JPH09193148A - インゴット貼付治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 大径且つ長尺インゴットに対処してインゴッ
ト貼付治具全体を軽量コンパクト化する。また、インゴ
ットをインゴット貼付治具へセットする作業に際し、簡
易クレーンでの作業を可能にして作業性の向上を図る。 【解決手段】 インゴットＭの一端に貼付するアルミブ
ロック６と、インゴットＭの他端側に配したインゴット
固定機構とでインゴットＭを長手結晶軸方向のみで挟持
締着してインゴットＭにアルミブロック６を貼付る構成
とし、従来のインゴット直径方向の固定螺子等の機構を
削除する。また、ベースプレート２上からのインゴット
Ｍの転倒落下を防止するようインゴットＭの両脇側面を
係脱自在に支持する一対のインゴット落下防止機構をベ
ースプレート２上に付設する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハとし
て内周刃切断機で切断する為に、半導体インゴットにカ
ーボンスライス台およびアルミブロックを貼り付けるイ
ンゴット貼付治具に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えばシリコン等の半導体ウエハ
に内周刃切断機で切断する為に、シリコンインゴットに
カーボンスライス台およびアルミブロックを接着剤で貼
付ける作業は、図５に示す如く、インゴット貼付治具
１’のベースプレート２’上に敷設したカーボンスライ
ス台３’の上面に接着剤を塗布しその上にシリコンイン
ゴット４’を人手にて載置させてこれを直径方向からイ
ンゴット貼付治具１’の上方に配した複数の押え螺子
５’で人手にて固定することで、カーボンスライス台
３’とシリコンインゴット４’との接着性の均一化を図
るものがあった。また、アルミブロック６’とシリコン
インゴット４’との接着性に関しては何等の考慮もなさ
れていなかった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来例
では、シリコンインゴットを人手にて直径方向から固定
する為の複数の押え螺子を配設したので、インゴット貼
付治具全体が大型化且つ重量化し作業性が低下する。ま
た、作業開始時、シリコンインゴットをインゴット貼付
治具上にセットするに際し、上記押え螺子部分が邪魔に
なり大径且つ長尺のシリコンインゴットについては困難
な作業が要求されるという問題点を有していた。

【０００４】本発明は、上記問題点に鑑みなされたもの
で、大径且つ長尺インゴットに関しては直径方向の固定
螺子機構を除去してインゴット貼付治具全体を軽量コン
パクト化する。また、インゴットをインゴット貼付治具
へセットする作業に際し、簡易クレーンでの作業を可能
にして作業性の向上を図ることを目的としたものであ
る。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
ため、本発明にあっては、ベースプレート上に載置され
たインゴット貼付用のカーボンスライス台と、該カーボ
ンスライス台の一端に配され且つベースプレート上に固
定されるインゴット貼付用のアルミブロックとを有し、
該カーボンスライス台上に横向きに貼付されるインゴッ
トに対しその長手結晶軸方向の一端が貼付されるアルミ
ブロックと、インゴットの長手結晶軸方向の他端側に配
されベースプレート上でスライド固定可能なインゴット
固定機構とでインゴットを長手結晶軸方向のみで挟持締
着させたことを特徴とする。

【０００６】また、請求項１記載の構成に加えて、前記
インゴット固定機構が開放されてベースプレートからイ
ンゴットが取り出されるスライス工程での乾燥機内搬送
時において、ベースプレート上からのインゴットの転倒
落下を防止するようインゴットの両脇側面を係脱自在に
支持するインゴット落下防止機構をベースプレート上に
付設した構成とすることもできる。

【０００７】本発明に係るインゴット貼付治具にあって
は、インゴット固定機構によるインゴットの長手結晶軸
方向の押圧作用のみによりインゴットにアルミブロック
が貼付され、カーボンスライス台へのインゴットの貼付
は、大径、長尺インゴットに対してはその自重に依る接
着が利用されるので、従来のインゴット直径方向の固定
螺子等の機構を削除することができ、インゴット貼付治
具へセットする為の簡易クレーンでの作業を可能にさせ
る。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明するに、図において示される符号１は、
例えば大径且つ長尺なるシリコン等のインゴットＭを半
導体ウエハＱに内周刃切断機で切断する為に、該インゴ
ットＭにカーボンスライス台およびアルミブロックを接
着剤で貼付ける作業に使用されるインゴット貼付治具で
あり、該インゴット貼付治具１は、図１および図２に示
す如く、インゴット固定機構としてベースプレート２上
の長手方向に沿って適宜の螺子回転リードで進退可能と
なるように長手軸方向のインゴット固定螺子３を、ベー
スプレート２のベッド２Ａ上でスライド可能な台座３Ｄ
に設けられた筐体３Ｃに取り付けてあり、例えば台座３
Ｄ上に固設されたナット部３Ｂにインゴット固定螺子３
のボルト部３Ａを螺合連繋させ、インゴット固定螺子３
を回転させることでナット部３Ｂを台座３Ｄ上端に固設
されたガイド３Ｅに沿って台座３Ｄより軸方向に移動さ
せ該ナット部３Ｂ先端のインゴット押圧部３Ｆがベース
プレート２上の長手方向に沿って進退可能となるものと
している。

【０００９】また、台座３Ｄ上にはベッド２Ａ上で台座
３Ｄを仮固定させるためのスライドレバー３Ｇを設けて
あり、短いインゴットＭに対してこのスライドレバー３
Ｇを緩めてインゴット固定螺子３と共に台座３Ｄ全体を
スライドさせるものとしている。そして、ベースプレー
ト２の略中央には、例えば図１に示す如く、クリックス
トッパー機構４Ａ等により支持部が傾倒自在となるよう
にしたインゴットＭの下方から両脇側面を二点支持する
左右一対のインゴット落下防止機構４を付設してある。
８はインゴットＭをインゴット貼付治具１へセットする
為の簡易型の昇降クレーンである。すなわち、インゴッ
トＭを昇降クレーン８でベースプレート２上に載せる時
には、インゴット落下防止機構４を倒しておき、終了後
直立させて乾燥機投入時の落下防止機能を果たすものと
している。そして、ベースプレート２上にはインゴット
Ｍへ貼付されるカーボンスライス台５が載置され、該カ
ーボンスライス台５の一端側には、スライス工程に便な
らしめるよう把手部７を有するディスク状のインゴット
貼付用のアルミブロック６が接着面を横にした状態でベ
ースプレート２上に螺子締結機構７Ａで固定されてい
る。

【００１０】また、インゴットＭの乾燥機投入時には前
記インゴット貼付治具１にインゴットＭを取り付けたま
まの状態で乾燥機（図示せず）へ搬送され投入されるも
のとしている。乾燥後のスライス工程時において、イン
ゴットＭは図４に示す如く、該インゴットＭに貼付され
たカーボンスライス台５を下方に向けて架台１０に載せ
られ、前記アルミブロック６を把手部７を介してインゴ
ットＭの前進移動機構Ｐへ連繋させて、加工される半導
体ウエハＱの厚みに対応した前進ピッチで該インゴット
Ｍを架台１０上で移動できるようにしている。そして、
前進移動機構Ｐ前方には開口部１１を有する回転可能な
リングディスク状の内周刃ブレード１２を配して成る内
周刃切断機構９を設置してあり、前記前進移動機構Ｐの
前進ピッチによりインゴットＭを内周刃ブレード１２の
開口部１１に潜らせることで内周刃ブレード１２の回転
によりインゴットＭをスライスウエハ状に切断できるよ
うに構成されている。また、内周刃切断機構９の内周刃
ブレード１２後方には切断されて得られた半導体ウエハ
Ｑを回収ホルダー１３側へ搬送し収納するための搬送機
１４を備えている。

【００１１】尚、本実施の形態において、インゴット固
定機構としてインゴット固定螺子３を採用しているが、
本発明はカーボンスライス台５上に横向きに貼付される
インゴットＭに対しその長手結晶軸方向の一端が貼付さ
れるアルミブロック６と、インゴットＭの長手結晶軸方
向の他端側に配されベースプレート２上でスライド固定
可能なインゴット固定機構とでインゴットＭを長手結晶
軸方向のみで挟持締着させることを可能とするものであ
れば、これらインゴット固定螺子３による機構に何等限
定されることはないことは勿論である。

【００１２】次いで、本発明に係るインゴット貼付治具
の使用方法について説明すると、図３に示す如く、先ず
予め上面に接着剤を塗布させたカーボンスライス台５を
インゴット貼付治具１のベースプレート２上に載置させ
且つカーボンスライス台５一端側のベースプレート２上
に予め平面に接着剤を塗布させたアルミブロック６を横
に寝かせるようにして固定させておく。次いで、昇降ク
レーン８によりインゴットＭを運搬し、ベースプレート
２上にセットする。然る際、インゴット固定螺子３を螺
子回転させることでインゴットＭの両端をインゴット固
定螺子３のインゴット押圧部３Ｆとアルミブロック６と
の間で長手結晶軸方向のみで挟持締着させ且つ同時にイ
ンゴット落下防止機構４をベースプレーと２上で起立さ
せることによりインゴットＭの両脇側面を支持してお
く。この時、インゴット固定螺子３の締付けによりイン
ゴットＭとアルミブロック６とが均一に接着されると共
にインゴットＭの自重に依りインゴットＭとカーボンス
ライス台５とが均一に接着される。次いでインゴットＭ
をインゴット貼付治具１と供に乾燥機（図示せず）へ投
入される。最後に前記インゴット固定機構が解放されて
昇降クレーン８による自動運搬操作あるいはアルミブロ
ック６の把手部７を介しての手動操作にてベースプレー
ト２からインゴットＭが取り出されスライス工程へ投入
される。

【００１３】

【発明の効果】本発明は以上のように構成されており、
特にインゴット一端に貼付されるアルミブロックと、イ
ンゴット他端側に配されたインゴット固定機構とでイン
ゴットを長手結晶軸方向のみで挟持締着させることによ
りインゴットにアルミブロックを貼付する構成であるの
で、従来のインゴット直径方向の固定螺子等の機構を削
除することができ、インゴットをインゴット貼付治具へ
セットする為の簡易クレーンでの作業を可能にし作業性
の向上を図ることができる。また、大径、長尺インゴッ
トに対してはその自重のみに依る接着が利用できる為、
インゴット貼付治具全体を軽量コンパクト化することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態を示したインゴット貼付治
具の側面図である。

【図２】本発明の実施の形態を示したインゴット固定機
構の要部の断面図である。

【図３】本発明の実施の形態を示したインゴット貼付作
業の説明図である。

【図４】同じく、スライス工程の概要を示す斜視図であ
る。

【図５】従来例を示すインゴット貼付作業の説明図であ
る。

【符号の説明】

１…インゴット貼付治具 ２…ベースプレート ２Ａ…ベッド ３…インゴット固定螺子 ３Ａ…ボルト部 ３Ｂ…ナット部 ３Ｃ…筐体 ３Ｄ…台座 ３Ｅ…ガイド ３Ｆ…インゴット押圧部 ３Ｇ…スライドレバー ４…インゴット落下防止機構 ４Ａ…クリックストッパー機構 ５…カーボンスライス台 ６…アルミブロッツク ７…把手部 ７Ａ…螺子締結機構 ８…昇降クレーン ９…内周刃切断機構 １０…架台 １１…開口部 １２…内周刃ブレード １３…回収ホルダー １４…搬送機 Ｐ…前進移動機構 Ｑ…半導体ウエハ Ｍ…インゴット

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ベースプレート上に載置されたインゴッ
   ト貼付用のカーボンスライス台と、該カーボンスライス
   台の一端に配され且つベースプレート上に固定されるイ
   ンゴット貼付用のアルミブロックとを有し、該カーボン
   スライス台上に横向きに貼付されるインゴットに対しそ
   の長手結晶軸方向の一端が貼付されるアルミブロック
   と、インゴットの長手結晶軸方向の他端側に配されベー
   スプレート上でスライド固定可能なインゴット固定機構
   とでインゴットを長手結晶軸方向のみで挟持締着させた
   ことを特徴とするインゴット貼付治具。
2. 【請求項２】 前記インゴット固定機構が開放されてベ
   ースプレートからインゴットが取り出されるスライス工
   程での乾燥機内搬送時において、ベースプレート上から
   のインゴットの転倒落下を防止するようインゴットの両
   脇側面を係脱自在に支持するインゴット落下防止機構を
   ベースプレート上に付設した請求項１記載のインゴット
   貼付治具。