JPH09199076A - 誘導結合プラズマ質量分析装置及びその方法 - Google Patents
誘導結合プラズマ質量分析装置及びその方法Info
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- JPH09199076A JPH09199076A JP8003361A JP336196A JPH09199076A JP H09199076 A JPH09199076 A JP H09199076A JP 8003361 A JP8003361 A JP 8003361A JP 336196 A JP336196 A JP 336196A JP H09199076 A JPH09199076 A JP H09199076A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 定量分析する際に、内標準法や標準添加法に
より定量測定するが、それぞれ内標準試料や分析試料を
一定にして、測定元素の添加量を変えて数回測定しなけ
ればならない。それぞれの試料溶液を準備しなければな
らない。 【解決する手段】 霧化された試料を分級し、トーチ部
に試料を供給するチャンバに、２つの霧化器を備え、一
方の霧化器にて一定の溶液を霧化し、他方の霧化器に
て、濃度を変えて測定刷る必要の或る溶液を霧化する。
より定量測定するが、それぞれ内標準試料や分析試料を
一定にして、測定元素の添加量を変えて数回測定しなけ
ればならない。それぞれの試料溶液を準備しなければな
らない。 【解決する手段】 霧化された試料を分級し、トーチ部
に試料を供給するチャンバに、２つの霧化器を備え、一
方の霧化器にて一定の溶液を霧化し、他方の霧化器に
て、濃度を変えて測定刷る必要の或る溶液を霧化する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、誘導結合プラズマ質量
分析装置に用いる試料導入装置に関する。
分析装置に用いる試料導入装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の誘導結合プラズマ質量分析装置用
の試料導入装置は、プラズマ発生用のトーチ部に試料導
入路となるチャンバを接続し、このチャンバの一端に設
けた保持体に試料を霧化する噴霧器を１個装着して成
り、複数の液を噴霧する場合は、噴霧器で噴霧する前に
液を混合するようにしてある。
の試料導入装置は、プラズマ発生用のトーチ部に試料導
入路となるチャンバを接続し、このチャンバの一端に設
けた保持体に試料を霧化する噴霧器を１個装着して成
り、複数の液を噴霧する場合は、噴霧器で噴霧する前に
液を混合するようにしてある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術において
は、目的元素を内標準法で分析しようとする場合には、
目的元素の標準溶液と内標準元素の溶液との混合溶液を
調製する必要がある。この内標準法は検体ごとに内標準
元素を一定量加える必要があり、多くの操作と時間がか
かっていた。
は、目的元素を内標準法で分析しようとする場合には、
目的元素の標準溶液と内標準元素の溶液との混合溶液を
調製する必要がある。この内標準法は検体ごとに内標準
元素を一定量加える必要があり、多くの操作と時間がか
かっていた。
【０００４】また、調製操作による各混合溶液ごとの内
標準元素添加量のばらつきや、その過程における汚染物
質の混入のために分析精度がおちる危険がある。本発明
は、上記問題を解決し、混合溶液の混合比を簡単に設定
することができ、一定の試料量をトーチ部に導入できる
誘導結合プラズマ質量分析装置用試料導入装置を得るこ
とを目的とする。
標準元素添加量のばらつきや、その過程における汚染物
質の混入のために分析精度がおちる危険がある。本発明
は、上記問題を解決し、混合溶液の混合比を簡単に設定
することができ、一定の試料量をトーチ部に導入できる
誘導結合プラズマ質量分析装置用試料導入装置を得るこ
とを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明が採用した誘導結合プラズマ質量分析装置用試
料導入装置は、チャンバの内管に向けて２本以上の噴霧
器で霧を噴霧する事を特徴とする。
に本発明が採用した誘導結合プラズマ質量分析装置用試
料導入装置は、チャンバの内管に向けて２本以上の噴霧
器で霧を噴霧する事を特徴とする。
【０００６】また、本装置は各噴霧器に接続されたキャ
リヤーガスの流量を独立に制御し、さらに、キャリヤー
ガスの流量の和を一定にする事を特徴とする。
リヤーガスの流量を独立に制御し、さらに、キャリヤー
ガスの流量の和を一定にする事を特徴とする。
【０００７】
【作用】本発明が採用した誘導結合プラズマ質量分析装
置用試料導入装置は、複数の溶液の混合溶液を分析対象
とする場合において、各溶液を別々の噴霧器で霧化して
誘導結合プラズマを発生するトーチ部に導入するため、
前記混合溶液をあらかじめ調製する操作を必要とせず、
また、調製操作による各混合溶液ごとの添加量のばらつ
きや、その過程における汚染物質の混入を防ぐことがで
きる。
置用試料導入装置は、複数の溶液の混合溶液を分析対象
とする場合において、各溶液を別々の噴霧器で霧化して
誘導結合プラズマを発生するトーチ部に導入するため、
前記混合溶液をあらかじめ調製する操作を必要とせず、
また、調製操作による各混合溶液ごとの添加量のばらつ
きや、その過程における汚染物質の混入を防ぐことがで
きる。
【０００８】また、本装置は各噴霧器に接続されたキャ
リヤーガスの流量を独立に制御することができ、トーチ
部に導入する混合溶液の混合比を簡単に設定することが
できる。さらに、キャリヤーガスの流量の和を一定にす
ることができるため、キャリヤーガス流量に感度が大き
く依存する誘導結合プラズマ質量分析において、トーチ
部に導入する試料溶液量を一定に保つことができる。
リヤーガスの流量を独立に制御することができ、トーチ
部に導入する混合溶液の混合比を簡単に設定することが
できる。さらに、キャリヤーガスの流量の和を一定にす
ることができるため、キャリヤーガス流量に感度が大き
く依存する誘導結合プラズマ質量分析において、トーチ
部に導入する試料溶液量を一定に保つことができる。
【０００９】
［実施例１］本発明を、図１に基づいて、そして、内標
準法と標準添加法による検量線作成法を示しながら説明
する。
準法と標準添加法による検量線作成法を示しながら説明
する。
【００１０】内標準法は機器による定量分析における検
量線作成法の一つであり、分析対象試料中の他成分の影
響による誤差を防ぐ方法である。試料溶液の粘性、表面
張力の違いによる真値からのずれ、あるいはプラズマの
ゆらぎ、ドリフトによる値のばらつきは内標準法を用い
ることで解消することができる。
量線作成法の一つであり、分析対象試料中の他成分の影
響による誤差を防ぐ方法である。試料溶液の粘性、表面
張力の違いによる真値からのずれ、あるいはプラズマの
ゆらぎ、ドリフトによる値のばらつきは内標準法を用い
ることで解消することができる。
【００１１】内標準法は、各標準溶液に内標準元素を一
定量添加して、測定元素の信号強度（ＩS ）と内標準元
素の信号強度（ＩR ）の比（ＩS ／ＩR ）を測定元素濃
度に対してプロットし、検量線を作成する。試料溶液に
も同様に内標準元素を添加し、その信号強度を測定し
て、測定元素の定量を行うものである。
定量添加して、測定元素の信号強度（ＩS ）と内標準元
素の信号強度（ＩR ）の比（ＩS ／ＩR ）を測定元素濃
度に対してプロットし、検量線を作成する。試料溶液に
も同様に内標準元素を添加し、その信号強度を測定し
て、測定元素の定量を行うものである。
【００１２】図において、１はチャンバで、チャンバ１
の上面に誘導結合プラズマを発生するトーチ部２が設け
てあり、チャンバ１の端部に円筒形状の保持体３が設け
てあり、保持体３には２つの噴霧器４、４を装着してい
る。チャンバ１の種類にはスコット型とサイクロンチャ
ンバがあり、噴霧器４の種類には同軸型、クロスフロー
型、バビントン型があり、いずれの種類のものを使用す
ることができる。
の上面に誘導結合プラズマを発生するトーチ部２が設け
てあり、チャンバ１の端部に円筒形状の保持体３が設け
てあり、保持体３には２つの噴霧器４、４を装着してい
る。チャンバ１の種類にはスコット型とサイクロンチャ
ンバがあり、噴霧器４の種類には同軸型、クロスフロー
型、バビントン型があり、いずれの種類のものを使用す
ることができる。
【００１３】トーチ部２とチャンバ１との接合面は、ク
ランプ６によって洩れが生じないように接続してあり、
チャンバ１と保持体３との結合部にはＯリング７が介在
され、チャンバ１内のガスが外部に洩れないようにして
あり、気密を保持している。噴霧器４、４にはそれぞれ
流量計８、８が設けられており、それぞれキャリヤーガ
ス供給部１０、１０からキャリアガスが供給される。
ランプ６によって洩れが生じないように接続してあり、
チャンバ１と保持体３との結合部にはＯリング７が介在
され、チャンバ１内のガスが外部に洩れないようにして
あり、気密を保持している。噴霧器４、４にはそれぞれ
流量計８、８が設けられており、それぞれキャリヤーガ
ス供給部１０、１０からキャリアガスが供給される。
【００１４】いま、インジウムＩｎを内標準元素に用い
る内標準法によるイットリウムＹの定量のための検量線
の作成において、試料容器１２ａ、１２ｂにそれぞれブ
ランク溶液１４ａ、１５ａを入れ、噴霧器４、４のガス
流量をそれぞれ０．５ｌ／ｍｉｎ一定となるようにキャ
リヤーガス供給部１０、１０からキャリアガスを供給す
ると、試料容器１２ａ、１２ｂ内のブランク溶液１４
ａ、１５ａが導入管１６、１６を通って、噴霧器４、４
内部に吸引されて、噴霧器４、４より保持体３の内部に
噴射され、霧状の混合試料となる。
る内標準法によるイットリウムＹの定量のための検量線
の作成において、試料容器１２ａ、１２ｂにそれぞれブ
ランク溶液１４ａ、１５ａを入れ、噴霧器４、４のガス
流量をそれぞれ０．５ｌ／ｍｉｎ一定となるようにキャ
リヤーガス供給部１０、１０からキャリアガスを供給す
ると、試料容器１２ａ、１２ｂ内のブランク溶液１４
ａ、１５ａが導入管１６、１６を通って、噴霧器４、４
内部に吸引されて、噴霧器４、４より保持体３の内部に
噴射され、霧状の混合試料となる。
【００１５】この霧化された混合試料は、チャンバ１を
経てトーチ部２の上面に達するが、それ以外の大きい粒
子状の混合試料はチャンバ１の廃液孔１８から外部に排
出される。つまり、チャンバ１は、霧化した試料を分級
し、トーチ部２に分級された試料を供給するものであ
る。
経てトーチ部２の上面に達するが、それ以外の大きい粒
子状の混合試料はチャンバ１の廃液孔１８から外部に排
出される。つまり、チャンバ１は、霧化した試料を分級
し、トーチ部２に分級された試料を供給するものであ
る。
【００１６】一方、トーチ部２は通常三重構造の石英管
からなっており、プラズマガス供給孔１９から通常アル
ゴンガスが供給され、誘導コイル２０に高周波電力（例
えば、周波数２７．１２ＭＨｚ、電力１ｋＷ）を印加す
ることにより、プラズマ２１が形成され、上記の霧化さ
れた混合試料をイオン化させる。
からなっており、プラズマガス供給孔１９から通常アル
ゴンガスが供給され、誘導コイル２０に高周波電力（例
えば、周波数２７．１２ＭＨｚ、電力１ｋＷ）を印加す
ることにより、プラズマ２１が形成され、上記の霧化さ
れた混合試料をイオン化させる。
【００１７】２２は補助ガス供給孔である。イオン化さ
れた混合試料は質量分析装置（図示していない）によっ
て、Ｙの計数率ＣYBとＩｎの計数率ＣInB が測定され
る。このＣYB、ＣInB はそれぞれブランク溶液中のＹ、
Ｉｎの計数率である。次に、ブランク溶液１４ａ、１５
ａの代わりに試料容器１２ａにＩｎの３ｐｐｂ内標準溶
液１４ｂを入れ、試料容器１２ｂにＹの１ｐｐｂ標準溶
液１５ｂを入れ、噴霧器４、４のガス流量をそれぞれ
０．５ｌ／ｍｉｎ一定となるようにキャリヤーガス供給
部１０、１０からキャリアガスを供給すると、試料容器
１２ａ内のＩｎ３ｐｐｂ標準溶液１４ｂと試料容器１２
ｂ内のＹ１ｐｐｂ標準溶液１５ｂが導入管１６、１６を
通って、噴霧器４、４内部に吸引されて、噴霧器４、４
より保持体３の内部に噴射され、霧状の混合試料とな
り、プラズマ２１によりイオン化される。
れた混合試料は質量分析装置（図示していない）によっ
て、Ｙの計数率ＣYBとＩｎの計数率ＣInB が測定され
る。このＣYB、ＣInB はそれぞれブランク溶液中のＹ、
Ｉｎの計数率である。次に、ブランク溶液１４ａ、１５
ａの代わりに試料容器１２ａにＩｎの３ｐｐｂ内標準溶
液１４ｂを入れ、試料容器１２ｂにＹの１ｐｐｂ標準溶
液１５ｂを入れ、噴霧器４、４のガス流量をそれぞれ
０．５ｌ／ｍｉｎ一定となるようにキャリヤーガス供給
部１０、１０からキャリアガスを供給すると、試料容器
１２ａ内のＩｎ３ｐｐｂ標準溶液１４ｂと試料容器１２
ｂ内のＹ１ｐｐｂ標準溶液１５ｂが導入管１６、１６を
通って、噴霧器４、４内部に吸引されて、噴霧器４、４
より保持体３の内部に噴射され、霧状の混合試料とな
り、プラズマ２１によりイオン化される。
【００１８】イオン化された混合試料は質量分析装置に
よって、Ｙの計数率ＣY1とＩｎの計数率ＣIn3 が測定さ
れる。そして、Ｙ１ｐｐｂの計数率（ＣY1−ＣYB）とＩ
ｎ３ｐｐｂの計数率（ＣIn3−ＣInB ）の比である（Ｃ
YI−ＣYB）／（ＣIn3 −ＣInB ）をＹ濃度１ｐｐｂに対
してプロットする。
よって、Ｙの計数率ＣY1とＩｎの計数率ＣIn3 が測定さ
れる。そして、Ｙ１ｐｐｂの計数率（ＣY1−ＣYB）とＩ
ｎ３ｐｐｂの計数率（ＣIn3−ＣInB ）の比である（Ｃ
YI−ＣYB）／（ＣIn3 −ＣInB ）をＹ濃度１ｐｐｂに対
してプロットする。
【００１９】次に、Ｙ１ｐｐｂ標準溶液１５ｂの代わり
に試料容器１２ｂにＹ２ｐｐｂ標準溶液１５ｃを入れ、
試料容器１２ｂにはそのままＩｎ３ｐｐｂの内標準溶液
１４ｂを入れておく。噴霧器４、４のガス流量をそれぞ
れ０．５ｌ／ｍｉｎ一定となるようにキャリヤーガス供
給部１０、１０からガスを供給すると、試料容器１２ａ
内のＩｎ３ｐｐｂの内標準溶液１４ｂと試料容器１２ｂ
内のＹ２ｐｐｂ標準溶液１５ｃが導入管１６、１６を通
って、噴霧器４、４内部に吸引されて、噴霧器４、４よ
り保持体３の内部に噴射され、霧状の混合試料となり、
プラズマ２１によりイオン化される。
に試料容器１２ｂにＹ２ｐｐｂ標準溶液１５ｃを入れ、
試料容器１２ｂにはそのままＩｎ３ｐｐｂの内標準溶液
１４ｂを入れておく。噴霧器４、４のガス流量をそれぞ
れ０．５ｌ／ｍｉｎ一定となるようにキャリヤーガス供
給部１０、１０からガスを供給すると、試料容器１２ａ
内のＩｎ３ｐｐｂの内標準溶液１４ｂと試料容器１２ｂ
内のＹ２ｐｐｂ標準溶液１５ｃが導入管１６、１６を通
って、噴霧器４、４内部に吸引されて、噴霧器４、４よ
り保持体３の内部に噴射され、霧状の混合試料となり、
プラズマ２１によりイオン化される。
【００２０】イオン化された混合試料は質量分析装置に
よって、Ｙの計数率ＣY2とＩｎの計数率ＣIn3 が測定さ
れる。そして、Ｙ２ｐｐｂの計数率（ＣY2−ＣYB）とＩ
ｎ３ｐｐｂの計数率（ＣIn3−ＣinB ）の比である（Ｃ
Y2−ＣYB）／（ＣIn3 −ＣInB ）をＹ濃度２ｐｐｂに対
してプロットする。
よって、Ｙの計数率ＣY2とＩｎの計数率ＣIn3 が測定さ
れる。そして、Ｙ２ｐｐｂの計数率（ＣY2−ＣYB）とＩ
ｎ３ｐｐｂの計数率（ＣIn3−ＣinB ）の比である（Ｃ
Y2−ＣYB）／（ＣIn3 −ＣInB ）をＹ濃度２ｐｐｂに対
してプロットする。
【００２１】次に、Ｙ２ｐｐｂ標準溶液１５ｃの代わり
に試料容器１２ｂにＹ３ｐｐｂ標準溶液１５ｄを入れ、
試料容器１２ａにはそのままＩｎ３ｐｐｂの内標準溶液
１４ｂを入れておく。噴霧器４、４のガス流量をそれぞ
れ０．５ｌ／ｍｉｎ一定となるようにキャリヤーガス供
給部１０、１０からガスを供給すると、試料容器１２ａ
内のＩｎ３ｐｐｂの内標準溶液１４ｂと試料容器１２ｂ
内のＹ３ｐｐｂ標準溶液１５ｄが導入管１６、１６を通
って、噴霧器４、４内部に吸引されて、噴霧器４、４よ
り保持体３の内部に噴射され、霧状の混合試料となり、
プラズマ２１によりイオン化される。
に試料容器１２ｂにＹ３ｐｐｂ標準溶液１５ｄを入れ、
試料容器１２ａにはそのままＩｎ３ｐｐｂの内標準溶液
１４ｂを入れておく。噴霧器４、４のガス流量をそれぞ
れ０．５ｌ／ｍｉｎ一定となるようにキャリヤーガス供
給部１０、１０からガスを供給すると、試料容器１２ａ
内のＩｎ３ｐｐｂの内標準溶液１４ｂと試料容器１２ｂ
内のＹ３ｐｐｂ標準溶液１５ｄが導入管１６、１６を通
って、噴霧器４、４内部に吸引されて、噴霧器４、４よ
り保持体３の内部に噴射され、霧状の混合試料となり、
プラズマ２１によりイオン化される。
【００２２】イオン化された混合試料は質量分析装置に
よって、Ｙの計数率ＣY3とＩｎの計数率ＣIn3 が測定さ
れる。そして、Ｙ３ｐｐｂの計数率（ＣY3−ＣYB）とＩ
ｎ３ｐｐｂの計数率（ＣIn3−ＣInB ）の比である（Ｃ
Y3−ＣYB）／（ＣIn3 −ＣINB ）をＹ濃度３ｐｐｂに対
してプロットする。
よって、Ｙの計数率ＣY3とＩｎの計数率ＣIn3 が測定さ
れる。そして、Ｙ３ｐｐｂの計数率（ＣY3−ＣYB）とＩ
ｎ３ｐｐｂの計数率（ＣIn3−ＣInB ）の比である（Ｃ
Y3−ＣYB）／（ＣIn3 −ＣINB ）をＹ濃度３ｐｐｂに対
してプロットする。
【００２３】このようにＹ濃度に対するＹとＩｎの計数
率の比をプロットした検量線を作成する。次に、Ｙ３ｐ
ｐｂ標準溶液１５ｄの代わりに試料容器１２ｂにＹ濃度
未知試料溶液１５ｅを入れ、試料容器１２ａにはそのま
まＩｎ３ｐｐｂの内標準溶液１４ｂを入れておく。
率の比をプロットした検量線を作成する。次に、Ｙ３ｐ
ｐｂ標準溶液１５ｄの代わりに試料容器１２ｂにＹ濃度
未知試料溶液１５ｅを入れ、試料容器１２ａにはそのま
まＩｎ３ｐｐｂの内標準溶液１４ｂを入れておく。
【００２４】噴霧器４、４のガス流量をそれぞれ０．５
ｌ／ｍｉｎ一定となるようにキャリヤーガス供給部１
０、１０からガスを供給すると、試料容器１２ａ内のＩ
ｎ３ｐｐｂの内標準溶液１４ｂと試料容器１２ｂ内のＹ
濃度未知試料溶液１５ｅが導入管１６、１６を通って、
噴霧器４、４内部に吸引されて、噴霧器４、４より保持
体３の内部に噴射され、霧状の混合試料となり、プラズ
マ２１によりイオン化される。
ｌ／ｍｉｎ一定となるようにキャリヤーガス供給部１
０、１０からガスを供給すると、試料容器１２ａ内のＩ
ｎ３ｐｐｂの内標準溶液１４ｂと試料容器１２ｂ内のＹ
濃度未知試料溶液１５ｅが導入管１６、１６を通って、
噴霧器４、４内部に吸引されて、噴霧器４、４より保持
体３の内部に噴射され、霧状の混合試料となり、プラズ
マ２１によりイオン化される。
【００２５】イオン化された混合試料は質量分析装置に
よって、Ｙの計数率ＣYXとＩｎの計数率ＣIn3 が測定さ
れる。そして、（ＣYX−ＣYB）／（ＣIn3 −ＣInB ）を
求め、検量線においてその値を与えるＹ濃度を、Ｙ濃度
未知試料１５ｅのＹの濃度とする。
よって、Ｙの計数率ＣYXとＩｎの計数率ＣIn3 が測定さ
れる。そして、（ＣYX−ＣYB）／（ＣIn3 −ＣInB ）を
求め、検量線においてその値を与えるＹ濃度を、Ｙ濃度
未知試料１５ｅのＹの濃度とする。
【００２６】［実施例２］標準添加法とは、試料溶液そ
のままと、試料溶液に標準溶液を段階的に加えたものと
について信号強度を求め、試料中の目的成分の濃度を決
定する方法であり、得られる直線の勾配が検量線の勾配
と違う場合に有用である。
のままと、試料溶液に標準溶液を段階的に加えたものと
について信号強度を求め、試料中の目的成分の濃度を決
定する方法であり、得られる直線の勾配が検量線の勾配
と違う場合に有用である。
【００２７】標準添加法によるＹの定量において、試料
容器１２ａ、１２ｂにそれぞれブランク溶液１４ａ、１
５ａを入れ、噴霧器４、４のガス流量をそれぞれ０．５
ｌ／ｍｉｎ一定となるようにキャリヤーガス供給部１
０、１０からガスを供給すると、試料容器１２ａ、１２
ｂ内のブランク溶液１４ａ、１５ａが導入管１６、１６
を通って、噴霧器４、４内部に吸引されて、噴霧器４、
４より保持体３の内部に噴射され、霧状の混合試料とな
る。
容器１２ａ、１２ｂにそれぞれブランク溶液１４ａ、１
５ａを入れ、噴霧器４、４のガス流量をそれぞれ０．５
ｌ／ｍｉｎ一定となるようにキャリヤーガス供給部１
０、１０からガスを供給すると、試料容器１２ａ、１２
ｂ内のブランク溶液１４ａ、１５ａが導入管１６、１６
を通って、噴霧器４、４内部に吸引されて、噴霧器４、
４より保持体３の内部に噴射され、霧状の混合試料とな
る。
【００２８】この霧化された混合試料は、チャンバ１を
経てトーチ部２の上面に達するが、それ以外の大きい粒
子状の混合試料はチャンバ１の廃液孔１８から排出され
る。一方、トーチ部２は通常三重構造の石英管からなっ
ており、プラズマガス供給孔１９からガスが供給され、
誘導コイル２０に高周波電力（例えば、周波数２７．１
２ＭＨｚ、電力１ｋＷ）を印加することにより、プラズ
マ２１が形成され、上記の霧化された混合試料をイオン
化させる。
経てトーチ部２の上面に達するが、それ以外の大きい粒
子状の混合試料はチャンバ１の廃液孔１８から排出され
る。一方、トーチ部２は通常三重構造の石英管からなっ
ており、プラズマガス供給孔１９からガスが供給され、
誘導コイル２０に高周波電力（例えば、周波数２７．１
２ＭＨｚ、電力１ｋＷ）を印加することにより、プラズ
マ２１が形成され、上記の霧化された混合試料をイオン
化させる。
【００２９】イオン化された混合試料は質量分析装置
（図示していない）によって、Ｙの計数率ＣYBが測定さ
れる。次に、ブランク溶液１４ａの代わりに試料容器１
２ａにＹ未知試料溶液１４ｃを入れ、試料容器１２ｂに
はブランク溶液（Ｙ０ｐｐｂ標準溶液）１５ａを入れた
ままにして、噴霧器４、４のガス流量をそれぞれ０．５
ｌ／ｍｉｎ一定となるようにキャリヤーガス供給部１
０、１０からガスを供給すると、試料容器１２ａ内のＹ
未知試料溶液１４ｃと試料容器１２ｂ内のブランク溶液
１５ａが導入管１６、１６を通って、噴霧器４、４内部
に吸引されて、噴霧器４、４より保持体３の内部に噴射
され、霧状の混合試料となり、プラズマ２１によりイオ
ン化される。
（図示していない）によって、Ｙの計数率ＣYBが測定さ
れる。次に、ブランク溶液１４ａの代わりに試料容器１
２ａにＹ未知試料溶液１４ｃを入れ、試料容器１２ｂに
はブランク溶液（Ｙ０ｐｐｂ標準溶液）１５ａを入れた
ままにして、噴霧器４、４のガス流量をそれぞれ０．５
ｌ／ｍｉｎ一定となるようにキャリヤーガス供給部１
０、１０からガスを供給すると、試料容器１２ａ内のＹ
未知試料溶液１４ｃと試料容器１２ｂ内のブランク溶液
１５ａが導入管１６、１６を通って、噴霧器４、４内部
に吸引されて、噴霧器４、４より保持体３の内部に噴射
され、霧状の混合試料となり、プラズマ２１によりイオ
ン化される。
【００３０】イオン化された混合試料は質量分析装置に
よって、Ｙの計数率ＣM0が測定される。そして、計数率
（ＣM0−ＣYB）を添加したＹ標準溶液濃度０ｐｐｂに対
してプロットする。
よって、Ｙの計数率ＣM0が測定される。そして、計数率
（ＣM0−ＣYB）を添加したＹ標準溶液濃度０ｐｐｂに対
してプロットする。
【００３１】次に、試料容器１２ａ内のＹ未知試料溶液
１４ｄはそのままにして、試料容器１２ｂにブランク溶
液（Ｙ０ｐｐｂ標準溶液）１５ａの代わりにＹ１ｐｐｂ
標準溶液１５ｇを入れて、噴霧器４、５のガス流量をそ
れぞれ０．５ｌ／ｍｉｎ一定となるようにキャリヤーガ
ス供給部１０、１０からガスを供給すると、試料容器１
２内のＹ未知試料溶液１４ｃと試料容器１２ｂ内のＹ１
ｐｐｂ標準溶液１５ｇが導入管１６、１６を通って、噴
霧器４、４内部に吸引されて、噴霧器４、４より保持体
３の内部に噴射され、霧状の混合試料となり、プラズマ
２１によりイオン化される。
１４ｄはそのままにして、試料容器１２ｂにブランク溶
液（Ｙ０ｐｐｂ標準溶液）１５ａの代わりにＹ１ｐｐｂ
標準溶液１５ｇを入れて、噴霧器４、５のガス流量をそ
れぞれ０．５ｌ／ｍｉｎ一定となるようにキャリヤーガ
ス供給部１０、１０からガスを供給すると、試料容器１
２内のＹ未知試料溶液１４ｃと試料容器１２ｂ内のＹ１
ｐｐｂ標準溶液１５ｇが導入管１６、１６を通って、噴
霧器４、４内部に吸引されて、噴霧器４、４より保持体
３の内部に噴射され、霧状の混合試料となり、プラズマ
２１によりイオン化される。
【００３２】イオン化された混合試料は質量分析装置に
よって、Ｙの計数率ＣM1が測定される。そして、計数率
（ＣM1−ＣYB）を添加したＹ標準溶液濃度１ｐｐｂに対
してプロットする。
よって、Ｙの計数率ＣM1が測定される。そして、計数率
（ＣM1−ＣYB）を添加したＹ標準溶液濃度１ｐｐｂに対
してプロットする。
【００３３】次に、試料容器１２ａ内のＹ未知試料溶液
１４ｃはそのままにしておき、試料容器１２ｂにＹ１ｐ
ｐｂ標準溶液１５ｇの代わりにＹ２ｐｐｂ標準溶液１５
ｈを入れて、噴霧器４、４のガス流量をそれぞれ０．５
ｌ／ｍｉｎ一定となるようにキャリヤーガス供給部１
０、１０からガスを供給すると、試料容器１２ａ内のＹ
未知試料溶液１４ｃと試料容器１２ｂ内のＹ２ｐｐｂ標
準溶液１５ｈが導入管１６、１６を通って、噴霧器４、
４内部に吸引されて、噴霧器４、４より保持体３の内部
に噴射され、霧状の混合試料となり、プラズマ２１によ
りイオン化される。
１４ｃはそのままにしておき、試料容器１２ｂにＹ１ｐ
ｐｂ標準溶液１５ｇの代わりにＹ２ｐｐｂ標準溶液１５
ｈを入れて、噴霧器４、４のガス流量をそれぞれ０．５
ｌ／ｍｉｎ一定となるようにキャリヤーガス供給部１
０、１０からガスを供給すると、試料容器１２ａ内のＹ
未知試料溶液１４ｃと試料容器１２ｂ内のＹ２ｐｐｂ標
準溶液１５ｈが導入管１６、１６を通って、噴霧器４、
４内部に吸引されて、噴霧器４、４より保持体３の内部
に噴射され、霧状の混合試料となり、プラズマ２１によ
りイオン化される。
【００３４】イオン化された混合試料は質量分析装置に
よって、Ｙの計数率ＣM2が測定される。そして、計数率
（ＣM2−ＣYB）を添加したＹ標準溶液濃度２ｐｐｂに対
してプロットする。
よって、Ｙの計数率ＣM2が測定される。そして、計数率
（ＣM2−ＣYB）を添加したＹ標準溶液濃度２ｐｐｂに対
してプロットする。
【００３５】次に、試料容器１２ａ内のＹ未知試料溶液
１４ｃはそのままにしておき、試料容器１２ｂにＹ２ｐ
ｐｂ標準溶液１５ｈの代わりにＹ３ｐｐｂ標準溶液１５
ｉを入れて、噴霧器４、４のガス流量をそれぞれ０．５
ｌ／ｍｉｎ一定となるようにキャリヤーガス供給部１
０、１０からガスを供給すると、試料容器１２ａ内のＹ
未知試料溶液１４ｃと試料容器１２ｂ内のＹ３ｐｐｂ標
準溶液１５ｉが導入管１６、１６を通って、噴霧器４、
４内部に吸引されて、噴霧器４、４より保持体３の内部
に噴射され、霧状の混合試料となり、プラズマ２１によ
りイオン化される。
１４ｃはそのままにしておき、試料容器１２ｂにＹ２ｐ
ｐｂ標準溶液１５ｈの代わりにＹ３ｐｐｂ標準溶液１５
ｉを入れて、噴霧器４、４のガス流量をそれぞれ０．５
ｌ／ｍｉｎ一定となるようにキャリヤーガス供給部１
０、１０からガスを供給すると、試料容器１２ａ内のＹ
未知試料溶液１４ｃと試料容器１２ｂ内のＹ３ｐｐｂ標
準溶液１５ｉが導入管１６、１６を通って、噴霧器４、
４内部に吸引されて、噴霧器４、４より保持体３の内部
に噴射され、霧状の混合試料となり、プラズマ２１によ
りイオン化される。
【００３６】イオン化された混合試料は質量分析装置に
よって、Ｙの計数率ＣM3が測定される。そして、計数率
（ＣM3−ＣYB）を添加したＹ標準溶液濃度３ｐｐｂに対
してプロットする。
よって、Ｙの計数率ＣM3が測定される。そして、計数率
（ＣM3−ＣYB）を添加したＹ標準溶液濃度３ｐｐｂに対
してプロットする。
【００３７】以上の４つのプロットによって引かれた直
線と、横軸との交点の値をＹ濃度未知試料溶液の濃度と
する。流量計８、８は制御装置２３に接続されており、
各噴霧器に接続されたキャリヤーガスの流量を独立に制
御でき、さらに、キャリヤーガスの流量の和を一定にす
ることができる。
線と、横軸との交点の値をＹ濃度未知試料溶液の濃度と
する。流量計８、８は制御装置２３に接続されており、
各噴霧器に接続されたキャリヤーガスの流量を独立に制
御でき、さらに、キャリヤーガスの流量の和を一定にす
ることができる。
【００３８】なお、上記実施例では２本の噴霧器を使用
しているが、３本以上の使用でもよい。
しているが、３本以上の使用でもよい。
【００３９】
【発明の効果】本発明は、誘導結合プラズマ質量分析装
置用試料導入装置において、複数の噴霧器を使用し、各
噴霧器に接続されたキャリヤーガスの流量を独立に制御
でき、さらに、キャリヤーガスの流量の和を一定にする
事のできる構造としたので、下記の効果を有する。
置用試料導入装置において、複数の噴霧器を使用し、各
噴霧器に接続されたキャリヤーガスの流量を独立に制御
でき、さらに、キャリヤーガスの流量の和を一定にする
事のできる構造としたので、下記の効果を有する。
【００４０】（１）混合溶液調製のための操作と時間を
省くことができる。 （２）混合溶液調製操作による各混合溶液ごとの添加量
のばらつきや、その調製過程における汚染物質の混入を
防ぐことができる。
省くことができる。 （２）混合溶液調製操作による各混合溶液ごとの添加量
のばらつきや、その調製過程における汚染物質の混入を
防ぐことができる。
【００４１】（３）トーチ部に導入する混合溶液の混合
比を簡単に設定することができ、さらに、トーチ部に導
入する試料溶液量を一定に保つことができる。
比を簡単に設定することができ、さらに、トーチ部に導
入する試料溶液量を一定に保つことができる。
【図１】本発明の実施例を示す構成図である。
１ チャンバ ２ トーチ部 ３ 保持体 ４ 噴霧器 ６ クランプ ７ Ｏリング ８ 流量計 １０ キャリヤーガス供給部 １２ａ 試料容器 １２ｂ 試料容器 １４ 各試料 １６ 導入管 １８ 廃液孔 １９ プラズマガス供給孔 ２０ 誘導コイル ２１ プラズマ ２２ 補助ガス供給孔 ２３ 制御装置
Claims (4)
- 【請求項１】 誘導結合プラズマを発生するトーチ部に
試料導入路となるチャンバを接続して、霧化された試料
を前記トーチ部に供給する誘導結合プラズマ質量分析装
置において、前記チャンバの内管に向けて２本以上の噴
霧器で霧を噴霧する事を特徴とする誘導結合プラズマ質
量分析装置。 - 【請求項２】 各噴霧器に接続されたキャリヤーガスの
流量を独立に制御することを特徴とする請求項１記載の
誘導結合プラズマ質量分析装置。 - 【請求項３】 キャリヤーガスの流量の和を一定にする
ことを特徴とする請求項１記載の誘導結合プラズマ質量
分析装置。 - 【請求項４】 霧化した試料を分級し、分級された前記
試料をトーチ部に供給するチャンバに備えられた一方の
噴霧器にて、測定元素を測定するための内標準元素を一
定濃度有する内標準溶液の一定量を霧化し、前記チャン
バに備えられた他方の霧化器にて、予め決められた濃度
の測定定素を有する標準溶液の一定量を霧化し、前記一
方の霧化器で霧化する内標準溶液の濃度と霧化量を一定
にしながら、前記他方で霧化する標準溶液の測定元素の
濃度を変えて一定量霧化し、標準溶液の各測定元素濃度
の質量分析の計数率と内標準溶液の内標準元素質量分析
の計数率との比を求め、前記比に基づいて検量線を求め
ることを特徴とする誘導結合プラズマ質量分析方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8003361A JPH09199076A (ja) | 1996-01-11 | 1996-01-11 | 誘導結合プラズマ質量分析装置及びその方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8003361A JPH09199076A (ja) | 1996-01-11 | 1996-01-11 | 誘導結合プラズマ質量分析装置及びその方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09199076A true JPH09199076A (ja) | 1997-07-31 |
Family
ID=11555218
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8003361A Pending JPH09199076A (ja) | 1996-01-11 | 1996-01-11 | 誘導結合プラズマ質量分析装置及びその方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09199076A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001324476A (ja) * | 2000-05-15 | 2001-11-22 | Murata Mfg Co Ltd | 誘導結合プラズマ質量分析方法 |
| US9520278B2 (en) | 2014-01-21 | 2016-12-13 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Nebulizer and analyzer |
| CN111239080A (zh) * | 2020-01-21 | 2020-06-05 | 力合科技（湖南）股份有限公司 | 质控装置及ocec分析系统 |
| CN116359322A (zh) * | 2023-04-06 | 2023-06-30 | 深圳市八六三新材料技术有限责任公司 | 一种银镁原子比测试方法 |
-
1996
- 1996-01-11 JP JP8003361A patent/JPH09199076A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001324476A (ja) * | 2000-05-15 | 2001-11-22 | Murata Mfg Co Ltd | 誘導結合プラズマ質量分析方法 |
| US9520278B2 (en) | 2014-01-21 | 2016-12-13 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Nebulizer and analyzer |
| CN111239080A (zh) * | 2020-01-21 | 2020-06-05 | 力合科技（湖南）股份有限公司 | 质控装置及ocec分析系统 |
| CN111239080B (zh) * | 2020-01-21 | 2023-09-29 | 力合科技（湖南）股份有限公司 | 质控装置及ocec分析系统 |
| CN116359322A (zh) * | 2023-04-06 | 2023-06-30 | 深圳市八六三新材料技术有限责任公司 | 一种银镁原子比测试方法 |
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