に格納する装置間レシピコピー手段
と、を備える。また、管理ステーションは、複数の処理
ステーションのための処理レシピを記憶する第２の記憶
手段と、第２の記憶手段と複数の処理ステーションのそ
れぞれの第１の記憶手段との間で処理レシピを転送して
記憶させるレシピアップロード／ダウンロード手段と、
を備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体ウェハ、
フォトマスク用のガラス基板、液晶表示装置用のガラス
基板、光ディスク用の基板等の基板に処理を行なうため
の複数の処理ステーションと管理ステーションとをコン
ピュータネットワークで互いに接続した基板処理システ
ムに関する。
フォトマスク用のガラス基板、液晶表示装置用のガラス
基板、光ディスク用の基板等の基板に処理を行なうため
の複数の処理ステーションと管理ステーションとをコン
ピュータネットワークで互いに接続した基板処理システ
ムに関する。
【０００２】
【従来の技術】基板の処理システムは、例えば半導体ウ
ェハの処理を行なう処理ステーションを複数配置して構
成されている。各処理ステーションは、レジストの塗布
やウェハの洗浄、熱処理等を行なうための複数の処理ユ
ニットを備えている。処理ステーションにおいては、各
処理ユニットに半導体ウェハを搬送する順序と、各処理
ユニットにおける処理条件とを規定する処理レシピを設
定する必要がある。
ェハの処理を行なう処理ステーションを複数配置して構
成されている。各処理ステーションは、レジストの塗布
やウェハの洗浄、熱処理等を行なうための複数の処理ユ
ニットを備えている。処理ステーションにおいては、各
処理ユニットに半導体ウェハを搬送する順序と、各処理
ユニットにおける処理条件とを規定する処理レシピを設
定する必要がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来は、作業者が処理
レシピを記憶したフロッピーディスクを各処理ステーシ
ョンに持参し、フロッピディスクから各処理ステーショ
ンに処理レシピを転送していたので、かなりの手間と時
間を要するという問題があった。
レシピを記憶したフロッピーディスクを各処理ステーシ
ョンに持参し、フロッピディスクから各処理ステーショ
ンに処理レシピを転送していたので、かなりの手間と時
間を要するという問題があった。
【０００４】この発明は、従来技術における上述の課題
を解決するためになされたものであり、各処理ステーシ
ョンに処理レシピを容易に設定することのできる基板処
理システムを提供することを目的とする。
を解決するためになされたものであり、各処理ステーシ
ョンに処理レシピを容易に設定することのできる基板処
理システムを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段およびその作用・効果】上
述の課題の少なくとも一部を解決するため、第１の発明
は、基板の処理を行なうための複数の処理ステーション
と管理ステーションとをコンピュータネットワークで互
いに接続した基板処理システムであって、各処理ステー
ションは、基板を処理するための複数の処理ユニット
と、基板を前記複数の処理ユニットに搬送する順序と、
各処理ユニットにおける処理条件とを含む処理レシピを
記憶するための第１の記憶手段と、他の処理ステーショ
ンから処理レシピをコピーして前記第１の記憶手段に格
納する装置間レシピコピー手段と、を備え、前記管理ス
テーションは、前記複数の処理ステーションのための処
理レシピを記憶する第２の記憶手段と、前記第２の記憶
手段と前記複数の処理ステーションのそれぞれの前記第
１の記憶手段との間で処理レシピを転送して記憶させる
レシピアップロード／ダウンロード手段と、を備えるこ
とを特徴とする。
述の課題の少なくとも一部を解決するため、第１の発明
は、基板の処理を行なうための複数の処理ステーション
と管理ステーションとをコンピュータネットワークで互
いに接続した基板処理システムであって、各処理ステー
ションは、基板を処理するための複数の処理ユニット
と、基板を前記複数の処理ユニットに搬送する順序と、
各処理ユニットにおける処理条件とを含む処理レシピを
記憶するための第１の記憶手段と、他の処理ステーショ
ンから処理レシピをコピーして前記第１の記憶手段に格
納する装置間レシピコピー手段と、を備え、前記管理ス
テーションは、前記複数の処理ステーションのための処
理レシピを記憶する第２の記憶手段と、前記第２の記憶
手段と前記複数の処理ステーションのそれぞれの前記第
１の記憶手段との間で処理レシピを転送して記憶させる
レシピアップロード／ダウンロード手段と、を備えるこ
とを特徴とする。
【０００６】各処理ステーションが装置間レシピコピー
手段を有しているので、作業者が、各処理ステーション
において、他の処理ステーションから所望の処理レシピ
を転送して使用することができる。また、管理ステーシ
ョンがレシピアップロード／ダウンロード手段を有して
いるので、管理ステーションと各処理ステーションとの
間で処理レシピの転送を行ないことができる。すなわ
ち、作業者が各処理ステーションに赴くことなく１つの
装置から他の装置に処理レシピを転送することも可能で
ある。従って、本発明によれば、各処理ステーションに
所望の処理レシピを容易に設定することができる。
手段を有しているので、作業者が、各処理ステーション
において、他の処理ステーションから所望の処理レシピ
を転送して使用することができる。また、管理ステーシ
ョンがレシピアップロード／ダウンロード手段を有して
いるので、管理ステーションと各処理ステーションとの
間で処理レシピの転送を行ないことができる。すなわ
ち、作業者が各処理ステーションに赴くことなく１つの
装置から他の装置に処理レシピを転送することも可能で
ある。従って、本発明によれば、各処理ステーションに
所望の処理レシピを容易に設定することができる。
【０００７】前記管理ステーションは、さらに、前記複
数の処理ステーションの少なくとも１つを選択して、選
択された処理ステーションにおける処理状況を表示する
装置ステータス表示手段を備えることが好ましい。
数の処理ステーションの少なくとも１つを選択して、選
択された処理ステーションにおける処理状況を表示する
装置ステータス表示手段を備えることが好ましい。
【０００８】こうすれば、作業者が処理ステーションに
赴くこと無く、管理ステーションにおいて各処理ステー
ションの処理状況を把握することができる。
赴くこと無く、管理ステーションにおいて各処理ステー
ションの処理状況を把握することができる。
【０００９】前記管理ステーションは、さらに、前記複
数の処理ステーションの少なくとも１つを選択して、選
択された処理ステーションの運転履歴を記録する装置運
転情報ログ手段を備えること好ましい。
数の処理ステーションの少なくとも１つを選択して、選
択された処理ステーションの運転履歴を記録する装置運
転情報ログ手段を備えること好ましい。
【００１０】こうすれば、作業者が処理ステーションに
赴くこと無く、管理ステーションにおいて各処理ステー
ションの運転履歴を把握することができる。
赴くこと無く、管理ステーションにおいて各処理ステー
ションの運転履歴を把握することができる。
【００１１】前記管理ステーションは、さらに、前記複
数の処理ステーションの少なくとも１つを選択して、選
択された処理ステーションにアプリケーションプログラ
ムをインストールする装置アプリケーションインストー
ル手段を備えることが好ましい。
数の処理ステーションの少なくとも１つを選択して、選
択された処理ステーションにアプリケーションプログラ
ムをインストールする装置アプリケーションインストー
ル手段を備えることが好ましい。
【００１２】こうすれば、管理ステーションから各処理
ステーションに所望のアプリケーションプログラムをイ
ンストールできるので、作業時間が大幅に短縮される。
ステーションに所望のアプリケーションプログラムをイ
ンストールできるので、作業時間が大幅に短縮される。
【００１３】
Ａ．装置の構成：次に、本発明の実施の形態を実施例に
基づき説明する。図１は、この発明の実施例である基板
処理システムの構成を示す概念図である。この基板処理
システムは、第１のネットワークサブシステム１００
と、第２のネットワークサブシステム２００とを備えて
いる。第１のネットワークサブシステム１００は、管理
ステーション１１０と、複数の処理ステーション１１
２，１２２，１３２と、複数の露光ステーション１１
４，１２４，１３４とを備えている。また、各ステーシ
ョンは互いに通信経路１４０を介して接続されてローカ
ルエリアネットワークを構成している。第２のネットワ
ークサブシステム２００も同様に、管理ステーション２
１０と、複数の処理ステーション２１２，２２２，２３
２と、複数の露光ステーション２１４，２２４，２３４
とを備えており、互いに通信経路２４０を介して接続さ
れてローカルエリアネットワークを構成している。ま
た、２つの管理ステーション１１０，２１０は、電話回
線１５０を介して互いに接続されている。
基づき説明する。図１は、この発明の実施例である基板
処理システムの構成を示す概念図である。この基板処理
システムは、第１のネットワークサブシステム１００
と、第２のネットワークサブシステム２００とを備えて
いる。第１のネットワークサブシステム１００は、管理
ステーション１１０と、複数の処理ステーション１１
２，１２２，１３２と、複数の露光ステーション１１
４，１２４，１３４とを備えている。また、各ステーシ
ョンは互いに通信経路１４０を介して接続されてローカ
ルエリアネットワークを構成している。第２のネットワ
ークサブシステム２００も同様に、管理ステーション２
１０と、複数の処理ステーション２１２，２２２，２３
２と、複数の露光ステーション２１４，２２４，２３４
とを備えており、互いに通信経路２４０を介して接続さ
れてローカルエリアネットワークを構成している。ま
た、２つの管理ステーション１１０，２１０は、電話回
線１５０を介して互いに接続されている。
【００１４】２つの管理ステーション１１０，２１０
は、同じネットワーク・サーバ用オペレーションシステ
ム（例えばWindows NT Server （マイクロソフト社の商
標））で動作するコンピュータシステムである。また、
各処理ステーションと各露光ステーションは、ネットワ
ーク・ステーション用オペレーションシステム（例えば
Windows NT Station（マイクロソフト社の商標））で動
作するコンピュータシステムを備えている。
は、同じネットワーク・サーバ用オペレーションシステ
ム（例えばWindows NT Server （マイクロソフト社の商
標））で動作するコンピュータシステムである。また、
各処理ステーションと各露光ステーションは、ネットワ
ーク・ステーション用オペレーションシステム（例えば
Windows NT Station（マイクロソフト社の商標））で動
作するコンピュータシステムを備えている。
【００１５】図２は、図１に示す各ステーションの機能
を示すブロック図である。第１の管理ステーション１１
０は、ネットワーク管理手段３００と、通信手段３０２
と、レシピ・アップロード／ダウンロード手段３０４
と、装置ステータス表示手段３０６と、装置運転情報記
録手段３０８と、装置アプリケーションインストール手
段３１０と、外部記憶装置としての磁気ディスク３１２
と、を備えている。第２の管理ステーション２１０も同
様である。処理ステーション１１２は、装置間レシピコ
ピー手段４００と、外部記憶装置としての磁気ディスク
４０２と、を備えている。他の処理ステーションも同様
である。これらの各手段は、ＣＰＵ等のマイクロプロセ
ッサがソフトウェアプログラムを実行することによって
実現される。各手段の機能については後述する。
を示すブロック図である。第１の管理ステーション１１
０は、ネットワーク管理手段３００と、通信手段３０２
と、レシピ・アップロード／ダウンロード手段３０４
と、装置ステータス表示手段３０６と、装置運転情報記
録手段３０８と、装置アプリケーションインストール手
段３１０と、外部記憶装置としての磁気ディスク３１２
と、を備えている。第２の管理ステーション２１０も同
様である。処理ステーション１１２は、装置間レシピコ
ピー手段４００と、外部記憶装置としての磁気ディスク
４０２と、を備えている。他の処理ステーションも同様
である。これらの各手段は、ＣＰＵ等のマイクロプロセ
ッサがソフトウェアプログラムを実行することによって
実現される。各手段の機能については後述する。
【００１６】図３は、処理ステーションの一例を示す斜
視図である。この処理ステーションは、半導体ウェハＷ
に一連の処理（この実施例では塗布処理、現像処理、加
熱処理、冷却処理）を行うための複数の処理ユニットを
備えている。前面に配列された第１の処理ユニット群Ａ
は、塗布処理を行うスピンコータＳＣと、現像処理を行
うスピンデベロッパＳＤとで構成されている。
視図である。この処理ステーションは、半導体ウェハＷ
に一連の処理（この実施例では塗布処理、現像処理、加
熱処理、冷却処理）を行うための複数の処理ユニットを
備えている。前面に配列された第１の処理ユニット群Ａ
は、塗布処理を行うスピンコータＳＣと、現像処理を行
うスピンデベロッパＳＤとで構成されている。
【００１７】また、第１の処理ユニット群Ａに対向する
後方側の位置には、第２の処理ユニット群Ｂが設けられ
ている。第２の処理ユニット群Ｂは、各種熱処理を行う
ホットプレートＨＰ１〜ＨＰ３及びクールプレートＣＰ
１〜ＣＰ３を備えている。
後方側の位置には、第２の処理ユニット群Ｂが設けられ
ている。第２の処理ユニット群Ｂは、各種熱処理を行う
ホットプレートＨＰ１〜ＨＰ３及びクールプレートＣＰ
１〜ＣＰ３を備えている。
【００１８】さらに、この装置には、第１の処理ユニッ
ト群Ａと第２の処理ユニット群Ｂに挟まれた位置に、第
１の処理ユニット群Ａに沿って延びる搬送領域Ｃが設け
られている。この搬送領域Ｃには搬送ロボット１０が移
動自在に配置されている。この搬送ロボット１０は、半
導体ウェハＷをそれぞれ支持するための２本のアームを
有する把持部材１１（図中ではひとつのアームのみが見
えている）を有する移動体１２を備えている。
ト群Ａと第２の処理ユニット群Ｂに挟まれた位置に、第
１の処理ユニット群Ａに沿って延びる搬送領域Ｃが設け
られている。この搬送領域Ｃには搬送ロボット１０が移
動自在に配置されている。この搬送ロボット１０は、半
導体ウェハＷをそれぞれ支持するための２本のアームを
有する把持部材１１（図中ではひとつのアームのみが見
えている）を有する移動体１２を備えている。
【００１９】処理ステーションの端部には、カセット２
０からの半導体ウェハＷの搬出とカセット２０への半導
体ウェハＷの搬入とを行うインデクサＩＮＤが設けられ
ている。このインデクサＩＮＤに設けられた移載ロボッ
ト４０は、カセット２０から半導体ウェハＷを取り出
し、搬送ロボット１０に送り出したり、逆に一連の処理
が施された半導体ウェハＷを搬送ロボット１０から受け
取り、カセット２０に戻す作業を行なう。なお、図１に
は図示が省略されているが、インデクサＩＮＤの反対側
（図面右側）の端部には、半導体ウェハＷを露光ステー
ションとの間で受け渡しするインターフェースユニット
が設けられている。実施例の処理ステーションと他の処
理装置との間の半導体ウェハＷの受渡しは、インターフ
ェースユニットに設けられた移動ロボット（図示省略）
と搬送ロボット１０とが協働することによって行なわれ
る。
０からの半導体ウェハＷの搬出とカセット２０への半導
体ウェハＷの搬入とを行うインデクサＩＮＤが設けられ
ている。このインデクサＩＮＤに設けられた移載ロボッ
ト４０は、カセット２０から半導体ウェハＷを取り出
し、搬送ロボット１０に送り出したり、逆に一連の処理
が施された半導体ウェハＷを搬送ロボット１０から受け
取り、カセット２０に戻す作業を行なう。なお、図１に
は図示が省略されているが、インデクサＩＮＤの反対側
（図面右側）の端部には、半導体ウェハＷを露光ステー
ションとの間で受け渡しするインターフェースユニット
が設けられている。実施例の処理ステーションと他の処
理装置との間の半導体ウェハＷの受渡しは、インターフ
ェースユニットに設けられた移動ロボット（図示省略）
と搬送ロボット１０とが協働することによって行なわれ
る。
【００２０】図４は、図３に示す処理ステーションのブ
ロック図である。図４において、コントローラ５０は、
演算部（ＣＰＵ）やメインメモリ（ＲＡＭおよびＲＯ
Ｍ）を備えた演算処理装置であり、ディスプレイ５１お
よびキーボード５２が接続されている。コントローラ５
０は、予め設定された処理レシピに従って搬送ロボット
１０や移載ロボット４０（インデクサＩＮＤのロボッ
ト）、および、各処理ユニットＳＣ，ＳＤ，ＨＰ１〜Ｈ
Ｐ３，ＣＰ１〜ＣＰ３の動作を制御する。コントローラ
５０は、さらに、装置間レシピコピー手段４００（図
２）としての機能を有している。
ロック図である。図４において、コントローラ５０は、
演算部（ＣＰＵ）やメインメモリ（ＲＡＭおよびＲＯ
Ｍ）を備えた演算処理装置であり、ディスプレイ５１お
よびキーボード５２が接続されている。コントローラ５
０は、予め設定された処理レシピに従って搬送ロボット
１０や移載ロボット４０（インデクサＩＮＤのロボッ
ト）、および、各処理ユニットＳＣ，ＳＤ，ＨＰ１〜Ｈ
Ｐ３，ＣＰ１〜ＣＰ３の動作を制御する。コントローラ
５０は、さらに、装置間レシピコピー手段４００（図
２）としての機能を有している。
【００２１】なお、コントローラ５０による各種の機能
を実現するソフトウェアプログラム（アプリケーション
プログラム）は、フロッピディスクやＣＤ−ＲＯＭ等の
携帯型記憶媒体（可搬型記憶媒体）からコントローラ５
０のメインメモリまたは磁気ディスク４０２（図２）に
転送される。
を実現するソフトウェアプログラム（アプリケーション
プログラム）は、フロッピディスクやＣＤ−ＲＯＭ等の
携帯型記憶媒体（可搬型記憶媒体）からコントローラ５
０のメインメモリまたは磁気ディスク４０２（図２）に
転送される。
【００２２】Ｂ．レシピデータの構成：図５は、磁気デ
ィスク３１２，４１２（図２）に格納されているフロー
レシピデータ６０とユニット処理データ６２との構成を
示す説明図である。図５（Ａ）に示すように、フローレ
シピデータ６０は、フロー番号（レシピ番号とも呼ぶ）
と、各フロー番号のレシピデータとを含んでいる。この
実施例では、フローレシピデータ６０に５０種類の異な
る処理フローのフローレシピデータを登録することがで
きる。
ィスク３１２，４１２（図２）に格納されているフロー
レシピデータ６０とユニット処理データ６２との構成を
示す説明図である。図５（Ａ）に示すように、フローレ
シピデータ６０は、フロー番号（レシピ番号とも呼ぶ）
と、各フロー番号のレシピデータとを含んでいる。この
実施例では、フローレシピデータ６０に５０種類の異な
る処理フローのフローレシピデータを登録することがで
きる。
【００２３】図５（Ｂ）は、フロー番号１およびフロー
番号２のレシピデータの内容を示している。各レシピデ
ータは、半導体ウェハを各処理ユニットに搬送する搬送
順序と、各処理ユニットにおけるユニット処理データ番
号とを含んでいる。図５（Ｂ）に示す搬送順序におい
て、「ＩＤ」はインデクサＩＤを、「ＳＣ」はスピンコ
ータＳＣを、「ＳＤ」はスピンデベロッパＳＤを、「Ｈ
Ｐ」はホットプレートをそれぞれ意味している。なお、
インデクサＩＤは処理を行なわず、単に半導体ウェハを
保持しておくだけなので、ユニット処理データ番号は登
録されない。
番号２のレシピデータの内容を示している。各レシピデ
ータは、半導体ウェハを各処理ユニットに搬送する搬送
順序と、各処理ユニットにおけるユニット処理データ番
号とを含んでいる。図５（Ｂ）に示す搬送順序におい
て、「ＩＤ」はインデクサＩＤを、「ＳＣ」はスピンコ
ータＳＣを、「ＳＤ」はスピンデベロッパＳＤを、「Ｈ
Ｐ」はホットプレートをそれぞれ意味している。なお、
インデクサＩＤは処理を行なわず、単に半導体ウェハを
保持しておくだけなので、ユニット処理データ番号は登
録されない。
【００２４】なお、フローレシピデータ６０とユニット
処理データ６２で構成される１つの処理フローのデータ
が、本発明における処理レシピに相当する。
処理データ６２で構成される１つの処理フローのデータ
が、本発明における処理レシピに相当する。
【００２５】図５（Ｃ）は、各処理ユニットに対するユ
ニット処理データ６２を示している。図５（Ｃ）からも
理解できるように、各処理ユニットの処理データは、搬
送順序とは無関係に登録でき、各処理ユニット毎に９９
種類の処理データを登録することができる。スピンコー
タＳＣの処理データは、例えば、スピン回転数、処理時
間、薬液の吐出時間等を含んでいる。スピンデベロッパ
ＳＤの処理データは、スピン回転数、処理時間等を含ん
でいる。また、ホットプレートＨＰやクールプレートＣ
Ｐの処理データは、プレートの温度、処理時間等を含ん
でいる。すなわち、この実施例における「処理データ」
とは、各処理ユニットを制御するためのデータであり、
「（ユニット）処理条件」、「（ユニット）制御デー
タ」、「（ユニット）制御条件」等と呼ぶこともでき
る。
ニット処理データ６２を示している。図５（Ｃ）からも
理解できるように、各処理ユニットの処理データは、搬
送順序とは無関係に登録でき、各処理ユニット毎に９９
種類の処理データを登録することができる。スピンコー
タＳＣの処理データは、例えば、スピン回転数、処理時
間、薬液の吐出時間等を含んでいる。スピンデベロッパ
ＳＤの処理データは、スピン回転数、処理時間等を含ん
でいる。また、ホットプレートＨＰやクールプレートＣ
Ｐの処理データは、プレートの温度、処理時間等を含ん
でいる。すなわち、この実施例における「処理データ」
とは、各処理ユニットを制御するためのデータであり、
「（ユニット）処理条件」、「（ユニット）制御デー
タ」、「（ユニット）制御条件」等と呼ぶこともでき
る。
【００２６】Ｃ．各手段の機能：図６は、処理ステーシ
ョンの装置間レシピコピー手段４００（図２）の処理手
順を示すフローチャートである。なお、以下の説明にお
いては処理ステーションを単に「装置」と呼ぶ。装置間
レシピコピーとは、２つの処理ステーション（装置Ａ，
Ｂと呼ぶ）の間で処理レシピをコピーする処理である。
ステップＳ１では、装置Ａのプロセススタート画面にお
いて、使用したい処理レシピを有する装置Ｂと、そのレ
シピ番号とを指定する。プロセススタート画面とは、そ
の処理ステーションでの処理を開始させるための画面で
あり、処理レシピの設定を行なうことができる。ステッ
プＳ１の具体的な手順では、作業者が他の装置Ｂを指定
すると、その装置Ｂが有する処理レシピの一覧の画面が
表示される。そして、作業者は、表示された処理レシピ
の中から所望のレシピの番号を指定する。
ョンの装置間レシピコピー手段４００（図２）の処理手
順を示すフローチャートである。なお、以下の説明にお
いては処理ステーションを単に「装置」と呼ぶ。装置間
レシピコピーとは、２つの処理ステーション（装置Ａ，
Ｂと呼ぶ）の間で処理レシピをコピーする処理である。
ステップＳ１では、装置Ａのプロセススタート画面にお
いて、使用したい処理レシピを有する装置Ｂと、そのレ
シピ番号とを指定する。プロセススタート画面とは、そ
の処理ステーションでの処理を開始させるための画面で
あり、処理レシピの設定を行なうことができる。ステッ
プＳ１の具体的な手順では、作業者が他の装置Ｂを指定
すると、その装置Ｂが有する処理レシピの一覧の画面が
表示される。そして、作業者は、表示された処理レシピ
の中から所望のレシピの番号を指定する。
【００２７】ステップＳ２では、作業者が、装置Ａのプ
ロセススタート画面で１ロット（複数のウェハを含む１
つの処理単位）の処理をスタートさせる。処理のスター
トが指示されると、装置Ａは、指定された装置Ｂから処
理レシピをコピーし、その処理レシピに従ってウェハの
処理を実行する。具体的には、装置Ａの装置間レシピコ
ピー手段４００が処理レシピの転送を装置Ｂの装置間レ
シピコピー手段４００に要求し、装置Ｂの装置間レシピ
コピー手段４００がこれに応じてその処理レシピを磁気
ディスクから読出して装置Ａに転送する。
ロセススタート画面で１ロット（複数のウェハを含む１
つの処理単位）の処理をスタートさせる。処理のスター
トが指示されると、装置Ａは、指定された装置Ｂから処
理レシピをコピーし、その処理レシピに従ってウェハの
処理を実行する。具体的には、装置Ａの装置間レシピコ
ピー手段４００が処理レシピの転送を装置Ｂの装置間レ
シピコピー手段４００に要求し、装置Ｂの装置間レシピ
コピー手段４００がこれに応じてその処理レシピを磁気
ディスクから読出して装置Ａに転送する。
【００２８】この機能を利用すると、処理ステーション
間で処理レシピのコピーを行なえるので、フロッピディ
スク等に処理レシピを格納して処理ステーション間を作
業者が持ち運ぶ必要がない。また、処理を実行する処理
ステーションから他の処理ステーションに対して処理レ
シピの転送を要求することができるので、作業者は、処
理を実行する処理ステーションにおいて所望の処理レシ
ピを容易に設定することができる。
間で処理レシピのコピーを行なえるので、フロッピディ
スク等に処理レシピを格納して処理ステーション間を作
業者が持ち運ぶ必要がない。また、処理を実行する処理
ステーションから他の処理ステーションに対して処理レ
シピの転送を要求することができるので、作業者は、処
理を実行する処理ステーションにおいて所望の処理レシ
ピを容易に設定することができる。
【００２９】図７は、管理ステーション１１０，２１０
のレシピ・アップロード／ダウンロード手段３０４の処
理手順を示すフローチャートである。レシピ・アップロ
ード／ダウンロード手段３０４が表示デバイス（図示せ
ず）の画面上に４種類の機能の選択枝を表示すると、作
業者がその中の１つを選択する。４種類の機能は、
「Ａ．管理ステーションからのレシピ編集」と、「Ｂ．
管理ステーションからのダウンロード」と、「Ｃ．管理
ステーションへのアップロード」と、「Ｄ．装置間コピ
ー」である。
のレシピ・アップロード／ダウンロード手段３０４の処
理手順を示すフローチャートである。レシピ・アップロ
ード／ダウンロード手段３０４が表示デバイス（図示せ
ず）の画面上に４種類の機能の選択枝を表示すると、作
業者がその中の１つを選択する。４種類の機能は、
「Ａ．管理ステーションからのレシピ編集」と、「Ｂ．
管理ステーションからのダウンロード」と、「Ｃ．管理
ステーションへのアップロード」と、「Ｄ．装置間コピ
ー」である。
【００３０】図８は、レシピ・アップロード／ダウンロ
ード手段３０４の「Ａ．管理ステーションからのレシピ
編集」機能の処理手順を示すフローチャートである。ス
テップＳ１１では、作業者が管理ステーション１１０の
画面において、レシピデータを編集したい装置とそのレ
シピ番号とを選択する。具体的には、作業者が画面で装
置を選択すると、その装置に記憶されている処理レシピ
の一覧表が表示され、その中から１つの処理レシピを選
択する。この結果、その装置（処理ステーション）から
処理レシピが管理ステーション１１０に転送されて表示
される。
ード手段３０４の「Ａ．管理ステーションからのレシピ
編集」機能の処理手順を示すフローチャートである。ス
テップＳ１１では、作業者が管理ステーション１１０の
画面において、レシピデータを編集したい装置とそのレ
シピ番号とを選択する。具体的には、作業者が画面で装
置を選択すると、その装置に記憶されている処理レシピ
の一覧表が表示され、その中から１つの処理レシピを選
択する。この結果、その装置（処理ステーション）から
処理レシピが管理ステーション１１０に転送されて表示
される。
【００３１】ステップＳ１２では、作業者が、管理ステ
ーション１１０の画面上において処理レシピの編集を行
なう。編集された処理レシピは、管理ステーション１１
０からその処理ステーションに逆転送される。従って、
作業者は、各処理ステーションの入力手段を用いること
なく、管理ステーション１１０（または２１０）から各
処理ステーションの処理レシピを編集することが可能で
ある。
ーション１１０の画面上において処理レシピの編集を行
なう。編集された処理レシピは、管理ステーション１１
０からその処理ステーションに逆転送される。従って、
作業者は、各処理ステーションの入力手段を用いること
なく、管理ステーション１１０（または２１０）から各
処理ステーションの処理レシピを編集することが可能で
ある。
【００３２】図９は、レシピ・アップロード／ダウンロ
ード手段３０４の「Ｂ．管理ステーションからのダウン
ロード」機能の処理手順を示すフローチャートである。
ステップＳ２１では、作業者がレシピデータをダウンロ
ードしたい装置を選択するとともに、管理ステーション
１１０の磁気ディスク３１２に格納されている処理レシ
ピの中からダウンロードしたいレシピ番号を指定する。
この際、複数のレシピ番号を指定することが可能であ
る。
ード手段３０４の「Ｂ．管理ステーションからのダウン
ロード」機能の処理手順を示すフローチャートである。
ステップＳ２１では、作業者がレシピデータをダウンロ
ードしたい装置を選択するとともに、管理ステーション
１１０の磁気ディスク３１２に格納されている処理レシ
ピの中からダウンロードしたいレシピ番号を指定する。
この際、複数のレシピ番号を指定することが可能であ
る。
【００３３】ステップＳ２２では、指定された処理レシ
ピが管理ステーション１１０から指定された装置にダウ
ンロードされる。この機能を利用すれば、作業者は、管
理ステーション１１０（または２１０）に格納されてい
る複数の処理レシピの中から所望の処理レシピを各処理
ステーションに転送することが可能である。
ピが管理ステーション１１０から指定された装置にダウ
ンロードされる。この機能を利用すれば、作業者は、管
理ステーション１１０（または２１０）に格納されてい
る複数の処理レシピの中から所望の処理レシピを各処理
ステーションに転送することが可能である。
【００３４】図１０は、レシピ・アップロード／ダウン
ロード手段３０４の「Ｃ．管理ステーションへのアップ
ロード」機能の処理手順を示すフローチャートである。
ステップＳ３１では、作業者が、取得したい処理レシピ
を有している装置と、そのレシピ番号とを指定する。具
体的には、管理ステーション１１０の画面上で処理ステ
ーションを選択すると、その処理ステーションに格納さ
れている処理レシピの一覧表が表示され、作業者がその
中の１つを選択する。
ロード手段３０４の「Ｃ．管理ステーションへのアップ
ロード」機能の処理手順を示すフローチャートである。
ステップＳ３１では、作業者が、取得したい処理レシピ
を有している装置と、そのレシピ番号とを指定する。具
体的には、管理ステーション１１０の画面上で処理ステ
ーションを選択すると、その処理ステーションに格納さ
れている処理レシピの一覧表が表示され、作業者がその
中の１つを選択する。
【００３５】ステップＳ３２では、指定された装置か
ら、指定された処理レシピが管理ステーション１１０に
アップロードされる。この機能を利用すれば、作業者
は、複数の処理ステーションに格納されている処理レシ
ピの中から所望の処理レシピを管理ステーション１１０
に転送することが可能である。
ら、指定された処理レシピが管理ステーション１１０に
アップロードされる。この機能を利用すれば、作業者
は、複数の処理ステーションに格納されている処理レシ
ピの中から所望の処理レシピを管理ステーション１１０
に転送することが可能である。
【００３６】図１１は、レシピ・アップロード／ダウン
ロード手段３０４の「Ｄ．装置間コピー」機能の処理手
順を示すフローチャートである。ステップＳ４１では、
作業者が管理ステーション１１０の画面上において、コ
ピー元の装置とコピーしたい処理レシピのレシピ番号と
を選択する。ステップＳ４２では、管理ステーション１
１０の画面において、コピー先の装置とレシピ番号とを
選択する。ステップＳ４３では、作業者が、管理ステー
ション１１０にレシピの装置間コピーを開始させる。コ
ピーの際には、コピー先の装置におけるレシピ番号は、
ステップＳ４２において指定された番号が割り当てられ
る。
ロード手段３０４の「Ｄ．装置間コピー」機能の処理手
順を示すフローチャートである。ステップＳ４１では、
作業者が管理ステーション１１０の画面上において、コ
ピー元の装置とコピーしたい処理レシピのレシピ番号と
を選択する。ステップＳ４２では、管理ステーション１
１０の画面において、コピー先の装置とレシピ番号とを
選択する。ステップＳ４３では、作業者が、管理ステー
ション１１０にレシピの装置間コピーを開始させる。コ
ピーの際には、コピー先の装置におけるレシピ番号は、
ステップＳ４２において指定された番号が割り当てられ
る。
【００３７】図１１における装置間コピーの機能と、図
６に示す装置間レシピコピーの機能との違いは、図１１
においては管理ステーション１１０がレシピの転送を仲
介するのに対して、図６においては装置同士が直接レシ
ピの転送を行なう点にある。すなわち、図１１では、コ
ピー元の装置からレシピが一旦管理ステーションに転送
され、管理ステーションからそのレシピがコピー先の装
置に再転送されるのに対して、図６においては装置間で
レシピが直接転送される。図１１の機能を用いれば、作
業者が管理ステーションから装置間のレシピのコピーを
実行させることができる。
６に示す装置間レシピコピーの機能との違いは、図１１
においては管理ステーション１１０がレシピの転送を仲
介するのに対して、図６においては装置同士が直接レシ
ピの転送を行なう点にある。すなわち、図１１では、コ
ピー元の装置からレシピが一旦管理ステーションに転送
され、管理ステーションからそのレシピがコピー先の装
置に再転送されるのに対して、図６においては装置間で
レシピが直接転送される。図１１の機能を用いれば、作
業者が管理ステーションから装置間のレシピのコピーを
実行させることができる。
【００３８】図１２は、管理ステーションの装置ステー
タス表示手段３０６の処理手順を示すフローチャートで
ある。ステップＳ５１では、作業者が管理ステーション
１１０の画面で、ステータス（現在の処理状況）を取得
したい装置を選択する。この際、複数の処理ステーショ
ンを選択することが可能である。ステップＳ５２では、
管理ステーション１１０の画面に選択された装置のステ
ータスが表示されるので、作業者がそれを観察して異常
がないか否か等を確認する。この機能を使用すれば、作
業者が各ステーションの前に赴いてそれぞれのステータ
スを確認する必要がなく、１台の管理ステーション１１
０から各処理ステーションのステータスを確認すること
が可能である。
タス表示手段３０６の処理手順を示すフローチャートで
ある。ステップＳ５１では、作業者が管理ステーション
１１０の画面で、ステータス（現在の処理状況）を取得
したい装置を選択する。この際、複数の処理ステーショ
ンを選択することが可能である。ステップＳ５２では、
管理ステーション１１０の画面に選択された装置のステ
ータスが表示されるので、作業者がそれを観察して異常
がないか否か等を確認する。この機能を使用すれば、作
業者が各ステーションの前に赴いてそれぞれのステータ
スを確認する必要がなく、１台の管理ステーション１１
０から各処理ステーションのステータスを確認すること
が可能である。
【００３９】図１３は、管理ステーションの装置運転情
報記録手段３０８の処理手順を示すフローチャートであ
る。ステップＳ６１では、作業者が管理ステーション１
１０の画面で、ステータスの履歴を取得したい装置を選
択する。この際、複数の処理ステーションを選択するこ
とが可能である。ステップＳ６２では、管理ステーショ
ン１１０が、選択された装置のステータスの履歴をステ
ータス履歴データファイルとして磁気ディスク３１２に
格納する。ステータス履歴に含まれる情報としては、ア
ラームの発生時刻とアラーム発生ユニット、各処理ユニ
ットでの処理の進行状況、内部通信（同じ処理ステーシ
ョン内の処理ユニット同士の通信）の内容等がある。こ
の機能を使用すれば、作業者が各ステーションの前に赴
いてそれぞれのステータス履歴を取得する必要がなく、
１台の管理ステーション１１０で各処理ステーションの
ステータス履歴を取得して格納することが可能である。
特に、処理ステーションにトラブルが発生した場合に、
管理ステーション１１０のステータス履歴を調べること
によって、その原因を解析することができる。
報記録手段３０８の処理手順を示すフローチャートであ
る。ステップＳ６１では、作業者が管理ステーション１
１０の画面で、ステータスの履歴を取得したい装置を選
択する。この際、複数の処理ステーションを選択するこ
とが可能である。ステップＳ６２では、管理ステーショ
ン１１０が、選択された装置のステータスの履歴をステ
ータス履歴データファイルとして磁気ディスク３１２に
格納する。ステータス履歴に含まれる情報としては、ア
ラームの発生時刻とアラーム発生ユニット、各処理ユニ
ットでの処理の進行状況、内部通信（同じ処理ステーシ
ョン内の処理ユニット同士の通信）の内容等がある。こ
の機能を使用すれば、作業者が各ステーションの前に赴
いてそれぞれのステータス履歴を取得する必要がなく、
１台の管理ステーション１１０で各処理ステーションの
ステータス履歴を取得して格納することが可能である。
特に、処理ステーションにトラブルが発生した場合に、
管理ステーション１１０のステータス履歴を調べること
によって、その原因を解析することができる。
【００４０】図１４は、管理ステーションの装置アプリ
ケーションインストール手段３１０の処理手順を示すフ
ローチャートである。ステップＳ７１では、作業者が、
管理ステーション１１０の図示しないＣＤドライブやＦ
Ｄドライブ等の携帯型外部記憶装置を用いて、インスト
ールしたいアプリケーションプログラムやデータファイ
ルを管理ステーション１１０に入力する。ステップＳ７
２では、作業者が管理ステーション１１０の画面におい
てインストール先の装置を選択し、ステップＳ７１で入
力されたアプリケーションプログラムやデータファイル
をその装置に転送してインストールを行なう。この際、
複数の装置を選択することが可能である。この機能を使
用すれば、各処理ステーションを停止させること無く、
アプリケーションプログラムやデータファイルのインス
トールを管理ステーションに実行させることができる。
また、管理ステーション１１０から各処理ステーション
にインストールすることができるので、フロッピディス
クやＣＤ−ＲＯＭ等の携帯型記憶媒体を各処理ステーシ
ョンまで持ち運ぶ必要がなく、さらに、作業時間も大幅
に短縮される。
ケーションインストール手段３１０の処理手順を示すフ
ローチャートである。ステップＳ７１では、作業者が、
管理ステーション１１０の図示しないＣＤドライブやＦ
Ｄドライブ等の携帯型外部記憶装置を用いて、インスト
ールしたいアプリケーションプログラムやデータファイ
ルを管理ステーション１１０に入力する。ステップＳ７
２では、作業者が管理ステーション１１０の画面におい
てインストール先の装置を選択し、ステップＳ７１で入
力されたアプリケーションプログラムやデータファイル
をその装置に転送してインストールを行なう。この際、
複数の装置を選択することが可能である。この機能を使
用すれば、各処理ステーションを停止させること無く、
アプリケーションプログラムやデータファイルのインス
トールを管理ステーションに実行させることができる。
また、管理ステーション１１０から各処理ステーション
にインストールすることができるので、フロッピディス
クやＣＤ−ＲＯＭ等の携帯型記憶媒体を各処理ステーシ
ョンまで持ち運ぶ必要がなく、さらに、作業時間も大幅
に短縮される。
【００４１】なお、上述した管理ステーションの各手段
の機能は、通常は同じネットワークサブシステム内のス
テーションに対して実行される。しかし、管理ステーシ
ョン１１０，２１０の通信手段３０２を利用すれば、異
なるネットワークサブシステム内の処理ステーションに
対しても管理ステーション１１０が上記の各手段の機能
を実行することが可能である。このような通信手段３０
２としては、例えばWindows NTのＲＡＳ（リモート・ア
クセス・サービス）機能を利用することができる。
の機能は、通常は同じネットワークサブシステム内のス
テーションに対して実行される。しかし、管理ステーシ
ョン１１０，２１０の通信手段３０２を利用すれば、異
なるネットワークサブシステム内の処理ステーションに
対しても管理ステーション１１０が上記の各手段の機能
を実行することが可能である。このような通信手段３０
２としては、例えばWindows NTのＲＡＳ（リモート・ア
クセス・サービス）機能を利用することができる。
【００４２】なお、この発明は上記の実施例や実施形態
に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲に
おいて種々の態様において実施することが可能である。
に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲に
おいて種々の態様において実施することが可能である。
【図１】この発明の実施例である基板処理システムの構
成を示す概念図。
成を示す概念図。
【図２】図１に示す各ステーションの機能を示すブロッ
ク図。
ク図。
【図３】処理ステーションの一例を示す斜視図。
【図４】処理ステーションのブロック図。
【図５】フローレシピデータ６０とユニット処理データ
６２との構成を示す説明図。
６２との構成を示す説明図。
【図６】装置間レシピコピー手段４００の処理手順を示
すフローチャート。
すフローチャート。
【図７】管理ステーション１１０，２１０のレシピ・ア
ップロード／ダウンロード手段３０４の処理手順を示す
フローチャート。
ップロード／ダウンロード手段３０４の処理手順を示す
フローチャート。
【図８】レシピ・アップロード／ダウンロード手段３０
４の「Ａ．管理ステーションからのレシピ編集」機能の
処理手順を示すフローチャート。
４の「Ａ．管理ステーションからのレシピ編集」機能の
処理手順を示すフローチャート。
【図９】レシピ・アップロード／ダウンロード手段３０
４の「Ｂ．管理ステーションからのダウンロード」機能
の処理手順を示すフローチャート。
４の「Ｂ．管理ステーションからのダウンロード」機能
の処理手順を示すフローチャート。
【図１０】レシピ・アップロード／ダウンロード手段３
０４の「Ｃ．管理ステーションへのアップロード」機能
の処理手順を示すフローチャート。
０４の「Ｃ．管理ステーションへのアップロード」機能
の処理手順を示すフローチャート。
【図１１】レシピ・アップロード／ダウンロード手段３
０４の「Ｄ．装置間コピー」機能の処理手順を示すフロ
ーチャート。
０４の「Ｄ．装置間コピー」機能の処理手順を示すフロ
ーチャート。
【図１２】装置ステータス表示手段３０６の処理手順を
示すフローチャート。
示すフローチャート。
【図１３】装置運転情報記録手段３０８の処理手順を示
すフローチャート。
すフローチャート。
【図１４】装置アプリケーションインストール手段３１
０の処理手順を示すフローチャート。
０の処理手順を示すフローチャート。
１０…搬送ロボット １１…把持部材 １２…移動体 ２０…カセット ４０…移載ロボット ５０…コントローラ ５１…ディスプレイ ５２…キーボード ６０…フローレシピデータ ６２…ユニット処理データ １００，２００…ネットワークサブシステム １１０，２１０…管理ステーション １１２，１２２，１３２…処理ステーション １１４，１２４，１３４…露光ステーション １４０…通信経路 １５０…電話回線 ２１２，２２２，２３２…処理ステーション ２１４，２２４，２３４…露光ステーション ２４０…通信経路 ３００…ネットワーク管理手段 ３０２…通信手段 ３０４…レシピ・アップロード／ダウンロード手段 ３０６…装置ステータス表示手段 ３０８…装置運転情報記録手段 ３１０…装置アプリケーションインストール手段 ３１２…磁気ディスク ４００…装置間レシピコピー手段 ４０２…磁気ディスク ４１２…磁気ディスク
Claims (4)
- 【請求項１】 基板の処理を行なうための複数の処理ス
テーションと管理ステーションとをコンピュータネット
ワークで互いに接続した基板処理システムであって、 各処理ステーションは、 基板を処理するための複数の処理ユニットと、 基板を前記複数の処理ユニットに搬送する順序と、各処
理ユニットにおける処理条件とを含む処理レシピを記憶
するための第１の記憶手段と、 他の処理ステーションから処理レシピをコピーして前記
第１の記憶手段に格納する装置間レシピコピー手段と、
を備え、 前記管理ステーションは、 前記複数の処理ステーションのための処理レシピを記憶
する第２の記憶手段と、 前記第２の記憶手段と前記複数の処理ステーションのそ
れぞれの前記第１の記憶手段との間で処理レシピを転送
して記憶させるレシピアップロード／ダウンロード手段
と、を備えることを特徴とする基板処理システム。 - 【請求項２】 請求項１記載の基板処理システムであっ
て、前記管理ステーションは、さらに、 前記複数の処理ステーションの少なくとも１つを選択し
て、選択された処理ステーションにおける処理状況を表
示する装置ステータス表示手段を備える、基板処理シス
テム。 - 【請求項３】 請求項１または２記載の基板処理システ
ムであって、前記管理ステーションは、さらに、 前記複数の処理ステーションの少なくとも１つを選択し
て、選択された処理ステーションの運転履歴を記録する
装置運転情報ログ手段を備える、基板処理システム。 - 【請求項４】 請求項１ないし３のいずれかに記載の基
板処理システムであって、前記管理ステーションは、さ
らに、 前記複数の処理ステーションの少なくとも１つを選択し
て、選択された処理ステーションにアプリケーションプ
ログラムをインストールする装置アプリケーションイン
ストール手段を備える、基板処理システム。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33588595A JP3892493B2 (ja) | 1995-11-29 | 1995-11-29 | 基板処理システム |
| KR1019960054860A KR100231377B1 (ko) | 1995-11-29 | 1996-11-18 | 레시피 복제가능을 가진 기판처리 시스템 |
| US08/757,069 US5867389A (en) | 1995-11-29 | 1996-11-26 | Substrate processing management system with recipe copying functions |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33588595A JP3892493B2 (ja) | 1995-11-29 | 1995-11-29 | 基板処理システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09153441A true JPH09153441A (ja) | 1997-06-10 |
| JP3892493B2 JP3892493B2 (ja) | 2007-03-14 |
Family
ID=18293469
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33588595A Expired - Lifetime JP3892493B2 (ja) | 1995-11-29 | 1995-11-29 | 基板処理システム |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5867389A (ja) |
| JP (1) | JP3892493B2 (ja) |
| KR (1) | KR100231377B1 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| JP2000077288A (ja) * | 1998-09-01 | 2000-03-14 | Kokusai Electric Co Ltd | 半導体製造方法及び半導体製造装置 |
| US6591207B2 (en) | 2001-02-23 | 2003-07-08 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor production system |
| US6941186B2 (en) | 2002-08-22 | 2005-09-06 | Hitachi High-Technologies Corporation | Semiconductor manufacturing apparatus |
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| JP2013033313A (ja) * | 2011-08-01 | 2013-02-14 | Renesas Electronics Corp | 製造制御システム |
| JP2013201299A (ja) * | 2012-03-26 | 2013-10-03 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理システム |
| KR20210042381A (ko) | 2018-09-20 | 2021-04-19 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 시스템 |
Families Citing this family (63)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US6418352B1 (en) * | 1997-12-12 | 2002-07-09 | Brooks Automation Gmbh | Integrated material management module |
| JP4365934B2 (ja) * | 1999-05-10 | 2009-11-18 | キヤノン株式会社 | 露光装置、半導体製造装置およびデバイス製造方法 |
| KR100510065B1 (ko) * | 1999-06-22 | 2005-08-26 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 제조를 위한 오버레이 장비 자동화 방법 |
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