JPH0919785A - レーザ加工用光学系及びそれを用いた加工方法 - Google Patents
レーザ加工用光学系及びそれを用いた加工方法Info
- Publication number
- JPH0919785A JPH0919785A JP7167298A JP16729895A JPH0919785A JP H0919785 A JPH0919785 A JP H0919785A JP 7167298 A JP7167298 A JP 7167298A JP 16729895 A JP16729895 A JP 16729895A JP H0919785 A JPH0919785 A JP H0919785A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- optical system
- processing
- laser processing
- wedge prism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
ザ加工用光学系及びそれを用いたレーザ加工方法を提供
する。 【解決手段】 レーザ発振器からの光を加工のレーザ加
工用のレーザビームとする光学系において、レンズ系3
と光源である光ファイバ2間、又はレンズ系3と加工面
8間にクサビプリズム7を挿入してなり、大きさ,形
状,パワー密度の異なる複数の集光,ディフォーカスビ
ームを同時に作り出す。
Description
切断などに適用されるレーザ加工用光学系及びそれを用
いたレーザ加工方法に関する。
る光学系の構成の一例を図7に示す。図7中、符号1は
YAGレーザ発振器,2は光ファイバ,3は集光光学
系,4はレーザビーム,5は溶融池及び6は溶接ビード
を各々図示する。ここで、上記YAGレーザ発振器1か
らのレーザビーム4は、光ファイバ2によって伝送さ
れ、溶接用集光光学系3で集光され、溶接に用いられ
る。
ム合金の溶接では、図7に示す方法において、レーザビ
ーム4の反射率が高く通常YAGレーザでは、パルスレ
ーザが用いられている。しかし、冷却速度が速いことか
ら、溶接部に割れが発生する場合がある。
Gレーザ発振器1で予熱しつつ溶接する手法が提案され
ている。
に、図7で示したYAGレーザ発振器1を2台用い、2
本の集光光学系により予熱しつつ溶接が行われる。
を用いることから加工装置が高価になる上、溶接ヘッド
部が大型となり、狭隘個所への適用、適用対象へのアプ
ローチのフレキシブル性を損なうことになる、という問
題がある。
ることから2本のレーザビーム4と光軸を同一にするこ
とが困難で、レーザビーム4の材料に対する照射は斜め
になりビームエネルギー密度が低下する上、そのエネル
ギー密度設定は溶接用集光光学系3の光軸の傾きに依存
することから、その調整が容易でないという問題があ
る。
ない健全な加工ができるレーザ加工光学系及びそれを用
いた加工方法を提供することを目的とする。
明にかかる構成は、レーザ発振器からの光を用いてレー
ザ加工を施すレーザ加工装置に用いる加工用のレーザビ
ームを形成する光学系において、レンズ系と光源間、又
はレンズ系と加工面間にクサビプリズムをレーザビーム
の光軸方向に挿入してなり、大きさ,形状,パワー密度
の異なる複数の集光,ディフォーカスビームを同時に作
り出すことを特徴とする。
サビ型プリズムの挿入量を所定量調整することにより、
複数のレーザビームへのレーザ出力の割合を適宜調整す
ることを特徴とする。
工用光学系を備えた加工装置を用いて、レーザ加工する
ことを特徴とする。
態の内容を詳細に説明する。
ように、一体の溶接用集光光学系3であり、光源(光フ
ァイバー2)と集光光学系3との間あるいは集光光学系
3と加工面8すなわち像側に、クサビプリズム7を光軸
方向に挿入しレーザビーム4を分割するものである。ま
た、挿入するクサビプリズム7を光軸方向に挿入する量
の大小によってレーザビーム4の分割割合がきまる。
に示すように、光ファイバ2から出射されたレーザビー
ム4のほとんどは集光光学系3により加工面8上の点P
に集光される。図1(b)は、図1(a)のS面での分
割されたレーザビーム9,10の状態を示す。図1
(c)は、図1(a)のW面での分割されたレーザビー
ム9,10の状態を示す。図1(b)に示すように、レ
ーザビーム4の一部は挿入されたクサビプリズム7によ
り曲げられ、クサビプリズム7の厚みによってディフォ
ーカスを生じるため、点P以外に光軸からdだけ離れた
点Qにも集光される。
8では微小面積に集光されたレーザビーム10のスポッ
ト10sとこの集光スポット10sからやや離れた位置
に、ある広がりを持つレーザビーム9のスポット9sが
同時にできる。よって、光ファイバ2と集光光学系3と
を一体として加工面8を走査すれば、該加工面8はある
程度広がりを持つレーザビーム9のスポット9sで加熱
された後に、微小面積に集光されたレーザビーム10の
集光スポット10sで溶接される。
点から出たレーザビーム4のみを示したが、実際には点
P,Qの周りに光ファイバ2のコアの像の広がりを持つ
が、省略する。また、上記広がりを持つ方のスポット9
sの大きさは、点Qのディフォーカス量すなわちクサビ
プリズム7の厚さで決まってくる。上記広がりを持つス
ポット9sと集光スポット10s間の距離は、点Qのシ
フト量すなわちクサビプリズム7のクサビ角で決まる。
また、広がりを持つレーザビーム9と光軸上の集光され
たレーザビーム10とのレーザ出力バランスは、クサビ
プリズム7の大きさ及びその挿入量により決定される。
また、広がりを持つレーザビーム9の形状は、面Sにお
けるクサビプリズム7の形状にほぼ等しい。
のシフト量dの大きさは、 ε:クサビプリズム7のクサビ角, t:クサビプリズム7の平均厚さ, n:クサビプリズム7の屈折率, f:レンズ焦点距離, とすると、
は、
離)は、
3と加工面8との間に配置してもよい。但し、一般に結
像倍率は1以下なので、レンズの入射側より出射側のほ
うが、開口数(NA:Numerical Aperture)が大きく、
上記クサビプリズム7の挿入により、大きな球面収差が
発生し易いため、集光スポットはぼけることとなる。
光学系の好適な一実施の形態を、図2〜図5によって述
べるが、本発明はこれに限定されるものではない。
し、図2(A)はツインビームレーザ加工用光学系の正
面図、(B)はその平面図を示す。本実施の形態の光学
系は前述した図7に示すレーザ加工装置の集光光学系3
として用いるものであり、本実施の形態にかかるクサビ
プリズム7は、光源すなわち光ファイバ2と集光光学系
3との間に挿入する構成となっている。また、実際の集
光光学系3は、収差補正のため5枚の組み合せレンズに
よって構成されており、溶接に用いるため加工面8側に
は、保護ガラス12を設置している。
光光学系3に挿入する2種類のクサビプリズム7の特性
を示す。ここで、クサビプリズム7 No.1は、光軸上の
集光スポット10sが、0.23mmφに対し、広がりを持
つスポット(ここでは「加熱スポット」と呼ぶ)9sが
クサビプリズム7 No.1の挿入により0.62×(0〜0.
70)mmとなる。また、クサビプリズム No.2は、同様
に加熱スポット9sが0.48×(0〜0.56)mmとな
る。
構を示す。図3(A),(B)に示すように、集光光学
系3と連通する筒部材21には、架台22を介して移動
手段22が設けられており、移動手段22の回転レバー
23を回転させることにより、移動部材24に固定され
ているクサビプリズム7を光軸方向に所定量挿入又は引
き出しを行うようにしている。そして、上記クサビプリ
ズム7の先端が、光学系の光軸Lと一致させた位置を原
点(零)とし、クサビプリズム7を中へ挿入する方向を
「+」とし、引き抜く方向を「−」とした。
挿入位置を様々に変化させた際、本発明の光学系により
集光したレーザビーム9,10を黒色アクリルに照射
し、黒色アクリルを蒸発させた結果を、模式的に描いた
ものを示す。図4(A)〜(G)に示すように、いずれ
の場合でもレーザビーム9,10が分割されていること
が確認できた。また、クサビプリズム7の挿入位置の変
化によって集光レーザビーム9,10の分割の割合を自
由に変化させることが確認できた(左:加熱パターン,
右:溶接パターンを示す)。なお、ここに用いたクサビ
プリズム7は、上記「表1」の No.1に示したものであ
る。
件」にて板厚1mmのアルミニウム合金(A5052)を溶接し
た「一実施例」について説明する。図5に、アルミニウ
ム合金の溶接の結果を、模式的に描いたものを示す。
mmのアルミニウム合金の溶接を施しても、本実施例の光
学系によるツインビームによる加工方法では、割れの発
生がないことを確認した。これは、先行するレーザビー
ム9の予熱効果によるものである。
る加工方法では、図6(A),(B)に示すように、他
の条件は全て同一条件で溶接しているにもかかわらず、
板厚1mmのアルミニウム合金の表裏全厚に貫通する割れ
31が発生した。
系と光源間、又はレンズ系と加工面間にクサビプリズム
を挿入してなり、大きさ,形状,パワー密度の異なる複
数の集光,ディフォーカスビームを同時に作り出すとい
うシンプルな装置で、種々のツインビームが得られるの
で、溶接や切断などのレーザ加工において、割れ等のな
い健全な加工が出来るものである。
整することにより、複数のレーザビームへのレーザ出力
の割合を適宜調整できる、所望のレーザ加工が実現でき
る。
る。
る。
機構の概略図である。
ーンの状況図である。
ある。
る。
の装置構成図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 レーザ発振器からの光を用いてレーザ加
工を施すレーザ加工装置に用いいる加工用のレーザビー
ムを形成する光学系において、 レンズ系と光源間、又はレンズ系と加工面間にクサビプ
リズムをレーザビームの光軸方向に挿入してなり、大き
さ,形状,パワー密度の異なる複数の集光,ディフォー
カスビームを同時に作り出すことを特徴とするレーザ加
工用光学系。 - 【請求項2】 請求項1記載のレーザ加工用光学系にお
いて、 上記クサビ型プリズムの挿入量を所定量調整することに
より、複数のレーザビームへのレーザ出力の割合を適宜
調整することを特徴とするレーザ加工用光学系。 - 【請求項3】 請求項1又は2記載のレーザ加工用光学
系を備えた加工装置を用いて、レーザ加工することを特
徴とするレーザ加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16729895A JP3212486B2 (ja) | 1995-07-03 | 1995-07-03 | レーザ加工用光学系及びそれを用いた加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16729895A JP3212486B2 (ja) | 1995-07-03 | 1995-07-03 | レーザ加工用光学系及びそれを用いた加工方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0919785A true JPH0919785A (ja) | 1997-01-21 |
| JP3212486B2 JP3212486B2 (ja) | 2001-09-25 |
Family
ID=15847166
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16729895A Expired - Lifetime JP3212486B2 (ja) | 1995-07-03 | 1995-07-03 | レーザ加工用光学系及びそれを用いた加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3212486B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003320472A (ja) * | 2002-05-08 | 2003-11-11 | Toshiba Corp | 表面欠陥の封止方法 |
| US7304265B2 (en) * | 2002-03-12 | 2007-12-04 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co., Ltd. | Method and system for machining fragile material |
| JP2012086235A (ja) * | 2010-10-18 | 2012-05-10 | Toshiba Corp | 加熱補修装置および加熱補修方法 |
| WO2015098388A1 (ja) * | 2013-12-26 | 2015-07-02 | シャープ株式会社 | 加工装置 |
| CN105328331A (zh) * | 2015-11-10 | 2016-02-17 | 哈尔滨工程大学 | 用于激光车削和磨削复合加工的强聚焦光学系统及加工方法 |
-
1995
- 1995-07-03 JP JP16729895A patent/JP3212486B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7304265B2 (en) * | 2002-03-12 | 2007-12-04 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co., Ltd. | Method and system for machining fragile material |
| US7816623B2 (en) | 2002-03-12 | 2010-10-19 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co., Ltd. | Method and apparatus for processing brittle material |
| JP2003320472A (ja) * | 2002-05-08 | 2003-11-11 | Toshiba Corp | 表面欠陥の封止方法 |
| JP2012086235A (ja) * | 2010-10-18 | 2012-05-10 | Toshiba Corp | 加熱補修装置および加熱補修方法 |
| WO2015098388A1 (ja) * | 2013-12-26 | 2015-07-02 | シャープ株式会社 | 加工装置 |
| CN105328331A (zh) * | 2015-11-10 | 2016-02-17 | 哈尔滨工程大学 | 用于激光车削和磨削复合加工的强聚焦光学系统及加工方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3212486B2 (ja) | 2001-09-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0243293B1 (en) | Twin spot laser welding | |
| US6410882B1 (en) | Laser welding method | |
| US20180071848A1 (en) | Laser Beam Joining Method and Laser Machining Optics | |
| JP7680631B2 (ja) | 溶接される材料が異なる溶接ゾーンを迅速に入れ替えてワークピースをレーザ溶接する方法 | |
| JP2000210785A (ja) | 複数ビ―ムレ―ザ加工装置 | |
| US20220088703A1 (en) | Welding method and welding apparatus | |
| JP2001121278A (ja) | レーザ切断方法 | |
| JPH0919785A (ja) | レーザ加工用光学系及びそれを用いた加工方法 | |
| JP2798223B2 (ja) | レーザ切断方法 | |
| EP0396587B1 (en) | An optical system for laser marking | |
| US20060114772A1 (en) | Laser processing device | |
| JPH0760470A (ja) | レーザ加工機 | |
| JPS60199585A (ja) | レ−ザ溶接機 | |
| CN115835933A (zh) | 激光加工方法 | |
| JP2713000B2 (ja) | 制振鋼板のレーザ溶接方法 | |
| JPH04138889A (ja) | レーザ加工用ヘッド装置 | |
| JP2507222B2 (ja) | 多軸ビ―ムレ―ザ加工機 | |
| JPH04138888A (ja) | レーザ加工用ヘッド | |
| JP3436862B2 (ja) | 厚鋼板のレーザ切断方法及び装置 | |
| ES2073262T3 (es) | Procedimiento de soldadura por haz laser de dos planchas revestidas. | |
| JP3397312B2 (ja) | レーザビーム合成装置およびレーザ加工システム | |
| JP2002023100A (ja) | 分割光学素子、光学系及びレーザ加工装置 | |
| JPH04305387A (ja) | 薄鋼板のレーザ溶接方法 | |
| JP2551253B2 (ja) | レーザビームによる物体の切断方法 | |
| Ehlers et al. | Cylindrical zoom optics for high-power diode lasers |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20010619 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080719 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090719 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100719 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110719 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120719 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130719 Year of fee payment: 12 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |