JPH09199965A - 圧電電子部品の製造方法 - Google Patents
圧電電子部品の製造方法Info
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- JPH09199965A JPH09199965A JP685896A JP685896A JPH09199965A JP H09199965 A JPH09199965 A JP H09199965A JP 685896 A JP685896 A JP 685896A JP 685896 A JP685896 A JP 685896A JP H09199965 A JPH09199965 A JP H09199965A
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】共振周波数の変動を抑えて、特性を均質化し、
歩留まりを向上させる。 【構成】保持枠体３によって、圧電振動子２の端部２ａ
それぞれを主表面側から挟持して当該圧電振動子２の中
央部２ｂを振動可能に支持してなる圧電電子部品を製造
する方法において、各圧電振動子２の共振周波数に対応
して保持枠体３による圧電振動子端部２ａの挟持幅Ｈを
変更することで、圧電電子部品２の共振周波数を所望の
周波数に調整する。
歩留まりを向上させる。 【構成】保持枠体３によって、圧電振動子２の端部２ａ
それぞれを主表面側から挟持して当該圧電振動子２の中
央部２ｂを振動可能に支持してなる圧電電子部品を製造
する方法において、各圧電振動子２の共振周波数に対応
して保持枠体３による圧電振動子端部２ａの挟持幅Ｈを
変更することで、圧電電子部品２の共振周波数を所望の
周波数に調整する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は圧電振動子を保持枠体で
振動可能に支持してなる圧電電子部品の製造方法に関す
る。
振動可能に支持してなる圧電電子部品の製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来から、この種の圧電電子部品として
は、図７で示すように、対向する主表面上に振動電極１
が形成された短冊形状の圧電振動子２と、この圧電振動
子２の端部２ａそれぞれを主表面側から挟持して接着さ
れることによって中央部２ｂを振動可能に支持する一対
の保持枠体３とが一体化されてなる圧電振動体４、及
び、この圧電振動体４を挟み込んで収納する一対のケー
ス体５を備えて構成されたものがある。
は、図７で示すように、対向する主表面上に振動電極１
が形成された短冊形状の圧電振動子２と、この圧電振動
子２の端部２ａそれぞれを主表面側から挟持して接着さ
れることによって中央部２ｂを振動可能に支持する一対
の保持枠体３とが一体化されてなる圧電振動体４、及
び、この圧電振動体４を挟み込んで収納する一対のケー
ス体５を備えて構成されたものがある。
【０００３】このような圧電電子部品は、図８で示すよ
うな手順に従って製造されるのが一般的となっている。
すなわち、まず最初に、対向する主表面上に振動電極１
となる電極パターン６がそれぞれ形成された圧電振動子
用親基板７と、内側表面両端に長手方向連続した凸状部
９ａを形成した一対の保持枠体用親基板９とを用意す
る。
うな手順に従って製造されるのが一般的となっている。
すなわち、まず最初に、対向する主表面上に振動電極１
となる電極パターン６がそれぞれ形成された圧電振動子
用親基板７と、内側表面両端に長手方向連続した凸状部
９ａを形成した一対の保持枠体用親基板９とを用意す
る。
【０００４】そして、圧電振動子用親基板７を保持枠体
用親基板９によって挟み込み、保持枠体用親基板９それ
ぞれの凸状部９ａを圧電振動子用親基板７の主表面それ
ぞれに位置決めして当てつけた後、これらの親基板７，
９をエポキシ樹脂などの接着剤（図示していない）によ
って接着する。さらに、各保持枠体用親基板９を圧電振
動子用親基板７に押し付けて接着剤を加圧しながら硬化
させることによって構造体１０を形成する。その後、こ
の構造体１０を、構造体１０の幅方向と平行に設定され
た切断線Ｓに沿って切断することにより、図７で示した
ような圧電振動体４、すなわち、圧電振動子２と保持枠
体３とを一体化してなる圧電振動体４が複数個、作製さ
れる。
用親基板９によって挟み込み、保持枠体用親基板９それ
ぞれの凸状部９ａを圧電振動子用親基板７の主表面それ
ぞれに位置決めして当てつけた後、これらの親基板７，
９をエポキシ樹脂などの接着剤（図示していない）によ
って接着する。さらに、各保持枠体用親基板９を圧電振
動子用親基板７に押し付けて接着剤を加圧しながら硬化
させることによって構造体１０を形成する。その後、こ
の構造体１０を、構造体１０の幅方向と平行に設定され
た切断線Ｓに沿って切断することにより、図７で示した
ような圧電振動体４、すなわち、圧電振動子２と保持枠
体３とを一体化してなる圧電振動体４が複数個、作製さ
れる。
【０００５】そして、このようにして構成された圧電振
動体４に、当該圧電振動体４を挟み込んで一対のケース
体５を貼着することで圧電電子部品が完成する。
動体４に、当該圧電振動体４を挟み込んで一対のケース
体５を貼着することで圧電電子部品が完成する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】このようにして作製さ
れる圧電電子部品には、圧電共振子用親基板７毎に共
振周波数のばらつきがある、圧電振動子用親基板７単
体においても、その長手方向各部位毎に共振周波数にば
らつきがある、保持枠体用親基板９の加工精度（特
に、凸状部９ａの加工精度）のばらつきが共振周波数に
影響する、といった理由により、圧電電子部品毎の特性
のばらつきが大きく、歩留まりが悪いという問題があっ
た。
れる圧電電子部品には、圧電共振子用親基板７毎に共
振周波数のばらつきがある、圧電振動子用親基板７単
体においても、その長手方向各部位毎に共振周波数にば
らつきがある、保持枠体用親基板９の加工精度（特
に、凸状部９ａの加工精度）のばらつきが共振周波数に
影響する、といった理由により、圧電電子部品毎の特性
のばらつきが大きく、歩留まりが悪いという問題があっ
た。
【０００７】本発明は、このような不都合に鑑みて創案
されたものであって、共振周波数の変動を抑えて、特性
を均質化し、歩留まりを向上させることを目的としてい
る。
されたものであって、共振周波数の変動を抑えて、特性
を均質化し、歩留まりを向上させることを目的としてい
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明の第１の発明では、保持枠体によっ
て、圧電振動子の端部それぞれを主表面側から挟持して
当該圧電振動子の中央部を振動可能に支持してなる圧電
電子部品を製造する方法において、各圧電振動子の共振
周波数に対応して前記保持枠体による圧電振動子端部の
挟持幅を変更することで、当該圧電振動子の共振周波数
を所望の周波数に調整することに特徴がある。
るために、本発明の第１の発明では、保持枠体によっ
て、圧電振動子の端部それぞれを主表面側から挟持して
当該圧電振動子の中央部を振動可能に支持してなる圧電
電子部品を製造する方法において、各圧電振動子の共振
周波数に対応して前記保持枠体による圧電振動子端部の
挟持幅を変更することで、当該圧電振動子の共振周波数
を所望の周波数に調整することに特徴がある。
【０００９】なお、第１の発明においては、前記圧電振
動子の共振周波数が所望の値より高い場合には、前記挟
持幅を狭める一方、前記圧電振動子の共振周波数が所望
の値より低い場合には、前記挟持幅を広げるのが好まし
い。
動子の共振周波数が所望の値より高い場合には、前記挟
持幅を狭める一方、前記圧電振動子の共振周波数が所望
の値より低い場合には、前記挟持幅を広げるのが好まし
い。
【００１０】第２の発明では、圧電振動子用親基板と、
一面の端部それぞれに長手方向連続した振動子挟持用凸
状部を有する一対の保持枠体用親基板とを用意し、前記
圧電振動子用親基板の両面それぞれに、前記保持枠体用
親基板の一面を互いに対称的に面着させて構造体を形成
したのち、当該構造体を、幅方向に沿って切断すること
で、圧電振動子を保持枠体で振動可能に支持してなる圧
電電子部品を複数、製造する方法において、前記圧電振
動子用親基板の長手方向に沿った共振周波数のばらつき
に対応して、前記凸状部の挟持幅を前記保持枠体用親基
板の長手方向に沿って変動させることに特徴がある。
一面の端部それぞれに長手方向連続した振動子挟持用凸
状部を有する一対の保持枠体用親基板とを用意し、前記
圧電振動子用親基板の両面それぞれに、前記保持枠体用
親基板の一面を互いに対称的に面着させて構造体を形成
したのち、当該構造体を、幅方向に沿って切断すること
で、圧電振動子を保持枠体で振動可能に支持してなる圧
電電子部品を複数、製造する方法において、前記圧電振
動子用親基板の長手方向に沿った共振周波数のばらつき
に対応して、前記凸状部の挟持幅を前記保持枠体用親基
板の長手方向に沿って変動させることに特徴がある。
【００１１】なお、第２の発明においては、前記凸状部
の挟持幅を、保持枠体用親基板の長手方向中央部では狭
くする一方、長手方向両端部では広くするのが好まし
い。
の挟持幅を、保持枠体用親基板の長手方向中央部では狭
くする一方、長手方向両端部では広くするのが好まし
い。
【００１２】
【作用】第１の発明によれば、保持枠体による圧電振動
子端部の挟持幅を変更すれば、挟持幅の変動に連動して
各圧電振動子の共振周波数が変化することになる。した
がって、各圧電振動子の共振周波数と所望の共振周波数
との間に差がある場合は、その差をなくすように挟持幅
を変更すれば、共振周波数を所望の値に調整することが
できる。例えば、圧電振動子の共振周波数が所望の値よ
り高い場合には、前記挟持幅を狭め、圧電振動子の共振
周波数が所望の値より低い場合には、前記挟持幅を広げ
るようにする。
子端部の挟持幅を変更すれば、挟持幅の変動に連動して
各圧電振動子の共振周波数が変化することになる。した
がって、各圧電振動子の共振周波数と所望の共振周波数
との間に差がある場合は、その差をなくすように挟持幅
を変更すれば、共振周波数を所望の値に調整することが
できる。例えば、圧電振動子の共振周波数が所望の値よ
り高い場合には、前記挟持幅を狭め、圧電振動子の共振
周波数が所望の値より低い場合には、前記挟持幅を広げ
るようにする。
【００１３】第２の発明によれば、第１の発明と同様、
保持枠体による圧電振動子端部の挟持幅を変更すれば、
挟持幅の変動に連動して各圧電振動子の共振周波数が変
化することになる。したがって、圧電振動子用親基板に
その長手方向に沿って共振周波数のばらつきがある場合
は、そのばらつきをなくすように凸状部の幅を変更すれ
ば、圧電振動子用親基板の各部分の共振周波数のばらつ
きを調整することができる。例えば、圧電振動子用親基
板では、その長手方向中央部の共振周波数が高くなる一
方、その長手方向両端の共振周波数が低くなることが起
こる。このような場合では、保持枠体用親基板の長手方
向中央部における凸状部の幅を狭くする一方、長手方向
両端部における凸状部の幅を広くすれば、圧電振動子用
親基板の各部分の共振周波数のばらつきを小さくするこ
とができる。
保持枠体による圧電振動子端部の挟持幅を変更すれば、
挟持幅の変動に連動して各圧電振動子の共振周波数が変
化することになる。したがって、圧電振動子用親基板に
その長手方向に沿って共振周波数のばらつきがある場合
は、そのばらつきをなくすように凸状部の幅を変更すれ
ば、圧電振動子用親基板の各部分の共振周波数のばらつ
きを調整することができる。例えば、圧電振動子用親基
板では、その長手方向中央部の共振周波数が高くなる一
方、その長手方向両端の共振周波数が低くなることが起
こる。このような場合では、保持枠体用親基板の長手方
向中央部における凸状部の幅を狭くする一方、長手方向
両端部における凸状部の幅を広くすれば、圧電振動子用
親基板の各部分の共振周波数のばらつきを小さくするこ
とができる。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の第１の実施例を図面に基づい
て説明する。
て説明する。
【００１５】この実施例は、従来例と同様、図７に示す
圧電電子部品、すなわち、互いに対向する主表面上に振
動電極１がそれぞれ形成された短冊形状の圧電振動子２
と、この圧電振動子２の端部２ａそれぞれを主表面側か
ら挟持して中央部２ｂを振動可能に支持する平面視
「コ」字形状の保持枠体３とが一体化されてなる圧電振
動体４、及び、この圧電振動体４を挟み込んで収納する
一対のケース体５を備えた圧電電子部品を製造する方法
であり、図１は、圧電振動子用親基板７の斜視図、図２
は、保持枠体用親基板９の正面図であり、これらの図に
おいては、図７、図８と互いに同一の部品や部分には同
一符号を付している。
圧電電子部品、すなわち、互いに対向する主表面上に振
動電極１がそれぞれ形成された短冊形状の圧電振動子２
と、この圧電振動子２の端部２ａそれぞれを主表面側か
ら挟持して中央部２ｂを振動可能に支持する平面視
「コ」字形状の保持枠体３とが一体化されてなる圧電振
動体４、及び、この圧電振動体４を挟み込んで収納する
一対のケース体５を備えた圧電電子部品を製造する方法
であり、図１は、圧電振動子用親基板７の斜視図、図２
は、保持枠体用親基板９の正面図であり、これらの図に
おいては、図７、図８と互いに同一の部品や部分には同
一符号を付している。
【００１６】本実施例の圧電電子部品の製造方法は次の
ようになっている。
ようになっている。
【００１７】すなわち、まず、図１で示すように、圧電
性セラミックからなる圧電振動子用親基板７を用意し、
この圧電振動子用親基板７の対向する主表面上それぞれ
に振動電極１となる電極パターン６を形成しておく。さ
らには、図２に示すように、内側表面両端に長手方向連
続した凸状部９ａを形成した保持枠体用親基板９を用意
しておく。なお、保持枠体用親基板９は上下一対を一組
として複数組用意し、さらには、図２（ａ）に示すよう
に、凸状部９ａの幅ｈ1が標準挟持幅Ｈｓと同等である
組９Ａと、図２（ｂ）に示すように、凸状部９ａの幅ｈ
2が標準挟持幅Ｈｓより若干狭い組９Ｂと、凸状部９ａ
の幅ｈ3が標準挟持幅Ｈｓより若干広い組９Ｃとを、そ
れぞれ用意しておく。なお、ここでいう標準挟持幅Ｈｓ
とは、この保持枠体用親基板９と圧電振動子用親基板７
とを組み合わせて作製される圧電振動体４で所望される
共振周波数を得るのに適した圧電振動子２の挟持幅Ｈ、
つまり、保持枠体３によって圧電振動子２の端部２ａを
挟持する幅Ｈ（図７参照）をいう。
性セラミックからなる圧電振動子用親基板７を用意し、
この圧電振動子用親基板７の対向する主表面上それぞれ
に振動電極１となる電極パターン６を形成しておく。さ
らには、図２に示すように、内側表面両端に長手方向連
続した凸状部９ａを形成した保持枠体用親基板９を用意
しておく。なお、保持枠体用親基板９は上下一対を一組
として複数組用意し、さらには、図２（ａ）に示すよう
に、凸状部９ａの幅ｈ1が標準挟持幅Ｈｓと同等である
組９Ａと、図２（ｂ）に示すように、凸状部９ａの幅ｈ
2が標準挟持幅Ｈｓより若干狭い組９Ｂと、凸状部９ａ
の幅ｈ3が標準挟持幅Ｈｓより若干広い組９Ｃとを、そ
れぞれ用意しておく。なお、ここでいう標準挟持幅Ｈｓ
とは、この保持枠体用親基板９と圧電振動子用親基板７
とを組み合わせて作製される圧電振動体４で所望される
共振周波数を得るのに適した圧電振動子２の挟持幅Ｈ、
つまり、保持枠体３によって圧電振動子２の端部２ａを
挟持する幅Ｈ（図７参照）をいう。
【００１８】ところで、圧電振動子用親基板７には、製
法上、各基板毎に、図３に示すような共振周波数のばら
つきが生じてしまう。図３中、所望する共振周波数の許
容範囲を範囲Ｂ、共振周波数の下限値以下を範囲Ａ、共
振周波数の上限値以上を範囲Ｃとする。
法上、各基板毎に、図３に示すような共振周波数のばら
つきが生じてしまう。図３中、所望する共振周波数の許
容範囲を範囲Ｂ、共振周波数の下限値以下を範囲Ａ、共
振周波数の上限値以上を範囲Ｃとする。
【００１９】一方、圧電振動体４においては、上述した
挟持幅Ｈ（図７参照）が変動すると、共振周波数が変動
するという特徴がある。詳細に述べれば、挟持幅Ｈが狭
くなると共振周波数が低くなり、挟持幅Ｈが広くなると
共振周波数が高くなる。
挟持幅Ｈ（図７参照）が変動すると、共振周波数が変動
するという特徴がある。詳細に述べれば、挟持幅Ｈが狭
くなると共振周波数が低くなり、挟持幅Ｈが広くなると
共振周波数が高くなる。
【００２０】そこで、圧電振動子用親基板７の共振周波
数を測定し、共振周波数が所望の周波数域より高い周波
数域、すなわち、範囲Ｃであった場合は、凸状部９ａの
幅ｈ2が標準挟持幅Ｈｓより若干狭くなっている保持枠
体用親基板９の組９Ｂでもって圧電振動子用親基板７を
挟持する。そして、これらの親基板７，９をエポキシ樹
脂などの接着剤（図示していない）によって接着し、各
保持枠体用親基板９を圧電振動子用親基板７に押し付け
て接着剤を加圧しながら硬化させることによって親基板
７，９同士を一体化して構造体１０を作製する。さら
に、図８に示すように、この構造体１０を交差状として
設定された切断線Ｓの各々に沿いながら切断すること
で、圧電振動体４、すなわち、圧電振動子２と保持枠体
３とを一体化してなる圧電振動体４を作製する。
数を測定し、共振周波数が所望の周波数域より高い周波
数域、すなわち、範囲Ｃであった場合は、凸状部９ａの
幅ｈ2が標準挟持幅Ｈｓより若干狭くなっている保持枠
体用親基板９の組９Ｂでもって圧電振動子用親基板７を
挟持する。そして、これらの親基板７，９をエポキシ樹
脂などの接着剤（図示していない）によって接着し、各
保持枠体用親基板９を圧電振動子用親基板７に押し付け
て接着剤を加圧しながら硬化させることによって親基板
７，９同士を一体化して構造体１０を作製する。さら
に、図８に示すように、この構造体１０を交差状として
設定された切断線Ｓの各々に沿いながら切断すること
で、圧電振動体４、すなわち、圧電振動子２と保持枠体
３とを一体化してなる圧電振動体４を作製する。
【００２１】このようにして作製された圧電振動体４
は、保持枠体３の挟持幅Ｈが標準挟持幅Ｈｓより狭くな
る結果、共振周波数が低域側に移行して、所望する共振
周波の許容範囲Ｂ内に納まる。
は、保持枠体３の挟持幅Ｈが標準挟持幅Ｈｓより狭くな
る結果、共振周波数が低域側に移行して、所望する共振
周波の許容範囲Ｂ内に納まる。
【００２２】一方、圧電振動子用親基板７の共振周波数
を測定し、共振周波数が所望の周波数域より低い周波数
域、すなわち、範囲Ａであった場合は、凸状部９ａの幅
ｈ3が標準挟持幅Ｈｓより若干広くなっている保持枠体
用親基板９の組９Ｃでもって圧電振動子用親基板７を挟
持する。そして、これらの親基板７，９をエポキシ樹脂
などの接着剤（図示していない）によって接着し、各保
持枠体用親基板９を圧電振動子用親基板７に押し付けて
接着剤を加圧しながら硬化させることによって親基板
７，９同士を一体化して構成体１０を作製する。さら
に、図８に示すように、この構成体１０を交差状として
設定された切断線Ｓの各々に沿いながら切断すること
で、圧電振動体４、すなわち、圧電振動子２と保持枠体
３とを一体化してなる圧電振動体４を作製する。
を測定し、共振周波数が所望の周波数域より低い周波数
域、すなわち、範囲Ａであった場合は、凸状部９ａの幅
ｈ3が標準挟持幅Ｈｓより若干広くなっている保持枠体
用親基板９の組９Ｃでもって圧電振動子用親基板７を挟
持する。そして、これらの親基板７，９をエポキシ樹脂
などの接着剤（図示していない）によって接着し、各保
持枠体用親基板９を圧電振動子用親基板７に押し付けて
接着剤を加圧しながら硬化させることによって親基板
７，９同士を一体化して構成体１０を作製する。さら
に、図８に示すように、この構成体１０を交差状として
設定された切断線Ｓの各々に沿いながら切断すること
で、圧電振動体４、すなわち、圧電振動子２と保持枠体
３とを一体化してなる圧電振動体４を作製する。
【００２３】このようにして作製された圧電振動体４
は、保持枠体３の挟持幅Ｈが標準挟持幅Ｈｓより広くな
る結果、共振周波数が高域側に移行して、所望する共振
周波の許容範囲Ｂ内に納まる。
は、保持枠体３の挟持幅Ｈが標準挟持幅Ｈｓより広くな
る結果、共振周波数が高域側に移行して、所望する共振
周波の許容範囲Ｂ内に納まる。
【００２４】また、圧電振動子用親基板７の共振周波数
を測定し、共振周波数が所望の周波数域と合致する周波
数域、すなわち、範囲Ｂであった場合は、凸状部９ａの
幅ｈ3が標準挟持幅Ｈｓと同等である保持枠体用親基板
９の組９Ａでもって圧電振動子用親基板７を挟持する。
そして、これらの親基板７，９をエポキシ樹脂などの接
着剤（図示していない）によって接着し、各保持枠体用
親基板９を圧電振動子用親基板７に押し付けて接着剤を
加圧しながら硬化させることによって親基板７，９同士
を一体化して構成体１０を作製する。さらに、図８に示
すように、この構造体１０を交差状として設定された切
断線Ｓの各々に沿いながら切断することで、圧電振動体
４、すなわち、圧電振動子２と保持枠体３とを一体化し
てなる圧電振動体４を作製する。
を測定し、共振周波数が所望の周波数域と合致する周波
数域、すなわち、範囲Ｂであった場合は、凸状部９ａの
幅ｈ3が標準挟持幅Ｈｓと同等である保持枠体用親基板
９の組９Ａでもって圧電振動子用親基板７を挟持する。
そして、これらの親基板７，９をエポキシ樹脂などの接
着剤（図示していない）によって接着し、各保持枠体用
親基板９を圧電振動子用親基板７に押し付けて接着剤を
加圧しながら硬化させることによって親基板７，９同士
を一体化して構成体１０を作製する。さらに、図８に示
すように、この構造体１０を交差状として設定された切
断線Ｓの各々に沿いながら切断することで、圧電振動体
４、すなわち、圧電振動子２と保持枠体３とを一体化し
てなる圧電振動体４を作製する。
【００２５】このようにして作製された圧電振動体４
は、保持枠体３の挟持幅Ｈが標準挟持幅Ｈｓと同等とな
る結果、共振周波数は調整されることなく、所望する共
振周波の許容範囲Ｂのままとなる。
は、保持枠体３の挟持幅Ｈが標準挟持幅Ｈｓと同等とな
る結果、共振周波数は調整されることなく、所望する共
振周波の許容範囲Ｂのままとなる。
【００２６】なお、このようにして構成された圧電振動
体４は、従来例と同様、図７に示すように、圧電振動体
４を挟み込んで一対のケース体５を貼着することで圧電
電子部品となる。
体４は、従来例と同様、図７に示すように、圧電振動体
４を挟み込んで一対のケース体５を貼着することで圧電
電子部品となる。
【００２７】このようにして圧電電子部品を作製する
と、図４に示すように、圧電振動子用親基板７の状態に
おいては、各圧電振動子用親基板７毎に共振周波数にば
らつきが生じていたにもかかわらず、圧電電子部品とし
て完成した状態では、ほとんどの圧電電子部品が、所望
する周波数の範囲Ｂ内の共振周波数を有することにな
る。なお、図４において、実線が本実施例の方法によっ
て作製された圧電電子部品の共振周波数のばらつきを示
し、二点鎖線が圧電振動子用親基板７の状態での共振周
波数のばらつきを示している。
と、図４に示すように、圧電振動子用親基板７の状態に
おいては、各圧電振動子用親基板７毎に共振周波数にば
らつきが生じていたにもかかわらず、圧電電子部品とし
て完成した状態では、ほとんどの圧電電子部品が、所望
する周波数の範囲Ｂ内の共振周波数を有することにな
る。なお、図４において、実線が本実施例の方法によっ
て作製された圧電電子部品の共振周波数のばらつきを示
し、二点鎖線が圧電振動子用親基板７の状態での共振周
波数のばらつきを示している。
【００２８】本実施例では、圧電振動子用親基板７を、
所望する共振周波数の許容範囲Ｂ内の共振周波数を有す
るもの、共振周波数の下限値以下の範囲Ａの共振周波数
を有するもの、共振周波数の上限値以上の範囲Ｃの共振
周波数を有するもの、という３つのグループに分ける一
方、凸状部９ａの幅がｈ1〜3となった３種類の保持枠体
用親基板９の組９Ａ，９Ｂ，９Ｃを用意しており、圧電
振動子用親基板７に対応して３種類の保持枠体用親基板
９の中から適したものを選択することで、完成品の共振
周波数を所望する値に調整している。しかしながら、圧
電振動子用親基板７をその共振周波数のばらつきによっ
てさらに狭い範囲のグループ（３グループ以上）に分類
する一方、それらグループに対応して共振周波数を調整
する挟持幅を備えた保持枠体用親基板９を複数種類用意
すれば、さらに、精度よく共振周波数を調整することが
できるのはいうまでもない。
所望する共振周波数の許容範囲Ｂ内の共振周波数を有す
るもの、共振周波数の下限値以下の範囲Ａの共振周波数
を有するもの、共振周波数の上限値以上の範囲Ｃの共振
周波数を有するもの、という３つのグループに分ける一
方、凸状部９ａの幅がｈ1〜3となった３種類の保持枠体
用親基板９の組９Ａ，９Ｂ，９Ｃを用意しており、圧電
振動子用親基板７に対応して３種類の保持枠体用親基板
９の中から適したものを選択することで、完成品の共振
周波数を所望する値に調整している。しかしながら、圧
電振動子用親基板７をその共振周波数のばらつきによっ
てさらに狭い範囲のグループ（３グループ以上）に分類
する一方、それらグループに対応して共振周波数を調整
する挟持幅を備えた保持枠体用親基板９を複数種類用意
すれば、さらに、精度よく共振周波数を調整することが
できるのはいうまでもない。
【００２９】次に本発明の第２の実施例を説明する。こ
の実施例も、従来例と同様、図７に示す圧電電子部品、
すなわち、互いに対向する主表面上に振動電極１がそれ
ぞれ形成された短冊形状の圧電振動子２と、この圧電振
動子２の端部２ａそれぞれを主表面側から挟持して中央
部２ｂを振動可能に支持する平面視「コ」字形状の保持
枠体３とが一体化されてなる圧電振動体４、及び、この
圧電振動体４を挟み込んで収納する一対のケース体５を
備えた圧電電子部品を製造する方法であるが、この実施
例では、圧電振動子用親基板７上の各部位毎に共振紙周
波数が変動することに起因する特性のばらつきや歩留ま
りの悪化を解消している。
の実施例も、従来例と同様、図７に示す圧電電子部品、
すなわち、互いに対向する主表面上に振動電極１がそれ
ぞれ形成された短冊形状の圧電振動子２と、この圧電振
動子２の端部２ａそれぞれを主表面側から挟持して中央
部２ｂを振動可能に支持する平面視「コ」字形状の保持
枠体３とが一体化されてなる圧電振動体４、及び、この
圧電振動体４を挟み込んで収納する一対のケース体５を
備えた圧電電子部品を製造する方法であるが、この実施
例では、圧電振動子用親基板７上の各部位毎に共振紙周
波数が変動することに起因する特性のばらつきや歩留ま
りの悪化を解消している。
【００３０】すなわち、圧電振動子用親基板７は、構造
上、その長手方向Ｌに沿って共振周波数のばらつきがあ
り、長手方向Ｌに沿った各部分毎の共振周波数が完全に
は一致しないことが知られている。具体的には、図５，
図６に示すように、圧電振動子用親基板７の長手方向中
央部の領域ａ3が最も共振周波数が高く、両端にいくほ
ど共振周波数が低くなる。したがって、共振周波数の変
動域の中央に位置する範囲α（図６参照）を所望する共
振周波数範囲Ｂ（図３，図４参照）と仮定した場合、共
振周波数範囲αに対応した圧電振動子用親基板７の領域
ａ2，ａ4より基板長手方向中央側の領域ａ3の共振周波
数を低域側に移行させる一方、領域ａ2，ａ4より基板長
手方向両端側の領域ａ1，ａ5の共振周波数を高域側に移
行させれば、この圧電振動子用親基板７全域の共振周波
数が所望する共振周波数範囲Ｂとなる。
上、その長手方向Ｌに沿って共振周波数のばらつきがあ
り、長手方向Ｌに沿った各部分毎の共振周波数が完全に
は一致しないことが知られている。具体的には、図５，
図６に示すように、圧電振動子用親基板７の長手方向中
央部の領域ａ3が最も共振周波数が高く、両端にいくほ
ど共振周波数が低くなる。したがって、共振周波数の変
動域の中央に位置する範囲α（図６参照）を所望する共
振周波数範囲Ｂ（図３，図４参照）と仮定した場合、共
振周波数範囲αに対応した圧電振動子用親基板７の領域
ａ2，ａ4より基板長手方向中央側の領域ａ3の共振周波
数を低域側に移行させる一方、領域ａ2，ａ4より基板長
手方向両端側の領域ａ1，ａ5の共振周波数を高域側に移
行させれば、この圧電振動子用親基板７全域の共振周波
数が所望する共振周波数範囲Ｂとなる。
【００３１】ところで、第１の実施例で説明した通り、
保持枠体３によって圧電振動子２の端部を挟持する幅、
すなわち、挟持幅Ｈが狭くなると共振周波数が低くなる
一方、挟持幅Ｈが広くなると共振周波数が高くなる。
保持枠体３によって圧電振動子２の端部を挟持する幅、
すなわち、挟持幅Ｈが狭くなると共振周波数が低くなる
一方、挟持幅Ｈが広くなると共振周波数が高くなる。
【００３２】そこで、本実施例では、保持枠体用親基板
９の凸状部９ａの内端を湾曲させることで、長手方向Ｌ
に沿って凸状部９ａの幅ｈを連続的に変動させており、
これによって挟持幅Ｈを変更し、圧電振動子用親基板７
の共振周波数を所望する周波数範囲Ｂ内に移行するよう
に調整している。具体的には、圧電振動子用親基板７の
領域ａ2，ａ4に対向する保持枠体用親基板９の領域
ｂ2，ｂ4（図５参照）では、凸状部９ａの幅を標準挟持
幅Ｈｓと同等の幅ｈ4前後とする一方、領域ａ3に対応す
る保持枠体用親基板９の領域ｂ3（図５参照）では、凸
状部９ａの幅を標準挟持幅Ｈｓより若干狭い幅ｈ5前後
とし、さらには、領域ａ1，ａ5に対応する保持枠体用親
基板９の領域ｂ1，ｂ5（図５参照）では、凸状部９ａの
幅を標準挟持幅Ｈｓより若干広い幅ｈ6前後としてお
り、このような幅ｈ4〜6となるように、凸状部９ａの内
端を湾曲させている。なお、ここでいう標準挟持幅Ｈｓ
は、第１の実施例で説明した概念をそのまま用いてい
る。
９の凸状部９ａの内端を湾曲させることで、長手方向Ｌ
に沿って凸状部９ａの幅ｈを連続的に変動させており、
これによって挟持幅Ｈを変更し、圧電振動子用親基板７
の共振周波数を所望する周波数範囲Ｂ内に移行するよう
に調整している。具体的には、圧電振動子用親基板７の
領域ａ2，ａ4に対向する保持枠体用親基板９の領域
ｂ2，ｂ4（図５参照）では、凸状部９ａの幅を標準挟持
幅Ｈｓと同等の幅ｈ4前後とする一方、領域ａ3に対応す
る保持枠体用親基板９の領域ｂ3（図５参照）では、凸
状部９ａの幅を標準挟持幅Ｈｓより若干狭い幅ｈ5前後
とし、さらには、領域ａ1，ａ5に対応する保持枠体用親
基板９の領域ｂ1，ｂ5（図５参照）では、凸状部９ａの
幅を標準挟持幅Ｈｓより若干広い幅ｈ6前後としてお
り、このような幅ｈ4〜6となるように、凸状部９ａの内
端を湾曲させている。なお、ここでいう標準挟持幅Ｈｓ
は、第１の実施例で説明した概念をそのまま用いてい
る。
【００３３】そして、このような凸状部９ａを有する保
持枠体用親基板９でもって圧電振動子用親基板７を挟持
したのち、これらの親基板７，９をエポキシ樹脂などの
接着剤（図示していない）によって接着し、各保持枠体
用親基板９を圧電振動子用親基板７に押し付けて接着剤
を加圧しながら硬化させることによって親基板７，９同
士を一体化して構造体１０を作製する。さらに、図８に
示すように、この構造体１０を交差状として設定された
切断線Ｓの各々に沿いながら切断することで、圧電振動
体４、すなわち、圧電振動子２と保持枠体３とを一体化
してなる圧電振動体４を作製する。
持枠体用親基板９でもって圧電振動子用親基板７を挟持
したのち、これらの親基板７，９をエポキシ樹脂などの
接着剤（図示していない）によって接着し、各保持枠体
用親基板９を圧電振動子用親基板７に押し付けて接着剤
を加圧しながら硬化させることによって親基板７，９同
士を一体化して構造体１０を作製する。さらに、図８に
示すように、この構造体１０を交差状として設定された
切断線Ｓの各々に沿いながら切断することで、圧電振動
体４、すなわち、圧電振動子２と保持枠体３とを一体化
してなる圧電振動体４を作製する。
【００３４】このようにして作製された圧電振動体４の
うち、共振振動子用親基板７の領域ａ3から作製された
ものでは、保持枠体３の挟持幅Ｈが標準挟持幅Ｈｓより
狭くなる結果、共振周波数が低域側に移行して、所望す
る共振周波数の許容範囲Ｂ内に納まる。また、共振振動
子用親基板７の領域ａ1，ａ5から作製されたものでは、
保持枠体３の挟持幅Ｈが標準挟持幅Ｈｓより広くなる結
果、共振周波数が高域側に移行して、所望する共振周波
数の許容範囲Ｂに納まる。さらには、共振振動子用親基
板７の領域ａ2，ａ4から作製されたものでは、保持枠体
３の挟持幅Ｈが標準挟持幅Ｈｓと同等となる結果、共振
周波数が調整されることなく、所望する共振周波数の許
容範囲Ｂ内に納まる。したがって、この方法で作製され
た圧電電子部品では、圧電振動子用親基板７の長手方向
Ｌ各部位の共振周波数のばらつきが補正されるので、圧
電振動子用親基板７の全領域から作製された圧電電子部
品の間で共振周波数のばらつくがなくなり、各圧電電子
部品が所望の共振周波数の範囲Ｂ内の共振周波数を有す
ることになる。
うち、共振振動子用親基板７の領域ａ3から作製された
ものでは、保持枠体３の挟持幅Ｈが標準挟持幅Ｈｓより
狭くなる結果、共振周波数が低域側に移行して、所望す
る共振周波数の許容範囲Ｂ内に納まる。また、共振振動
子用親基板７の領域ａ1，ａ5から作製されたものでは、
保持枠体３の挟持幅Ｈが標準挟持幅Ｈｓより広くなる結
果、共振周波数が高域側に移行して、所望する共振周波
数の許容範囲Ｂに納まる。さらには、共振振動子用親基
板７の領域ａ2，ａ4から作製されたものでは、保持枠体
３の挟持幅Ｈが標準挟持幅Ｈｓと同等となる結果、共振
周波数が調整されることなく、所望する共振周波数の許
容範囲Ｂ内に納まる。したがって、この方法で作製され
た圧電電子部品では、圧電振動子用親基板７の長手方向
Ｌ各部位の共振周波数のばらつきが補正されるので、圧
電振動子用親基板７の全領域から作製された圧電電子部
品の間で共振周波数のばらつくがなくなり、各圧電電子
部品が所望の共振周波数の範囲Ｂ内の共振周波数を有す
ることになる。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の第１の発
明によれば、圧電振動子の共振周波数が所望の値より高
い場合には保持枠体の挟持幅を狭め、圧電振動子の共振
周波数が所望の値より低い場合には保持枠体の挟持幅を
広げるといったように、各圧電振動子の共振周波数と所
望の共振周波数との間にばらつきがある場合は、そのば
らつきをなくすように保持枠体の挟持幅を変更すること
で、共振周波数を所望の値に調整することができるよう
になった。したがって、出来上がった圧電電子部品の特
性が均質化するうえ、歩留まりが向上して、その分、コ
ストダウンが達成できた。
明によれば、圧電振動子の共振周波数が所望の値より高
い場合には保持枠体の挟持幅を狭め、圧電振動子の共振
周波数が所望の値より低い場合には保持枠体の挟持幅を
広げるといったように、各圧電振動子の共振周波数と所
望の共振周波数との間にばらつきがある場合は、そのば
らつきをなくすように保持枠体の挟持幅を変更すること
で、共振周波数を所望の値に調整することができるよう
になった。したがって、出来上がった圧電電子部品の特
性が均質化するうえ、歩留まりが向上して、その分、コ
ストダウンが達成できた。
【００３６】第２の発明によれば、圧電振動子用親基板
の長手方向中央部の共振周波数が高く、その長手方向両
端部の共振周波数が低い場合には、凸状部の幅を、保持
枠体用親基板の長手方向中央部では狭くする一方、長手
方向両端部では広くするといったように、圧電振動子用
親基板にその長手方向に沿って共振周波数のばらつきが
ある場合は、そのばらつきをなくすように、圧電振動子
用親基板の各部分における凸状部の幅を調整すること
で、圧電振動子用親基板の各部位の共振周波数を均一化
することができるようになった。したがって、出来上が
った圧電電子部品の特性が均質化するうえ、歩留まりが
向上して、その分、コストダウンが達成できた。
の長手方向中央部の共振周波数が高く、その長手方向両
端部の共振周波数が低い場合には、凸状部の幅を、保持
枠体用親基板の長手方向中央部では狭くする一方、長手
方向両端部では広くするといったように、圧電振動子用
親基板にその長手方向に沿って共振周波数のばらつきが
ある場合は、そのばらつきをなくすように、圧電振動子
用親基板の各部分における凸状部の幅を調整すること
で、圧電振動子用親基板の各部位の共振周波数を均一化
することができるようになった。したがって、出来上が
った圧電電子部品の特性が均質化するうえ、歩留まりが
向上して、その分、コストダウンが達成できた。
【図１】第１、第２の実施例における圧電振動子用親基
板の構成を示す斜視図である。
板の構成を示す斜視図である。
【図２】第１の実施例における保持枠体用親基板の構成
を示す正面図である。
を示す正面図である。
【図３】圧電振動子用親基板の共振周波数のばらつき具
合を示す線図である。
合を示す線図である。
【図４】第１の実施例の方法により作製された圧電電子
部品の共振周波数のばらつき具合を示す線図である。
部品の共振周波数のばらつき具合を示す線図である。
【図５】第２の実施例の圧電電子部品の製造方法の作製
途中の状態を示す分解斜視図である。
途中の状態を示す分解斜視図である。
【図６】圧電振動子用親基板の長手方向各部位の共振周
波数のばらつき具合を示す線図である。
波数のばらつき具合を示す線図である。
【図７】各実施例、および従来例にかかる圧電電子部品
の構造を示す分解斜視図である。
の構造を示す分解斜視図である。
【図８】各実施例、および従来例にかかる圧電電子部品
の製造途中の状態を示す分解斜視図である。
の製造途中の状態を示す分解斜視図である。
２ 圧電振動子 ２ａ 端部 ２ｂ 中央部 ３ 保持枠体 ７ 圧電振動子用親基板 ９ 保持枠体用親基板 ９ａ 凸状部 １０ 構造体 ｈ1〜6 凸状部の幅 Ｈ 挟持幅
Claims (4)
- 【請求項１】 保持枠体によって、圧電振動子の端部そ
れぞれを主表面側から挟持して当該圧電振動子の中央部
を振動可能に支持してなる圧電電子部品を製造する方法
であって、 各圧電振動子の共振周波数に対応して前記保持枠体によ
る圧電振動子端部の挟持幅を変更することで、当該圧電
振動子の共振周波数を所望の周波数に調整することを特
徴とする圧電電子部品の製造方法。 - 【請求項２】 前記圧電振動子の共振周波数が所望する
共振周波数より高い場合には、前記挟持幅を狭める一
方、前記圧電振動子の共振周波数が所望する共振周波数
より低い場合には、前記挟持幅を広げることを特徴とす
る請求項１記載の圧電電子部品の製造方法。 - 【請求項３】 圧電振動子用親基板と、一面の端部それ
ぞれに長手方向連続した凸状部を有する一対の保持枠体
用親基板とを用意し、前記圧電振動子用親基板の両面そ
れぞれに、前記保持枠体用親基板の一面を互いに対称的
に面着させて構造体を形成したのち、当該構造体を、幅
方向に沿って切断することで、圧電振動子を保持枠体で
振動可能に支持してなる圧電電子部品を複数、製造する
方法であって、 前記圧電振動子用親基板の長手方向に沿った共振周波数
のばらつきに対応して、前記凸状部の幅を前記保持枠体
用親基板の長手方向に沿って変動させることを特徴とす
る圧電電子部品の製造方法。 - 【請求項４】 前記凸状部の幅を、保持枠体用親基板の
長手方向中央部では狭くする一方、長手方向両端部では
広くすることを特徴とする請求項３記載の圧電電子部品
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00685896A JP3261962B2 (ja) | 1996-01-18 | 1996-01-18 | 圧電電子部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00685896A JP3261962B2 (ja) | 1996-01-18 | 1996-01-18 | 圧電電子部品の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09199965A true JPH09199965A (ja) | 1997-07-31 |
| JP3261962B2 JP3261962B2 (ja) | 2002-03-04 |
Family
ID=11649946
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP00685896A Expired - Lifetime JP3261962B2 (ja) | 1996-01-18 | 1996-01-18 | 圧電電子部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3261962B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2941016A4 (en) * | 2012-12-25 | 2016-09-21 | Kyocera Corp | SOUND GENERATOR, SOUND GENERATING DEVICE AND ELECTRONIC DEVICE |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4539138B2 (ja) * | 2004-03-29 | 2010-09-08 | 株式会社村田製作所 | 圧電共振子の製造方法 |
-
1996
- 1996-01-18 JP JP00685896A patent/JP3261962B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2941016A4 (en) * | 2012-12-25 | 2016-09-21 | Kyocera Corp | SOUND GENERATOR, SOUND GENERATING DEVICE AND ELECTRONIC DEVICE |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3261962B2 (ja) | 2002-03-04 |
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