JPH09208008A - 基板搬送装置および基板搬送方法 - Google Patents
基板搬送装置および基板搬送方法Info
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- JPH09208008A JPH09208008A JP1859896A JP1859896A JPH09208008A JP H09208008 A JPH09208008 A JP H09208008A JP 1859896 A JP1859896 A JP 1859896A JP 1859896 A JP1859896 A JP 1859896A JP H09208008 A JPH09208008 A JP H09208008A
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- Japan
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- handling arm
- cassette
- handling
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 92
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
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- Liquid Crystal (AREA)
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 大型で薄い基板を破損することなくカセット
に搬出入できる基板搬送装置および基板搬送方法を提供
する。 【解決手段】 幅および厚みの小さい第一のハンドリン
グアーム１を用いてカセット内でたわんだ状態にある基
板４を水平な状態にしたのち、基板４を保持する第二の
ハンドリングアーム２を移動させることにより、基板を
破損することなく基板収納棚６のピッチが小さいカセッ
ト５から基板４を搬出入する。
に搬出入できる基板搬送装置および基板搬送方法を提供
する。 【解決手段】 幅および厚みの小さい第一のハンドリン
グアーム１を用いてカセット内でたわんだ状態にある基
板４を水平な状態にしたのち、基板４を保持する第二の
ハンドリングアーム２を移動させることにより、基板を
破損することなく基板収納棚６のピッチが小さいカセッ
ト５から基板４を搬出入する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば液晶表示
装置等に用いられるガラス基板等の搬送装置および搬送
方法に関するものである。
装置等に用いられるガラス基板等の搬送装置および搬送
方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、基板搬送、特にカセットからの基
板の搬出入においては、単一のハンドリングアームを用
いて行われていた。例えば、特開昭６３ー５００３５号
公報や、特開平４ー２６７５３９号公報に開示されたも
のでは、基板を安定に保持できる適当な幅および真空等
による吸着機構を有した単一のハンドリングアームを用
いて基板を１枚ずつカセットから搬出入している。
板の搬出入においては、単一のハンドリングアームを用
いて行われていた。例えば、特開昭６３ー５００３５号
公報や、特開平４ー２６７５３９号公報に開示されたも
のでは、基板を安定に保持できる適当な幅および真空等
による吸着機構を有した単一のハンドリングアームを用
いて基板を１枚ずつカセットから搬出入している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の基板搬送は単一
のハンドリングアームで行われていたため、比較的小さ
く厚い基板に対しては特に問題は生じなかったが、大型
で薄い基板がカセットに複数枚収納されている場合、図
６および図７に示すように基板４は大きくたわんだ状態
にあり、基板４と基板４の間にハンドリングアーム２を
挿入する際、ハンドリングアーム２を基板４に接触する
ことなく基板間に挿入することは極めて困難で、基板４
を破損するなどの問題があった。また、基板４とハンド
リングアーム２の接触を防止するためにカセット５の基
板収納棚６のピッチを大きくした場合、基板の収納効率
が低下する問題があった。
のハンドリングアームで行われていたため、比較的小さ
く厚い基板に対しては特に問題は生じなかったが、大型
で薄い基板がカセットに複数枚収納されている場合、図
６および図７に示すように基板４は大きくたわんだ状態
にあり、基板４と基板４の間にハンドリングアーム２を
挿入する際、ハンドリングアーム２を基板４に接触する
ことなく基板間に挿入することは極めて困難で、基板４
を破損するなどの問題があった。また、基板４とハンド
リングアーム２の接触を防止するためにカセット５の基
板収納棚６のピッチを大きくした場合、基板の収納効率
が低下する問題があった。
【０００４】本発明は、上記のような問題を解決するた
めになされたもので、カセットにおける基板の収納効率
を低下させることなく、かつ基板を破損せずにカセット
から任意の基板を搬出入できる基板搬送装置および基板
搬送方法を提供することを目的とする。
めになされたもので、カセットにおける基板の収納効率
を低下させることなく、かつ基板を破損せずにカセット
から任意の基板を搬出入できる基板搬送装置および基板
搬送方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明に係わる基板搬
送装置は、カセット内の収納棚に基板を搬出入すると共
に、各別に水平および垂直移動が可能な第一および第二
のハンドリングアームを備えているものである。また、
第一のハンドリングアームの幅および厚みは、第二のハ
ンドリングアームの幅および厚みより小さく形成されて
いる。さらに、第一のハンドリングアームは、基板の中
央を持ち上げられるよう構成されているものである。ま
た、第二のハンドリングアームは、基板を安定に保持で
きるよう構成されているものである。また、搬送される
基板サイズは、２００ｍｍ角以上、厚さは０．７ｍｍ以
下のものであるまた、基板搬送方法としては、第一のハ
ンドリングアームを用いてたわんだ状態にある基板を水
平にする工程と、水平にされた基板を第二のハンドリン
グアームを用いて安定に保持する工程、保持した基板を
カセットの収納棚に搬出入する工程を含んで搬送するよ
うにしたものである。
送装置は、カセット内の収納棚に基板を搬出入すると共
に、各別に水平および垂直移動が可能な第一および第二
のハンドリングアームを備えているものである。また、
第一のハンドリングアームの幅および厚みは、第二のハ
ンドリングアームの幅および厚みより小さく形成されて
いる。さらに、第一のハンドリングアームは、基板の中
央を持ち上げられるよう構成されているものである。ま
た、第二のハンドリングアームは、基板を安定に保持で
きるよう構成されているものである。また、搬送される
基板サイズは、２００ｍｍ角以上、厚さは０．７ｍｍ以
下のものであるまた、基板搬送方法としては、第一のハ
ンドリングアームを用いてたわんだ状態にある基板を水
平にする工程と、水平にされた基板を第二のハンドリン
グアームを用いて安定に保持する工程、保持した基板を
カセットの収納棚に搬出入する工程を含んで搬送するよ
うにしたものである。
【０００６】
実施の形態１．以下、この発明の一実施の形態である基
板搬送装置を図について説明する。図１は本発明の基板
搬送装置の斜視図、図２、図３、図４は本装置によるカ
セットから基板を搬出する工程を示す模式図、図５は本
装置の第一および第二のハンドリングアームがカセット
内に挿入された状態を示す断面図である。図において、
１はカセットに収納されたわんだ状態にある基板を水平
な状態に持ち上げるための第一のハンドリングアーム
で、基板を傷つけることなく基板間に挿入できるよう、
ハンドリングアームの幅および厚みは小さく形成されて
いる。２は基板を安定に保持するための第二のハンドリ
ングアームで、適度な幅を有したＵ字型をしており、真
空吸着等の機能を有している。３は第一のハンドリング
アーム１のカセット５への挿入位置を基板のたわみ量に
応じて調整するための高さ調整機構である。基板のたわ
み量は、基板の大きさ、厚みおよび材質により異なるた
め、基板の種類が変わる場合に調整を必要とする。４は
基板、５はカセット、６はカセット５の基板収納棚であ
る。
板搬送装置を図について説明する。図１は本発明の基板
搬送装置の斜視図、図２、図３、図４は本装置によるカ
セットから基板を搬出する工程を示す模式図、図５は本
装置の第一および第二のハンドリングアームがカセット
内に挿入された状態を示す断面図である。図において、
１はカセットに収納されたわんだ状態にある基板を水平
な状態に持ち上げるための第一のハンドリングアーム
で、基板を傷つけることなく基板間に挿入できるよう、
ハンドリングアームの幅および厚みは小さく形成されて
いる。２は基板を安定に保持するための第二のハンドリ
ングアームで、適度な幅を有したＵ字型をしており、真
空吸着等の機能を有している。３は第一のハンドリング
アーム１のカセット５への挿入位置を基板のたわみ量に
応じて調整するための高さ調整機構である。基板のたわ
み量は、基板の大きさ、厚みおよび材質により異なるた
め、基板の種類が変わる場合に調整を必要とする。４は
基板、５はカセット、６はカセット５の基板収納棚であ
る。
【０００７】次に本実施の形態の基板搬送装置によるカ
セット５から基板４の搬出工程について説明する。まず
大きくたわんだ基板４が収納されたカセット５に第一の
ハンドリングアーム１と第二のハンドリングアーム２を
接近させ、搬出する基板４に対応する位置に停止して図
２−ａの状態にする。次に第一のハンドリングアーム１
を基板間に挿入して図２ーｂの状態にする。次に図３−
ａに示すように、第一のハンドリングアーム１を上昇さ
せることによりたわんだ状態にある基板４を水平な状態
にする。次に水平になった基板４の下に第二のハンドリ
ングアーム２を挿入して図３ーｂの状態にする。ここ
で、基板４と第二のハンドリングアーム２の間隙は、図
５に示すように図７の従来例と比較して大きくなってい
るため、余裕を持って基板間に第二のハンドリングアー
ム２を挿入することができる。次に図４−ａに示すよう
に、基板間に挿入された第二のハンドリングアーム２を
上昇させることにより、搬出する基板４をカセット５の
基板収納棚６から離れた状態にする。この時点で、基板
４の保持を確実なものにするため、第二のハンドリング
アーム２により真空吸着等を行ってもよい。最後に図４
ーｂに示すように、第一のハンドリングアーム１と第二
のハンドリングアーム２を基板４を保持した状態で同時
に水平移動させることにより、カセット５から基板４を
搬出する。また、基板４をカセット５に搬入する場合に
は、上述の搬出工程と逆の工程を行う。本構成の基板搬
送装置を用いて、サイズが２００ｍｍ角以上、厚みが
０．７ｍｍ以下の基板をカセットから搬出入させたとこ
ろ、基板を破損せずに搬送することができた。
セット５から基板４の搬出工程について説明する。まず
大きくたわんだ基板４が収納されたカセット５に第一の
ハンドリングアーム１と第二のハンドリングアーム２を
接近させ、搬出する基板４に対応する位置に停止して図
２−ａの状態にする。次に第一のハンドリングアーム１
を基板間に挿入して図２ーｂの状態にする。次に図３−
ａに示すように、第一のハンドリングアーム１を上昇さ
せることによりたわんだ状態にある基板４を水平な状態
にする。次に水平になった基板４の下に第二のハンドリ
ングアーム２を挿入して図３ーｂの状態にする。ここ
で、基板４と第二のハンドリングアーム２の間隙は、図
５に示すように図７の従来例と比較して大きくなってい
るため、余裕を持って基板間に第二のハンドリングアー
ム２を挿入することができる。次に図４−ａに示すよう
に、基板間に挿入された第二のハンドリングアーム２を
上昇させることにより、搬出する基板４をカセット５の
基板収納棚６から離れた状態にする。この時点で、基板
４の保持を確実なものにするため、第二のハンドリング
アーム２により真空吸着等を行ってもよい。最後に図４
ーｂに示すように、第一のハンドリングアーム１と第二
のハンドリングアーム２を基板４を保持した状態で同時
に水平移動させることにより、カセット５から基板４を
搬出する。また、基板４をカセット５に搬入する場合に
は、上述の搬出工程と逆の工程を行う。本構成の基板搬
送装置を用いて、サイズが２００ｍｍ角以上、厚みが
０．７ｍｍ以下の基板をカセットから搬出入させたとこ
ろ、基板を破損せずに搬送することができた。
【０００８】この発明によれば、まず複数のたわんだ状
態にある基板４が収納されたカセット５に、幅および厚
みの小さい第一のハンドリングアーム１を挿入して、た
わんだ状態にある基板４を水平な状態にしたのち、基板
を保持するための第一のハンドリングアーム１より幅、
厚みともに大きい第二のハンドリングアーム２を移動さ
せるため、大型で薄い基板の搬送においても、基板を破
損することなく基板収納棚６のピッチが小さいカセット
５から基板４を搬出入することができる。
態にある基板４が収納されたカセット５に、幅および厚
みの小さい第一のハンドリングアーム１を挿入して、た
わんだ状態にある基板４を水平な状態にしたのち、基板
を保持するための第一のハンドリングアーム１より幅、
厚みともに大きい第二のハンドリングアーム２を移動さ
せるため、大型で薄い基板の搬送においても、基板を破
損することなく基板収納棚６のピッチが小さいカセット
５から基板４を搬出入することができる。
【図１】 この発明の実施の形態１による基板搬送装置
を示す図である。
を示す図である。
【図２】 この発明の実施の形態１による基板搬送装置
の基板搬出工程を示す図である。
の基板搬出工程を示す図である。
【図３】 この発明の実施の形態１による基板搬送装置
の基板搬出工程を示す図である。
の基板搬出工程を示す図である。
【図４】 この発明の実施の形態１による基板搬送装置
の基板搬出工程を示す図である。
の基板搬出工程を示す図である。
【図５】 この発明の実施の形態１による基板搬送装置
の第一および第二のハンドリングアームがカセット内に
挿入された状態を示す断面図である。
の第一および第二のハンドリングアームがカセット内に
挿入された状態を示す断面図である。
【図６】 従来のこの種基板搬送装置のハンドリングア
ームを示す図である。
ームを示す図である。
【図７】 従来の基板搬送装置のカセット内でのハンド
リングアームと基板の位置関係を示す断面図である。
リングアームと基板の位置関係を示す断面図である。
１ 第一のハンドリングアーム、２ 第二のハンドリン
グアーム、３ 第一のハンドリングアームの高さ調整機
構、４ 基板、５ カセット、６ 基板収納棚。
グアーム、３ 第一のハンドリングアームの高さ調整機
構、４ 基板、５ カセット、６ 基板収納棚。
Claims (6)
- 【請求項１】 カセット内の収納棚に基板を搬出入する
と共に、各別に水平および垂直移動が可能な第一および
第二のハンドリングアームを備えたことを特徴とする基
板搬送装置。 - 【請求項２】 第一のハンドリングアームの幅および厚
みは、第二のハンドリングアームの幅および厚みより小
さいことを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。 - 【請求項３】 第一のハンドリングアームは、基板の中
央を持ち上げることができるよう構成されていることを
特徴とする請求項１または請求項２記載の基板搬送装
置。 - 【請求項４】 第二のハンドリングアームは、基板を安
定に保持できるよう構成されていることを特徴とする請
求項１〜３のいずれか一項記載の基板搬送装置。 - 【請求項５】 搬送される基板サイズは、２００ｍｍ角
以上、厚さは０．７ｍｍ以下であることを特徴とする請
求項１〜４のいずれか一項記載の基板搬送装置。 - 【請求項６】 第一のハンドリングアームを用いてたわ
んだ状態にある基板を水平にする工程、上記水平にされ
た基板を第二のハンドリングアームを用いて安定に保持
する工程、保持した基板をカセットの収納棚に搬出入す
る工程を含むことを特徴とする基板搬送方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1859896A JP3659724B2 (ja) | 1996-02-05 | 1996-02-05 | 基板搬送装置および基板搬送方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1859896A JP3659724B2 (ja) | 1996-02-05 | 1996-02-05 | 基板搬送装置および基板搬送方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09208008A true JPH09208008A (ja) | 1997-08-12 |
| JP3659724B2 JP3659724B2 (ja) | 2005-06-15 |
Family
ID=11976087
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1859896A Expired - Fee Related JP3659724B2 (ja) | 1996-02-05 | 1996-02-05 | 基板搬送装置および基板搬送方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3659724B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7547175B2 (en) | 2001-06-26 | 2009-06-16 | Hitachi Plant Technologies, Ltd. | Transfer device for substrate and storing device and hand therein, and substrate handled by the device |
| CN120237076A (zh) * | 2025-05-29 | 2025-07-01 | 成都思越智能装备股份有限公司 | 晶圆搬运末端执行器位姿调整机构、搬运系统及搬运方法 |
-
1996
- 1996-02-05 JP JP1859896A patent/JP3659724B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7547175B2 (en) | 2001-06-26 | 2009-06-16 | Hitachi Plant Technologies, Ltd. | Transfer device for substrate and storing device and hand therein, and substrate handled by the device |
| CN120237076A (zh) * | 2025-05-29 | 2025-07-01 | 成都思越智能装备股份有限公司 | 晶圆搬运末端执行器位姿调整机构、搬运系统及搬运方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3659724B2 (ja) | 2005-06-15 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20041012 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20041019 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20041130 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20050111 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
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| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050209 |
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