JPH0919131A - リニア駆動用マイクロモータ - Google Patents
リニア駆動用マイクロモータInfo
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- JPH0919131A JPH0919131A JP18216195A JP18216195A JPH0919131A JP H0919131 A JPH0919131 A JP H0919131A JP 18216195 A JP18216195 A JP 18216195A JP 18216195 A JP18216195 A JP 18216195A JP H0919131 A JPH0919131 A JP H0919131A
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- stator
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 直線方向の大きな駆動力を発生するマイクロ
モータを得る。 【構成】 ロータ１１は鉄製で、その外周面には雄ねじ
が形成されている。ステータ１２は放射状に配置された
数個の磁極Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４からなり、それらの
先端によって、ロータ１１の外径よりやや大径の円筒状
内周面が形成されるようになっている。そのステータ１
２の内周面には、ロータ１１の雄ねじが係合する雌ねじ
が形成されている。磁極Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４は周方
向に順に励磁されるようになっており、それによって、
ロータ１１がステータ１２の内周面に吸着されて周方向
に転動する。ロータ１１が１周公転すると、そのロータ
１１はステータ１２の内径とロータ１１の外径との差に
応じた角度だけ自転する。したがって、ねじの作用によ
り、ロータ１１が軸方向に駆動される。
モータを得る。 【構成】 ロータ１１は鉄製で、その外周面には雄ねじ
が形成されている。ステータ１２は放射状に配置された
数個の磁極Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４からなり、それらの
先端によって、ロータ１１の外径よりやや大径の円筒状
内周面が形成されるようになっている。そのステータ１
２の内周面には、ロータ１１の雄ねじが係合する雌ねじ
が形成されている。磁極Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４は周方
向に順に励磁されるようになっており、それによって、
ロータ１１がステータ１２の内周面に吸着されて周方向
に転動する。ロータ１１が１周公転すると、そのロータ
１１はステータ１２の内径とロータ１１の外径との差に
応じた角度だけ自転する。したがって、ねじの作用によ
り、ロータ１１が軸方向に駆動される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マイクロメカニズム用
の駆動源として用いられるマイクロモータに関するもの
で、特に、ワブルモータの原理を利用して直線方向の駆
動力を取り出すようにしたリニア駆動用マイクロモータ
に関するものである。
の駆動源として用いられるマイクロモータに関するもの
で、特に、ワブルモータの原理を利用して直線方向の駆
動力を取り出すようにしたリニア駆動用マイクロモータ
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、マイクロメカニズムが注目を浴
び、その駆動源として、微小で出力の大きいマイクロモ
ータが求められるようになってきている。そのようなマ
イクロモータについてもいくつかの形式のものが開発さ
れているが、その中の一つに、ワブルモータ(Wobble Mo
tor)がある。ワブルモータは、円筒状のステータ内にそ
れよりやや小径のロータを配置し、そのロータをステー
タの内周面に吸着させて周方向に転動させるようにした
ものである。
び、その駆動源として、微小で出力の大きいマイクロモ
ータが求められるようになってきている。そのようなマ
イクロモータについてもいくつかの形式のものが開発さ
れているが、その中の一つに、ワブルモータ(Wobble Mo
tor)がある。ワブルモータは、円筒状のステータ内にそ
れよりやや小径のロータを配置し、そのロータをステー
タの内周面に吸着させて周方向に転動させるようにした
ものである。
【０００３】そのようなワブルモータの回転原理につい
て説明する。図１に示されているように、ロータ１は円
柱状のもので、その外周面には誘電体の膜２が形成され
ている。一方、ステータ３はロータ１の外径よりやや大
きい内径を有する円筒状のもので、その内周面には複数
の電極４，４，…が周方向に設けられている。それらの
電極４，４，…には、駆動電源５からスイッチング回路
６を介して電圧が印加されるようになっている。
て説明する。図１に示されているように、ロータ１は円
柱状のもので、その外周面には誘電体の膜２が形成され
ている。一方、ステータ３はロータ１の外径よりやや大
きい内径を有する円筒状のもので、その内周面には複数
の電極４，４，…が周方向に設けられている。それらの
電極４，４，…には、駆動電源５からスイッチング回路
６を介して電圧が印加されるようになっている。
【０００４】このように構成されたワブルモータにおい
ては、ロータ１をアース電位としておき、電極４，４，
…のいずれかに電圧を印加すると、ロータ１は、静電吸
着力により、電圧が印加された電極４の位置でステータ
３の内周面に吸着する。したがって、スイッチング回路
６により電極４，４，…に周方向に順に電圧を印加して
いくと、図２に示されているように、ロータ１はステー
タ３の内周面に沿って転がりながら公転をする。ロータ
１上の１点ａについて見ると、ロータ１が一周公転した
とき、その点ａは、元の位置から角度αだけ移動する。
すなわち、ロータ１は、１回の公転で角度αだけ自転す
ることになる。その角度αは、ロータ１の外径をｒ、ス
テータ３の内径をＲとすると、 α＝（Ｒ−ｒ）／ｒ となる。
ては、ロータ１をアース電位としておき、電極４，４，
…のいずれかに電圧を印加すると、ロータ１は、静電吸
着力により、電圧が印加された電極４の位置でステータ
３の内周面に吸着する。したがって、スイッチング回路
６により電極４，４，…に周方向に順に電圧を印加して
いくと、図２に示されているように、ロータ１はステー
タ３の内周面に沿って転がりながら公転をする。ロータ
１上の１点ａについて見ると、ロータ１が一周公転した
とき、その点ａは、元の位置から角度αだけ移動する。
すなわち、ロータ１は、１回の公転で角度αだけ自転す
ることになる。その角度αは、ロータ１の外径をｒ、ス
テータ３の内径をＲとすると、 α＝（Ｒ−ｒ）／ｒ となる。
【０００５】このようにして、ロータ１とステータ３と
の間に働く吸引力がロータ１の回転力に変換される。こ
のようなワブルモータは、構造が単純でありながら、減
速機構を内蔵しているために低速で高トルクが得られる
という特徴がある。
の間に働く吸引力がロータ１の回転力に変換される。こ
のようなワブルモータは、構造が単純でありながら、減
速機構を内蔵しているために低速で高トルクが得られる
という特徴がある。
【０００６】このようなワブルモータを用いる場合、従
来は、そのロータの回転をそのまま回転力として取り出
すようにしていた。
来は、そのロータの回転をそのまま回転力として取り出
すようにしていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ワブル
モータの場合には、そのロータは偏心した運動をするこ
とになる。そのために、ロータの回転を被動部に伝えよ
うとすると、その間に等速ジョイント等の特別な機構を
介在させることが必要となる。マイクロスケールの環境
下では摩擦による影響が著しく大きくなるので、そのよ
うな機構を介してロータの回転を効率よく被動部に伝達
させるようにすることは難しい。
モータの場合には、そのロータは偏心した運動をするこ
とになる。そのために、ロータの回転を被動部に伝えよ
うとすると、その間に等速ジョイント等の特別な機構を
介在させることが必要となる。マイクロスケールの環境
下では摩擦による影響が著しく大きくなるので、そのよ
うな機構を介してロータの回転を効率よく被動部に伝達
させるようにすることは難しい。
【０００８】一方、マイクロメカニズムにおいては、回
転駆動力よりも直線方向の駆動力が求められることの方
が多い。そのような場合、従来のワブルモータでは、ロ
ータの回転運動を直線運動に変換する機構が更に必要と
なり、その伝動効率が著しく低下する。直線方向の駆動
力を直接発生するマイクロリニアアクチュエータなども
開発されているが、そのようなアクチュエータの場合に
は、可動部がサスペンションによって支えられているの
で、その変位が数十μmに限られるという問題がある。
転駆動力よりも直線方向の駆動力が求められることの方
が多い。そのような場合、従来のワブルモータでは、ロ
ータの回転運動を直線運動に変換する機構が更に必要と
なり、その伝動効率が著しく低下する。直線方向の駆動
力を直接発生するマイクロリニアアクチュエータなども
開発されているが、そのようなアクチュエータの場合に
は、可動部がサスペンションによって支えられているの
で、その変位が数十μmに限られるという問題がある。
【０００９】本発明は、このような問題に鑑みてなされ
たものであって、その目的は、直線方向の大きな駆動力
を大きな変位で取り出すことのできるリニア駆動用マイ
クロモータを提供することである。
たものであって、その目的は、直線方向の大きな駆動力
を大きな変位で取り出すことのできるリニア駆動用マイ
クロモータを提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明では、ワブル機構を構成するロータとステー
タとに、互いに噛み合うねじを形成するようにしてい
る。すなわち、本発明によるリニア駆動用マイクロモー
タは、軸状のロータと、そのロータの外径より大径の円
筒状内周面を有し、そのロータの外周に配置されるステ
ータと、前記ロータをステータの内周面に吸着させて周
方向に転動させる駆動手段と、からなり、それらロータ
の外周面及びステータの内周面に、互いに噛み合うねじ
が形成されていることを特徴としている。逆に、ロータ
を円筒状、ステータをそのロータの内径より小径の円柱
状として、それらロータの内周面及びステータの外周面
に互いに噛み合うねじを形成するようにしてもよい。
に、本発明では、ワブル機構を構成するロータとステー
タとに、互いに噛み合うねじを形成するようにしてい
る。すなわち、本発明によるリニア駆動用マイクロモー
タは、軸状のロータと、そのロータの外径より大径の円
筒状内周面を有し、そのロータの外周に配置されるステ
ータと、前記ロータをステータの内周面に吸着させて周
方向に転動させる駆動手段と、からなり、それらロータ
の外周面及びステータの内周面に、互いに噛み合うねじ
が形成されていることを特徴としている。逆に、ロータ
を円筒状、ステータをそのロータの内径より小径の円柱
状として、それらロータの内周面及びステータの外周面
に互いに噛み合うねじを形成するようにしてもよい。
【００１１】
【作用】このように構成することにより、従来のワブル
モータと同様にしてロータを回転させると、ねじによっ
てその回転運動が軸方向のリニア変位に変換される。し
たがって、ベアリング等を介してロータの先端を被動部
材の端面に摺接させておけば、その被動部材は直線方向
に駆動されることになる。その場合、ロータとステータ
とは転がりによる接触をするので、その間の摩擦は小さ
い。また、ワブルモータによる高トルクに加えて、ねじ
により増力されるので、大きな駆動力を得ることができ
る。そして、ねじの長さだけ変位させることができるの
で、軸方向の変位量が制約されることもない。
モータと同様にしてロータを回転させると、ねじによっ
てその回転運動が軸方向のリニア変位に変換される。し
たがって、ベアリング等を介してロータの先端を被動部
材の端面に摺接させておけば、その被動部材は直線方向
に駆動されることになる。その場合、ロータとステータ
とは転がりによる接触をするので、その間の摩擦は小さ
い。また、ワブルモータによる高トルクに加えて、ねじ
により増力されるので、大きな駆動力を得ることができ
る。そして、ねじの長さだけ変位させることができるの
で、軸方向の変位量が制約されることもない。
【００１２】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を説明す
る。図中、図３〜７は本発明によるリニア駆動用マイク
ロモータの一実施例を示すもので、図３はその平面図で
あり、図４はその縦断面図である。また、図５及び図６
はそれらの要部の拡大図、図７はその駆動手段である駆
動回路の回路図である。
る。図中、図３〜７は本発明によるリニア駆動用マイク
ロモータの一実施例を示すもので、図３はその平面図で
あり、図４はその縦断面図である。また、図５及び図６
はそれらの要部の拡大図、図７はその駆動手段である駆
動回路の回路図である。
【００１３】図３及び４から明らかなように、このリニ
ア駆動用マイクロモータ１０は、ロータ１１とステータ
１２とによって構成されている。ロータ１１は、例えば
直径が約１mm、長さが２０mmの、細くて長い軸状のもの
で、鉄からなり、その上端部外周面には雄ねじ１１ａが
形成されている。また、ステータ１２は、コイルＣ１，
Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４の上下両端に、先細に形成された幅約
２．５mm、厚さ約２mmの鉄製角柱を取り付けて形成され
る４組の磁極Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４を放射状に配置し
たもので、それらの磁極はリング状の銅製フレーム１３
によって一体的に固定されている。図５，６に示されて
いるように、各磁極Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４の先端は円
弧状の曲面に形成されており、それらが集合することに
よって円筒面が形成されるようになっている。そして、
その内面に雌ねじ１２ａが形成されている。ロータ１１
の雄ねじ１１ａとステータ１２の雌ねじ１２ａとは互い
に噛み合う形状とされているが、その間のギャップは通
常のねじより大きくされている。すなわち、ステータ１
２の内径はロータ１１の外径よりやや大きくされてい
る。
ア駆動用マイクロモータ１０は、ロータ１１とステータ
１２とによって構成されている。ロータ１１は、例えば
直径が約１mm、長さが２０mmの、細くて長い軸状のもの
で、鉄からなり、その上端部外周面には雄ねじ１１ａが
形成されている。また、ステータ１２は、コイルＣ１，
Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４の上下両端に、先細に形成された幅約
２．５mm、厚さ約２mmの鉄製角柱を取り付けて形成され
る４組の磁極Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４を放射状に配置し
たもので、それらの磁極はリング状の銅製フレーム１３
によって一体的に固定されている。図５，６に示されて
いるように、各磁極Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４の先端は円
弧状の曲面に形成されており、それらが集合することに
よって円筒面が形成されるようになっている。そして、
その内面に雌ねじ１２ａが形成されている。ロータ１１
の雄ねじ１１ａとステータ１２の雌ねじ１２ａとは互い
に噛み合う形状とされているが、その間のギャップは通
常のねじより大きくされている。すなわち、ステータ１
２の内径はロータ１１の外径よりやや大きくされてい
る。
【００１４】ステータ１２のコイルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，
Ｃ４には、図７に示されている駆動回路１５によって電
流が供給されるようになっている。その駆動回路１５
は、一対のハイレベル信号を４個のオア回路１６，１
６，…の各入力部に順にシフトして供給するシフト回路
１７から構成されている。そのシフトは、クロック回路
１８からクロック信号が出力されるたびに行われる。そ
して、いずれかのオア回路１６にハイレベル信号が入力
されると、それに対応するコイルに増幅器１９を介して
電源２０から電流が供給される。したがって、各コイル
Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４に順に電流が供給され、それに
よってステータ１２の各磁極Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４が
励磁される。励磁の順序は、（Ｓ１）→（Ｓ１及びＳ
２）→（Ｓ２）→（Ｓ２及びＳ３）→（Ｓ３）→…とな
る。このようにして、ステータ１２の励磁の状態は、駆
動回路１５にクロック信号が入力されるたびに推移して
いき、８回クロックを与えると一周する。
Ｃ４には、図７に示されている駆動回路１５によって電
流が供給されるようになっている。その駆動回路１５
は、一対のハイレベル信号を４個のオア回路１６，１
６，…の各入力部に順にシフトして供給するシフト回路
１７から構成されている。そのシフトは、クロック回路
１８からクロック信号が出力されるたびに行われる。そ
して、いずれかのオア回路１６にハイレベル信号が入力
されると、それに対応するコイルに増幅器１９を介して
電源２０から電流が供給される。したがって、各コイル
Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４に順に電流が供給され、それに
よってステータ１２の各磁極Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４が
励磁される。励磁の順序は、（Ｓ１）→（Ｓ１及びＳ
２）→（Ｓ２）→（Ｓ２及びＳ３）→（Ｓ３）→…とな
る。このようにして、ステータ１２の励磁の状態は、駆
動回路１５にクロック信号が入力されるたびに推移して
いき、８回クロックを与えると一周する。
【００１５】次に、このように構成されたリニア駆動用
マイクロモータ１０の作用について説明する。いま、駆
動回路１５によりステータ１２の磁極Ｓ１を励磁したと
すると、鉄製のロータ１１は磁気吸着力によってその磁
極Ｓ１に引き付けられる。次いで、磁極Ｓ１及びＳ２が
励磁されることにより、ロータ１１はそれらの磁極Ｓ
１，Ｓ２間の中間位置に引き付けられる。そして、磁極
Ｓ１の励磁が停止され、磁極Ｓ２のみの励磁となること
により、ロータ１１は磁極Ｓ２に引き付けられる。この
ようにして、ロータ１１はステータ１２の内周面に沿っ
て転がりながら周方向に移動する。その結果、前述のワ
ブルモータと同様に、ステータ１２の励磁が一周したと
き、ロータ１１は、ステータ１２の内周とロータ１１の
外周との差に応じた角度だけ自転することになる。
マイクロモータ１０の作用について説明する。いま、駆
動回路１５によりステータ１２の磁極Ｓ１を励磁したと
すると、鉄製のロータ１１は磁気吸着力によってその磁
極Ｓ１に引き付けられる。次いで、磁極Ｓ１及びＳ２が
励磁されることにより、ロータ１１はそれらの磁極Ｓ
１，Ｓ２間の中間位置に引き付けられる。そして、磁極
Ｓ１の励磁が停止され、磁極Ｓ２のみの励磁となること
により、ロータ１１は磁極Ｓ２に引き付けられる。この
ようにして、ロータ１１はステータ１２の内周面に沿っ
て転がりながら周方向に移動する。その結果、前述のワ
ブルモータと同様に、ステータ１２の励磁が一周したと
き、ロータ１１は、ステータ１２の内周とロータ１１の
外周との差に応じた角度だけ自転することになる。
【００１６】この間において、ロータ１１とステータ１
２とは、雄ねじ１１ａと雌ねじ１２ａとによって互いに
係合している。したがって、ロータ１１が自転すると、
そのロータ１１は軸方向に移動する。その移動量は、ロ
ータ１１の１回転につきねじ１ピッチ分である。すなわ
ち、ステータ１２の励磁に比べると、ロータ１１の回転
数が小さくなる上に、ねじによって更に減速されるの
で、その減速比は極めて大きくなる。その結果、ロータ
１１には大きな軸方向の力が加えられることになる。
２とは、雄ねじ１１ａと雌ねじ１２ａとによって互いに
係合している。したがって、ロータ１１が自転すると、
そのロータ１１は軸方向に移動する。その移動量は、ロ
ータ１１の１回転につきねじ１ピッチ分である。すなわ
ち、ステータ１２の励磁に比べると、ロータ１１の回転
数が小さくなる上に、ねじによって更に減速されるの
で、その減速比は極めて大きくなる。その結果、ロータ
１１には大きな軸方向の力が加えられることになる。
【００１７】こうして、このマイクロモータ１０によ
り、軸方向の大きな駆動力を得ることができる。その場
合、ロータ１１とステータ１２とは転がりによる接触を
しているので、その間の摩擦は小さい。したがって、マ
イクロスケールの環境下においても、摩擦の影響を受け
ることは少ない。また、ワブルモータを利用することに
より、そのロータ１１を単純な軸状のものとすることが
できる。したがって、そのロータ１１に形成されるねじ
１１ａは十分に長くすることができる。そして、このマ
イクロモータ１０のリニア変位量はロータ１１のねじ部
の長さのみによって制約されるので、そのねじ１１ａを
長くすることにより、極めて大きなリニア変位を得るこ
とができる。
り、軸方向の大きな駆動力を得ることができる。その場
合、ロータ１１とステータ１２とは転がりによる接触を
しているので、その間の摩擦は小さい。したがって、マ
イクロスケールの環境下においても、摩擦の影響を受け
ることは少ない。また、ワブルモータを利用することに
より、そのロータ１１を単純な軸状のものとすることが
できる。したがって、そのロータ１１に形成されるねじ
１１ａは十分に長くすることができる。そして、このマ
イクロモータ１０のリニア変位量はロータ１１のねじ部
の長さのみによって制約されるので、そのねじ１１ａを
長くすることにより、極めて大きなリニア変位を得るこ
とができる。
【００１８】さらに、ロータ１１とステータ１２とがね
じ係合することにより、ステータ１２の励磁を停止した
ときにも、ロータ１１はその位置で保持される。したが
って、軸方向の負荷が機械的に支えられるという利点も
ある。
じ係合することにより、ステータ１２の励磁を停止した
ときにも、ロータ１１はその位置で保持される。したが
って、軸方向の負荷が機械的に支えられるという利点も
ある。
【００１９】このようなリニア駆動用マイクロモータ１
０を実際に試作して実験をしたところ、良好に駆動する
ことが確かめられ、ロータ１１の直径を１mm、ロータ１
１とステータ１２との間のギャップを４０〜１００μ
m、それらのねじ１１ａ，１２ａのピッチを０．２５mm
としたとき、軸方向の最大速度５mm/s、最大発生力４５
mNが得られた。
０を実際に試作して実験をしたところ、良好に駆動する
ことが確かめられ、ロータ１１の直径を１mm、ロータ１
１とステータ１２との間のギャップを４０〜１００μ
m、それらのねじ１１ａ，１２ａのピッチを０．２５mm
としたとき、軸方向の最大速度５mm/s、最大発生力４５
mNが得られた。
【００２０】図８及び図９は、本発明によるリニア駆動
用マイクロモータの異なる実施例を示す平面図及び縦断
面図である。このマイクロモータ２０の場合には、ロー
タ２１が円筒状で、ステータ２２がそのロータ２１の内
部に配置される円柱状のものとされている。そのステー
タ２２も、上記実施例と同様に４組の磁極Ｓ１，Ｓ２，
Ｓ３，Ｓ４によって構成され、それらの磁極が順に励磁
されるようになっている。そのロータ２１の内周面及び
ステータ２２の外周面には互いに噛み合うねじ２１ａ，
２２ａが形成されている。
用マイクロモータの異なる実施例を示す平面図及び縦断
面図である。このマイクロモータ２０の場合には、ロー
タ２１が円筒状で、ステータ２２がそのロータ２１の内
部に配置される円柱状のものとされている。そのステー
タ２２も、上記実施例と同様に４組の磁極Ｓ１，Ｓ２，
Ｓ３，Ｓ４によって構成され、それらの磁極が順に励磁
されるようになっている。そのロータ２１の内周面及び
ステータ２２の外周面には互いに噛み合うねじ２１ａ，
２２ａが形成されている。
【００２１】このように構成されたマイクロモータ２０
においても、ステータ２２の磁極Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ
４を周方向に順に励磁していくと、ロータ２１がそれら
の磁極に順に引き付けられて回転し、ねじによって軸方
向に変位する。すなわち、ロータ２１とステータ２２と
の間に働く吸引力がワブル機構によってロータ２１の回
転運動に変換され、その回転運動がねじによって軸方向
のリニア変位へと変換される。したがって、前述の実施
例と同様の作用効果を得ることができる。また、この実
施例のマイクロモータ２０の場合には、ステータ２２が
小さくまとめられるので、よりコンパクト化することが
できるという利点もある。
においても、ステータ２２の磁極Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ
４を周方向に順に励磁していくと、ロータ２１がそれら
の磁極に順に引き付けられて回転し、ねじによって軸方
向に変位する。すなわち、ロータ２１とステータ２２と
の間に働く吸引力がワブル機構によってロータ２１の回
転運動に変換され、その回転運動がねじによって軸方向
のリニア変位へと変換される。したがって、前述の実施
例と同様の作用効果を得ることができる。また、この実
施例のマイクロモータ２０の場合には、ステータ２２が
小さくまとめられるので、よりコンパクト化することが
できるという利点もある。
【００２２】なお、以上の実施例においては、ロータ１
１あるいは２１をステータ１２，２２に吸着させて転動
させる駆動手段として磁気吸着機構を用いる例について
説明したが、その駆動手段としては、図１で説明したよ
うなワブルモータに用いられている静電吸着機構を採用
することもできる。そのようにすれば、マイクロモータ
のより小型化を図ることも可能と考えられる。
１あるいは２１をステータ１２，２２に吸着させて転動
させる駆動手段として磁気吸着機構を用いる例について
説明したが、その駆動手段としては、図１で説明したよ
うなワブルモータに用いられている静電吸着機構を採用
することもできる。そのようにすれば、マイクロモータ
のより小型化を図ることも可能と考えられる。
【００２３】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、ワブルモータのロータ及びステータに互いに
噛み合うねじを形成するようにしているので、ロータの
軸方向の変位を直接取り出すことができ、高出力のリニ
ア駆動用マイクロモータを得ることができる。また、そ
のねじの長さを長くすることによって軸方向の変位量を
大きくすることができるので、リニア変位の大きいマイ
クロモータとすることができる。
によれば、ワブルモータのロータ及びステータに互いに
噛み合うねじを形成するようにしているので、ロータの
軸方向の変位を直接取り出すことができ、高出力のリニ
ア駆動用マイクロモータを得ることができる。また、そ
のねじの長さを長くすることによって軸方向の変位量を
大きくすることができるので、リニア変位の大きいマイ
クロモータとすることができる。
【図１】本発明において利用するワブルモータの構成図
である。
である。
【図２】そのワブルモータの作動原理を説明するための
説明図である。
説明図である。
【図３】本発明によるリニア駆動用マイクロモータの一
実施例を示す平面図である。
実施例を示す平面図である。
【図４】そのマイクロモータの縦断面図である。
【図５】そのマイクロモータの要部の拡大平面図であ
る。
る。
【図６】そのマイクロモータの要部の拡大縦断面図であ
る。
る。
【図７】そのマイクロモータの駆動回路を示す回路図で
ある。
ある。
【図８】本発明によるリニア駆動用マイクロモータの他
の実施例を示す平面図である。
の実施例を示す平面図である。
【図９】図８のマイクロモータの縦断面図である。
１０，２０ リニア駆動用マイクロモータ １１，２１ ロータ １１ａ，２１ａ ねじ １２，２２ ステータ １２ａ，２２ａ ねじ １５ 駆動回路（駆動手段）
Claims (2)
- 【請求項１】 軸状のロータと、そのロータの外径より
大径の円筒状内周面を有し、そのロータの外周に配置さ
れるステータと、前記ロータをステータの内周面に吸着
させて周方向に転動させる駆動手段と、からなり、 前記ロータの外周面及びステータの内周面に、互いに噛
み合うねじが形成されていることを特徴とする、 リニア駆動用マイクロモータ。 - 【請求項２】 円筒状のロータと、そのロータの内径よ
り小径の円柱状外周面を有し、そのロータの内側に配置
されるステータと、前記ロータをステータの外周面に吸
着させて周方向に転動させる駆動手段と、からなり、 前記ロータの内周面及びステータの外周面に、互いに噛
み合うねじが形成されていることを特徴とする、 リニア駆動用マイクロモータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18216195A JPH0919131A (ja) | 1995-06-26 | 1995-06-26 | リニア駆動用マイクロモータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18216195A JPH0919131A (ja) | 1995-06-26 | 1995-06-26 | リニア駆動用マイクロモータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0919131A true JPH0919131A (ja) | 1997-01-17 |
Family
ID=16113428
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18216195A Pending JPH0919131A (ja) | 1995-06-26 | 1995-06-26 | リニア駆動用マイクロモータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0919131A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6799483B2 (en) | 2001-05-15 | 2004-10-05 | Patrick Andreas Petri | Method and mechanism for converting vibration induced rotation into translational motion |
| US7170214B2 (en) | 2003-09-08 | 2007-01-30 | New Scale Technologies, Inc. | Mechanism comprised of ultrasonic lead screw motor |
| US7309943B2 (en) | 2003-09-08 | 2007-12-18 | New Scale Technologies, Inc. | Mechanism comprised of ultrasonic lead screw motor |
| US7339306B2 (en) | 2003-09-08 | 2008-03-04 | New Scale Technologies Inc. | Mechanism comprised of ultrasonic lead screw motor |
| JP2008312310A (ja) * | 2007-06-13 | 2008-12-25 | Kikuchiseisakusho Co Ltd | サイクロイドモーター |
-
1995
- 1995-06-26 JP JP18216195A patent/JPH0919131A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6799483B2 (en) | 2001-05-15 | 2004-10-05 | Patrick Andreas Petri | Method and mechanism for converting vibration induced rotation into translational motion |
| US7170214B2 (en) | 2003-09-08 | 2007-01-30 | New Scale Technologies, Inc. | Mechanism comprised of ultrasonic lead screw motor |
| US7309943B2 (en) | 2003-09-08 | 2007-12-18 | New Scale Technologies, Inc. | Mechanism comprised of ultrasonic lead screw motor |
| US7339306B2 (en) | 2003-09-08 | 2008-03-04 | New Scale Technologies Inc. | Mechanism comprised of ultrasonic lead screw motor |
| JP2008312310A (ja) * | 2007-06-13 | 2008-12-25 | Kikuchiseisakusho Co Ltd | サイクロイドモーター |
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