JPH09181024A - 基板洗浄用ブラシ収納体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 洗浄用ブラシのブラシ本体を容器内に収納し
て液体中に浸漬させた状態で長距離輸送し長期保管した
場合でも、容器内から液体が容器外へ滲出することがな
く、またブラシ本体が空気と接触することがなく、ブラ
シ本体の変質を生じる可能性の無いブラシ収納体を提供
する。 【解決手段】 洗浄用ブラシのブラシ本体１６を収納す
る収納容器４０を蓋体４２によって開封可能に気密に封
止し、収納容器内部を減圧状態にするか収納容器内部に
不活性ガスを封入する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体ウエハ、
液晶表示装置用或いはフォトマスク用のガラス基板、光
ディスク用の基板等の各種基板を水平姿勢に保持して鉛
直軸回りに回転させながら基板上に洗浄液を供給して基
板をブラシ洗浄する基板洗浄装置において使用される基
板洗浄用ブラシとそのブラシ収納容器とから構成される
基板洗浄用ブラシ収納体に関する。

【０００２】

【従来の技術】洗浄用ブラシによって基板を洗浄する基
板洗浄装置の構成及び動作の１例を簡単に説明すると、
基板、例えば半導体ウエハをスピンチャックの上面側に
真空吸着によって水平姿勢に保持し、スピンチャックに
保持された基板を鉛直軸回りに回転させながら、その基
板上に洗浄液を供給し、ブラシ保持アームのブラシ回転
軸を回転させ、その回転軸に固着されブラシ保持アーム
によって懸吊状態に保持された洗浄用ブラシを自転させ
ながら上方位置から下降させて、洗浄用ブラシの下端を
基板表面に接近させ、洗浄用ブラシ下端を基板表面に接
触させ或いは近接させた状態で、自転している洗浄用ブ
ラシを回転している基板の表面に沿って基板上を移動さ
せることにより、基板の洗浄を行なうようにする。この
ような基板洗浄装置においては、使用により劣化した洗
浄用ブラシを交換したり、基板の種類や洗浄の目的など
に応じて洗浄用ブラシの種類を変えたりしている。この
ため、洗浄用ブラシをブラシ保持アームのブラシ回転軸
に取り付け、また、洗浄用ブラシをブラシ回転軸から取
り外すことができるようにしている。

【０００３】洗浄用ブラシは、ブラシホルダとブラシ本
体とから構成され、ブラシ本体としては、下面側に多数
の毛を植設して形成されたものが一般に使用されている
が、最近では、例えばポリビニルアルコールを原料とし
て製造され親水性を有するスポンジ状の多孔質素材によ
って形成されたものが使用され始めている。このような
多孔質素材で形成されたブラシ本体をブラシホルダに取
着した洗浄用ブラシは、従来、乾燥状態で容器内に収納
されて保管及び輸送され、半導体製造工場等のユーザに
おいて、洗浄用ブラシを使用する前に、ブラシ本体に純
水等の洗浄液を十分に含浸させて、ブラシ本体を一旦湿
潤状態にしてから、ダミー基板を使用してブラシ洗浄を
行ない、その後に、ライン稼動を行なうようにしてい
た。ところが、親水性を有するスポンジ状の多孔質素材
からなるブラシ本体は、乾いた状態では全く弾力性が無
く硬質物化しており、これに純水等を含浸させて使用可
能な状態にまで軟らかくするためには、相当の時間がか
かり、ライン稼動に入るまでに３０分〜６時間といった
多くの時間を費やしていた。

【０００４】そこで、容器内に液体、例えば過酸化水素
水やイソプロピルアルコールのように、ブラシ本体を腐
食させたり変質させたりすることがなく、ブラシ本体か
ら物質を溶出させることもなく、純水に溶解し、容器内
での微生物の発生を抑制する効果のある薬液、或いは純
水などの液体を収容し、その液体中に親水性を有するス
ポンジ状の多孔質素材からなるブラシ本体を浸漬させ、
容器を蓋で密閉して、洗浄用ブラシを保管し輸送する、
といったことが行なわれる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、容器を
蓋で密閉しても、洗浄用ブラシを例えば海外などへ長距
離輸送するといったようなときには、その輸送中に容器
内から薬液が容器外へ滲出する可能性が考えられ、それ
に伴ってブラシ本体の変質等が生じる恐れがある。ま
た、洗浄用ブラシを蓋付き容器内に収納して、例えば３
ヵ月以上の長期間保管するといったような場合にも、同
様の問題が生じる恐れがある。さらに、洗浄用ブラシを
容器内に収納して長期保管する場合には、その保管中に
ブラシ本体が空気と接触して変質や劣化を生じる可能性
がある。

【０００６】この発明は、以上のような事情に鑑みてな
されたものであり、洗浄用ブラシのブラシ本体を容器内
に収納して液体中に浸漬させた状態で保管及び輸送する
場合において、洗浄用ブラシを長距離輸送したり長期保
管したりしたときでも、容器内から薬液が容器外へ滲出
することがなく、ブラシ本体の変質等が生じる恐れを無
くすことができ、また、洗浄用ブラシの保管中にブラシ
本体が空気と接触することがなく、ブラシ本体の変質や
劣化を生じる可能性の無い基板洗浄用ブラシ収納体を提
供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
ブラシ本体をブラシホルダに取着してなる基板洗浄用ブ
ラシと、この基板洗浄用ブラシを収納し、内部に液体が
収容され、その液体中に前記ブラシ本体が浸漬させら
れ、蓋体によって閉塞されるブラシ収納容器とからなる
基板洗浄用ブラシ収納体において、前記ブラシ収納容器
を蓋体によって開封可能に気密に封止し、かつ、ブラシ
収納容器の内部を減圧状態とし又はブラシ収納容器の内
部に不活性ガスを封入したことを特徴とする。

【０００８】また、請求項２に係る発明は、ブラシ本体
をブラシホルダに取着してなる基板洗浄用ブラシと、こ
の基板洗浄用ブラシの前記ブラシ本体を収納し、内部に
液体が収容され、その液体中にブラシ本体が浸漬させら
れ、前記ブラシホルダによって閉塞されるブラシ収納容
器とからなる基板洗浄用ブラシ収納体において、前記ブ
ラシ収納容器を前記ブラシホルダによって開封可能に気
密に封止し、かつ、ブラシ収納容器の内部を減圧状態と
し又はブラシ収納容器の内部に不活性ガスを封入したこ
とを特徴とする。

【０００９】請求項３に係る発明は、請求項１又は請求
項２記載の基板洗浄用ブラシ収納体において、上記ブラ
シ本体が、ポリビニルアルコールを原料として製造され
親水性を有するスポンジ状の多孔質素材によって形成さ
れたものであることを特徴とする。

【００１０】請求項１に係る発明の基板洗浄用ブラシ収
納体では、ブラシ収納容器が蓋体により、内部に液体が
収容された状態で気密に封止されるので、ブラシ収納体
を長距離輸送したり長期保管したりした場合でも、ブラ
シ収納容器内から薬液が容器外へ滲出する可能性が全く
無い。また、ブラシ収納容器の内部が減圧状態とされ又
はブラシ収納容器の内部に不活性ガスが封入されている
ため、ブラシ収納体を長期保管する場合でも、その保管
中にブラシ本体が空気と接触して変質や劣化を生じる可
能性が無い。

【００１１】請求項２に係る発明の基板洗浄用ブラシ収
納体では、ブラシ収納容器が基板洗浄用ブラシのブラシ
ホルダにより、内部に液体が収容された状態で気密に封
止されるので、ブラシ収納体を長距離輸送したり長期保
管したりした場合でも、ブラシ収納容器内から薬液が容
器外へ滲出する可能性が全く無い。また、ブラシ収納容
器の内部が減圧状態とされ又はブラシ収納容器の内部に
不活性ガスが封入されているため、ブラシ収納体を長期
保管する場合でも、その保管中にブラシ本体が空気と接
触して変質や劣化を生じる可能性が無い。

【００１２】請求項３に係る発明の基板洗浄用ブラシ収
納体では、ポリビニルアルコールを原料として製造され
た多孔質素材で形成されたブラシ本体は、乾燥した状態
では非常に硬くなり、その状態のブラシ本体に純水等を
含浸させて柔軟化させるのには相当の時間を要すること
となるが、液体中に浸漬させられて保管されることによ
り、柔軟化した状態に保たれる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、この発明の最良の実施形態
について図面を参照しながら説明する。

【００１４】図１ないし図３は、この発明の実施形態の
１例を示し、図１は、基板洗浄用ブラシ収納体を分解し
た状態を示す斜視図、図２は、収納容器に洗浄用ブラシ
を収納した状態の基板洗浄用ブラシ収納体を示す部分縦
断面図、図３は、洗浄用ブラシを基板洗浄装置のブラシ
回転軸に取着した状態を示す部分縦断面図である。

【００１５】この基板洗浄用ブラシ収納体は、洗浄用ブ
ラシ１０と収納容器３８とから構成されている。洗浄用
ブラシ１０は、上部取着部１２と下部保持部１４とから
なるブラシホルダにブラシ本体１６を保持して構成され
ている。ブラシ本体１６は、上半部が大径に形成され、
下半部が大径部１８より小径の小径部２０となってい
る。このブラシ本体１６は、親水性を有するスポンジ状
の多孔質素材、例えばポリビニルアルコールを原料とし
た多孔質素材により形成されている。多孔質素材は、例
えば、ポリビニルアルコールに酸を触媒としてホルムア
ルデヒドを結合させるホルマール化反応によりポリビニ
ルホルマールを生成し、その際、気孔生成剤を加えて気
孔形成を行ない、不溶性の多孔質基質が完成した後、気
泡生成剤を抽出することにより製造される。この素材に
より形成されたブラシ本体１６は、連続的な気孔が形成
され、親水性を有し、湿潤時には良好な柔軟性、弾力性
を呈し、乾燥時には全く弾力性が無くなって硬質物化す
る。

【００１６】ブラシホルダの上部取着部１２の上面中央
部には、洗浄用ブラシ１０を基板洗浄装置のブラシ回転
軸に取着するための係止部２２が一体に突設されてお
り、係止部２２に雄ねじ２４が螺刻されている。また、
係止部２２の上端面には、その中央部に角穴２６が軸心
線方向に穿設されている。上部取着部１２の下半部は、
上半部に比べて若干細く形成されており、この下半部の
嵌合部２８に円筒状の下部保持部１４の上端部が嵌着さ
れる。図１中の符号３０は、上部取着部１２の嵌合部２
８の外周面に形設された係止小突起であり、符号３２
は、嵌合部２８に下部保持部１４の上端部を嵌着したと
きに係止小突起３０と係合する係止小凹部である。下部
保持部１４の外径寸法は、上部取着部１２の上半部の外
径と同じにし、また、下部保持部１４の内径寸法は、ブ
ラシ本体１６の大径部１８の外径より僅かに大きくされ
ている。また、下部保持部１４の下端近くの内周面に
は、支持環状部３４が一体に形設されている。支持環状
部３４の内径寸法は、ブラシ本体１６の小径部２０の外
径より僅かに大きくかつ大径部１８の外径より小さくさ
れている。また、下部保持部１４の下端には、互いに１
８０°の角度をなす位置関係で２個所に回り止め用切欠
き３６が形成されている。このブラシホルダは、例えば
ポリプロピレン等のプラスチック材によって形成され
る。

【００１７】ブラシホルダにブラシ本体１６を保持する
には、下部保持部１４の支持環状部３４の孔にブラシ本
体１６の小径部２０を挿入して、下部保持部１４内にブ
ラシ本体１６を収容した後、下部保持部１４の上端部に
上部取着部１２の嵌合部２８を嵌着させるようにすれば
よい。このとき、ブラシ本体１６は、下部保持部１４の
支持環状部３４によって支持されるとともに、上面が上
部取着部１２の下面に当接して、ブラシホルダに対する
上下方向の移動が規制され、また、下部保持部１４の内
周面によってブラシホルダに対する横方向の移動が規制
される。そして、ブラシ本体１６がブラシホルダに保持
されたときに、ブラシ本体１６の下端面が下部保持部１
４の下端より下方へ突き出た状態になる。

【００１８】収納容器３８は、容器本体４０と蓋体４２
とから構成されており、容器本体４０及び蓋体４２は、
例えばポリプロピレン等のプラスチック材によって形成
されている。容器本体４０は、その上面が開口し、内径
寸法が洗浄用ブラシ１０のブラシホルダの外径より僅か
に大きくされている。また、容器本体４０の内周面に
は、互いに１８０°の角度をなす位置関係で２個所に、
容器本体４０の内底面から容器本体４０の軸線方向に沿
って延びる回り止め用棒状突起４４がそれぞれ突設され
ており、また、両回り止め用棒状突起４４を含めて互い
に６０°ずつの角度をなす位置関係で４個所に、容器本
体４０の内底面から容器本体４０の軸線方向に沿って延
び回り止め用棒状突起４４より若干短い支持用棒状突起
４６がそれぞれ突設されている。そして、図２に示すよ
うに、洗浄用ブラシ１０を容器本体４０内へ、ブラシホ
ルダの下部保持部１４の回り止め用切欠き３６の位置と
容器本体４０の回り止め用棒状突起４４の位置とを合わ
せて嵌挿すると、４個の支持用棒状突起４６の上端に洗
浄用ブラシ１０のブラシホルダの下部保持部１４の下端
が当接し、４個の支持用棒状突起４６によって洗浄用ブ
ラシ１０が容器本体４０内において支持されるととも
に、各回り止め用棒状突起４４の上端部に各回り止め用
切欠き３６がそれぞれ嵌合して、洗浄用ブラシ１０が容
器本体４０内において軸心線回りに回動しないように固
定される。このとき、洗浄用ブラシ１０のブラシ本体１
６の下端面が容器本体４０の内底面に接触しないように
なっている。

【００１９】蓋体４２の上面には、開封用把手４８が一
体形成されている。また、蓋体４２の内側上面の中央部
に、洗浄用ブラシ１０の係止部２２が遊嵌する凹部５０
が形成されている。そして、蓋体４２の内側上面の、凹
部５０の形成部分以外の面が、洗浄用ブラシ１０のブラ
シホルダ上面と接触もしくは近接して洗浄用ブラシ１０
の移動を規制もしくは許容範囲で制限する制動部をなす
ことになる。

【００２０】洗浄用ブラシ１０は、収納容器３８の容器
本体４０内に図２に示すような状態で収納され、容器本
体４０内には純水或いは過酸化水素水やイソプロピール
アルコールなどの薬液が注入され、その後に、蓋体４２
によって容器本体４０の上面開口が気密に封止される。
この封止は、例えば、容器本体４０の上端縁に蓋体４２
の下面側周縁部を溶着させることにより行なう。そし
て、封止の際に、収納容器３８内から空気を排除して収
納容器３８内部を減圧状態にする。或いは、封止の際
に、収納容器３８内に不活性ガス、例えば窒素ガスを封
入するようにする。

【００２１】収納容器３８内に注入する純水や薬液など
の液体の量は、保管や輸送中に収納容器３８が傾いたり
逆さになったりしても、ブラシ本体１６の全体が常に純
水中に浸漬された状態となる程度としておく。容器本体
４０に蓋体４２を溶着させて収納容器３８を気密に封止
した状態においては、上記したように収納容器３８内で
の洗浄用ブラシ１０の移動が規制されもしくは許容範囲
で制限され、保管や輸送中に洗浄用ブラシ１０が収納容
器３８内で大きく揺動することはない。また、ブラシ本
体１６の下端面が容器本体４０の内底面に接触しないよ
うに保持されるので、洗浄用ブラシ１０の保管や輸送中
にブラシ本体１６が変形するようなことがない。さら
に、収納容器３８が気密に封止された状態においては、
保管や輸送中に収納容器３８内から純水や薬液が容器外
へ滲出したり蒸発したりすることがなく、また、保管や
輸送中に収納容器３８内へパーティクルが混入する心配
も無い。また、洗浄用ブラシ１０のブラシ本体１６は、
常に全体が液体中に浸漬しているので、柔軟化し弾力性
を有する状態に保たれる。従って、洗浄用ブラシ１０
は、収納容器３８から取り出して直ちに基板の洗浄処理
に使用することが可能である。

【００２２】次に、収納容器３８に収納された洗浄用ブ
ラシ１０を基板洗浄装置のブラシ回転軸に取着する操作
について、図３を参照しながら説明しておく。

【００２３】図３に示すように、洗浄用ブラシ１０が取
着されるブラシ回転軸５４は、その下端近くにフランジ
部５６が一体に形設されており、そのフランジ部５６よ
り下端側の部分５８が、洗浄用ブラシ１０の係止部２２
の上端面中央部に穿設された角穴２６と嵌合する角棒状
に形成されている。また、ブラシ回転軸５４のフランジ
部５６には、洗浄用ブラシ１０の係止部２２の雄ねじ２
４に螺合する雌ねじが螺刻されたナット６０が、ブラシ
回転軸５４の周りに回転可能に係合して保持されてい
る。

【００２４】ブラシ回転軸５４に洗浄用ブラシ１０を取
着するには、まず、収納容器３８の蓋体４２を取り去っ
て容器本体４０の上面を開口させる。これには、片方の
手で収納容器３８の容器本体４０を把持し、もう一方の
手の人差指を蓋体４２の開封用把手４８に引っ掛けて、
開封用把手４８を斜め上向きに引き上げるようにする。
これにより、蓋体４２の下面側周縁部の溶着部分が容器
本体４０の上端縁から引き剥がされ、蓋体４２が容器本
体４０から分離される。従って、容器本体４０の上端縁
と蓋体４２の下面側周縁部との溶着強度は、気密が保持
される限度において溶着部分を容易に引き剥がすことが
できる程度としておくことが必要である。

【００２５】容器本体４０から蓋体４２が取り去られる
と、洗浄用ブラシ１０のブラシホルダの上面側が容器本
体４０の上面開口から覗いた状態となるので、次に、容
器本体４０に洗浄用ブラシ１０を収納したまま、容器本
体４０を手で持って洗浄用ブラシ１０を下方からブラシ
回転軸５４に接近させ、係止部２２の角穴２６をブラシ
回転軸５４の下端部の角棒状部分５８に嵌合させる。そ
して、容器本体４０を手で支え持った状態で、係止部２
２の雄ねじ２４にナット６０を螺合させて締め付ける。
この際、係止部２２の雄ねじ２４にナット６０の雌ねじ
が螺合した状態で、手でナット６０を回転させるように
操作するが、ブラシホルダの下部保持部１４の回り止め
用切欠き３６が容器本体４０の内周面の回り止め用棒状
突起４４の上端部に係合しているため、容器本体４０を
手で把持しておくことにより、ナット６０を回転させて
も洗浄用ブラシ１０が共回りすることはない。以上のよ
うにして、図３に示すように洗浄用ブラシ１０がブラシ
回転軸５４に取着されると、容器本体４０を下向きに引
き上げて洗浄用ブラシ１０から抜き出す。この間、洗浄
用ブラシ１０には一切手を触れずに、上記した一連の操
作が行なわれる。

【００２６】次に、図４に部分縦断面図を示した基板洗
浄用ブラシ収納体は、収納容器に蓋体が無く、収納容器
がブラシホルダの一部によって開封可能に気密に封止さ
れるように構成されている。

【００２７】このブラシ収納体は、洗浄用ブラシ６２と
収納容器６４とから構成されており、洗浄用ブラシ６２
は、図１ないし図３に示したブラシ収納体と同様に、上
部取着部６６と下部保持部６８とからなるブラシホルダ
にブラシ本体７０を保持して構成されている。但し、こ
のブラシ収納体では、ブラシホルダの上部取着部６６の
外径が下部保持部６８の外径より大きく形成されてい
て、ブラシホルダの上部取着部６６の外径と収納容器６
４の外径とが同等になっている。一方、収納容器６４
は、蓋体を有しておらず、図１ないし図３に示したブラ
シ収納体の容器本体４０と同様の構成を備えている。そ
して、このブラシ収納体では、洗浄用ブラシ６２のブラ
シホルダの上部取着部６６の下端周縁部と収納容器６４
の上端外周縁部とが、環状連接帯７２を介して一体に連
接している。また、環状連接帯７２には開封用把手７４
が一体形成されており、図示されていないが、環状連接
帯７２には開封用把手７４の近くに切込みが設けられて
いる。

【００２８】図４に示したブラシ収納体では、洗浄用ブ
ラシ６２は、そのブラシホルダの一部である下部保持部
６８とブラシ本体７０とだけが収納容器６４内に収納さ
れる。そして、図１ないし図３に示したブラシ収納体と
同様に、収納容器６４内に純水或いは過酸化水素水やイ
ソプロピールアルコールなどの薬液が注入される。その
注入後に、ブラシホルダの上部取着部６６の下端周縁部
と収納容器６４の上端外周縁部とに跨がるように、上部
取着部６６の下端周縁部と収納容器６４の上端外周縁部
とに環状連接帯７２を溶着させ、収納容器６４の上面開
口を気密に封止する。そして、封止の際に、収納容器６
４内から空気を排除して収納容器６４内部を減圧状態に
し、或いは、収納容器６４内に窒素ガス等の不活性ガス
を封入するようにする。

【００２９】図４に示したブラシ収納体の洗浄用ブラシ
６２をブラシ回転軸に取着する際には、片方の手で収納
容器６４を把持し、もう一方の手の人差指を環状連接帯
７２の開封用把手７４に引っ掛けて、開封用把手７４を
外向きに引っ張るようにする。これにより、環状連接帯
７２が切込み個所で切断されるとともその一部が上部取
着部６６及び収納容器６４から引き剥がされる。次い
で、円を描くように開封用把手７４を外向きに引っ張る
ことにより、環状連接帯７２が上部取着部６６及び収納
容器６４の全周から引き剥がされ、洗浄用ブラシ６２と
収納容器６４とが分離する。従って、環状連接帯７２と
上部取着部６６及び収納容器６４との溶着程度は、気密
が保持される限度において環状連接帯７２を上部取着部
６６及び収納容器６４から容易に引き剥がすことができ
る程度としておく。洗浄用ブラシ６２と収納容器６４と
が分離した後は、図１ないし図３に示したブラシ収納体
と同様の上記操作により洗浄用ブラシ６２をブラシ回転
軸に取着するようにすればよい。

【００３０】この発明に係る基板洗浄用ブラシ収納体の
構成は以上説明した通りであるが、この発明の範囲は、
上記説明並びに図面の内容に限定されるものでないこと
は勿論である。すなわち、洗浄用ブラシのブラシホルダ
の構成やブラシ本体の形状、素材などは、上記説明のも
のに限定されないし、また、ブラシ収納容器を蓋体によ
って開封可能に気密に封止する手段や、ブラシ収納容器
をブラシホルダによって開封可能に気密に封止する手段
も、どのようなものであってもよい。

【００３１】

【発明の効果】請求項１及び請求項２に係る各発明の基
板洗浄用ブラシ収納体をそれぞれ使用すると、洗浄用ブ
ラシのブラシ本体を容器内に収納して液体中に浸漬させ
た状態で長距離輸送したり長期保管したりした場合で
も、容器内から薬液が容器外へ滲出することがないた
め、ブラシ本体の変質等が生じる恐れが無くなり、ま
た、洗浄用ブラシの保管中にブラシ本体が空気と接触す
ることがないため、ブラシ本体の変質や劣化を生じる可
能性が無くなる。

【００３２】請求項３に係る発明の基板洗浄用ブラシ収
納体では、ポリビニルアルコールを原料として製造され
た多孔質素材で形成されたブラシ本体が、純水中に浸漬
させられて柔軟化した状態に保たれるとともに、変質や
劣化を生じることがない。

【図面の簡単な説明】

【図１】請求項１に係る発明の実施形態の１例を示し、
基板洗浄用ブラシ収納体を分解した状態を示す斜視図で
ある。

【図２】図１に示した基板洗浄用ブラシ収納体の収納容
器に洗浄用ブラシを収納した状態を示す部分縦断面図で
ある。

【図３】図１に示した基板洗浄用ブラシ収納体の洗浄用
ブラシを基板洗浄装置のブラシ回転軸に取着した状態を
示す部分縦断面図である。

【図４】請求項２に係る発明の実施形態の１例を示し、
基板洗浄用ブラシ収納体の収納容器に洗浄用ブラシのブ
ラシ本体を収納した状態を示す部分縦断面図である。

【符号の説明】

１０、６２ 洗浄用ブラシ １２、６６ ブラシホルダの上部取着部 １４、６８ ブラシホルダの下部保持部 １６、７０ ブラシ本体 ３８、６４ 収納容器 ４０ 容器本体 ４２ 蓋体 ４８、７４ 開封用把手 ７２ 環状連接帯

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ブラシ本体をブラシホルダに取着してな
   る基板洗浄用ブラシと、 この基板洗浄用ブラシを収納し、内部に液体が収容さ
   れ、その液体中に前記ブラシ本体が浸漬させられ、蓋体
   によって閉塞されるブラシ収納容器とからなる基板洗浄
   用ブラシ収納体において、 前記ブラシ収納容器を蓋体によって開封可能に気密に封
   止し、かつ、ブラシ収納容器の内部を減圧状態とし又は
   ブラシ収納容器の内部に不活性ガスを封入したことを特
   徴とする基板洗浄用ブラシ収納体。
2. 【請求項２】 ブラシ本体をブラシホルダに取着してな
   る基板洗浄用ブラシと、 この基板洗浄用ブラシの前記ブラシ本体を収納し、内部
   に液体が収容され、その液体中にブラシ本体が浸漬させ
   られ、前記ブラシホルダによって閉塞されるブラシ収納
   容器とからなる基板洗浄用ブラシ収納体において、 前記ブラシ収納容器を前記ブラシホルダによって開封可
   能に気密に封止し、かつ、ブラシ収納容器の内部を減圧
   状態とし又はブラシ収納容器の内部に不活性ガスを封入
   したことを特徴とする基板洗浄用ブラシ収納体。
3. 【請求項３】 ブラシ本体が、ポリビニルアルコールを
   原料として製造され親水性を有するスポンジ状の多孔質
   素材によって形成されたものである請求項１又は請求項
   ２記載の基板洗浄用ブラシ収納体。