JPH0916953A - グライドハイト測定方法及び装置 - Google Patents
グライドハイト測定方法及び装置Info
- Publication number
- JPH0916953A JPH0916953A JP16255095A JP16255095A JPH0916953A JP H0916953 A JPH0916953 A JP H0916953A JP 16255095 A JP16255095 A JP 16255095A JP 16255095 A JP16255095 A JP 16255095A JP H0916953 A JPH0916953 A JP H0916953A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glide
- magnetic disk
- slider
- sensor
- height
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 4
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】グライドハイト測定の精度の向上。
【構成】スライダー支持アーム５の先端に取り付けられ
たグライドスライダー３が磁気ディスク２条に位置して
いる。グライドスライダー３が磁気ディスク２上の微小
突起と接触した時に発生する弾性波を検出するＡＥセン
サー４がスライダー支持アーム５上に設けられ、ＡＥセ
ンサー４の出力をチャージアンプ６で増幅しフィルター
１０に通して２００〜６００ｋＨｚの周波数成分に限定
してから接触検知部７に入力している。
たグライドスライダー３が磁気ディスク２条に位置して
いる。グライドスライダー３が磁気ディスク２上の微小
突起と接触した時に発生する弾性波を検出するＡＥセン
サー４がスライダー支持アーム５上に設けられ、ＡＥセ
ンサー４の出力をチャージアンプ６で増幅しフィルター
１０に通して２００〜６００ｋＨｚの周波数成分に限定
してから接触検知部７に入力している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁気記録媒体の表面に存
在する微小突起の高さ（グライドハイト）の検出を行な
うグライドハイト測定方法及び装置に関するものであ
る。
在する微小突起の高さ（グライドハイト）の検出を行な
うグライドハイト測定方法及び装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】磁気ディスクの高密度化に伴って磁気ヘ
ッドスライダーの低浮上化が必須となってきている。信
頼性の観点から磁気ディスクのグライドもまた低グライ
ド化となり精度よくグライドハイトを測定しなければな
らなくなってきた。
ッドスライダーの低浮上化が必須となってきている。信
頼性の観点から磁気ディスクのグライドもまた低グライ
ド化となり精度よくグライドハイトを測定しなければな
らなくなってきた。
【０００３】図５は、従来のグライドハイト測定装置の
構成図である。磁気ディスク２がスピンドル（図時略）
に回転可能に取り付けられ、スライダー支持アーム５の
先端に取り付けられたグライドスライダー３が磁気ディ
スク２上に位置している。磁気ディスク２の回転により
浮上するグライドスライダー３のフライハイト（浮上
量）と磁気ディスク２のグライドスライダー３直下の部
分の線速との関係は予め分っているので、磁気ディスク
２の回転速度からグライドスライダー３のフライハイト
が求まる。
構成図である。磁気ディスク２がスピンドル（図時略）
に回転可能に取り付けられ、スライダー支持アーム５の
先端に取り付けられたグライドスライダー３が磁気ディ
スク２上に位置している。磁気ディスク２の回転により
浮上するグライドスライダー３のフライハイト（浮上
量）と磁気ディスク２のグライドスライダー３直下の部
分の線速との関係は予め分っているので、磁気ディスク
２の回転速度からグライドスライダー３のフライハイト
が求まる。
【０００４】グライドスライダー３が磁気ディスク２上
の微小突起と接触した時に発生する弾性波を検出するＡ
Ｅセンサー４がスライダー支持アーム５上に設けられ、
ＡＥセンサー４の出力をチャージアンプ６で増幅してか
ら接触検知部７に入力している。
の微小突起と接触した時に発生する弾性波を検出するＡ
Ｅセンサー４がスライダー支持アーム５上に設けられ、
ＡＥセンサー４の出力をチャージアンプ６で増幅してか
ら接触検知部７に入力している。
【０００５】磁気ディスク２の回転速度を高くしフライ
ハイトが高くてグライドスライダー３が磁気ディスク２
上の微小突起と接触しない状態では、ＡＥセンサー４の
出力は小さい一定の値であるが、磁気ディスク２の回転
速度を次第に低くしてゆきフライハイトを低くしてグラ
イドスライダー３が微小突起と接触するとＡＥセンサー
４の出力が立ち上って大きくなり、さらにフラハイトを
低くしていくに従いＡＥセンサー４の出力も大きくなっ
ていく。
ハイトが高くてグライドスライダー３が磁気ディスク２
上の微小突起と接触しない状態では、ＡＥセンサー４の
出力は小さい一定の値であるが、磁気ディスク２の回転
速度を次第に低くしてゆきフライハイトを低くしてグラ
イドスライダー３が微小突起と接触するとＡＥセンサー
４の出力が立ち上って大きくなり、さらにフラハイトを
低くしていくに従いＡＥセンサー４の出力も大きくなっ
ていく。
【０００６】従って、接触検知部７ではチャージアンプ
６で増幅されたＡＥセンサー４の出力が一定の値以上で
あればグライドスライダー３が磁気ディスク２上の微小
突起と接触しているものとし、グライドハイトがグライ
ドスライダー３のフライハイト以上あるものと判定す
る。
６で増幅されたＡＥセンサー４の出力が一定の値以上で
あればグライドスライダー３が磁気ディスク２上の微小
突起と接触しているものとし、グライドハイトがグライ
ドスライダー３のフライハイト以上あるものと判定す
る。
【０００７】従来のグライドハイト測定装置では、ＡＥ
センサーの出力が一定の値以上となった出力増加点をグ
ライドスライダーと磁気ディスク上の微小突起との接触
点と仮定してグライドハイトを測定していた。
センサーの出力が一定の値以上となった出力増加点をグ
ライドスライダーと磁気ディスク上の微小突起との接触
点と仮定してグライドハイトを測定していた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような従
来のグライドハイト測定装置は、グライドスライダーの
周囲に生じる空気膜振動等のグライドスライダーと微小
突起との接触によるもの以外の影響をＡＥセンサーが受
けるため、グライドハイトと推定するＡＥセンサーの出
力増加点におけるフライハイトと実際のグライドハイト
との間にずれが生じていた。従来は、このずれ量は測定
対象となるグライドハイトが高いためグライドハイトに
対し１０％程度であり問題となる程のずれ量ではなかっ
たが、低グライドハイト化の要請に応じてグライドハイ
トを低くするとグライドハイトに対する誤差は２０％〜
３０％程度まで大きくなってしまい、正確なグライドハ
イトを求めることが困難になってくる。そこで、グライ
ドスライダーと磁気ディスクの微小突起との接触点を正
確に求め、グライドハイトの測定精度の向上を計ること
が必要となる。
来のグライドハイト測定装置は、グライドスライダーの
周囲に生じる空気膜振動等のグライドスライダーと微小
突起との接触によるもの以外の影響をＡＥセンサーが受
けるため、グライドハイトと推定するＡＥセンサーの出
力増加点におけるフライハイトと実際のグライドハイト
との間にずれが生じていた。従来は、このずれ量は測定
対象となるグライドハイトが高いためグライドハイトに
対し１０％程度であり問題となる程のずれ量ではなかっ
たが、低グライドハイト化の要請に応じてグライドハイ
トを低くするとグライドハイトに対する誤差は２０％〜
３０％程度まで大きくなってしまい、正確なグライドハ
イトを求めることが困難になってくる。そこで、グライ
ドスライダーと磁気ディスクの微小突起との接触点を正
確に求め、グライドハイトの測定精度の向上を計ること
が必要となる。
【０００９】本発明の目的は、グライドハイトを次第に
低くしていった時のグライドスライダーと磁気ディスク
の微小突起との接触点を正確に求め、グライドハイト測
定の精度を向上させることにある。
低くしていった時のグライドスライダーと磁気ディスク
の微小突起との接触点を正確に求め、グライドハイト測
定の精度を向上させることにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明のグライドハイト
測定装置は、磁気ディスクが回転可能に取り付けられる
スピンドルと、スライダー支持アームに取り付けられて
前記磁気ディスク上に位置し、前記磁気ディスクの回転
により浮上するグライドスライダーと、前記グライドス
ライダーが前記磁気ディスク上の微小突起に接触した時
に発生する弾性波を検出するＡＥセンサーと、このＡＥ
センサーのフィルターを通した出力が一定の値以上であ
るか否かを検出する接触検知部とを備えている。
測定装置は、磁気ディスクが回転可能に取り付けられる
スピンドルと、スライダー支持アームに取り付けられて
前記磁気ディスク上に位置し、前記磁気ディスクの回転
により浮上するグライドスライダーと、前記グライドス
ライダーが前記磁気ディスク上の微小突起に接触した時
に発生する弾性波を検出するＡＥセンサーと、このＡＥ
センサーのフィルターを通した出力が一定の値以上であ
るか否かを検出する接触検知部とを備えている。
【００１１】本発明のグライドハイト測定方法は、磁気
ディスク上に配置され前記磁気ディスクの回転によって
浮上するグライドスライダーが前記磁気ディスク上の微
小突起と接触して発生する弾性波をＡＥセンサーで検出
し、前記ＡＥセンサーのフィルターを通した出力が一定
の値以上であれば前記磁気ディスクの回転速度から決ま
る前記グライドスライダーのフライハイト以上の高さの
微小突起が前記磁気ディスク上にあると判定し、前記Ａ
Ｅセンサーの前記フィルターを通した出力が前記一定の
値未満であれば前記フライハイト以上の高さの微小突起
は前記磁気ディスク上にないと判定することを特徴とす
る。
ディスク上に配置され前記磁気ディスクの回転によって
浮上するグライドスライダーが前記磁気ディスク上の微
小突起と接触して発生する弾性波をＡＥセンサーで検出
し、前記ＡＥセンサーのフィルターを通した出力が一定
の値以上であれば前記磁気ディスクの回転速度から決ま
る前記グライドスライダーのフライハイト以上の高さの
微小突起が前記磁気ディスク上にあると判定し、前記Ａ
Ｅセンサーの前記フィルターを通した出力が前記一定の
値未満であれば前記フライハイト以上の高さの微小突起
は前記磁気ディスク上にないと判定することを特徴とす
る。
【００１２】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【００１３】図１は本発明の一実施例のグライドハイト
測定装置の構成図である。
測定装置の構成図である。
【００１４】本実施例は図５に示したグライドハイト測
定装置と、チャージアンプ６及び接触検知部７の間に２
００ｋＨｚ〜６００ｋＨｚの周波数帯域を通すフィルタ
ー１０を介存させた点を除き同一である。また図１は、
以下に述べる本実施例のテストのために磁気ディスク２
の代わりに半径方向に設けられた線状のバンプ８を設け
たバンプディスク９を装着した状態で示してあるが、実
装の運用時には本実施例のグライドハイト測定装置に通
常の磁気ディスクを装着してそのグライドハイトを測定
する。
定装置と、チャージアンプ６及び接触検知部７の間に２
００ｋＨｚ〜６００ｋＨｚの周波数帯域を通すフィルタ
ー１０を介存させた点を除き同一である。また図１は、
以下に述べる本実施例のテストのために磁気ディスク２
の代わりに半径方向に設けられた線状のバンプ８を設け
たバンプディスク９を装着した状態で示してあるが、実
装の運用時には本実施例のグライドハイト測定装置に通
常の磁気ディスクを装着してそのグライドハイトを測定
する。
【００１５】次に本実施例が、図５に示した従来のグラ
イドハイト測定装置より正確にグライドハイトを測定で
きるかを図１のようにバンプディスク９を用いてテスト
した場合で説明する。
イドハイト測定装置より正確にグライドハイトを測定で
きるかを図１のようにバンプディスク９を用いてテスト
した場合で説明する。
【００１６】なお、バンプディスク９のバンプ８の高さ
は低グライドハイトに対応して２５ｎｍとしてある。ま
た、図５に示すようにフィルター１０を通さない場合
に、ＡＥセンサー４の検出能力やチャージアンプ６の周
波数帯域などにより接触検知部７はＡＥセンサー４の出
力として５０ｋＨｚ〜７５０ｋＨｚの周波数帯の信号を
入力するのに対し、本実施例ではフィルター１０を通す
ことによりＡＥセンサー４の出力の２００ｋＨｚ〜６０
０ｋＨｚの周波数帯のみの信号を入力するようにしてあ
る。
は低グライドハイトに対応して２５ｎｍとしてある。ま
た、図５に示すようにフィルター１０を通さない場合
に、ＡＥセンサー４の検出能力やチャージアンプ６の周
波数帯域などにより接触検知部７はＡＥセンサー４の出
力として５０ｋＨｚ〜７５０ｋＨｚの周波数帯の信号を
入力するのに対し、本実施例ではフィルター１０を通す
ことによりＡＥセンサー４の出力の２００ｋＨｚ〜６０
０ｋＨｚの周波数帯のみの信号を入力するようにしてあ
る。
【００１７】図２はグライドスライダー３とバンプディ
スク９とのバンプアバランシェカーブを示し、縦軸（Ａ
Ｅ）は接触検知部７の入力電圧（以下これをセンサー出
力と称す）、横軸（Ｖ）はグライドスライダー３とバン
プディスク９間の線速、横軸（ＦＨ）はグライドスライ
ダー３のフライハイトである。
スク９とのバンプアバランシェカーブを示し、縦軸（Ａ
Ｅ）は接触検知部７の入力電圧（以下これをセンサー出
力と称す）、横軸（Ｖ）はグライドスライダー３とバン
プディスク９間の線速、横軸（ＦＨ）はグライドスライ
ダー３のフライハイトである。
【００１８】図２で点線曲線は従来のグライドハイト測
定装置によるフィルターを通さないセンサー出力（５０
ｋＨｚ〜７５０ｋＨｚ）のバンプアバランシェカーブを
示し、実線曲線は本実施例によるフィルター１０を通し
たセンサー出力（２００ｋＨｚ〜６００ｋＨｚ）のバン
プアバランシェカーブを示す。
定装置によるフィルターを通さないセンサー出力（５０
ｋＨｚ〜７５０ｋＨｚ）のバンプアバランシェカーブを
示し、実線曲線は本実施例によるフィルター１０を通し
たセンサー出力（２００ｋＨｚ〜６００ｋＨｚ）のバン
プアバランシェカーブを示す。
【００１９】図３（ａ）〜（ｃ）はそれぞれフィルター
を通さないセンサー出力のグライドスライダー３とバン
プディスク９間の線速８ｍ／ｓ、６ｍ／ｓ及び５ｍ／ｓ
時における周波数分布を示す。
を通さないセンサー出力のグライドスライダー３とバン
プディスク９間の線速８ｍ／ｓ、６ｍ／ｓ及び５ｍ／ｓ
時における周波数分布を示す。
【００２０】図４（ａ）〜（ｃ）はそれぞれフィルター
１０を通したセンサー出力のグライドスライダー３とバ
ンプディスク９間の線速８ｍ／ｓ、６ｍ／ｓ及び５ｍ／
ｓ時における周波数分布を示す。
１０を通したセンサー出力のグライドスライダー３とバ
ンプディスク９間の線速８ｍ／ｓ、６ｍ／ｓ及び５ｍ／
ｓ時における周波数分布を示す。
【００２１】図３及び４でのセンサー出力の状態は次の
とおりである。
とおりである。
【００２２】（１）図３（ａ）における線速８ｍ／ｓ時
のフィルターを通さないセンサー出力は図２の点線曲線
に示すように線速を次第に低下させていった時のほぼ増
加開始点にあたりフライハイトは２９ｎｍ程度の位置に
相当する。また、図４（ａ）における線速８ｍ／ｓ時の
フィルター１０を通したセンサー出力は図２の実線曲線
に示すように増加開始点前のノイズレベルの一定領域で
ある。
のフィルターを通さないセンサー出力は図２の点線曲線
に示すように線速を次第に低下させていった時のほぼ増
加開始点にあたりフライハイトは２９ｎｍ程度の位置に
相当する。また、図４（ａ）における線速８ｍ／ｓ時の
フィルター１０を通したセンサー出力は図２の実線曲線
に示すように増加開始点前のノイズレベルの一定領域で
ある。
【００２３】（２）図３（ｂ）における線速６ｍ／ｓ時
のフィルターを通さないセンサー出力は図２の点線曲線
のように既に増加している領域でありフライハイトは２
５ｎｍ程度の位置に相当する。また図４（ｂ）における
線速６ｍ／ｓ時のフィルター１０を通したセンサー出力
は図２の実線曲線に示すようにほぼ増加開始点にあた
る。図３（ｂ）における線速８ｍ／ｓでは図２の点線曲
線で示されるようにセンサー出力が十分に増加している
からバンプ８とグライドスライダー３との接触が示唆さ
れるが、実際にはハンプ８とスラインダー３は接触して
いない。すなわち実際にバンプ８とグライドスライダー
３とが接触しているか否か判定するためバンプ８上にス
ライダー３との接触により生じる摺動痕が存在するのか
微分干渉顕微鏡にて観察したところ、バンプ８上に摺動
痕は確認できなかった。
のフィルターを通さないセンサー出力は図２の点線曲線
のように既に増加している領域でありフライハイトは２
５ｎｍ程度の位置に相当する。また図４（ｂ）における
線速６ｍ／ｓ時のフィルター１０を通したセンサー出力
は図２の実線曲線に示すようにほぼ増加開始点にあた
る。図３（ｂ）における線速８ｍ／ｓでは図２の点線曲
線で示されるようにセンサー出力が十分に増加している
からバンプ８とグライドスライダー３との接触が示唆さ
れるが、実際にはハンプ８とスラインダー３は接触して
いない。すなわち実際にバンプ８とグライドスライダー
３とが接触しているか否か判定するためバンプ８上にス
ライダー３との接触により生じる摺動痕が存在するのか
微分干渉顕微鏡にて観察したところ、バンプ８上に摺動
痕は確認できなかった。
【００２４】（３）図３（ｃ）における線速５ｍ／ｓ時
のフィルターを通さないセンサー出力は図２の点線曲線
に示すように、さらに増加している領域でありフライハ
イトは２３ｎｍ程度の位置に相当する。また図４（ｃ）
における線速５ｍ／ｓ時のフィルター１０を通したセン
サー出力は図２の実線曲線に示すように増加している領
域である。この線速においては、バンプ８上にスライダ
ー３との摺動痕が確認できた。さらに図３（ｃ）及び図
４（ｃ）で特徴的な点はスライダーの固有振動数である
８００ｋＨｚ近傍の周波数ピークと接触により増加する
２００ｋＨｚ〜６００ｋＨｚの周波数帯の増加がセンサ
ー出力に確認されたことである。
のフィルターを通さないセンサー出力は図２の点線曲線
に示すように、さらに増加している領域でありフライハ
イトは２３ｎｍ程度の位置に相当する。また図４（ｃ）
における線速５ｍ／ｓ時のフィルター１０を通したセン
サー出力は図２の実線曲線に示すように増加している領
域である。この線速においては、バンプ８上にスライダ
ー３との摺動痕が確認できた。さらに図３（ｃ）及び図
４（ｃ）で特徴的な点はスライダーの固有振動数である
８００ｋＨｚ近傍の周波数ピークと接触により増加する
２００ｋＨｚ〜６００ｋＨｚの周波数帯の増加がセンサ
ー出力に確認されたことである。
【００２５】上記のように線速５ｍ／ｓでは明らかにバ
ンプ８とスライダー３が接触しており、線速６ｍ／ｓで
はバンプ８とスライダー３が接触していないことが明ら
かとなった。よって従来のグライトハイト測定装置のよ
うにフィルターを通さない５０ｋＨｚ〜７５０ｋＨｚの
周波数帯のセンサー出力のバンプアバランシェカーブに
おける線速６ｍ／ｓ近傍ではセンサー出力は増加してい
るがスライダー３はバンプ８と接触していないことがわ
かった。この線速６ｍ／ｓでのセンサー出力の増加は図
３（ｂ）及び図４（ｂ）より周波数分布における２００
ｋＨＺ以下の周波数帯の成分の増加に起因しているもの
と考えられ、この２００ｋＨｚ以下の周波数帯の成分の
増加の原因はバンプ８とスライダー３との極接近により
生じる何らかの干渉現象（空気膜振動等）によって引き
起こされたものと推定される。このようにフィルターを
通さないセンサー出力の増加開始点とバンプ８とスライ
ダー３との接触点とのずれが生じた原因はこの２００ｋ
Ｈｚ以下の周波数帯の成分の増加に起因していることが
わかった。
ンプ８とスライダー３が接触しており、線速６ｍ／ｓで
はバンプ８とスライダー３が接触していないことが明ら
かとなった。よって従来のグライトハイト測定装置のよ
うにフィルターを通さない５０ｋＨｚ〜７５０ｋＨｚの
周波数帯のセンサー出力のバンプアバランシェカーブに
おける線速６ｍ／ｓ近傍ではセンサー出力は増加してい
るがスライダー３はバンプ８と接触していないことがわ
かった。この線速６ｍ／ｓでのセンサー出力の増加は図
３（ｂ）及び図４（ｂ）より周波数分布における２００
ｋＨＺ以下の周波数帯の成分の増加に起因しているもの
と考えられ、この２００ｋＨｚ以下の周波数帯の成分の
増加の原因はバンプ８とスライダー３との極接近により
生じる何らかの干渉現象（空気膜振動等）によって引き
起こされたものと推定される。このようにフィルターを
通さないセンサー出力の増加開始点とバンプ８とスライ
ダー３との接触点とのずれが生じた原因はこの２００ｋ
Ｈｚ以下の周波数帯の成分の増加に起因していることが
わかった。
【００２６】上記結果より従来のグライドハイト測定装
置のようなフィルターを通さない５０ｋＨｚ〜７５０ｋ
Ｈｚの周波数体のセンサー出力でのバンプアバランシェ
カーブと本発明にて採用した２００ｋＨｚ〜６００ｋＨ
ｚのフィルターを通したセンサー出力でのバンプアバラ
ンシェカーブとではセンサー出力の増加開始点における
フライトハイトの差で４ｎｍ程度の違いがあり本発明に
て採用した２００ｋＨｚ〜６００ｋＨｚのフィルターを
通したセンサー出力を使用することによりグライドハイ
ト測定に従来より４ｎｍ程度の精度向上が得られ、低浮
上量スライダーに対応する高精度なグライドハイトテス
トが可能となる。
置のようなフィルターを通さない５０ｋＨｚ〜７５０ｋ
Ｈｚの周波数体のセンサー出力でのバンプアバランシェ
カーブと本発明にて採用した２００ｋＨｚ〜６００ｋＨ
ｚのフィルターを通したセンサー出力でのバンプアバラ
ンシェカーブとではセンサー出力の増加開始点における
フライトハイトの差で４ｎｍ程度の違いがあり本発明に
て採用した２００ｋＨｚ〜６００ｋＨｚのフィルターを
通したセンサー出力を使用することによりグライドハイ
ト測定に従来より４ｎｍ程度の精度向上が得られ、低浮
上量スライダーに対応する高精度なグライドハイトテス
トが可能となる。
【００２７】さらに、形状の違うグライドスライダーを
用いて図５に示すフィルターを通さない従来のグライド
ハイト測定装置によるグライドハイトの測定精度と図１
に示す本発明の実施例によるフィルターを通したグライ
ドハイトの測定精度を比較した結果を表１、２に示す。
表１は２レール型グライドスライダーのレール幅を３種
類設け、バンプの高さが２５ｎｍのバンプディスクを用
いディスク回転数を次第に低下させてＡＥセンサーの出
力を測定した時の出力増加点におけるグライドスライダ
ーのフライハイトがバンプの高さとどの程度ずれている
のか百分率にて表したものである。表１より２レール型
グライドスライダーの場合、従来のようにフィルターを
通さない場合はバンプの高さの２５ｎｍに対し１５％か
ら２５％程度のずれが生じており、本発明では５％程度
のずれに留まっていることがわかる。
用いて図５に示すフィルターを通さない従来のグライド
ハイト測定装置によるグライドハイトの測定精度と図１
に示す本発明の実施例によるフィルターを通したグライ
ドハイトの測定精度を比較した結果を表１、２に示す。
表１は２レール型グライドスライダーのレール幅を３種
類設け、バンプの高さが２５ｎｍのバンプディスクを用
いディスク回転数を次第に低下させてＡＥセンサーの出
力を測定した時の出力増加点におけるグライドスライダ
ーのフライハイトがバンプの高さとどの程度ずれている
のか百分率にて表したものである。表１より２レール型
グライドスライダーの場合、従来のようにフィルターを
通さない場合はバンプの高さの２５ｎｍに対し１５％か
ら２５％程度のずれが生じており、本発明では５％程度
のずれに留まっていることがわかる。
【００２８】
【表１】
【００２９】表２は３レール型グライドスライダーのセ
ンターレール幅を３種類設け、バンプの高さが２５ｎｍ
のバンプディスクを用いディスク回転数を次第に低下さ
せてＡＥセンサーの出力を測定した時の出力増加点にお
けるグライドスライダーのフライハイトがバンプの高さ
とどの程度ずれているのか百分率にて表したものであ
る。
ンターレール幅を３種類設け、バンプの高さが２５ｎｍ
のバンプディスクを用いディスク回転数を次第に低下さ
せてＡＥセンサーの出力を測定した時の出力増加点にお
けるグライドスライダーのフライハイトがバンプの高さ
とどの程度ずれているのか百分率にて表したものであ
る。
【００３０】表２より３レール型グライドスライダーの
場合、従来のようにフィルターを通さない場合はバンプ
の高さの２５ｎｍに対し２０％から３０％程度のずれが
生じており、本発明により方法では１０％以内のずれに
留まっていることがわかる。
場合、従来のようにフィルターを通さない場合はバンプ
の高さの２５ｎｍに対し２０％から３０％程度のずれが
生じており、本発明により方法では１０％以内のずれに
留まっていることがわかる。
【００３１】
【００３２】
【表２】
【００３３】このように本発明は、ＡＥセンサーの出力
をフィルターに通してグライドスライダーとバンプディ
スクの接触時に生じる特徴的な周波数ピーク及び周波数
帯（例えば２００ｋＨｚ〜６００ｋＨｚ）のみに限定し
て抽出することによって高精度なグライドハイトの測定
を可能とする。
をフィルターに通してグライドスライダーとバンプディ
スクの接触時に生じる特徴的な周波数ピーク及び周波数
帯（例えば２００ｋＨｚ〜６００ｋＨｚ）のみに限定し
て抽出することによって高精度なグライドハイトの測定
を可能とする。
【００３４】
【発明の効果】磁気ディスク上を浮上するグライドスラ
イダーと磁気ディスク上の微小突起との接触で発生する
弾性波をＡＥセンサーで検出し、ＡＥセンサーのフィル
ターを通した特定の周波数体の成分が一定の値より大き
いか否かを検出することにより、磁気ディスク上の微小
突起の高さを正確に測定できる効果がある。
イダーと磁気ディスク上の微小突起との接触で発生する
弾性波をＡＥセンサーで検出し、ＡＥセンサーのフィル
ターを通した特定の周波数体の成分が一定の値より大き
いか否かを検出することにより、磁気ディスク上の微小
突起の高さを正確に測定できる効果がある。
【図１】本発明の一実施例のグライドハイト測定装置の
構成図である。
構成図である。
【図２】図１に示すグライドスライダー３とバンプディ
スク９とのバンプアバランシェカーブを示す図である。
スク９とのバンプアバランシェカーブを示す図である。
【図３】従来のグライドハイト測定装置でのセンサー出
力の周波数分布を示す図で、（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ
グライドスライダーとバンプディスク間の線速が８ｍ／
ｓ時、６ｍ／ｓ時及び５ｍ／ｓ時の図である。
力の周波数分布を示す図で、（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ
グライドスライダーとバンプディスク間の線速が８ｍ／
ｓ時、６ｍ／ｓ時及び５ｍ／ｓ時の図である。
【図４】図１に示す実施例でのセンサー出力の周波数分
布を示す図で、（ａ）〜（ｃ）はそれぞれグライドスラ
イダーとバンプディスク間の線速が８ｍ／ｓ時、６ｍ／
ｓ時及び５ｍ／ｓ時の図である。
布を示す図で、（ａ）〜（ｃ）はそれぞれグライドスラ
イダーとバンプディスク間の線速が８ｍ／ｓ時、６ｍ／
ｓ時及び５ｍ／ｓ時の図である。
【図５】従来のグライドハイト測定装置の構成図であ
る。
る。
２ 磁気ディスク ３ グライドスライダー ４ ＡＥセンサー ５ スライダー支持アーム ６ チャージアンプ ７ 接触検知部 ８ バンプ ９ バンプディスク １０ フィルター
Claims (4)
- 【請求項１】 磁気ディスクが回転可能に取り付けられ
るスピンドルと、スライダー支持アームに取り付けられ
て前記磁気ディスク上に位置し、前記磁気ディスクの回
転により浮上するグライドスライダーと、前記グライド
スライダーが前記磁気ディスク上の微小突起に接触した
時に発生する弾性波を検出するＡＥセンサーと、このＡ
Ｅセンサーのフィルターを通した出力が一定の値以上で
あるか否かを検出する接触検知部とを含むことを特徴と
するグライドハイト測定装置。 - 【請求項２】 フィルターはＡＥセンサーの出力の２０
０〜６００Ｈｚの周波数帯の成分を通す請求項１記載の
グライドハイト測定装置。 - 【請求項３】 磁気ディスク上に配置され前記磁気ディ
スクの回転によって浮上するグライドスライダーが前記
磁気ディスク上の微小突起と接触して発生する弾性波を
ＡＥセンサーで検出し、前記ＡＥセンサーのフィルター
を通した出力が一定の値以上であれば前記磁気ディスク
の回転速度から決まる前記グライドスライダーのフライ
ハイト以上の高さの微小突起が前記磁気ディスク上にあ
ると判定し、前記ＡＥセンサーの前記フィルターを通し
た出力が前記一定の値未満であれば前記フライハイト以
上の高さの微小突起は前記磁気ディスク上にないと判定
することを特徴とするグライドハイト測定方法。 - 【請求項４】 フィルターはＡＥセンサーの出力の２０
０〜６００Ｈｚの周波数体の成分を通す請求項３記載の
グライドハイト測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16255095A JPH0916953A (ja) | 1995-06-28 | 1995-06-28 | グライドハイト測定方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16255095A JPH0916953A (ja) | 1995-06-28 | 1995-06-28 | グライドハイト測定方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0916953A true JPH0916953A (ja) | 1997-01-17 |
Family
ID=15756727
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16255095A Pending JPH0916953A (ja) | 1995-06-28 | 1995-06-28 | グライドハイト測定方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0916953A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7903365B2 (en) | 2008-07-22 | 2011-03-08 | Toshiba Storage Device Corporation | Magnetic storage device and contact detection method |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02163605A (ja) * | 1988-12-19 | 1990-06-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | ディスク媒体突起検査信号処理回路 |
| JPH0458103A (ja) * | 1990-06-27 | 1992-02-25 | Victor Co Of Japan Ltd | 磁気ディスクの表面粗さ測定法 |
| JPH0573903A (ja) * | 1991-09-09 | 1993-03-26 | Hitachi Ltd | 磁気デイスクの評価方法 |
| JPH05141949A (ja) * | 1991-11-22 | 1993-06-08 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | 磁気デイスクの突起検出回路 |
-
1995
- 1995-06-28 JP JP16255095A patent/JPH0916953A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02163605A (ja) * | 1988-12-19 | 1990-06-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | ディスク媒体突起検査信号処理回路 |
| JPH0458103A (ja) * | 1990-06-27 | 1992-02-25 | Victor Co Of Japan Ltd | 磁気ディスクの表面粗さ測定法 |
| JPH0573903A (ja) * | 1991-09-09 | 1993-03-26 | Hitachi Ltd | 磁気デイスクの評価方法 |
| JPH05141949A (ja) * | 1991-11-22 | 1993-06-08 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | 磁気デイスクの突起検出回路 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7903365B2 (en) | 2008-07-22 | 2011-03-08 | Toshiba Storage Device Corporation | Magnetic storage device and contact detection method |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0256356B1 (en) | A method of measuring the flying height of a slider in a moving magnetic storage apparatus | |
| CN100461267C (zh) | 校准和控制记录磁盘驱动器悬浮高度致动器的系统和方法 | |
| US6097559A (en) | System and method for detecting head-to-disk contact in-situ a direct access storage device using a position error signal | |
| EP0783165B1 (en) | Method and apparatus for positioning a dual element magnetoresistive head | |
| US6384994B1 (en) | Method for positioning a magnetoresistive head using a thermal response to servo information on the record medium | |
| JP3408817B2 (ja) | スライダー／ディスク界面のｆｍ検出 | |
| US7889447B2 (en) | Readback signal-based head-disc contact detection using AM/FM demodulation | |
| US5880587A (en) | Method and apparatus for performing in file slider take-off measurements through tuned external AE detection | |
| US6568252B1 (en) | Flyability and glide methodology for 100 GPSI | |
| US20150302871A1 (en) | Method and apparatus for determining relative head-to-disk speed | |
| US7121133B2 (en) | System, method, and apparatus for glide head calibration with enhanced PZT channel for very low qualification glide heights | |
| EP1517306A1 (en) | Suspension for a disk drive | |
| US20070127147A1 (en) | Contact detecting apparatus, and method for detecting contact | |
| Bogy et al. | Laser doppler interferometry on magnetic recording systems | |
| JPH0916953A (ja) | グライドハイト測定方法及び装置 | |
| US20070245814A1 (en) | Magnetic disk defect test method, protrusion test device and glide tester | |
| CN100487794C (zh) | 主动衰减硬盘驱动器滑块中滑块气承振动的反馈控制方法 | |
| US6021666A (en) | Determining a close point for glide heads | |
| US20140269241A1 (en) | High sample rate dpes to improve contact detection signal to noise ratio | |
| US11881239B1 (en) | Determining fly height using readback signal distortion | |
| JP3387319B2 (ja) | 磁気ディスクの浮上性能検査装置、及び検査方法 | |
| Clark | An experimental correlation of slider-disk contact detection between piezoelectric and electrical resistance measurements | |
| JPS6373180A (ja) | 磁気デイスクの突起検出方法 | |
| JPH1027342A (ja) | 磁気記録媒体の検査方法 | |
| Zhang et al. | Calibration of sub-10-nm flying height using the bump response |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19980331 |