JPH0458103A - 磁気ディスクの表面粗さ測定法 - Google Patents
磁気ディスクの表面粗さ測定法Info
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- JPH0458103A JPH0458103A JP17079590A JP17079590A JPH0458103A JP H0458103 A JPH0458103 A JP H0458103A JP 17079590 A JP17079590 A JP 17079590A JP 17079590 A JP17079590 A JP 17079590A JP H0458103 A JPH0458103 A JP H0458103A
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- magnetic disk
- surface roughness
- magnetic
- projections
- protrusions
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- Pending
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 15
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- 238000004439 roughness measurement Methods 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 4
- 230000003321 amplification Effects 0.000 abstract description 2
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Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、固定磁気ディスク装置に用いる磁気ディスク
の表面粗さ測定法に関する。
の表面粗さ測定法に関する。
（従来の技術）
−ａに磁気ディスクは、ディスク状の基盤とその表面に
形成した磁性媒体層から構成される。この磁気ディスク
を用いて記録再生を行なうには、ＣＳ Ｓ （Ｃｏｎｔ
ａｃｔ ５ｔａｒｔ ５ｔｏｐ）方式による場合、スタ
ート時には磁気記録媒体層と磁気ヘッドを接触させてお
き、スタート後磁気ディスクの回転により、磁気ヘッド
を前記磁気記録媒体層から所定の間隔を隔てて浮上させ
、前記磁気記録媒体層に記録再生を行なうものである。
形成した磁性媒体層から構成される。この磁気ディスク
を用いて記録再生を行なうには、ＣＳ Ｓ （Ｃｏｎｔ
ａｃｔ ５ｔａｒｔ ５ｔｏｐ）方式による場合、スタ
ート時には磁気記録媒体層と磁気ヘッドを接触させてお
き、スタート後磁気ディスクの回転により、磁気ヘッド
を前記磁気記録媒体層から所定の間隔を隔てて浮上させ
、前記磁気記録媒体層に記録再生を行なうものである。
また記録再生終了時には、スタート時と同様、磁気ディ
スクの回転停止により磁気ヘッドは前記磁気記録媒体層
に接触している。
スクの回転停止により磁気ヘッドは前記磁気記録媒体層
に接触している。
磁気ディスクは昨今の大容量化、高記録密度化に伴って
、磁気ヘッドの浮上量はますます小さくなる方向にある
。現在の磁気ヘッドの浮上量は０．１０μｍ程度である
が、この程度の小さい浮上量で磁気ヘッドを安定に浮上
させておくためには、磁気ヘッドの浮上量に影響する要
因の変動を小さくするとともに、磁気ディスク上の突起
の高さを小さして、磁気ヘッドと磁気ディスクとの接触
、衝突をなくすることが是非必要である。
、磁気ヘッドの浮上量はますます小さくなる方向にある
。現在の磁気ヘッドの浮上量は０．１０μｍ程度である
が、この程度の小さい浮上量で磁気ヘッドを安定に浮上
させておくためには、磁気ヘッドの浮上量に影響する要
因の変動を小さくするとともに、磁気ディスク上の突起
の高さを小さして、磁気ヘッドと磁気ディスクとの接触
、衝突をなくすることが是非必要である。
これら突起は磁気ディスクの基盤表面の粗さが充分物−
でなかったり、あるいは磁性媒体の成膜中に不純物が混
入したりすると、磁気ディスクの表面に発生することが
あり、その突起と磁気ヘッドが衝突して両者は損傷を受
けることになる。
でなかったり、あるいは磁性媒体の成膜中に不純物が混
入したりすると、磁気ディスクの表面に発生することが
あり、その突起と磁気ヘッドが衝突して両者は損傷を受
けることになる。
従って、製造された全数の磁気ディスク表面粗さを測定
することは必要不可欠である。
することは必要不可欠である。
一般に表面粗さは、触針式粗さ測定装置で測定するが、
被測定物が触針で傷付くために、測定に供した被測定物
は製品とすることができないし、また、光学式非接触粗
さ測定装置は前述した問題はないが測定に際し、多大な
測定時間を要するものである。
被測定物が触針で傷付くために、測定に供した被測定物
は製品とすることができないし、また、光学式非接触粗
さ測定装置は前述した問題はないが測定に際し、多大な
測定時間を要するものである。
（発明が解決しようとする課題）
上述した磁気ディスク上に存在する突起を検出するため
の従来技術として、例えば、特開昭５８−１１８９０４
号公報、特開昭６３−１２０２０９号公報、特開昭６３
−７３１８０号公報などに記載された技術がある。
の従来技術として、例えば、特開昭５８−１１８９０４
号公報、特開昭６３−１２０２０９号公報、特開昭６３
−７３１８０号公報などに記載された技術がある。
しかし、これらの技術は磁気ディスクの信頼性を上げる
ため、磁気ディスクの表面の突起の高さや数を測定しよ
うとするものであるが、突起の高さや数の測定のみでは
高信頼性を得ることはできない。高信頼性を得るために
は、磁気ディスクの表面全域に存在する突起の高さおよ
び数と、その分布をも加味した表面粗さを測定せねばな
らず１、全数の磁気ディスクを簡便にして非破壊の方法
で測定できる磁気ディスク表面の表面粗さ測定方法の開
発が望まれていた。
ため、磁気ディスクの表面の突起の高さや数を測定しよ
うとするものであるが、突起の高さや数の測定のみでは
高信頼性を得ることはできない。高信頼性を得るために
は、磁気ディスクの表面全域に存在する突起の高さおよ
び数と、その分布をも加味した表面粗さを測定せねばな
らず１、全数の磁気ディスクを簡便にして非破壊の方法
で測定できる磁気ディスク表面の表面粗さ測定方法の開
発が望まれていた。
（課題を解決するための手段）
本発明は上記課題に鑑みなされたものであり、所定の回
転数で回転している磁気ディスク面上に圧電素子を設け
た磁気ヘッドを所定の浮上量を以て浮上させ、前記磁気
ディスク面上に存在する突起と前記磁気ヘッドとの接触
により前記圧電素子が発する出力信号によって磁気ディ
スクの突起を検出すると共に、突起の数を計測し、あら
かじめ求めてある突起の数と表面粗さとの関係線図を用
いて、磁気ディスクの表面粗さを知ることを特徴とする
磁気ディスクの表面粗さ測定法を提供しようとするもの
である。
転数で回転している磁気ディスク面上に圧電素子を設け
た磁気ヘッドを所定の浮上量を以て浮上させ、前記磁気
ディスク面上に存在する突起と前記磁気ヘッドとの接触
により前記圧電素子が発する出力信号によって磁気ディ
スクの突起を検出すると共に、突起の数を計測し、あら
かじめ求めてある突起の数と表面粗さとの関係線図を用
いて、磁気ディスクの表面粗さを知ることを特徴とする
磁気ディスクの表面粗さ測定法を提供しようとするもの
である。
（実施例）
第１図は本発明による磁気ディスクの表面粗さ測定装置
１０の概念図である。同図において、１１は磁気ディス
ク、１２は回転軸、１３は磁気ヘッド、１４は圧電素子
、１５は板バネ、１６はスライダーアーム、１７はアン
プ、１８はフィルタ、１９はカウンタである。
１０の概念図である。同図において、１１は磁気ディス
ク、１２は回転軸、１３は磁気ヘッド、１４は圧電素子
、１５は板バネ、１６はスライダーアーム、１７はアン
プ、１８はフィルタ、１９はカウンタである。
本発明の方法を実施する磁気ディスクの表面粗さ測定装
置１０は、回転軸１２に固定されて所定の回転数で回転
する磁気ディスク１１と、板バネ１５を介してスライダ
ーアーム１６に取り付けられた磁気ヘッド１３と圧電素
子１４と、圧電素子１４からの出力信号を増幅するアン
プ１７と、アンプ１７の出力信号を入力し所定の周波数
帯域の信号成分を取り出すフィルタ１８と、その取り出
した信号成分を計数するカウンタ１９とから構成されて
いる。
置１０は、回転軸１２に固定されて所定の回転数で回転
する磁気ディスク１１と、板バネ１５を介してスライダ
ーアーム１６に取り付けられた磁気ヘッド１３と圧電素
子１４と、圧電素子１４からの出力信号を増幅するアン
プ１７と、アンプ１７の出力信号を入力し所定の周波数
帯域の信号成分を取り出すフィルタ１８と、その取り出
した信号成分を計数するカウンタ１９とから構成されて
いる。
また、スライダーアーム１６は磁気ヘッド１３が磁気デ
ィスク１１の面の半径方向全体にわたって移動すること
ができ、磁気ヘッド１３が磁気ディスク１１の面上の適
切な位置にくるように調節することができるものである
。
ィスク１１の面の半径方向全体にわたって移動すること
ができ、磁気ヘッド１３が磁気ディスク１１の面上の適
切な位置にくるように調節することができるものである
。
このように構成された本発明の磁気ディスクの表面粗さ
測定法に用いられる測定装置１０を用いての測定法につ
いて以下詳述する。
測定法に用いられる測定装置１０を用いての測定法につ
いて以下詳述する。
まず、回転軸１２に磁気記録層を下面にして取り付けた
磁気ディスク１１を相対速度３．６ｍ／Ｓで回転させる
。磁気ヘッド１３は、磁気ディスクの高密度化を達成す
るため記録再生時の磁気ヘッドの浮上量は小さくする傾
向にあり、実施例は回転する磁気ディスク１１面より０
．０６５μｍ浮上して走行させたものである。磁気ディ
スク１１面上に存在する突起に磁気ヘッド１３が接触す
ると、接触した微小振動によって圧電素子１４は電圧を
発生する。この接触する度毎に発生する電圧をアンプ１
７に入力して増幅し、その増幅出力をフィルタ１８に入
力しノイズと分離した後にカウンタ１９で接触回数を計
測して、磁気ディスク全面に存在する突起の数を知るも
のである。
磁気ディスク１１を相対速度３．６ｍ／Ｓで回転させる
。磁気ヘッド１３は、磁気ディスクの高密度化を達成す
るため記録再生時の磁気ヘッドの浮上量は小さくする傾
向にあり、実施例は回転する磁気ディスク１１面より０
．０６５μｍ浮上して走行させたものである。磁気ディ
スク１１面上に存在する突起に磁気ヘッド１３が接触す
ると、接触した微小振動によって圧電素子１４は電圧を
発生する。この接触する度毎に発生する電圧をアンプ１
７に入力して増幅し、その増幅出力をフィルタ１８に入
力しノイズと分離した後にカウンタ１９で接触回数を計
測して、磁気ディスク全面に存在する突起の数を知るも
のである。
また、本発明者らは磁気ディスク面上に存在する０、０
６５μｍ以上の突起の数と、表面粗さＲｐａとの関係を
見出だした。
６５μｍ以上の突起の数と、表面粗さＲｐａとの関係を
見出だした。
第２図は磁気ディスクの表面に存在する０、０６５μｍ
以上の突起の数と表面粗さＲｐａとの関係線図である。
以上の突起の数と表面粗さＲｐａとの関係線図である。
同図において、表面粗さＲｐａは表面粗さの測定に際し
、測定長さ（８０μｍ）の５倍とし、各基準長さの中で
中心線に対し最も高い凸部までの距離を測定し、これら
５つの測定距離の平均値（人）と定義する。
、測定長さ（８０μｍ）の５倍とし、各基準長さの中で
中心線に対し最も高い凸部までの距離を測定し、これら
５つの測定距離の平均値（人）と定義する。
この第２図を用いて、カウンタ１９が計測した磁気ディ
スク１１の全面に存在する突起の数から磁気ディスクの
表面粗さＲｐａを容易に知ることが可能となる。
スク１１の全面に存在する突起の数から磁気ディスクの
表面粗さＲｐａを容易に知ることが可能となる。
さらに、本実施例では回転する磁気ディスクの相対速度
を３．６ｍ／ｓとし、その時の磁気ヘッドの浮上量を０
．０６５μｍとしたが、相対速度および磁気ヘッドの浮
上量は、これに限定したものではなく、測定しようとす
る磁気ディスクの表面粗さに応じて相対速度および磁気
ヘッドの浮上量を選ぶことができる。
を３．６ｍ／ｓとし、その時の磁気ヘッドの浮上量を０
．０６５μｍとしたが、相対速度および磁気ヘッドの浮
上量は、これに限定したものではなく、測定しようとす
る磁気ディスクの表面粗さに応じて相対速度および磁気
ヘッドの浮上量を選ぶことができる。
（発明の効果）
上述したように、所定の回転数で回転している磁気ディ
スク面上に圧電素子を設けた磁気ヘッドを所定の浮上量
を以て浮上させ、前記磁気ディスク面上に存在する突起
と前記磁気ヘッドとの接触により前記圧電素子が発する
出力信号によって磁気ディスクの突起を検出すると共に
、突起の数を計測し、あらかじめ求めてある突起の数と
表面粗さとの関係線図を用いて、磁気ディスクの表面粗
さを知る磁気ディスクの表面粗さ測定法により、磁気デ
ィスクを破壊することなく、簡便な方法で磁気ディスク
の表面粗さを知ると共に、信頼性のある実用上極めて有
効な磁気ディスクの表面粗さ測定法の提供をするもので
ある。
スク面上に圧電素子を設けた磁気ヘッドを所定の浮上量
を以て浮上させ、前記磁気ディスク面上に存在する突起
と前記磁気ヘッドとの接触により前記圧電素子が発する
出力信号によって磁気ディスクの突起を検出すると共に
、突起の数を計測し、あらかじめ求めてある突起の数と
表面粗さとの関係線図を用いて、磁気ディスクの表面粗
さを知る磁気ディスクの表面粗さ測定法により、磁気デ
ィスクを破壊することなく、簡便な方法で磁気ディスク
の表面粗さを知ると共に、信頼性のある実用上極めて有
効な磁気ディスクの表面粗さ測定法の提供をするもので
ある。
第１図は本発明による磁気ディスクの表面粗さ測定法に
用いられる測定装置の概念図、第２図は磁気ディスクの
表面に存在する０、０６５μｍ以上の突起の数と表面粗
さＲｐａとの関係線図である。 １・・・磁気ディスク、 ３・・・磁気ヘッド、 ５・・・板バネ、 ７・・・アンプ、 ９・・・カウンタ。 ２・・・回転軸、 ４・・・圧電素子、 ６・・・スライダーアーム、 ８・・・フィルタ、 篤 １ 図
用いられる測定装置の概念図、第２図は磁気ディスクの
表面に存在する０、０６５μｍ以上の突起の数と表面粗
さＲｐａとの関係線図である。 １・・・磁気ディスク、 ３・・・磁気ヘッド、 ５・・・板バネ、 ７・・・アンプ、 ９・・・カウンタ。 ２・・・回転軸、 ４・・・圧電素子、 ６・・・スライダーアーム、 ８・・・フィルタ、 篤 １ 図
Claims (1)
- 所定の回転数で回転している磁気ディスク面上に圧電素
子を設けた磁気ヘッドを所定の浮上量を以て浮上させ、
前記磁気ディスク面上に存在する突起と前記磁気ヘッド
との接触により前記圧電素子が発する出力信号によって
磁気ディスクの突起を検出すると共に、突起の数を計測
し、あらかじめ求めてある突起の数と表面粗さとの関係
線図を用いて、磁気ディスクの表面粗さを知ることを特
徴とする磁気ディスクの表面粗さ測定法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17079590A JPH0458103A (ja) | 1990-06-27 | 1990-06-27 | 磁気ディスクの表面粗さ測定法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17079590A JPH0458103A (ja) | 1990-06-27 | 1990-06-27 | 磁気ディスクの表面粗さ測定法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0458103A true JPH0458103A (ja) | 1992-02-25 |
Family
ID=15911499
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17079590A Pending JPH0458103A (ja) | 1990-06-27 | 1990-06-27 | 磁気ディスクの表面粗さ測定法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0458103A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0916953A (ja) * | 1995-06-28 | 1997-01-17 | Nec Corp | グライドハイト測定方法及び装置 |
| US7121133B2 (en) | 2004-05-28 | 2006-10-17 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | System, method, and apparatus for glide head calibration with enhanced PZT channel for very low qualification glide heights |
-
1990
- 1990-06-27 JP JP17079590A patent/JPH0458103A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0916953A (ja) * | 1995-06-28 | 1997-01-17 | Nec Corp | グライドハイト測定方法及び装置 |
| US7121133B2 (en) | 2004-05-28 | 2006-10-17 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | System, method, and apparatus for glide head calibration with enhanced PZT channel for very low qualification glide heights |
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