JPH09170879A - 被処理物、特にプラスチックグラニュールのための少なくとも一つの貯蔵容器を備えた装置 - Google Patents

被処理物、特にプラスチックグラニュールのための少なくとも一つの貯蔵容器を備えた装置

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JPH09170879A
JPH09170879A JP8222756A JP22275696A JPH09170879A JP H09170879 A JPH09170879 A JP H09170879A JP 8222756 A JP8222756 A JP 8222756A JP 22275696 A JP22275696 A JP 22275696A JP H09170879 A JPH09170879 A JP H09170879A
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air
dew point
mixing valve
treated
storage container
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JP8222756A
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English (en)
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Klaus Hoeller
ヘラー クラウス
Manfred Nowak
ノヴァーク マンフレッド
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Motan Holding GmbH
Original Assignee
Motan Holding GmbH
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26DRYING
    • F26BDRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B21/00Arrangements for supplying or controlling air or other gases for drying solid materials or objects
    • F26B21/30Controlling, e.g. regulating, parameters of gas supply
    • F26B21/33Humidity
    • F26B21/331Humidity by using sorbent or hygroscopic materials, e.g. chemical substances or molecular sieves
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29BPREPARATION OR PRETREATMENT OF THE MATERIAL TO BE SHAPED; MAKING GRANULES OR PREFORMS; RECOVERY OF PLASTICS OR OTHER CONSTITUENTS OF WASTE MATERIAL CONTAINING PLASTICS
    • B29B9/00Making granules
    • B29B9/16Auxiliary treatment of granules

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Drying Of Solid Materials (AREA)
  • Drying Of Gases (AREA)
  • Processing And Handling Of Plastics And Other Materials For Molding In General (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】被処理物の残留湿度を所定の値に調整できる乾
燥装置を提供する。 【解決手段】空気露点の目標値を入力可能な制御装置
(14)を有している。制御装置(14)に、少なくと
も一つの露点測定装置(27)が接続されている。露点
測定装置(27)は、処理空気の実測空気露点を測定し
て、対応する実測信号を制御装置(14)に送る。制御
装置(14)は、処理空気が残留湿度に依存した被処理
物質(1)の比空気露点目標値に対応する露点を有する
ように、空気露点の目標値と実測値との比較に依存して
混合弁(11)を調整する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、被処理物、特にプ
ラスチックグラニュールのための少なくとも一つの貯蔵
容器を備えた装置であって、貯蔵容器に、処理空気のた
めの少なくとも一つの供給管と少なくとも一つの戻し管
とが接続され、処理空気を加熱するための少なくとも一
つの加熱装置と、少なくとも一つの送風機とが設けられ
ている前記貯蔵容器を備えた装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】乾燥技術における多数の適用例にたいし
ては、被処理物を加工プロセスから所定の残留湿度へ乾
燥させる必要がある。プラスチックグラニュールにたい
しては、例えば少なくとも0.01%の最小の残留湿度
を達成することができる。プラスチックグラニュールの
生産技術に応じては、供給の際に残留湿度が0.02%
と1.8%の間で変動することがある。しかしプラスチ
ックグラニュールを加工するためには、プラスチックグ
ラニュールを例えば正確に0.05%ないし高々0.0
6%にもたらして、プラスチックグラニュールから製造
された製造物に特定の材料特性が達成されるようにする
必要がある。
【0003】従来の装置では、約−20℃ないし−50
℃の露点をもった処理空気が発生せしめられる。処理空
気は被処理物に誘導され、被処理物から湿気を吸収す
る。貯蔵容器から流出する戻し空気は、乾燥剤マガジン
のなかへ達する。乾燥剤マガジンは処理空気から湿気を
吸収し、その結果、再び乾燥した処理空気を貯蔵容器に
供給することができる。乾燥剤マガジンがほぼ2時間な
いし5時間の作動時間にわたって飽和されるので、露点
は変動する。これにより、乾燥効率が時間とともに減少
する。この状況を、露点と乾燥時間tとの関係を示す図
3のグラフにおいて示した。乾燥過程の当初露点は非常
に低く、図示の例では−50℃以下である。処理時間ま
たは乾燥時間が経過するにつれて、乾燥剤マガジンにた
いする加湿が増し、その結果乾燥剤マガジンが処理空気
から奪い取る湿気も少なくなる。その結果、乾燥剤マガ
ジンが飽和して交換の必要が生じるまで露点が上昇す
る。図3において、Iは第1の乾燥剤マガジンの乾燥サ
イクルを表している。新しい乾燥剤マガジンを投入する
と、新たな乾燥サイクルIIが始まる。新しい乾燥剤マ
ガジンは湿気を含んでいないので、露点は急激に低下
し、再び非常に低くなる。処理時間が経過するにつれ
て、露点は装置に依存する新たな最大露点へ上昇する。
この最大露点は、通常ほぼ−20℃である。この最大露
点に達すると、乾燥剤マガジンは、新たに再生された乾
燥剤マガジンと交換される。そして、新たに乾燥サイク
ルIIIが始まる。このようにして、どの乾燥過程にお
いても、乾燥剤マガジンの飽和に依存した露点曲線34
が得られる。
【0004】この曲線を滑らかにする試みがなされた。
これを図3に曲線35で示す。この場合には、装置にい
わゆる乾燥剤蒸発機が組み込まれる。乾燥剤蒸発機は、
分子ふるいマガジンとして実施される。これにより、曲
線35は露点曲線34よりも滑らかに変化する。マガジ
ンを複数設置する技術によっても、処理時間にわたる露
点の変動幅を少なくさせることができる。
【0005】乾燥剤ホイールを用いて、連続的に低い露
点を実現させることも知られている。しかし、装置内の
加湿負荷に応じて露点が変動する。従って従来では、被
処理物をできるだけ低い露点をもった乾燥空気に特定の
時間にわたって曝して、可能な限り低い残留湿度が達成
されていた。しかしながら、被処理物の初期湿度が変動
するので、この乾燥技術ではなんら助けにならない。こ
のため、乾燥パラメータは場合によっては最悪のケース
に設定され、乾燥状態が良好な場合には、被処理物を過
剰に乾燥させることになる。従って、加工パラメータを
悪化させ、材料特性を劣化させることになる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、被処
理物の残留湿度を所定の値に目的に応じて調整するた
め、予め選定可能な露点が少なくともほぼ一定に保持さ
れるような装置を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するため、空気露点の目標値を入力可能な制御装置を
有していること、制御装置に、少なくとも一つの露点測
定装置が接続され、露点測定装置は、処理空気の実測空
気露点を測定して、対応する実測信号を制御装置に送
り、制御装置は、処理空気が残留湿度に依存した被処理
物の比空気露点目標値に対応する露点を有するように、
空気露点の目標値と実測値との比較に依存して混合弁を
調整するものである。
【0008】本発明による装置の露点測定装置を用いる
と、処理空気の実測露点が測定され、対応する実測信号
として制御装置に送られる。制御装置はこの実測値と予
め設定された露点の目標値とを比較する。両値が等しく
ない場合には、対応する調整信号が混合弁に与えられ
る。この時混合弁は、処理空気が残留湿度に依存する被
処理物の空気露点の比目標値に対応する露点を有するよ
うに調整される。これにより、処理時間に関係なく露点
を所定の値に保持することができる。従って被処理物
は、どのような初期湿度をもっているかに関係なく、所
定の残留湿度に調整される。
【0009】被処理物を乾燥させる場合には、混合弁を
介して処理空気を、乾燥されていない空気と乾燥された
空気とを特定の割合で混合して、少なくとも一つの乾燥
剤ユニットに送るのが好ましい。従って被乾燥物は、予
め選定可能な露点をコンスタントに維持した状態で、残
留湿度に依存する空気露点の比目標値に対応する露点に
調整されることができる。
【0010】被処理物の湿度が小さすぎる場合には、乾
燥されていない空気と乾燥された空気とを特定の割合で
混合した処理空気に、他の混合弁を介して湿った周囲空
気を混合させることができる。これにより、被処理物が
乾燥しすぎていても、予め選定可能な露点をコンスタン
トに維持させて、被処理物の所定の残留湿度を達成する
ことができる。
【0011】被処理物質のための処理空気に、少なくと
も一つの加湿ユニットを介して、欠如している湿気を供
給するのが有利である。
【0012】
【発明の実施形態】次に、本発明の実施形態を添付の図
面を用いて説明する。本発明による装置は、予め選定可
能な露点を少なくともほぼ一定に保持して、被乾燥物を
目的に応じて所定の残留湿度に設定できるようにするた
めに用いられる。被乾燥物(有利にはプラスチックグラ
ニュール)1は、二つの乾燥ホッパー2内にストックさ
れている。乾燥ホッパーは1個でも複数個でもよい。乾
燥ホッパー2内にはそれぞれ乾燥空気導管3が突出して
いる。乾燥空気導管3は、乾燥ホッパー2内で下方へ、
乾燥ホッパー2の底部の方向へ延びている。乾燥空気導
管3の終端は、公知の態様で乾燥ホッパー2の底部付近
まで達しており、その結果乾燥空気導管3から排出され
る乾燥空気は被乾燥物1を通って上方へ上昇する。それ
ぞれの乾燥ホッパー2の上部領域にはフィードバック管
4が突出している。フィードバック管4は、湿気を帯び
た空気をそれぞれの乾燥ホッパー2から排出させる。両
フィードバック管4は共通の戻し導管5に移行してい
る。戻し導管5は外気混合弁6に接続している。外気導
管6は供給管7に接続されている。供給管7は乾燥空気
発生装置8内へ通じている。乾燥空気発生装置8内には
二つの乾燥機マガジン9、有利には分子ふるいが配置さ
れている。本発明による装置の構成に応じては、乾燥空
気発生装置8は乾燥機マガジンを1個でも複数個でも有
していてよい。
【0013】供給管7内には送風機10が設けられてい
る。送風機10は、乾燥空気発生装置8内に配置するの
が有利である。もちろん送風機10を乾燥空気発生装置
8の外側に設けてもよい。送風機10の加圧側には、乾
燥空気発生装置8の内部に混合弁11が設けられてい
る。混合弁11は、アクチュエータ12によって調整で
きる。外気混合弁6もアクチュエータ13を備えてい
る。アクチュエータ12,13は制御装置14に接続さ
れている。制御装置14は、後述するように混合弁6,
11を所望の流量に調整する。
【0014】混合弁11には、供給導管15が接続して
いる。供給導管15は、混合弁11を一方の乾燥機マガ
ジン9と連通させている。供給導管15からは別の供給
導管15’が分岐しており、この供給導管15’は他方
の乾燥機マガジン9に通じている。
【0015】それぞれの乾燥機マガジン9の前方及び後
方には、それぞれ切換弁16ないし19が設けられてい
る。乾燥機マガジン9の同じ側に設けられている切換弁
16と17及び18と19は、導管20または21を介
して互いに連通している。切換弁16と17及び18と
19は、加熱循環系22の一部である。加熱循環系22
は乾燥空気発生装置8の内部に設けられており、乾燥空
気を加熱させる。このため加熱循環系22内には送風機
23が設けられており、送風機23の後方には加熱装置
24が配置されている。
【0016】両切換弁16と17は、乾燥空気導管3に
接続されている。乾燥空気導管3は、乾燥空気発生装置
8の内部で中間導管25を介して混合弁11と連通して
いる。
【0017】乾燥空気導管3内には、乾燥空気発生装置
8の内部に加湿ユニット26と、流動方向において後方
に配置される露点測定装置27とが設けられている。加
湿ユニット26と露点測定装置27とは、前記制御装置
14に接続されている。
【0018】フィードバック管4を介して乾燥ホッパー
2から排出され、湿気を帯びた乾燥空気は、戻し導管5
を介して混合弁11に供給される。混合弁11は制御装
置14を介して制御されるが、次のように設定されてお
り、即ち湿気を帯びた戻し空気の一部が供給導管15を
介して、図1において右側の乾燥機マガジン9に供給さ
れ、一方戻し空気の他の部分は中間導管25を介して乾
燥されずに混合個所28に達するように設定されてい
る。混合個所28は、中間導管25と乾燥空気導管3と
の接続領域によって形成される。供給導管15を通って
流れる戻し空気の成分は、乾燥機マガジン9を貫流する
際に公知の態様で乾燥せしめられ、切換弁17を介して
乾燥空気導管3に達する。図1では、乾燥機マガジン9
を通って流れる戻し空気の成分をAで示し、乾燥されず
に中間導管25を通って流動する戻し空気の成分をBで
示した。乾燥機マガジン9を通過する際に乾燥せしめら
れる戻し空気成分Aは、混合個所28において、乾燥さ
れなかった戻し空気成分Bと混合される。このようにし
て形成された乾燥空気は、乾燥空気導管3を介して乾燥
ホッパー2へ流れる。両同方向において乾燥ホッパー2
の前方には、乾燥空気導管3内にそれぞれ加熱装置2
9,30が配置されている。これらの加熱装置29,3
0を用いると、場合によっては乾燥空気を、乾燥ホッパ
ー2へ侵入する前に加熱させることができる。
【0019】混合比A/Bで形成される乾燥空気は、露
点測定装置27を通過する。露点測定装置27は、流動
方向において混合個所28の後方で乾燥空気の露点を測
定する。露点測定装置27は、対応する測定信号を制御
装置14に送る。制御装置14は、この実測露点を、該
制御装置14に入力されている目標空気露点と比較す
る。測定結果に応じて、アクチュエータ12を介して混
合弁11が調整される。乾燥空気は、乾燥空気導管3か
ら出た後、特定の残留湿度に調整されるべき被乾燥物1
を下方から上方へ貫流し、フィードバック管4を介して
再び乾燥空気発生装置8に供給される。
【0020】乾燥空気が流動方向において測定個所28
の後方で露点の所定の目標値を下回ると、制御装置14
は対応する調整信号をアクチュエータ12へ送る。アク
チュエータ12は、乾燥されずに中間導管25を貫流す
る戻し流動成分Bが増大するように混合弁11を調整す
る。これに対応して、乾燥機マガジン9を貫流する戻し
流動成分Aが減少する。このように、乾燥された戻し空
気と乾燥されなかった戻し空気の混合比が変化するの
で、露点が上昇する。露点測定装置27により常時露点
が測定されるので、制御装置14を介して自動的に所望
の露点が調整される。
【0021】これにたいして、混合個所28において乾
燥空気の露点が所定の目標値を越えると、乾燥されてい
ない戻し空気の中間導管25への供給が絞られ、乾燥さ
れるべき空気の供給導管15への流動が増えるように、
アクチュエータ12は混合弁11を調整する。このよう
に、混合個所28において、乾燥される空気にとって好
ましい混合比が生じるので、露点が低下する。
【0022】乾燥ホッパー2に供給される乾燥空気が要
求される目標露点を有しているかぎりにおいては、混合
弁11はその時に調整された位置に留まる。前記した調
整回路により露点が連続的に且つ自動的に監視され、対
応的に制御装置14に設定された目標露点が調整され
る。
【0023】加湿ユニット26を用いると、特に高い露
点をコンスタントに発生させることができる。加湿ユニ
ット26は、混合弁11と露点測定装置27との間に配
置するのが好ましい。もちろん他の個所に設けることも
でき、例えばフィードバック管4,5に設けてもよい。
混合弁11も他の適当な個所に設けてよく、例えば中間
導管25内に設けることができる。加湿ユニット26は
能動要素として蒸発器技術または他の任意の技術で実施
されている。例えば加湿ユニット26は、湿った外気を
供給するように構成してよい。加湿ユニット26は、空
気流動が乾燥機マガジン9を介して完全に絞られ、空気
の露点がまだあまり高くないときに作動される。この時
加湿ユニット26は、制御装置14から対応する信号を
得る。さらに制御装置14は、対応する調整信号をアク
チュエータ13に送る。アクチュエータ13は、湿気を
帯びた外気が吸い込まれるように外気混合弁6を調整す
る。このため、外気混合弁6を送風器10の吸い込み側
に配置するのが有利である。湿気の供給は、また露点の
目標値に応じても制御装置14で制御される。このよう
にして、非常に簡単に、特定の湿度を乾燥空気に設定さ
せることができる。
【0024】加湿ユニット26だけを、または外気混合
弁6だけを制御するようにしてもよい。例えば、加湿ユ
ニット26だけを介して、必要な湿気を乾燥空気に供給
してもよい。外気混合弁6だけを制御する場合には、送
風器10により湿った外気だけが吸い込まれ、乾燥空気
に供給される。
【0025】特定の露点に設定された乾燥空気は、乾燥
空気導管3を介して乾燥ホッパー2に供給される。乾燥
温度は、それぞれの加熱装置29,30を介して調整さ
れる。
【0026】乾燥空気発生装置8内に配置するのが好ま
しい送風機10は、所定の体積流を持った閉じた循環系
または開いた循環系で維持される。このように乾燥ホッ
パー2内では温度、露点及び空気体積流に関しコンスタ
ントな特性が与えられており、これにより被乾燥物1は
所定の残留湿度を得る。
【0027】乾燥機マガジン9は、特定の飽和度に達す
ると、再生循環系である加熱循環系22を介して公知の
態様で再び乾燥させることができる。この場合、両乾燥
機マガジン9の一方を再生循環系22を介して再生さ
せ、この間他方の乾燥機マガジン9が乾燥ホッパー2か
ら来る空気の湿気を取るようにしてもよい。その後、前
記他方の乾燥機マガジン9が戻し空気の湿気を取り、飽
和した乾燥機マガジンが再生循環系に接続されて再生さ
れるように循環系が切り替えられる。
【0028】乾燥された戻し空気と乾燥されていない戻
し空気との前記混合比A/Bにより、所望の露点を非常
に簡単に設定することができる。被乾燥物1は、従来の
ように最小の残留湿度にもたらされるのではなく、加工
に最適な残留湿度にもたらされる。これにより、循環系
には少ない湿気または水が与えられる。従って乾燥機マ
ガジン9での水の吸収はわずかであり、被乾燥物1によ
る再加湿はほとんどゼロである。また、それぞれのシス
テムにおいて漏れはそれほど大きくない。なぜなら、閉
じたシステムと大気との間の水蒸気圧の差が小さく、よ
って、誘導される水の量が減るからである。乾燥機マガ
ジン9の水の吸収が少ないため、再生頻度が減る。これ
により、この装置部分のエネルギー受容量も著しく減少
する。
【0029】本発明による装置により、最適な品質の確
保が保証されている。乾燥プロセスのパラメータが一定
であるため、加工品質も保証される。露点が制御装置1
4により制御しやすいので、加工パラメータのプロトコ
ルに記載のDIN ISO9000の条件に対応させる
ことができる。
【0030】図1の実施形態では、両乾燥ホッパー2に
たいして、混合弁11と中間導管25と加湿ユニット2
6と露点測定装置27と送風機10から成るユニットが
共通に付設されているが、さらに他の乾燥ホッパー2を
設けてもよい。また、それぞれの乾燥ホッパー2にこの
ようなユニットを付設させてもよい。さらに、このよう
なユニットを乾燥空気発生装置8の外側に設けてもよ
い。
【0031】図2の二つの曲線は、残留湿度に関して所
定の目標値に設定されるように乾燥される物質と加湿さ
れる物質とを処理する二つの可能性を示したものであ
る。上側の曲線31は、乾燥開始時において高い初期湿
度を持っている被乾燥物1の状態を示している。下側の
曲線32は、乾燥開始時に非常に低い初期湿度を持って
いる被乾燥物1の状態を示している。これら2種類の被
乾燥物1は、残留湿度に関し所定の目標値33に設定さ
れる必要がある。図2のグラフでは、パーセンテージで
示した残留湿度と時間tの関係が示されている。二つの
曲線31,32が示しているように、物質1の含水量ま
たは残留湿度は乾燥ホッパー2内での滞留時間tにわた
って双曲線状に空気の含水量に適応する。被乾燥物質1
は、温度と含水量によって、または露点によって特徴づ
けられる周囲の状態に常に適合する。空気中及び被乾燥
物質1内の蒸気圧は、平衡状態を作り出そうとする。こ
のような周囲の状態は、空気が送風機10によって常に
循環せしめられる場合、従って乾燥室全体でパラメータ
が可能な限り均一である場合にだけ維持される。被乾燥
物質に特定の残留湿度を持たせる場合には、平衡状態で
被乾燥物質1に所望の残留湿度を生じさせるような一定
の周囲状態(温度が一定で、空気の露点が一定)を形成
させる必要がある。本発明による装置により、所望の残
留湿度を簡単に且つ正確に設定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】予め選定可能な露点を一定に保持するための本
発明による装置の構成図である。
【図2】プラスチックグラニュールを所定の残留湿度に
調整するための調整曲線の一例を示すグラフである。
【図3】従来の乾燥装置における乾燥空気の露点の変動
幅を示すグラフである。
【符号の説明】
1 被乾燥物 2 乾燥ホッパー 3 乾燥空気導管 4 フィードバッ
ク管 5 戻し導管 6 外気混合弁 8 乾燥空気発生装置 9 乾燥機マガジ
ン 10 送風機 11 混合弁 14 制御装置 25 中間導管 26 加湿ユニット 27 露点測定装置 28 混合個所

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被処理物、特にプラスチックグラニュー
    ルのための少なくとも一つの貯蔵容器を備えた装置であ
    って、貯蔵容器に、処理空気のための少なくとも一つの
    供給管と少なくとも一つの戻し管とが接続され、処理空
    気を加熱するための少なくとも一つの加熱装置と、少な
    くとも一つの送風機とが設けられている前記貯蔵容器を
    備えた装置において、 空気露点の目標値を入力可能な制御装置(14)を有し
    ていること、 制御装置(14)に、少なくとも一つの露点測定装置
    (27)が接続され、露点測定装置(27)は、処理空
    気の実測空気露点を測定して、対応する実測信号を制御
    装置(14)に送り、制御装置(14)は、処理空気が
    残留湿度に依存した被処理物(1)の比空気露点目標値
    に対応する露点を有するように、空気露点の目標値と実
    測値との比較に依存して混合弁(11)を調整すること
    を特徴とする装置。
  2. 【請求項2】 混合弁(11)が戻し管(4,5)の中
    に設けられていることを特徴とする、請求項1に記載の
    装置。
  3. 【請求項3】 混合弁(11)に、供給管(3)に開口
    する中間導管(25)が接続されていることを特徴とす
    る、請求項1または2に記載の装置。
  4. 【請求項4】 戻し管(4,5)が、少なくとも一つの
    乾燥剤ユニット部(9)に接続されていることを特徴と
    する、請求項1から3までのいずれか1つに記載の装
    置。
  5. 【請求項5】 中間導管(25)が供給管(3)に開口
    している領域は、乾燥されていない空気と乾燥剤ユニッ
    ト部(9)で乾燥された空気とが処理空気に混合される
    混合個所(28)を形成していることを特徴とする、請
    求項3または4に記載の装置。
  6. 【請求項6】 被処理物(1)を乾燥させるため、貯蔵
    容器(2)から来る戻し空気が中間導管(25)内へ達
    し、そして乾燥剤ユニット部(9)に達することによ
    り、処理空気が目標空気露点に少なくともほぼ対応する
    ような実測空気露点を有するように、混合弁(11)が
    制御装置(14)により調整可能であることを特徴とす
    る、請求項5に記載の装置。
  7. 【請求項7】 戻し管(4,5)に、制御装置(14)
    と接続される少なくとも一つの他の混合弁(6)が設け
    られていることを特徴とする、請求項1から6までのい
    ずれか1つに記載の装置。
  8. 【請求項8】 前記他の混合弁(6)が、送風機(1
    0)の吸い込み側に配置されていることを特徴とする、
    請求項7に記載の装置。
  9. 【請求項9】 被処理物(1)を加湿するため、処理空
    気に湿った外気を混合可能であるように前記他の混合弁
    (6)が調整可能であることを特徴とする、請求項7ま
    たは8に記載の装置。
  10. 【請求項10】 少なくとも一つの加湿ユニット(2
    6)が設けられていることを特徴とする、請求項1から
    9までのいずれか1つに記載の装置。
  11. 【請求項11】 加湿ユニット(26)が供給管(3)
    に付設されていることを特徴とする、請求項10に記載
    の装置。
  12. 【請求項12】 加湿ユニット(26)が、処理空気の
    流動方向において露点測定装置(27)の前方に配置さ
    れていることを特徴とする、請求項10または11に記
    載の装置。
  13. 【請求項13】 複数の貯蔵容器(2)が設けられ、そ
    れぞれの貯蔵容器(2)に、混合弁(11)と中間導管
    (25)と加湿ユニット(26)と露点測定装置(2
    7)と送風機(10)から成るユニットが付設されてい
    ることを特徴とする、請求項1から12までのいずれか
    1つに記載の装置。
  14. 【請求項14】 混合弁(11)と中間導管(25)と
    加湿ユニット(26)と露点測定装置(27)と送風機
    (10)から成るユニットが、複数の貯蔵容器(2)か
    ら成る貯蔵容器群に付設されていることを特徴とする、
    請求項1から12までのいずれか1つに記載の装置。
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