JPH09170926A - 角速度センサ - Google Patents
角速度センサInfo
- Publication number
- JPH09170926A JPH09170926A JP7332983A JP33298395A JPH09170926A JP H09170926 A JPH09170926 A JP H09170926A JP 7332983 A JP7332983 A JP 7332983A JP 33298395 A JP33298395 A JP 33298395A JP H09170926 A JPH09170926 A JP H09170926A
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- vibrator
- angular velocity
- velocity sensor
- electrode
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 各電気機器に使用される角速度センサにおい
て、作りやすく、温度特性にも優れ、小型、低コスト、
高性能化を実現することを目的とする。 【解決手段】 圧電体に少なくとも３つの切り込みを設
けて少なくとも２本のアームを形成し、一方のアームに
駆動電極を形成し、他方のアームにモニタ電極を形成し
てなる音叉振動子を局在させた振動子と、前記振動子を
保持する保持板と、前記振動子を駆動し、角速度を検出
する回路部と、前記振動子と前記回路部を接続する接続
手段とを備えることによって、振動子自体を簡易に作る
ことができ、駆動効率も良く、温度特性にも優れ、角速
度センサ全体の小型、低コスト、高性能化を実現するこ
とができる。
て、作りやすく、温度特性にも優れ、小型、低コスト、
高性能化を実現することを目的とする。 【解決手段】 圧電体に少なくとも３つの切り込みを設
けて少なくとも２本のアームを形成し、一方のアームに
駆動電極を形成し、他方のアームにモニタ電極を形成し
てなる音叉振動子を局在させた振動子と、前記振動子を
保持する保持板と、前記振動子を駆動し、角速度を検出
する回路部と、前記振動子と前記回路部を接続する接続
手段とを備えることによって、振動子自体を簡易に作る
ことができ、駆動効率も良く、温度特性にも優れ、角速
度センサ全体の小型、低コスト、高性能化を実現するこ
とができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ナビゲーションシ
ステムに使用されている自動車の回転時の角速度を検出
する角速度センサに関するものである。
ステムに使用されている自動車の回転時の角速度を検出
する角速度センサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、角速度センサの構造としては、特
開平５−４５１６８号公報に開示されている。その角速
度センサの構造は図６に示すように保持板３上に振動子
１を搭載したものである。角速度を検出する振動子１は
図７に示すように圧電バイモルフからなる駆動電極１
０、モニタ電極１１、検出電極１２を音叉型の金属板に
接着剤により貼合せて構成され、駆動電極１０とモニタ
電極１１は検出電極１２と直行結合させて連結ブロック
１３にて連結して音叉構造としたものである。２は支持
ピンで、振動子１を安定に支持するもので、振動子１の
底部にある連結ブロック１３を一点で支持した構成にな
っている。保持板３上に支持ピン２を固定し、振動子１
の不要な振動成分あるいはセンサの外側からの外乱振動
成分を吸収する。４は回路部で、振動子１を駆動し、角
速度を検出するものである。５は接続手段としてのフレ
キシブル基板で、振動子１と回路部４の信号ラインを結
合するものである。６はリード線で、振動子１とフレキ
シブル基板５を配線するものである。
開平５−４５１６８号公報に開示されている。その角速
度センサの構造は図６に示すように保持板３上に振動子
１を搭載したものである。角速度を検出する振動子１は
図７に示すように圧電バイモルフからなる駆動電極１
０、モニタ電極１１、検出電極１２を音叉型の金属板に
接着剤により貼合せて構成され、駆動電極１０とモニタ
電極１１は検出電極１２と直行結合させて連結ブロック
１３にて連結して音叉構造としたものである。２は支持
ピンで、振動子１を安定に支持するもので、振動子１の
底部にある連結ブロック１３を一点で支持した構成にな
っている。保持板３上に支持ピン２を固定し、振動子１
の不要な振動成分あるいはセンサの外側からの外乱振動
成分を吸収する。４は回路部で、振動子１を駆動し、角
速度を検出するものである。５は接続手段としてのフレ
キシブル基板で、振動子１と回路部４の信号ラインを結
合するものである。６はリード線で、振動子１とフレキ
シブル基板５を配線するものである。
【０００３】以上のように構成された角速度センサにつ
いて以下その動作について説明する。図６において、セ
ンサの構成要素である圧電バイモルフは、その両面間に
電圧を印加すると圧電バイモルフ面と垂直の方向にたわ
み、逆に外力を加えて圧電バイモルフ面と垂直方向にた
わませると、圧電バイモルフの両面間に電圧が発生する
という電気−機械変換特性をもっている。角速度センサ
は、この圧電バイモルフの性質と、運動している物体に
角速度が加わるとその運動している方向と直角な方向に
“コリオリの力”が発生するという原理とを巧みに利用
したものである。
いて以下その動作について説明する。図６において、セ
ンサの構成要素である圧電バイモルフは、その両面間に
電圧を印加すると圧電バイモルフ面と垂直の方向にたわ
み、逆に外力を加えて圧電バイモルフ面と垂直方向にた
わませると、圧電バイモルフの両面間に電圧が発生する
という電気−機械変換特性をもっている。角速度センサ
は、この圧電バイモルフの性質と、運動している物体に
角速度が加わるとその運動している方向と直角な方向に
“コリオリの力”が発生するという原理とを巧みに利用
したものである。
【０００４】まず、振動子１の駆動電極１０にのみ電圧
を印加、振動させると、連結ブロック１３を介してモニ
タ電極１１が振動し音叉構造全体を共振させることがで
きる。この振動に対して回路部４は振動帰還制御方式を
採用しており、モニタ電極１１の振動振幅・位相をモニ
タすることで印加電圧を制御し、駆動振動周波数を安定
にしている。
を印加、振動させると、連結ブロック１３を介してモニ
タ電極１１が振動し音叉構造全体を共振させることがで
きる。この振動に対して回路部４は振動帰還制御方式を
採用しており、モニタ電極１１の振動振幅・位相をモニ
タすることで印加電圧を制御し、駆動振動周波数を安定
にしている。
【０００５】センサがこの安定な振動状態にあるとき、
図に示したようなセンサ幅方向に回転運動すなわち角速
度ωが生ずると、検知素子１２の振動方向と直角の方向
にコリオリの力Ｆcが生ずる。
図に示したようなセンサ幅方向に回転運動すなわち角速
度ωが生ずると、検知素子１２の振動方向と直角の方向
にコリオリの力Ｆcが生ずる。
【０００６】コリオリの力：Ｆc＝２ｍ×υ×ω ここに、ω：回転の角速度、ｍ：質点の質量、υ：質点
の速度 コリオリの力によってたわみを生じた検出電極１２から
は、たわみに応じた電力が出力される。したがって、こ
の電圧を計測することで角速度の検出ができるものであ
る。
の速度 コリオリの力によってたわみを生じた検出電極１２から
は、たわみに応じた電力が出力される。したがって、こ
の電圧を計測することで角速度の検出ができるものであ
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この角
速度センサにおいては、小型、低コスト、高性能化が要
求されており、従来の構成では、振動子１自体大型で複
雑な構造であるのと、振動子１と振動子１を支持する支
持ピン２とは、それぞれ異なった材料であるため、これ
らを接合する手段も困難で、温度特性の影響も大きいも
のであった。また、センサ部と回路部は完全に分離され
ていることから、これ以上の小型、低コスト、高精度化
を満足することが困難であることが推測される。
速度センサにおいては、小型、低コスト、高性能化が要
求されており、従来の構成では、振動子１自体大型で複
雑な構造であるのと、振動子１と振動子１を支持する支
持ピン２とは、それぞれ異なった材料であるため、これ
らを接合する手段も困難で、温度特性の影響も大きいも
のであった。また、センサ部と回路部は完全に分離され
ていることから、これ以上の小型、低コスト、高精度化
を満足することが困難であることが推測される。
【０００８】本発明はこのような角速度センサにおい
て、小型、低コスト、高性能化を可能にする角速度セン
サを提供することを目的とするものである。
て、小型、低コスト、高性能化を可能にする角速度セン
サを提供することを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明の角速度センサは、圧電体に少なくとも３つの
切り込みを設けて少なくとも２本のアームを形成し、一
方のアームに駆動電極を形成し、他方のアームにモニタ
電極を形成してなる音叉振動子を局在させた振動子と、
前記振動子を保持する保持板と、前記振動子を駆動し、
角速度を検出する回路部と、前記振動子と前記回路部を
接続する接続手段とを備えたものであり、これにより温
度特性にも優れ、角速度センサ全体の小型、低コスト、
高性能化を実現することができる。
に本発明の角速度センサは、圧電体に少なくとも３つの
切り込みを設けて少なくとも２本のアームを形成し、一
方のアームに駆動電極を形成し、他方のアームにモニタ
電極を形成してなる音叉振動子を局在させた振動子と、
前記振動子を保持する保持板と、前記振動子を駆動し、
角速度を検出する回路部と、前記振動子と前記回路部を
接続する接続手段とを備えたものであり、これにより温
度特性にも優れ、角速度センサ全体の小型、低コスト、
高性能化を実現することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、圧電体に少なくとも３つの切り込みを設けて少なく
とも２本のアームを形成し、一方のアームに駆動電極を
形成し、他方のアームにモニタ電極を形成してなる音叉
振動子を局在させた振動子と、前記振動子を保持する保
持板と、前記振動子を駆動し、角速度を検出する回路部
と、前記振動子と前記回路部を接続する接続手段とを備
えた角速度センサであり、前記振動子は振動子自体簡易
に作ることができ、従来の支持ピンが不要で、高精度な
接合手段も省略することができるので、温度特性などの
問題点をも解決することができ、センサ部の小型、低コ
スト、高精度化を実現することができる。
は、圧電体に少なくとも３つの切り込みを設けて少なく
とも２本のアームを形成し、一方のアームに駆動電極を
形成し、他方のアームにモニタ電極を形成してなる音叉
振動子を局在させた振動子と、前記振動子を保持する保
持板と、前記振動子を駆動し、角速度を検出する回路部
と、前記振動子と前記回路部を接続する接続手段とを備
えた角速度センサであり、前記振動子は振動子自体簡易
に作ることができ、従来の支持ピンが不要で、高精度な
接合手段も省略することができるので、温度特性などの
問題点をも解決することができ、センサ部の小型、低コ
スト、高精度化を実現することができる。
【００１１】本発明の請求項２に記載の発明は、前記振
動子の中間層に検出電極を形成した角速度センサであ
り、対向する電極が平行であり、有効な電界を圧電体に
印加することができ、前記駆動電極の駆動効率を上げる
ことができる。
動子の中間層に検出電極を形成した角速度センサであ
り、対向する電極が平行であり、有効な電界を圧電体に
印加することができ、前記駆動電極の駆動効率を上げる
ことができる。
【００１２】本発明の請求項３に記載の発明は、前記圧
電体の切り込みにおいて、中心の切り込み深さを他の切
り込み深さよりも浅くした角速度センサであり、振動子
の振動モードを安定にすることができる。
電体の切り込みにおいて、中心の切り込み深さを他の切
り込み深さよりも浅くした角速度センサであり、振動子
の振動モードを安定にすることができる。
【００１３】本発明の請求項４に記載の発明は、前記圧
電体が板状である角速度センサであり、前記振動子を薄
くでき、小型化を実現することができる。
電体が板状である角速度センサであり、前記振動子を薄
くでき、小型化を実現することができる。
【００１４】本発明の請求項５に記載の発明は、前記駆
動電極と前記モニタ電極と前記検出電極が、リード配線
を兼ねる角速度センサであって、従来のリード線の配線
工程を無くし簡易に振動子を作ることができ、低コスト
化と信頼性試験におけるリード配線の断線等の不具合も
減少させることができる。
動電極と前記モニタ電極と前記検出電極が、リード配線
を兼ねる角速度センサであって、従来のリード線の配線
工程を無くし簡易に振動子を作ることができ、低コスト
化と信頼性試験におけるリード配線の断線等の不具合も
減少させることができる。
【００１５】本発明の請求項６に記載の発明は、前記保
持板が、前記振動子の周辺部を固定する窪み部と、前記
振動子の音叉振動子の部分に対向する部分を窪ませる
か、あるいは打ち抜き成形した空間部を備えた角速度セ
ンサであり、振動子と保持板を合わせた厚みを減らし、
センサ全体の薄型化（小型化）を実現することができ
る。
持板が、前記振動子の周辺部を固定する窪み部と、前記
振動子の音叉振動子の部分に対向する部分を窪ませる
か、あるいは打ち抜き成形した空間部を備えた角速度セ
ンサであり、振動子と保持板を合わせた厚みを減らし、
センサ全体の薄型化（小型化）を実現することができ
る。
【００１６】本発明の請求項７に記載の発明は、前記保
持板に、前記回路部を形成して一体化した角速度センサ
であり、センサ全体の薄型化（小型化）を実現すること
ができる。
持板に、前記回路部を形成して一体化した角速度センサ
であり、センサ全体の薄型化（小型化）を実現すること
ができる。
【００１７】以下、本発明の実施の形態について、図１
〜図５を用いて説明する。 （実施の形態１）図１は本発明の第１の実施形態におけ
る角速度センサ全体の構成を示した斜視図で、図２は振
動子の詳細を示す斜視図である。なお、本実施形態にお
いて、従来の装置と同じ構成には同一番号を付けて詳細
な説明を省略する。
〜図５を用いて説明する。 （実施の形態１）図１は本発明の第１の実施形態におけ
る角速度センサ全体の構成を示した斜視図で、図２は振
動子の詳細を示す斜視図である。なお、本実施形態にお
いて、従来の装置と同じ構成には同一番号を付けて詳細
な説明を省略する。
【００１８】図１において、２１は振動子であり、従来
の振動子１とは構造が異なるが、基本的には同様な原理
をもって動作する。この振動子２１は図２のように二枚
の圧電体２２ａ，２２ｂを検出電極２３をはさんで貼合
せた積層構造の圧電体に中心の切り込み深さを他の切り
込み深さよりも浅くした３つの切り込みを設けて２本の
アーム２４ａ，２４ｂを形成し、一方のアーム２４ａに
駆動電極２５、他方のアーム２４ｂにモニタ電極２６と
して形成し、音叉振動子２７を局在させた構造となって
おり、全体として板状になっている。ここで、上記駆動
電極２５、モニタ電極２６、検出電極２３は、Ａｇ−Ｐ
ｇ系導電ペーストにより形成し、焼き付け処理した。
尚、上記駆動電極２５、モニタ電極２６に関しては金蒸
着でもよい。
の振動子１とは構造が異なるが、基本的には同様な原理
をもって動作する。この振動子２１は図２のように二枚
の圧電体２２ａ，２２ｂを検出電極２３をはさんで貼合
せた積層構造の圧電体に中心の切り込み深さを他の切り
込み深さよりも浅くした３つの切り込みを設けて２本の
アーム２４ａ，２４ｂを形成し、一方のアーム２４ａに
駆動電極２５、他方のアーム２４ｂにモニタ電極２６と
して形成し、音叉振動子２７を局在させた構造となって
おり、全体として板状になっている。ここで、上記駆動
電極２５、モニタ電極２６、検出電極２３は、Ａｇ−Ｐ
ｇ系導電ペーストにより形成し、焼き付け処理した。
尚、上記駆動電極２５、モニタ電極２６に関しては金蒸
着でもよい。
【００１９】音叉振動子２７は電界強度３ｋＶ／ｍｍで
分極した。上記音叉振動子２７を局在させた振動子２１
は、音叉振動子２７の部分のみが振動し、その他の部分
は振動しない。２８は上記振動子２１の振動しない部分
に設けた接続パッドであり、駆動電極２５にリード配線
を兼ねて接続されている。２９は同様に上記振動子２１
の振動しない部分に設けた接続パッドであり、モニタ電
極２６にリード配線を兼ねて接続されている。３０は同
様に上記振動子２１の振動しない部分に設けた電極パッ
ドであり、検出電極２３にリード配線を兼ねて接続され
ている。
分極した。上記音叉振動子２７を局在させた振動子２１
は、音叉振動子２７の部分のみが振動し、その他の部分
は振動しない。２８は上記振動子２１の振動しない部分
に設けた接続パッドであり、駆動電極２５にリード配線
を兼ねて接続されている。２９は同様に上記振動子２１
の振動しない部分に設けた接続パッドであり、モニタ電
極２６にリード配線を兼ねて接続されている。３０は同
様に上記振動子２１の振動しない部分に設けた電極パッ
ドであり、検出電極２３にリード配線を兼ねて接続され
ている。
【００２０】３１は上記振動子２１を保持する保持板で
あり、上記振動子２１の周辺部を固定する窪み部３２を
有し、かつ上記振動子２１の音叉振動子２７に対向する
部分に窪みを形成して音叉振動子２７の振動に影響しな
い空間部３３を有している。そして、上記保持板３１の
窪み部３２に上記振動子２１が装着され接着剤によって
固定されている。
あり、上記振動子２１の周辺部を固定する窪み部３２を
有し、かつ上記振動子２１の音叉振動子２７に対向する
部分に窪みを形成して音叉振動子２７の振動に影響しな
い空間部３３を有している。そして、上記保持板３１の
窪み部３２に上記振動子２１が装着され接着剤によって
固定されている。
【００２１】以上のように構成された角速度センサにつ
いて、左のアームには駆動電極２５、右のアームにはモ
ニタ電極２６、振動子２１の厚み側の中心部には検出電
極２３があり、従来装置で説明したのと同様の原理で動
作するため、ここでの詳しい説明は省略する。さて、セ
ンサ部においては、振動子２１は圧電体に中心の切り込
み深さを他の切り込み深さよりも浅くした３つの切り込
みを設けて音叉振動子２７を局在させた構造であるの
で、従来の支持ピン２も必要なく、振動子２１の周りの
振動しない部分を保持板３１にシリコン樹脂やエポキシ
樹脂の接着剤等で固定するだけでよいので、薄い形状に
することができ、振動子２１自体が作りやすく、コスト
も低減でき、音叉自体同じ材料で接着剤も使わないので
温度特性にも優れた角速度センサを実現することができ
る。
いて、左のアームには駆動電極２５、右のアームにはモ
ニタ電極２６、振動子２１の厚み側の中心部には検出電
極２３があり、従来装置で説明したのと同様の原理で動
作するため、ここでの詳しい説明は省略する。さて、セ
ンサ部においては、振動子２１は圧電体に中心の切り込
み深さを他の切り込み深さよりも浅くした３つの切り込
みを設けて音叉振動子２７を局在させた構造であるの
で、従来の支持ピン２も必要なく、振動子２１の周りの
振動しない部分を保持板３１にシリコン樹脂やエポキシ
樹脂の接着剤等で固定するだけでよいので、薄い形状に
することができ、振動子２１自体が作りやすく、コスト
も低減でき、音叉自体同じ材料で接着剤も使わないので
温度特性にも優れた角速度センサを実現することができ
る。
【００２２】また、図２において、駆動電極２５とモニ
タ電極２６をＡｇ−Ｐｇ系の導電ペーストで印刷焼き付
け、あるいは金蒸着の際に回路部４との接続手段として
のフレキシブル基板５とのリード配線を兼ねることによ
って、フレキシブル基板５とのリード線による配線が不
要となり、センサ部と回路部の接合が非常に簡易とな
り、コスト低減を図ることができる。
タ電極２６をＡｇ−Ｐｇ系の導電ペーストで印刷焼き付
け、あるいは金蒸着の際に回路部４との接続手段として
のフレキシブル基板５とのリード配線を兼ねることによ
って、フレキシブル基板５とのリード線による配線が不
要となり、センサ部と回路部の接合が非常に簡易とな
り、コスト低減を図ることができる。
【００２３】さらに、図３（ａ），（ｂ）において、４
０は、駆動電極２５に電圧を印加したときに発生する電
界を表しており、図３（ａ）のような電極配置により駆
動電極２５に電圧を印加させて電界４０を発生させるも
のと比べ、図３（ｂ）のように検出電極２３を振動子２
１の厚み側の中央部に設けることによって、対向する電
極が平行であり、有効な電界４０を圧電体に印加するこ
とができ、駆動電極２５による駆動効率を上げることが
できる。
０は、駆動電極２５に電圧を印加したときに発生する電
界を表しており、図３（ａ）のような電極配置により駆
動電極２５に電圧を印加させて電界４０を発生させるも
のと比べ、図３（ｂ）のように検出電極２３を振動子２
１の厚み側の中央部に設けることによって、対向する電
極が平行であり、有効な電界４０を圧電体に印加するこ
とができ、駆動電極２５による駆動効率を上げることが
できる。
【００２４】（実施の形態２）図４，５は本発明の角速
度センサの第２の実施形態を示した斜視図である。な
お、図４，５に示す本実施形態の角速度センサにおい
て、従来の装置と同一構成部分には同一番号を付けて詳
細な説明を省略する。図４において、３４は保持板３１
と回路部４を接合するネジであり、保持板３１は回路部
４が接合される部分をなるべく小さく窪ませて空間部３
５を形成し、回路部４をネジ３４で接合して一体化する
ことにより、センサ全体の小型化を実現することができ
る。また、図５においては、回路部４として基板の厚さ
が薄いフレキシブル基板４１を利用し、保持板３１の振
動子２１が搭載されない外周に巻き付けて接合し、一体
化することにより、更にセンサ全体の小型化を実現する
ことができる。
度センサの第２の実施形態を示した斜視図である。な
お、図４，５に示す本実施形態の角速度センサにおい
て、従来の装置と同一構成部分には同一番号を付けて詳
細な説明を省略する。図４において、３４は保持板３１
と回路部４を接合するネジであり、保持板３１は回路部
４が接合される部分をなるべく小さく窪ませて空間部３
５を形成し、回路部４をネジ３４で接合して一体化する
ことにより、センサ全体の小型化を実現することができ
る。また、図５においては、回路部４として基板の厚さ
が薄いフレキシブル基板４１を利用し、保持板３１の振
動子２１が搭載されない外周に巻き付けて接合し、一体
化することにより、更にセンサ全体の小型化を実現する
ことができる。
【００２５】尚、上記の実施形態では３つの切り込みに
より２本のアームを形成した場合について説明したが、
それ以上のアーム本数としても良いことは言うまでもな
い。
より２本のアームを形成した場合について説明したが、
それ以上のアーム本数としても良いことは言うまでもな
い。
【００２６】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、圧電体に
少なくとも３つの切り込みを設けて少なくとも２本のア
ームを形成し、一方のアームに駆動電極を形成し、他方
のアームにモニタ電極を形成してなる音叉振動子を局在
させた振動子と、前記振動子を保持する保持板と、前記
振動子を駆動し、角速度を検出する回路部と、前記振動
子と前記回路部を接続する接続手段とを備えた角速度セ
ンサであるため、振動子自体を簡易に作ることができ、
駆動効率も良く、温度特性にも優れ、角速度センサ全体
の小型、低コスト、高性能化を実現することができる。
少なくとも３つの切り込みを設けて少なくとも２本のア
ームを形成し、一方のアームに駆動電極を形成し、他方
のアームにモニタ電極を形成してなる音叉振動子を局在
させた振動子と、前記振動子を保持する保持板と、前記
振動子を駆動し、角速度を検出する回路部と、前記振動
子と前記回路部を接続する接続手段とを備えた角速度セ
ンサであるため、振動子自体を簡易に作ることができ、
駆動効率も良く、温度特性にも優れ、角速度センサ全体
の小型、低コスト、高性能化を実現することができる。
【図１】本発明の第１の実施形態による角速度センサを
示す斜視図
示す斜視図
【図２】同角速度センサの振動子を示す斜視図
【図３】（ａ），（ｂ）同角速度センサの検出電極の配
置による電界印加状況を示す図
置による電界印加状況を示す図
【図４】本発明の第２の実施形態による角速度センサを
示す斜視図
示す斜視図
【図５】同斜視図
【図６】従来の角速度センサを示す斜視図
【図７】同角速度センサの振動子を示す斜視図
１，２１ 振動子 ２ 支持ピン ３，３１ 保持板 ４ 回路部 ５ 接続手段（フレキシブル基板） ６ リード線 １０，２５ 駆動電極 １１，２６ モニタ電極 １２，２３ 検出電極 １３ 連結ブロック ３４ ネジ ４０ 電界
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 寺田 二郎 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (7)
- 【請求項１】 圧電体に少なくとも３つの切り込みを設
けて少なくとも２本のアームを形成し、一方のアームに
駆動電極を形成し、他方のアームにモニタ電極を形成し
てなる音叉振動子を局在させた振動子と、前記振動子を
保持する保持板と、前記振動子を駆動し、角速度を検出
する回路部と、前記振動子と前記回路部を接続する接続
手段とを備えた角速度センサ。 - 【請求項２】 前記振動子の中間層に検出電極を形成し
たことを特徴とする請求項１記載の角速度センサ。 - 【請求項３】 前記圧電体の切り込みは、中心の切り込
み深さが他の切り込み深さよりも浅いことを特徴とする
請求項１記載の角速度センサ。 - 【請求項４】 前記圧電体は、板状のものであることを
特徴とする請求項１記載の角速度センサ。 - 【請求項５】 前記駆動電極と前記モニタ電極と前記検
出電極は、リード配線を兼ねたことを特徴とする請求項
１記載の角速度センサ。 - 【請求項６】 前記保持板は、前記振動子の周辺部を固
定する窪み部と、さらに前記振動子の音叉振動子に対向
する部分を窪ませるか、あるいは打ち抜き成形した空間
部を備えたことを特徴とする請求項１記載の角速度セン
サ。 - 【請求項７】 前記保持板は、前記回路部を形成して一
体化したことを特徴とする請求項６記載の角速度セン
サ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7332983A JPH09170926A (ja) | 1995-12-21 | 1995-12-21 | 角速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7332983A JPH09170926A (ja) | 1995-12-21 | 1995-12-21 | 角速度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09170926A true JPH09170926A (ja) | 1997-06-30 |
Family
ID=18261003
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7332983A Pending JPH09170926A (ja) | 1995-12-21 | 1995-12-21 | 角速度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09170926A (ja) |
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