JPH091795A - インクジェットヘッド - Google Patents

インクジェットヘッド

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JPH091795A
JPH091795A JP14893395A JP14893395A JPH091795A JP H091795 A JPH091795 A JP H091795A JP 14893395 A JP14893395 A JP 14893395A JP 14893395 A JP14893395 A JP 14893395A JP H091795 A JPH091795 A JP H091795A
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JP
Japan
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diaphragm
pressure generating
generating means
substrate
central portion
Prior art date
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Pending
Application number
JP14893395A
Other languages
English (en)
Inventor
Tetsuya Inui
哲也 乾
Koji Matoba
宏次 的場
Susumu Hirata
進 平田
Yorishige Ishii
頼成 石井
Shingo Abe
新吾 阿部
Masaharu Kimura
正治 木村
Masaru Horinaka
大 堀中
Yutaka Onda
裕 恩田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
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Publication date
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Publication of JPH091795A publication Critical patent/JPH091795A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14346—Ejection by pressure produced by thermal deformation of ink chamber, e.g. buckling

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 放熱が効果的に行われ、応答速度の良好なイ
ンクジェットヘッドを提供する。 【構成】 基板上にインクを吐出させるための圧力を発
生させる圧力発生手段と、該圧力発生手段に対向する位
置にノズルを有するノズルプレートと、を備えたインク
ジェットヘッドにおいて、前記圧力発生手段は、中央部
が両端部に比べて幅が狭く形成され、熱膨張により座屈
変形を生じる駆動体と、該駆動体の両端部の下部に設け
られたヒーター層と、前記駆動体及びヒーター層の下部
に形成されたダイヤフラムと、により形成される。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、内部に満たされたイン
ク液に圧力を加え、内部から外部へインクを吐出させて
記録を行うインクジェットヘッド及びその製造方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、液体状のインクを微少なノズ
ルから吐出させて記録を行う、いわゆるインクジェット
プリンタが開発されてきている。インクを吐出させる方
式として従来より用いられてきたヘッドの構造を図７に
示す。基板上に圧力発生部材が一部を基板に固着され、
一部が浮いた状態で構成されている。また、圧力発生部
材とともに発熱部材が形成されている。この発熱部材に
通電すると圧力発生部材は加熱され、基板と垂直な方向
に変形する。このためインク室の圧力は高められ、ノズ
ルプレートに設けられたノズル開口からインクを吐出さ
せることができる構造である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが従来のヘッド
では以下のような問題点がある。圧力発生部材は変形を
生じた後、速やかにもとの状態に復帰する必要がある。
これは、プリンターの印字速度を高めるためにはヘッド
が高速で駆動する必要があるからである。もとの状態に
復帰するためには、加熱された圧力発生部材の温度が急
速に低下する必要があり、放熱はインク層を介して行わ
れている。
【０００４】ここで圧力発生部材の冷却の過程は、おも
に熱伝導によって支配されている。まず圧力発生部材の
熱は周囲のインクに伝わり、さらに回りの基板に伝わっ
て放熱される。基板（固体）の熱伝導率は一般に液体よ
り大きいため基板での放熱は良好であるが、インクの層
は熱伝導率が基板より低いため、このインク層での熱伝
導が問題となる。つまり、図７で圧力発生部材が変形し
て基板から離れると圧力発生部材と基板との間の距離が
大きくなるため放熱効果が悪くなる。連続的にヘッドを
駆動して熱がヒーター周辺に蓄積し、この熱が時間とと
もに増大すると、次第にヘッド全体の温度が上昇して、
ひどい場合にはインクの変質や沸騰をきたすという問題
点を生ずる。
【０００５】本願ではこれらの問題点に鑑み、放熱が効
果的に行われ、応答速度の良好なインクジェットヘッド
を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明のインクジェットヘッドでは、基板上にインクを
吐出させるための圧力を発生させる圧力発生手段と、該
圧力発生手段に対向する位置にノズルを有するノズルプ
レートと、を備えたインクジェットヘッドにおいて、前
記圧力発生手段は、中央部が両端部に比べて幅が狭く形
成され、熱膨張により座屈変形を生じる駆動体と、該駆
動体の両端部の下部に設けられたヒーター層と、前記駆
動体及びヒーター層の下部に形成されたダイヤフラム
と、により形成されることを特徴とする。
【０００７】また、基板上にインクを吐出させるための
圧力を発生させる圧力発生手段と、該圧力発生手段に対
向する位置にノズルを有するノズルプレートと、を備え
たインクジェットヘッドにおいて、前記圧力発生手段
は、ダイヤフラムと、該ダイヤフラムの下部に形成さ
れ、中央部が両端部に比べて幅が狭い構造をもち、熱膨
張により座屈変形を生じる駆動体と、該駆動体の両端部
の下部に設けられたヒーター層と、により形成されるこ
とを特徴とする。
【０００８】また、基板上にインクを吐出させるための
圧力を発生させる圧力発生手段と、該圧力発生手段に対
向する位置にノズルを有するノズルプレートと、を備え
たインクジェットヘッドにおいて、前記圧力発生手段
は、ダイヤフラムと、該ダイヤフラムの下部に形成さ
れ、中央部が両端部に比べて厚さが薄い構造をもち、熱
膨張により座屈変形を生じる駆動体と、該駆動体の両端
部の下部に設けられたヒーター層と、により形成される
ことを特徴とする。
【０００９】
【作用】本願のインクジェットヘッドでは、駆動体の中
央部の幅を狭くした構造により中央部に比べてその両端
部は座屈しにくくなり、中央部のみ座屈する。そしてヒ
ーター層を駆動体の両端部にのみ形成したため、ヒータ
ー層と基板との距離は動作中でも一定に保つことがで
き、放熱効果がよくなる。
【００１０】また、駆動体の表面をダイヤフラムで覆う
構造とした場合には、中央部の幅を狭くして中央部にの
み変形を生じさせ、ヒーター層と基板との距離を一定に
保つことができると同時に、ダイアフラム表面の温度上
昇を押さえることができる。
【００１１】また、駆動体の形状を中央部のみ厚さを薄
く形成し、ヒーター層を駆動体の両端部に配置し、さら
に駆動体の全面を覆うようにダイアフラムを形成した場
合には、駆動体の中央部でのみ変形を生じてヒーター層
と基板との距離を一定に保つことができると同時に、厚
さの違いにより変形を生じさせる力が大きくなるので、
駆動体の幅を狭くすることができる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明を図面を用いて詳細に説明す
る。
【００１３】図１（ａ）に本発明による第１の実施例を
示す。シリコン単結晶基板１上にダイアフラム２、第１
絶縁層３、ヒーター層４、第２絶縁層５、座屈体６が順
次形成され、その上にはノズル１２を有するノズルプレ
ート７が形成されている。ここで座屈体とは、熱膨張に
より座屈変形を生じる駆動体を指している。
【００１４】基板１には裏面貫通孔８が形成され、また
ダイアフラム２と第１絶縁層３及び座屈体６の間にはギ
ャップ９が形成されている。座屈体６とダイアフラム２
は中央の連結部分１０で結合されている。
【００１５】図１（ｂ）はヘッドの平面図である。固着
部分６ａは座屈体６のうち基板１に固着されている部分
であり、根本部分６ｂ、中央部分６ｃはギャップ９によ
り基板１から離れた状態にある。座屈体６の中央部分６
ｃは固着部分６ａ、根本部分６ｂより幅Ｗが狭く形成さ
れている。またヒーター層４は、座屈体６の固着部分６
ａから根本部分６ｂにかけてのみ形成され、中央部分６
ｃには形成されていない。
【００１６】ノズルプレート７とダイアフラム２で囲ま
れた部分がインク室１１であり、インク室１１の圧力を
高くすることによりノズル１２からインクを吐出させ
る。
【００１７】本実施例で特徴的であるのは、座屈体６の
形状を中央部のみ幅を狭くし、かつヒーター層４を座屈
体６の幅の広い根本部分及び固着部分にのみ形成したこ
とにある。
【００１８】次に本実施例の動作を説明する。図２は本
実施例の素子の動作を示したものである。ヒーター層４
に電流を流して加熱を行うと、座屈体６は熱膨張し矢印
Ａで示した方向に伸びる。ところが、座屈体６の中央部
６ｃは両端部に比べて幅が狭くなっているため、この部
分の圧縮応力は根本部分６ｂに比べて大きく、根本部分
６ｂが座屈する前に座屈応力を越え先に座屈を生じる。
このため図２に示したように座屈体６の中央部分のみ変
形を生じ、根本部分６ｂの変形は非常に少ない状態とな
る。また、これと連結されているダイアフラム２は、中
央部６ｃに連結されているので変形が大きく生じ、イン
ク室を加圧してインクを吐出する作用を生じる。
【００１９】次に本発明による第２の実施例を図３
（ａ）に示す。シリコン単結晶基板１３上に第１絶縁層
１４、ヒーター層１５、第２絶縁層１６、座屈体１７、
ダイヤフラム１８が順次形成され、その上にはノズル２
４を有するノズルプレート１９が形成されている。
【００２０】基板１３には裏面貫通孔２０が形成されて
いる。また、座屈体１７とダイヤフラム１８、及び基板
１３と第１絶縁層１４との間にはギャップ２１、２２が
それぞれ形成されている。座屈体１７とダイアフラム１
８は中央の連結部分２５で結合されている。
【００２１】図３（ｂ）はヘッドの平面図である。座屈
体１７の固着部分１７ａは基板１３に固着されている
が、根本部分１７ｂ、中央部分１７ｃはギャップ２２に
より基板１３から離れた状態にある。また座屈体１７の
中央部分１７ｃは根本部分１７ａ、固着部分１７ｂより
幅が狭く形成されている。ヒーター層１５は座屈体１７
の固着部分１７ａから根本部分１７ｂにかけてのみ形成
され、中央部分１７ｃには形成されていない。
【００２２】ノズルプレート１９とダイアフラム１８で
囲まれた部分がインク室２３であり、インク室２３の圧
力を高くすることによりノズル２４からインクを吐出さ
せる。
【００２３】本実施例で特徴的であるのは、座屈体１７
の形状を中央部分１７ｃのみ幅を狭く形成し、かつヒー
ター層１５を座屈体１７の幅の広い根本部分１７ｂ及び
固着部分１７ａにのみに形成し、さらに座屈体１７を全
面覆うようにダイアフラム１８を配置したことにある。
【００２４】次に本実施例の動作を説明する。図４は本
実施例の素子の動作を示したものである。ヒーター層１
５に電流を流して加熱を行うと、座屈体１７が熱膨張で
膨張し、矢印Ｂで示す方向に伸びる。ところが、座屈体
１７の中央部分１７ｃは、両端部に比べて幅が狭く形成
されているため、この部分の圧縮応力は根本部分１７ｂ
に比べ大きく、根本部分１７ｂが座屈する前に座屈応力
を越えて座屈を生じる。このため図４に示したように座
屈体１７の中央部分のみ変形を生じ、根本部分１７ｂの
変形は非常に少ない状態となる。またダイアフラム１８
は、中央で座屈体１７に連結されているので変形が大き
く生じる。このため、インク室を加圧してインクを吐出
する作用を生じる。
【００２５】次に、本発明による第３の実施例を図５に
示す。シリコン単結晶基板２６上に第１絶縁層２７、ヒ
ーター層２８、第２絶縁層２９、座屈体３０、ダイヤフ
ラム３１が順次形成され、その上にはノズル３７を有す
るノズルプレート３６が形成されている。
【００２６】基板２６には裏面貫通孔３２が形成されて
いる。また基板２６と第１絶縁層２７、及び座屈体３０
とダイヤフラム３１との間には、ギャップ３３、３４が
それぞれ形成されている。座屈体３０とダイアフラム３
１は中央の連結部分３５で結合されている。また、図５
（ｂ）はヘッドの平面図である。
【００２７】本実施例で特徴的であるのは、座屈体３０
の形状を中央部分のみ厚さを薄く形成し、かつヒーター
層２８を座屈体３０の根本部分及び固着部分にのみ形成
し、座屈体３０の全面を覆うようにダイアフラム３１を
配置したことにある。この構造によれば、加熱により座
屈体は座屈を生じるが、中央部分の厚さが薄く形成され
ているのでこの部分が先に座屈を生じ、結果として中央
部分のみ変形を生じ、根本部分の変形は非常に少ない状
態となる。また、厚さの違いにより中央部に働く力はよ
り大きくなるため、座屈体の幅をさらに狭くしても座屈
変形をおこすことが可能となり、図５（ｂ）のごとく素
子を密に形成することが可能となる。
【００２８】次に、本発明によるインクジェットヘッド
の製造方法を図６を用いて説明する。まず図６（ａ）の
ごとくシリコン単結晶基板３８の両面に熱酸化膜３９を
形成する。続いて図６（ｂ）のごとく裏面にパターニン
グをおこなって、裏面供給口の形状４０に相当する部分
だけ熱酸化膜を除去する。そして図６（ｃ）のごとく基
板をＫＯＨを主成分とするエッチング液に浸積して異方
性エッチングを行い、裏面供給口４１を形成する。ただ
しこの時点では、裏面供給口は基板３８を貫通せず、途
中でエッチングを停止して基板３８の表面に穴があかな
いようにする。
【００２９】次に図６（ｄ）のごとく表面に犠牲層４２
の形成を行う。犠牲層の材料としてはＡｌ、Ｚｎやフォ
トレジストを用いることができる。この犠牲層は、次に
形成するダイアフラムの円周方向に段差をつけるために
設けるが、必ずしも必要ではなく省略してもよい。次に
図６（ｅ）のごとく表面に金属ダイアフラム層４３を形
成する。ダイアフラムの材料としてはニッケル、銅、コ
バルトあるいはこれらの合金を用い、電気メッキで形成
することができる。続いて図６（ｆ）のごとく表面に犠
牲層４４を形成しパターニングする。犠牲層の材料とし
てはＡｌ、Ｚｎ、フォトレジストなどを用いることが可
能である。犠牲層の中央部分には犠牲層を設けない部分
を設ける。次に図６（ｇ）のごとく絶縁層で挟まれたヒ
ーター層４５を設け、その上に図６（ｈ）のごとく座屈
体層４６を設ける。座屈体は、ニッケル、銅、コバルト
もしくはこれらの合金を用いて電気メッキで形成するこ
とができる。座屈体層を形成するときには、メッキを行
わない部分にレジストパターンを設けてメッキ層が積層
しないようにし、所望のパターンに座屈体層を形成する
ことが可能である。このとき、平面的な形状としては図
１に示したように、根本部分を中央部より広く形成す
る。また、図６（ｇ）で形成するヒーター層は、この座
屈体の根本部分及び固着部分の下部にのみ位置するよう
に形成する。
【００３０】続いて図６（ｉ）のごとくＫＯＨを主成分
とするエッチング液に基板全体を浸積し、異方性エッチ
ングにより裏面供給口を設ける。このとき異方性エッチ
ングにより裏面供給口が形成され、かつ熱酸化膜はＫＯ
Ｈにエッチングされにくいので、最初にシリコン基板上
に設けた熱酸化膜により異方性エッチングが停止する。
次に図６（ｊ）のごとく裏面供給口にむき出しになった
熱酸化膜をエッチングで除去する。エッチング方法とし
ては、フッ酸もしくはフッ酸を含む緩衝溶液、あるいは
ＣＦ4ガスなどを用いたドライエッチングにより行うこ
とが可能である。続いて図６（ｋ）のごとくエッチング
により犠牲層を除去する。座屈体とダイアフラムの間の
犠牲層は、座屈体側面からエッチング液が侵入すること
によりエッチングされる。最後に図６（ｌ）のごとくオ
リフィスプレート４７を接着し、インクジェットヘッド
を作製する。
【００３１】
【発明の効果】第１の実施例では、図２のように座屈体
６の中央部６ｂや、ダイアフラム２が変形を生じてもヒ
ーター層４のある座屈体根本部６ａはほとんど変形しな
い。このためヒーター層４と基板１との間の距離はほと
んど変化せず、ヒーター層４からの放熱が妨げられるこ
とが少ない。基板１からの距離は、犠牲層を形成するこ
とで１ミクロン以下に設定することが可能であるので、
放熱速度が速く、応答速度の良好な素子を得ることがで
きる。
【００３２】また、第１の実施例では、ダイアフラム２
の裏側の裏面供給口８には必ずしも液体を満たす必要が
ない。これはヒーター層４からの放熱は、ギャップ９を
経て基板１へと行われるので、ダイアフラムの中央部分
を介して放熱を行う必要がなく、ダイアフラム２の裏側
に熱伝導率の低い空気層があっても差し支えないためで
ある。この点は素子の動作として大きな利点となる。な
ぜなら、裏面に液体（たとえばインク）が充填されてい
ると、ダイアフラム２の動きと一緒に裏面のインクも同
時に動かされてしまい、このことは素子の可動部重量を
増大させ、素子の応答周波数を低下させる原因となるか
らである。しかし本実施例のように裏面が空気層である
と、その質量は同体積のインクに比べて無視できるほど
小さく、可動部重量を減少させることができるので、応
答周波数を改善し、応答速度の良好な素子を得ることが
できる。
【００３３】第２の実施例によれば、ヒーター１５と基
板１３との距離が変わらないため、放熱の効果が妨げら
れないのは実施例１と同じである。また実施例２では、
これに加えて、ダイアフラム１８が座屈体１７を覆って
いるので、ヒーター１５の熱がインク室２３に伝わりに
くく、インク室２３中のインクを変質させることが少な
い。
【００３４】第３の実施例によれば、ヒーター２８と基
板２６との距離が変わらず、放熱の効果が妨げられない
こと、及びダイアフラム３１が座屈体３０を覆っている
ので、ヒーター２８の熱がインク室に伝わりにくく、イ
ンク室中のインクを変質させることが少ないことは実施
例１、２と同様である。さらに実施例３では、座屈体３
０の中央部の厚さを薄くして、中央部に働く力を大きく
し、座屈を起こり易くしたので、実施例１、２に比べて
素子の幅を狭く作ることが可能である。このため素子の
間隔を小さくすることができ、素子を密に並べて解像度
の高いヘッドを構成することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のインクジェットヘッドの第１の実施例
を表す図である。
【図２】図１のインクジェットヘッドの駆動した状態を
表す図である。
【図３】本発明のインクジェットヘッドの第２の実施例
を表す図である。
【図４】図３のインクジェットヘッドの駆動した状態を
表す図である。
【図５】本発明のインクジェットヘッドの第３の実施例
を表す図である。
【図６】本発明のインクジェットヘッドの製造方法を説
明する図である。
【図７】従来のインクジェットヘッドを表す図である。
【符号の説明】
１ 基板 ２ ダイヤフラム ３ 第１絶縁層 ４ ヒーター層 ５ 第２絶縁層 ６ 座屈体 ７ ノズルプレート ９ ギャップ １１ インク室 １２ ノズル
フロントページの続き (72)発明者 石井 頼成 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 阿部 新吾 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 木村 正治 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 堀中 大 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 恩田 裕 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 基板上にインクを吐出させるための圧力
    を発生させる圧力発生手段と、該圧力発生手段に対向す
    る位置にノズルを有するノズルプレートと、を備えたイ
    ンクジェットヘッドにおいて、 前記圧力発生手段は、中央部が両端部に比べて幅が狭く
    形成され、熱膨張により座屈変形を生じる駆動体と、該
    駆動体の両端部の下部に設けられたヒーター層と、前記
    駆動体及びヒーター層の下部に形成されたダイヤフラム
    と、により形成されることを特徴とするインクジェット
    ヘッド。
  2. 【請求項２】 基板上にインクを吐出させるための圧力
    を発生させる圧力発生手段と、該圧力発生手段に対向す
    る位置にノズルを有するノズルプレートと、を備えたイ
    ンクジェットヘッドにおいて、 前記圧力発生手段は、ダイヤフラムと、該ダイヤフラム
    の下部に形成され、中央部が両端部に比べて幅が狭い構
    造をもち、熱膨張により座屈変形を生じる駆動体と、該
    駆動体の両端部の下部に設けられたヒーター層と、によ
    り形成されることを特徴とするインクジェットヘッド。
  3. 【請求項３】 基板上にインクを吐出させるための圧力
    を発生させる圧力発生手段と、該圧力発生手段に対向す
    る位置にノズルを有するノズルプレートと、を備えたイ
    ンクジェットヘッドにおいて、 前記圧力発生手段は、ダイヤフラムと、該ダイヤフラム
    の下部に形成され、中央部が両端部に比べて厚さが薄い
    構造をもち、熱膨張により座屈変形を生じる駆動体と、
    該駆動体の両端部の下部に設けられたヒーター層と、に
    より形成されることを特徴とするインクジェットヘッ
    ド。
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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6126273A (en) * 1998-04-30 2000-10-03 Hewlett-Packard Co. Inkjet printer printhead which eliminates unpredictable ink nucleation variations
JP2003503227A (ja) * 1999-06-30 2003-01-28 シルバーブルック リサーチ ピーティーワイ リミテッド マイクロ機械装置の熱屈曲アクチュエータ
US6626525B1 (en) 1998-09-08 2003-09-30 Fuji Xerox Co. Ltd Actuator for an ink jet recording head
JP2008529813A (ja) * 2005-02-08 2008-08-07 コミサリア、ア、レネルジ、アトミク 移動ビームを備えるマイクロ機械デバイス
JP2009149104A (ja) * 1998-10-16 2009-07-09 Silverbrook Research Pty Ltd ページ幅インクジェットプリントヘッド及び同プリントヘッドを駆動する方法
US7918540B2 (en) 1998-10-16 2011-04-05 Silverbrook Research Pty Ltd Microelectromechanical ink jet printhead with printhead temperature feedback
US7931351B2 (en) 1998-10-16 2011-04-26 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet printhead and printhead nozzle arrangement
US7934799B2 (en) 1998-10-16 2011-05-03 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet printer with low drop volume printhead
US8336990B2 (en) 1998-10-16 2012-12-25 Zamtec Limited Ink supply unit for printhead of inkjet printer

Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6640402B1 (en) 1998-04-30 2003-11-04 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Method of manufacturing an ink actuator
US6126273A (en) * 1998-04-30 2000-10-03 Hewlett-Packard Co. Inkjet printer printhead which eliminates unpredictable ink nucleation variations
US6626525B1 (en) 1998-09-08 2003-09-30 Fuji Xerox Co. Ltd Actuator for an ink jet recording head
US7967422B2 (en) 1998-10-16 2011-06-28 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet nozzle assembly having resistive element spaced apart from substrate
US7946671B2 (en) 1998-10-16 2011-05-24 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet printer for photographs
JP2009149104A (ja) * 1998-10-16 2009-07-09 Silverbrook Research Pty Ltd ページ幅インクジェットプリントヘッド及び同プリントヘッドを駆動する方法
US7918540B2 (en) 1998-10-16 2011-04-05 Silverbrook Research Pty Ltd Microelectromechanical ink jet printhead with printhead temperature feedback
US7931351B2 (en) 1998-10-16 2011-04-26 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet printhead and printhead nozzle arrangement
US7934799B2 (en) 1998-10-16 2011-05-03 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet printer with low drop volume printhead
US7938524B2 (en) 1998-10-16 2011-05-10 Silverbrook Research Pty Ltd Ink supply unit for ink jet printer
US8336990B2 (en) 1998-10-16 2012-12-25 Zamtec Limited Ink supply unit for printhead of inkjet printer
US7950771B2 (en) 1998-10-16 2011-05-31 Silverbrook Research Pty Ltd Printhead nozzle arrangement with dual mode thermal actuator
US8025355B2 (en) 1998-10-16 2011-09-27 Silverbrook Research Pty Ltd Printer system for providing pre-heat signal to printhead
US7971972B2 (en) 1998-10-16 2011-07-05 Silverbrook Research Pty Ltd Nozzle arrangement with fully static CMOS control logic architecture
US7971975B2 (en) 1998-10-16 2011-07-05 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet printhead comprising actuator spaced apart from substrate
US7971967B2 (en) 1998-10-16 2011-07-05 Silverbrook Research Pty Ltd Nozzle arrangement with actuator slot protection barrier
US7976131B2 (en) 1998-10-16 2011-07-12 Silverbrook Research Pty Ltd Printhead integrated circuit comprising resistive elements spaced apart from substrate
JP2003503227A (ja) * 1999-06-30 2003-01-28 シルバーブルック リサーチ ピーティーワイ リミテッド マイクロ機械装置の熱屈曲アクチュエータ
JP2008529813A (ja) * 2005-02-08 2008-08-07 コミサリア、ア、レネルジ、アトミク 移動ビームを備えるマイクロ機械デバイス

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