JPH02192954A - 液体噴射記録ヘッドおよび液体噴射記録装置 - Google Patents

液体噴射記録ヘッドおよび液体噴射記録装置

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JPH02192954A
JPH02192954A JP1281647A JP28164789A JPH02192954A JP H02192954 A JPH02192954 A JP H02192954A JP 1281647 A JP1281647 A JP 1281647A JP 28164789 A JP28164789 A JP 28164789A JP H02192954 A JPH02192954 A JP H02192954A
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Makiko Kimura
木村　牧子
Tsutomu Abe
力 阿部
Hiroshi Nakagome
中込　寛
Takashi Watanabe
隆 渡辺
Norihisa Saito
斎藤　憲久
Kunihiko Maeoka
前岡　邦彦
Kazuaki Masuda
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野コ 本発明は、液体噴射記録ヘッドおよび該ヘッドを具備す
る液体噴射記録装置に関し、詳しくは吐出口から吐出さ
せた液滴により記録がなされる液体噴射記録装置に用い
られる液体噴射記録ヘッドおよび該ヘッドを具備する液
体噴射記録装置に関する。
［従来の技術］ 従来のこのｆ！ｆＩ液体噴射記録装置としては、圧電素
子の変形により液流路内に圧力変化を発生させて微小液
滴を吐出させるもの、あるいはさらに−対の電極を設け
て、これにより液滴を偏向させるもの、もしくは液流路
内に配設した発熱素子を急激に発熱させることによって
気泡を生ぜしめるなどの熱エネルギを利用することによ
って吐出口から液滴を吐出させるもの等が種々提案され
てきた。
これらの中でも、熱エネルギを利用して記ｇ３　？＆を
吐出する方式に係る液体噴射記録ヘッドは、記録用の液
滴を吐出して飛翔用液滴を形成するためのオリフィス等
の液体吐出口（以下オリフィスともいう）を高密度に配
列することができるために高解像力の記録をすることが
可能であること、記録ヘッドとして全体的なコンパクト
化も容易であること、最近の半導体分野における技術の
進歩と偏傾性の向上が著しいｒｃ技術やマイクロ加工技
術の長所を十二分に活用でき、長尺化および面状化（２
次元化）が容易であること等により、マルチノズル化お
よび高密度実装化が容易で、しかも大量生産時の生産性
が良く製造費用も廉価にできるものとして特に注目され
ている。
第１１図（＾）および（Ｂ）は従来のこの種液体噴射記
録ヘッドの一例を示す。
これら図において、１はＳｉ等からなる第１基板であり
、その上面に吐出エネルギ発生素子としての電気熱変換
体やその配線部の群が設けられている。８はガラスや金
属等からなる第２基板であり、切削やエツチング等によ
り、インク等の記録用液体（以下車にインクという）の
導入口９、電気熱変換体に対応してインク流路１１を形
成するための溝１１Ａ　、インク流路壁ｌＯおよび導入
されたインクを貯留するとともに各流路に連通させる共
通液室となる凹部１２が形成されている。
そして、同図（Ａ）に示すように、第１および第２基板
が接着剤１３により互いに接着固定され、同図（Ｂ）　
　に示すように記録ヘッドが組立てられる。
しかし、以上の方法により得られるヘッドには、吐出す
るインク滴の直進性が損なわれることがあると言う問題
点があった。これは、とりわけ、ヘッドのオリフィスが
異質の素材から形成されるために、オリフィス周縁にお
いてインクに対する濡れ性の差が生じていることに起因
している。従来、このような欠点を除く目的で、金属板
や感光性ガラス板をエツチングしてオリフィスを成形し
てなるオリフィスプレートを別途作成してそれをヘッド
本体に貼り付けてインクジェットヘッドを作成すること
が提案されている。
しかしながら、かかる構成の液体噴射記録ヘッド（以下
インクジェット記録ヘッドまたは単に記録ヘッドともい
う）においては、以下のような問題点が生じていた。
まず、両基板１．８の接合に際して、両者を隙間なく密
着させて液封性を高めて固定するためには、第２基板８
の接合面全体にわたって接着剤１３を塗布するのが好ま
しい。しかじ流路１１のピッチや流路壁１０の高さは数
１０μｍ程度と微小であるので、接着剤１３の塗布量（
厚み）を数μｍ程度に制御しないと、接合時に加えられ
る圧力などのため接着剤が流路側にはみ出し、流路径な
いし吐出口径がばらついたり、閉塞されてしまうおそれ
も生じる。そこで、第２および／または第１基板の外周
部の３辺に沿った部分にのみ接着剤を介在させることも
考えられるが、両基板のもつ平面度１表面の凹凸、製造
上のばらつきなどに起因して、隙間なく両者を接合する
ことは困難である。
また、基板の材質によっては、例えば第２基板８を樹脂
材料で形成した場合には、変形や反りが生じてしまい、
これが流路壁ｌＯと第１基板１との密着性を低下させる
要因となることも考えられる。
また、上記従来例においては、接着剤の塗布工程を要す
るのみならず、接合に際しての位置合わせも厳密に行わ
れなければならないので、かつその接合も接着剤を使用
する限り繰返し行うことを許されない場合も多いので、
各工程が複雑で工数も多く、しかも製品の歩留りを向上
することが困難であった。
さらに、上記したインクジェット記録ヘッドには、その
製造に際してオリフィスプレートを接合する工程が含ま
れ、当該接合に際してはオリフィスと流路部とを厳密に
位置合わせする必要もある。また、第１および第２基板
のオリフィスプレートが接合されるべき端面が面一でな
い場合に当該接合が困難となるので、このためにも両基
板の接着時に困難が生じ得る。
加えて、オリフィスプレートも接着剤を用いて固定され
るが、その接着剤の使用に関して上述と同様の問題点が
生じうるし、その接着力が充分でない場合にはオリフィ
スプレートの剥れも生じるおそれがある。
以上のような製造工程の複雑さや工程数の多さは、記録
ヘッド製造費用の増大をもたらすものであり、このこと
は上述のような記録ヘッド、ないしはこれにインク供給
源たるインクタンク等を一体として構成した記録ヘッド
をディスポーザブル化する上での問題点ともなっていた
。
また、上述したように、インクジェット記録ヘッドは、
一般に微細なインク吐出口（オリフィス）、インク路、
およびこのインク路の一部に設けられる吐出エネルギー
発生素子を具えている。
そして、このようなインクジェット記録ヘッドを製造す
る方法として、前述したように、例えば、ガラスや金属
等の基板に切削やエツチング等により、微細な凹部（以
下、溝という）を形成した後、この溝を形成した基板を
他の適当な基板と接合してヘッド内にインク路を形成す
る方法が知られている。
また、複数のインク路を有する場合には、それらインク
路は大抵の場合共通液室に連通され、円滑かつ充分な記
録液がインク路内に供給され得るように構成されている
。
ところでインクの吐出によフて消費される量に応じて充
分な量の記録液をインク路内に供給するためには、その
消費量に対して充分に余裕のある容積の共通液室が望ま
れる。しかしながら、インク路の高さと同じ程度の高さ
を有する共通液室では実質的な記録液の流動抵抗を小さ
くすることができず、容量的には余裕があるものの充分
な記録液の供給を行えない場合がある。
そこで、共通液室の高さを液路の高さに対して充分大き
くすることが一般的な構成となる。
しかしながら、ガラスや金属の基板に微細な溝を形成す
る方法では、インク路の高さに対して充分な高さを有す
る共通液室を形成することが困難である。
また、エツチングを複数回繰返して共通液室のエツチン
グ量を多くし共通液室の高さを大きくすることもできる
が、この方法では工程が増加するためコストダウンや生
産性に対する要求に充分答えられるとはいえない。
そこで、共通液室部を別途製造し、接着剤等によフてイ
ンク路部分の終端部にその共通液室部を接合することで
所望の共通液室を形成することが行われている。
この方法によれば、充分な共通液室容量も得やすいため
インクジェットヘッドの性能面から見れば好ましい。
しかしながら、このように別途部品を接合する方法は同
様に工程数の増加、生産性の低下という問題を内在して
おり、より多くのコストダウンを行うためにはまだ解決
すべき点も有している。
また、このような方法を用いた場合には接着剤の硬化収
縮に伴う応力の発生や位置ずれ、不完全密閉による記録
液のもれ、インク路内や共通液室内への接着剤の流れ込
みや目詰りなどが発生する場合があった。
［発明が解決しようとする課題］ 本発明の目的は、以上のような問題点を解決して、製造
工程が簡素かつ工数が少なくてすみ、しかも信頼性の高
い廉価なインクジェット記録ヘッドおよび該ヘッドを具
えたインクジェット記録装置を提供することである。
本発明の他の目的は、上述のような種々の問題点を解決
して、共通液室とインク路とが一体に成形されたインク
ジェット記録ヘッドおよび該ヘッドを具えたインクジェ
ット記録装置を提供することにある。
［課題を解決するための手段］ そのために、本発明液体噴射記録ヘッドは、記録用液体
を吐出するために利用されるエネルギを発生するエネル
ギ発生素子が設けられた第１基板と、該第１基板と接合
される第２基板であフて、当該接合時に前記エネルギ発
生素子の配設部位に対応して記録用液体の流路を形成す
るための溝を有するとともに、該溝の前方に記録用液体
の吐出口が形成された吐出口形成部材を一体に有してな
る当該第２基板と、前記第１および第２基板に機械的付
勢力を与えて両者を密着させる付勢部材とを具えたこと
を特徴とする。
また、本発明液体噴射記録ヘッドは、接合されることに
より記録用液体の液路が形成される第１および第２基板
と、該第１および第２基板に当該接合面とは反対側の面
より付勢力を作用して両者を密着させる付勢部材とを具
えたことを特徴とする。
あるいは、本発明液体噴射記録ヘッドは、記録用液体を
吐出するために利用されるエネルギを発生するエネルギ
発生素子が設けられた第１基板と、該第１基板と接合さ
れる第２基板であって、当該接合時に前記エネルギ発生
素子の配設部位に対応して記録用液体の流路を形成する
ための溝を有するとともに、該溝の前方に記録用液体の
吐出口が形成された吐出口形成部材を一体に有してなる
当該第２基板と、を具えたことを特徴とする特 さらに、本発明液体噴射記録装置は、これらのいずれか
液体噴射記録ヘッドと、該液体噴射記録ヘッドを載置す
るための部材と、を具ａ〃することを特徴とする。
［作　用］ 本発明によれば、記録ヘッドの組立工程においてオリフ
ィスプレートたる吐出口形成部材を別途貼着する工程が
含まれないので、貼着時の位置決めが全く不要となるの
みならず、この部分に接着剤は使用されないため、その
使用に関連した流路の目詰り等の不都合を解消できる。
また、第１および第２基板とはばね等の付勢部材により
密着させられるので、これらの接合面での接着剤ないし
封止材の使用量を必要最小限とすることができ、両者の
接合時の位置決めも容易となる。
すなわち、本発明によれば、全体としての記録ヘッド製
造工程が簡略化されることになる。
また、本発明によれば、微細な形状を有するインク路用
凹部（溝）と、このインク路の数十倍のサイズの共通液
室とを一体に有した天板を形成することが可能となる。
また、天板の材質として樹脂を用いることにより、イン
ク路としての高い平滑性を得ることができる。
［実施例］ 以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図（＾）および（Ｂ）は、本発明の一実施例に係る
インクジェット記録ヘッドを示し、インク供給源たるイ
ンク収容部を一体としたディスポーザブルタイプのもの
としである。
同図（＾）において、ｉｏｏはＳＬ基板上に電気熱変換
体（吐出ヒータ）と、これに電力を供給する＾１等の配
線とが成膜技術により形成されて成るヒータボードであ
り、第１１図における第１基板１に対応する。この詳細
な構成については第２図につき後述する。２００はヒー
タボード１００に対する配線基板であり、対応する配線
は例えばワイヤボンディングにより接続される。
４００はインク流路を限界するための隔壁や共通液室等
を設けた天板であり、第１１図における第２基板８に対
応するが、本例においてはオリフィスプレート部を一体
に有した樹脂材料で成る。この天板４００の詳細な構成
については第３図ないし第５図について後述する。
３００は例えば金属製の支持体、５００は押えばねであ
り、両者間にヒータボード１００および天板４００を挟
み込んだ状態で両者を係合させることにより、押えばね
５００の付勢力によってヒータボード１００と天板４０
０とを圧着固定する。この態様については第６図および
第７図について述べる。なお、支持体３００は、配線基
板２００も貼着等により設けられるとともに、ヘッドの
走査を行うためのキャリッジへの取付は基準を有するも
のとすることができる。また、支持体３００は駆動に伴
って生じるヒータボード１００の熱を放熱冷却する部材
としても機能する。
６００は供給タンクであり、インク供給源をなすインク
貯留部からインク供給を受け、ヒータボード１００と天
板４００との接合により形成される共通液室にインクを
導くサブタンクとして機能する。
７００は共通液室へのインク供給口付近の供給タンク６
００内の部位に配置されるフィルタ、８００は併給タン
ク６００の蓋部材である。
９００はインクを含浸させるための吸収体であり、カー
トリッジ本体１００Ｇ内に配置される。１２００は上記
各部１００〜８００からなるユニットに対してインクを
供給するための供給口であり、当該ユニットをカートリ
ッジ本体１０００の部分１０１０に配置する前の工程で
供給口１２００よりインクを注入することにより吸収体
９００のインク含浸を行わせることができる。
１１００はカートリッジ本体の蓋部材、１４００はカー
トリッジ内部を大気に連通ずるために蓋部材に設けた大
気連通口である。１３００は大気連通口１４００の内方
に配置される撥液材であり、これにより大気連通口１４
００からのインク漏洩が防止される。
供給口１２００を介してのインク充填が終了すると、各
部１００〜８００よりなるユニットを部分１０１０に位
置付けて配設する。このときの位置決めないし固定は、
例えばカートリッジ本体１０００に設けた突起１０１２
と、これに対応して支持体３００に設けた穴３１２とを
嵌合させることにより行うことができ、これによって第
１図（Ｂ）のカートリッジが完成する。
そして、インクはカートリッジ内部より供給口１２００
、支持体３００に設けた穴３２０および供給タンク６０
０の第１図（＾）中実面側に設けた導入口を介して供給
タンク６００内に供給され、その内部を通った後、導出
口より適宜の供給管および天板４００のインク導入口４
２０を介して共通液室内へと流入する。以上におけるイ
ンク連通用の接続部には、例えばシリコンゴムやブチル
ゴム等のパツキンが配設され、これによって封止が行わ
れてインク供給路が確保される。
第２図（Ａ）および（Ｂ）は本実施例に係るヒータボー
ド１００の平面図およびその部分拡大図である。
同図（Ａ）において１０１は本例に係るヒータボード基
体、１０３は吐出ヒータ部である。１０４は端子であり
、ワイヤボンディングにより外部と接続される。１０２
は温度センサであり、吐出ヒータ部１０３等と同じ成膜
プロセスにより吐出ヒータ部３に形成しである。同図（
Ｂ）は同図（＾）におけるセンサ１０２を含む部分Ｂの
拡大図であり、１０５および１０６は、それぞれ、吐出
ヒータおよび配線である。また、１０８はヘッドを加熱
するための保温ヒータである。
センサ１０２は、他の部分と同様に、半導体同様の成膜
プロセスによって形成しであるため極めて高精度であり
、他の部分の構成材料であるアルミニウム、チタン、タ
ンタル、５酸化タンタル、ニオブ等、温度に応じて導電
率が変化する材料で作成できる。例えば、これらのうち
゛、チタンは電気熱変換素子を構成する発熱抵抗層と電
極との接着性を高めるために両者間に配置可能な材料、
タンタルは発熱抵抗層上の保護層の耐キャビテーション
性を高めるためにその上部に配置可能な材料である。ま
た、プロセスのバラツキを小とするために線幅を太くし
、配線抵抗等の影響を少なくするために蛇行形状として
高抵抗化を図っている。
また、同様に保温ヒータ１０８は、吐出ヒータ１０５の
発熱抵抗層と同一材料（例えば１ｌｆＢ２）を用いて形
成できるが、−ヒータボードを構成する他の材料、例え
ばアルミニウム、タンタル、チタン等を用いて形成して
も良い。
第３図および第４図は本例に係る天板４００の構成の２
例を示す。
本例に係る天板４００は、共通液室形成用四部４３０と
、これに連通したインク流路形成用溝４１１゜４１２、
・・・と、これに対応してオリフィスプレート部４０４
に形成したインク吐出口（オリフィス）　４２１゜４２
２、・・・とを所望の個数（図においては簡略のために
２個）有し、オリフィスプレート４０４一体に設けた構
成としである。
そして、第３図示の構成例においては、天板４００は耐
インク性に優れたポリサルフ才ン、ポリエーテルサルフ
ォン、ポリフェニレンオキサイド、ポリプロピレンなど
の樹脂を用い、オリフィスプレート部４０４と共に金型
内で一体に同時成型しである。一方、第４図示の構成例
においては、オリフィスプレート部４０４を天板４００
の本体部分と同一樹脂材料でなるもの、あるいは別種樹
脂材料でなるもの、さらには金属材料のフィルムを用い
て構成したものとし、これを天板４００の本体部分とは
別に製作しておき、金型内に挿入してインサート成形し
である。
次にインク流路溝４１１，４１２やオリフィス４２１゜
４２２の形成方法を説明する。
インク流路溝については、それと逆パターンの微細溝を
切削等の手法により形成した型により樹脂を成型し、こ
れによって天板４００に流路溝４１１゜４１２を形成す
ることができる。
オリフィス４２１，４２２については、オリフィス４２
１．４２２の形状の駒、例えば円筒形スライド駒を金型
内のオリフィス成形部分に配置し、樹脂を充填してこれ
が硬化した後に駒をスライドして逃がすことにより、金
型内で形成することができる。
また、他の方法としては、金型内ではオリフィス４２１
．４２２を有さない状態で成形し、オリフィスを形成す
べき位置にオリフィスプレート部４０４の端面側から型
内から取り出した後に例えばレーザ装置により紫外線を
照射し、樹脂を除去・蒸発せしめてオリフィス４２１，
４２２を形成することもできる。インク流路溝４１１，
４１２や共通液室形成用の凹部についても、レーザ装置
からの紫外線の照射により形成することも可能である。
このとき、エキシマレーザを適切に用いると、マスクパ
ターンに沿った精密な加工を簡単に行うことができる。
実施例では、第３図または第４図の構成に対し、インク
流路溝幅３０〜５０μｌ、非溝部幅２０〜４０μｍ、オ
リフィス穴径２０〜４０μｍの天板４００を得た。
そして、このような天板４００に対し、第５図に示すよ
うに、吐出ヒータ１０５等を有するヒータボード１００
をオリフィスプレート部４０４に突き当てて接合し、記
録ヘッド本体を得る。
以上の如き構成では、従来のように天板とオリフィスプ
レートとの位置合わせや接着が不要であるので、位置合
わせ誤差や接着時の位置ずれ等が全く無くなり、不良品
の低減および工程の短縮によって、記録ヘッドの量産性
並びに低廉化に資することができた。また、従来のよう
な天板とオリフィスプレートとの接着工程が存在しない
ので、接着剤が流れ込むことによるオリフィスやインク
流路の閉塞の恐れがない。さらに、ヒータボード１００
とオリフィスプレート部４０４を一体とした天板４００
との接合時に、オリフィスプレート部４０４の吐出側端
面と逆側の端面にヒータボード１００を突き当てること
により流路方向の位置決めができるので、全体的な位置
決め工程や組み立て工程が容易となる。加えて、従来の
ようなオリフィスプレートの剥離のおそれも全く生じな
い。
第６図は第１図に示した天板４００を示す斜視図であり
、この天板４００は共通液室形成用凹部４０３とインク
流路形成用溝４０２とを一体に有する樹脂成形体である
。樹脂材料としては耐インク性の擾れたポリエーテルサ
ルフォン、ポリエーテルエーテルケトンなどを用い、そ
の中でも成形のために流動性のよい（ｍｅｌｔ　ｆｌｏ
ｗ　ｒａｔｅ　ｔｏｇ７’ｔｏ分以上）材料全以上る。
成形機は市販の射出成形機を用いるが、微細な形状を精
度よく転写するため射出圧力２０００ｋｇ／ｃｍ”以上
の能力を有する成形機を用いる。また、プラスチックの
流動性を高めるためシリンダ温度は４００℃以上に加熱
する。
金型は第６図に示した天板４００と対になる形状の金型
を用いる。また、転写性を良くするため金型を材料の熱
変形温度以上に加熱できるようにヒータ、熱媒体等を金
型内に設ける。なお、金型の樹脂充填部を真空ポンプ等
により減圧し転写性を高めることも有効である。
第６図に示す溝幅１は、本例の記録ヘッドが１１１ＩＩ
１１当り１６個の吐出口を有するため３２μｍとし非溝
部の幅２は３１．５μｍとする。従って金型の、溝部に
対応する凸部の幅を３１．５μｍとした。
金型で成形された天板４００は精密に洗浄された後に第
７図に示す如く、ガラス、セラミックスプラスチック、
　Ｓｔあるいは金属等で形成されることが可能な基板に
吐出エネルギ発生素子（吐出用ヒータ）１０５を配設し
たヒータボード１００　と接合し、ヘッド本体８０を構
成する。
また、図中４４１はヘッド本体８０のオリフィスである
。
第８図はヒータボード１００と天板４００とを接合ない
し固定する一態様を示す。なお、図では簡略化のために
天板４００のオリフィスプレート部４０４は一点鎖線で
示し、ヒータボード１００上の配線パターンの図示を省
略しである。
上述のように、ヒータボード１００　と天板４００との
位置決めは、ヒータボードｌＯＯの端面をオリフィスプ
レート部４０４に突き当てて行うが、これらの接合にあ
たって天板４００の外周部の３辺に沿って接着剤４０５
を塗布した。これによってインク流路への接着剤の流れ
込みを抑えることが可能となる。さらに、ヒータボード
１００　とオリフィスプレート部４０４との接合面に必
要かつ十分な量だけ適宜の範囲にわたって接着剤を存在
させることもできる。
本例では、この接着剤４０５として、光硬化型の接着剤
ｔｌＶ−２０１（ブレースジャパン■）を用い、位置決
めを行った後に例えば１０〜３０Ｊ／ｃ＋＊’の紫外線
を照射し、硬化させて両者を固定した。ここで、接着剤
４０５の存在部分は流路ないし吐出口から離隔している
ので、位置決めにあたっての試行回数の許容値は増大す
る。
次に、このように天板４００およびヒータボード１００
を一体化して得た記録ヘッド本体を支持体３００上に接
着剤３０６を用いて固定する。この接着剤３０６　とし
ては、例えばキャノンケミカル■によるＨＰ２Ｒ／２＋
１を用いることができる。
この状態では、前述のように両基板（ヒータボード１０
０および天板４００）は流路部以外の外周部で接着させ
られているだけで充分な密着が得られていない。そこで
、天板４００の上部側より断面がＭ字状を有する押えば
ね５００の付勢力を作用させる。この押えばね５００と
しては、例えばばね用のリン青銅やステンレスを用いて
形成することができる。そして、その両端下部に設けた
爪５０７を支持体３００に設けた穴部３０７に嵌入させ
、両者を係合させることで天板４００の上部から機械的
圧力が加わるようになる。これによフて、両基板の十分
な密着状態が得られる。なお、この押えばね５００にお
いて、５２０は穴であり、天板４００のインク導入口４
２０と供給タンク６００側のインク供給口とを接続する
供給管の挿通を受容する。
本例においては、天板４００とヒータボード１００との
接合にあたって光硬化型の接着剤を用いたが、その形態
はいかなるものであってもよく、あるいは押えばね５０
０で十分な固定力ないし密着力が得られるのであれば必
ずしも接着剤を用いる必要はない。例えば液封性を高め
ることのみを目的として、適宜の封止材、すなわち封止
剤やゴムパツキン等の封止部材を用いることができる。
また、同様にして、押えばね５００の爪５０７と支持体
３００の穴部３０７との係合によりヘッド本体の十分な
固定力が得られるのであれば、接着剤３０６を用いなく
てもよい。
本例によれば、天板４００の流路壁の面に接着剤を塗布
することなく充分な接合状態が得られるので、接着剤の
塗布工程が簡略化できる。また、従来位置合わせでずれ
が生じた場合には流路部に接着剤がヒータボード１００
の吐出ヒータ１０５等に付着したり、流路ないし吐出口
を閉塞して不良品が生しるおそれがあったが、本例では
そのようなことがなく、何度でも位置合わせができるこ
とにもなる。さらに、樹脂材料を用いた天板に変形や反
り、あるいは製造上のばらつきが多少あっても許される
ので、その製造工程も簡単になる。
第９図は第８図示の構成の変形例を示す。なお、図では
天板４００におけるオリフィスプレート部４０４の図示
を省略しである。
本例では、第８図示の例と同じく、支持体３００にヒー
タボード１００および天板４００から成る記録ヘッド本
体が接合された状態で、天板４００の上面から平面状と
した板ばね５００で線状の圧力を加えることにより充分
な密着を得る構造とした。そして、板ばね５００はさら
に上部の別部材（例えば第１図における供給タンク６０
０）により加圧されるものである。
第１Ｏ図において、板ばね５００が押圧する位置は少な
くともヒータボード１００と溝付天板４００との接合に
よって形成されるインク路領域を押圧していることが好
ましい。それには吐出口側により近い領域を押圧するこ
とが好ましく、最も好ましくは吐出口形成領域を押圧す
ることが好ましい。
本例によっても、第９図示の構成と同様の効果を得るこ
とができた。
さらに第１Ｏ図示の実施例によれば、基板と溝付天板と
の接合に際し、機械的押圧力を発生させるバネ製板状部
材材の溝付天板接触押圧面を平面状でなく、線状とする
ことにより、押圧力の集中を図り、インク吐出口近傍の
インク路形成領域に相当する溝付天板上面領域な略均−
な押圧力で押えることが可能となり、隣り合うインク路
どうしのインク路壁が完全に基板と密着される為、吐出
圧が隣りの流路へ逃げることもなくなり、インク滴の安
定した吐出が得られ、常に安定した良好な印字品位を得
ることのできるインクジェット記録ヘッドを提供するこ
とができる。
以上のような構成の各部を、第１図（Ａ）につき前述し
た工程で組立て、同図（Ｂ）に示すようなカートリッジ
が得ることができ、さらにこれを用いて第１０図のよう
な液体噴射記録装置、すなわち、ディスポーザブルのカ
ートリッジを用いるインクジェットプリンタを構成する
ことができる。
なお、第１Ｏ図において１４は第１図（Ａ）および（Ｂ
）　　に示したカートリッジであり、このカートリッジ
１４は、押え部材４１によりキャリッジ１５の上に固定
されており、これらはシャフト２１に沿って長手方向に
往復動可能となっている。また、キャリッジ１５に対す
る位置決めは、例えば支持体３００に設けた穴と、キャ
リッジ１５側に設けたダボ等により行うことができる。
さらに、電気的接続は配線基板２００に設けた接続パッ
ドに、キャリッジ１５上のコネクタを結合させればよい
。
記録ヘッドにより吐出されたインクは、記録ヘッドと微
少間隔をおいて、プラテン１９に記録面を規制された記
録媒体１８に到達し、記録媒体１８上に画像を形成する
。
記録ヘッドには、ケーブル１６およびこれに結合する端
子を介して適宜のデータ供給源より画像データに応じた
吐出信号が供給される。カートリッジ１４は、用いるイ
ンク色等に応じて、１ないし複数個（図では２個）を設
けることができる。
また、第１０図において、１７はキャリッジ１５をシャ
フト２１に沿って走査させるためのキャリッジモータ、
２２はモータ１７の駆動力をキャリッジ１５に伝達する
ワイヤである。また、２０はプラテンローラ１９に結合
して記録媒体１８を搬送させるためのフィードモータで
ある。
このようなディスポーザブルのカートリッジ１４を用い
るインクジェットプリンタでは、吸収体９００に含浸さ
せたインクが無くなったとき等にカートリッジ１４が変
換されるが、そのためにカートリッジ１４は廉価である
ことが望ましい。以上の実施例で述べたカートリッジ１
４は、上述のように、製造工程が簡素で工数も少ないこ
とからこれを廉価に構成できるので、ディスポーザブル
化にも極めて適している。さらに、記録ヘッド本体を組
立てる際の位置合わせを正確に行うことができ、しかも
接着剤の流れ込みによる流路等の寸法のばらつきや閉塞
が生じないことから、信頼性も非常に高く、かつ歩留り
も向上することになる。
なお、本発明は上述した実施例にのみ限られることなく
、種々の構成を採ることができるのは勿論である。
例えば、上側では記録ヘッド本体とインク供給源等とを
一体としてこれをディスポーザブルとしたが、両者は別
体であってもよく、それぞれについて必ずしもディスポ
ーザブルとしなくてもよい。すなわち、記録ヘッド本体
が固定型で簡単な交換を前提としないものであっても、
上述のように簡単かつ廉価にこれを構成することは、プ
リンタ本体の低廉化にも資するからである。
また、ヒータボード１００と天板４００　とから成る記
録ヘッド本体について、上側では天板側にのみインク流
路や共通液室の形成用凹部を設けたが、これらを双方に
設けてもよい、また、この記録ヘッド本体に関して、上
側では熱エネルギを吐出エネルギとすべく吐出ヒータ１
０５を用いたものとしたが、通電に応じて変形する電気
−機械変換素子を用い、−その機械的振動を吐出エネル
ギとする形態のものであってもよい。
さらに、上側ではオリフィスプレート部４０４自体がヒ
ータボードの突当て部分を有する構成としたが、その突
当て部の形状等はいがなるものであってもよい。例えば
、そのような突当て部を側面方向にも設けて横方向の位
置決めが行われるようにしても良く、あるいはそのよう
な突当て部を設ける代わりに、ダボと穴との組合わせに
より位置決めがなされるようにしてもよい。また、その
位置決めが問題とならないのであれば突当て部ないし位
置決め部材は不要である。すなわち、天板は溝部の前方
に接合面と面一の壁部分を有し、そこに吐出口が形成さ
れた形態であフてもよい。
さらに、上側ではオリフィスプレート部を天板に一体と
したが、本発明に関する限りオリフィスプレートが別体
に貼着されるものであってもよく、インクの直進性が問
題とならないのであればこれを設けなくてもよい。
加えて、上側では押えばねにより天板とヒータボードと
を密着接合させたが、当該接合に際して接着剤のみの使
用が問題とならないのであれば、押えばねを用いない構
成とすることも可能である。
（その他） なお、本発明は、特にインクジェット記録方式の中でも
バブルジェット方式の記録ヘッド、記録装置において優
れた効果をもたらすものである。
その代表的な構成や原理については、例えば、米国特許
第４７２３２２９号明細書、同第４７４０７９Ｂ号明細
書に開示されている基本的な原理を用いて行うものか好
ましい。この方式は所謂オンデマンド型、コンティニュ
アス型のいずれにも適用可能であるが、特に、オンデマ
ンド型の場合には、液体（インク）が保持されているシ
ートや液路に対応して配置されている電気熱変換体に、
記録情報に対応していて核沸騰を越える急速な温度上昇
を与える少なくとも１つの駆動信号を印加することによ
って、電気熱変換体に熱エネルギを発生せしめ、記録ヘ
ッドの熱作用面に膜沸騰を生じさせて、結果的にこの駆
動信号に一対一で対応した液・休（インク）内の気泡を
形成できるので有効である。この気泡の成長、収縮によ
り吐出用開口を介して液体（インク）を吐出させて、少
なくとも１つの滴を形成する。この駆動信号をパルス形
状とすると、即時適切に気泡の成長収縮が行われるので
、特に応答性に優れた液体（インク）の吐出が達成でき
、より好ましい。このパルス形状の駆動信号としては、
米国特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５２６
２号明細書に記載されているようなものが適している。
なお、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特
許第４３１３１２４号明細書に記載されている条件を採
用すると、さらに優れた記録を行うことができる。
記録ヘッドの構成としては、上述の各明細書に開示され
ているような吐出口、液路、！気熱変換体の組合せ構成
（直線状液流路または直角液流路）の他に熱作用部が屈
曲する領域に配置されている構成を開示する米国特許第
４５５８３３３号明細書、米国特許第４４５９８００号
明細書を用いた構成も本発明に含まれるものである。加
えて、複数の電気熱変換体に対して、共通するスリット
を電気熱変換体の吐出部とする構成を開示する特開昭５
９−１２３６７０号公報や熱エネルギの圧力波を吸収す
る開孔を吐出部に対応させる構成を開示する特開昭５９
−１３８４８１号公報に基いた構成としても本発明の効
果は有効である。すなわち、記録ヘッドの形態がどのよ
うなものであっても、記録を確実に効率よく行いうるか
らである。
さらに、記録装置が記録できる記録媒体の最大幅に対応
した長さを有するフルラインタイプの記録ヘッドに対し
ても本発明は有効に適用できる。
そのような記録ヘッドとしては、複数記録ヘッドの組合
せによってその長さを満たす構成や、一体的に形成され
た１個の記録ヘッドとしての構成のいずれでもよい。
加えて、装置本体に装着されることで装置本体との電気
的な接続や装置本体からのインクの供給が可能になる交
換自在のチップタイプの記録ヘッド、あるいは記録ヘッ
ド自体に一体的に設けられたカートリッジタイプの記録
ヘッドを用いた場合にも本発明は有効である。
また、本発明に記録装置の構成として設けられる、記録
ヘッドに対しての回復手段、予備的な補助手段等を付加
することは本発明の効果を一層安定できるので、好まし
いものである。これらを具体的に挙げれば、記録ヘッド
に対してのキャッピング手段、クリーニング手段、加圧
或は吸引手段、電気熱変換体或はこれとは別の加熱素子
或はこれらの組み合わせによる予備加熱手段、記録とは
別の吐出を行なう予備吐出モードを行なうことも安定し
た記録を行なうために有効である。
さらに、記録装置の記録モードとしては黒色等の主流色
のみの記録モードだけではなく、記録ヘッドを一体的に
構成するか複数個の組み合わせによってでもよいが、異
なる色の複色カラーまたは、混色によるフルカラーの少
なくとも一つを備えた装置にも本発明は極めて有効であ
る。
さらに加えて、本発明インクジェット記録装置の形態と
しては、コンピュータ等の情報処理機器の画像出力端末
として用いられるものの他、リーダ等と組合せた複写装
置、さらには送受信機能を有するファクシミリ装置の形
態を採るものであってもよい。
通液室とを一体に有した天板を形成することが可能とな
る。
また、天板の材質として樹脂を用いることにより、イン
ク路としての高い平滑性を得ることができる。
この結果、従来に比較して製造のための工程数が減少し
、また、接着剤接合によって派生する位置ずれ、記録液
もれ、インク路への接着剤の流れ込み等の弊害を防止で
きると共に、インク吐出性能の向上した液体噴射記録ヘ
ッドおよび該ヘッドを具備する液体噴射記録装置を得る
ことができる。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば簡単な製造工程で
かつその工程数も少なく、しかも信頼性の高い液体噴射
記録ヘッドを廉価に構成することができるようになる。
さらに、本発明によれば微細な形状を有するインク路溝
と、このインク路の数十倍のサイズの共
【図面の簡単な説明】
第１図（＾）および（Ｂ）は、それぞれ、本発明の一実
施例に係る記録ヘッドを含むカートリッジの構成例を示
す分解斜視図および外観斜視図、第２図（Ａ）および（
Ｂ）は、それぞれ、本実施例に係る記録ヘッドに適用可
能なヒータボードの一例を示す平面図およびその部分拡
大図、第３図および第４図は本実施例において第３図示
のヒータボードに接合される天板の構成の２例を示す斜
視図、 第５図は第２図および第３図示の各部を接合して成る記
録ヘッド本体の外観斜視図、 第６図は本発明の一実施例において射出成形された天板
を示す斜視図、 第７図は第６図に示した天板を用いて構成されるインク
ジェット記録ヘッド本体の斜視図、第８図および第９図
は記録ヘッド本体の接合ないし組上げの態様の２例を説
明するための説明図、 第１０図は第１図示のカートリッジを用いて構成したイ
ンクジェットプリンタの一例を示す斜視図、 第１１図（Ａ）および（Ｂ）は従来の記録ヘッドの組立
てを説明するための説明図である。 １・・・第１基板、 ８・・・第２基板、 ｌＯ・・・流路壁、 １１・・・インク流路、 １２・・・共通液室形成用凹部、 １３・・・接着剤、 １４・・・カートリッジ、 １５・・・キャリッジ− ４１・・・カートリッジ押え、 １００・・・ヒータボード、 １０５・・・吐出用ヒータ、 ２００・・・配線基板、 ３００・・・支持体、 ４００・・・天板、 ４０４・・・オリフィスプレート部、 ４０５・・・接着剤、 ４１１．４１２・・・インク流路形成用溝、４２０・・
・インク導入口、 ４２１．４２２，４４１・・・オリフィス、４３０．４
０３・・・共通液室形成用凹部、５００・・・押えばね
、 ６００・・・供給タンク、 ７００・・・フィルタ、 ８００・・・蓋部材、 ９００・・・インク吸収体、 １０００・・・カートリッジ本体、 １１００・・・蓋部材、 １２００・・・インク供給口、 １３００・・・撥液材、 １４００・・・大気連通口。 第 図（Ｂ’） 第３図 第７図 第６図 第８図 第１１図（Ａ）

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １）記録用液体を吐出するために利用されるエネルギを
    発生するエネルギ発生素子が設けられた第１基板と、 該第１基板と接合される第２基板であって、当該接合時
    に前記エネルギ発生素子の配設部位に対応して記録用液
    体の流路を形成するための溝を有するとともに、該溝の
    前方に記録用液体の吐出口が形成された吐出口形成部材
    を一体に有してなる当該第２基板と、 前記第１および第２基板に機械的付勢力を与えて両者を
    密着させる付勢部材と を具えたことを特徴とする液体噴射記録ヘッド。 ２）前記エネルギ発生素子は記録用液体を吐出するため
    に利用される熱エネルギを発生する電気熱変換体の形態
    を有することを特徴とする請求項１に記載の液体噴射記
    録ヘッド。 ３）接合されることにより記録用液体の流路が形成され
    る第１および第２基板と、 該第１および第２基板に当該接合面とは反対側の面より
    付勢力を作用して両者を密着させる付勢部材と を具えたことを特徴とする液体噴射記録ヘッド。 ４）前記第１または第２基板の少なくとも一方に記録用
    液体を吐出するために利用されるエネルギを発生するエ
    ネルギ発生素子として電気熱変換体が形成されているこ
    とを特徴とする請求項３に記載の液体噴射記録ヘッド。 ５）記録用液体を吐出するために利用されるエネルギを
    発生するエネルギ発生素子が設けられた第１基板と、 該第１基板と接合される第２基板であって、当該接合時
    に前記エネルギ発生素子の配設部位に対応して記録用液
    体の流路を形成するための溝を有するとともに、該溝の
    前方に記録用液体の吐出口が形成された吐出口形成部材
    を一体に有してなる当該第２基板と、 を具えたことを特徴とする液体噴射記録ヘッド。 ６）前記エネルギ発生素子は記録用液体を吐出するため
    に利用されるエネルギとして熱エネルギを発生する電気
    熱変換体の形態を有することを特徴とする請求項５に記
    載の液体噴射記録ヘッド。 ７）複数の吐出口の各々に対応して設けられる流路と、
    該流路に供給される記録用液体を貯留するための共通液
    室とを形成するための凹部が形成されている天板と、前
    記流路の一部に配設され記録用液体を吐出するために利
    用されるエネルギを発生するエネルギ発生素子を有する
    基板とを接合することによって構成される液体噴射記録
    ヘッドにおいて、 前記天板は、射出成型により一体に形成されていること
    を特徴とする液体噴射記録ヘッド。 ８）前記エネルギ発生素子は記録用液体を吐出するため
    に利用されるエネルギとして熱エネルギを発生する電気
    熱変換素子であることを特徴とする請求項７に記載の液
    体噴射記録ヘッド。 ９）請求項１ないし８のいずれかの項に記載の液体噴射
    記録ヘッドと、 該液体噴射記録ヘッドを載置するための部材と、 を具備することを特徴とする液体噴射記録装置。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5185615A (en) * 1990-04-11 1993-02-09 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet recording method and apparatus for recovering ejection at a particular orifice by ejecting ink from adjacent orifices
US5574488A (en) * 1993-12-22 1996-11-12 Canon Kabushiki Kaisha Liquid jet head, liquid jet head cartridge, and liquid jet apparatus
US5583549A (en) * 1992-07-31 1996-12-10 Canon Kabushiki Kaisha Liquid storing container for recording apparatus
EP1000746A2 (en) 1998-10-27 2000-05-17 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejecting recording head
US6170939B1 (en) 1992-07-31 2001-01-09 Canon Kabushiki Kaisha Liquid storing container for recording apparatus
JP2006264254A (ja) * 2005-03-25 2006-10-05 Seiko Epson Corp 廃液チューブおよびその製造方法、ならびにインクジェット式プリンタ

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5682187A (en) * 1988-10-31 1997-10-28 Canon Kabushiki Kaisha Method for manufacturing an ink jet head having a treated surface, ink jet head made thereby, and ink jet apparatus having such head
DE58905857D1 (de) * 1988-12-14 1993-11-11 Mannesmann Ag Heizvorrichtung zur erwärmung der tinte im schreibkopf einer tintendruckeinrichtung.
JP2575205B2 (ja) * 1989-01-13 1997-01-22 キヤノン株式会社 インクタンク
CA2025558C (en) * 1989-09-18 1996-01-02 Makiko Kimura Ink jet apparatus
DE69011259T2 (de) * 1989-09-18 1994-12-08 Canon Kk Tintenstrahlaufzeichnungskopf und Tintenstrahlgerät, welches diesen aufweist.
DE4026457A1 (de) * 1990-08-17 1992-02-20 Siemens Ag Tintenstrahl-druckkopf
EP0756934B1 (en) * 1991-01-18 2000-08-02 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet head unit, ink jet head cartridge and ink jet recording apparatus
ATE160316T1 (de) * 1991-01-18 1997-12-15 Canon Kk Tintenstrahlaufzeichnungskopf und aufzeichnungsgerät damit versehen
US5305521A (en) * 1991-06-25 1994-04-26 Canon Kabushiki Kaisha Ink-jet head assembling method
US6003985A (en) * 1991-12-11 1999-12-21 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet recording apparatus
DE4214556A1 (de) * 1992-04-28 1993-11-04 Mannesmann Ag Elektrothermischer tintendruckkopf
DE4214555C2 (de) * 1992-04-28 1996-04-25 Eastman Kodak Co Elektrothermischer Tintendruckkopf
CA2100977C (en) 1992-07-24 2000-02-08 Noribumi Koitabashi Ink container, ink and ink jet recording apparatus using ink container
US5619238A (en) * 1992-07-24 1997-04-08 Canon Kabushiki Kaisha Method of making replaceable ink cartridge
US6332675B1 (en) 1992-07-24 2001-12-25 Canon Kabushiki Kaisha Ink container, ink and ink jet recording apparatus using ink container
JPH06126964A (ja) * 1992-10-16 1994-05-10 Canon Inc インクジェットヘッドおよび該インクジェットヘッドを備えたインクジェット記録装置
DE69328714T2 (de) * 1992-12-25 2000-12-28 Canon K.K., Tokio/Tokyo Flüssigkeitstrahlkopf und Vorrichtung dafür
US5745136A (en) * 1993-04-16 1998-04-28 Canon Kabushiki Kaishi Liquid jet head, and liquid jet apparatus therefor
JP3177100B2 (ja) * 1993-07-29 2001-06-18 キヤノン株式会社 インクジェットヘッドおよびインクジェット装置ならびに前記ヘッドの製造方法および前記ヘッドの製造装置
CA2130498C (en) * 1993-08-26 2000-02-22 Yoshiyuki Imanaka Ink jet recording head and recording apparatus using same
US6155677A (en) * 1993-11-26 2000-12-05 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet recording head, an ink jet unit and an ink jet apparatus using said recording head
SG44309A1 (en) * 1994-03-04 1997-12-19 Canon Kk An ink jet recording apparatus
SG52140A1 (en) * 1994-03-04 1998-09-28 Canon Kk Ink jet recording head and method of manufacture therefor and laser processing apparatus and ink jet recording apparatus
US5784079A (en) * 1994-06-30 1998-07-21 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet head and ink jet apparatus on which the ink jet head is mounted
US5774149A (en) * 1994-08-24 1998-06-30 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet recording head and apparatus
JPH08118641A (ja) * 1994-10-20 1996-05-14 Canon Inc インクジェットヘッド、インクジェットヘッドカートリッジ、インクジェット装置およびインクが再注入されたインクジェットヘッドカートリッジ用インク容器
JP3236458B2 (ja) * 1994-11-22 2001-12-10 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッド
AU4092396A (en) 1995-01-13 1996-08-08 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejecting head, liquid ejecting device and liquid ejecting method
TW332799B (en) 1995-01-13 1998-06-01 Canon Kk The liquid ejecting head, device and method of liquid ejecting
AU4092296A (en) 1995-01-13 1996-08-08 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejecting head, liquid ejecting device and liquid ejecting method
JPH08281960A (ja) * 1995-04-13 1996-10-29 Canon Inc インクジェット記録ヘッド
SG49942A1 (en) 1995-04-26 1998-06-15 Canon Kk Liquid ejecting head liquid ejecting device and liquid ejecting method
JP3402865B2 (ja) * 1995-08-09 2003-05-06 キヤノン株式会社 液体噴射記録ヘッドの製造方法
JP3423534B2 (ja) 1995-09-04 2003-07-07 キヤノン株式会社 液体吐出方法、該方法に用いられる液体吐出ヘッド、および該液体吐出ヘッドを用いたヘッドカートリッジ
JP3408060B2 (ja) 1995-09-22 2003-05-19 キヤノン株式会社 液体吐出方法および装置とこれらに用いられる液体吐出ヘッド
JPH09141873A (ja) * 1995-09-22 1997-06-03 Canon Inc 液体吐出ヘッド、液体吐出装置、および記録方法
US6213592B1 (en) 1996-06-07 2001-04-10 Canon Kabushiki Kaisha Method for discharging ink from a liquid jet recording head having a fluid resistance element with a movable member, and head, head cartridge and recording apparatus using that method
US5901425A (en) 1996-08-27 1999-05-11 Topaz Technologies Inc. Inkjet print head apparatus
US6220697B1 (en) 1996-08-30 2001-04-24 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet recording head and ink jet recording apparatus having such head
JP3461249B2 (ja) 1996-08-30 2003-10-27 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッド
JPH10119314A (ja) 1996-08-30 1998-05-12 Canon Inc 液体吐出ヘッドユニットの結合方法、液体吐出ヘッドユニットおよび液体吐出カートリッジ
JPH10217473A (ja) * 1996-10-14 1998-08-18 Canon Inc 液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法
DE69813154T2 (de) 1997-12-05 2004-03-04 Canon K.K. Flüssigkeitsausstosskopf, Flüssigkeitsausstossverfahren, Kopfkassette und Flüssigkeitsausstossvorrichtung
US6209988B1 (en) 1998-01-22 2001-04-03 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet recording head and ink jet recording apparatus
US6267472B1 (en) * 1998-06-19 2001-07-31 Lexmark International, Inc. Ink jet heater chip module with sealant material
JP3619084B2 (ja) * 1998-10-27 2005-02-09 キヤノン株式会社 液体噴射記録ヘッドおよびその組み立て方法
US6533400B1 (en) 1999-09-03 2003-03-18 Canon Kabushiki Kaisha Liquid discharging method
DE60029282T2 (de) 1999-09-03 2007-07-05 Canon K.K. Flüssigkeitsausstoßkopf, Flüsigkeitsausstoßverfahren und Vorrichtung zum Ausstoßen von Flüssigkeit
JP3584193B2 (ja) 2000-02-15 2004-11-04 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び前記液体吐出ヘッドの製造方法
JP3728210B2 (ja) * 2001-02-23 2005-12-21 キヤノン株式会社 インクジェットヘッドおよびその製造方法、インクジェット記録装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4296421A (en) * 1978-10-26 1981-10-20 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet recording device using thermal propulsion and mechanical pressure changes
US4257052A (en) * 1979-10-29 1981-03-17 The Mead Corporation Molded orifice plate assembly for an ink jet recorder and method of manufacture
US4314259A (en) * 1980-06-16 1982-02-02 Arthur D. Little, Inc. Apparatus for providing an array of fine liquid droplets particularly suited for ink-jet printing
JPS57113075A (en) * 1980-12-30 1982-07-14 Fujitsu Ltd Ink jet head
DE3117028A1 (de) * 1981-04-29 1982-11-18 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Schreibkopf fuer tintenschreibeinrichtungen mit zylinderfoermigen tintenkanaelen
US4450455A (en) * 1981-06-18 1984-05-22 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet head
US4559543A (en) * 1981-10-13 1985-12-17 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet recording device modular frame
JPS60183154A (ja) * 1984-03-01 1985-09-18 Canon Inc インクジエツト記録ヘツド
US4678529A (en) * 1986-07-02 1987-07-07 Xerox Corporation Selective application of adhesive and bonding process for ink jet printheads
US4779099A (en) * 1987-02-24 1988-10-18 Dataproducts Corporation Clamp for and method of fabricating a multi-layer ink jet apparatus

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5185615A (en) * 1990-04-11 1993-02-09 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet recording method and apparatus for recovering ejection at a particular orifice by ejecting ink from adjacent orifices
EP0927636A2 (en) 1990-04-11 1999-07-07 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet recording system
US5583549A (en) * 1992-07-31 1996-12-10 Canon Kabushiki Kaisha Liquid storing container for recording apparatus
US5589862A (en) * 1992-07-31 1996-12-31 Canon Kabushiki Kaisha Liquid storing container for recording apparatus
US5781213A (en) * 1992-07-31 1998-07-14 Canon Kabushiki Kaisha Liquid storing container having filter interface for recording apparatus
US6170939B1 (en) 1992-07-31 2001-01-09 Canon Kabushiki Kaisha Liquid storing container for recording apparatus
US5574488A (en) * 1993-12-22 1996-11-12 Canon Kabushiki Kaisha Liquid jet head, liquid jet head cartridge, and liquid jet apparatus
EP1000746A2 (en) 1998-10-27 2000-05-17 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejecting recording head
US6361140B1 (en) 1998-10-27 2002-03-26 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejecting recording head having two substrates joined together
JP2006264254A (ja) * 2005-03-25 2006-10-05 Seiko Epson Corp 廃液チューブおよびその製造方法、ならびにインクジェット式プリンタ

Also Published As

Publication number Publication date
DE68924256T2 (de) 1996-03-14
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DE68924256D1 (de) 1995-10-19

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