JPH09179083A - 光通信用外部変調器 - Google Patents
光通信用外部変調器Info
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- JPH09179083A JPH09179083A JP33506995A JP33506995A JPH09179083A JP H09179083 A JPH09179083 A JP H09179083A JP 33506995 A JP33506995 A JP 33506995A JP 33506995 A JP33506995 A JP 33506995A JP H09179083 A JPH09179083 A JP H09179083A
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- JP
- Japan
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- optical fiber
- substrate
- piezoelectric element
- external modulator
- optical communication
- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 基板中における弾性波の共鳴周波数間隔に制
限されることのない、広帯域伝送の可能な光通信用外部
変調器を提供する。 【解決手段】 光ファイバ１と、その光ファイバ１のク
ラッド層とほぼ同じ音響インピーダンスを有する基板１
５と、その基板１５の一方の面に下部電極３、圧電膜
５、上部電極７の順で積層された圧電素子部９とからな
り、光ファイバ１は上部電極７に接合され、且つ基板１
５の他方の面は光ファイバ１の長手方向に一方の面に対
して平行な異なる複数の厚みを有する平面となってい
る。
限されることのない、広帯域伝送の可能な光通信用外部
変調器を提供する。 【解決手段】 光ファイバ１と、その光ファイバ１のク
ラッド層とほぼ同じ音響インピーダンスを有する基板１
５と、その基板１５の一方の面に下部電極３、圧電膜
５、上部電極７の順で積層された圧電素子部９とからな
り、光ファイバ１は上部電極７に接合され、且つ基板１
５の他方の面は光ファイバ１の長手方向に一方の面に対
して平行な異なる複数の厚みを有する平面となってい
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバ中を伝
搬する光を変調する光通信用外部変調器に関するもので
ある。
搬する光を変調する光通信用外部変調器に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】光通信等に使用される光変調器としては
従来、光源である半導体レーザー素子または発光ダイオ
ード等への印加電流を変化させて、その出力光を直接変
調する直接変調方式のものが一般的であったが、最近、
光ファイバ中を伝搬する直流光源からの光に外部から信
号を印加し、間接的に変調する光通信用外部変調器が開
発されている。
従来、光源である半導体レーザー素子または発光ダイオ
ード等への印加電流を変化させて、その出力光を直接変
調する直接変調方式のものが一般的であったが、最近、
光ファイバ中を伝搬する直流光源からの光に外部から信
号を印加し、間接的に変調する光通信用外部変調器が開
発されている。
【０００３】このような光通信用外部変調器の一例とし
ては、基板材料にニオブ酸リチウム等を使用し、かつ電
気光学効果を用いた光導波路型のものがある。しかしこ
のタイプの光通信用外部変調器は、高周波領域での変調
特性には優れているが、温度依存性が大きい上に非常に
高価であるという欠点を有している。
ては、基板材料にニオブ酸リチウム等を使用し、かつ電
気光学効果を用いた光導波路型のものがある。しかしこ
のタイプの光通信用外部変調器は、高周波領域での変調
特性には優れているが、温度依存性が大きい上に非常に
高価であるという欠点を有している。
【０００４】そこで、このような欠点を解消するものと
して音響光学効果を利用した図８または図９のような光
通信用外部変調器が提案されている。図８の光通信用外
部変調器は、光ファイバ１の外周面に、アルミニウム等
からなる下部電極３、酸化亜鉛等からなる圧電膜５、ク
ロム−金合金等からなる上部電極７をこの順で積層被覆
して圧電素子部９を形成したものである。また図９の光
通信用外部変調器は、厚さ１ｍｍ程度の石英ガラス基板
１１の一方の面に光ファイバ１を接合配置すると共に、
石英ガラス基板１１の他方の面に下部電極３、圧電膜
５、上部電極７をこの順で積層して圧電素子部９を形成
したものである。これらの変調器は共に光ファイバと外
部変調器とが一体構造になった光ファイバ型であるた
め、光ファイバと外部変調器との接続に伴う挿入損失が
ないことが特徴で、いずれも光伝送系への挿入損失がき
わめて少なく、安価である。
して音響光学効果を利用した図８または図９のような光
通信用外部変調器が提案されている。図８の光通信用外
部変調器は、光ファイバ１の外周面に、アルミニウム等
からなる下部電極３、酸化亜鉛等からなる圧電膜５、ク
ロム−金合金等からなる上部電極７をこの順で積層被覆
して圧電素子部９を形成したものである。また図９の光
通信用外部変調器は、厚さ１ｍｍ程度の石英ガラス基板
１１の一方の面に光ファイバ１を接合配置すると共に、
石英ガラス基板１１の他方の面に下部電極３、圧電膜
５、上部電極７をこの順で積層して圧電素子部９を形成
したものである。これらの変調器は共に光ファイバと外
部変調器とが一体構造になった光ファイバ型であるた
め、光ファイバと外部変調器との接続に伴う挿入損失が
ないことが特徴で、いずれも光伝送系への挿入損失がき
わめて少なく、安価である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来のこ
の種の光通信用外部変調器には次のような問題があっ
た。一般に光通信用外部変調器では圧電素子部で発生し
た弾性波は基板中で共鳴を生じる。この共鳴周波数間隔
ｆは、基板中の音速をｖ、基板の厚さをｔとすると
の種の光通信用外部変調器には次のような問題があっ
た。一般に光通信用外部変調器では圧電素子部で発生し
た弾性波は基板中で共鳴を生じる。この共鳴周波数間隔
ｆは、基板中の音速をｖ、基板の厚さをｔとすると
【数１】ｆ＝ｖ／２ｔ・・・・・（１） なる関係で決定される。
【０００６】この共鳴周波数間隔ｆに対して共鳴周波数
間隔ｆに等しい間隔で反共鳴周波数間隔が存在する。こ
の反共鳴周波数付近では光ファイバと外部変調器とは共
鳴しないために変調強度が低下する。つまり、光通信用
外部変調器では連続して信号を伝送できる帯域幅がこの
共鳴周波数間隔ｆによって制限されてしまうという問題
がある。本発明は、上記のような課題を解決し基板中に
おける弾性波の共鳴周波数間隔に制限されることのな
い、広帯域伝送の可能な光通信用外部変調器を提供する
ことを目的とする。
間隔ｆに等しい間隔で反共鳴周波数間隔が存在する。こ
の反共鳴周波数付近では光ファイバと外部変調器とは共
鳴しないために変調強度が低下する。つまり、光通信用
外部変調器では連続して信号を伝送できる帯域幅がこの
共鳴周波数間隔ｆによって制限されてしまうという問題
がある。本発明は、上記のような課題を解決し基板中に
おける弾性波の共鳴周波数間隔に制限されることのな
い、広帯域伝送の可能な光通信用外部変調器を提供する
ことを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明は以下のような手段を有する。
めに本発明は以下のような手段を有する。
【０００８】本発明の請求項１の光通信用外部変調器
は、光ファイバと、その光ファイバとほぼ同じ音響イン
ピーダンスを有する基板と、その基板の一方の面に下部
電極、圧電膜、上部電極の順で積層された圧電素子部と
からなり、前記光ファイバは前記上部電極に接合され、
且つ前記基板の他方の面は前記光ファイバの長手方向に
一方の面に対して平行な異なる複数の厚みを有する平面
となっていることを特徴とする。
は、光ファイバと、その光ファイバとほぼ同じ音響イン
ピーダンスを有する基板と、その基板の一方の面に下部
電極、圧電膜、上部電極の順で積層された圧電素子部と
からなり、前記光ファイバは前記上部電極に接合され、
且つ前記基板の他方の面は前記光ファイバの長手方向に
一方の面に対して平行な異なる複数の厚みを有する平面
となっていることを特徴とする。
【０００９】本発明の請求項２の光通信用外部変調器
は、複数の上部電極が同一の圧電膜上に配置され前記複
数の上部電極により励振される弾性波が共通の光ファイ
バに伝搬するように前記複数の上部電極に前記共通の光
ファイバが接合されていることを特徴とする。
は、複数の上部電極が同一の圧電膜上に配置され前記複
数の上部電極により励振される弾性波が共通の光ファイ
バに伝搬するように前記複数の上部電極に前記共通の光
ファイバが接合されていることを特徴とする。
【００１０】本発明の請求項３の光通信用外部変調器
は、複数の上部電極がそれぞれ基板の異なる厚みを有す
る部分に配置されていることを特徴とする。
は、複数の上部電極がそれぞれ基板の異なる厚みを有す
る部分に配置されていることを特徴とする。
【００１１】本発明の請求項４の光通信用外部変調器
は、複数の圧電素子部が同一の基板上に配置され前記複
数の圧電素子部より発生する弾性波が共通の光ファイバ
に伝搬するように前記複数の圧電素子部に共通の光ファ
イバが接合されていることを特徴とする。
は、複数の圧電素子部が同一の基板上に配置され前記複
数の圧電素子部より発生する弾性波が共通の光ファイバ
に伝搬するように前記複数の圧電素子部に共通の光ファ
イバが接合されていることを特徴とする。
【００１２】本発明の請求項５の光通信用外部変調器
は、複数の圧電素子部がそれぞれ基板の異なる厚みを有
する部分に配置されていることを特徴とする。
は、複数の圧電素子部がそれぞれ基板の異なる厚みを有
する部分に配置されていることを特徴とする。
【００１３】本発明の請求項６の光通信用外部変調器
は、光ファイバと、その光ファイバとほぼ同じ音響イン
ピーダンスを有する基板と、その基板の一方の面に下部
電極、圧電膜、上部電極の順で積層された複数個の圧電
素子部とからなり、前記光ファイバは前記複数個の圧電
素子部が積層された基板の他方の面に接合され、且つ前
記複数個の圧電素子部が積層された基板の一方の面は前
記光ファイバの長手方向に対して平行な異なる複数の厚
みを有する平面となっていて、この個々の平面に圧電素
子部が個々に設けられていることを特徴とする。
は、光ファイバと、その光ファイバとほぼ同じ音響イン
ピーダンスを有する基板と、その基板の一方の面に下部
電極、圧電膜、上部電極の順で積層された複数個の圧電
素子部とからなり、前記光ファイバは前記複数個の圧電
素子部が積層された基板の他方の面に接合され、且つ前
記複数個の圧電素子部が積層された基板の一方の面は前
記光ファイバの長手方向に対して平行な異なる複数の厚
みを有する平面となっていて、この個々の平面に圧電素
子部が個々に設けられていることを特徴とする。
【００１４】本発明の請求項７の光通信用外部変調器
は、光ファイバとほぼ同じ音響インピーダンスを有する
基板が複数設けられ、前記複数の基板はそれぞれ厚さが
異なり、厚さが異なる前記複数の基板の一方の面に下部
電極、圧電膜、上部電極の順で積層された圧電素子部が
個々に少なくとも１個設けられ、少なくとも１個の圧電
素子部が設けられた前記複数の基板の内少なくとも２個
の基板の任意の側に共通の光ファイバが接合されている
ことを特徴とする。
は、光ファイバとほぼ同じ音響インピーダンスを有する
基板が複数設けられ、前記複数の基板はそれぞれ厚さが
異なり、厚さが異なる前記複数の基板の一方の面に下部
電極、圧電膜、上部電極の順で積層された圧電素子部が
個々に少なくとも１個設けられ、少なくとも１個の圧電
素子部が設けられた前記複数の基板の内少なくとも２個
の基板の任意の側に共通の光ファイバが接合されている
ことを特徴とする。
【００１５】
【作用】本発明のうち請求項１ないし請求項５の光通信
用外部変調器によれば、光ファイバと、その光ファイバ
とほぼ同じ音響インピーダンスを有する基板と、その基
板の一方の面に下部電極、圧電膜、上部電極の順で積層
された圧電素子部とからなり、光ファイバは上部電極に
接合され、且つ基板の他方の面は光ファイバの長手方向
に一方の面に対して平行な異なる複数の厚みを有する平
面となっているので、異なる複数の厚みt1、t2、t3・・
・を有する基板の共鳴周波数間隔f1、f2、f3・・・を有
することになり基板の厚さが単一の従来の光通信用外部
変調器の共鳴周波数間隔ｆのみのものに比べて共鳴周波
数間隔f1、f2、f3の合成されたものとなるのでより広帯
域での変調が可能になる。
用外部変調器によれば、光ファイバと、その光ファイバ
とほぼ同じ音響インピーダンスを有する基板と、その基
板の一方の面に下部電極、圧電膜、上部電極の順で積層
された圧電素子部とからなり、光ファイバは上部電極に
接合され、且つ基板の他方の面は光ファイバの長手方向
に一方の面に対して平行な異なる複数の厚みを有する平
面となっているので、異なる複数の厚みt1、t2、t3・・
・を有する基板の共鳴周波数間隔f1、f2、f3・・・を有
することになり基板の厚さが単一の従来の光通信用外部
変調器の共鳴周波数間隔ｆのみのものに比べて共鳴周波
数間隔f1、f2、f3の合成されたものとなるのでより広帯
域での変調が可能になる。
【００１６】本発明のうち請求項２又は請求項３の光通
信用外部変調器によれば、複数の上部電極が同一の圧電
膜上に配置され複数の上部電極により励振される弾性波
が共通の光ファイバに伝搬するように複数の上部電極に
共通の光ファイバが接合されているので、異なる複数の
厚みt1、t2、t3・・・を有する基板の共鳴周波数間隔
f1、f2、f3・・・を有することになり単一の基板の持つ
共鳴周波数間隔ｆに比べて基板の厚さが単一の従来の光
通信用外部変調器の共鳴周波数間隔ｆのみのものに比べ
て共鳴周波数間隔f1、f2、f3の合成されたものとなるの
でより広帯域での変調が可能になると共に、必要とする
共鳴周波数間隔だけでよい場合はその共鳴周波数間隔に
対応する上部電極のみに印加して弾性波を励振するよう
にできる。
信用外部変調器によれば、複数の上部電極が同一の圧電
膜上に配置され複数の上部電極により励振される弾性波
が共通の光ファイバに伝搬するように複数の上部電極に
共通の光ファイバが接合されているので、異なる複数の
厚みt1、t2、t3・・・を有する基板の共鳴周波数間隔
f1、f2、f3・・・を有することになり単一の基板の持つ
共鳴周波数間隔ｆに比べて基板の厚さが単一の従来の光
通信用外部変調器の共鳴周波数間隔ｆのみのものに比べ
て共鳴周波数間隔f1、f2、f3の合成されたものとなるの
でより広帯域での変調が可能になると共に、必要とする
共鳴周波数間隔だけでよい場合はその共鳴周波数間隔に
対応する上部電極のみに印加して弾性波を励振するよう
にできる。
【００１７】本発明のうち請求項４又は請求項５の光通
信用外部変調器によれば、複数の圧電素子部が同一の基
板上に配置され複数の圧電素子部より発生する弾性波が
共通の光ファイバに伝搬するように複数の圧電素子部に
共通の光ファイバが接合されているので、異なる複数の
厚みt1、t2、t3・・・を有する基板の共鳴周波数間隔
f1、f2、f3・・・を有することになり単一の基板の持つ
基板の厚さが単一の従来の光通信用外部変調器の共鳴周
波数間隔ｆのみのものに比べて共鳴周波数間隔f1、f2、
f3の合成されたものとなるのでより広帯域での変調が可
能になると共に、必要とする共鳴周波数間隔だけでよい
場合はその共鳴周波数間隔に対応する弾性波を励振する
圧電素子部のみを駆動することができる。
信用外部変調器によれば、複数の圧電素子部が同一の基
板上に配置され複数の圧電素子部より発生する弾性波が
共通の光ファイバに伝搬するように複数の圧電素子部に
共通の光ファイバが接合されているので、異なる複数の
厚みt1、t2、t3・・・を有する基板の共鳴周波数間隔
f1、f2、f3・・・を有することになり単一の基板の持つ
基板の厚さが単一の従来の光通信用外部変調器の共鳴周
波数間隔ｆのみのものに比べて共鳴周波数間隔f1、f2、
f3の合成されたものとなるのでより広帯域での変調が可
能になると共に、必要とする共鳴周波数間隔だけでよい
場合はその共鳴周波数間隔に対応する弾性波を励振する
圧電素子部のみを駆動することができる。
【００１８】本発明のうち請求項６によれば、光ファイ
バと、その光ファイバとほぼ同じ音響インピーダンスを
有する基板と、その基板の一方の面に下部電極、圧電
膜、上部電極の順で積層された複数個の圧電素子部とか
らなり、前記光ファイバは複数個の圧電素子部が積層さ
れた基板の他方の面に接合され、且つ複数個の圧電素子
部が積層された基板の一方の面は光ファイバの長手方向
に対して平行な異なる複数の厚みを有する平面となって
いて、この個々の平面に圧電素子部が個々に設けられて
いるので、階段状に異なる複数の厚みt1、t2、t3・・・
を有する基板の共鳴周波数間隔f1、f2、f3・・・を有す
ることになり単一の基板の持つ共鳴周波数間隔ｆに比べ
て基板の厚さが単一の従来の光通信用外部変調器の共鳴
周波数間隔ｆのみのものに比べて共鳴周波数間隔f1、
f2、f3の合成されたものとなるのでより広帯域での変調
が可能になると共に、必要とする共鳴周波数間隔だけで
よい場合はその共鳴周波数間隔に対応する弾性波を励振
する圧電素子部のみを駆動することができる。
バと、その光ファイバとほぼ同じ音響インピーダンスを
有する基板と、その基板の一方の面に下部電極、圧電
膜、上部電極の順で積層された複数個の圧電素子部とか
らなり、前記光ファイバは複数個の圧電素子部が積層さ
れた基板の他方の面に接合され、且つ複数個の圧電素子
部が積層された基板の一方の面は光ファイバの長手方向
に対して平行な異なる複数の厚みを有する平面となって
いて、この個々の平面に圧電素子部が個々に設けられて
いるので、階段状に異なる複数の厚みt1、t2、t3・・・
を有する基板の共鳴周波数間隔f1、f2、f3・・・を有す
ることになり単一の基板の持つ共鳴周波数間隔ｆに比べ
て基板の厚さが単一の従来の光通信用外部変調器の共鳴
周波数間隔ｆのみのものに比べて共鳴周波数間隔f1、
f2、f3の合成されたものとなるのでより広帯域での変調
が可能になると共に、必要とする共鳴周波数間隔だけで
よい場合はその共鳴周波数間隔に対応する弾性波を励振
する圧電素子部のみを駆動することができる。
【００１９】本発明のうち請求項７によれば、光ファイ
バとほぼ同じ音響インピーダンスを有する基板が複数設
けられ、複数の基板はそれぞれ厚さが異なり、厚さが異
なる複数の基板の一方の面に下部電極、圧電膜、上部電
極の順で積層された圧電素子部が個々に少なくとも１個
設けられ、少なくとも１個の圧電素子部が設けられた複
数の基板の内少なくとも２個の基板の任意の側に共通の
光ファイバが接合されているので、異なる複数の厚み
t1、t2、t3・・・を有する基板の共鳴周波数間隔f1、
f2、f3・・・を有することになり単一の基板の持つ共鳴
周波数間隔ｆに比べて基板の厚さが単一の従来の光通信
用外部変調器の共鳴周波数間隔ｆのみのものに比べて共
鳴周波数間隔f1、f2、f3の合成されたものとなるのでよ
り広帯域での変調が可能になると共に、必要とする共鳴
周波数間隔だけでよい場合はその共鳴周波数間隔に対応
する弾性波を励振する基板の圧電素子部のみを駆動する
ことができる。
バとほぼ同じ音響インピーダンスを有する基板が複数設
けられ、複数の基板はそれぞれ厚さが異なり、厚さが異
なる複数の基板の一方の面に下部電極、圧電膜、上部電
極の順で積層された圧電素子部が個々に少なくとも１個
設けられ、少なくとも１個の圧電素子部が設けられた複
数の基板の内少なくとも２個の基板の任意の側に共通の
光ファイバが接合されているので、異なる複数の厚み
t1、t2、t3・・・を有する基板の共鳴周波数間隔f1、
f2、f3・・・を有することになり単一の基板の持つ共鳴
周波数間隔ｆに比べて基板の厚さが単一の従来の光通信
用外部変調器の共鳴周波数間隔ｆのみのものに比べて共
鳴周波数間隔f1、f2、f3の合成されたものとなるのでよ
り広帯域での変調が可能になると共に、必要とする共鳴
周波数間隔だけでよい場合はその共鳴周波数間隔に対応
する弾性波を励振する基板の圧電素子部のみを駆動する
ことができる。
【００２０】
（実施例１）以下、本発明の実施例を図面を参照して詳
細に説明する。図１は本発明の一実施例を示す。この光
通信用外部変調器は、基板１５の一方の面に下部電極
３、圧電膜５及び上部電極７がこの順で積層された圧電
素子部９が一体に設けられ、この圧電素子部９の上部電
極７に被覆層を剥いでクラッド層がむき出しになった光
ファイバ１を接着剤１７により音響的に接合したもので
ある。
細に説明する。図１は本発明の一実施例を示す。この光
通信用外部変調器は、基板１５の一方の面に下部電極
３、圧電膜５及び上部電極７がこの順で積層された圧電
素子部９が一体に設けられ、この圧電素子部９の上部電
極７に被覆層を剥いでクラッド層がむき出しになった光
ファイバ１を接着剤１７により音響的に接合したもので
ある。
【００２１】基板１５の他方の面は光ファイバ１の長手
方向に例えば厚さがt1：０．３ｍｍ、t2：０．４ｍｍ、
t3：０．５ｍｍと階段状に変化する平坦面となってい
る。基板１５は光ファイバ１のクラッド層とほぼ同じ音
響インピーダンス（媒質の密度と音波の伝搬速度の積）
を有した例えば石英ガラスで構成されているが、シリコ
ン、又はサファイア等で構成されたものでも良い。
方向に例えば厚さがt1：０．３ｍｍ、t2：０．４ｍｍ、
t3：０．５ｍｍと階段状に変化する平坦面となってい
る。基板１５は光ファイバ１のクラッド層とほぼ同じ音
響インピーダンス（媒質の密度と音波の伝搬速度の積）
を有した例えば石英ガラスで構成されているが、シリコ
ン、又はサファイア等で構成されたものでも良い。
【００２２】圧電素子部９の下部電極３及び上部電極７
は真空蒸着法により製膜された厚さ約０．２μｍの金
（Ａｕ）からなる。尚、下部電極３および上部電極７は
金に限るものではなくアルミニウム（Ａｌ）、クロム−
金（Ｃｒ−Ａｕ）又はチタン−金（Ｔｉ−Ａｕ）で形成
しても構わない。
は真空蒸着法により製膜された厚さ約０．２μｍの金
（Ａｕ）からなる。尚、下部電極３および上部電極７は
金に限るものではなくアルミニウム（Ａｌ）、クロム−
金（Ｃｒ−Ａｕ）又はチタン−金（Ｔｉ−Ａｕ）で形成
しても構わない。
【００２３】圧電膜５は、スパッタリング法により製膜
された酸化亜鉛（ＺｎＯ）より形成され厚さは約５μｍ
である。尚、圧電膜５は酸化亜鉛に限るものではなくニ
オブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ3 ）、ポリフッ化ビニリデ
ン（ＰＶＤＦ）あるいは窒化アルミニウム（ＡｌＮ）等
の圧電材料で形成しても構わない。
された酸化亜鉛（ＺｎＯ）より形成され厚さは約５μｍ
である。尚、圧電膜５は酸化亜鉛に限るものではなくニ
オブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ3 ）、ポリフッ化ビニリデ
ン（ＰＶＤＦ）あるいは窒化アルミニウム（ＡｌＮ）等
の圧電材料で形成しても構わない。
【００２４】上記構成の圧電素子部９は例えば厚さが
t1：０．３ｍｍ、t2：０．４ｍｍ、t3：０．５ｍｍと階
段状に変化する平面に跨がるように階段状に変化する平
面に対応する反対側の平面に積層されている。光ファイ
バ１は上部電極７と接触する位置に石英ガラス粉末の焼
成体を含む接着剤１７が施されて音響的に接続配置され
ている。尚、光ファイバ１を上部電極７に接続する物と
しては、石英ガラス粉末の焼成体を含む接着剤に限るも
のではなく、例えば高分子化合物、無機化合物からなる
接着剤でも良く、あるいは押さえ板等により機械的に接
合しても良く、光ファイバを石英ガラス基板に音響的に
接続できるものであれば良い。
t1：０．３ｍｍ、t2：０．４ｍｍ、t3：０．５ｍｍと階
段状に変化する平面に跨がるように階段状に変化する平
面に対応する反対側の平面に積層されている。光ファイ
バ１は上部電極７と接触する位置に石英ガラス粉末の焼
成体を含む接着剤１７が施されて音響的に接続配置され
ている。尚、光ファイバ１を上部電極７に接続する物と
しては、石英ガラス粉末の焼成体を含む接着剤に限るも
のではなく、例えば高分子化合物、無機化合物からなる
接着剤でも良く、あるいは押さえ板等により機械的に接
合しても良く、光ファイバを石英ガラス基板に音響的に
接続できるものであれば良い。
【００２５】次にこの光通信用外部変調器の動作を説明
する。圧電素子部９で発生する弾性波は基板中で共鳴を
生じる。弾性波が例えば２００ＭＨｚ程度の高周波で
は、発生する弾性波は平面波とみなせる。基板１５内を
直進する弾性波は対向面で反射を起こし共鳴する。この
共鳴に際し、この光通信用外部変調器は基板１５の厚さ
t1に対する共鳴周波数間隔f1、厚さt2に対する共鳴周波
数間隔f2、厚さt3に対する共鳴周波数間隔f3を有するこ
とになり、これらの共鳴周波数間隔f1、f2、f3の合成さ
れた弾性波が光ファイバ１に伝搬し、光ファイバ１内を
通過する光を変調する。この光通信用外部変調器は基板
の厚さが単一の従来の光通信用外部変調器の共鳴周波数
間隔ｆのみのものに比べて共鳴周波数間隔f1、f2、f3の
合成されたものとなるのでより広帯域での変調が可能と
なる。
する。圧電素子部９で発生する弾性波は基板中で共鳴を
生じる。弾性波が例えば２００ＭＨｚ程度の高周波で
は、発生する弾性波は平面波とみなせる。基板１５内を
直進する弾性波は対向面で反射を起こし共鳴する。この
共鳴に際し、この光通信用外部変調器は基板１５の厚さ
t1に対する共鳴周波数間隔f1、厚さt2に対する共鳴周波
数間隔f2、厚さt3に対する共鳴周波数間隔f3を有するこ
とになり、これらの共鳴周波数間隔f1、f2、f3の合成さ
れた弾性波が光ファイバ１に伝搬し、光ファイバ１内を
通過する光を変調する。この光通信用外部変調器は基板
の厚さが単一の従来の光通信用外部変調器の共鳴周波数
間隔ｆのみのものに比べて共鳴周波数間隔f1、f2、f3の
合成されたものとなるのでより広帯域での変調が可能と
なる。
【００２６】したがって直流光源から光ファイバ１に光
を入射し、下部電極３と上部電極７間に所定周波数の電
圧を印加すると、圧電素子部９から発生する弾性波が基
板１５中を伝搬するうちに階段状に変化する面で反射、
屈折を起こして光ファイバ１に伝搬し、光ファイバ１内
を通過する光を広帯域できわめて効率よく変調すること
ができる。
を入射し、下部電極３と上部電極７間に所定周波数の電
圧を印加すると、圧電素子部９から発生する弾性波が基
板１５中を伝搬するうちに階段状に変化する面で反射、
屈折を起こして光ファイバ１に伝搬し、光ファイバ１内
を通過する光を広帯域できわめて効率よく変調すること
ができる。
【００２７】図７に示す測定系により、この光通信用外
部変調器の変調帯域幅出力を測定したところ従来の光通
信用外部変調器では約０．８ＭＨｚの帯域幅であったが
約１．８ＭＨｚへと広帯域化した。図７において、２１
は上記実施例の光通信用外部変調器、２３は波長１．３
３μｍの半導体レーザー素子、２５は偏光子、２７は光
通信用外部変調器２１の駆動電源、２９は検光子、３１
は光−電気変換器、３３はスペクトラムアナライザ、３
５はオシロスコープである。
部変調器の変調帯域幅出力を測定したところ従来の光通
信用外部変調器では約０．８ＭＨｚの帯域幅であったが
約１．８ＭＨｚへと広帯域化した。図７において、２１
は上記実施例の光通信用外部変調器、２３は波長１．３
３μｍの半導体レーザー素子、２５は偏光子、２７は光
通信用外部変調器２１の駆動電源、２９は検光子、３１
は光−電気変換器、３３はスペクトラムアナライザ、３
５はオシロスコープである。
【００２８】（実施例２）次に図２を参照して本発明の
他の実施例を説明する。この光通信用外部変調器は、実
施例１と異なる点は圧電膜５の上に複数個、本実施例に
あっては２個、上部電極７ａ、７ｂを設け圧電素子部９
ａ、９ｂを形成したことである。上部電極７ａ、７ｂは
圧電膜５の上に基板１５が例えば厚さがt1：０．３ｍ
ｍ、t2：０．６ｍｍと階段状に変化するそれぞれの平面
に対応する反対側の平面の部分に積層されている。この
上部電極７ａ、７ｂに共通の光ファイバ１が接着剤１７
ａ、１７ｂにより音響的に接続配置されている。その他
の構成は実施例１と同様につき詳細な説明は省略する。
この光通信用外部変調器の上部電極７ａ、７ｂには１つ
の変調用信号を２分岐した信号が印加されて駆動され
る。
他の実施例を説明する。この光通信用外部変調器は、実
施例１と異なる点は圧電膜５の上に複数個、本実施例に
あっては２個、上部電極７ａ、７ｂを設け圧電素子部９
ａ、９ｂを形成したことである。上部電極７ａ、７ｂは
圧電膜５の上に基板１５が例えば厚さがt1：０．３ｍ
ｍ、t2：０．６ｍｍと階段状に変化するそれぞれの平面
に対応する反対側の平面の部分に積層されている。この
上部電極７ａ、７ｂに共通の光ファイバ１が接着剤１７
ａ、１７ｂにより音響的に接続配置されている。その他
の構成は実施例１と同様につき詳細な説明は省略する。
この光通信用外部変調器の上部電極７ａ、７ｂには１つ
の変調用信号を２分岐した信号が印加されて駆動され
る。
【００２９】（実施例３）図３は本発明のその他の実施
例である。この光通信用外部変調器は、実施例１と異な
る点は基板１５の上に複数個、本実施例にあっては２
個、圧電素子部９ａ、９ｂを設けたことである。圧電素
子部９ａ、９ｂは基板１５が例えば厚さがt1：０．３ｍ
ｍ、t2：０．６ｍｍと階段状に変化するそれぞれの平面
に対応する反対側の平面の部分に積層されている。この
圧電素子部９ａ、９ｂにそれぞれ積層された上部電極７
ａ、７ｂに共通の光ファイバ１が音響的に接続配置され
ている。その他の構成は実施例１と同様につき詳細な説
明は省略する。この光通信用外部変調器の上部電極７
ａ、７ｂには実施例２と同様に１つの変調用信号を２分
岐した信号が印加されて駆動される。
例である。この光通信用外部変調器は、実施例１と異な
る点は基板１５の上に複数個、本実施例にあっては２
個、圧電素子部９ａ、９ｂを設けたことである。圧電素
子部９ａ、９ｂは基板１５が例えば厚さがt1：０．３ｍ
ｍ、t2：０．６ｍｍと階段状に変化するそれぞれの平面
に対応する反対側の平面の部分に積層されている。この
圧電素子部９ａ、９ｂにそれぞれ積層された上部電極７
ａ、７ｂに共通の光ファイバ１が音響的に接続配置され
ている。その他の構成は実施例１と同様につき詳細な説
明は省略する。この光通信用外部変調器の上部電極７
ａ、７ｂには実施例２と同様に１つの変調用信号を２分
岐した信号が印加されて駆動される。
【００３０】（実施例４）図４は本発明のその他の実施
例である。この光通信用外部変調器は、実施例３と異な
る点は圧電素子部９ａ、９ｂが基板１５の厚さがt1：
０．３ｍｍ、t2：０．６ｍｍと階段状に変化するそれぞ
れの平面に積層されていて、光ファイバ１が圧電素子部
９ａ、９ｂが積層されている基板１５の面と反対側の平
坦な面に音響的に接続配置されていることである。その
他の構成は実施例３と同様につき詳細な説明は省略す
る。
例である。この光通信用外部変調器は、実施例３と異な
る点は圧電素子部９ａ、９ｂが基板１５の厚さがt1：
０．３ｍｍ、t2：０．６ｍｍと階段状に変化するそれぞ
れの平面に積層されていて、光ファイバ１が圧電素子部
９ａ、９ｂが積層されている基板１５の面と反対側の平
坦な面に音響的に接続配置されていることである。その
他の構成は実施例３と同様につき詳細な説明は省略す
る。
【００３１】（実施例５）図５は本発明のその他の実施
例である。この光通信用外部変調器は、実施例１と異な
る点は２個の厚さの異なる別の基板１５ａ、１５ｂ上に
それぞれ圧電素子部９ａ、９ｂが設けられ、圧電素子部
９ａ、９ｂのそれぞれの上部電極７ａ、７ｂに共通の光
ファイバ１が音響的に接続配置されていることである。
この２つの圧電素子部９ａ、９ｂ間の距離は数ｃｍ以内
であれば特性上で特に問題ない。なお、本実施例にあっ
ては共通の光ファイバ１は基板１５ａ、１５ｂの圧電素
子部９ａ、９ｂが設置された面と反対側の面に接続して
も構わない。
例である。この光通信用外部変調器は、実施例１と異な
る点は２個の厚さの異なる別の基板１５ａ、１５ｂ上に
それぞれ圧電素子部９ａ、９ｂが設けられ、圧電素子部
９ａ、９ｂのそれぞれの上部電極７ａ、７ｂに共通の光
ファイバ１が音響的に接続配置されていることである。
この２つの圧電素子部９ａ、９ｂ間の距離は数ｃｍ以内
であれば特性上で特に問題ない。なお、本実施例にあっ
ては共通の光ファイバ１は基板１５ａ、１５ｂの圧電素
子部９ａ、９ｂが設置された面と反対側の面に接続して
も構わない。
【００３２】（実施例６）図６は本発明のその他の実施
例である。この光通信用外部変調器は、実施例１と異な
る点は基板１５がt1：０．２９８ｍｍ、t2：０．３００
ｍｍと２階段となっている点である。その他の構成は実
施例１と同様である。上記の構成の光通信用外部変調器
について特性を調べたところ、中心周波数２００ＭＨｚ
付近において従来の図９に示す光通信用外部変調器では
−１０ｄＢ帯域幅が１．８ＭＨｚであったものが３．６
ＭＨｚと改善された。また、中心周波数３００ＭＨｚ付
近でも従来型の１．６ＭＨｚから３．９ＭＨｚへと改善
された。
例である。この光通信用外部変調器は、実施例１と異な
る点は基板１５がt1：０．２９８ｍｍ、t2：０．３００
ｍｍと２階段となっている点である。その他の構成は実
施例１と同様である。上記の構成の光通信用外部変調器
について特性を調べたところ、中心周波数２００ＭＨｚ
付近において従来の図９に示す光通信用外部変調器では
−１０ｄＢ帯域幅が１．８ＭＨｚであったものが３．６
ＭＨｚと改善された。また、中心周波数３００ＭＨｚ付
近でも従来型の１．６ＭＨｚから３．９ＭＨｚへと改善
された。
【００３３】
【発明の効果】本発明のうち請求項１ないし請求項５の
光通信用外部変調器によれば、光ファイバと、その光フ
ァイバとほぼ同じ音響インピーダンスを有する基板と、
その基板の一方の面に下部電極、圧電膜、上部電極の順
で積層された圧電素子部とからなり、前記光ファイバは
前記上部電極に接合され、且つ前記基板の他方の面は前
記光ファイバの長手方向に一方の面に対して平行な異な
る複数の厚みを有する平面となっているので、異なる複
数の厚みt1、t2、t3・・・を有する基板の共鳴周波数間
隔f1、f2、f3・・・を有することになり単一の基板の持
つ共鳴周波数間隔ｆに比べて基板の厚さが単一の従来の
光通信用外部変調器の共鳴周波数間隔ｆのみのものに比
べて共鳴周波数間隔f1、f2、f3の合成されたものとなる
のでより広帯域での変調が可能になる。
光通信用外部変調器によれば、光ファイバと、その光フ
ァイバとほぼ同じ音響インピーダンスを有する基板と、
その基板の一方の面に下部電極、圧電膜、上部電極の順
で積層された圧電素子部とからなり、前記光ファイバは
前記上部電極に接合され、且つ前記基板の他方の面は前
記光ファイバの長手方向に一方の面に対して平行な異な
る複数の厚みを有する平面となっているので、異なる複
数の厚みt1、t2、t3・・・を有する基板の共鳴周波数間
隔f1、f2、f3・・・を有することになり単一の基板の持
つ共鳴周波数間隔ｆに比べて基板の厚さが単一の従来の
光通信用外部変調器の共鳴周波数間隔ｆのみのものに比
べて共鳴周波数間隔f1、f2、f3の合成されたものとなる
のでより広帯域での変調が可能になる。
【００３４】本発明のうち請求項２又は請求項３の光通
信用外部変調器によれば、複数の上部電極が同一の圧電
膜上に配置され前記複数の上部電極により励振される弾
性波が共通の光ファイバに伝搬するように前記複数の上
部電極に前記共通の光ファイバが接合されているので、
異なる複数の厚みt1、t2、t3・・・を有する基板の共鳴
周波数間隔f1、f2、f3・・・を有することになり単一の
基板の持つ共鳴周波数間隔ｆに比べて基板の厚さが単一
の従来の光通信用外部変調器の共鳴周波数間隔ｆのみの
ものに比べて共鳴周波数間隔f1、f2、f3の合成されたも
のとなるのでより広帯域での変調が可能になると共に、
必要とする共鳴周波数間隔だけでよい場合はその共鳴周
波数間隔に対応する上部電極のみに印加して弾性波を励
振するようにできる。
信用外部変調器によれば、複数の上部電極が同一の圧電
膜上に配置され前記複数の上部電極により励振される弾
性波が共通の光ファイバに伝搬するように前記複数の上
部電極に前記共通の光ファイバが接合されているので、
異なる複数の厚みt1、t2、t3・・・を有する基板の共鳴
周波数間隔f1、f2、f3・・・を有することになり単一の
基板の持つ共鳴周波数間隔ｆに比べて基板の厚さが単一
の従来の光通信用外部変調器の共鳴周波数間隔ｆのみの
ものに比べて共鳴周波数間隔f1、f2、f3の合成されたも
のとなるのでより広帯域での変調が可能になると共に、
必要とする共鳴周波数間隔だけでよい場合はその共鳴周
波数間隔に対応する上部電極のみに印加して弾性波を励
振するようにできる。
【００３５】本発明のうち請求項４又は請求項５の光通
信用外部変調器によれば、複数の圧電素子部が同一の基
板上に配置され前記複数の圧電素子部より発生する弾性
波が共通の光ファイバに伝搬するように前記複数の圧電
素子部に共通の光ファイバが接合されているので、異な
る複数の厚みt1、t2、t3・・・を有する基板の共鳴周波
数間隔f1、f2、f3・・・を有することになり単一の基板
の持つ共鳴周波数間隔ｆに比べて基板の厚さが単一の従
来の光通信用外部変調器の共鳴周波数間隔ｆのみのもの
に比べて共鳴周波数間隔f1、f2、f3の合成されたものと
なるのでより広帯域での変調が可能になると共に、必要
とする共鳴周波数間隔だけでよい場合はその共鳴周波数
間隔に対応する弾性波を励振する圧電素子部のみを駆動
することができる。
信用外部変調器によれば、複数の圧電素子部が同一の基
板上に配置され前記複数の圧電素子部より発生する弾性
波が共通の光ファイバに伝搬するように前記複数の圧電
素子部に共通の光ファイバが接合されているので、異な
る複数の厚みt1、t2、t3・・・を有する基板の共鳴周波
数間隔f1、f2、f3・・・を有することになり単一の基板
の持つ共鳴周波数間隔ｆに比べて基板の厚さが単一の従
来の光通信用外部変調器の共鳴周波数間隔ｆのみのもの
に比べて共鳴周波数間隔f1、f2、f3の合成されたものと
なるのでより広帯域での変調が可能になると共に、必要
とする共鳴周波数間隔だけでよい場合はその共鳴周波数
間隔に対応する弾性波を励振する圧電素子部のみを駆動
することができる。
【００３６】本発明のうち請求項６によれば、光ファイ
バと、その光ファイバとほぼ同じ音響インピーダンスを
有する基板と、その基板の一方の面に下部電極、圧電
膜、上部電極の順で積層された複数個の圧電素子部とか
らなり、前記光ファイバは前記複数個の圧電素子部が積
層された基板の他方の面に接合され、且つ前記複数個の
圧電素子部が積層された基板の一方の面は前記光ファイ
バの長手方向に対して平行な異なる複数の厚みを有する
平面となっていて、この個々の平面に圧電素子部が個々
に設けられているので、階段状に異なる複数の厚みt1、
t2、t3・・・を有する基板の共鳴周波数間隔f1、f2、f3
・・・を有することになり単一の基板の持つ共鳴周波数
間隔ｆに比べて基板の厚さが単一の従来の光通信用外部
変調器の共鳴周波数間隔ｆのみのものに比べて共鳴周波
数間隔f1、f2、f3の合成されたものとなるのでより広帯
域での変調が可能になると共に、必要とする共鳴周波数
間隔だけでよい場合はその共鳴周波数間隔に対応する弾
性波を励振する圧電素子部のみを駆動することができ
る。
バと、その光ファイバとほぼ同じ音響インピーダンスを
有する基板と、その基板の一方の面に下部電極、圧電
膜、上部電極の順で積層された複数個の圧電素子部とか
らなり、前記光ファイバは前記複数個の圧電素子部が積
層された基板の他方の面に接合され、且つ前記複数個の
圧電素子部が積層された基板の一方の面は前記光ファイ
バの長手方向に対して平行な異なる複数の厚みを有する
平面となっていて、この個々の平面に圧電素子部が個々
に設けられているので、階段状に異なる複数の厚みt1、
t2、t3・・・を有する基板の共鳴周波数間隔f1、f2、f3
・・・を有することになり単一の基板の持つ共鳴周波数
間隔ｆに比べて基板の厚さが単一の従来の光通信用外部
変調器の共鳴周波数間隔ｆのみのものに比べて共鳴周波
数間隔f1、f2、f3の合成されたものとなるのでより広帯
域での変調が可能になると共に、必要とする共鳴周波数
間隔だけでよい場合はその共鳴周波数間隔に対応する弾
性波を励振する圧電素子部のみを駆動することができ
る。
【００３７】本発明のうち請求項７によれば、光ファイ
バとほぼ同じ音響インピーダンスを有する基板が複数設
けられ、前記複数の基板はそれぞれ厚さが異なり、厚さ
が異なる前記複数の基板の一方の面に下部電極、圧電
膜、上部電極の順で積層された圧電素子部が個々に少な
くとも１個設けられ、少なくとも１個の圧電素子部が設
けられた前記複数の基板の内少なくとも２個の基板の任
意の側に共通の光ファイバが接合されているので、異な
る複数の厚みt1、t2、t3・・・を有する基板の共鳴周波
数間隔f1、f2、f3・・・を有することになり単一の基板
の持つ共鳴周波数間隔ｆに比べて基板の厚さが単一の従
来の光通信用外部変調器の共鳴周波数間隔ｆのみのもの
に比べて共鳴周波数間隔f1、f2、f3の合成されたものと
なるのでより広帯域での変調が可能になると共に、必要
とする共鳴周波数間隔だけでよい場合はその共鳴周波数
間隔に対応する弾性波を励振する基板の圧電素子部のみ
を駆動することができる。
バとほぼ同じ音響インピーダンスを有する基板が複数設
けられ、前記複数の基板はそれぞれ厚さが異なり、厚さ
が異なる前記複数の基板の一方の面に下部電極、圧電
膜、上部電極の順で積層された圧電素子部が個々に少な
くとも１個設けられ、少なくとも１個の圧電素子部が設
けられた前記複数の基板の内少なくとも２個の基板の任
意の側に共通の光ファイバが接合されているので、異な
る複数の厚みt1、t2、t3・・・を有する基板の共鳴周波
数間隔f1、f2、f3・・・を有することになり単一の基板
の持つ共鳴周波数間隔ｆに比べて基板の厚さが単一の従
来の光通信用外部変調器の共鳴周波数間隔ｆのみのもの
に比べて共鳴周波数間隔f1、f2、f3の合成されたものと
なるのでより広帯域での変調が可能になると共に、必要
とする共鳴周波数間隔だけでよい場合はその共鳴周波数
間隔に対応する弾性波を励振する基板の圧電素子部のみ
を駆動することができる。
【図１】（ａ）は本発明に係る光通信用外部変調器の一
実施例を示す断面図、（ｂ）は（ａ）の実施例の平面図
である。
実施例を示す断面図、（ｂ）は（ａ）の実施例の平面図
である。
【図２】（ａ）は本発明に係る光通信用外部変調器の他
の実施例を示す断面図。（ｂ）は（ａ）の実施例の平面
図である。
の実施例を示す断面図。（ｂ）は（ａ）の実施例の平面
図である。
【図３】（ａ）は本発明に係る光通信用外部変調器の他
の実施例を示す断面図。（ｂ）は（ａ）の実施例の平面
図である。
の実施例を示す断面図。（ｂ）は（ａ）の実施例の平面
図である。
【図４】（ａ）は本発明に係る光通信用外部変調器の他
の実施例を示す断面図。（ｂ）は（ａ）の実施例の平面
図である。
の実施例を示す断面図。（ｂ）は（ａ）の実施例の平面
図である。
【図５】（ａ）は本発明に係る光通信用外部変調器の他
の実施例を示す断面図。（ｂ）は（ａ）の実施例の平面
図である。
の実施例を示す断面図。（ｂ）は（ａ）の実施例の平面
図である。
【図６】（ａ）は本発明に係る光通信用外部変調器の他
の実施例を示す断面図。（ｂ）は（ａ）の実施例の平面
図である。
の実施例を示す断面図。（ｂ）は（ａ）の実施例の平面
図である。
【図７】本発明の光通信用外部変調器の変調帯域幅を評
価する際に用いる測定系の概要図である。
価する際に用いる測定系の概要図である。
【図８】従来の光通信用外部変調器の一例を示す斜視図
である。
である。
【図９】従来の光通信用外部変調器の他の例を示す斜視
図である。
図である。
１ 光ファイバ ３、5a、5b 下部電極 ５、5a、5b 圧電膜 ７、7a、7b 上部電極 ９、9a、9b 圧電素子部 15、15a 、15b 基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 神谷 勇 神奈川県横浜市鶴見区江ヶ崎町４番１号東 京電力株式会社内システム研究所内 (72)発明者 渡辺 剛基 神奈川県横浜市鶴見区江ヶ崎町４番１号東 京電力株式会社内システム研究所内
Claims (7)
- 【請求項１】 光ファイバと、その光ファイバとほぼ同
じ音響インピーダンスを有する基板と、その基板の一方
の面に下部電極、圧電膜、上部電極の順で積層された圧
電素子部とからなり、前記光ファイバは前記上部電極に
接合され、且つ前記基板の他方の面は前記光ファイバの
長手方向に一方の面に対して平行な異なる複数の厚みを
有する平面となっていることを特徴とする光通信用外部
変調器。 - 【請求項２】 複数の上部電極が同一の圧電膜上に配置
され前記複数の上部電極により励振される弾性波が共通
の光ファイバに伝搬するように前記複数の上部電極に前
記共通の光ファイバが接合されていることを特徴とする
請求項１記載の光通信用外部変調器。 - 【請求項３】 複数の上部電極がそれぞれ基板の異なる
厚みを有する部分に配置されていることを特徴とする請
求項１又は請求項２記載の光通信用外部変調器。 - 【請求項４】 複数の圧電素子部が同一の基板上に配置
され前記複数の圧電素子部より発生する弾性波が共通の
光ファイバに伝搬するように前記複数の圧電素子部に共
通の光ファイバが接合されていることを特徴とする請求
項１記載の光通信用外部変調器。 - 【請求項５】 複数の圧電素子部がそれぞれ基板の異な
る厚みを有する部分に配置されていることを特徴とする
請求項１又は請求項４記載の光通信用外部変調器。 - 【請求項６】 光ファイバと、その光ファイバとほぼ同
じ音響インピーダンスを有する基板と、その基板の一方
の面に下部電極、圧電膜、上部電極の順で積層された複
数個の圧電素子部とからなり、前記光ファイバは前記複
数個の圧電素子部が積層された基板の他方の面に接合さ
れ、且つ前記複数個の圧電素子部が積層された基板の一
方の面は前記光ファイバの長手方向に対して平行な異な
る複数の厚みを有する平面となっていて、この個々の平
面に圧電素子部が個々に設けられていることを特徴とす
る光通信用外部変調器。 - 【請求項７】 光ファイバとほぼ同じ音響インピーダン
スを有する基板が複数設けられ、前記複数の基板はそれ
ぞれ厚さが異なり、厚さが異なる前記複数の基板の一方
の面に下部電極、圧電膜、上部電極の順で積層された圧
電素子部が個々に少なくとも１個設けられ、少なくとも
１個の圧電素子部が設けられた前記複数の基板の内少な
くとも２個の基板の任意の側に共通の光ファイバが接合
されていることを特徴とする光通信用外部変調器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33506995A JPH09179083A (ja) | 1995-12-22 | 1995-12-22 | 光通信用外部変調器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33506995A JPH09179083A (ja) | 1995-12-22 | 1995-12-22 | 光通信用外部変調器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09179083A true JPH09179083A (ja) | 1997-07-11 |
Family
ID=18284421
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33506995A Pending JPH09179083A (ja) | 1995-12-22 | 1995-12-22 | 光通信用外部変調器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09179083A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010517076A (ja) * | 2007-01-18 | 2010-05-20 | レイセオン カンパニー | フォトニックバンドギャップ結晶の透過を制御する装置及び方法 |
-
1995
- 1995-12-22 JP JP33506995A patent/JPH09179083A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010517076A (ja) * | 2007-01-18 | 2010-05-20 | レイセオン カンパニー | フォトニックバンドギャップ結晶の透過を制御する装置及び方法 |
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