JPH09197117A - カラーフィルタの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 大型の基板上に複数個取りのカラーフィルタ
を回転塗布法により製造する際、基板全面の領域にわた
ってスジムラや色ムラのない均一な膜厚のカラーフィル
タを形成する。 【解決手段】 基板１上に複数個取りのカラーフィルタ
を形成するために複数個取りの独立した樹脂材料からな
るブラックマトリックス２のパターンとダミーパターン
３を連結してブラックマトリックスとダミーパターンと
を同時に形成する工程と、ブラックマトリックス上にカ
ラーフィルタを形成する工程と、カラーフィルタとカラ
ーフィルタのダミーパターン上にオーバーコート膜を形
成する工程とを有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はカラーフィルタの製
造方法に関し、とくに大型の基板から複数個の液晶表示
装置を製造するカラーフィルタの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、液晶表示装置の部材のなかでも、
カラーフィルタは価格が高価であるために、大判の基板
に複数個のカラーフィルタを同時に形成する。そしてそ
の後、分割して欠陥のないカラーフィルタを使用して、
液晶表示装置を組み立てることにより、液晶表示装置の
価格を安価にする製造手段が取られている。

【０００３】このカラーフィルタの形成方法としては、
カラーフィルタ基材を回転塗布法やロールコート法によ
り形成する方法が挙げられる。

【０００４】前者の回転塗布法は、カラーフィルタ基材
の使用量が多くなるという欠点がある反面、後者のロー
ルコート法に比らべてカラーフィルタ基材の形成膜厚の
うねりやロールのスジムラの発生がなく、形成膜厚の均
一性に優れている。しかもフィルタリングされたカラー
フィルタ基材を１枚の基板毎に滴下して形成するためカ
ラーフィルタの致命傷となるゴミ欠陥の発生も少なくな
るという利点がある。

【０００５】しかしながら、近年のカラーフィルタのよ
うに黒色樹脂のブラックマトリックスとカラーフィルタ
とオーバーコート膜の３層からなるカラーフィルタを大
判の基板上に複数個同時に形成しようとすると、各膜厚
の段差が障害となってスジムラを発生して、膜厚が不均
一になる部分が発生する。

【０００６】従来技術におけるカラーフィルタの製造方
法を説明する前に、図２０の断面図を用いてカラーフィ
ルタを用いるカラー液晶表示装置の構成を説明する。

【０００７】図２０に示すように、上下の基板１と基板
１との間に液晶層１１を封止するようにシール９を設け
る。さらに上側の基板１には、カラーフィルタ４の隙間
からの光漏れを遮光してコントラストを向上させるため
の黒色樹脂材料や金属材料からなる格子状のブラックマ
トリックス２を形成する。このブラックマトリックス２
は遮光特性を発揮させるために、黒色樹脂材料において
は１μｍ以上の膜厚、金属材料では１００ｎｍ以上の膜
厚が要求される。

【０００８】このブラクマトリックス２上に、カラーフ
ィルタ４を設け、さらに表面を平坦にするためのオーバ
ーコート膜７を設ける。このオーバーコート膜７上に表
示電極８ａを設け、さらに下側の基板１にも表示電極８
ａを設ける。そして基板１の外側には偏光板１０、１０
をそれぞれ配置して液晶表示装置とする。

【０００９】以下、従来技術における製造方法を図１２
と図１３から図１９を用いて説明する。図１２は従来技
術におけるブラックマトリックスの製造法を示す平面図
であり、図１３から図１９は図１２のＡ−Ａ線における
断面を示す断面図図である。ここではブラックマトリッ
クスを黒色樹脂で形成する製造方法を説明する。

【００１０】まずはじめに図１４に示すように、基板１
上に感光性を有する黒色樹脂材料からなるブラックマト
リックス基材２１を滴下し、基板１を回転させる回転塗
布法によりブラックマトリックス基材２１を基板１上に
塗り広げる。

【００１１】すると基板１上には障害物がないので、図
１５に示すように均一な膜厚で表面が平坦なブラックマ
トリックス基材２２が得られる。

【００１２】つぎに、フォトマスクを用いてこのブラッ
クマトリックス基材２２を露光処理と、現像処理とを行
ってブラックマトリックス２を形成する。黒色樹脂膜で
あるブラックマトリックス基材２２が平坦に形成されて
いるため、基板１全面の膜厚が均一なブラックマトリッ
クス２を形成できる。

【００１３】その後、基板１上に形成したブラックマト
リックス２上にカラーフィルタを形成するため、まずカ
ラーフィルタの１色目の感光性を有するカラーフィルタ
基材４１を基板１上に、図１６に示すように滴下して、
基板１を回転させる回転塗布法により１μｍ〜２μｍの
厚さに形成する。

【００１４】このカラーフィルタ基材４１としては、ア
クリル樹脂やエポキシ樹脂に、黒色や赤色や緑色や青色
の細かい顔料を均一に分散するカラーレジストが耐熱性
や耐光性の特性に優れているため、カラーフィルタ基材
４１として使われている。

【００１５】ここで１枚の基板に複数個の液晶表示装置
を形成するため、１枚の基板１に複数個のカラーフィル
タを形成するためのブラックマトリックスのパターン
は、図１２に示すように、ブラックマトリックス２ａ、
ブラックマトリックス２ｂ、ブラックマトリックス２
ｃ、ブラックマトリックス２ｄのようなパターンとして
独立して配列している。

【００１６】図１３の断面図に示すように基板１とブラ
ックマトリックス２とは、ブラックマトリックス２とし
て黒色樹脂材料を使用したときは、１μｍ以上の膜厚を
必要とする。このため、通常の回転塗布法でブラックマ
トリックス上にカラーフィルタ基材を形成すると、図１
７に示すように基板１の外側にブラックマトリックス２
ａとブラックマトリックス２ｄとの近傍領域では、カラ
ーフィルタ基材４２はコーナー部分からストライエーシ
ョン現象により基板１中心部から外周部に向けて放射状
に膜厚の不均一な部分が発生する。

【００１７】このストライエーション現象とは、回転塗
布法により基板中心部から放射状にスジ状の形成ムラが
発生する現象である。そして形成する薬液の溶媒の蒸気
圧が低く、薬液の粘土変化が生じやすいものほど発生し
やすく、塗布回転数が高く、しかも基板サイズが大きい
基板ほど外周部の遠心力が強くなり顕著に現れる。

【００１８】その後、この基板１を露光処理と現像処理
と焼成処理とを順次行い、１色目のカラーフィルタパタ
ーンを形成すると、図１８に示すように膜厚の不均一な
状態はそのまま残存して、カラーフィルタ４が形成され
る。

【００１９】つぎに、２色目と３色目のカラーフィルタ
基材を１色目と同様に回転塗布法により形成するが、図
１９の断面図に示すように２色目と３色目はさらにブラ
ックマトリックス２膜厚に１色目のカラーフィルタ４膜
厚がプラスされて、基板１との膜厚段差が増加する。こ
のため基板１の外側のブラックマトリックス２ａとブラ
ックマトリックス２ｄとの近傍領域では、カラーフィル
タ基材はコーナー部からストライエーション現象が強ま
り、基板中心部から外周部に向けて放射状に膜厚の不均
一性が増加する。

【００２０】さらにその後、図１９に示すように赤色と
緑色と青色の３色のカラーフィルタ４を形成した後、平
坦性や耐薬品性や耐酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）スパ
ッタリング性を備えたオーバーコート膜７を回転塗布法
により形成する。すると、ブラックマトリックス２膜厚
とカラーフィルタ４膜厚がプラスされて、さらに膜厚段
差が増加するため、基板１の外側のブラックマトリック
ス２ａとブラックマトリックス２ｄとの近傍領域では、
コーナー部からストライエーション現象が強まり、オー
バーコート膜７は基板１中心部から外周部に向けて放射
状に膜厚の不均一性がさらに増加する。

【００２１】

【発明が解決しようとする課題】従来の製造方法により
基板１上に複数個のカラーフィルタ４の膜厚をできるだ
け均一に形成し、しかもカラーフィルタ４の色濃度を充
分に出すために、カラーフィルタ４の膜厚を１μｍ以上
に形成する場合、回転塗布法によりカラーフィルタ基材
４２を形成する際に、カラーフィルタ基材４２の粘度と
回転数を制御することによって膜厚を制御している。

【００２２】しかしながら大型で角形状の基板１に配列
する複数個のカラーフィルタ４のパターンは、平面パタ
ーン形状が四辺形で角を有し、さらに１μｍ以上の膜厚
段差を有する。このため、基板コーナーの部分からスト
ライエーション現象を発生して基板外周ほど遠心力が増
加して、形成膜厚を均一に形成することができないとい
う欠点がある。

【００２３】このため大型で角形状の基板１の四隅のコ
ーナー部分に近いパターンの膜厚が不均一に形成され
て、同一基板内で厚さバラツキが発生するという課題が
ある。その結果、大型の基板１から製造した複数個取り
のカラーフィルタからカラー液晶表示装置を組み立てる
と、表示ムラや色ムラの液晶セル欠陥が発生する。

【００２４】本発明の目的は、この課題を解決すること
によって、大判の基板上に複数個取りのカラーフィルタ
を回転塗布法により製造するとき、基板全面の領域にわ
たってスジムラや色ムラのない均一な膜厚のカラーフィ
ルタを形成することが可能なカラーフィルタの製造方法
を提供することである。

【００２５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のカラーフィルタの製造方法は、下記記載の
工程を採用する。

【００２６】本発明のカラーフィルタの製造方法におい
ては、基板上に複数個の独立した黒色樹脂材料からなる
ブラックマトリックスのパターンとダミーパターンを連
結してブラックマトリックスとダミーパターンとを同時
に形成する工程と、ブラックマトリックス上にカラーフ
ィルタを形成する工程と、カラーフィルタとカラーフィ
ルタのダミーパターン上にオーバーコート膜を形成する
工程とを有し、基板上に複数個のカラーフィルタを形成
する。

【００２７】本発明のカラーフィルタの製造方法におい
ては、基板上に複数個の独立した金属材料からなるブラ
ックマトリックスのパターンとダミーパターンを連結し
てブラックマトリックスとダミーパターンとを同時に形
成する工程と、ブラックマトリックス上にカラーフィル
タを形成する工程と、カラーフィルタとカラーフィルタ
のダミーパターン上にオーバーコート膜を形成する工程
とを有し、基板上に複数個のカラーフィルタを形成す
る。

【００２８】大型の基板上に複数個取りのカラーフイル
タを形成する際、赤色や緑色や青色のカラーフィルタ基
材を基板全面に均一に形成して、大型の基板全面にわた
って平坦性に優れ、しかも膜厚の均一なカラーフィルタ
の形成が望ましい。

【００２９】そのために、カラーフィルタ基材の形成方
法としては、回転塗布法やロールコート法が挙げられ
る。そして前者の回転塗布法はゴミ欠陥の発生率が低
く、形成膜厚の均一性に優れている。しかし、平坦な基
板上では形成膜厚の均一性に優れているものの、１μｍ
〜２μｍ膜厚を有するカラーフィルタを形成する製造プ
ロセスにおいて、１個取りのパターンではパターンの中
心部に黒色樹脂やカラーフィルタ基材を滴下して形成し
ても、１個取りパターンであるために膜厚が均一に形成
できる。

【００３０】しかしながら、複数個取りの独立するカラ
ーフィルタのパターンが多数存在すると、１μｍ〜２μ
ｍの膜厚段差があるために、基板の外側のパターンは膜
厚段差が障害物の役割を果たして、コーナー部分からス
トライエーション現象によって、カラーフィルタにスジ
ムラを発生してその膜厚が不均一になる。

【００３１】さらにカラーフィルタの平坦性や耐薬品性
や耐ＩＴＯスパッタリング性の特性を向上させるための
オーバーコート膜を、回転塗布法により形成すると、ブ
ラックマトリックスとカラーフィルタの膜厚がプラスさ
れて、２μｍ〜３μｍの膜厚段差を有することになる。
この結果、複数個取りの独立したカラーフィルタパター
ンが多数存在すると、基板の外側のパターンは膜厚段差
が障害物の役割を果たして、独立したカラーフィルタパ
ターンのコーナー部分からストライエーション現象が発
生してオーバーコート膜のスジムラを発生して膜厚が不
均一になる。

【００３２】本発明の製造方法の回転塗布法によってカ
ラーフィルタ基材を形成して、大型の基板上に複数個取
りのカラーフィルタを製造するとき、複数個のカラーフ
ィルタの膜厚を均一に形成するために以下に記載の製造
方法を採用する。基板に独立して形成するブラックマト
リックのスパターンとブラックマトリックスのパターン
とを、ダミーパターンで連結して形成する。このことに
より、複数個取りのパターン間の隙間をなくして基板と
ブラックマトリックスの膜厚段差を生じない構造にす
る。

【００３３】つぎにブラックマトリックスとダミーパタ
ーン上に１色目、たとえば赤色のカラーフィルタ基材を
回転塗布法により形成すると、基板上にブラックマトリ
ックスのパターンとダミーパターンとは連結され、パタ
ーン間には隙間がない。このように基板とブラックマト
リックスに起因する膜厚段差を有しないため、１枚の基
板に複数個取りのパターンであっても、あたかも１個取
りのパターンのように基板全面の複数個取りのパターン
の膜厚を均一にすることができる。

【００３４】その後、ブラックマトリックスのパターン
と連結したダミーパターン上に形成した赤色のカラーフ
ィルタ基材を露光処理した後に、現像処理を行って連結
したダミーパターン上にも赤色のカラーフィルタパター
ンを同時に形成する。同様に２色目の緑色、３色目の青
色カラーフィルタ基材を回転塗布法により形成して、カ
ラーフィルタパターンと連結するダミーパターンを同時
に形成すると、基板上の複数個取りのカラーフィルタパ
ターンと基板では膜厚段差を生じないため、複数個取り
のカラーフィルタパターンの膜厚が基板全面にわたって
均一に形成することができる。

【００３５】さらにオーバーコート膜をカラーフィルタ
上に回転塗布法により基板全面に形成すると、カラーフ
ィルタパターンと連結して形成するカラーフィルタから
なるダミーパターン間では隙間がなく、膜厚段差を生じ
ない。このため、オーバーコート膜も均一膜厚で形成す
ることができ、大型基板上に複数個取りの膜厚の均一な
平坦性に優れたカラーフィルタを製造することができ
る。

【００３６】

【発明の実施の形態】以下、本発明のカラーフィルタの
製造方法における最良の実施形態を図面に基ずいて説明
する。はじめに本発明の第１の実施形態を説明する。図
１と図２とは本発明の実施形態における複数個取りのカ
ラーフィルタの製造方法を示すブラックマトリックスを
示す平面図と断面図であり、図３から図７はカラーフィ
ルタの製造方法を示し、図１と図２の一部領域を拡大し
て示す断面図である。

【００３７】まずはじめに図１に示すように、基板１上
にブラックマトリックス基材として感光性を有するネガ
型の黒色樹脂である、東京応化製ＣＦＰＲ−ＢＫ−５３
０Ｓを基板１中心部に滴下し、基板１を回転させる回転
塗布法により１．５μｍ膜厚に形成する。

【００３８】ブラックマトリックス基材として黒色樹脂
を基板１上に滴下して、基板１を回転させる回転塗布法
を適用する形成すると、基板上に障害物がないので、基
板１全面に膜厚の均一なブラックマトリックス基材を形
成することができる。

【００３９】その後、複数個のブラックマトリックス２
とブラックマトリックス２とを連結する黒色樹脂のダミ
ーパターン３とを有する位置合わせのアライメントマー
クを形成したフォトマスクを用いて露光処理を行う。そ
の後、アルカリ現像液として東京応化製Ｎ−ＡＫ現像液
中で、１分間現像して、ブラックマトリックス２を形成
するする。その後、ブラックマトリックス基材を形成し
た基板１を、２００℃の温度でベーキング処理して、ブ
ラックマトリックス２と基板１との密着性と耐薬品性と
を向上させる。

【００４０】その後、図２に示すようにブラックマトリ
ックス２とダミーパターン３上に、１色目のカラーフィ
ルタを形成するため、感光性を有する赤色のカラーフィ
ルタ基材を回転塗布法によって形成する。すると図３に
示すように、ブラックマトリックス２のパターン間にダ
ミーパターン３が配置されているため、ブラックマトリ
ックス２のパターン間に膜厚段差がなくブラックマトリ
ックスの膜厚が均一に形成できる。このため、カラーフ
ィルタ基材の膜厚は基板全面にわたって均一に形成する
ことができる。

【００４１】その後、フォトマスクを用いて露光処理を
行い、アルカリ現像処理をして赤色のカラーフィルタパ
ターン４ａを形成する。図４に示すようにブラックマト
リックス２領域に赤色（Ｒ）のカラーフィルタ４ａと、
ダミーパターン３領域にも赤色のカラーフィルタでダミ
ーパターン３ａとを同時に形成している。

【００４２】その後、赤色のカラーフィルタ４ｂと同様
な処理工程によって、図５に示すようにブラックマトリ
ックス２領域に緑色（Ｇ）のカラーフィルタパターン４
ｂを形成し、ダミーパターン３領域に緑色のカラーフィ
ルタでダミーパターン３ｂとを同時に形成する。

【００４３】さらに図６に示すように、ブラックマトリ
ックス２領域に青色（Ｂ）のカラーフィルタパターン４
ｃと、ダミーパターン３領域に青色のカラーフィルタで
ダミーパターン３ｃとを同時に形成する。これらの赤色
と緑色と青色のカラーフィルタは１．５μｍの膜厚で形
成する。その結果、図６に示すようにカラーフィルタと
カラーフィルタのダミーパターンの間に段差が生じるこ
となく、基板全面のカラーフィルタの膜厚が均一に形成
することができる。

【００４４】つぎに図７に示すように、この膜厚が均一
なカラーフィルタの上に、透明な熱硬化型のオーバーコ
ート膜として日本合成ゴム製ＪＳＳ−６７７７を回転塗
布法により形成する。オーバーコート膜７はパターン間
に膜厚段差がないために膜厚を均一に形成できる。この
オーバーコート膜は、膜厚２μｍで形成する。

【００４５】その結果、大型の基板１上に膜厚が均一で
スジムラや色ムラのないカラーフィルタ４ａ、４ｂ、４
ｃを形成することができる。

【００４６】つぎに本発明の第２の実施形態におけるカ
ラーフィルタの製造方法を図面に基ずいて説明する。図
８は本発明の実施形態におけるカラーフィルタの製造方
法を示す平面図であり、図９は図８のＡ−Ａ線での断面
を示す断面図であり、図１０は図８のＢ−Ｂ線での断面
を示す断面図である。そして、図１１はカラーフィルタ
上に透明電極を形成したカラーフィルタパターンの製造
方法を示し、図９と図１０を拡大して示す断面図であ
る。

【００４７】まずブラックマトリックス材料としてクロ
ムやモリブデンの金属材料を基板１上にスパッタリング
法で１００ｎｍの膜厚で形成する。

【００４８】その後、金属材料を形成した基板１上に日
本ゼオン製のポジ型レジストＺＰＰ−１７００を回転塗
布法により１．２μｍの膜厚で形成する。その後、図８
に示すように、複数個のブラックマトリックス２と、こ
のブラックマトリックス２のコーナー部を連結するダミ
ーパターン３を有するフォトマスクを用いてブラックマ
トリックスのパターンを形成する。

【００４９】その後、ブラックマトリックスパターンを
形成した基板１を、ブラックマトリックス材料がクロム
膜であれば硝酸セリウムアンモン系エッチング液でエッ
チングし、ブラックマトリックス材料がモリブデンのと
きは燐酸系エッチング液でエッチングする。そして、レ
ジストを剥離すると基板との膜厚段差が１００ｎｍを有
するブラックマトリックス２を形成することができる。

【００５０】その後、まず赤色（Ｒ）のカラーフィルタ
基材を回転塗布法により１．５μｍの厚さに形成する。
ここで第１の実施形態とは異なりブラックマトリックス
パターンの膜厚段差が１００ｎｍ程度しかないうえに、
複数個のブラックマトリックス２のパターンのコーナー
部をダミーパターン３で連結されているため、図１０に
示すようにカラーフィルタ基材膜厚は均一に形成でき
る。

【００５１】つぎに図８に示すようなカラーフィルタの
パターンとカラーフィルタのパターンとのコーナー部を
連結したダミーパターン３と、基板の中心部に設けた十
字型のカラーフィルタのダミーパターンとコーナー部を
連結したパターンを有するフォトマスクを用いて露光処
理を行い、現像処理して、図９に示すカラーフィルタ１
とダミーパターン２とを形成する。

【００５２】赤色カラーフィルタと同様な処理工程によ
り、２色目の緑色（Ｇ）と３色目の青色（Ｂ）のカラー
フィルタ基材を回転塗布法により形成する。ここで図１
０に示すように１色目に形成された赤色のカラーフィル
タパターンの膜厚段差寸法が１．５μｍであるにもかか
わらず、図８の平面図に示すようにカラーフィルタパタ
ーンのコーナー部がダミーパターン２で連結されている
ため、図９に示すようにブラックマトリックス２とダミ
ーパターン３では膜厚段差がない。この結果、ストライ
エーション現象によるスジムラが生じることなく２色目
と３色目のカラーフィルタ基材の膜厚を均一に形成する
ことができる。

【００５３】その後、２色目と３色目も１色目と同様に
露光処理と現像処理をしてカラーフィルタを形成する
と、第１の実施形態と同様にカラーフィルタ膜厚を均一
に形成できる。

【００５４】その後、ネガ型の感光性を有するオーバー
コート膜として、新日鐵化学製Ｖ−２５９ＰＡ樹脂を基
板上に、回転塗布法により膜厚３μｍに形成する。ここ
で、ブラックマトリックスのコーナー部がダミーパター
ン２によって連結されて、さらにカラーフィルタのコー
ナー部では膜厚段差がないためストライエーション現象
によるスジムラが生じることなくオーバーコート膜７の
膜厚を均一に形成することができる。

【００５５】その後、プリベーク温度８０℃で焼成処理
して感光性樹脂中の溶媒を除去した後、ブラックマトリ
ックスパターンにアライメントしてフォトマスクで露光
処理を行う。

【００５６】その後、アルカリ現像液中で現像処理を行
うと、図１１に示すようにネガ型のオーバーコート膜７
の光照射されたカラーフィルタ領域上にだけオーバーコ
ート膜７を形成できる。さらにその後、感光性オーバー
コート膜が形成された基板を窒素雰囲気中で温度２５０
℃、１時間焼成処理する。

【００５７】その後、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）か
らなる透明導電膜を、基板１上の全面に基板温度を２２
０℃としてスパッタリング法により形成する。さらにそ
の後図１１に示すように透明導電膜をパターニングして
カラーフィルタ上に表示電極８ａと基板１上に引き出し
電極８ｂとを形成する。

【００５８】その結果、第１の実施形態とは異なりカラ
ーフィルタの部分だけをオーバーコート膜７で被覆し、
基板１上に引き出し電極８ｂを有する、膜厚の均一な平
坦性に優れた複数個のカラーフィルタを同時に形成でき
る。

【００５９】

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、大型
の基板上に複数個取りのカラーフィルタを回転塗布法に
より製造する際、基板全面の領域にわたってスジムラや
色ムラのない均一な膜厚のカラーフィルタを形成するこ
とができる。したがって、とくにカラーフィルタの平坦
性を必要とするＳＴＮ型や、強誘電型や、反強誘電型液
晶セルの表示ムラと色ムラのない液晶カラー表示装置を
複数個同時に高歩留まりで製造することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態におけるカラーフィルタの製
造方法を示す平面図ある。

【図２】本発明の実施形態におけるカラーフィルタの製
造方法を示す断面図ある。

【図３】本発明の実施形態におけるカラーフィルタの製
造方法を示す断面図ある。

【図４】本発明の実施形態におけるカラーフィルタの製
造方法を示す断面図ある。

【図５】本発明の実施形態におけるカラーフィルタの製
造方法を示す断面図ある。

【図６】本発明の実施形態におけるカラーフィルタの製
造方法を示す断面図ある。

【図７】本発明の実施形態におけるカラーフィルタの製
造方法を示す断面図ある。

【図８】本発明の実施形態におけるカラーフィルタの製
造方法を示す平面図ある。

【図９】本発明の実施形態におけるカラーフィルタの製
造方法を示す断面図ある。

【図１０】本発明の実施形態におけるカラーフィルタの
製造方法を示す断面図ある。

【図１１】本発明の実施形態におけるカラーフィルタの
製造方法を示す断面図ある。

【図１２】従来技術におけるカラーフィルタの製造方法
を示す平面図ある。

【図１３】従来技術におけるカラーフィルタの製造方法
を示す断面図ある。

【図１４】従来技術におけるカラーフィルタの製造方法
を示す断面図ある。

【図１５】従来技術におけるカラーフィルタの製造方法
を示す断面図ある。

【図１６】従来技術におけるカラーフィルタの製造方法
を示す断面図ある。

【図１７】従来技術におけるカラーフィルタの製造方法
を示す断面図ある。

【図１８】従来技術におけるカラーフィルタの製造方法
を示す断面図ある。

【図１９】従来技術におけるカラーフィルタの製造方法
を示す断面図ある。

【図２０】カラー液晶表示装置を示す断面図である。

【符号の説明】

１ 基板 ２ ブラックマトリックス ３ ダミーパターン ４ カラーフィルタ ７ オーバーコート膜

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板上に複数個の独立した黒色樹脂材料
   からなるブラックマトリックスのパターンとダミーパタ
   ーンを連結してブラックマトリックスとダミーパターン
   とを同時に形成する工程と、ブラックマトリックス上に
   カラーフィルタを形成する工程と、カラーフィルタとカ
   ラーフィルタのダミーパターン上にオーバーコート膜を
   形成する工程とを有し、基板上に複数個のカラーフィル
   タを形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方
   法。
2. 【請求項２】 基板上に複数個の独立した金属材料から
   なるブラックマトリックスのパターンとダミーパターン
   を連結してブラックマトリックスとダミーパターンとを
   同時に形成する工程と、ブラックマトリックス上にカラ
   ーフィルタを形成する工程と、カラーフィルタとカラー
   フィルタのダミーパターン上にオーバーコート膜を形成
   する工程とを有し、基板上に複数個のカラーフィルタを
   形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。