JPH09164524A - ワイヤソーの運転状況判別装置 - Google Patents
ワイヤソーの運転状況判別装置Info
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- JPH09164524A JPH09164524A JP32877995A JP32877995A JPH09164524A JP H09164524 A JPH09164524 A JP H09164524A JP 32877995 A JP32877995 A JP 32877995A JP 32877995 A JP32877995 A JP 32877995A JP H09164524 A JPH09164524 A JP H09164524A
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- wire saw
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/007—Use, recovery or regeneration of abrasive mediums
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ワイヤソーの運転状況を容易に判別することが
できるワイヤソーの運転状況判別装置を提供する。 【解決手段】ワイヤソーの周囲全面を覆っている保護カ
バーの外面に設置された表示モニタ３０にワイヤソーの
各動作部の状態を模作したグラフィック画像が表示され
る。このグラフィック画像として、ワイヤリール５０
Ａ、５０Ｂと、ワイヤ案内装置のタッチローラ５２Ａ、
５２Ｂ及びガイドローラ５４Ａ、５４Ｂと、溝付ローラ
５６と、ダンサローラ５８Ａ、５８Ｂと、ガイドローラ
６０と、ワイヤ６２と、ワーク送りテーブル６４及びワ
ーク６６が表示される。上記ワイヤリール５０Ａ、５０
Ｂのワイヤの巻き取り径を示す横線の表示幅、、ワイヤ
案内装置のタッチローラ５２Ａ、５２Ｂ及びガイドロー
ラ５４Ａ、５４Ｂの表示位置、ダンサローラ５８Ａ、５
８Ｂの表示位置及びワーク送りテーブル６４及びワーク
６６の表示位置は、実際のワイヤソーの状態に応じて変
化する。これにより、ワイヤソーの運転状況を容易に判
別することができる。
できるワイヤソーの運転状況判別装置を提供する。 【解決手段】ワイヤソーの周囲全面を覆っている保護カ
バーの外面に設置された表示モニタ３０にワイヤソーの
各動作部の状態を模作したグラフィック画像が表示され
る。このグラフィック画像として、ワイヤリール５０
Ａ、５０Ｂと、ワイヤ案内装置のタッチローラ５２Ａ、
５２Ｂ及びガイドローラ５４Ａ、５４Ｂと、溝付ローラ
５６と、ダンサローラ５８Ａ、５８Ｂと、ガイドローラ
６０と、ワイヤ６２と、ワーク送りテーブル６４及びワ
ーク６６が表示される。上記ワイヤリール５０Ａ、５０
Ｂのワイヤの巻き取り径を示す横線の表示幅、、ワイヤ
案内装置のタッチローラ５２Ａ、５２Ｂ及びガイドロー
ラ５４Ａ、５４Ｂの表示位置、ダンサローラ５８Ａ、５
８Ｂの表示位置及びワーク送りテーブル６４及びワーク
６６の表示位置は、実際のワイヤソーの状態に応じて変
化する。これにより、ワイヤソーの運転状況を容易に判
別することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はワイヤソーの運転状
況判別装置に係り、特にワイヤソーの各動作部の状態を
グラフィック画像によってモニタ表示するワイヤソーの
運転状況判別装置に関する。
況判別装置に係り、特にワイヤソーの各動作部の状態を
グラフィック画像によってモニタ表示するワイヤソーの
運転状況判別装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体インゴット等の被加工物を
ウェーハに切断するワイヤソーは、作業者の安全確保等
のためにその全体が保護カバーで覆われている。このた
め、ワイヤソーの各動作部が望める監視窓が上記保護カ
バーに設けられ、自動運転を起動している際にはこの監
視窓から各動作部の状態を監視していた。
ウェーハに切断するワイヤソーは、作業者の安全確保等
のためにその全体が保護カバーで覆われている。このた
め、ワイヤソーの各動作部が望める監視窓が上記保護カ
バーに設けられ、自動運転を起動している際にはこの監
視窓から各動作部の状態を監視していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ワイヤ
ソーの運転動作時にはスラリー等が飛散する為、監視窓
が汚れて内部の異常状態を容易に確認することができな
いという問題があった。また、ワイヤソーの運転状況を
把握するために、作業者は各所に設けられた監視窓から
各動作部の運転状況を確認しなければならず、作業者に
対する負担が大きいという問題があるとともに、ワイヤ
ソー全体の運転状況を即座に把握することができないと
いう問題があった。
ソーの運転動作時にはスラリー等が飛散する為、監視窓
が汚れて内部の異常状態を容易に確認することができな
いという問題があった。また、ワイヤソーの運転状況を
把握するために、作業者は各所に設けられた監視窓から
各動作部の運転状況を確認しなければならず、作業者に
対する負担が大きいという問題があるとともに、ワイヤ
ソー全体の運転状況を即座に把握することができないと
いう問題があった。
【０００４】本発明は、このような事情を鑑みてなされ
たもので、ワイヤソーの運転状況を容易に判別すること
ができるワイヤソーの運転状況判別装置を提供すること
を目的とする。
たもので、ワイヤソーの運転状況を容易に判別すること
ができるワイヤソーの運転状況判別装置を提供すること
を目的とする。
【０００５】
【課題を解決する為の手段】本発明は前記目的を達成す
る為に、ワイヤに被加工物を押し当ることにより該被加
工物をウェーハに切断するワイヤソーにおいて、グラフ
ィック画像を表示する表示手段と、前記ワイヤソーを構
成する各動作部の状態を検出する検出部と、前記検出部
によって検出された前記各動作部の状態に基づいて、前
記各動作部を模式化したグラフィック画像によって前記
ワイヤソーの運転状況を前記表示手段に表示する制御部
と、から成ることを特徴としている。
る為に、ワイヤに被加工物を押し当ることにより該被加
工物をウェーハに切断するワイヤソーにおいて、グラフ
ィック画像を表示する表示手段と、前記ワイヤソーを構
成する各動作部の状態を検出する検出部と、前記検出部
によって検出された前記各動作部の状態に基づいて、前
記各動作部を模式化したグラフィック画像によって前記
ワイヤソーの運転状況を前記表示手段に表示する制御部
と、から成ることを特徴としている。
【０００６】本発明によれば、ワイヤソーの各動作部を
模式化したグラフィック画像によって、ワイヤソーの運
転状況を表示手段に表示する。例えば、ワイヤソーの各
動作部の動作を表示画面上におけるグラフィック画像の
動きによって模式的に表示する。これにより、ワイヤソ
ーを構成する各動作部の状態を容易に判断することがで
きるようになるとともに、ワイヤソーの運転状況を容易
に判別することができる。
模式化したグラフィック画像によって、ワイヤソーの運
転状況を表示手段に表示する。例えば、ワイヤソーの各
動作部の動作を表示画面上におけるグラフィック画像の
動きによって模式的に表示する。これにより、ワイヤソ
ーを構成する各動作部の状態を容易に判断することがで
きるようになるとともに、ワイヤソーの運転状況を容易
に判別することができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーの運転状況判別装置の好ましい実施の形態
について詳説する。図１は、本発明に係るワイヤソーの
運転状況判別装置が設置されるワイヤソーの一実施の形
態を示す全体構成図である。
るワイヤソーの運転状況判別装置の好ましい実施の形態
について詳説する。図１は、本発明に係るワイヤソーの
運転状況判別装置が設置されるワイヤソーの一実施の形
態を示す全体構成図である。
【０００８】同図には、ワイヤソー周辺部を覆う保護カ
バー１０と、その内部にワイヤリール１２、ワイヤ案内
装置１４、ダンサローラ１６、ガイドローラ１８、溝付
ローラ、ワーク、ワーク送りテーブル２２、スラリ供給
タンク２４、ワイヤ洗浄部２６及びワーク２８等が示さ
れている。ところで、保護カバー１０には、各所に各動
作部の状態を確認する監視窓（図示せず）が設けられて
いるが、運転時にはこれらの監視窓がスラリ液で汚れて
内部の状態が確認できないため、保護カバーの外面に表
示モニタ３０が設置され、この表示モニタ３０に表示さ
れるワイヤソーの各動作部の状態を示すグラフィック画
像によって内部の状態を確認することができるようにな
っている。
バー１０と、その内部にワイヤリール１２、ワイヤ案内
装置１４、ダンサローラ１６、ガイドローラ１８、溝付
ローラ、ワーク、ワーク送りテーブル２２、スラリ供給
タンク２４、ワイヤ洗浄部２６及びワーク２８等が示さ
れている。ところで、保護カバー１０には、各所に各動
作部の状態を確認する監視窓（図示せず）が設けられて
いるが、運転時にはこれらの監視窓がスラリ液で汚れて
内部の状態が確認できないため、保護カバーの外面に表
示モニタ３０が設置され、この表示モニタ３０に表示さ
れるワイヤソーの各動作部の状態を示すグラフィック画
像によって内部の状態を確認することができるようにな
っている。
【０００９】図２は上記表示モニタ３０にグラフィック
画像を表示するワイヤソーの運転状況判別装置の一実施
の形態を示す構成図である。同図に示すワイヤソーは、
ワイヤの送り出し又はワイヤの巻き取りを行うワイヤリ
ール５０Ａ、５０Ｂと、ワイヤリール５０Ａ、５０Ｂの
ワイヤ送り出し時にワイヤに追従し、ワイヤの巻き取り
時にワイヤをピッチに案内するワイヤ案内装置９８Ａ、
９８Ｂと、ワイヤ案内装置９８Ａ、９８Ｂに設置された
タッチローラ５２Ａ、５２Ｂ及びガイドローラ５４Ａ、
５４Ｂと、ワイヤ列を形成する溝付ローラ５６、５６、
５６と、ワイヤへのテンションの付加や前記溝付ローラ
と前記ワイヤリールの回転数誤差の吸収を行うダンサロ
ーラ５８Ａ、５８Ｂと、ワイヤの走行をガイドするガイ
ドローラ６０と、ワイヤ経路を走行するワイヤ６２と、
ワークを上下方向に移動させるワーク送りテーブル６４
及びワーク６６から構成されている。
画像を表示するワイヤソーの運転状況判別装置の一実施
の形態を示す構成図である。同図に示すワイヤソーは、
ワイヤの送り出し又はワイヤの巻き取りを行うワイヤリ
ール５０Ａ、５０Ｂと、ワイヤリール５０Ａ、５０Ｂの
ワイヤ送り出し時にワイヤに追従し、ワイヤの巻き取り
時にワイヤをピッチに案内するワイヤ案内装置９８Ａ、
９８Ｂと、ワイヤ案内装置９８Ａ、９８Ｂに設置された
タッチローラ５２Ａ、５２Ｂ及びガイドローラ５４Ａ、
５４Ｂと、ワイヤ列を形成する溝付ローラ５６、５６、
５６と、ワイヤへのテンションの付加や前記溝付ローラ
と前記ワイヤリールの回転数誤差の吸収を行うダンサロ
ーラ５８Ａ、５８Ｂと、ワイヤの走行をガイドするガイ
ドローラ６０と、ワイヤ経路を走行するワイヤ６２と、
ワークを上下方向に移動させるワーク送りテーブル６４
及びワーク６６から構成されている。
【００１０】同図に示すように制御部１００は、ワイヤ
リール５０Ａ、５０Ｂを回転させるモータ１０２Ａ、１
０２Ｂからモータの回転量を示す回転角度信号（例え
ば、所定回転角度毎に出力されるパルス信号）、ワイヤ
案内装置９８Ａ、９８Ｂに設置された変位検出器１０４
Ａ、１０４Ｂからワイヤ案内装置９８Ａ、９８Ｂの上下
方向の変位量を示す変位信号、ダンサローラ５８Ａ、５
８Ｂに設置された変位検出器１０６Ａ、１０６Ｂからダ
ンサローラ５８Ａ、５８Ｂの上下方向の変位量を示す変
位信号、ワーク送りテーブル６４を上下方向に移動させ
るモータ１０８からモータの回転量を示す回転角度信号
（例えば、上記回転角度信号と同様）及び各ガイドロー
ラ６０、６０、・・・（同図において各ガイドローラ６
０、６０、・・・から制御部１００への信号線は省略す
る。）からその回転量を示す回転角度信号（例えば、上
記回転角度信号と同様）を入力する。
リール５０Ａ、５０Ｂを回転させるモータ１０２Ａ、１
０２Ｂからモータの回転量を示す回転角度信号（例え
ば、所定回転角度毎に出力されるパルス信号）、ワイヤ
案内装置９８Ａ、９８Ｂに設置された変位検出器１０４
Ａ、１０４Ｂからワイヤ案内装置９８Ａ、９８Ｂの上下
方向の変位量を示す変位信号、ダンサローラ５８Ａ、５
８Ｂに設置された変位検出器１０６Ａ、１０６Ｂからダ
ンサローラ５８Ａ、５８Ｂの上下方向の変位量を示す変
位信号、ワーク送りテーブル６４を上下方向に移動させ
るモータ１０８からモータの回転量を示す回転角度信号
（例えば、上記回転角度信号と同様）及び各ガイドロー
ラ６０、６０、・・・（同図において各ガイドローラ６
０、６０、・・・から制御部１００への信号線は省略す
る。）からその回転量を示す回転角度信号（例えば、上
記回転角度信号と同様）を入力する。
【００１１】そして、制御部１００は、入力した上記各
種信号に基づいて以下に示す検出を行う。制御部１００
は上記モータ１０２Ａ、１０２Ｂから入力した回転角度
信号から、ワイヤリール５０Ａ、５０Ｂに巻回されてい
るワイヤの巻き取り径を検出する。即ち、運転開始時に
おけるワイヤの巻き取り径（運転開始時におけるワイヤ
の巻き取り径の検出手段については後述する。）にワイ
ヤリール５０Ａ、５０Ｂの回転数に応じた巻き取り径の
増加分又は減少分を加算すれば、ワイヤソー運転時にお
けるワイヤの巻き取り径を検出することができる。
種信号に基づいて以下に示す検出を行う。制御部１００
は上記モータ１０２Ａ、１０２Ｂから入力した回転角度
信号から、ワイヤリール５０Ａ、５０Ｂに巻回されてい
るワイヤの巻き取り径を検出する。即ち、運転開始時に
おけるワイヤの巻き取り径（運転開始時におけるワイヤ
の巻き取り径の検出手段については後述する。）にワイ
ヤリール５０Ａ、５０Ｂの回転数に応じた巻き取り径の
増加分又は減少分を加算すれば、ワイヤソー運転時にお
けるワイヤの巻き取り径を検出することができる。
【００１２】運転開始時におけるワイヤの巻き取り径
は、溝付ローラ５６の回転を停止させたまま、ワイヤリ
ール５０Ａ、５０Ｂをそれぞれワイヤの巻き取り方向に
９０°回転させ、このとき、変位検出器１０６Ａ、１０
６Ｂから検出されるダンサローラ５８Ａ、５８Ｂの変位
量から検出することができる。上記ワイヤ案内装置９８
Ａ、９８Ｂに設置された変位検出器１０４Ａ、１０４Ｂ
から出力される変位信号は、下降限界からのワイヤ案内
装置９８Ａ、９８Ｂの変位量を示しており、制御部１０
０はこの変位量からワイヤ案内装置９８Ａ、９８Ｂに設
置されたタッチローラ５２Ａ、５２Ｂ、ガイドローラ５
４Ａ、５４Ｂの現在位置を検出する。
は、溝付ローラ５６の回転を停止させたまま、ワイヤリ
ール５０Ａ、５０Ｂをそれぞれワイヤの巻き取り方向に
９０°回転させ、このとき、変位検出器１０６Ａ、１０
６Ｂから検出されるダンサローラ５８Ａ、５８Ｂの変位
量から検出することができる。上記ワイヤ案内装置９８
Ａ、９８Ｂに設置された変位検出器１０４Ａ、１０４Ｂ
から出力される変位信号は、下降限界からのワイヤ案内
装置９８Ａ、９８Ｂの変位量を示しており、制御部１０
０はこの変位量からワイヤ案内装置９８Ａ、９８Ｂに設
置されたタッチローラ５２Ａ、５２Ｂ、ガイドローラ５
４Ａ、５４Ｂの現在位置を検出する。
【００１３】上記ダンサローラ５８Ａ、５８Ｂに設置さ
れた変位検出器１０６Ａ、１０６Ｂから出力される変位
信号は、ダンサローラ５８Ａ、５８Ｂの下降限界からの
変位量を示し、制御部１００はこの変位信号からダンサ
ローラ５８Ａ、５８Ｂの現在位置を検出する。また、ダ
ンサローラ５８Ａ、５８Ｂはワイヤソーの運転時には下
降限界まで移動することはなく、ワイヤが断線したとき
に上記変位信号が下降限界のときの値（即ち０）を示す
ことから、上記変位信号からワイヤの断線を検出する。
れた変位検出器１０６Ａ、１０６Ｂから出力される変位
信号は、ダンサローラ５８Ａ、５８Ｂの下降限界からの
変位量を示し、制御部１００はこの変位信号からダンサ
ローラ５８Ａ、５８Ｂの現在位置を検出する。また、ダ
ンサローラ５８Ａ、５８Ｂはワイヤソーの運転時には下
降限界まで移動することはなく、ワイヤが断線したとき
に上記変位信号が下降限界のときの値（即ち０）を示す
ことから、上記変位信号からワイヤの断線を検出する。
【００１４】上記ワーク送りテーブル６４はモータ１０
８が所定角度回転する毎に所定量上下方向に移動するよ
うになっており、制御部１００はモータ１０８から入力
した回転角度信号によってモータ１０８の回転量を検出
し、この回転量に基づいてワーク送りテーブル６４の上
昇限界からの変位量を検出する。上記ガイドローラ６
０、６０、・・・から入力した回転角度信号は、各ガイ
ドローラ６０の回転量を示し、制御部１００はこの回転
量から磨耗量を検出する。即ち、ワイヤソー運転時にワ
イヤを所定の長さ分搬送したときのガイドローラ６０の
回転量を検出し、この回転量と、磨耗していない状態に
おいてワイヤを所定の長さ分搬送したときに検出される
ガイドローラ６０の回転量とを比較することにより各ガ
イドローラ６０の磨耗量を検出することができる。
８が所定角度回転する毎に所定量上下方向に移動するよ
うになっており、制御部１００はモータ１０８から入力
した回転角度信号によってモータ１０８の回転量を検出
し、この回転量に基づいてワーク送りテーブル６４の上
昇限界からの変位量を検出する。上記ガイドローラ６
０、６０、・・・から入力した回転角度信号は、各ガイ
ドローラ６０の回転量を示し、制御部１００はこの回転
量から磨耗量を検出する。即ち、ワイヤソー運転時にワ
イヤを所定の長さ分搬送したときのガイドローラ６０の
回転量を検出し、この回転量と、磨耗していない状態に
おいてワイヤを所定の長さ分搬送したときに検出される
ガイドローラ６０の回転量とを比較することにより各ガ
イドローラ６０の磨耗量を検出することができる。
【００１５】制御部１００はこれらの検出結果に基づい
て表示モニタ３０にワイヤソーの各動作部の状態に応じ
たグラフィック画像を表示する。図３は表示モニタ３０
に表示される画面構成を示した図である。同図に示すよ
うに、画面上部にワイヤ、ワーク、管理、スラリ温度及
び終了予定に関する情報が表示されるとともに、画面下
部にワイヤソー内部の各動作部の状態を示すグラフィッ
ク画像が表示される。
て表示モニタ３０にワイヤソーの各動作部の状態に応じ
たグラフィック画像を表示する。図３は表示モニタ３０
に表示される画面構成を示した図である。同図に示すよ
うに、画面上部にワイヤ、ワーク、管理、スラリ温度及
び終了予定に関する情報が表示されるとともに、画面下
部にワイヤソー内部の各動作部の状態を示すグラフィッ
ク画像が表示される。
【００１６】表示モニタ３０の画面上部に表示されるワ
イヤに関する情報（ワイヤ情報表示部３０Ａ）には、設
定されたワークを切断するのに必要なワイヤの長さ、送
り側及び巻き取り側のワイヤリールに現在巻回されてい
るワイヤの残量及びワイヤの張力等が表示され、ワーク
に関する情報（ワーク情報表示部３０Ｂ）には、水平面
内におけるワークの傾きを示す水平角度、垂直面内にお
けるワークの傾きを示す垂直角度、ワークの径、ワーク
の現在位置及び切り込み量等が表示される。
イヤに関する情報（ワイヤ情報表示部３０Ａ）には、設
定されたワークを切断するのに必要なワイヤの長さ、送
り側及び巻き取り側のワイヤリールに現在巻回されてい
るワイヤの残量及びワイヤの張力等が表示され、ワーク
に関する情報（ワーク情報表示部３０Ｂ）には、水平面
内におけるワークの傾きを示す水平角度、垂直面内にお
けるワークの傾きを示す垂直角度、ワークの径、ワーク
の現在位置及び切り込み量等が表示される。
【００１７】また、終了予定に関する情報（終了予定情
報表示部３０Ｃ）には、ワーク切断までに要する時間及
び終了時刻等が表示され、スラリ温度に関する情報（ス
ラリ温度情報表示部３０Ｄ）には、スラリの目標温度、
供給温度及び戻り温度等が表示される。管理に関する情
報（管理情報表示部３０Ｅ）には、マシンの番号、オペ
レータの番号等が表示される。
報表示部３０Ｃ）には、ワーク切断までに要する時間及
び終了時刻等が表示され、スラリ温度に関する情報（ス
ラリ温度情報表示部３０Ｄ）には、スラリの目標温度、
供給温度及び戻り温度等が表示される。管理に関する情
報（管理情報表示部３０Ｅ）には、マシンの番号、オペ
レータの番号等が表示される。
【００１８】表示モニタ３０の下部のグラフィック画像
表示部３０Ｆに表示されるグラフィック画像は、ワイヤ
ソーを構成する各動作部を模式化して表したものであ
る。尚、上記図２に示したワイヤソーの各動作部に対応
するグラフィック画像には同一の符号が記されている。
図３に示すようにこのグラフィック画像には、ワイヤリ
ール５０Ａ、５０Ｂ、ワイヤ案内装置のタッチローラ５
２Ａ、５２Ｂ及びガイドローラ５４Ａ、５４Ｂ、溝付ロ
ーラ５６、ダンサローラ５８Ａ、５８Ｂ、ガイドローラ
６０、ワイヤ６２、ワーク送りテーブル６４及びワーク
６６が表示される。
表示部３０Ｆに表示されるグラフィック画像は、ワイヤ
ソーを構成する各動作部を模式化して表したものであ
る。尚、上記図２に示したワイヤソーの各動作部に対応
するグラフィック画像には同一の符号が記されている。
図３に示すようにこのグラフィック画像には、ワイヤリ
ール５０Ａ、５０Ｂ、ワイヤ案内装置のタッチローラ５
２Ａ、５２Ｂ及びガイドローラ５４Ａ、５４Ｂ、溝付ロ
ーラ５６、ダンサローラ５８Ａ、５８Ｂ、ガイドローラ
６０、ワイヤ６２、ワーク送りテーブル６４及びワーク
６６が表示される。
【００１９】また、上記ワイヤソーは、ワイヤリール５
０Ａ、５０Ｂのワイヤの送り出し／巻き取りを切り換え
てワイヤを往復走行させるため、ワイヤリール５０Ａ、
５０Ｂの上部近傍に、その送り出し／巻き取りの状態が
表示される。また、溝付ローラ５６の下部近傍にワイヤ
の走行方向を示す矢印７０とその下にワイヤの送り速度
が表示される。
０Ａ、５０Ｂのワイヤの送り出し／巻き取りを切り換え
てワイヤを往復走行させるため、ワイヤリール５０Ａ、
５０Ｂの上部近傍に、その送り出し／巻き取りの状態が
表示される。また、溝付ローラ５６の下部近傍にワイヤ
の走行方向を示す矢印７０とその下にワイヤの送り速度
が表示される。
【００２０】さらに、ワーク送りテーブル６４の側部近
傍にワークの送り方向を示す矢印７２とその下にワーク
の送り速度が表示される。ところで、上記ワイヤソーの
運転状況判別装置は、上述したようにワイヤソーの各動
作部の状態を検出して、この検出した各動作部の状態に
応じてグラフィック画像の表示を変化させる。
傍にワークの送り方向を示す矢印７２とその下にワーク
の送り速度が表示される。ところで、上記ワイヤソーの
運転状況判別装置は、上述したようにワイヤソーの各動
作部の状態を検出して、この検出した各動作部の状態に
応じてグラフィック画像の表示を変化させる。
【００２１】上記グラフィック画像のワイヤリール５０
Ａ、５０Ｂには、そのワイヤリール５０Ａ、５０Ｂに巻
回されているワイヤが横線５１で表示されるが、この横
線５１の表示幅は実際のワイヤの巻き取り径の大きさに
応じて変化する。即ち、制御部１００は、上述したよう
にワイヤリール５０Ａ及び５０Ｂに現在巻回されている
ワイヤの巻き取り径を検出し、この検出した値（巻き取
り径現在値）から次式を計算し、この結果与えられるド
ット数の幅でワイヤリール５０Ａ、５０Ｂに巻回されて
いるワイヤの横線を表示モニタ３０に表示する。
Ａ、５０Ｂには、そのワイヤリール５０Ａ、５０Ｂに巻
回されているワイヤが横線５１で表示されるが、この横
線５１の表示幅は実際のワイヤの巻き取り径の大きさに
応じて変化する。即ち、制御部１００は、上述したよう
にワイヤリール５０Ａ及び５０Ｂに現在巻回されている
ワイヤの巻き取り径を検出し、この検出した値（巻き取
り径現在値）から次式を計算し、この結果与えられるド
ット数の幅でワイヤリール５０Ａ、５０Ｂに巻回されて
いるワイヤの横線を表示モニタ３０に表示する。
【００２２】（最大ドット数／最大巻き取り径）×（巻
き取り径現在値） 但し、最大ドット数は、ワイヤの巻き取り径が最大のと
きのドット数を示す。これにより、ワイヤリール５０
Ａ、５０Ｂに巻き取られているワイヤの残量（有無）を
表示モニタ３０で確認することができる。図３に示した
グラフィック画像のワイヤ案内装置（トラバーサ）のタ
ッチローラ５２Ａ、５２Ｂ及びガイドローラ５４Ａ、５
４Ｂは実際のワイヤ案内装置の上下方向の移動に応じて
その表示位置が上下方向に移動する。同時に、ワイヤ案
内装置の位置に応じてワイヤリール５０Ａ、５０Ｂのワ
イヤ送り出し位置（表示位置）又は巻き取り位置（表示
位置）も上下方向に移動する。
き取り径現在値） 但し、最大ドット数は、ワイヤの巻き取り径が最大のと
きのドット数を示す。これにより、ワイヤリール５０
Ａ、５０Ｂに巻き取られているワイヤの残量（有無）を
表示モニタ３０で確認することができる。図３に示した
グラフィック画像のワイヤ案内装置（トラバーサ）のタ
ッチローラ５２Ａ、５２Ｂ及びガイドローラ５４Ａ、５
４Ｂは実際のワイヤ案内装置の上下方向の移動に応じて
その表示位置が上下方向に移動する。同時に、ワイヤ案
内装置の位置に応じてワイヤリール５０Ａ、５０Ｂのワ
イヤ送り出し位置（表示位置）又は巻き取り位置（表示
位置）も上下方向に移動する。
【００２３】即ち、制御部１００は、上述したようにワ
イヤ案内装置の変位量を検出し、この検出値からワイヤ
案内装置のタッチローラ５２Ａ、５２Ｂ及びガイドロー
ラ５４Ａ、５４Ｂの位置、ワイヤリール５０Ａ、５０Ｂ
の送り出し位置又は巻き取り位置を検出する。例えば、
上記各位置を示す座標の原点を図４に示すようにワイヤ
リール５０Ａ、５０Ｂの送り出し位置又は巻き取り位置
の最下端８０にとると、ワイヤリール５０Ａ、５０Ｂの
送り出し位置又は巻き取り位置が最下端８０にあるとき
に図２の変位検出器１０４Ａ、１０４Ｂから検出された
検出値がＸを示した場合には、検出値からＸを引いた値
を前記ワイヤ案内装置の任意の所定点の位置座標とし、
この所定点に対する相対的位置関係から各位置の座標を
算出する。
イヤ案内装置の変位量を検出し、この検出値からワイヤ
案内装置のタッチローラ５２Ａ、５２Ｂ及びガイドロー
ラ５４Ａ、５４Ｂの位置、ワイヤリール５０Ａ、５０Ｂ
の送り出し位置又は巻き取り位置を検出する。例えば、
上記各位置を示す座標の原点を図４に示すようにワイヤ
リール５０Ａ、５０Ｂの送り出し位置又は巻き取り位置
の最下端８０にとると、ワイヤリール５０Ａ、５０Ｂの
送り出し位置又は巻き取り位置が最下端８０にあるとき
に図２の変位検出器１０４Ａ、１０４Ｂから検出された
検出値がＸを示した場合には、検出値からＸを引いた値
を前記ワイヤ案内装置の任意の所定点の位置座標とし、
この所定点に対する相対的位置関係から各位置の座標を
算出する。
【００２４】そして、これらの算出した各位置の座標
（現在位置）から次式を計算する。 （最大ドット数／ボビンの長さ）×現在位置 但し、最大ドット数は画面上においてワイヤ６２の送り
出し位置又は巻き取り位置の最下端８０から最上端８２
までの長さ（ボビンの長さ）のドット数を示す。
（現在位置）から次式を計算する。 （最大ドット数／ボビンの長さ）×現在位置 但し、最大ドット数は画面上においてワイヤ６２の送り
出し位置又は巻き取り位置の最下端８０から最上端８２
までの長さ（ボビンの長さ）のドット数を示す。
【００２５】上式の計算の結果得られたドット数だけ座
標原点から上方にグラフィック画像のワイヤ案内装置の
タッチローラ５２Ａ、５２Ｂ及びガイドローラ５４Ａ、
５４Ｂ、ワイヤリール５０Ａ又は５０Ｂから送り出され
るワイヤ６２及びワイヤリール５０Ａ又は５０Ｂに巻き
取られるワイヤ６２を表示する。図３に示したグラフィ
ック画像のダンサローラ５８Ａ、５８Ｂは実際のダンサ
ローラの上下方向の移動に応じてその表示位置が上下方
向に移動する。
標原点から上方にグラフィック画像のワイヤ案内装置の
タッチローラ５２Ａ、５２Ｂ及びガイドローラ５４Ａ、
５４Ｂ、ワイヤリール５０Ａ又は５０Ｂから送り出され
るワイヤ６２及びワイヤリール５０Ａ又は５０Ｂに巻き
取られるワイヤ６２を表示する。図３に示したグラフィ
ック画像のダンサローラ５８Ａ、５８Ｂは実際のダンサ
ローラの上下方向の移動に応じてその表示位置が上下方
向に移動する。
【００２６】即ち、制御部１００は上述したようにダン
サローラ１０６Ａ、１０６Ｂの下降限界（下降端）から
の変位量を検出し、この検出値（現在位置）に基づいて
次式を計算する。 （全ドット数／５００（ｍｍ））×現在位置 尚、全ドット数は画面上において図５に示すようにダン
サローラ５８Ａ、５８Ｂの下降端から上昇端までのドッ
ト数を示す。また、上式５００（ｍｍ）の数値は実際の
ダンサローラ５８Ａ、５８Ｂの下降端から上昇端までの
距離を示す。
サローラ１０６Ａ、１０６Ｂの下降限界（下降端）から
の変位量を検出し、この検出値（現在位置）に基づいて
次式を計算する。 （全ドット数／５００（ｍｍ））×現在位置 尚、全ドット数は画面上において図５に示すようにダン
サローラ５８Ａ、５８Ｂの下降端から上昇端までのドッ
ト数を示す。また、上式５００（ｍｍ）の数値は実際の
ダンサローラ５８Ａ、５８Ｂの下降端から上昇端までの
距離を示す。
【００２７】そして、この結果得られるドット数分だけ
下降端から上方にダンサローラ５８Ａ、５８Ｂを表示さ
せる（図５参照）。図３に示したグラフィック画像のワ
ーク送りテーブル６４及びワーク６６は、実際の位置の
上下方向の移動に応じてその表示位置が上下方向に移動
する。また、画面上に表示するワーク６６の直径（ワー
ク径）も、実際のワーク径に応じて変化する。
下降端から上方にダンサローラ５８Ａ、５８Ｂを表示さ
せる（図５参照）。図３に示したグラフィック画像のワ
ーク送りテーブル６４及びワーク６６は、実際の位置の
上下方向の移動に応じてその表示位置が上下方向に移動
する。また、画面上に表示するワーク６６の直径（ワー
ク径）も、実際のワーク径に応じて変化する。
【００２８】即ち、制御部１００は上述したようにワー
ク送りテーブル６４の上昇限界からの変位量を検出す
る。そして、この検出値と予め測定されて設定されたワ
ーク径の実測値からワーク送りテーブル６４及びワーク
６６の中心の位置座標を算出し、これらの算出した位置
座標から画面上における表示位置を決定する。図６に示
すようにワーク列９２の位置を原点位置とし、ワーク下
端９０をワイヤ列９２に接触させて、このときのワーク
送りテーブル６４の上昇限界からの変位量を原点値とし
て記憶する。そしてこの位置からワーク送りテーブルの
上方又は下方への変位量をワーク現在位置とする（ワー
ク現在位置＝｜ワーク送りテーブルの変位量−原点値
｜）。
ク送りテーブル６４の上昇限界からの変位量を検出す
る。そして、この検出値と予め測定されて設定されたワ
ーク径の実測値からワーク送りテーブル６４及びワーク
６６の中心の位置座標を算出し、これらの算出した位置
座標から画面上における表示位置を決定する。図６に示
すようにワーク列９２の位置を原点位置とし、ワーク下
端９０をワイヤ列９２に接触させて、このときのワーク
送りテーブル６４の上昇限界からの変位量を原点値とし
て記憶する。そしてこの位置からワーク送りテーブルの
上方又は下方への変位量をワーク現在位置とする（ワー
ク現在位置＝｜ワーク送りテーブルの変位量−原点値
｜）。
【００２９】このとき画面上においてワイヤ列９２から
ワーク下端９０までのドット数は次式によって求められ
る。ワーク切断前にワーク下端９０がワイヤ列９２上方
にある場合、 （全ドット数／原点値）×ワーク現在位置 ただし、全ドット数は原点位置から上昇限界までの距離
に相当する画面上のドット数を示す。
ワーク下端９０までのドット数は次式によって求められ
る。ワーク切断前にワーク下端９０がワイヤ列９２上方
にある場合、 （全ドット数／原点値）×ワーク現在位置 ただし、全ドット数は原点位置から上昇限界までの距離
に相当する画面上のドット数を示す。
【００３０】ワーク切断後にワーク下端９０がワイヤ列
９２下方にある場合、 （全ドット数／ワーク下降限界値）×ワーク現在位置 ただし、ワーク下降限界値はワーク送りテーブル６４が
下降限界の時に検出される変位量から原点値を引いた値
であり、全ドット数は原点位置（ワーク送りテーブル６
４の原点値検出位置）から下降限界までの変位量に相当
する画面上のドット数を示す。また、ワーク下降限界の
ときに検出されるワーク送りテーブル６４の変位量は原
点値＋ワーク径＋カーボンカット量に等しい。
９２下方にある場合、 （全ドット数／ワーク下降限界値）×ワーク現在位置 ただし、ワーク下降限界値はワーク送りテーブル６４が
下降限界の時に検出される変位量から原点値を引いた値
であり、全ドット数は原点位置（ワーク送りテーブル６
４の原点値検出位置）から下降限界までの変位量に相当
する画面上のドット数を示す。また、ワーク下降限界の
ときに検出されるワーク送りテーブル６４の変位量は原
点値＋ワーク径＋カーボンカット量に等しい。
【００３１】また、図３に示したグラフィック画像のワ
イヤ６２は、制御部１００がワイヤの断線を検出した場
合にはその表示が消滅し、図３に示したグラフィック画
像のガイドローラ６０、６０、・・・は、そのガイドロ
ーラの磨耗量が所定の臨界値以上になるとその表示色が
正常の場合の青色から赤色に切り換わるようにしてもよ
いし、これらに相当する他の表示態様でもよい。
イヤ６２は、制御部１００がワイヤの断線を検出した場
合にはその表示が消滅し、図３に示したグラフィック画
像のガイドローラ６０、６０、・・・は、そのガイドロ
ーラの磨耗量が所定の臨界値以上になるとその表示色が
正常の場合の青色から赤色に切り換わるようにしてもよ
いし、これらに相当する他の表示態様でもよい。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように本発明のワイヤソー
の運転状況判別装置によれば、ワイヤソーの運転状況を
ワイヤソーの各動作部を模式化したグラフィック画像に
よってを表示するようにしたため、ワイヤソーの各動作
部の状態を容易に確認することができるとともに、ワイ
ヤソー全体の運転状況を即座に且つ容易に判別すること
ができる。
の運転状況判別装置によれば、ワイヤソーの運転状況を
ワイヤソーの各動作部を模式化したグラフィック画像に
よってを表示するようにしたため、ワイヤソーの各動作
部の状態を容易に確認することができるとともに、ワイ
ヤソー全体の運転状況を即座に且つ容易に判別すること
ができる。
【図１】図１は、本発明に係るワイヤソーの運転状況判
別装置が適用されるワイヤソーの一実施の形態を示した
全体構成図である。
別装置が適用されるワイヤソーの一実施の形態を示した
全体構成図である。
【図２】図２は、本発明に係るワイヤソーの運転状況判
別装置が適用されるワイヤソーの一実施の形態を示した
構成図である。
別装置が適用されるワイヤソーの一実施の形態を示した
構成図である。
【図３】図３は、本発明に係るワイヤソーの運転状況判
別装置によって表示される画面の構成の一例を示した図
である。
別装置によって表示される画面の構成の一例を示した図
である。
【図４】図４は、ワイヤリールのグラフィック表示に関
して説明した図である。
して説明した図である。
【図５】図５は、ダンサローラのグラフィック表示に関
して説明した図である。
して説明した図である。
【図６】図６は、ワーク送りテーブル及びワークのグラ
フィック表示に関して説明した図である。
フィック表示に関して説明した図である。
３０…表示モニタ ３０Ａ…ワイヤ情報表示部 ３０Ｂ…ワーク情報表示部 ３０Ｃ…終了予定情報表示部 ３０Ｄ…スラリ温度情報表示部 ３０Ｅ…管理情報表示部 ３０Ｆ…グラフィック画像表示部 ５０Ａ、５０Ｂ…ワイヤリール ５２Ａ、５２Ｂ…タッチローラ ５４Ａ、５４Ｂ…ガイドローラ ５６…溝付ローラ ５８Ａ、５８Ｂ…ダンサローラ ６０…ガイドローラ ６２…ワイヤ ６４…ワーク送りテーブル ６６…ワーク
Claims (1)
- 【請求項１】 ワイヤに被加工物を押し当ることにより
該被加工物をウェーハに切断するワイヤソーにおいて、 グラフィック画像を表示する表示手段と、 前記ワイヤソーを構成する各動作部の状態を検出する検
出部と、 前記検出部によって検出された前記各動作部の状態に基
づいて、前記各動作部を模式化したグラフィック画像に
よって前記ワイヤソーの運転状況を前記表示手段に表示
する制御部と、 から成ることを特徴とするワイヤソーの運転状況判別装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32877995A JPH09164524A (ja) | 1995-12-18 | 1995-12-18 | ワイヤソーの運転状況判別装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32877995A JPH09164524A (ja) | 1995-12-18 | 1995-12-18 | ワイヤソーの運転状況判別装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09164524A true JPH09164524A (ja) | 1997-06-24 |
Family
ID=18214040
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32877995A Pending JPH09164524A (ja) | 1995-12-18 | 1995-12-18 | ワイヤソーの運転状況判別装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09164524A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100384276B1 (ko) * | 2000-12-07 | 2003-05-16 | 홍덕엔지니어링 주식회사 | 와이어 쏘우 장치의 구동 제어 방법 |
| CN102556766A (zh) * | 2011-12-23 | 2012-07-11 | 深圳众为兴技术股份有限公司 | 一种张力控制装置 |
| CN103347651A (zh) * | 2011-03-30 | 2013-10-09 | 小松Ntc株式会社 | 线状锯以及线状锯中的辊对位方法 |
| CN116730079A (zh) * | 2023-08-09 | 2023-09-12 | 宁德时代新能源科技股份有限公司 | 一种张力控制方法、张力控制装置、控制设备及存储介质 |
| CN117445213A (zh) * | 2023-12-08 | 2024-01-26 | 曲靖阳光新能源股份有限公司 | 一种单晶硅棒切片机 |
| CN117642253A (zh) * | 2021-08-03 | 2024-03-01 | 小松Ntc株式会社 | 线锯的异常诊断装置及方法 |
| WO2025105190A1 (ja) * | 2023-11-16 | 2025-05-22 | 株式会社小松製作所 | ワイヤソーの状態監視システム、ワイヤソー、及びワイヤソーの状態監視方法 |
-
1995
- 1995-12-18 JP JP32877995A patent/JPH09164524A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100384276B1 (ko) * | 2000-12-07 | 2003-05-16 | 홍덕엔지니어링 주식회사 | 와이어 쏘우 장치의 구동 제어 방법 |
| CN103347651A (zh) * | 2011-03-30 | 2013-10-09 | 小松Ntc株式会社 | 线状锯以及线状锯中的辊对位方法 |
| CN103347651B (zh) * | 2011-03-30 | 2016-03-23 | 小松Ntc株式会社 | 线状锯以及线状锯中的辊对位方法 |
| CN102556766A (zh) * | 2011-12-23 | 2012-07-11 | 深圳众为兴技术股份有限公司 | 一种张力控制装置 |
| CN117642253A (zh) * | 2021-08-03 | 2024-03-01 | 小松Ntc株式会社 | 线锯的异常诊断装置及方法 |
| CN116730079A (zh) * | 2023-08-09 | 2023-09-12 | 宁德时代新能源科技股份有限公司 | 一种张力控制方法、张力控制装置、控制设备及存储介质 |
| WO2025105190A1 (ja) * | 2023-11-16 | 2025-05-22 | 株式会社小松製作所 | ワイヤソーの状態監視システム、ワイヤソー、及びワイヤソーの状態監視方法 |
| CN117445213A (zh) * | 2023-12-08 | 2024-01-26 | 曲靖阳光新能源股份有限公司 | 一种单晶硅棒切片机 |
| CN117445213B (zh) * | 2023-12-08 | 2024-04-30 | 曲靖阳光新能源股份有限公司 | 一种单晶硅棒切片机 |
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