JPH09155180A - 流体混合装置 - Google Patents
流体混合装置Info
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- JPH09155180A JPH09155180A JP7346602A JP34660295A JPH09155180A JP H09155180 A JPH09155180 A JP H09155180A JP 7346602 A JP7346602 A JP 7346602A JP 34660295 A JP34660295 A JP 34660295A JP H09155180 A JPH09155180 A JP H09155180A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】末端での使用流量の変更、変動に自動的に対応
し、決められた混合比の流体を連続的に供給可能で、尚
且つ混合流路の圧力を一定範囲に制御する小型で簡便な
流体混合装置。 【構成】流体の混合器において、流体の各流路に設置さ
れた流量計、自動弁、比率設定器、調節計で制御して得
た一種の、定値制御に加え、合流部の後方流路に、圧力
変換機構、混合流体の流量計、圧力調整弁を付設し、混
合比を制御しつつ、混合流体用流量計と圧力変換機構の
信号により、使用流量の変動、変更に自動的に対応し且
つ混合流路の圧力を一定範囲に制御すると共に決められ
た濃度の混合流体の供給する。
し、決められた混合比の流体を連続的に供給可能で、尚
且つ混合流路の圧力を一定範囲に制御する小型で簡便な
流体混合装置。 【構成】流体の混合器において、流体の各流路に設置さ
れた流量計、自動弁、比率設定器、調節計で制御して得
た一種の、定値制御に加え、合流部の後方流路に、圧力
変換機構、混合流体の流量計、圧力調整弁を付設し、混
合比を制御しつつ、混合流体用流量計と圧力変換機構の
信号により、使用流量の変動、変更に自動的に対応し且
つ混合流路の圧力を一定範囲に制御すると共に決められ
た濃度の混合流体の供給する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】複数の流体混合装置に於いて、通
常の工業計器、調節計と自動弁の組合せ等において、必
要流量を確保する為に逐次、調節計の設定を変更するの
では無く、末端での使用流量の変更に自動的に対応し、
決められた混合比の流体を連続的に供給可能な小型で簡
便な流体混合装置。
常の工業計器、調節計と自動弁の組合せ等において、必
要流量を確保する為に逐次、調節計の設定を変更するの
では無く、末端での使用流量の変更に自動的に対応し、
決められた混合比の流体を連続的に供給可能な小型で簡
便な流体混合装置。
【０００２】
【従来の技術】従来の混合装置に於ては図３の様に流体
の各流路に設置された流量計、自動弁、調節計，比率設
定器で制御して得た流量をそのまま使用していた。その
為この従来の混合装置に於ては、比率が調整された一種
の定流量制御と考えられる。この為、末端での使用流量
変更を変更する場合は比率制御を保ちつつ、供給量を変
更しなければならず、この場合、調節計の設定を操作す
ることとなる。しかも再設定を行っても消費流量が再々
度変わった場合には再々度の設定と、その都度使用流量
に合わせて設定をし直す必要が有った。
の各流路に設置された流量計、自動弁、調節計，比率設
定器で制御して得た流量をそのまま使用していた。その
為この従来の混合装置に於ては、比率が調整された一種
の定流量制御と考えられる。この為、末端での使用流量
変更を変更する場合は比率制御を保ちつつ、供給量を変
更しなければならず、この場合、調節計の設定を操作す
ることとなる。しかも再設定を行っても消費流量が再々
度変わった場合には再々度の設定と、その都度使用流量
に合わせて設定をし直す必要が有った。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】混合流体が一か所で使
用される場合でも、状況によって使用流量が変更される
場合が有る。ましてその混合された流体が分岐され、い
ろいろな場所で使用されるに及んでは供給すべき混合流
体の量はいつも一定量では有り得ない。この様な場合で
も末端での使用量に合わせて、調節計の設定値を、いち
いち変更し供給流量を変更するのでは無く末端での使用
流量の変更においても、一度設定された制御系を再設定
しなくとも精度のよい混合流体を供給しようとするもの
である。
用される場合でも、状況によって使用流量が変更される
場合が有る。ましてその混合された流体が分岐され、い
ろいろな場所で使用されるに及んでは供給すべき混合流
体の量はいつも一定量では有り得ない。この様な場合で
も末端での使用量に合わせて、調節計の設定値を、いち
いち変更し供給流量を変更するのでは無く末端での使用
流量の変更においても、一度設定された制御系を再設定
しなくとも精度のよい混合流体を供給しようとするもの
である。
【０００４】
【課題を解決する為の手段】上記，目的を達成する為、
従来の流量制御系に加え圧力検出機構を設けその後流に
緩衝を兼ねた圧力調整弁と混合流体の流量を測定するた
めの流量計を付設した。流体を各々供給源に接続し流体
を供給する。この時、各流路は混合流量がゼロの場合、
混合流体用流量計の信号はゼロで、各調節計へ送られて
くる信号も当然ゼロで有り、自動弁は閉じたままで当然
混合流路に混合流体も無い事から混合流路流路圧力もゼ
ロである。この場合、末端に流量を流そうとしても、混
合流路の圧力もゼロ、流路に混合流体も無い事から必要
流量を流す事は永久に出来ないこととなる。ここで最初
に自動弁を開き流体を供給するためにも圧力検出機構が
必要となる。もし混合流体の流路の圧力が設定した設定
値以下（ゼロも含む）の場合、末端の使用流量に関わら
ず、圧力検出機構と演算部により調節計に一定流量を送
る信号を与えるようにしておけば、運転初期や混合流体
の圧力低下時においても、自動弁は開けられ、混合流体
流路や各種機器を含む容量部総ての空間部の圧力が、設
定されている圧力になるまで流量が流れやがて流路は設
定圧力以上となる。この様な混合流体流路に圧力がある
状態では、供給先のバルブ等で流体を流し始めると、混
合流体流路から流体は流れ出る事となり、混合流体用流
量計は流れ出ている分の信号を調節計に送る事となる。
その結果、上記回路は、動作を始めると共にその信号は
比率設定器の入力となり、比率を保ったまま、全体の必
要流量に見合った流量を調節供給可能となる。
従来の流量制御系に加え圧力検出機構を設けその後流に
緩衝を兼ねた圧力調整弁と混合流体の流量を測定するた
めの流量計を付設した。流体を各々供給源に接続し流体
を供給する。この時、各流路は混合流量がゼロの場合、
混合流体用流量計の信号はゼロで、各調節計へ送られて
くる信号も当然ゼロで有り、自動弁は閉じたままで当然
混合流路に混合流体も無い事から混合流路流路圧力もゼ
ロである。この場合、末端に流量を流そうとしても、混
合流路の圧力もゼロ、流路に混合流体も無い事から必要
流量を流す事は永久に出来ないこととなる。ここで最初
に自動弁を開き流体を供給するためにも圧力検出機構が
必要となる。もし混合流体の流路の圧力が設定した設定
値以下（ゼロも含む）の場合、末端の使用流量に関わら
ず、圧力検出機構と演算部により調節計に一定流量を送
る信号を与えるようにしておけば、運転初期や混合流体
の圧力低下時においても、自動弁は開けられ、混合流体
流路や各種機器を含む容量部総ての空間部の圧力が、設
定されている圧力になるまで流量が流れやがて流路は設
定圧力以上となる。この様な混合流体流路に圧力がある
状態では、供給先のバルブ等で流体を流し始めると、混
合流体流路から流体は流れ出る事となり、混合流体用流
量計は流れ出ている分の信号を調節計に送る事となる。
その結果、上記回路は、動作を始めると共にその信号は
比率設定器の入力となり、比率を保ったまま、全体の必
要流量に見合った流量を調節供給可能となる。
【０００５】
【作用】末端で使用流量に変更が発生した場合でも、逐
次、使用量に合わせて供給流量を流す為に調節計の設定
値の変更をするのでは無く、末端での使用流量の変更に
おいても、自動的に精度のよい混合流体を供給出来る。
次、使用量に合わせて供給流量を流す為に調節計の設定
値の変更をするのでは無く、末端での使用流量の変更に
おいても、自動的に精度のよい混合流体を供給出来る。
【０００６】
【実施例】本実施状況の条件として、流体に窒素、水素
を使用した。以下、図１及び図２にに示す実施例に基づ
き本発明を詳説する。演算部８の演算出力条件として、
混合流路１０の圧力が設定圧力の範囲を外れた場合、混
合流体用流量計４の出力、圧力スイッチ５部の圧力の大
きさと演算部８により次のように演算部８から出力す
る。 圧力が下限以下の時 ：混合流体用流量計４の信号に一定値を加算した 信号 圧力が下限と上限の間 ：混合流体用流量計４の出力と同じ大きさの信号 圧力が上限を越えた時 ：混合流体用流量計４の信号から一定値減算した 信号 窒素ガスと水素の混合比率は比率設定器７の設定によ
る。
を使用した。以下、図１及び図２にに示す実施例に基づ
き本発明を詳説する。演算部８の演算出力条件として、
混合流路１０の圧力が設定圧力の範囲を外れた場合、混
合流体用流量計４の出力、圧力スイッチ５部の圧力の大
きさと演算部８により次のように演算部８から出力す
る。 圧力が下限以下の時 ：混合流体用流量計４の信号に一定値を加算した 信号 圧力が下限と上限の間 ：混合流体用流量計４の出力と同じ大きさの信号 圧力が上限を越えた時 ：混合流体用流量計４の信号から一定値減算した 信号 窒素ガスと水素の混合比率は比率設定器７の設定によ
る。
【０００７】上記条件で、図１に於て各流入口を供給ガ
ス源に、流出口は排気ダクトへ接続し、手動弁１４，１
４ｂを開きガスを供給する。圧力スイッチ１２，１２ｂ
の圧力は設定以上にり混合装置の電源の投入が可能とな
る。混合装置の流出口の手動弁１１を閉じた状態で電源
を投入、更にスタートスイッチを投入し遮断弁１３，１
３ｂを開ける。この時、混合流路１０の流量は圧力と共
にゼロで演算回路８は圧力スイッチ５の下限の信号を受
けて、調節計３へ更に比率設定器をへて、調節計３ｂに
信号は送られ自動弁２，２ｂは全開で流体は流れ始め
る。この時、混合流体用流量計４が流量を感知し、流量
信号と加算信号の両方で動作状態に入るか、圧力スイッ
チ４による加算された信号で動作するかは、この装置の
混合流路１０を含む弁１１までの配管容量と制御系の応
答速度による。しかし通常は配管容量が小さく制御系の
応答が早い為、混合ガスが即座に弁１１に到達し混合流
路１０の圧力も瞬時に上がり設定下限を越えると圧力ス
イッチ５は復帰し、混合流体用流量計４の信号はゼロで
あることから演算部８から調節計３への信号はやはりゼ
ロで各流路の流量は、調節計３，３ｂにより流量ゼロに
調整される。
ス源に、流出口は排気ダクトへ接続し、手動弁１４，１
４ｂを開きガスを供給する。圧力スイッチ１２，１２ｂ
の圧力は設定以上にり混合装置の電源の投入が可能とな
る。混合装置の流出口の手動弁１１を閉じた状態で電源
を投入、更にスタートスイッチを投入し遮断弁１３，１
３ｂを開ける。この時、混合流路１０の流量は圧力と共
にゼロで演算回路８は圧力スイッチ５の下限の信号を受
けて、調節計３へ更に比率設定器をへて、調節計３ｂに
信号は送られ自動弁２，２ｂは全開で流体は流れ始め
る。この時、混合流体用流量計４が流量を感知し、流量
信号と加算信号の両方で動作状態に入るか、圧力スイッ
チ４による加算された信号で動作するかは、この装置の
混合流路１０を含む弁１１までの配管容量と制御系の応
答速度による。しかし通常は配管容量が小さく制御系の
応答が早い為、混合ガスが即座に弁１１に到達し混合流
路１０の圧力も瞬時に上がり設定下限を越えると圧力ス
イッチ５は復帰し、混合流体用流量計４の信号はゼロで
あることから演算部８から調節計３への信号はやはりゼ
ロで各流路の流量は、調節計３，３ｂにより流量ゼロに
調整される。
【０００８】ついで末端に流体を供給すべく弁１１を開
くと流体は流れ始め混合ガスの流量計４は当然、流量に
見合った信号を発生する、その信号は演算器８と圧力ス
イッチ５により混合流路１０の圧力ポジションを判断
し，それに見合った信号の量で流量を供給し始める。今
仮に連続的にガスを供給している状態で、何等かの外
乱、流量計の精度、制御の偏差により混合流路１０の圧
力が、圧力スイッチ５の下限の値より小さくなったとす
ると演算部８はそれを判断し混合流体用流量計４からの
信号に一定信号を加算した信号を調節計３に送り、信号
の増加分だけ余計に供給流量を増加する為の動作をす
る。やがて流量の加算分で混合流路１０の圧力が回復し
圧力が設定値以内に戻ると、圧力スイッチ５による加算
命令は解除され、演算部８から調節計３に与えられる信
号は、混合流量の流量信号のみとなり、調節計３、３ｂ
は混合流量値に比例した調整動作を行う。
くと流体は流れ始め混合ガスの流量計４は当然、流量に
見合った信号を発生する、その信号は演算器８と圧力ス
イッチ５により混合流路１０の圧力ポジションを判断
し，それに見合った信号の量で流量を供給し始める。今
仮に連続的にガスを供給している状態で、何等かの外
乱、流量計の精度、制御の偏差により混合流路１０の圧
力が、圧力スイッチ５の下限の値より小さくなったとす
ると演算部８はそれを判断し混合流体用流量計４からの
信号に一定信号を加算した信号を調節計３に送り、信号
の増加分だけ余計に供給流量を増加する為の動作をす
る。やがて流量の加算分で混合流路１０の圧力が回復し
圧力が設定値以内に戻ると、圧力スイッチ５による加算
命令は解除され、演算部８から調節計３に与えられる信
号は、混合流量の流量信号のみとなり、調節計３、３ｂ
は混合流量値に比例した調整動作を行う。
【０００９】また混合流路１０の圧力が、圧力スイッチ
５の上限の設定値より大きくなったとすると演算部８は
それを判断し混合流体用流量計４からの信号から一定値
を減算した信号を調節計３に送り、信号の減算分だけ少
なく調節計３，３ｂは供給流量を減算する為の動作をす
る。やがて、供給流量の減小で圧力が設定値以内に戻る
と圧力スイッチ５による減算命令は解除され、演算部８
から調節計３に与えられる信号は、混合流量の流量信号
のみとなり、調節計３，３ｂは混合流量値に比例した調
整動作を行う。以下これの繰り返し動作となるが、通
常、混合流路部の圧力は設定範囲に止まり、混合流体用
流量計４の出力と演算部８から出力の比は１の安定動作
である。
５の上限の設定値より大きくなったとすると演算部８は
それを判断し混合流体用流量計４からの信号から一定値
を減算した信号を調節計３に送り、信号の減算分だけ少
なく調節計３，３ｂは供給流量を減算する為の動作をす
る。やがて、供給流量の減小で圧力が設定値以内に戻る
と圧力スイッチ５による減算命令は解除され、演算部８
から調節計３に与えられる信号は、混合流量の流量信号
のみとなり、調節計３，３ｂは混合流量値に比例した調
整動作を行う。以下これの繰り返し動作となるが、通
常、混合流路部の圧力は設定範囲に止まり、混合流体用
流量計４の出力と演算部８から出力の比は１の安定動作
である。
【００１０】また混合流路の圧力が設定圧力範囲外にあ
るとき、加算、減算信号をどの程度の大きさにするか
は、末端での流量変更の大きさや外乱の大きさによる。
本件においては、加算、減算信号の大きさを、演算部内
の抵抗操作で、任意に可変出来る構造とした。
るとき、加算、減算信号をどの程度の大きさにするか
は、末端での流量変更の大きさや外乱の大きさによる。
本件においては、加算、減算信号の大きさを、演算部内
の抵抗操作で、任意に可変出来る構造とした。
【００１１】演算部８の演算出力条件 圧力スイッチに、下限１と２を設けて、圧力が設定した
範囲を越えた場合、演算部８をへて比率設定、調節計３
に混合流量の一定倍を送る場合。圧力検出機構５のスイ
ッチ部に更に下限に設定された，下限２を設け、混合流
路の圧力が圧力検出機構５の下限２以下の場合は一定量
の模擬流量信号を調節計３に与え、圧力検出機構５の下
限１以下で圧力検出機構５の下限２以上の時は、混合流
体用流量計４の信号の一定倍の信号を調節計３に与え、
圧力が設定範囲にある時は、混合流体用流量計４の信号
直接、調節計３に与え圧力が上限を越えた時は一倍以下
の信号を調節計３に与える事で、制御の応答を早める事
ができる。但し定数の選び形、方策によっては、制御回
路自身が一種の発振を起こす事となり、配管容量やガス
体等に於いては圧縮性を考えた応答速度との兼ね合いに
注意する必要が有る。したがって、定量増加減方法にす
るか、定倍増加減方法するかは、制御回路の応答特性と
配管容量やガスの圧縮性がもたらす応答特性により使い
分ける事となる。（増加量や、倍率の設定は、各々の回
路の応答速度による。）
範囲を越えた場合、演算部８をへて比率設定、調節計３
に混合流量の一定倍を送る場合。圧力検出機構５のスイ
ッチ部に更に下限に設定された，下限２を設け、混合流
路の圧力が圧力検出機構５の下限２以下の場合は一定量
の模擬流量信号を調節計３に与え、圧力検出機構５の下
限１以下で圧力検出機構５の下限２以上の時は、混合流
体用流量計４の信号の一定倍の信号を調節計３に与え、
圧力が設定範囲にある時は、混合流体用流量計４の信号
直接、調節計３に与え圧力が上限を越えた時は一倍以下
の信号を調節計３に与える事で、制御の応答を早める事
ができる。但し定数の選び形、方策によっては、制御回
路自身が一種の発振を起こす事となり、配管容量やガス
体等に於いては圧縮性を考えた応答速度との兼ね合いに
注意する必要が有る。したがって、定量増加減方法にす
るか、定倍増加減方法するかは、制御回路の応答特性と
配管容量やガスの圧縮性がもたらす応答特性により使い
分ける事となる。（増加量や、倍率の設定は、各々の回
路の応答速度による。）
【００１２】図２の場合は、合流部直後に圧力調整器を
持たず、末端の使用側に流量自動調整装置、圧力調整装
置を有する場合を想定している。この場合、末端の使用
側に流量自動調整装置または圧力調整装置を持たないと
使用箇所は一か所に限られる。もし混合流体を多岐に別
けて使用する場合は、緩衝的意味合いも含め流量自動調
整装置または圧力調整装置が必要となる。
持たず、末端の使用側に流量自動調整装置、圧力調整装
置を有する場合を想定している。この場合、末端の使用
側に流量自動調整装置または圧力調整装置を持たないと
使用箇所は一か所に限られる。もし混合流体を多岐に別
けて使用する場合は、緩衝的意味合いも含め流量自動調
整装置または圧力調整装置が必要となる。
【００１３】ガス体において、体積流量を測定するよう
な混合ガス流量計を使用すると、圧力温度の自動補正を
行わない限り、混合流体用流量計４には追従制御するも
のの、真の値は、流量計１，１ｂの取付け位置の圧力変
動に左右される。この場合、方法として熱線式気体質量
流量計またはこれに類する、質量流量計の採用が望まし
い。
な混合ガス流量計を使用すると、圧力温度の自動補正を
行わない限り、混合流体用流量計４には追従制御するも
のの、真の値は、流量計１，１ｂの取付け位置の圧力変
動に左右される。この場合、方法として熱線式気体質量
流量計またはこれに類する、質量流量計の採用が望まし
い。
【００１４】請求項３に記載された発明にあっては、本
請求項１，２，３，の様に工業用計器、調節計、自動弁
等を用い制御した場合、当然応答遅れが生じる、この場
合の対処として、気体の圧縮を利用した緩衝動作によ
り、流量制御による応答遅れを緩和した。
請求項１，２，３，の様に工業用計器、調節計、自動弁
等を用い制御した場合、当然応答遅れが生じる、この場
合の対処として、気体の圧縮を利用した緩衝動作によ
り、流量制御による応答遅れを緩和した。
【００１５】請求項４に記載された発明にあっては、請
求項３にあって、ガス体の圧縮効果に、依存して、緩衝
用タンクを用いたが、液体においては、圧縮係数は小さ
くこれを期待できない為、タンクの一部に隔膜を使用
し、その膜を隔てた気体の圧縮性を応用した、緩衝用タ
ンクが有用である。
求項３にあって、ガス体の圧縮効果に、依存して、緩衝
用タンクを用いたが、液体においては、圧縮係数は小さ
くこれを期待できない為、タンクの一部に隔膜を使用
し、その膜を隔てた気体の圧縮性を応用した、緩衝用タ
ンクが有用である。
【００１６】請求項５に記載された発明にあっては、請
求項１，２において同一管路に流れる、流量は、管路の
どの位置で測定しても、同じ事であることに従った。
求項１，２において同一管路に流れる、流量は、管路の
どの位置で測定しても、同じ事であることに従った。
【００１７】
【発明の効果】以上の説明から明らかな如く、従来の流
量計、圧力調整弁、調節計等よる、単純な定値、定量制
御的な混合流体の供給装置ではなく、逐次、使用流量の
変動に自動的に対応し、且つ決められた濃度の混合流体
の供給が可能な流体の混合装置が可能となった。
量計、圧力調整弁、調節計等よる、単純な定値、定量制
御的な混合流体の供給装置ではなく、逐次、使用流量の
変動に自動的に対応し、且つ決められた濃度の混合流体
の供給が可能な流体の混合装置が可能となった。
【００１８】
【図１】混合流体用流量計と圧力調整弁との間に、混合
流体の圧力を保っ為の、圧力検出機構を付設した混合装
置。
流体の圧力を保っ為の、圧力検出機構を付設した混合装
置。
【図２】混合流体用の後流部に、末端部に必要な供給圧
力を保持するべく、圧力変換機構を付設した混合装置。
力を保持するべく、圧力変換機構を付設した混合装置。
【図３】従来の混合装置
１・１ｂ ……流量計 ２・２ｂ ……自動弁 ３・３ｂ ……調節計 ４ ……混合流体用流量計 ５ ……混合流体の圧力変換機構（圧力スイッ
チ） ６ ……圧力調整弁 ７ ……比率設定器 ８ ……演算部 ９ ……合流部 １０ ……混合流路 １１ ……手動遮断弁 １２・１２ｂ……圧力変換機構（圧力スイッチ） １３・１３ｂ……遮断弁 １４・１４ｂ……手動弁
チ） ６ ……圧力調整弁 ７ ……比率設定器 ８ ……演算部 ９ ……合流部 １０ ……混合流路 １１ ……手動遮断弁 １２・１２ｂ……圧力変換機構（圧力スイッチ） １３・１３ｂ……遮断弁 １４・１４ｂ……手動弁
Claims (5)
- 【請求項１】複数の流体を所定の混合比で混合して末端
部に連続して供給する装置であって、各流体の供給源に
接続され、混合流量に見合った流量を、合流部の後方に
設置されている混合流体用流量計の出力信号にもとずき
供給する為の制御に用いる流量計、自動弁、演算部、比
率設定器及び外部信号で流量を設定出来る調節計を設置
された各流路を有し、それら流体が混合されるための前
記流路の合流部を有し、その合流部の後方に、混合流量
を測る為の混合体用流量計を配し、その混合体用流量計
の後流部に圧力調整弁を配し、その混合体用流量計と圧
力調整弁との間に、圧力調整弁の機能に必要な入力圧力
を保持するべく、圧力検出機構を配し、その圧力検出機
構の信号は上下限の圧力スイッチとして演算部の入力の
として出力され、混合体用流量計及び圧力スイッチから
信号を受けた演算部は演算結果を調節計への入力とし
て、信号を出力しその調節計は、前記信号により供給流
量、圧力に過不足が生じた時や末端での流量を変更した
時、その変更に追従し規定の混合比で流体を供給すると
共に混合流路部の圧力を一定範囲に制御する装置。 - 【請求項２】複数の流体を所定の混合比で混合して末端
部に連続して供給する装置であって、各流体の供給源に
接続され、混合流量に見合った流量を、合流部の後方に
設置されている混合流体用流量計の出力信号にもとずき
供給する為の制御に用いる流量計、自動弁、演算部、比
率設定器及び外部信号で流量を設定出来る調節計を設置
された各流路を有し、それら流体が混合されるための前
記流路の合流部を有し、その合流部の後方に混合流量を
測る為の混合体用流量計を配し、その混合体用流量計の
後流部に必要な供給圧力を保持するべく、圧力検出機構
を配し、その圧力検出機構の信号は上下限の圧力スイッ
チとして演算部の入力のとして出力され、混合体用流量
計及び圧力スイッチから信号を受けた演算部は演算結果
を調節計への入力として、信号を出力しその調節計は、
前記信号により供給流量、圧力に過不足が生じた時や末
端での流量を変更した時、その変更に追従し規定の混合
比で流体を供給すると共に混合流路部の圧力を一定範囲
に制御する装置。 - 【請求項３】前記、末端の流量変動に伴う、修正の為の
修正動作時に発生する、流量計、自動弁、調節計の制御
の応答遅れを補うに足りる、緩衝用貯留タンクを合流部
直後に配した、前記請求項１，又は２項に記載の流体混
合装置。 - 【請求項４】前記、請求項３に関わる、緩衝用タンク
で、液体用に有っては隔膜式又は同程度に効力を期待で
きる緩衝装置付、前記請求項１，２，又は３項に記載の
流体混合装置。 - 【請求項５】前記、混合装置であって、混合流路部の圧
力調整弁より後方に混合流体測定用流量計を設置した、
前記請求項１，３、又は４項に記載の流体混合装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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