JPH091796A

JPH091796A - インクジェット記録ヘッド

Info

Publication number: JPH091796A
Application number: JP14992195A
Authority: JP
Inventors: Ryuichi Asai; 隆一浅井
Original assignee: Fuji Electric Co Ltd
Current assignee: Fuji Electric Co Ltd
Priority date: 1995-06-16
Filing date: 1995-06-16
Publication date: 1997-01-07

Abstract

(57)【要約】【目的】複数の圧電素子の変位をばらつきなく，効率よ
くインク加圧室に伝達でき、インク吐出特性が揃ったイ
ンクジェット記録ヘッドを提供する。【構成】フイルタ流路６を介してインク溜まり７から分
岐したインク流路１を複数条備えた基板と、これらを覆
う振動板１０と、この振動板のインク加圧室４に対向す
る表面の定位置に接着された圧電素子１２とを備え、こ
の圧電素子の接着面に平行な方向の電界誘起歪みを駆動
源としてインクをノズル２から噴射するプラスチック製
のインクジェット記録ヘッドにおいて、振動板１０がイ
ンク加圧室４に対向する表面の定位置に圧電素子１２の
外周に対して所定の寸法裕度を有する凹部１０Ａを備
え、この凹部内に圧電素子１２がその周囲に接着剤溜ま
り１５を保持して接着される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、卓上プリンタ，ファ
ックスなどに印字装置，あるいは印刷装置として使用さ
れるインクジェット記録ヘッド、特に良好な印字品質を
得るために圧電素子の変位伝達機構部に特徴をもつイン
クジェット記録ヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、微細なノズルからインク滴を吐出
して紙などの記録媒体上に点着させ、情報の記録を行う
印字または印刷方法は、インクジェット記録方式として
知られており、その１つとしてオンデマンド型インクジ
ェット記録ヘッドが知られている。

【０００３】図３は従来のインクジェット記録ヘッドの
一例をインク流路に沿った方向に模式化して示す断面
図、図４は従来のインクジェット記録ヘッドのインク流
路の一例を模式化して示す平面図である。図において、
ガラス板，Ｓi ウェハー，金属板，あるいはプラスチッ
ク成形品からなる基板９は、互いに連通する凹溝として
形成されたノズル２，ノズル流路３，インク加圧室４，
およびインク供給路５からなる複数のインク流路１と、
これに逆流防止用のフィルタ流路６を介して連通するイ
ンク溜まり７とを備え、そのシ−ル面８に平板状の振動
板１０を気密に接合または接着することにより、シ−ル
面８により画成され，フィルタ流路６によりインクの流
通方向が規制された複数のインク流路１が形成される。
また、インク流路１のインク加圧室４に対向する振動板
１０の表面には複数のインク加圧室４に跨がって共通電
極１１が金属蒸着膜または導電性塗料の印刷膜として形
成され、かつ共通電極１１の個々のインク加圧室４に対
応する部分には、電気機械変換素子としての直方体状の
圧電素子１２の一方の電極１３が共通電極１１に導電接
触するよう極めて薄い接着剤層１４によって固定され、
インクジェット記録ヘッドが形成される。

【０００４】このように構成されたインクジェット記録
ヘッドは、圧電素子１２の他方の電極１３と共通電極１
１との間に例えば方形波の駆動電圧を印加すると、圧電
素子１２がその接着面に平行な面方向に伸縮（電界誘起
歪み）する。このとき、圧電素子１２は接着剤層１４お
よび共通電極１１を介して振動板１０に拘束された状態
になっているので、圧電素子の面方向の伸縮は振動板１
０に対して垂直な方向の変位に変換されて振動板をイン
ク加圧室側に押し曲げることになり、インク加圧室の容
積が瞬間的に減少して、その減少分に相当する量のイン
クがノズル流路３を介してノズル２から吐出し、それが
インク滴となって対向する記録紙に点着し、圧電素子１
２に印加する駆動電圧の大きさに比例した量のインク濃
度で印字が行われる。

【０００５】等しい濃度の印字を行う為には、一定の駆
動電圧に対して複数のノズルから吐出されるインク滴の
吐出初速度，インク滴量などの吐出特性が揃っているこ
とが求められる。吐出特性を揃えるためには、まず複数
の圧電素子の特性が同一でなければならず、次に圧電素
子の変位が応答よくインク加圧室内に伝わる構造が必要
である。このため、従来のインクジェット記録ヘッドで
は、圧電素子１２を共通電極１１を介して振動板１０に
押圧接着するに際して、圧電素子の周側面と振動板との
間に跨がる断面三角形状の接着剤溜まり１５を形成し、
圧電素子の変位が接着剤溜まり１５を介して振動板１０
に効率よく伝達されるよう構成されている。また、圧電
素子の変位が効率よく，かつばらつきなくインク加圧室
に伝わるためには、インク加圧室に対する圧電素子の位
置精度が鍵となる。このような観点から、圧電素子接着
時の位置精度を向上するために、振動板上の圧電素子接
着位置に凸部または凹部を設けたインクジェット記録ヘ
ッドが特開平６−２８６１３７号公報により提案されて
いる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】図３に示す従来のイン
クジェット記録ヘッドにおいては、インク加圧室４に対
する圧電素子１２の位置決め精度が悪く、振動板への圧
電素子の変位の伝達効率にばらつきが生じやすく、これ
が原因で各ノズル間でインク滴の吐出特性が不揃いにな
るという問題が発生する。また、圧電素子１２を共通電
極１１を介して振動板１０に押圧接着する際、接着剤の
量を一定量に管理しても、接着剤溜まり１５の振動板１
０に対する広がりまでを管理することは困難であり、こ
れが原因で、インク滴の吐出特性にノズル毎の差が生じ
やすくなるという問題がある。一方、特開平６−２８６
１３７号公報で提案のインクジェット記録ヘッドでは、
凸部または凹部を圧電素子の位置決めのために設けてお
り、接着剤溜まりの寸法精度およびその作用には触れら
れていない。

【０００７】この発明の目的は、複数の圧電素子の変位
をばらつきなく，効率よくインク加圧室に伝達でき、従
ってインク吐出特性が揃ったインクジェット記録ヘッド
を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに、請求項１に記載の発明は、フイルタ流路を介して
インク溜まりから分岐した一連のインク加圧室，ノズル
流路，およびノズルからなるインク流路を複数備えた基
板と、インク溜まりおよびインク流路を覆う振動板と、
この振動板の前記インク加圧室に対向する表面の定位置
にそれぞれ接着された直方体状の圧電素子とを備え、こ
の圧電素子の接着面に平行な方向の電界誘起歪みを駆動
源としてインクを前記ノズルから噴射するプラスチック
製のインクジェット記録ヘッドにおいて、前記振動板が
前記インク加圧室に対向する表面の定位置に圧電素子の
外周に対して所定の寸法裕度を有する凹部を備え、この
凹部内に前記圧電素子がその周囲に接着剤溜まりを保持
して接着される。

【０００９】ここで、請求項２に記載の発明は、凹部の
所定の大きさが、直方体状の圧電素子の短辺の長さおよ
び長辺の長さに対して１．０５〜１．２倍の大きさを持
ち、直方体状の圧電素子の厚みに対して０．２〜０．５
倍の大きさを持ち、かつ、この凹部と圧電素子の外周面
との間に圧電素子の厚みの５０〜８０％の範囲で圧電素
子に結合した接着剤溜まりを設けると良い。

【００１０】また、請求項３に記載の発明は、接着剤溜
まりを形成する圧電素子の接着剤を紫外線・熱硬化併用
型接着剤とすると良い。さらに、請求項４に記載の発明
は、振動板がインク加圧室に対向する表面の定位置に所
定の大きさの凹所を備えた補強金属板とプラスチック板
との張り合わせ材からなり、プラスチック板側を基材の
表面に接着するようにすると良い。

【００１１】一方、請求項５に記載の発明は、振動板を
インク加圧室に対向する表面の定位置に所定の大きさの
凹所を備えた金属板とすると良い。

【００１２】

【作用】請求項１に記載の発明では、インク加圧室に対
向する振動板の表面の定位置に設けた凹部が圧電素子の
外周に対して所定の寸法裕度を有するようにしたので、
圧電素子の接着工程に際して上記寸法裕度の部分が接着
剤溜まりとなって振動板表面への接着剤の広がりを規制
するので、複数の圧電素子と振動板との機械的結合状態
が均等化され、複数の圧電素子の面方向の電界誘起歪み
が均等かつ効率よく振動板を介してインク加圧室に伝達
される。したがって、複数のノズルから吐出されるイン
ク滴の吐出初速度，インク滴の量などの吐出特性を向
上，かつ均等化する作用が得られる。

【００１３】ここで、凹部および接着剤溜まりの寸法を
請求項２に記載の発明のように保持すれば、複数の圧電
素子と振動板との機械的結合状態が均等化され、複数の
圧電素子の面方向の電界誘起歪みが均等かつ効率よく振
動板を介してインク加圧室に伝達される。また、請求項
３に記載の発明では、接着剤溜まりを形成する圧電素子
の接着剤を紫外線・熱硬化併用型接着剤としたことによ
り、加熱のみの硬化時に生ずる接着剤の流れだしが防止
され、接着剤の表面張力で形成される一様な接着剤溜ま
りの形状を保持して硬化させることができ、圧電素子の
被拘束性が適切で一様なものとなり、したがってインク
ジェット記録ヘッドのインク吐出特性を揃えることがで
きる。

【００１４】さらに、請求項４に記載の発明では、振動
板を凹所を備えた金属板とプラスチック板との張り合わ
せ材としたことにより、振動板の剛性が増して振動板の
変位を効率よくインク加圧室に伝達できるので、振動板
の変位量が増し、インク吐出特性がより一層向上すると
ともに、振動板の歪み回復力が向上してノズル端面にお
けるインク先端の振動周期（メニスカス周期と呼ぶ）が
短縮されるので、インク滴の吐出に際して主滴に微細な
インク滴が付随して発生する（サテライトと呼ぶ）現象
を抑制する作用も得られる。

【００１５】さらにまた、請求項５に記載の発明では、
振動板をインク加圧室に対向する表面の定位置に所定の
大きさの凹所を備えた金属板としたことにより、振動板
の剛性の向上により振動板の変位量が増し、インク吐出
特性がより一層向上するとともに、振動板の歪み回復力
の向上によりメニスカス周期短縮され、サテライト数の
を抑制する作用が得られる。

【００１６】

【実施例】以下この発明を実施例に基づいて説明する。
なお、従来例と同じ参照符号を付けた部材は従来例のそ
れと同じ機能をもつので、以下その説明を省略する。（実施例１）図１はこの発明の実施例１になるインクジ
ェット記録ヘッドを模式化して示す断面図である。図に
おいて、インク流路１，フィルタ流路６，およびインク
溜まり７が凹溝として形成された基板９はポリエーテル
イミドの射出成形品として製作され、インク加圧室４に
対向する表面の定位置に凹部１０Ａを有する振動板１０
は、厚み０．３５ｍｍのポリエーテルイミドの射出成形
品として、その外周寸法が基板９の外周寸法と一致する
よう製作される。また、振動板１０に形成する凹部１０
Ａの寸法はこれに接着する圧電素子１２の寸法に対応し
て次式を目安として決定し、かつ凹部１０Ａの位置は振
動板１０の外周面を基準にしてインク加圧室４の中心に
凹部１０Ａの中心が一致するよう決定される。

【００１７】凹部の短辺の長さ＝圧電素子の短辺の長さ
×（１．０５〜１．２）凹部の調辺の長さ＝圧電素子の長辺の長さ×（１．０５
〜１．２）凹部の深さ＝圧電素子の厚み×（０．２〜０．５）この実施例では圧電素子として３．０×１．５×０．１
５ｍｍのＰＺＴ圧電素子（比誘電率＝５０００）を用い
たので、凹部１０Ａの寸法は３．３×１．７×０．０５
ｍｍとした。

【００１８】振動板と基板の接合方法は、両者の接合面
をクロロホルム蒸気中に暴露して膨潤層を形成し、両者
を重ね合わせた状態で平板間に挟んで加圧する。このと
きのクロロホルム蒸気の濃度，曝露時間，および加圧
力，加圧時間は膨潤層の厚みが１０μｍ程度になるよう
調整した。また、膨潤層に残留したクロロホルム蒸気を
除去するために、真空雰囲気中でガラス板に挟んだ状態
で加熱乾燥した。

【００１９】凹部への圧電素子の接着方法は、まず振動
板１０の要部に共通電極１１としての厚み１μｍのアル
ミニウム薄膜をスパッタ蒸着し、次いで凹部の共通電極
上に加熱硬化型のエポキシ樹脂系接着剤をディスペンサ
ーを用いて一定量滴下する。この状態で凹部の定位置に
圧電素子を載せ、所定の荷重を加えて余分な接着剤を接
着面から追い出す。このとき、追い出された接着剤はそ
の表面張力によって図に示すような接着剤溜まり１５を
形成する。そこで、所定の温度と時間で接着剤を加熱硬
化させる。このときの接着剤の滴下量は図に示す接着剤
溜まり１５の上部の縁が圧電素子１２の厚みの５０〜８
０％の位置にあって圧電素子の外周面に結合するに適し
た量とする。この実施例では圧電素子１つあたり１２０
μｃｃの接着剤を滴下した。なお、圧電素子１２および
凹部１０Ａはその長辺がインクの通流方向に並行するよ
う接着する。

【００２０】表１はこの発明の実施例１になるインクジ
ェット記録ヘッドの振動板の変位量とインク滴の吐出速
度の測定結果を従来技術のそれと比較して示すデータ表
であり、供試体としてマルチノズル数５のインクジェッ
ト記録ヘッド１０個を用い、圧電素子の駆動電圧として
電圧値１００Ｖ，パルス幅８０μｓ，圧電素子の変位周
波数４ｋＨ_Zの矩形波電圧を共通に印加して得られたデ
ータである。なお、比較例として図３に示すように凹部
なしのヘッドを用いた。

【００２１】

【表１】

【００２２】表１において、振動板の変位量は圧電素子
中心の最大変位量をインク加圧室側から測定した値であ
り、実施例１になるインクジェット記録ヘッドの振動板
の変位量が凹部なしのヘッド（比較例）のそれに比べて
１割高くなっており、実施例では振動板に凹部を設けて
圧電素子の位置精度および接着剤溜まりの形状寸法を制
御したことにより、振動板の変位量の向上効果が得られ
るとともに、その標準偏差が比較例の３分の２程度に低
減されている。また、インク滴の吐出速度はインク滴の
初速度を示しており、実施例ではその標準偏差が比較例
の３分の１程度にまで低減されている。以上の結果か
ら、この実施例によれば、従来に比べてインクジェット
記録ヘッド間およびマルチノズル間でインク吐出特性の
揃ったインクジェット記録ヘッドを提供できることが実
証された。

【００２３】（実施例２）表２はこの発明の実施例２に
なるインクジェット記録ヘッドの振動板の変位量とイン
ク滴の吐出速度の測定結果を示すデータ表であり、この
実施例２が図１に示す実施例１と異なるところは、圧電
素子を紫外線・熱硬化併用型接着剤を用いて振動板に接
着した点にある。表２のデータを表１に示すの実施例１
のデータと比較すると、振動板の変位量，インク滴の吐
出速度ともに平均値に大きな差は認められないものの、
それぞれの標準偏差が大幅に低減されている。このこと
から、紫外線・熱硬化併用型接着剤を用いて接着剤溜ま
りの形状，寸法を実施例１に比べてさらに一様なものと
することにより、インク滴吐出特性が従来のそれより揃
ったインクジェット記録ヘッドが得られることが実証さ
れた。また、この実施例では接着剤の硬化処理に要する
電力を従来のそれより節約でき、かつ歩留りの向上によ
ってインクジェット記録ヘッドの製造コストを低減でき
る利点が得られる。

【００２４】

【表２】

【００２５】（実施例３）図２はこの発明の実施例３に
なるインクジェット記録ヘッドを模式化して示す断面図
である。この実施例が図１に示す実施例１と異なるとこ
ろは、振動板１０がインク加圧室４に対向する表面の定
位置に所定の大きさの凹部１０Ａを備えた補強金属板１
０Ｂとプラスチック板１０Ｄとを接着剤層１０Ｃで張り
合わせた積層材からなり、プラスチック板１０Ｄ側が基
材９の表面に接着された点にある。すなわち、補強金属
板１０Ｂにはエッチング加工で凹部１０Ａを形成した厚
み０．２ｍｍのニッケル板を用い、厚み０．０５ｍｍの
ポリエーテルイミドからなるプラスチック板１０Ｄとの
間に厚み３０μｍのホットメルト接着剤を介在させた状
態で所定の面圧を加えて接着層の厚みが均一になるよう
加熱，接着した。なお、補強金属板１０Ｂが共通電極の
機能を兼ねる他は、凹部１０Ａの決め方，基板９との接
合方法等は図１に示す実施例と同様であり、詳しい説明
は省略する。

【００２６】表３は図２に示すインクジェット記録ヘッ
ドの振動板の変位量とインク滴の吐出速度の測定結果を
従来技術のそれと比較して示すデータ表、表４は図２に
示すインクジェット記録ヘッドの振動板のメニスカス周
期の測定結果を従来技術のそれと比較して示すデータ表
であり、測定条件は表１における測定条件と同じであ
る。また、表５は図２に示すインクジェット記録ヘッド
のサテライト数の測定結果を実施例１のインクジェット
記録ヘッド（金属板なしのヘッド）のそれと比較して示
すデータ表であり、マルチノズル数５のインクジェット
記録ヘッド５個について、１００ドットあたりのサテラ
イト数で示した。

【００２７】

【表３】

【００２８】

【表４】

【００２９】

【表５】

【００３０】表３において、実施例３のヘッドの振動板
の変位量，インク滴の吐出量ともに凹部なしの従来のヘ
ッド（図３に示すヘッド）に比べてその平均値が３割程
度大きくなっている。これは、ニッケル板からなる補強
金属板により振動板の剛性が向上したためと考えられ
る。この反面、従来のヘッドと比べた平均値の標準偏差
は小さくなっているものの、実施例１，実施例２に比べ
て標準偏差がやや大きくなっている。これは、振動板を
積層材としたため、接着層の存在によりデータのばらつ
きがやや増加したものと考えられる。一方、表４におい
ては、凹部なしの従来のヘッドではメニスカス周期が圧
電素子の変位周期（１／４ｋＨ_Z＝２５０μｓ）に近い
２４１μｓであるのに対して実施例３のヘッドでは１９
７μｓに短縮されており、振動板の剛性の向上により変
位の回復が速くなっていることを表している。メニスカ
ス周期の短縮効果は表５におけるサテライト数の低減効
果として明確に表れており、比較例として示す実施例１
のヘッドのサテライト数が２９であるのに対して実施例
３のヘッドのそれは３．１に低減されており、主インク
滴に付随するサテライトにより印字品質が低下すること
を防止できることを示している。以上の測定データか
ら、凹部を形成した補強金属板をプラスチック製の振動
板上に接着して振動板の剛性を高めることにより、イン
ク吐出特性はもとより、印字品質も従来のヘッドのそれ
より高いレベルで揃ったマルチノズルタイプのインクジ
ェット記録ヘッドを得られることが実証された。

【００３１】（実施例４）表６はこの発明の実施例４に
なるインクジェット記録ヘッドの振動板の変位量とイン
ク滴の吐出速度の測定結果を示すデータ表である。この
実施例が図１に示す実施例１と異なるところは、振動板
１０がインク加圧室４に対向する表面の定位置に所定の
大きさの凹所１０Ａを備えた金属板（この場合ニッケル
板）からなり、基材９の表面に厚み３０μｍのホットメ
ルト接着材を用いて接着された点にある。すなわち、図
２におけるプラスチック板１０Ｄを取り除き、補強金属
板１０Ｂを基板９に直接接着したような構造となってい
る。この実施例４の場合、ホットメルト接着材がインク
流路内に入り込むことを考慮して、予めインク流路１の
深さを２０μｍ程度深く形成している。また、接着時の
加熱条件は実施例３に比べて緩やかに制御した。なお、
表６における測定条件は実施例１のそれと同じ条件とし
た。

【００３２】

【表６】

【００３３】表６のデータを表３（実施例３）のデータ
と比較すると、振動板の変位量に関して平均値が２割程
度大きくなっている。これは、実施例３で補強金属板と
プラスチック板との接着に必要とした接着層１０Ｃが排
除され、圧電素子の変位がインク加圧室により直接伝わ
るためと考えられる。一方、インク吐出速度は基板との
シール面にホットメルト接着材層が介在するため、実施
例３に比べてデータの標準偏差が大きくなっている。し
かし従来の凹部なしのインクジェット記録ヘッドに比べ
て優れた特性を示し、実施例１，３のようにクロロホル
ム蒸気による接合工程やポリエステルイミド製の振動板
が不要になるため、製造コストの低減が可能であり、印
字品質の仕様が緩やかなインクジェット記録ヘッドを経
済的に有利に提供できる利点が得られる。

【００３４】

【発明の効果】この発明のインクジェット記録ヘッドは
前述のように、振動板の変位量およびインク滴の吐出速
度が圧電素子の変位伝達機構部に依存する傾向が強いこ
とに着目し、振動板の凹部と振動板外周面との間に設け
た一定の寸法裕度を利用して接着剤溜まりの形状，寸法
のばらつきを抑制するよう構成した。その結果、凹部な
しの従来のヘッドに比べて振動板の変位量およびインク
滴の吐出速度の平均値の向上と，標準偏差の大幅な低減
が可能となり、したがってインク吐出特性の不揃いがな
く，高い印字品質が得られるインクジェット記録ヘッド
を提供することができる。

【００３５】また、圧電素子の接着に紫外線・熱硬化併
用型接着剤を用いたことにより、振動板の変位量および
インク滴の吐出速度の標準偏差の一層の低減が可能にな
り、インク吐出特性の不揃いがより少なく，より高い印
字品質が得られるインクジェット記録ヘッドを提供する
ことができる。さらに、振動板を凹部を有する補強金属
板とプラスチック板との張り合わせ材とすれば、振動板
の変位量およびインク滴の吐出速度の平均値の向上効
果、およびサテライト数の低減効果が得られ、従ってイ
ンク滴の吐出特性および印字性能の高いインクジェット
記録ヘッドを提供することができる。

【００３６】さらにまた、振動板を凹部を有する金属板
とすることにより、振動板の変位量およびインク滴の吐
出速度の平均値がより高く、インク滴の吐出特性に優れ
たインクジェット記録ヘッドを、簡略化した製造工程に
よって経済的に有利に提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例１になるインクジェット記録
ヘッドを模式化して示す断面図

【図２】この発明の実施例３になるインクジェット記録
ヘッドを模式化して示す断面図

【図３】従来のインクジェット記録ヘッドの一例をイン
ク流路に沿った方向に模式化して示す断面図

【図４】従来のインクジェット記録ヘッドのインク流路
の一例を模式化して示す平面図

【符号の説明】

１インク流路２ノズル３ノズル流路４インク加圧室５インク供給路６フィルタ流路７インク溜まり８シール面９基板１０振動板１０Ａ凹部１０Ｂ補強金属板１０Ｃ接着層１０Ｄプラスチック板１１共通電極１２圧電素子１３電極１４接着剤層１５接着剤溜まり

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】フイルタ流路を介してインク溜まりから分
岐した一連のインク加圧室，ノズル流路，およびノズル
からなるインク流路を複数備えた基板と、インク溜まり
およびインク流路を覆う振動板と、この振動板の前記イ
ンク加圧室に対向する表面の定位置にそれぞれ接着され
た直方体状の圧電素子とを備え、この圧電素子の接着面
に平行な方向の電界誘起歪みを駆動源としてインクを前
記ノズルから噴射するプラスチック製のインクジェット
記録ヘッドにおいて、前記振動板が前記インク加圧室に
対向する表面の定位置に圧電素子の外周に対して所定の
寸法裕度を有する凹部を備え、この凹部内に前記圧電素
子がその周囲に接着剤溜まりを保持して接着されてなる
ことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】請求項１記載のインクジェット記録ヘッド
において、凹部の所定の大きさが、直方体状の圧電素子
の短辺の長さおよび長辺の長さに対して１．０５〜１．
２倍の大きさを持ち、直方体状の圧電素子の厚みに対し
て０．２〜０．５倍の大きさを持ち、かつ、この凹部と
圧電素子の外周面との間に圧電素子の厚みの５０〜８０
％の範囲で圧電素子に結合した接着剤溜まりを備えたこ
とを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】請求項１記載のインクジェット記録ヘッド
において、接着剤溜まりを形成する圧電素子の接着剤が
紫外線・熱硬化併用型接着剤であることを特徴とするイ
ンクジェット記録ヘッド。
【請求項４】請求項１記載のインクジェット記録ヘッド
において、振動板がインク加圧室に対向する表面の定位
置に所定の大きさの凹部を備えた補強金属板とプラスチ
ック板との張り合わせ材からなり、プラスチック板側が
基材の表面に接着されてなることを特徴とするインクジ
ェット記録ヘッド。
【請求項５】請求項１記載のインクジェット記録ヘッド
において、振動板がインク加圧室に対向する表面の定位
置に所定の大きさの凹所を備えた金属板であることを特
徴とするインクジェット記録ヘッド。