JPH09193403A

JPH09193403A - ノズルプレートの製造方法

Info

Publication number: JPH09193403A
Application number: JP8026142A
Authority: JP
Inventors: Hikoharu Aoki; 彦治青木
Original assignee: Brother Industries Ltd
Current assignee: Brother Industries Ltd
Priority date: 1996-01-19
Filing date: 1996-01-19
Publication date: 1997-07-29
Anticipated expiration: 2016-01-19
Also published as: JP3570060B2

Abstract

(57)【要約】【課題】インク液滴を噴射するノズルプレートの製造
方法において、基板と撥水性膜とを貫通するノズルの孔
開け加工により生じたバリを無くして、インクの噴射時
における液滴曲がりやバラツキが生ず、高印字品質が得
られるノズルプレートの提供を可能にする。【解決手段】基板２に熱可塑性を有する撥水性材料に
より撥水性膜３を形成し、その基板２及び撥水性膜３に
孔開け加工によりノズル４を形成した後、撥水性膜３を
基板２の重力方向下側に向けて、撥水性膜３の軟化温度
より所定温度高い温度で所定時間前記撥水性膜を熱処理
して、孔開け加工後に形成されたノズル４の噴射口の周
りの撥水性膜３からなるバリを無くすようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、インクジ
ェット式印字ヘッドに用いられるノズルプレートの製造
方法であって、詳しくは、基板と撥水性膜とを貫通する
微小な孔開け加工によりインク液滴を噴射させるノズル
を形成した後、ノズルからインクが適正かつ良好に噴射
されるように、当該ノズルの周囲に形成される撥水性膜
のバリを熱処理により無くすノズルプレートの製造方法
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、インクを噴射するヘッドでは、ノ
ズルの周囲表面にインクの濡れができるとインク滴の飛
翔方向にズレが生じたり、さらに濡れがひどくなるとイ
ンク滴が飛ばないといった問題がおきる。このような問
題に対して、特開昭５５−６５５６４号公報あるいは特
開平２−５５１４０号公報において、ノズルが形成され
たノズルプレートの表面に撥水性膜を設けて濡れが生じ
るのを抑えるようにした技術が示されている。以下、添
付図面を参照して説明すると、図６の（ａ）に示すよう
に、ノズルプレート１の基板２の表面に撥水性膜３を塗
布すると、撥水性膜３の一部３ａ´がノズル４の内部に
不均一に回り込んだり、またはノズル４を塞いでしまっ
たりする。その結果、ノズル４で形成されるインクのメ
ニスカスがノズル４毎に異なって、図６の（ｂ）に示す
ように、インク５の噴射タイミングにばらつきが生じ
て、インク５が適正に噴射されないといった不都合が生
じる。

【０００３】このため、ノズルの内部に被覆材を完全に
埋め込んだ後、ノズルプレートの表面に撥水性膜を施す
ことも考えられているが、ノズルの内部に被覆材を完全
に埋め込むことが非常に難しく、実用的でない。

【０００４】このような背景から、特開平２−１８７３
４２号公報には、インクジェットプリンタのノズルプレ
ートを、基板に撥水性膜を施した後、当該基板と撥水性
膜とをエキシマレーザ等によって孔開け加工して作製す
る方法が記載されている。このノズルプレートの作製方
法において、ノズルプレートには、ドライフイルムが用
いられ、撥水性膜には、ポリイミドフイルムが用いられ
ている。

【０００５】しかしながら、撥水性膜として、一般的
に、フッ素系またはシリコン系の撥水膜を用いてその撥
水性を向上させているが、フッ素系やシリコン系の材質
の撥水性膜は、紫外線用レーザであるエキシマレーザ
（例えば、ＡｒＦ＝１９８ｎｍ，ＫｒＦ＝２４８ｎｍ，
ＸｅＫｒ＝３０８ｎｍ）を吸収しないので、エキシマレ
ーザでは撥水性膜の孔開け加工はされず、上述したプレ
ートの分子、原子の分解、飛散によるエネルギによって
孔開け加工される。このため、撥水性膜の加工が良好に
行われずに、バリが残り、このバリによってノズルから
噴射されるインク滴の飛翔方向に滴液曲がりによるばら
つきが生じて、印字品質が悪くなる問題があった。ま
た、プレス加工やドリル加工してノズルを形成するとき
には、フッ素系またはシリコン系以外の撥水性膜におい
ても、ノズル形成時に上記問題と同様のバリによる問題
が生じていた。

【０００６】このような問題を解決するための方策とし
て、エキシマレーザ、プレス加工、ドリル加工の何れに
おいても、バリが残らないような孔開け加工をすること
ができないことから、孔開け加工後にバリを無くすこと
が必要である。このバリを無くすための方策として、特
開平７−１０８６８３号公報において、基板に熱可塑性
を有する撥水性材料により撥水性膜を形成し、その基板
及び撥水性膜に孔開け加工によりノズルを形成した後、
前記撥水性膜の軟化温度より所定温度高い温度で所定時
間前記撥水性膜を熱処理して、撥水性膜の孔開け加工時
に残ったバリを溶融して平坦化する技術が記載されてい
る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記特
開平７−１０８６８３号公報に記載の技術は、同公報に
おける図３に示すように、基板の上面側に撥水性膜を向
けた姿勢で、バリを軟化溶融させる手法を採っているた
め、同公報の図４及び対応する明細書中の記載のよう
に、「処理温度が撥水性膜の溶融温度よりかなり高い場
合あるいは熱処理時間が長すぎる場合は、図４に示すよ
うに、撥水性膜がノズル内に流れ込む恐れがあるため、
温度及び時間管理には注意を要する。」といった問題が
生じる。

【０００８】なお、同公報の明細書において、実験の結
果、設定温度をＴ、熱処理温度をｔ、とした場合に、１
５≦Ｔ≦７０（度）、及び５≦ｔ≦１００（分）を満た
し、−２ｔ＋４０≦Ｔ≦−ｔ／３＋８０の関係を満たす
条件で熱処理を行うと、ノズル加工時に残った撥水性膜
のバリが軟化溶融して、バリの無いノズルを有するノズ
ルプレートが作製できることが記載されているが、上記
条件下で熱処理を行ってバリを溶融軟化させても、図７
に示すように、溶融軟化に伴なってバリ相当部分３ｃが
ノズルの径を小さくする方向に平坦化して広がることも
予想され、これがインクの適正な噴射量や噴射方向を妨
げて、印字品質を悪くするという新たな問題が生じる。
とくに、上記公報の図２及び図３に示すように、ノズル
が基板の一面側から撥水性膜を貫通する方向に向かうに
従って次第に小径になる斜面状に形成されていると、上
述した問題はさらに大きくなる。勿論、同公報の図３に
示すように、ノズルを変化させることなくバリを無くす
ことは可能であるが、上記条件を満たす熱処理環境を得
ることは、設定温度を満たした加熱室内であっても、例
えば、その室内の位置によって温度差が生じるため、ま
た、複数のノズルプレートを一定間隔毎に間隔をあけて
多数枚並べたときには、ノズルプレートの置く位置等に
よって、加熱温に差が生じるため、バリを均一な温度で
熱処理し難いという問題が残る。

【０００９】本発明は上記問題を解消すべく提案された
ものであり、基板と撥水性膜とを貫通するノズルの孔開
け加工により生じるバリを無くすことができ、しかも、
バリの軟化溶融によるノズルの内側への流れ込みやノズ
ルの孔の径を狭くする方向への脹らみによるインクの噴
射時における液滴曲がりやバラツキが生じず、高印字品
質を確保することができる、ノズルプレートの製造方法
を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１に記載のノズルプレートの製造方法は、イン
クが噴射されるノズルが形成された基板の少なくとも当
該ノズルが形成される部位の周囲に撥水性膜が形成され
たノズルプレートの製造方法であって、基板に熱可塑性
を有する撥水性材料により撥水性膜を形成し、その基板
及び撥水性膜に孔開け加工によりノズルを形成した後、
前記撥水性膜が重力方向下向きになるように前記基板を
配置し、撥水性膜の軟化温度より所定温度高い温度で所
定時間前記撥水性膜を熱処理するものである。

【００１１】上述した本発明のノズルプレートの製造方
法によって、熱可塑性を有する撥水性膜を、孔開け加工
後に撥水性膜の軟化温度より所定温度高い温度で所定時
間熱処理すると、撥水性膜の孔開け加工時に残ったバリ
は軟化溶融して無くなる。すなわち、バリが軟化溶融す
ると、その分子間に表面張力が生じて、全体が丸くなっ
たり、その周囲の撥水性部分に引き寄せられる。なお、
熱処理温度が高い場合には、バリが軟化溶融して、その
一部が垂れ落ち、残った部分が丸くなったり、その周囲
の撥水性部分に引き寄せられたりする。これらの現象
は、撥水性膜、すなわちバリを下向けにしているため
に、軟化溶融したバリの自重が基板と反対方向にかかる
ことに起因する。このため、バリが軟化溶融しても、少
なくとも撥水性膜のノズルの径を狭める方向に膨らんだ
り、流れたりするようなことはない。

【００１２】なお、上記所定温度及び所定時間に基づく
熱処理条件は、少なくとも、バリが軟化溶融する以上の
温度であって、基板を加熱による変形や変質を生じさせ
ない以下の温度であればよい。具体的には、上記従来技
術による公報に記載の明細書において示した、バリを無
くす加熱処理に必要である条件、すなわち、所定温度を
Ｔ、所定時間をｔ、としたとき、熱処理は、１５≦Ｔ≦
７０（度）、及び５≦ｔ≦１００（分）を満たし、さら
に−２ｔ＋４０≦Ｔ≦−ｔ／３＋８０、であっても構わ
ない。しかしこの条件に限定されるものではない。

【００１３】また、請求項２に記載のノズルプレートの
製造方法は、上記構成に加えて、前記撥水性膜はフッ素
系の樹脂であるものである。

【００１４】上記ノズルプレートの製造方法によれば、
撥水性膜として、インク溶剤に対する揮発特性、耐溶剤
性が優れるフッ素系の樹脂が使用されるため、長期間高
品質が維持される撥水性膜を有するノズルプレートが得
られる。すなわち鮮明な印字出力が得られる。撥水性膜
に好適なフッ素系の樹脂として、ＦＥＰ樹脂（４フッ化
エチレン−６フッ化プロプレン共重合樹脂）の他、ポリ
４エチレン樹脂（ＰＴＦＥ樹脂）、４フッ化エチレン−
パ−フルオロアルコキシエチレン共重合樹脂（ＰＦＡ樹
脂）、３フッ化塩化エチレン樹脂（ＰＣＴＦＥ樹脂）、
４フッ化エチレン−エチレン共重合樹脂（ＥＴＦＥ樹
脂）、フッ化ビニリデン樹脂、フッ化ビニル樹脂等が挙
げられる。なお、限定されるものではないが、これら何
れかの樹脂は、基板面に約１μｍ程度に塗布成膜され
る。

【００１５】また、請求項３に記載のノズルプレートの
製造方法は、請求項１又は請求項２の何れかに記載の構
成に加えて、前記基板は、ポリイミド樹脂であるもので
ある。

【００１６】上記ノズルプレートの製造方法によれば、
ポリイミド樹脂は、融点がなく非常に熱的特性の優れた
樹脂であるため、バリを無くすための熱処理時において
も、軟化溶融して変形したり、変質するようなことがな
く、高品質な基板、すなわちノズルプレートが得られ
る。

【００１７】また、請求項４に記載のノズルプレートの
製造方法は、請求項１〜３のうちの何れかの構成に加え
て、前記孔開け加工は、エキシマレーザによる加工であ
るものである。

【００１８】上記ノズルプレートの製造方法によれば、
基板から撥水性膜を貫通する、ノズルとなる微孔を多数
正確に形成することができるため、高精度のノズルを有
するノズルプレートが得られる。エキシマレーザは２４
８ｎｍの波長をもつＫｒＦエキシマレーザであることが
好ましく、その加工時には、例えば、３００μｍの穴を
開けたマスクを利用して行う。

【００１９】また、請求項５に記載のノズルプレートの
製造方法は、請求項１乃至請求項４の何れかの構成に加
えて、前記ノズルプレートが、インク液滴を噴射して印
字するインクジェット式印字ヘッドに用いられているも
のである。

【００２０】上記ノズルプレートの製造方法によれば、
ノズルプレートに形成されているノズルが高精度に形成
され、特に撥水性膜側のノズル出口周辺にバリ等のイン
ク液滴の噴射を障害するものが残らないので、精度の高
い印字が出力される。また、ノズルプレートを構成する
撥水性膜が耐インク特性を有するため、長期間高品質な
印字出力が得られる。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した実施の
一形態を図面を参照して説明する。図１（ａ）は本発明
のノズルプレートを示す正面図、（ｂ）は同じく正面方
向から見た斜視図、図２はノズルプレートの孔開け加工
の方法を示す図、図３の（ａ）は孔開け加工により生じ
るバリを残したノズルプレートを簡略して示した正面
図、（ｂ）は同斜視図、図４の（ａ）はバリを無くした
ノズルプレートを簡略して示した断面図、（ｂ）はバリ
を無くしたノズルプレートによるインク噴射の状態を簡
略して示した斜視図、図５はノズルプレートの使用例を
示す図である。

【００２２】図１の（ａ），（ｂ）に示すように、ノズ
ルプレート１は、基板２の一面に撥水性膜３が塗布さ
れ、適所にインクを噴射するための多数のノズル４が一
列に形成されたものからなる。

【００２３】図１の（ａ）及び（ｂ）に示すように、基
板２は、使用インク成分中に含まれる溶剤に対して耐溶
剤性のある材質であり、また、後述する撥水性膜３より
軟化温度の高い材料、すなわち、後述する熱処理による
温度以上の融点を有する材料、もしくは熱により軟化し
ない材料で形成されており、その一例として、融点がな
く非常に熱的特性の優れたポリイミド樹脂が使用される
が、これに限定することなく、熱硬化性樹脂や軟化温度
が撥水性膜３として用いた材料より比較的高い樹脂であ
っても構わない。

【００２４】撥水性膜３は、本実施例の一例として、２
５０℃〜２８０℃の軟化点（融点）を有する、４フッ化
エチレン−６フッ化プロプレン共重合樹脂（ＦＥＰ樹
脂）を約１μｍ程度に基板２の一面に塗布成膜したもの
で形成される。なお、撥水性膜３を形成するフッ素系の
樹脂として、上記ＦＥＰ樹脂の他に、例えば、ポリ４エ
チレン樹脂（ＰＴＦＥ樹脂）、４フッ化エチレン−パ−
フルオロアルコキシエチレン共重合樹脂（ＰＦＡ樹
脂）、３フッ化塩化エチレン樹脂（ＰＣＴＦＥ樹脂）、
４フッ化エチレン−エチレン共重合樹脂（ＥＴＦＥ樹
脂）、フッ化ビニリデン樹脂、フッ化ビニル樹脂等の樹
脂で形成しても構わない。また、用いるインク溶剤によ
っては、シリコン系樹脂等でも構わない。

【００２５】次に、撥水性膜３が塗布された基板２の孔
開け加工を図２に基づいて説明する。本図はエキシマレ
ーザを利用する加工を示しており、エキシマレーザを発
するレーザ発振器１０より出たエキシマレーザビーム１
１を、所望する加工形状と相似形のマスク１２を通し、
レンズ１３によりマスク形状を基板２上に結像させてノ
ズル加工を行う。本実施例においては、エキシマレーザ
は２４８ｎｍの波長をもつＫｒＦエキシマレーザが使用
される。また、マスク１２及びレンズ１３はノズル形状
やレーザ加工条件等によって適切に設定する。本実施例
では、１／５の縮小レンズ１３および直径３００μｍの
孔を開けたマスク１２が用いられている。

【００２６】この加工によって形成されたノズル４の噴
射口付近には、図３の（ａ）及び（ｂ）に示すように、
撥水性膜３からなるバリ３ａが存在し、このバリ３ａに
よってノズル４から噴射されるインク滴の飛翔方向に滴
液曲がりによるばらつきが生じて、印字品質を悪くする
ことから、このバリ３ａを除去する加工が必要になる。
この加工は、バリ３ａを軟化溶融させて行い、具体的に
は、図４の（ａ）に示すように、撥水性膜３を重力方向
において基板２の下側に向けて、３００度に加熱された
オーブン中に、少なくとも上記バリ３ａが軟化溶融する
時間、例えば１時間放置すると、バリ３ａが軟化し、図
４の（ａ）に示すように、バリ３ａはその表面張力によ
って丸く縮小して撥水性膜３に吸収されるようにして無
くなる。しかも、撥水性膜３を基板２の下側に向けてい
るため、軟化したバリ３ａは、その自重によってノズル
４の径を狭くする方向に広がることはない。なお、加熱
温が高い場合には、バリ３ａは雫の如く垂れ落ち、その
残った部分はその表面張力によってその周囲の撥水性膜
部分３ｄに引き寄せられて凝固し、バリ３ａのない略平
坦化されたノズルが形成される。

【００２７】なお、加熱処理の温度・時間は、少なくと
も、バリ３ａを軟化溶融させるに必要な温度であって、
基板２を加熱による軟化・変形や変質を生じさせない以
下の温度であればよい。なお参考までに説明しておく
と、撥水性膜３としてＦＥＰ樹脂を使用したときには、
ＦＥＰ樹脂の軟化点（融点）は、２５０℃〜２８０℃で
あるが、この温度で熱処理すると、基板２面に塗布され
ている撥水性膜３も溶融するおそれがあるため、少なく
とも、バリ３ａを軟化溶融させるに必要な温度と時間を
総合した条件下での加熱処理であることが必要である。
とくにバリ３ａは基板２面から突出しているため、基板
２面に塗布されている撥水性膜３の部分よりも軟化し易
くなることを考慮する必要がある。これらを考慮した加
熱処理の一例として、特開平７−１０８６８３号公報の
明細書中に記載されている、所定温度をＴ、所定時間を
ｔ、としたとき、熱処理は、１５≦Ｔ≦７０（度）、及
び５≦ｔ≦１００（分）であって、さらに−２ｔ＋４０
≦Ｔ≦−ｔ／３＋８０、の条件を満たす環境であっても
構わない。しかし、バリ３ａが融けてノズル４内に流れ
込むことがないので、上記温度が多少高くなったり、ま
た時間が多少長くなっても何ら問題は生じない。

【００２８】このようにして、バリ３ａを無くしたノズ
ルプレート１は、図１の各図、及び図４の（ａ）に示す
ように、ノズル４内及びその周縁には、インクを適正に
噴射させるに障害となるようなものは残らず、図４の
（ｂ）に示すように、適量のインク液滴５を適正な方向
に噴射することができる。

【００２９】次に、本発明の製造方法によって得られる
ノズルプレート１を備えたインクジェット記録装置１０
について説明する。図５は、その実施の一形態であるプ
リンタの内部機構を示した斜視図であり、印字機構、紙
送り機構、及びパージ装置等が示されている。印字機構
２０は、インクジェット式のノズルプレート１（印字ヘ
ッド）を備えるヘッドユニット２１と、ノズルプレート
１にインクを供給するインクカートリッジ２２等からな
り、ヘッドユニット２１とインクカートリッジ２２は、
キャリッジ２３に搭載されている。ここで、キャリッジ
２３は、ベルト２４を介してキャリッジモータ２５によ
り駆動されており、キャリッジ軸２６に沿って水平移動
するようになっている。なお、ノズルプレート１は、図
示しない複数個のノズルを有しており、キャリッジ２３
の移動に対応して、ノズルからインクを噴射する。

【００３０】紙送り機構３０は、給紙カセット又は手差
給紙部から供給された印刷用紙をノズルプレート１に対
面させながら移動させるものであり、プラテンローラ３
１、圧ローラ３２、及び図示しないラインフィールド
（ＬＦ）モータ等で構成されている。給紙カセット等か
ら供給された印字用紙は、プラテンローラ３１と圧ロー
ラ３２に圧接されて保持され、ラインフィールドモータ
の回転に合わせて移動される。

【００３１】パージ装置（吸引手段）４０は、ノズルプ
レート１（印字ヘッド）の使用中に内部に気泡が発生し
たり、吐出面上にインクの液滴が付着することにより吐
出不良を起こすことを解消し、良好な吐出状態に回復さ
せるための措置である。パージ装置４０の先端には、キ
ャップ４１が設けられていて、このキャップ４１にノズ
ルプレート１が覆われているときにポンプにより負圧を
発生させて、ノズルプレート１の内部の不良インクを吸
引してノズルプレート１を回復させる。また、フラッシ
ング用吐出インク吸収体４２は、ノズルプレート１のノ
ズルを良好な状態に保つために行われるフラッシングに
よって吐出されるインクを吸収するためのものであり、
印字領域の外に配置されている。

【００３２】

【発明の効果】以上において示した本発明のノズルプレ
ートの製造方法によると、次のような効果を奏する。第
１に、熱可塑性を有する撥水性膜を、孔開け加工後に撥
水性膜の軟化温度より所定温度高い温度で所定時間熱処
理して、撥水性膜の孔開け加工時に残ったバリを軟化溶
融する工程を、撥水性膜を基板の重力方向下側に向け
て、バリを軟化溶融して無くすようにしたことによっ
て、溶融した撥水性膜が、ノズル内に流れ込んだり、ノ
ズルの孔方向に膨らんだりして、インク液滴の噴射の障
害となるようなことはない。この結果、インク液滴の吐
出が良好に行われるノズルプレートを、簡単に製造する
ことができる。

【００３３】第２に、ノズルプレートの撥水性膜を形成
する撥水性材料として、フッ素系の樹脂、または、ＦＥ
Ｐ樹脂を用いるようにしたことによって、インク溶剤に
対する揮発特性、耐溶剤性が優れた、高品質な撥水性膜
を有するノズルプレートを製造することができる。

【００３４】第３に、ノズルプレートの基板として、融
点がなく非常に熱的特性が優れた樹脂であるポリイミド
樹脂が用いられるため、バリを無くす熱処理時に、加熱
による溶融変形や変質などが生じない、高品質な基板を
有するノズルプレートが得られる。

【００３５】第４に、ノズルプレートの基板と撥水性膜
とを貫通するノズルの孔開け加工を、エキシマレーザを
利用して行うようにしたので、微小なノズルを高精度に
多数形成され、高品質な印字が得られるノズルプレート
を形成することができたのである。

【００３６】第５に、上記効果を奏するノズルプレート
を、インク液滴を噴射して印字するインクジェット式印
字ヘッドに用いると、ノズルプレートに形成されている
ノズルが高精度に形成され、特に撥水性膜側のノズル出
口周辺にバリ等のインク液滴の噴射を障害するものが残
っていないので、精度の高い印字を出力することができ
る。また、ノズルプレートを構成する撥水性膜が耐イン
ク特性を有しているため、長期間高品質な印字出力を維
持することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は本発明の実施の一形態によるノズルプ
レートの正面図、（ｂ）は正面方向から見た斜視図であ
る。

【図２】ノズルプレートの孔開け加工の方法を示す図で
ある。

【図３】（ａ）は孔開け加工により生じるバリを残した
ノズルプレートを簡略して示した正面図、（ｂ）は同斜
視図である。

【図４】（ａ）はバリを無くしたノズルプレートを簡略
して示した断面図、（ｂ）はバリを無くしたノズルプレ
ートによるインク噴射の状態を簡略して示した斜視図で
ある。

【図５】ノズルプレートの使用例を示す図である。

【図６】（ａ）はノズル内にバリが軟化溶融して流れ込
んだ状態のノズルプレートを示す断面図、（ｂ）はノズ
ル内にバリが軟化溶融して流れ込んだ状態のノズルプレ
ートによるインク噴射の状態を簡略して示した斜視図で
ある。

【図７】軟化溶融したバリがノズルの噴射口を狭める方
向に広がって凝固した状態を示すノズルプレートの断面
図である。

【符号の説明】

１ノズルプレート２基板３撥水性膜３ａバリ４ノズル５インク液滴

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】インクが噴射されるノズルが形成された
基板の少なくとも当該ノズルが形成される部位の周囲に
撥水性膜が形成されたノズルプレートの製造方法であっ
て、前記基板に熱可塑性を有する撥水性材料により撥水性膜
を形成し、その基板及び撥水性膜に孔開け加工によりノ
ズルを形成した後、前記撥水性膜が重力方向下向きにな
るように前記基板を配置し、前記撥水性膜の軟化温度よ
り所定温度高い温度で所定時間前記撥水性膜を熱処理す
ることを特徴とするノズルプレートの製造方法。
【請求項２】前記撥水性膜は、フッ素系の樹脂である
ことを特徴とする請求項１に記載のノズルプレートの製
造方法。
【請求項３】前記基板は、ポリイミド樹脂であること
を特徴とする請求項１又は請求項２に記載のノズルプレ
ートの製造方法。
【請求項４】前記孔開け加工は、エキシマレーザによ
る加工であることを特徴とする請求項１乃至請求項３の
何れかに記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項５】前記ノズルプレートが、インク液滴を噴
射して印字するインクジェット式印字ヘッドに用いられ
ているものであることを特徴とする請求項１乃至請求項
４の何れかに記載のノズルプレートの製造方法。