JPH09159853A - フィルタ付光導波路及びその製造方法 - Google Patents
フィルタ付光導波路及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH09159853A JPH09159853A JP31552795A JP31552795A JPH09159853A JP H09159853 A JPH09159853 A JP H09159853A JP 31552795 A JP31552795 A JP 31552795A JP 31552795 A JP31552795 A JP 31552795A JP H09159853 A JPH09159853 A JP H09159853A
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- optical waveguide
- manufacturing
- hole
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 フィルタの内部歪の発生を減少させ剥離を抑
えたフィルタ付光導波路及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 光導波路素子にフィルタを搭載したフィ
ルタ付光導波路において、フィルタ１０の光透過部１１
〜１４を丸形状の貫通口とする。
えたフィルタ付光導波路及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 光導波路素子にフィルタを搭載したフィ
ルタ付光導波路において、フィルタ１０の光透過部１１
〜１４を丸形状の貫通口とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はフィルタ付光導波路
及びその製造方法に関する。
及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】光通信システムにおいて、１本の光導波
路に波長の異なる複数のレーザ光を伝搬させた後必要な
波長のレーザ光を取り出すことが行われている。必要な
波長のレーザ光を抽出するにはフィルタが用いられる。
路に波長の異なる複数のレーザ光を伝搬させた後必要な
波長のレーザ光を取り出すことが行われている。必要な
波長のレーザ光を抽出するにはフィルタが用いられる。
【０００３】図４はフィルタ取り付け前の光導波路素子
であり，図５は図４に示した光導波路素子に取り付けら
れるフィルタである（特開平６−１２３８１４号公
報）。
であり，図５は図４に示した光導波路素子に取り付けら
れるフィルタである（特開平６−１２３８１４号公
報）。
【０００４】図４に示す光導波路素子は、マッハツェン
ダ干渉計と方向性結合器とを直列に組合わせた光分岐結
合器を同一基板１上に形成したものである。
ダ干渉計と方向性結合器とを直列に組合わせた光分岐結
合器を同一基板１上に形成したものである。
【０００５】基板１上にはそれぞれ２本の光導波路ｐ、
ｑからなるマッハツェンダ干渉計と２個の方向性結合器
とを直列に配置した光分岐結合器Ａ1 、Ａ2 、Ａ3 、Ａ
4 が４個並設されている。
ｑからなるマッハツェンダ干渉計と２個の方向性結合器
とを直列に配置した光分岐結合器Ａ1 、Ａ2 、Ａ3 、Ａ
4 が４個並設されている。
【０００６】光分岐結合器Ａ1 、Ａ2 、Ａ3 、Ａ4 にお
ける全ての入力ポート（または出力ポート）ｐ1 、
ｑ1 、ｐ2 、ｑ2 、ｐ3 、ｑ3 、ｐ4 、ｑ4 の直線リー
ド部を横切り、ダイシングソーによる機械加工またはド
ライエッチング法によって、各入力ポートに対し所定の
角度で交差するスリット２が形成される。このスリット
２の中に、１．３μｍの光を透過し１．５５μｍの光を
反射するフィルタ部３ａと光を透過する透過部３ｂとを
有するフィルタ３（図５）が挿入され、エポキシ樹脂系
の接着剤で固定されている。しかしながら、このフィル
タ３の構成は生産性に乏しいという問題があった。
ける全ての入力ポート（または出力ポート）ｐ1 、
ｑ1 、ｐ2 、ｑ2 、ｐ3 、ｑ3 、ｐ4 、ｑ4 の直線リー
ド部を横切り、ダイシングソーによる機械加工またはド
ライエッチング法によって、各入力ポートに対し所定の
角度で交差するスリット２が形成される。このスリット
２の中に、１．３μｍの光を透過し１．５５μｍの光を
反射するフィルタ部３ａと光を透過する透過部３ｂとを
有するフィルタ３（図５）が挿入され、エポキシ樹脂系
の接着剤で固定されている。しかしながら、このフィル
タ３の構成は生産性に乏しいという問題があった。
【０００７】このフィルタ３の製造方法としては、例え
ば上述したスリット２に挿入できる寸法形状のガラス板
の全面に、まずＴｉＯ2 、ＳｉＯ2 からなる誘電体の多
層薄膜を成膜し、ついで、その誘電体多層薄膜に２５０
μｍの間隔でマスク部と透明部とが配列されているマス
クを用いてフォトリソグラフィーを行ったのち、エッチ
ング処理を施すことにより、図５に示したように、誘電
体多層薄膜からなるフィルタ部３ａと透明ガラスのまま
の光透過部３ｂとを２５０μｍの間隔でまだらに配列さ
せる方法があるが、この製造方法は手間がかかるばかり
でなく製造が難しい。
ば上述したスリット２に挿入できる寸法形状のガラス板
の全面に、まずＴｉＯ2 、ＳｉＯ2 からなる誘電体の多
層薄膜を成膜し、ついで、その誘電体多層薄膜に２５０
μｍの間隔でマスク部と透明部とが配列されているマス
クを用いてフォトリソグラフィーを行ったのち、エッチ
ング処理を施すことにより、図５に示したように、誘電
体多層薄膜からなるフィルタ部３ａと透明ガラスのまま
の光透過部３ｂとを２５０μｍの間隔でまだらに配列さ
せる方法があるが、この製造方法は手間がかかるばかり
でなく製造が難しい。
【０００８】そこで、フィルタにダイシングソー等によ
る研削加工を施し、図６に示すようなくしば状にしたフ
ィルタが用いられている。同図に示すフィルタ４の歯部
４ａがフィルタ部であり、歯部間の隙間４ｂが光透過部
である。
る研削加工を施し、図６に示すようなくしば状にしたフ
ィルタが用いられている。同図に示すフィルタ４の歯部
４ａがフィルタ部であり、歯部間の隙間４ｂが光透過部
である。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述した従
来のくしば状のフィルタ４を埋め込んだフィルタ付光導
波路では、フィルタ４内部に加工歪が残ってしまい、フ
ィルタ４をスリット２に挿入固定した後において、固定
用の接着剤の収縮によりフィルタ４の膜が剥離すること
があった。これは、フィルタ４が数十層の多層膜で構成
されているため、フィルタ４の加工時に多層膜内部にダ
メージを受けやすく、そのダメージを受けた部分が起点
となって剥離が生じるものと思われる。特に、フィルタ
４の歯部４ａの先端は剥がれの起点が多く存在し、非常
に剥がれやすい構造であった。
来のくしば状のフィルタ４を埋め込んだフィルタ付光導
波路では、フィルタ４内部に加工歪が残ってしまい、フ
ィルタ４をスリット２に挿入固定した後において、固定
用の接着剤の収縮によりフィルタ４の膜が剥離すること
があった。これは、フィルタ４が数十層の多層膜で構成
されているため、フィルタ４の加工時に多層膜内部にダ
メージを受けやすく、そのダメージを受けた部分が起点
となって剥離が生じるものと思われる。特に、フィルタ
４の歯部４ａの先端は剥がれの起点が多く存在し、非常
に剥がれやすい構造であった。
【００１０】そこで本発明の目的は、上記課題を解決
し、フィルタの内部歪の発生を減少させ剥離を抑えたフ
ィルタ付光導波路及びその製造方法を提供することにあ
る。
し、フィルタの内部歪の発生を減少させ剥離を抑えたフ
ィルタ付光導波路及びその製造方法を提供することにあ
る。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、光導波路素子にフィルタを搭載したフィル
タ付光導波路において、フィルタは丸形状の貫通口から
なる光透過部を有するものである。
に本発明は、光導波路素子にフィルタを搭載したフィル
タ付光導波路において、フィルタは丸形状の貫通口から
なる光透過部を有するものである。
【００１２】上記構成に加え本発明は、丸形状の貫通口
の直径を光導波路素子のコアの間隔に等しくしてもよ
い。
の直径を光導波路素子のコアの間隔に等しくしてもよ
い。
【００１３】また、本発明は、光導波路素子にフィルタ
を搭載するフィルタ付光導波路の製造方法において、光
導波路素子上にコアを横断するようにスリットを形成す
ると共に、フィルタに丸形状の貫通口からなる光透過部
を形成し、スリットにフィルタを挿入固定するものであ
る。
を搭載するフィルタ付光導波路の製造方法において、光
導波路素子上にコアを横断するようにスリットを形成す
ると共に、フィルタに丸形状の貫通口からなる光透過部
を形成し、スリットにフィルタを挿入固定するものであ
る。
【００１４】上記構成に加え本発明は、丸形状の貫通口
をレーザを用いて形成してもよい。
をレーザを用いて形成してもよい。
【００１５】上記構成に加え本発明は、丸形状の貫通口
を超音波を用いて形成してもよい。
を超音波を用いて形成してもよい。
【００１６】フィルタの光透過部をレーザ加工或いは超
音波加工することにより、加工部に生じる内部歪が抑え
られる。光透過部を丸形状の貫通口に形成することによ
り、剥離の起点が大幅に減少する。
音波加工することにより、加工部に生じる内部歪が抑え
られる。光透過部を丸形状の貫通口に形成することによ
り、剥離の起点が大幅に減少する。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて詳述する。
図面に基づいて詳述する。
【００１８】図１は本発明のフィルタ付光導波路に用い
られるフィルタと、光導波路素子のコアとの位置関係を
示す図である。尚、図４に示した従来例と同様の部材に
は共通の符号を用いた。
られるフィルタと、光導波路素子のコアとの位置関係を
示す図である。尚、図４に示した従来例と同様の部材に
は共通の符号を用いた。
【００１９】フィルタ１０は略長方形に形成された数十
層の多層膜からなっており、複数（図では４つであるが
限定されない）の丸形状の貫通口からなる光透過部（フ
ィルタを不要とする部分）１１、１２、１３、１４が形
成されている。これらの光透過部１１〜１４はフィルタ
１０の底辺１０ａ近傍に一列に配置されている。底辺１
０ａから光透過部１１〜１４の中心までの高さｈは、フ
ィルタ１０を光導波路素子のスリット２（図４）内に挿
入したときに導波路の入力ポートｐ1 〜ｐ4 、ｑ1 〜ｑ
3 の内、入力ポートｐ1 〜ｐ4 が露出するような距離に
設定されている。光透過部１１〜１４の直径Ｄは、光導
波路素子に形成された入力ポートｐ1 〜ｐ4 、ｑ1 〜ｑ
3 の間隔Ｐａ（例えば約２５０μｍ）に等しい。また、
光透過部１１〜１４の間隔Ｐｂ（約５００μｍ）は入力
ポートｐ1 〜ｐ4 、ｑ1 〜ｑ3 の間隔Ｐ2 の２倍に等し
くなっている。尚、光透過部１１〜１４以外の部分はフ
ィルタ部であるのはいうまでもない。
層の多層膜からなっており、複数（図では４つであるが
限定されない）の丸形状の貫通口からなる光透過部（フ
ィルタを不要とする部分）１１、１２、１３、１４が形
成されている。これらの光透過部１１〜１４はフィルタ
１０の底辺１０ａ近傍に一列に配置されている。底辺１
０ａから光透過部１１〜１４の中心までの高さｈは、フ
ィルタ１０を光導波路素子のスリット２（図４）内に挿
入したときに導波路の入力ポートｐ1 〜ｐ4 、ｑ1 〜ｑ
3 の内、入力ポートｐ1 〜ｐ4 が露出するような距離に
設定されている。光透過部１１〜１４の直径Ｄは、光導
波路素子に形成された入力ポートｐ1 〜ｐ4 、ｑ1 〜ｑ
3 の間隔Ｐａ（例えば約２５０μｍ）に等しい。また、
光透過部１１〜１４の間隔Ｐｂ（約５００μｍ）は入力
ポートｐ1 〜ｐ4 、ｑ1 〜ｑ3 の間隔Ｐ2 の２倍に等し
くなっている。尚、光透過部１１〜１４以外の部分はフ
ィルタ部であるのはいうまでもない。
【００２０】このようなフィルタ１０を図４に示したよ
うな光導波路素子のスリット２に挿入し、光学接着剤で
固定するとフィルタ付光導波路が形成される。
うな光導波路素子のスリット２に挿入し、光学接着剤で
固定するとフィルタ付光導波路が形成される。
【００２１】図１に示したフィルタの製造方法としては
図２に示すようにレーザ光を用いて加工する方法があ
る。
図２に示すようにレーザ光を用いて加工する方法があ
る。
【００２２】同図に示すように加工用のレーザ発振機
（例えば炭酸ガスレーザ発振機）２０からの出力レーザ
光Ｌをプリズム２１で折り曲げ、集光レンズ２２で集光
したレーザビームをフィルタ１０の光透過部１１〜１４
の位置に照射することにより貫通口が形成される。尚、
レーザ発振機２０には炭酸ガスレーザ発振機に限らずＹ
ＡＧレーザ発振機を用いてもよい。
（例えば炭酸ガスレーザ発振機）２０からの出力レーザ
光Ｌをプリズム２１で折り曲げ、集光レンズ２２で集光
したレーザビームをフィルタ１０の光透過部１１〜１４
の位置に照射することにより貫通口が形成される。尚、
レーザ発振機２０には炭酸ガスレーザ発振機に限らずＹ
ＡＧレーザ発振機を用いてもよい。
【００２３】また、図３に示すように超音波加工用のホ
ーン（円筒状）３１〜３４をフィルタ１０の光透過部１
１〜１４の位置に押し当てて超音波振動を加えることに
より貫通口を形成してもよい。
ーン（円筒状）３１〜３４をフィルタ１０の光透過部１
１〜１４の位置に押し当てて超音波振動を加えることに
より貫通口を形成してもよい。
【００２４】このようにして得られたフィルタ付光導波
路に対して、−４０℃（３０分）〜７０℃（３０分）の
ヒートショック試験を行ったところ、１００サイクル後
でも挿入損失が０．１ｄＢ、反射減衰量が０．５ｄＢ以
内の変化しかなかった。
路に対して、−４０℃（３０分）〜７０℃（３０分）の
ヒートショック試験を行ったところ、１００サイクル後
でも挿入損失が０．１ｄＢ、反射減衰量が０．５ｄＢ以
内の変化しかなかった。
【００２５】尚、従来のくしば構造のフィルタを光導波
路に挿入した場合には同一条件で、挿入損失が１．０ｄ
Ｂ、反射減衰量が６．０ｄＢ以上変化した。
路に挿入した場合には同一条件で、挿入損失が１．０ｄ
Ｂ、反射減衰量が６．０ｄＢ以上変化した。
【００２６】以上において本実施の形態では、フィルタ
の光透過部を丸形状の貫通口とすることにより、剥離の
起点を大幅に減少させることができる。また、フィルタ
の光透過部をレーザ加工或いは超音波加工によって形成
することにより、フィルタ内部に生じる歪の発生が抑え
られる。
の光透過部を丸形状の貫通口とすることにより、剥離の
起点を大幅に減少させることができる。また、フィルタ
の光透過部をレーザ加工或いは超音波加工によって形成
することにより、フィルタ内部に生じる歪の発生が抑え
られる。
【００２７】尚、本実施の形態では貫通口の数が４つの
場合で説明したがこれに限定されるものではない。
場合で説明したがこれに限定されるものではない。
【００２８】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果を発揮する。
な優れた効果を発揮する。
【００２９】フィルタの光透過部を丸形状の貫通口とす
ることにより、フィルタの剥離を抑えたフィルタ付光導
波路を実現することができる。
ることにより、フィルタの剥離を抑えたフィルタ付光導
波路を実現することができる。
【図１】本発明のフィルタ付光導波路に用いられるフィ
ルタと、光導波路素子のコアとの位置関係を示す図であ
る。
ルタと、光導波路素子のコアとの位置関係を示す図であ
る。
【図２】本発明のフィルタ付光導波路に用いられるフィ
ルタをレーザ加工する場合の概念図である。
ルタをレーザ加工する場合の概念図である。
【図３】本発明のフィルタ付光導波路に用いられるフィ
ルタを超音波加工する場合の概念図である。
ルタを超音波加工する場合の概念図である。
【図４】フィルタ取り付け前の光導波路素子の外観斜視
図である。
図である。
【図５】図４に示した光導波路素子に取り付けられるフ
ィルタの従来例である。
ィルタの従来例である。
【図６】図５に示した光導波路素子に取り付けられるフ
ィルタの他の従来例である。
ィルタの他の従来例である。
１０ フィルタ １１〜１４ 光透過部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 黒沢 芳宣 茨城県日立市日高町５丁目１番１号 日立 電線株式会社オプトロシステム研究所内
Claims (5)
- 【請求項１】 光導波路素子にフィルタを搭載したフィ
ルタ付光導波路において、上記フィルタは丸形状の貫通
口からなる光透過部を有することを特徴とするフィルタ
付光導波路。 - 【請求項２】 上記丸形状の貫通口の直径を光導波路素
子のコアの間隔に等しくした請求項１記載のフィルタ付
光導波路。 - 【請求項３】 光導波路素子にフィルタを搭載するフィ
ルタ付光導波路の製造方法において、光導波路素子上に
コアを横断するようにスリットを形成すると共に、フィ
ルタに丸形状の貫通口からなる光透過部を形成し、上記
スリットに該フィルタを挿入固定することを特徴とする
フィルタ付光導波路の製造方法。 - 【請求項４】 上記丸形状の貫通口をレーザを用いて形
成する請求項３記載のフィルタ付光導波路の製造方法。 - 【請求項５】 上記丸形状の貫通口を超音波を用いて形
成する請求項３記載のフィルタ付光導波路の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31552795A JPH09159853A (ja) | 1995-12-04 | 1995-12-04 | フィルタ付光導波路及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31552795A JPH09159853A (ja) | 1995-12-04 | 1995-12-04 | フィルタ付光導波路及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09159853A true JPH09159853A (ja) | 1997-06-20 |
Family
ID=18066423
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31552795A Pending JPH09159853A (ja) | 1995-12-04 | 1995-12-04 | フィルタ付光導波路及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09159853A (ja) |
-
1995
- 1995-12-04 JP JP31552795A patent/JPH09159853A/ja active Pending
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