JPH09170068A - 結晶配向性高強度被覆部材 - Google Patents
結晶配向性高強度被覆部材Info
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- JPH09170068A JPH09170068A JP34830995A JP34830995A JPH09170068A JP H09170068 A JPH09170068 A JP H09170068A JP 34830995 A JP34830995 A JP 34830995A JP 34830995 A JP34830995 A JP 34830995A JP H09170068 A JPH09170068 A JP H09170068A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 （ＴｉＡｌ）Ｎ被膜を被覆した従来の被覆部
材は、破壊靭性値が低下すること、特に高速切削用切削
工具として用いると、高温による被膜の酸化，急激な摩
耗の進行，熱衝撃性による劣化および被削材との溶着に
より短寿命になるという課題がある。また、Ｔｉ化合物
の被膜を被覆した従来の被覆部材は、膜自体が脆性なた
めに切削用工具のような苛酷な用途では剥離またはチッ
ピングを生じ易くて短寿命になるという課題がある。 【解決手段】基材上にチタンとアルミニウムとを含む複
合窒化物，複合炭窒化物，複合窒酸化物，複合炭窒酸化
物の中の１種以上の単層または多層でなる硬質膜が被覆
された被覆部材において、該基材と該硬質膜との間に周
期律表の４ａ，５ａ，６ａ族金属の炭化物，窒化物およ
びこれらの相互固溶体の中の１種の単層または２種以上
の多層でなる中間層を介在させて、該基材と該中間層と
の界面または／および該中間層と該硬質膜との界面がヘ
テロエピタキシャル関係を保つように被覆されているこ
とを特徴とする結晶配向性高強度被覆部材。
材は、破壊靭性値が低下すること、特に高速切削用切削
工具として用いると、高温による被膜の酸化，急激な摩
耗の進行，熱衝撃性による劣化および被削材との溶着に
より短寿命になるという課題がある。また、Ｔｉ化合物
の被膜を被覆した従来の被覆部材は、膜自体が脆性なた
めに切削用工具のような苛酷な用途では剥離またはチッ
ピングを生じ易くて短寿命になるという課題がある。 【解決手段】基材上にチタンとアルミニウムとを含む複
合窒化物，複合炭窒化物，複合窒酸化物，複合炭窒酸化
物の中の１種以上の単層または多層でなる硬質膜が被覆
された被覆部材において、該基材と該硬質膜との間に周
期律表の４ａ，５ａ，６ａ族金属の炭化物，窒化物およ
びこれらの相互固溶体の中の１種の単層または２種以上
の多層でなる中間層を介在させて、該基材と該中間層と
の界面または／および該中間層と該硬質膜との界面がヘ
テロエピタキシャル関係を保つように被覆されているこ
とを特徴とする結晶配向性高強度被覆部材。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は金属、合金またはセ
ラミックス焼結体の基材上に（ＴｉＡｌ）の化合物でな
る被膜をヘテロエピタキシャル関係に被覆してなる結晶
配向性高強度被覆部材に関し、具体的には、金属、合金
またはセラミックス焼結体の基材上に耐剥離性に優れた
高硬度、高靭性の被膜を被覆して、例えば旋削工具，フ
ライス工具，ドリル，エンドミルに代表される切削用工
具、スリッタ−などの切断刃，裁断刃とダイス，パンチ
などの型工具とノズルなどの耐腐食耐摩耗部材として代
表される耐摩耗用工具、ビットに代表される土木建設用
工具として最適な結晶配向性高強度被覆部材に関する。
ラミックス焼結体の基材上に（ＴｉＡｌ）の化合物でな
る被膜をヘテロエピタキシャル関係に被覆してなる結晶
配向性高強度被覆部材に関し、具体的には、金属、合金
またはセラミックス焼結体の基材上に耐剥離性に優れた
高硬度、高靭性の被膜を被覆して、例えば旋削工具，フ
ライス工具，ドリル，エンドミルに代表される切削用工
具、スリッタ−などの切断刃，裁断刃とダイス，パンチ
などの型工具とノズルなどの耐腐食耐摩耗部材として代
表される耐摩耗用工具、ビットに代表される土木建設用
工具として最適な結晶配向性高強度被覆部材に関する。
【０００２】
【従来の技術】金属、合金およびセラミックスの基材上
に厚さが２０μｍ以下のセラミックスの被膜を被覆し、
基材と被膜とのそれぞれの特性を有効に引き出して、長
寿命を達成しようとした被覆部材が多数提案されてい
る。この被覆部材に被膜を被覆する方法は、大別すると
化学蒸着法（ＣＶＤ法）と物理蒸着法（ＰＶＤ法）があ
る。これらのうち、特にＰＶＤ法により被覆された被膜
は、基材の強度を劣化させることなく耐摩耗性を高める
利点がある。そのために、一般に強度，耐欠損性を重要
視するドリル、エンドミル、フライス用スロ−アウェイ
チップに代表される被覆切削工具の被膜は、ＰＶＤ法に
より被覆されているのが現状である。
に厚さが２０μｍ以下のセラミックスの被膜を被覆し、
基材と被膜とのそれぞれの特性を有効に引き出して、長
寿命を達成しようとした被覆部材が多数提案されてい
る。この被覆部材に被膜を被覆する方法は、大別すると
化学蒸着法（ＣＶＤ法）と物理蒸着法（ＰＶＤ法）があ
る。これらのうち、特にＰＶＤ法により被覆された被膜
は、基材の強度を劣化させることなく耐摩耗性を高める
利点がある。そのために、一般に強度，耐欠損性を重要
視するドリル、エンドミル、フライス用スロ−アウェイ
チップに代表される被覆切削工具の被膜は、ＰＶＤ法に
より被覆されているのが現状である。
【０００３】従来から耐摩耗性を向上させるために窒化
チタンの被膜を被覆することはよく知られている。しか
しながら、窒化チタンを代表とする金属窒化物は高温で
酸化されやすく、耐摩耗性が著しく劣化するという問題
がある。この窒化チタン被膜の酸化の問題を改善しょう
として１９８０年代中頃から提案されたものに、（Ｔｉ
Ａｌ）化合物の被膜に代表される被覆部材に関するもの
があり、その代表的なものとして特開昭６２−５６５６
５号公報，特開平６−２１０５０２号公報，特開平６−
２１０５１１号公報および特開平７−１９７２３５号公
報がある。
チタンの被膜を被覆することはよく知られている。しか
しながら、窒化チタンを代表とする金属窒化物は高温で
酸化されやすく、耐摩耗性が著しく劣化するという問題
がある。この窒化チタン被膜の酸化の問題を改善しょう
として１９８０年代中頃から提案されたものに、（Ｔｉ
Ａｌ）化合物の被膜に代表される被覆部材に関するもの
があり、その代表的なものとして特開昭６２−５６５６
５号公報，特開平６−２１０５０２号公報，特開平６−
２１０５１１号公報および特開平７−１９７２３５号公
報がある。
【０００４】一方、基材の表面に被覆する被膜を結晶配
向させて、被膜の付着性を高めることが提案されてお
り、その代表的なものとして特開昭５６−１５６７６７
号公報，特開平２−１５９３６３号公報，特開平５−２
８７３２２号公報，特開平５−２８７３２３号公報およ
び特開平５−２９５５１７号公報がある。
向させて、被膜の付着性を高めることが提案されてお
り、その代表的なものとして特開昭５６−１５６７６７
号公報，特開平２−１５９３６３号公報，特開平５−２
８７３２２号公報，特開平５−２８７３２３号公報およ
び特開平５−２９５５１７号公報がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ＴｉＡｌ化合物の被膜
に関する先行技術としての特開昭６２−５６５６５号公
報，特開平６−２１０５０２号公報，特開平６−２１０
５１１号公報および特開平７−１９７２３５号公報に
は、基体の表面に（ＴｉＡｌ）の炭化物，窒化物および
炭窒化物のうちの１種の単層または２種以上の複層でな
る硬質被覆層を形成した耐摩耗性に優れた表面被覆硬質
部材について開示されている。
に関する先行技術としての特開昭６２−５６５６５号公
報，特開平６−２１０５０２号公報，特開平６−２１０
５１１号公報および特開平７−１９７２３５号公報に
は、基体の表面に（ＴｉＡｌ）の炭化物，窒化物および
炭窒化物のうちの１種の単層または２種以上の複層でな
る硬質被覆層を形成した耐摩耗性に優れた表面被覆硬質
部材について開示されている。
【０００６】これらの公報に開示の表面被覆硬質部材
は、開発当初の通りにＴｉ化合物の被膜に比べて耐酸化
性および耐摩耗性の向上した被覆硬質部材ではあるが、
逆に機械的性質が劣化し、工具、特に苛酷な条件で用い
られる切削工具へ適用した場合に切削性能が低下すると
いう問題がある。つまり、同公報に記載の表面被覆硬質
部材は、被膜中にＡｌを含有させることにより、Ｔｉ化
合物の被膜に比較して被膜表面の化学的性質の向上を達
成した反面、基材と被膜との界面における結晶構造的な
配慮がされていないことから、被膜の耐剥離性および強
度が劣り、表面被覆硬質部材の破壊靭性値および耐欠損
性が低下すること、特に高速切削用切削工具として用い
ると、高温による被膜の酸化，急激な摩耗の進行，熱衝
撃性による劣化および被削材との溶着により短寿命にな
るという問題がある。
は、開発当初の通りにＴｉ化合物の被膜に比べて耐酸化
性および耐摩耗性の向上した被覆硬質部材ではあるが、
逆に機械的性質が劣化し、工具、特に苛酷な条件で用い
られる切削工具へ適用した場合に切削性能が低下すると
いう問題がある。つまり、同公報に記載の表面被覆硬質
部材は、被膜中にＡｌを含有させることにより、Ｔｉ化
合物の被膜に比較して被膜表面の化学的性質の向上を達
成した反面、基材と被膜との界面における結晶構造的な
配慮がされていないことから、被膜の耐剥離性および強
度が劣り、表面被覆硬質部材の破壊靭性値および耐欠損
性が低下すること、特に高速切削用切削工具として用い
ると、高温による被膜の酸化，急激な摩耗の進行，熱衝
撃性による劣化および被削材との溶着により短寿命にな
るという問題がある。
【０００７】一方、結晶配向された被膜に関する先行技
術としての特開昭５６−１５６７６７号公報，特開平２
−１５９３６３号公報，特開平５−２８７３２２号公
報，特開平５−２８７３２３号公報および特開平５−２
９５５１７号公報には、Ｔｉ化合物の被膜を結晶配向し
て基材の表面に被覆した被覆硬質部材について開示され
ている。
術としての特開昭５６−１５６７６７号公報，特開平２
−１５９３６３号公報，特開平５−２８７３２２号公
報，特開平５−２８７３２３号公報および特開平５−２
９５５１７号公報には、Ｔｉ化合物の被膜を結晶配向し
て基材の表面に被覆した被覆硬質部材について開示され
ている。
【０００８】これらの結晶配向に関する公報のうち、前
２公報に開示の結晶配向性被覆硬質部材は、基材と被膜
との相互の界面においてヘテロエピタキシャル関係を保
たせていないことから、被膜の結晶配向性が弱くなり、
被膜の付着性および被膜の強度が劣るという問題があ
る。また、これらの公報のうち、後３公報に開示の結晶
配向性被覆硬質部材は、基材と被膜との界面における応
力を考慮した被膜層の構成になっていなく、かつ被膜自
体の機械的性質が低いことから、被膜の強度，硬度，耐
摩耗性，耐熱性および耐剥離性に未だ満足できないとい
う問題がある。
２公報に開示の結晶配向性被覆硬質部材は、基材と被膜
との相互の界面においてヘテロエピタキシャル関係を保
たせていないことから、被膜の結晶配向性が弱くなり、
被膜の付着性および被膜の強度が劣るという問題があ
る。また、これらの公報のうち、後３公報に開示の結晶
配向性被覆硬質部材は、基材と被膜との界面における応
力を考慮した被膜層の構成になっていなく、かつ被膜自
体の機械的性質が低いことから、被膜の強度，硬度，耐
摩耗性，耐熱性および耐剥離性に未だ満足できないとい
う問題がある。
【０００９】本発明は、上述のような問題点を解決した
もので、具体的には、低温領域から高温領域に至るまで
の広い領域において、高靭性，高硬度性，耐摩耗性，耐
酸化性，耐熱衝撃性，耐欠損性，耐溶着性のある被膜お
よび耐剥離性の被膜を被覆したことにより一層長寿命と
なる結晶配向性高強度被覆部材の提供を目的とする。
もので、具体的には、低温領域から高温領域に至るまで
の広い領域において、高靭性，高硬度性，耐摩耗性，耐
酸化性，耐熱衝撃性，耐欠損性，耐溶着性のある被膜お
よび耐剥離性の被膜を被覆したことにより一層長寿命と
なる結晶配向性高強度被覆部材の提供を目的とする。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】本発明者らは、超硬合
金の基材上に（ＴｉＡｌ）の化合物の硬質膜を被覆した
被覆部材が、低温領域で使用すると割合に優れた効果を
発揮するのに対し、高温領域で使用するとその効果が低
減されるという問題を検討していたところ、基材上に被
覆する（ＴｉＡｌ）の化合物でなる硬質膜との間に、周
期律表の４ａ，５ａ，６ａ金属の化合物でなる中間層を
介在し、これらの基材と中間層と硬質膜とをヘテロエピ
タキシャル関係を保つように被覆すると、高強度な被膜
となること、また低温から高温の領域に至るまで耐摩耗
性の低減が生じなく、かつ中間層および硬質膜の耐剥離
性が顕著に向上し、寿命が延長するということを見出
し、本発明を完成するに至ったものである。
金の基材上に（ＴｉＡｌ）の化合物の硬質膜を被覆した
被覆部材が、低温領域で使用すると割合に優れた効果を
発揮するのに対し、高温領域で使用するとその効果が低
減されるという問題を検討していたところ、基材上に被
覆する（ＴｉＡｌ）の化合物でなる硬質膜との間に、周
期律表の４ａ，５ａ，６ａ金属の化合物でなる中間層を
介在し、これらの基材と中間層と硬質膜とをヘテロエピ
タキシャル関係を保つように被覆すると、高強度な被膜
となること、また低温から高温の領域に至るまで耐摩耗
性の低減が生じなく、かつ中間層および硬質膜の耐剥離
性が顕著に向上し、寿命が延長するということを見出
し、本発明を完成するに至ったものである。
【００１１】本発明の高強度被覆部材は、基材上にチタ
ンとアルミニウムとを含む複合窒化物，複合炭窒化物，
複合窒酸化物，複合炭窒酸化物の中の１種以上の単層ま
たは多層でなる硬質膜が被覆された被覆部材において、
該基材と該硬質膜との間に周期律表の４ａ，５ａ，６ａ
族金属の炭化物，窒化物およびこれらの相互固溶体の中
の１種の単層または２種以上の多層でなる中間層を介在
させて、該基材と該中間層との界面または／および該中
間層と該硬質膜との界面がヘテロエピタキシャル関係を
保つように被覆されていることを特徴とするものであ
る。
ンとアルミニウムとを含む複合窒化物，複合炭窒化物，
複合窒酸化物，複合炭窒酸化物の中の１種以上の単層ま
たは多層でなる硬質膜が被覆された被覆部材において、
該基材と該硬質膜との間に周期律表の４ａ，５ａ，６ａ
族金属の炭化物，窒化物およびこれらの相互固溶体の中
の１種の単層または２種以上の多層でなる中間層を介在
させて、該基材と該中間層との界面または／および該中
間層と該硬質膜との界面がヘテロエピタキシャル関係を
保つように被覆されていることを特徴とするものであ
る。
【００１２】
【発明の実施の態様】本発明の高強度被覆部材における
基材は、被膜を被覆するときに加熱する温度に耐えるこ
とができる金属部材，焼結合金またはセラミックス焼結
体でなり、具体的には、例えばステンレス鋼，耐熱合
金，高速度鋼，ダイス鋼，Ｔｉ合金，Ａｌ合金に代表さ
れる金属部材、超硬合金，サ−メット，粉末ハイスの焼
結合金、Ａｌ2Ｏ3系焼結体，Ｓｉ3Ｎ4系焼結体，サイア
ロン系焼結体，ＺｒＯ2系焼結体のセラミックス焼結体
を挙げることができる。これらのうち、切削用工具また
は耐摩耗用工具として用いるときには、超硬合金，窒素
含有ＴｉＣ系サ−メットもしくはセラミックス焼結体の
基材が好ましい。
基材は、被膜を被覆するときに加熱する温度に耐えるこ
とができる金属部材，焼結合金またはセラミックス焼結
体でなり、具体的には、例えばステンレス鋼，耐熱合
金，高速度鋼，ダイス鋼，Ｔｉ合金，Ａｌ合金に代表さ
れる金属部材、超硬合金，サ−メット，粉末ハイスの焼
結合金、Ａｌ2Ｏ3系焼結体，Ｓｉ3Ｎ4系焼結体，サイア
ロン系焼結体，ＺｒＯ2系焼結体のセラミックス焼結体
を挙げることができる。これらのうち、切削用工具また
は耐摩耗用工具として用いるときには、超硬合金，窒素
含有ＴｉＣ系サ−メットもしくはセラミックス焼結体の
基材が好ましい。
【００１３】この基材上に直接被覆される中間層は、具
体的には、例えばＴｉＣ，ＺｒＣ，ＨｆＣ，ＴａＣ，Ｎ
ｂＣ，ＶＣ，ＷＣ，Ｍｏ2Ｃ，Ｃｒ3Ｃ2，ＴｉＮ，Ｚｒ
Ｎ，ＨｆＮ，ＴａＮ，ＣｒＮ，Ｔｉ（ＣＮ），（Ｔｉ
Ｗ）Ｃ，（ＴｉＴａ）Ｃ，（ＴｉＴａ）ＣＮ，（ＴｉＴ
ａ）Ｎを挙げることができる。これらの中間層は、１種
の単層または２種以上の多層として形成することができ
る。特に、後述するように、基材界面の結晶構造が調整
し難い場合には、多層の中間層とすること、または中間
層と基材との間に、基材との親和性の高い下地層、例え
ばＴｉ，ＴｉＡｌ，Ｔｉ３Ａｌ，ＴｉＡｌ３，Ｗ，に代
表される金属または合金，ＷＣ，Ｍｏ2Ｃ，Ｃｒ2Ｎ，Ｔ
ａＮ，ＶＢ2，ＮｂＢ2，ＴａＢ2，Ｗ2Ｂ5，ＭｏＢ2，Ｃ
ｒＢ2の六方晶結晶構造でなるセラミックスの中から選
ばれた１種の単層または２種以上の複層でなる下地層を
形成することも好ましいことである。この中間層の膜厚
さは、中間層の表面に被覆される硬質膜がヘテロエピタ
キシャル関係を保ち、付着性を高めることができる膜厚
さであればよく、具体的には、例えば０．０１〜５μｍ
厚さ、特に０．０１〜１μｍ厚さでなることが好まし
い。
体的には、例えばＴｉＣ，ＺｒＣ，ＨｆＣ，ＴａＣ，Ｎ
ｂＣ，ＶＣ，ＷＣ，Ｍｏ2Ｃ，Ｃｒ3Ｃ2，ＴｉＮ，Ｚｒ
Ｎ，ＨｆＮ，ＴａＮ，ＣｒＮ，Ｔｉ（ＣＮ），（Ｔｉ
Ｗ）Ｃ，（ＴｉＴａ）Ｃ，（ＴｉＴａ）ＣＮ，（ＴｉＴ
ａ）Ｎを挙げることができる。これらの中間層は、１種
の単層または２種以上の多層として形成することができ
る。特に、後述するように、基材界面の結晶構造が調整
し難い場合には、多層の中間層とすること、または中間
層と基材との間に、基材との親和性の高い下地層、例え
ばＴｉ，ＴｉＡｌ，Ｔｉ３Ａｌ，ＴｉＡｌ３，Ｗ，に代
表される金属または合金，ＷＣ，Ｍｏ2Ｃ，Ｃｒ2Ｎ，Ｔ
ａＮ，ＶＢ2，ＮｂＢ2，ＴａＢ2，Ｗ2Ｂ5，ＭｏＢ2，Ｃ
ｒＢ2の六方晶結晶構造でなるセラミックスの中から選
ばれた１種の単層または２種以上の複層でなる下地層を
形成することも好ましいことである。この中間層の膜厚
さは、中間層の表面に被覆される硬質膜がヘテロエピタ
キシャル関係を保ち、付着性を高めることができる膜厚
さであればよく、具体的には、例えば０．０１〜５μｍ
厚さ、特に０．０１〜１μｍ厚さでなることが好まし
い。
【００１４】この中間層の表面に被覆される硬質膜は、
具体的には、例えば（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ、（Ｔｉ，Ａｌ）
ＣＮ、（Ｔｉ，Ａｌ）ＮＯ、（Ｔｉ，Ａｌ）ＣＮＯ、を
挙げることができる。この硬質膜は、０．５〜１０μｍ
でなる膜厚さでなることが好ましく、特に耐衝撃性を重
要視する用途においては０．５〜５μｍでなる膜厚さで
なることが好ましい。
具体的には、例えば（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ、（Ｔｉ，Ａｌ）
ＣＮ、（Ｔｉ，Ａｌ）ＮＯ、（Ｔｉ，Ａｌ）ＣＮＯ、を
挙げることができる。この硬質膜は、０．５〜１０μｍ
でなる膜厚さでなることが好ましく、特に耐衝撃性を重
要視する用途においては０．５〜５μｍでなる膜厚さで
なることが好ましい。
【００１５】これらの硬質膜は、化学量論組成または非
化学量論組成でなる場合でもよいが、特に、（Ｔｉa、
Ａｌb）ＣyＮ1-y の式［但し、式中のＴｉはチタン、
Ａｌはアルミニウムを示し、ａ、ｂはそれぞれＴｉおよ
びＡｌの原子比を、ｙは炭素の原子比を表す。また、ａ
＋ｂ＝１、０．２５≦ａ≦０．７５、 ０≦ｙ≦０．９
５の関係にある］で表わせる複合窒化物および複合炭窒
化物の中の１種以上でなることが耐剥離性から好まし
い。特に、上述の式中におけるＴｉの原子比を表わすａ
および炭素の原子比を表わすｙがそれぞれ０．４≦ａ≦
０．６および０≦ｙ≦０．２の関係にある硬質膜でなる
場合には、硬質膜の強度，耐摩耗性などの特性が優れて
いることから好ましい。
化学量論組成でなる場合でもよいが、特に、（Ｔｉa、
Ａｌb）ＣyＮ1-y の式［但し、式中のＴｉはチタン、
Ａｌはアルミニウムを示し、ａ、ｂはそれぞれＴｉおよ
びＡｌの原子比を、ｙは炭素の原子比を表す。また、ａ
＋ｂ＝１、０．２５≦ａ≦０．７５、 ０≦ｙ≦０．９
５の関係にある］で表わせる複合窒化物および複合炭窒
化物の中の１種以上でなることが耐剥離性から好まし
い。特に、上述の式中におけるＴｉの原子比を表わすａ
および炭素の原子比を表わすｙがそれぞれ０．４≦ａ≦
０．６および０≦ｙ≦０．２の関係にある硬質膜でなる
場合には、硬質膜の強度，耐摩耗性などの特性が優れて
いることから好ましい。
【００１６】本発明の高強度被覆部材は、基材との界面
側における中間層面および／または硬質膜との界面側に
おける中間層面の結晶が配向されること、および中間層
との界面側における硬質膜面の結晶が配向されることで
ある。また、本発明の高強度被覆部材のさらに好ましい
構成は、上述の結晶配向の構成と伴に、中間層と隣接す
る基材面が結晶配向されていることである。
側における中間層面および／または硬質膜との界面側に
おける中間層面の結晶が配向されること、および中間層
との界面側における硬質膜面の結晶が配向されることで
ある。また、本発明の高強度被覆部材のさらに好ましい
構成は、上述の結晶配向の構成と伴に、中間層と隣接す
る基材面が結晶配向されていることである。
【００１７】本発明の高強度被覆部材におけるヘテロエ
ピタキシャル関係は、中間層が窒化チタンおよび／また
は炭窒化チタンからなり、基材と接する中間層面の２０
％以上の（１−１１）結晶面が基材表面を構成する結晶
粒の（０００１）結晶面と平行でなり、かつ中間層の＜
１１０＞結晶方向が基材の＜１１−２０＞結晶方向と平
行であり、中間層が上記硬質膜と接する面の２０％以上
の（１−１１）結晶面が硬質膜を構成する結晶粒の（１
−１１）結晶面と平行でなり、かつ中間層の＜１１０＞
結晶方向が硬質膜の＜１１０＞結晶方向と平行であるこ
とが特に好ましい。
ピタキシャル関係は、中間層が窒化チタンおよび／また
は炭窒化チタンからなり、基材と接する中間層面の２０
％以上の（１−１１）結晶面が基材表面を構成する結晶
粒の（０００１）結晶面と平行でなり、かつ中間層の＜
１１０＞結晶方向が基材の＜１１−２０＞結晶方向と平
行であり、中間層が上記硬質膜と接する面の２０％以上
の（１−１１）結晶面が硬質膜を構成する結晶粒の（１
−１１）結晶面と平行でなり、かつ中間層の＜１１０＞
結晶方向が硬質膜の＜１１０＞結晶方向と平行であるこ
とが特に好ましい。
【００１８】また、さらに好ましい本発明の高強度被覆
部材におけるヘテロエピタキシャル関係は、上述の中間
層面の結晶配向の他に、基材の表面における結晶構造が
主として六方晶で構成され、中間層と接する基材表面の
２０％以上が（０００１）結晶面でなり、基材表面の
（０００１）結晶面が中間層を構成する結晶粒の（１−
１１）結晶面と平行でなり、かつ基材表面の＜１１−２
０＞結晶方向が中間層の＜１１０＞結晶方向と平行にな
ることである。
部材におけるヘテロエピタキシャル関係は、上述の中間
層面の結晶配向の他に、基材の表面における結晶構造が
主として六方晶で構成され、中間層と接する基材表面の
２０％以上が（０００１）結晶面でなり、基材表面の
（０００１）結晶面が中間層を構成する結晶粒の（１−
１１）結晶面と平行でなり、かつ基材表面の＜１１−２
０＞結晶方向が中間層の＜１１０＞結晶方向と平行にな
ることである。
【００１９】したがって、本発明の高強度被覆部材にお
ける基材は、六方晶炭化タングステンを主成分として含
有する超硬合金、または前述した金属，合金，セラミッ
クス焼結体の基材の表面に六方晶の薄膜でなる下地層、
具体的には、例えばＷＣ，Ｍｏ2Ｃ，Ｃｒ2Ｎ，ＴａＮ，
ＶＢ2，ＮｂＢ2，ＴａＢ2，Ｗ2Ｂ5，ＭｏＢ2，ＣｒＢ2
の１種以上の下地層を形成して用いることが好ましい。
ける基材は、六方晶炭化タングステンを主成分として含
有する超硬合金、または前述した金属，合金，セラミッ
クス焼結体の基材の表面に六方晶の薄膜でなる下地層、
具体的には、例えばＷＣ，Ｍｏ2Ｃ，Ｃｒ2Ｎ，ＴａＮ，
ＶＢ2，ＮｂＢ2，ＴａＢ2，Ｗ2Ｂ5，ＭｏＢ2，ＣｒＢ2
の１種以上の下地層を形成して用いることが好ましい。
【００２０】本発明の高強度被覆部材は、従来から市販
されているステンレス鋼，耐熱合金，高速度鋼，ダイス
鋼，Ｔｉ合金，Ａｌ合金に代表される金属部材、超硬合
金，サ−メット，粉末ハイスの焼結合金、Ａｌ2Ｏ3系焼
結体，Ｓｉ3Ｎ4系焼結体，サイアロン系焼結体，ＺｒＯ
2系焼結体のセラミックス焼結体を基材とし、好ましく
はＪＩＳ規格Ｂ４０５３の超硬合金の使用選択基準の中
で分類されているＰ２０〜Ｐ４０，Ｍ２０〜４０および
Ｋ１０〜Ｋ２０相当の超硬合金材質、特に好ましくはＰ
３０，Ｍ２０，Ｍ３０相当の超硬合金材質でなる基材を
用いればよい。この基材の表面を、必要に応じて研磨
し、超音波，有機溶剤などによる洗浄処理を行った後、
従来から行われている物理蒸着法（ＰＶＤ法），化学蒸
着法（ＣＶＤ法）またはプラズマＣＶＤ法により基材上
に被膜を被覆することにより作製することができる。
されているステンレス鋼，耐熱合金，高速度鋼，ダイス
鋼，Ｔｉ合金，Ａｌ合金に代表される金属部材、超硬合
金，サ−メット，粉末ハイスの焼結合金、Ａｌ2Ｏ3系焼
結体，Ｓｉ3Ｎ4系焼結体，サイアロン系焼結体，ＺｒＯ
2系焼結体のセラミックス焼結体を基材とし、好ましく
はＪＩＳ規格Ｂ４０５３の超硬合金の使用選択基準の中
で分類されているＰ２０〜Ｐ４０，Ｍ２０〜４０および
Ｋ１０〜Ｋ２０相当の超硬合金材質、特に好ましくはＰ
３０，Ｍ２０，Ｍ３０相当の超硬合金材質でなる基材を
用いればよい。この基材の表面を、必要に応じて研磨
し、超音波，有機溶剤などによる洗浄処理を行った後、
従来から行われている物理蒸着法（ＰＶＤ法），化学蒸
着法（ＣＶＤ法）またはプラズマＣＶＤ法により基材上
に被膜を被覆することにより作製することができる。
【００２１】基材上に被膜を被覆する場合は、必要に応
じて被覆する下地層を含めて、それぞれの膜質に応じて
ＰＶＤ法，ＣＶＤ法，またはプラズマＣＶＤ法を使い分
けることもできる。これらのうち、製造工程上から全て
の被膜を、イオンプレ−ティング法またはスパッタリン
グ法に代表されるＰＶＤ法で行うことが好ましく、この
中でもイオンプレ−ティング法、特にア−クイオンプレ
−ティング法で被覆処理することが好ましい。
じて被覆する下地層を含めて、それぞれの膜質に応じて
ＰＶＤ法，ＣＶＤ法，またはプラズマＣＶＤ法を使い分
けることもできる。これらのうち、製造工程上から全て
の被膜を、イオンプレ−ティング法またはスパッタリン
グ法に代表されるＰＶＤ法で行うことが好ましく、この
中でもイオンプレ−ティング法、特にア−クイオンプレ
−ティング法で被覆処理することが好ましい。
【００２２】本発明の高強度被覆部材における被膜をイ
オンプレ−ティング法で作製する場合について、さらに
詳述すると、金属源としては金属チタン、金属アルミニ
ウムの２種類を独立して用いてもよく、またはＴｉ−Ａ
ｌ合金を使用してもよい。金属のイオン化の方法もア−
ク放電の他、グロ−放電または高周波加熱などのいずれ
でもよい。イオンプレ−ティング法で使用するガスは、
窒化物を生成するためのガス、すなわち窒素ガスの他、
窒素を含んだアンモニアなどの化合物ガスを用いてもよ
い。この反応ガスを炉内に導入し、金属源としての金属
または合金をイオン化し、基材に負のバイアスを印加す
ると膜の結晶配向が容易となることから好ましい。
オンプレ−ティング法で作製する場合について、さらに
詳述すると、金属源としては金属チタン、金属アルミニ
ウムの２種類を独立して用いてもよく、またはＴｉ−Ａ
ｌ合金を使用してもよい。金属のイオン化の方法もア−
ク放電の他、グロ−放電または高周波加熱などのいずれ
でもよい。イオンプレ−ティング法で使用するガスは、
窒化物を生成するためのガス、すなわち窒素ガスの他、
窒素を含んだアンモニアなどの化合物ガスを用いてもよ
い。この反応ガスを炉内に導入し、金属源としての金属
または合金をイオン化し、基材に負のバイアスを印加す
ると膜の結晶配向が容易となることから好ましい。
【００２３】
【作用】本発明の高強度被覆部材は、硬質膜が被膜全体
の破壊靭性値および耐摩耗性を向上させる作用をし、か
つ中間層が基材と被膜との界面近傍に残留する応力を緩
和する作用をし、特に超硬合金でなる基材の場合には付
着性を高める作用をし、これらのヘテロエピタキシャル
関係により被覆部材全体に優れた特性を付与させている
ものである。
の破壊靭性値および耐摩耗性を向上させる作用をし、か
つ中間層が基材と被膜との界面近傍に残留する応力を緩
和する作用をし、特に超硬合金でなる基材の場合には付
着性を高める作用をし、これらのヘテロエピタキシャル
関係により被覆部材全体に優れた特性を付与させている
ものである。
【００２４】
【実施例】市販されている形状ＳＮＧＮ１２０４０８の
超硬合金（ＪＩＳ規格Ｂ４０５３のＰ３０相当材質）を
基材とし、この基材表面を有機溶剤で洗浄した後、アー
ク放電プラズマ法のチャンバー内に設置し、（逃げ面と
すくい面へ同時に被覆できる治具を用いて設置）、チャ
ンバー内を１．０×１０-6〜３．０×１０-6Ｔｏｒｒの
真空とした。次いで基材を約４５０℃、アーク放電電流
を約１００Ａに保持し、Ｎ2−Ｈ2ガス雰囲気中でＴｉ金
属を放電してＴｉＮの中間層を被覆した後、チャンバー
内を表１に示すガス組成およびガス圧に保持し、Ｔｉ−
Ａｌ合金を約３０分間放電させて（ＴｉＡｌ）Ｎおよび
（ＴｉＡｌ）ＣＮの硬質膜を合成した。蒸発源としての
Ｔｉ−Ａｌ合金は、表１に示す組成の異なるターゲット
を用いて本発明品１〜４および比較品１〜３を得た。本
発明品の被覆条件と異なる比較品の被覆条件は、被膜前
に水素処理をしなかったこと、ガス圧およびバイアス電
圧条件を従来から用いられている条件としたこと、並び
に本発明品の基材には（０００１）面の成長した板状晶
ＷＣを多量に含有させた超硬合金を用いたのに対し、比
較品の基材には本発明品と組成成分が同一である従来の
市販の超硬合金を用いたことである。
超硬合金（ＪＩＳ規格Ｂ４０５３のＰ３０相当材質）を
基材とし、この基材表面を有機溶剤で洗浄した後、アー
ク放電プラズマ法のチャンバー内に設置し、（逃げ面と
すくい面へ同時に被覆できる治具を用いて設置）、チャ
ンバー内を１．０×１０-6〜３．０×１０-6Ｔｏｒｒの
真空とした。次いで基材を約４５０℃、アーク放電電流
を約１００Ａに保持し、Ｎ2−Ｈ2ガス雰囲気中でＴｉ金
属を放電してＴｉＮの中間層を被覆した後、チャンバー
内を表１に示すガス組成およびガス圧に保持し、Ｔｉ−
Ａｌ合金を約３０分間放電させて（ＴｉＡｌ）Ｎおよび
（ＴｉＡｌ）ＣＮの硬質膜を合成した。蒸発源としての
Ｔｉ−Ａｌ合金は、表１に示す組成の異なるターゲット
を用いて本発明品１〜４および比較品１〜３を得た。本
発明品の被覆条件と異なる比較品の被覆条件は、被膜前
に水素処理をしなかったこと、ガス圧およびバイアス電
圧条件を従来から用いられている条件としたこと、並び
に本発明品の基材には（０００１）面の成長した板状晶
ＷＣを多量に含有させた超硬合金を用いたのに対し、比
較品の基材には本発明品と組成成分が同一である従来の
市販の超硬合金を用いたことである。
【００２５】こうして得た本発明品１〜４および比較品
１〜３のそれぞれの被膜は、Ｘ線回折装置、電子顕微鏡
およびＥＤＸ装置により調べて、ＴｉＮの中間層と（Ｔ
ｉ、Ａｌ）化合物の硬質膜でなることを確認した。本発
明品１〜４および比較品１〜３の硬質膜組成成分は、Ｘ
線回折装置およびグロー放電発光分析装置により解析し
て表２に示した。また、それぞれの被膜厚さは走査型電
子顕微鏡で調べて、その結果を表２に併記した。
１〜３のそれぞれの被膜は、Ｘ線回折装置、電子顕微鏡
およびＥＤＸ装置により調べて、ＴｉＮの中間層と（Ｔ
ｉ、Ａｌ）化合物の硬質膜でなることを確認した。本発
明品１〜４および比較品１〜３の硬質膜組成成分は、Ｘ
線回折装置およびグロー放電発光分析装置により解析し
て表２に示した。また、それぞれの被膜厚さは走査型電
子顕微鏡で調べて、その結果を表２に併記した。
【００２６】次いで、本発明品１〜４および比較品１〜
３を用いて、引っ掻き硬さ試験機に相当する装置により
被膜のスクラッチ試験を行い、被膜が剥離する臨界荷重
を求めて、その結果を表２に併記した。また、本発明品
１〜４および比較品１〜３を用いて、被削材：Ｓ４５Ｃ
（ＨＢ１９０）、切削速度３００ｍ／ｍｉｎ、送り：
０．５ｍｍ／ｒｅｖ、切込み：２．０ｍｍ、切削時間：
６０ｍｉｎ、乾式切削試験による切削試験を行い、それ
ぞれの平均逃げ面摩耗幅を測定し、その結果を表２に併
記した。
３を用いて、引っ掻き硬さ試験機に相当する装置により
被膜のスクラッチ試験を行い、被膜が剥離する臨界荷重
を求めて、その結果を表２に併記した。また、本発明品
１〜４および比較品１〜３を用いて、被削材：Ｓ４５Ｃ
（ＨＢ１９０）、切削速度３００ｍ／ｍｉｎ、送り：
０．５ｍｍ／ｒｅｖ、切込み：２．０ｍｍ、切削時間：
６０ｍｉｎ、乾式切削試験による切削試験を行い、それ
ぞれの平均逃げ面摩耗幅を測定し、その結果を表２に併
記した。
【００２７】基材と中間層と硬質膜とのヘテロエピタキ
シャル関係については、電子線回折法を用いて確認した
ところ、本発明品１〜４は、基材と接する中間層面の２
０％以上の（１−１１）結晶面が基材表面を構成する結
晶粒の（０００１）結晶面と平行でなり、かつ中間層の
＜１１０＞結晶方向が基材の＜１１−２０＞結晶方向と
平行であり、中間層が硬質膜と接する面の２０％以上の
（１−１１）結晶面が硬質膜を構成する結晶粒の（１−
１１）結晶面と平行でなり、かつ中間層の＜１１０＞結
晶方向が硬質膜の＜１１０＞結晶方向と平行であること
を確認した。これらの確認内容のうち各界面間の結晶配
向性（率）を表３に示した。
シャル関係については、電子線回折法を用いて確認した
ところ、本発明品１〜４は、基材と接する中間層面の２
０％以上の（１−１１）結晶面が基材表面を構成する結
晶粒の（０００１）結晶面と平行でなり、かつ中間層の
＜１１０＞結晶方向が基材の＜１１−２０＞結晶方向と
平行であり、中間層が硬質膜と接する面の２０％以上の
（１−１１）結晶面が硬質膜を構成する結晶粒の（１−
１１）結晶面と平行でなり、かつ中間層の＜１１０＞結
晶方向が硬質膜の＜１１０＞結晶方向と平行であること
を確認した。これらの確認内容のうち各界面間の結晶配
向性（率）を表３に示した。
【００２８】
【表１】
【００２９】
【表２】
【００３０】
【表３】
【００３１】
【発明の効果】本発明の高強度被覆部材は、従来の（Ｔ
ｉＡｌ）Ｎ被膜を被覆した比較品に対比して、被膜の耐
剥離性が優れており、かつ被膜自体が高硬度，高靭性，
耐摩耗性，耐酸化性，耐熱衝撃性，耐欠損性，耐溶着性
を有していることから、この分野での中速切削領域から
高速切削領域に相当する領域において、長寿命になると
いう効果がある。したがって、本発明の高強度被覆部材
は、従来の被覆部材の領域である低速切削領域から高速
切削領域に至るまで広い領域で長寿命を達成できるとい
う優れた効果があること、特にエンドミルおよびドリル
として長寿命が得られるという効果があること、また高
靭性および高硬度な被膜を被覆した被覆部材であること
から、軽切削領域から重切削領域においても優れた効果
を発揮できるものである。
ｉＡｌ）Ｎ被膜を被覆した比較品に対比して、被膜の耐
剥離性が優れており、かつ被膜自体が高硬度，高靭性，
耐摩耗性，耐酸化性，耐熱衝撃性，耐欠損性，耐溶着性
を有していることから、この分野での中速切削領域から
高速切削領域に相当する領域において、長寿命になると
いう効果がある。したがって、本発明の高強度被覆部材
は、従来の被覆部材の領域である低速切削領域から高速
切削領域に至るまで広い領域で長寿命を達成できるとい
う優れた効果があること、特にエンドミルおよびドリル
として長寿命が得られるという効果があること、また高
靭性および高硬度な被膜を被覆した被覆部材であること
から、軽切削領域から重切削領域においても優れた効果
を発揮できるものである。
Claims (8)
- 【請求項１】 基材上にチタンとアルミニウムとを含む
複合窒化物，複合炭窒化物，複合窒酸化物，複合炭窒酸
化物の中の１種以上の単層または多層でなる硬質膜が被
覆された被覆部材において、該基材と該硬質膜との間に
周期律表の４ａ，５ａ，６ａ族金属の炭化物，窒化物お
よびこれらの相互固溶体の中の１種の単層または２種以
上の多層でなる中間層を介在させて、該基材と該中間層
との界面または／および該中間層と該硬質膜との界面が
ヘテロエピタキシャル関係を保つように被覆されている
ことを特徴とする結晶配向性高強度被覆部材。 - 【請求項２】 上記硬質膜は、実質的に次式（Ａ）で表
わされるチタンとアルミニウムとを含む複合窒化物，複
合炭窒化物の１種以上の単層または多層でなることを特
徴とする請求項１記載の結晶配向性高強度被覆部材。 （Ｔｉa、Ａｌb）ＣyＮ1-y −−−−（Ａ） ［但し、（Ａ）式中のＴｉはチタン、Ａｌはアルミニウ
ムを示し、ａ、ｂはそれぞれＴｉおよびＡｌの原子比
を、ｙは炭素の原子比を表す。また、ａ＋ｂ＝１、０．
２５≦ａ≦０．７５、 ０≦ｙ≦０．９５の関係にあ
る］ - 【請求項３】 上記（Ａ）式で表わされる硬質膜は、式
中におけるａおよびｙがそれぞれ０．４≦ａ≦０．６お
よび０≦ｙ≦０．２の関係を満足することを特徴とする
請求項２記載の結晶配向性高強度被覆部材。 - 【請求項４】 上記硬質膜は、膜厚さが１〜１０μｍで
なることを特徴とする請求項１，２または３記載の結晶
配向性高強度被覆部材。 - 【請求項５】 上記中間層は、膜厚さが０．０１〜１μ
ｍでなることを特徴とする請求項１，２，３，または４
記載の結晶配向性高強度被覆部材。 - 【請求項６】 上記中間層は、窒化チタンおよび／また
は炭窒化チタンからなり、上記基材と接する該中間層面
の２０％以上の（１−１１）結晶面が該基材表面を構成
する結晶粒の（０００１）結晶面と平行でなり、かつ該
中間層の＜１１０＞結晶方向が該基材の＜１１−２０＞
結晶方向と平行であり、該中間層が上記硬質膜と接する
面の２０％以上の（１−１１）結晶面が該硬質膜を構成
する結晶粒の（１−１１）結晶面と平行でなり、かつ該
中間層の＜１１０＞結晶方向が該硬質膜の＜１１０＞結
晶方向と平行であることを特徴とする請求項１．２．
３．４または５記載の結晶配向性高強度被覆部材。 - 【請求項７】 上記基材の表面は、主として六方晶の結
晶で構成され、上記中間層と接する該基材表面の２０％
以上が（０００１）結晶面でなり、該基材表面の（００
０１）結晶面が該中間層を構成する結晶粒の（１−１
１）結晶面と平行でなり、かつ該基材表面の＜１１−２
０＞結晶方向が該中間層の＜１１０＞結晶方向と平行で
あることを特徴とする請求項１，２，３，４，５または
６記載の結晶配向性高強度被覆部材。 - 【請求項８】 上記基材は、炭化タングステンを主成分
として含有する超硬合金からなることを特徴とする請求
項１，２，３，４，５，６または７記載の結晶配向性高
強度被覆部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34830995A JP3333081B2 (ja) | 1995-12-18 | 1995-12-18 | 結晶配向性高強度被覆部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34830995A JP3333081B2 (ja) | 1995-12-18 | 1995-12-18 | 結晶配向性高強度被覆部材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09170068A true JPH09170068A (ja) | 1997-06-30 |
| JP3333081B2 JP3333081B2 (ja) | 2002-10-07 |
Family
ID=18396165
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34830995A Expired - Fee Related JP3333081B2 (ja) | 1995-12-18 | 1995-12-18 | 結晶配向性高強度被覆部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3333081B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002513087A (ja) * | 1998-04-29 | 2002-05-08 | ユナキス・トレーディング・アクチェンゲゼルシャフト | 工具または機械部品、およびそのような部品の耐摩耗性を高めるための方法 |
| WO2003037554A1 (en) * | 2001-10-30 | 2003-05-08 | Mitsubishi Materials Kobe Tools Corporation | Surface coated cemented carbide cutting tool having hard coating layer exhibiting excellent wear resistance in high speed machining |
| JP2005199420A (ja) * | 2003-12-18 | 2005-07-28 | Hitachi Tool Engineering Ltd | 硬質皮膜被覆工具 |
| JP2005205592A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-08-04 | Hitachi Tool Engineering Ltd | 硬質皮膜被覆工具 |
| US7094479B2 (en) * | 2002-01-21 | 2006-08-22 | Mitsubishi Materials Kobe Tools Corporation | Surface-coated cutting tool member having hard coating layer exhibiting superior wear resistance during high speed cutting operation and method for forming hard coating layer on surface of cutting tool |
| CN100453221C (zh) * | 2001-10-30 | 2009-01-21 | 三菱麻铁里亚尔株式会社 | 表面被覆超硬合金制的切削工具 |
| JP2012016797A (ja) * | 2010-07-09 | 2012-01-26 | Mitsubishi Materials Corp | 硬質被覆層の耐欠損性、耐剥離性に優れる表面被覆切削工具 |
| WO2022244342A1 (ja) * | 2021-05-20 | 2022-11-24 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 切削工具 |
-
1995
- 1995-12-18 JP JP34830995A patent/JP3333081B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002513087A (ja) * | 1998-04-29 | 2002-05-08 | ユナキス・トレーディング・アクチェンゲゼルシャフト | 工具または機械部品、およびそのような部品の耐摩耗性を高めるための方法 |
| CN100453221C (zh) * | 2001-10-30 | 2009-01-21 | 三菱麻铁里亚尔株式会社 | 表面被覆超硬合金制的切削工具 |
| WO2003037554A1 (en) * | 2001-10-30 | 2003-05-08 | Mitsubishi Materials Kobe Tools Corporation | Surface coated cemented carbide cutting tool having hard coating layer exhibiting excellent wear resistance in high speed machining |
| US7150925B2 (en) | 2001-10-30 | 2006-12-19 | Mitsubishi Materials Kobe Tools Corporation | Surface coated cemented carbide cutting tool having hard coating layer exhibiting excellent wear resistance in high speed machining |
| US7094479B2 (en) * | 2002-01-21 | 2006-08-22 | Mitsubishi Materials Kobe Tools Corporation | Surface-coated cutting tool member having hard coating layer exhibiting superior wear resistance during high speed cutting operation and method for forming hard coating layer on surface of cutting tool |
| JP2005199420A (ja) * | 2003-12-18 | 2005-07-28 | Hitachi Tool Engineering Ltd | 硬質皮膜被覆工具 |
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| JP2012016797A (ja) * | 2010-07-09 | 2012-01-26 | Mitsubishi Materials Corp | 硬質被覆層の耐欠損性、耐剥離性に優れる表面被覆切削工具 |
| CN102371378A (zh) * | 2010-07-09 | 2012-03-14 | 三菱综合材料株式会社 | 硬质包覆层的耐缺损层、耐剥离性优异的表面包覆切削工具 |
| WO2022244342A1 (ja) * | 2021-05-20 | 2022-11-24 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 切削工具 |
| JPWO2022244342A1 (ja) * | 2021-05-20 | 2022-11-24 | ||
| JP2023118793A (ja) * | 2021-05-20 | 2023-08-25 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 切削工具 |
| US20240198431A1 (en) * | 2021-05-20 | 2024-06-20 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Cutting tool |
| US12605770B2 (en) * | 2021-05-20 | 2026-04-21 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Cutting tool |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3333081B2 (ja) | 2002-10-07 |
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