JPH09201818A - マルチワイヤーソー - Google Patents
マルチワイヤーソーInfo
- Publication number
- JPH09201818A JPH09201818A JP1148096A JP1148096A JPH09201818A JP H09201818 A JPH09201818 A JP H09201818A JP 1148096 A JP1148096 A JP 1148096A JP 1148096 A JP1148096 A JP 1148096A JP H09201818 A JPH09201818 A JP H09201818A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- pulley
- groove
- ceramics
- grooves
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 マルチワイヤーソーで微小ピッチの精密切断
加工をすること。 【解決手段】 被加工物の切断及び溝加工に関与するワ
イヤー巻き付け部の滑車材質をセラミックス等の低熱膨
張、弾性変形の少ない材質にし、切断に関与しないワイ
ヤー予備巻き付け部の供給側及び排出側に、滑車溝の摩
耗が少ない樹脂材質として多溝滑車を構成する。
加工をすること。 【解決手段】 被加工物の切断及び溝加工に関与するワ
イヤー巻き付け部の滑車材質をセラミックス等の低熱膨
張、弾性変形の少ない材質にし、切断に関与しないワイ
ヤー予備巻き付け部の供給側及び排出側に、滑車溝の摩
耗が少ない樹脂材質として多溝滑車を構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、シリコン、水晶、
磁気ヘッド等の脆性材料を微小ピッチの精密切断、ある
いは微小ピッチの精密溝加工を行なうマルチワイヤーソ
ーに関する。
磁気ヘッド等の脆性材料を微小ピッチの精密切断、ある
いは微小ピッチの精密溝加工を行なうマルチワイヤーソ
ーに関する。
【０００２】
【従来の技術】被加工物に多数の溝入れ加工または、被
加工物を多数に切断加工するマルチワイヤーソーは（図
２参照）、新線ボビン１３から供給された切断工具とな
るワイヤー１は、多溝滑車３ａ及び３ｂの溝に案内され
所定のピッチ（図示しない）で多条配列され、回収ボビ
ン１５へ排出される。この多条配列されたワイヤー１を
被加工物５に対して平行に高速往復走行させ、前記ワイ
ヤー１に被加工物５を押し付け、ワイヤーと被加工物の
接触する、摺動部に遊離砥粒を供給しながら多数の切断
又は多数の溝入れ加工を行う。ワイヤーを巻き付ける多
溝滑車３ａ及び３ｂの材質には、一般に製作が容易な樹
脂材（例えば、超高分子量ポリエチレン）が使用されて
いる。
加工物を多数に切断加工するマルチワイヤーソーは（図
２参照）、新線ボビン１３から供給された切断工具とな
るワイヤー１は、多溝滑車３ａ及び３ｂの溝に案内され
所定のピッチ（図示しない）で多条配列され、回収ボビ
ン１５へ排出される。この多条配列されたワイヤー１を
被加工物５に対して平行に高速往復走行させ、前記ワイ
ヤー１に被加工物５を押し付け、ワイヤーと被加工物の
接触する、摺動部に遊離砥粒を供給しながら多数の切断
又は多数の溝入れ加工を行う。ワイヤーを巻き付ける多
溝滑車３ａ及び３ｂの材質には、一般に製作が容易な樹
脂材（例えば、超高分子量ポリエチレン）が使用されて
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】図３に従来の樹脂材か
らなる多溝滑車による加工精度例を示す。図３は磁気ヘ
ッドのベースとなるＡｌ−Ｔｉ−Ｃ基板にマルチワイヤ
ーソーで多数の溝入れ加工したときの累積ピッチ誤差例
を示す。図３に示す例は、浅い多数の溝を入れて、累積
ピッチ誤差を測定したものである。樹脂材の多溝滑車で
は、ワイヤーを巻き付けている、樹脂剤材からなる多溝
滑車の熱変形による伸び、溝の変形（弾性変形）により
切断精度が悪く１０μｍ近くにもなる。さらに、加工量
を増していき、切断加工をした場合には、切断面に数μ
ｍのうねりが発生する。この為、後工程での研摩代が増
加し、又歩留まりが低下し生産性が低い。本発明の目的
は、被加工物を、高精度に多数に切断加工するマルチワ
イヤーソーを提供することである。
らなる多溝滑車による加工精度例を示す。図３は磁気ヘ
ッドのベースとなるＡｌ−Ｔｉ−Ｃ基板にマルチワイヤ
ーソーで多数の溝入れ加工したときの累積ピッチ誤差例
を示す。図３に示す例は、浅い多数の溝を入れて、累積
ピッチ誤差を測定したものである。樹脂材の多溝滑車で
は、ワイヤーを巻き付けている、樹脂剤材からなる多溝
滑車の熱変形による伸び、溝の変形（弾性変形）により
切断精度が悪く１０μｍ近くにもなる。さらに、加工量
を増していき、切断加工をした場合には、切断面に数μ
ｍのうねりが発生する。この為、後工程での研摩代が増
加し、又歩留まりが低下し生産性が低い。本発明の目的
は、被加工物を、高精度に多数に切断加工するマルチワ
イヤーソーを提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、被加工物の切断及び溝加工に関与するワ
イヤー巻き付け部の滑車材質をセラミックス等の低熱膨
張、弾性変形の少ない材質にし、切断に関与しないワイ
ヤー予備巻き付け部の供給側及び排出側に、滑車溝の摩
耗が少ない樹脂材質として多溝滑車を構成する。
に、本発明は、被加工物の切断及び溝加工に関与するワ
イヤー巻き付け部の滑車材質をセラミックス等の低熱膨
張、弾性変形の少ない材質にし、切断に関与しないワイ
ヤー予備巻き付け部の供給側及び排出側に、滑車溝の摩
耗が少ない樹脂材質として多溝滑車を構成する。
【０００５】
【発明の実施の形態】被加工物に多数の溝入れ加工また
は、被加工物を多数に切断加工するマルチワイヤーソー
は、図２に示す如く新線ボビン１３から供給された切断
工具となるワイヤー１は、多溝滑車３ａ及び３ｂの溝に
案内され所定のピッチ（図示しない）で多条配列され、
回収ボビン１５へ排出される。この多条配列されたワイ
ヤー１を被加工物５に対して平行に高速往復走行させ、
前記ワイヤー１に被加工物５を押し付け、ワイヤーと被
加工物の接触する、摺動部に遊離砥粒を供給しながら多
数の切断又は多数の溝入れ加工を行う。
は、被加工物を多数に切断加工するマルチワイヤーソー
は、図２に示す如く新線ボビン１３から供給された切断
工具となるワイヤー１は、多溝滑車３ａ及び３ｂの溝に
案内され所定のピッチ（図示しない）で多条配列され、
回収ボビン１５へ排出される。この多条配列されたワイ
ヤー１を被加工物５に対して平行に高速往復走行させ、
前記ワイヤー１に被加工物５を押し付け、ワイヤーと被
加工物の接触する、摺動部に遊離砥粒を供給しながら多
数の切断又は多数の溝入れ加工を行う。
【０００６】本発明によるマルチワイヤーソーで使用し
ている、ワイヤーを巻き付ける多溝滑車３ａ及び３ｂの
構成を図１に基づいて説明する。図１の（ａ）は本発明
による多溝滑車の概略構成図である。図から明かなよう
に、樹脂材−セラミックス−樹脂材で構成されている。
図１の（ｂ）は、多溝滑車３ａ及び３ｂの部分拡大図
である。ワイヤー１を巻き付ける多溝滑車３ａ及び３ｂ
は所定のピッチＰでＶ形の溝が、セラミックとセラミッ
クを挟む両端の樹脂材とに設けられている。滑車の作製
は、旋盤等の回転装置に滑車を装着し、セラミックを挟
む両端の樹脂材部に溝加工を切削バイト等の刃物で切削
加工で形成し、セラミックス部の溝は研削砥石により研
削加工により形成してる。
ている、ワイヤーを巻き付ける多溝滑車３ａ及び３ｂの
構成を図１に基づいて説明する。図１の（ａ）は本発明
による多溝滑車の概略構成図である。図から明かなよう
に、樹脂材−セラミックス−樹脂材で構成されている。
図１の（ｂ）は、多溝滑車３ａ及び３ｂの部分拡大図
である。ワイヤー１を巻き付ける多溝滑車３ａ及び３ｂ
は所定のピッチＰでＶ形の溝が、セラミックとセラミッ
クを挟む両端の樹脂材とに設けられている。滑車の作製
は、旋盤等の回転装置に滑車を装着し、セラミックを挟
む両端の樹脂材部に溝加工を切削バイト等の刃物で切削
加工で形成し、セラミックス部の溝は研削砥石により研
削加工により形成してる。
【０００７】新線ボビン１３から供給されたワイヤー１
は（図２、図１参照）、対向して、平行に設置された、
多溝滑車３ａと３ｂとに、始めに一方樹脂材に設けられ
たＶ溝に案内され巻き付けを行ない、つづいて、セラミ
ックス材に所定のピッチで多条設けられたＶ溝に巻き付
ける。さらにワイヤー１は他方の樹脂材に巻き付けられ
回収ボビン１５へ回収される。
は（図２、図１参照）、対向して、平行に設置された、
多溝滑車３ａと３ｂとに、始めに一方樹脂材に設けられ
たＶ溝に案内され巻き付けを行ない、つづいて、セラミ
ックス材に所定のピッチで多条設けられたＶ溝に巻き付
ける。さらにワイヤー１は他方の樹脂材に巻き付けられ
回収ボビン１５へ回収される。
【０００８】本発明によれば高精度な切断は以下のよう
に達成される。高精度な切断、滑車の材質がセラミック
ス（例えば、チッ化硅素、アルミナ）の部分に形成され
たＶ溝に、巻き付けてあるワイヤーのみを切断加工に使
うことにより達成できる。ワイヤーの直径は０．１６ｍ
ｍのピアノ線、研磨液はＧＣ＃１２００をラッピングオ
イルに混合比１．５：１で混合したものを使用し、ワイ
ヤー走行速度を２００ｍ／分、被加工物の送り速度を５
ｍｍ／ｈとして、Ａｌ−Ｔｉ−Ｃを溝加工したときの実
験結果を図４に示す。図４に本発明による多溝滑車を備
えたマルチワイヤーソーによる加工精度例を示す。図４
は、Ａｌ−Ｔｉ−Ｃ基板に本発明によるワイヤーソーで
溝加工したときの累積ピッチ誤差を示す。この結果（図
４参照）、累積ピッチ誤差は５μｍ以下で安定してい
る。さらにまた、切断面形状も１μｍ以下と良好であ
る。
に達成される。高精度な切断、滑車の材質がセラミック
ス（例えば、チッ化硅素、アルミナ）の部分に形成され
たＶ溝に、巻き付けてあるワイヤーのみを切断加工に使
うことにより達成できる。ワイヤーの直径は０．１６ｍ
ｍのピアノ線、研磨液はＧＣ＃１２００をラッピングオ
イルに混合比１．５：１で混合したものを使用し、ワイ
ヤー走行速度を２００ｍ／分、被加工物の送り速度を５
ｍｍ／ｈとして、Ａｌ−Ｔｉ−Ｃを溝加工したときの実
験結果を図４に示す。図４に本発明による多溝滑車を備
えたマルチワイヤーソーによる加工精度例を示す。図４
は、Ａｌ−Ｔｉ−Ｃ基板に本発明によるワイヤーソーで
溝加工したときの累積ピッチ誤差を示す。この結果（図
４参照）、累積ピッチ誤差は５μｍ以下で安定してい
る。さらにまた、切断面形状も１μｍ以下と良好であ
る。
【０００９】さらに本発明による、マルチワイヤーソー
は、滑車寿命の向上にも寄与する。なぜなら、本発明に
係るマルチワイヤーソーでは、新線ボビン１３から供給
されたワイヤー１は、始めに樹脂材部に設けられたＶ溝
に案内され予備巻き付けを行ない、つづいて、実際に切
断に関与する部分のワイヤー巻き付けを切断精度の安定
しているセラミックスに形成されたのＶ溝に所定のピッ
チで多条配列する。さらにワイヤー１は排出側に配置さ
れた樹脂部に予備巻き付けを行い回収ボビン１５へ回収
される。滑車の寿命は、滑車溝の摩耗が特に激しいワイ
ヤーの供給側及び排出側での滑車溝の摩耗量によってき
まるのであるが、本発明によるマルチワイヤーソーにお
いては、供給側及び排出側でのＶ溝の滑車溝を、耐摩耗
性の良好な樹脂材で形成してあるので、滑車の寿命が向
上する。
は、滑車寿命の向上にも寄与する。なぜなら、本発明に
係るマルチワイヤーソーでは、新線ボビン１３から供給
されたワイヤー１は、始めに樹脂材部に設けられたＶ溝
に案内され予備巻き付けを行ない、つづいて、実際に切
断に関与する部分のワイヤー巻き付けを切断精度の安定
しているセラミックスに形成されたのＶ溝に所定のピッ
チで多条配列する。さらにワイヤー１は排出側に配置さ
れた樹脂部に予備巻き付けを行い回収ボビン１５へ回収
される。滑車の寿命は、滑車溝の摩耗が特に激しいワイ
ヤーの供給側及び排出側での滑車溝の摩耗量によってき
まるのであるが、本発明によるマルチワイヤーソーにお
いては、供給側及び排出側でのＶ溝の滑車溝を、耐摩耗
性の良好な樹脂材で形成してあるので、滑車の寿命が向
上する。
【００１０】
【発明の効果】上述のごとく本発明によれば、切断精度
及び滑車寿命が向上し製品歩留まり及び生産性が向上す
る。
及び滑車寿命が向上し製品歩留まり及び生産性が向上す
る。
【図１】本発明に、使用する多溝滑車の概略構成を示し
た正面図。
た正面図。
【図２】本発明によるマルチワイヤーソーの概略構成を
示した正面図。
示した正面図。
【図３】従来の、樹脂滑車を使用したマルチワイヤーソ
ーによる加工精度例。
ーによる加工精度例。
【図４】本発明によるマルチワイヤーソーによる加工精
度例。
度例。
１ ワイヤー ３ａ、３ｂ 多溝滑車 ５ 被加工物 １１ 上下機構 １３ 新線ボビン １５ 回収ボビン
Claims (1)
- 【請求項１】 対向して平行に配設された一対の多溝滑
車を有し、前記多溝滑車の多数の溝に、平行に多条配列
したワイヤーが高速往復走行し、上記ワイヤーに被加工
物を押し付け、被加工物とワイヤーの摺動部に遊離砥粒
を供給しながら、切断加工を行なうマルチワイヤーソー
であって、 前記多溝滑車が、セラミックとセラミックを挟む両端の
樹脂材とで構成されており、セラミックとセラミックを
挟む両端の樹脂材に多数の溝が形成されていることを特
徴とするマルチワイヤーソー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1148096A JPH09201818A (ja) | 1996-01-26 | 1996-01-26 | マルチワイヤーソー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1148096A JPH09201818A (ja) | 1996-01-26 | 1996-01-26 | マルチワイヤーソー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09201818A true JPH09201818A (ja) | 1997-08-05 |
Family
ID=11779228
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1148096A Pending JPH09201818A (ja) | 1996-01-26 | 1996-01-26 | マルチワイヤーソー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09201818A (ja) |
-
1996
- 1996-01-26 JP JP1148096A patent/JPH09201818A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2015066677A (ja) | ワークピースから多数のウェハを同時に切り出すための方法 | |
| JPH09254006A (ja) | ワイヤーソー用ワイヤー | |
| JP2000158319A (ja) | ダイヤモンドワイヤーソー及び切断加工方法 | |
| JP2009184023A (ja) | ワイヤソーによるワーク切断方法及びワイヤソー切断装置 | |
| JP2006007387A (ja) | 超砥粒ワイヤソー | |
| US8191545B2 (en) | Electroformed thin-wall core drills impregnated with abrasives | |
| CN105835244B (zh) | 线锯以及防止锯线脱槽的运转方法 | |
| JP2000094297A (ja) | マルチワイヤーソー | |
| JPH10217095A (ja) | ワイヤーソーによるワークの切断方法およびワイヤーソー | |
| JPH1044142A (ja) | マルチワイヤーソー | |
| JPH09272122A (ja) | マルチワイヤソーによる切断方法 | |
| TW201726323A (zh) | 固定磨粒線鋸及固定磨粒鋼絲的修整方法 | |
| JP2003159642A (ja) | ワーク切断方法およびマルチワイヤソーシステム | |
| JP2000288903A (ja) | マルチワイヤーソーを用いた平面研削方法及び平面研削装置 | |
| JPH09201818A (ja) | マルチワイヤーソー | |
| JP6719637B2 (ja) | ワイヤソーによる溝加工装置とその方法 | |
| US7614395B2 (en) | Electroformed thin-wall cutting saw impregnated with abrasives | |
| JP2000135663A (ja) | 被加工物自転型ワイヤソー及びウェハ製造方法 | |
| KR102880759B1 (ko) | 공작물로부터 복수의 디스크를 동시에 분리하기 위한 방법 및 장치 | |
| US6406355B1 (en) | Surface modifying process | |
| JPH1199465A (ja) | 固定砥粒ワイヤソー | |
| JPH04135120A (ja) | 小径工具におけるねじれ溝の加工方法 | |
| JPH09254142A (ja) | ワイヤーソー及び円柱形ワークを切断する方法 | |
| JP2003025210A (ja) | ワイヤソー装置及び同時切断方法 | |
| JP2002370154A (ja) | ワイヤソー装置及び同時切断方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20051129 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20060207 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20060606 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |