JPH09210690A - 角速度検出センサ - Google Patents
角速度検出センサInfo
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- JPH09210690A JPH09210690A JP8014025A JP1402596A JPH09210690A JP H09210690 A JPH09210690 A JP H09210690A JP 8014025 A JP8014025 A JP 8014025A JP 1402596 A JP1402596 A JP 1402596A JP H09210690 A JPH09210690 A JP H09210690A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 色々な方向に作用する回転角速度を簡単かつ
安価な構成で検出する。 【解決手段】 水晶のＺ板をエッチング加工して、その
外周方向に１２０゜間隔で放射状に伸びた軸片部４−
１，４−２，４−３を一体的に有する水晶板４を形成
し、この水晶板４の軸片部４−１，４−２，４−３の先
端部ＳＴ１，ＳＴ２，ＳＴ３に励振部Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３
およびセンサ部Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３をそれぞれ構築し、こ
の軸片部４−１，４−２，４−３に構築した励振部Ｒ
１，Ｒ２，Ｒ３およびセンサ部Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３によっ
て、Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３軸方向の回りに作用する回転角速
度を検出する。
安価な構成で検出する。 【解決手段】 水晶のＺ板をエッチング加工して、その
外周方向に１２０゜間隔で放射状に伸びた軸片部４−
１，４−２，４−３を一体的に有する水晶板４を形成
し、この水晶板４の軸片部４−１，４−２，４−３の先
端部ＳＴ１，ＳＴ２，ＳＴ３に励振部Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３
およびセンサ部Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３をそれぞれ構築し、こ
の軸片部４−１，４−２，４−３に構築した励振部Ｒ
１，Ｒ２，Ｒ３およびセンサ部Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３によっ
て、Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３軸方向の回りに作用する回転角速
度を検出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、水晶のＺ板をエ
ッチング加工して形成される角速度検出センサに関する
ものである。
ッチング加工して形成される角速度検出センサに関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】所定方向に沿って振動している振動片、
例えば直交座標軸平面（Ｘ−Ｚ平面）におけるＸ軸に沿
って振動している振動片がこのＸ−Ｚ平面と直交するＹ
軸の回りに回転すると、その回転角速度により振動片に
Ｚ軸方向にコリオリの力が生じる。このコリオリの力は
角速度に比例して定まることから、コリオリの力を振動
片の撓み変位量として間接的に、或いは歪量として圧電
素子の圧電効果、歪ゲージの抵抗変化などで直接的に測
定すれば、振動片のＹ軸方向の回りに作用した回転角速
度を求めることができる。このため、振動する振動片を
角速度検出素子として車両や航空機等に搭載し、その走
行或いは飛行軌跡を記録したり旋回時に発生するヨーレ
イトを検出することが行われている。また、この角速度
検出素子をロボットに搭載して、その姿勢制御等にも応
用されている。
例えば直交座標軸平面（Ｘ−Ｚ平面）におけるＸ軸に沿
って振動している振動片がこのＸ−Ｚ平面と直交するＹ
軸の回りに回転すると、その回転角速度により振動片に
Ｚ軸方向にコリオリの力が生じる。このコリオリの力は
角速度に比例して定まることから、コリオリの力を振動
片の撓み変位量として間接的に、或いは歪量として圧電
素子の圧電効果、歪ゲージの抵抗変化などで直接的に測
定すれば、振動片のＹ軸方向の回りに作用した回転角速
度を求めることができる。このため、振動する振動片を
角速度検出素子として車両や航空機等に搭載し、その走
行或いは飛行軌跡を記録したり旋回時に発生するヨーレ
イトを検出することが行われている。また、この角速度
検出素子をロボットに搭載して、その姿勢制御等にも応
用されている。
【０００３】図８は水晶を用いた従来の「片持ちばり」
の角速度検出センサの要部を示す図である。同図におい
て、（ａ）は平面図、（ｂ）は図８（ａ）をＡ方向から
見た図、（ｃ）は図８（ａ）をＢ方向から見た図、
（ｄ）は図８（ａ）をＣ方向から見た図である。同図に
おいて、１は水晶板、２−１〜２−４は励振用の電極、
３−１〜３−４は検出用の電極であり、励振用の電極２
−１〜２−４は水晶板１の一方の端１−１の上下および
左右の面に、検出用の電極３−１〜３−４は水晶板１の
他方の端１−２の左右の面に設けられている。この図に
おいて、水晶板１の他方の端１−２側は、基端部（固定
端）とされている。
の角速度検出センサの要部を示す図である。同図におい
て、（ａ）は平面図、（ｂ）は図８（ａ）をＡ方向から
見た図、（ｃ）は図８（ａ）をＢ方向から見た図、
（ｄ）は図８（ａ）をＣ方向から見た図である。同図に
おいて、１は水晶板、２−１〜２−４は励振用の電極、
３−１〜３−４は検出用の電極であり、励振用の電極２
−１〜２−４は水晶板１の一方の端１−１の上下および
左右の面に、検出用の電極３−１〜３−４は水晶板１の
他方の端１−２の左右の面に設けられている。この図に
おいて、水晶板１の他方の端１−２側は、基端部（固定
端）とされている。
【０００４】この角速度検出センサにおいては、励振用
の電極２−１と２−３とが端子Ｐ１に共通に接続され、
また励振用の電極２−２と２−４とが端子Ｐ２に共通に
接続され、この端子Ｐ１とＰ２との間に交流電圧が印加
される。このため、ある時は図８（ｂ）中に矢印で示す
如く電界が発生し、次には逆方向の電界が発生すること
により、水晶板１の一方の端１−１が左右に振動する。
の電極２−１と２−３とが端子Ｐ１に共通に接続され、
また励振用の電極２−２と２−４とが端子Ｐ２に共通に
接続され、この端子Ｐ１とＰ２との間に交流電圧が印加
される。このため、ある時は図８（ｂ）中に矢印で示す
如く電界が発生し、次には逆方向の電界が発生すること
により、水晶板１の一方の端１−１が左右に振動する。
【０００５】ここで、水晶板１の振動方向をＸ軸方向、
このＸ軸方向と直交する紙面内の方向（水晶板１の長手
方向）をＹ軸方向、このＸ−Ｙ平面と直交する方向（水
晶板１の板面に垂直な方向）をＺ軸方向とした場合、Ｙ
軸方向の回りに回転角速度が作用すると、コリオリの力
によりＺ軸方向の振動成分が生じる。この振動成分の大
きさはコリオリの力に比例しているので、水晶板１の他
方の端１−２には回転角速度に比例した大きさで振動の
方向に応じた極の電荷が発生する。これにより、検出用
の電極３−１と３−４とを共通に接続した端子Ｐ３と、
検出用の電極３−２と３−３とを共通に接続した端子Ｐ
４との間に、ある時には矢印の方向、次には逆方向の電
荷が発生し、コリオリの力に応じた電圧信号が得られ
る。この電圧信号の大きさによって、Ｙ軸方向の回りに
作用する回転角速度の大きさを知ることができる。ま
た、この電圧信号は基本的にサインカーブとして得ら
れ、この電圧信号の波形と励振波形とを位相比較するこ
とにより、その位相の進み遅れで回転角速度の方向を知
ることができる。
このＸ軸方向と直交する紙面内の方向（水晶板１の長手
方向）をＹ軸方向、このＸ−Ｙ平面と直交する方向（水
晶板１の板面に垂直な方向）をＺ軸方向とした場合、Ｙ
軸方向の回りに回転角速度が作用すると、コリオリの力
によりＺ軸方向の振動成分が生じる。この振動成分の大
きさはコリオリの力に比例しているので、水晶板１の他
方の端１−２には回転角速度に比例した大きさで振動の
方向に応じた極の電荷が発生する。これにより、検出用
の電極３−１と３−４とを共通に接続した端子Ｐ３と、
検出用の電極３−２と３−３とを共通に接続した端子Ｐ
４との間に、ある時には矢印の方向、次には逆方向の電
荷が発生し、コリオリの力に応じた電圧信号が得られ
る。この電圧信号の大きさによって、Ｙ軸方向の回りに
作用する回転角速度の大きさを知ることができる。ま
た、この電圧信号は基本的にサインカーブとして得ら
れ、この電圧信号の波形と励振波形とを位相比較するこ
とにより、その位相の進み遅れで回転角速度の方向を知
ることができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の角速度検出センサでは、水晶板１のＹ軸方向
に作用する回転角速度しか検出することができない。す
なわち、この角速度検出センサを例えばＹ軸方向を上下
にして船舶に搭載した場合、横方向に作用する回転角速
度しか検出することができない。すなわち、上下方向や
斜め方向等、色々な方向に作用する回転角速度を検出す
ることができない。なお、この角速度検出センサを多数
用いれば、色々な方向に作用する回転角速度を検出する
ことが可能である。しかし、この場合、角速度検出セン
サを多数必要とし、コストがアップする。
うな従来の角速度検出センサでは、水晶板１のＹ軸方向
に作用する回転角速度しか検出することができない。す
なわち、この角速度検出センサを例えばＹ軸方向を上下
にして船舶に搭載した場合、横方向に作用する回転角速
度しか検出することができない。すなわち、上下方向や
斜め方向等、色々な方向に作用する回転角速度を検出す
ることができない。なお、この角速度検出センサを多数
用いれば、色々な方向に作用する回転角速度を検出する
ことが可能である。しかし、この場合、角速度検出セン
サを多数必要とし、コストがアップする。
【０００７】本発明はこのような課題を解決するために
なされたもので、その目的とするところは、色々な方向
に作用する回転角速度を簡単かつ安価な構成で検出する
ことができる角速度検出センサを提供することにある。
なされたもので、その目的とするところは、色々な方向
に作用する回転角速度を簡単かつ安価な構成で検出する
ことができる角速度検出センサを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、第１発明（請求項１に係る発明）は、水晶の
Ｚ板をエッチング加工して、その外周方向に１２０゜間
隔で放射状に伸びた第１，第２および第３の軸片部を一
体的に有する水晶板を形成し、この水晶板の第１，第２
および第３の軸片部に励振部およびセンサ部をそれぞれ
構築し、この第１，第２および第３の軸片部に構築した
励振部およびセンサ部によって、その軸片部の延伸方向
の回りに作用する回転角速度を検出するようにしたもの
である。
るために、第１発明（請求項１に係る発明）は、水晶の
Ｚ板をエッチング加工して、その外周方向に１２０゜間
隔で放射状に伸びた第１，第２および第３の軸片部を一
体的に有する水晶板を形成し、この水晶板の第１，第２
および第３の軸片部に励振部およびセンサ部をそれぞれ
構築し、この第１，第２および第３の軸片部に構築した
励振部およびセンサ部によって、その軸片部の延伸方向
の回りに作用する回転角速度を検出するようにしたもの
である。
【０００９】第２発明（請求項２に係る発明）は、水晶
のＺ板をエッチング加工して、その外周方向に１２０゜
間隔で放射状に伸びた第１，第２および第３の軸片部を
一体的に有し、この第１，第２および第３の軸片部の先
端部をそれぞれ二叉とした水晶板を形成し、この水晶板
の第１，第２および第３の軸片部の先端部の二叉の一方
に励振部を他方にセンサ部を構築し、この第１，第２お
よび第３の軸片部に構築した励振部およびセンサ部によ
って、その軸片部の延伸方向の回りに作用する回転角速
度を検出するようにしたものである。
のＺ板をエッチング加工して、その外周方向に１２０゜
間隔で放射状に伸びた第１，第２および第３の軸片部を
一体的に有し、この第１，第２および第３の軸片部の先
端部をそれぞれ二叉とした水晶板を形成し、この水晶板
の第１，第２および第３の軸片部の先端部の二叉の一方
に励振部を他方にセンサ部を構築し、この第１，第２お
よび第３の軸片部に構築した励振部およびセンサ部によ
って、その軸片部の延伸方向の回りに作用する回転角速
度を検出するようにしたものである。
【００１０】第３発明（請求項３に係る発明）は、水晶
板を水晶のＺ板をエッチング加工して、その外周方向に
１２０゜間隔で放射状に伸びた第１，第２および第３の
軸片部を一体的に有する形成し、この水晶板の第１，第
２および第３の軸片部の先端部に励振部を、基端部にセ
ンサ部を構築し、この第１，第２および第３の軸片部に
構築した励振部およびセンサ部によって、その軸片部の
延伸方向の回りに作用する回転角速度を検出するように
したものである。
板を水晶のＺ板をエッチング加工して、その外周方向に
１２０゜間隔で放射状に伸びた第１，第２および第３の
軸片部を一体的に有する形成し、この水晶板の第１，第
２および第３の軸片部の先端部に励振部を、基端部にセ
ンサ部を構築し、この第１，第２および第３の軸片部に
構築した励振部およびセンサ部によって、その軸片部の
延伸方向の回りに作用する回転角速度を検出するように
したものである。
【００１１】第４発明（請求項４に係る発明）は、水晶
のＺ板をエッチング加工して、その外周方向に１２０゜
間隔で放射状に伸びた第１，第２および第３の軸片部を
一体的に有し、この第１，第２および第３の軸片部の先
端部をそれぞれ二叉とした水晶板を形成し、この水晶板
の第１，第２および第３の軸片部の先端部の二叉の一方
および他方に励振部およびセンサ部を各個に構築し、こ
の第１，第２および第３の軸片部に構築した励振部およ
びセンサ部によって、その軸片部の延伸方向の回りに作
用する回転角速度を検出するようにしたものである。
のＺ板をエッチング加工して、その外周方向に１２０゜
間隔で放射状に伸びた第１，第２および第３の軸片部を
一体的に有し、この第１，第２および第３の軸片部の先
端部をそれぞれ二叉とした水晶板を形成し、この水晶板
の第１，第２および第３の軸片部の先端部の二叉の一方
および他方に励振部およびセンサ部を各個に構築し、こ
の第１，第２および第３の軸片部に構築した励振部およ
びセンサ部によって、その軸片部の延伸方向の回りに作
用する回転角速度を検出するようにしたものである。
【００１２】第５発明（請求項５に係る発明）は、水晶
のＺ板をエッチング加工して、その外周方向に１２０゜
間隔で放射状に伸びた第１，第２および第３の軸片部、
およびこの第１，第２および第３の軸片部に対してその
延伸方向とは逆の方向に伸びた第４，第５および第６の
軸片部を一体的に有する水晶板を形成し、この水晶板の
第１〜第６の軸片部に励振部およびセンサ部をそれぞれ
構築し、第１，第２および第３の軸片部に構築した励振
部およびセンサ部によって、その軸片部の延伸方向の回
りに作用する回転角速度を検出するようにし、第４，第
５および第６の軸片部に構築された励振部およびセンサ
部によって、水晶板の板面に垂直な方向の回りに作用す
る回転角速度を検出するようにしたものである。
のＺ板をエッチング加工して、その外周方向に１２０゜
間隔で放射状に伸びた第１，第２および第３の軸片部、
およびこの第１，第２および第３の軸片部に対してその
延伸方向とは逆の方向に伸びた第４，第５および第６の
軸片部を一体的に有する水晶板を形成し、この水晶板の
第１〜第６の軸片部に励振部およびセンサ部をそれぞれ
構築し、第１，第２および第３の軸片部に構築した励振
部およびセンサ部によって、その軸片部の延伸方向の回
りに作用する回転角速度を検出するようにし、第４，第
５および第６の軸片部に構築された励振部およびセンサ
部によって、水晶板の板面に垂直な方向の回りに作用す
る回転角速度を検出するようにしたものである。
【００１３】したがって、第１〜第４発明によれば、１
２０゜間隔で放射状に伸びた第１，第２および第３の軸
片部の延伸方向（Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３軸方向）の回りに作
用する回転角速度が、１つの角速度検出センサによって
一挙に検出される。また、第５発明によれば、１２０゜
間隔で放射状に伸びた第１，第２および第３の軸片部の
延伸方向（Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３軸方向）の回りに作用する
回転角速度と、水晶板の板面に垂直な方向（Ｚ軸方向）
の回りに作用する回転角速度とが、１つの角速度検出セ
ンサによって一挙に検出される。
２０゜間隔で放射状に伸びた第１，第２および第３の軸
片部の延伸方向（Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３軸方向）の回りに作
用する回転角速度が、１つの角速度検出センサによって
一挙に検出される。また、第５発明によれば、１２０゜
間隔で放射状に伸びた第１，第２および第３の軸片部の
延伸方向（Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３軸方向）の回りに作用する
回転角速度と、水晶板の板面に垂直な方向（Ｚ軸方向）
の回りに作用する回転角速度とが、１つの角速度検出セ
ンサによって一挙に検出される。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明を実施の形態に基づ
き詳細に説明する。 〔実施の形態１：第１発明、第２発明〕図１はこの発明
の一実施の形態を示す角速度検出センサの要部を示す平
面図である。同図において、４は水晶板であり、その外
周方向に１２０゜間隔で放射状に伸びた第１の軸片部４
−１と、第２の軸片部４−２と、第３の軸片部４−３と
を一体的に有している。軸片部４−１，４−２，４−３
の先端部ＳＴ１，ＳＴ２，ＳＴ３はそれぞれ二叉とされ
ている。この水晶板４は水晶のＺ板をエッチング加工し
て形成されている。すなわち、水晶板４の板面を、Ｚ板
面としている。
き詳細に説明する。 〔実施の形態１：第１発明、第２発明〕図１はこの発明
の一実施の形態を示す角速度検出センサの要部を示す平
面図である。同図において、４は水晶板であり、その外
周方向に１２０゜間隔で放射状に伸びた第１の軸片部４
−１と、第２の軸片部４−２と、第３の軸片部４−３と
を一体的に有している。軸片部４−１，４−２，４−３
の先端部ＳＴ１，ＳＴ２，ＳＴ３はそれぞれ二叉とされ
ている。この水晶板４は水晶のＺ板をエッチング加工し
て形成されている。すなわち、水晶板４の板面を、Ｚ板
面としている。
【００１５】軸片部４−１，４−２，４−３の先端部Ｓ
Ｔ１，ＳＴ２，ＳＴ３の二叉の一方には励振部Ｒ１，Ｒ
２，Ｒ３が構築され、他方にはセンサ部Ｓ１，Ｓ２，Ｓ
３が構築されている。励振部Ｒ（Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３）
は、その先端部ＳＴ（ＳＴ１，ＳＴ２，ＳＴ３）を図２
に拡大して示すように、励振用の電極５−１〜５−４が
先端部ＳＴの二叉の一方の上下および左右の面に、検出
用の電極６−１〜６−４が先端部ＳＴの二叉の他方の左
右の面に設けられている。そして、励振用の電極５−１
と５−３とが端子Ｔ１に共通に接続され、また励振用の
電極５−２と５−４とが端子Ｔ２に共通に接続されてい
る。また、検出用の電極６−１と６−４とが端子Ｔ３に
共通に接続され、検出用の電極６−２と６−３とが端子
Ｔ４に共通に接続されている。
Ｔ１，ＳＴ２，ＳＴ３の二叉の一方には励振部Ｒ１，Ｒ
２，Ｒ３が構築され、他方にはセンサ部Ｓ１，Ｓ２，Ｓ
３が構築されている。励振部Ｒ（Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３）
は、その先端部ＳＴ（ＳＴ１，ＳＴ２，ＳＴ３）を図２
に拡大して示すように、励振用の電極５−１〜５−４が
先端部ＳＴの二叉の一方の上下および左右の面に、検出
用の電極６−１〜６−４が先端部ＳＴの二叉の他方の左
右の面に設けられている。そして、励振用の電極５−１
と５−３とが端子Ｔ１に共通に接続され、また励振用の
電極５−２と５−４とが端子Ｔ２に共通に接続されてい
る。また、検出用の電極６−１と６−４とが端子Ｔ３に
共通に接続され、検出用の電極６−２と６−３とが端子
Ｔ４に共通に接続されている。
【００１６】水晶を屈曲振動させるには、ＮＴ−ｃｕ
ｔ、Ｘ−ｃｕｔ（Ｚ板）があるが、ＮＴ−ｃｕｔはダブ
ルローテーション板で切り出し（加工）が大変である。
角速度検出素子を作る場合、素子の製作精度、特に形状
的なバランスが特性を大きく左右するため、加工精度が
高いフォトリソ法を用いたエッチングにより加工するの
が望ましい。エッチング加工において、水晶の結晶はエ
ッチング異方性が有り、Ｚ軸方向のエッチレートが他軸
に比べて非常に早いため、高アスペクト比の加工が可能
となる。このため、この実施の形態では、水晶のＺ板を
エッチング加工して水晶板４を形成している。
ｔ、Ｘ−ｃｕｔ（Ｚ板）があるが、ＮＴ−ｃｕｔはダブ
ルローテーション板で切り出し（加工）が大変である。
角速度検出素子を作る場合、素子の製作精度、特に形状
的なバランスが特性を大きく左右するため、加工精度が
高いフォトリソ法を用いたエッチングにより加工するの
が望ましい。エッチング加工において、水晶の結晶はエ
ッチング異方性が有り、Ｚ軸方向のエッチレートが他軸
に比べて非常に早いため、高アスペクト比の加工が可能
となる。このため、この実施の形態では、水晶のＺ板を
エッチング加工して水晶板４を形成している。
【００１７】また、フォトリソ加工の必要性から水晶の
Ｚ板を用いているが、水晶の結晶は３・２結晶であり、
Ｚ軸に対してＸ軸が３回対称となっており、１２０゜で
配置されている。すなわち、水晶はＺ軸を中心に１回転
すると、Ｘ軸が１２０゜毎に３回あり、それぞれ同じ特
性を示す。この軸方向に素子を揃えてやるとエッチング
異方性がそれぞれ同じとなり、特性も全く同一となるた
め、加工としても特性としても制御し易い。このため、
この実施の形態では、軸片部４−１，４−２，４−３を
１２０゜間隔で形成し、３つの角速度検出素子を作るも
のとしている。
Ｚ板を用いているが、水晶の結晶は３・２結晶であり、
Ｚ軸に対してＸ軸が３回対称となっており、１２０゜で
配置されている。すなわち、水晶はＺ軸を中心に１回転
すると、Ｘ軸が１２０゜毎に３回あり、それぞれ同じ特
性を示す。この軸方向に素子を揃えてやるとエッチング
異方性がそれぞれ同じとなり、特性も全く同一となるた
め、加工としても特性としても制御し易い。このため、
この実施の形態では、軸片部４−１，４−２，４−３を
１２０゜間隔で形成し、３つの角速度検出素子を作るも
のとしている。
【００１８】この角速度検出センサにおいては、励振部
Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３の端子Ｔ１とＴ２との間に交流電圧を
印加する。これにより、図２（ｂ）中に電界が発生し、
軸片部４−１，４−２，４−３の先端部ＳＴ１，ＳＴ
２，ＳＴ３の二叉の一方（励振側）が、更に他方（検出
側）も連動して、左右に振動する。ここで、先端部ＳＴ
１，ＳＴ２，ＳＴ３の振動方向をＸ１，Ｘ２，Ｘ３軸方
向、このＸ１，Ｘ２，Ｘ３軸方向と直交する紙面内の方
向、すなわち軸片部４−１，４−２，４−３の延伸方向
をＹ１，Ｙ２，Ｙ３軸方向とした場合、Ｙ１，Ｙ２，Ｙ
３軸方向の回りに回転角速度が作用する時、コリオリの
力によりＺ軸方向の振動成分が発生する。
Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３の端子Ｔ１とＴ２との間に交流電圧を
印加する。これにより、図２（ｂ）中に電界が発生し、
軸片部４−１，４−２，４−３の先端部ＳＴ１，ＳＴ
２，ＳＴ３の二叉の一方（励振側）が、更に他方（検出
側）も連動して、左右に振動する。ここで、先端部ＳＴ
１，ＳＴ２，ＳＴ３の振動方向をＸ１，Ｘ２，Ｘ３軸方
向、このＸ１，Ｘ２，Ｘ３軸方向と直交する紙面内の方
向、すなわち軸片部４−１，４−２，４−３の延伸方向
をＹ１，Ｙ２，Ｙ３軸方向とした場合、Ｙ１，Ｙ２，Ｙ
３軸方向の回りに回転角速度が作用する時、コリオリの
力によりＺ軸方向の振動成分が発生する。
【００１９】このＺ軸方向成分の持つ屈曲振動により、
先端部ＳＴ１，ＳＴ２，ＳＴ３の二叉には電荷が発生す
る。これを、センサ部Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３の端子Ｔ３とＴ
４との間に、コリオリの力に応じた電圧信号として取り
出す。この電圧信号の大きさによって、Ｙ１，Ｙ２，Ｙ
３軸方向の回りに作用する回転角速度を一挙に知ること
ができる。また、この電圧信号は基本的にサインカーブ
として得られ、この電圧信号の波形と励振波形とを位相
比較することにより、その位相の進み遅れでＹ１，Ｙ
２，Ｙ３軸方向の回りに作用する回転角速度の方向を知
ることができる。
先端部ＳＴ１，ＳＴ２，ＳＴ３の二叉には電荷が発生す
る。これを、センサ部Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３の端子Ｔ３とＴ
４との間に、コリオリの力に応じた電圧信号として取り
出す。この電圧信号の大きさによって、Ｙ１，Ｙ２，Ｙ
３軸方向の回りに作用する回転角速度を一挙に知ること
ができる。また、この電圧信号は基本的にサインカーブ
として得られ、この電圧信号の波形と励振波形とを位相
比較することにより、その位相の進み遅れでＹ１，Ｙ
２，Ｙ３軸方向の回りに作用する回転角速度の方向を知
ることができる。
【００２０】したがって、この角速度検出センサを用い
れば、簡単かつ安価な構成で、色々な方向に作用する回
転角速度を一挙に検出することができるようになる。ま
た、この角速度検出センサを用いれば、センサ部Ｓ１，
Ｓ２，Ｓ３から得られる電圧信号を演算回路によって処
理することにより、各軸方向の回りの回転角速度ばかり
でなく、傾斜の計測も可能となり、飛行物体やロボット
アームなど３次元を移動する物体の位置検出時に問題と
なる傾き成分による位置変化量の誤りを補正することが
でき、精度の高い位置検出を行うことが可能となる。
れば、簡単かつ安価な構成で、色々な方向に作用する回
転角速度を一挙に検出することができるようになる。ま
た、この角速度検出センサを用いれば、センサ部Ｓ１，
Ｓ２，Ｓ３から得られる電圧信号を演算回路によって処
理することにより、各軸方向の回りの回転角速度ばかり
でなく、傾斜の計測も可能となり、飛行物体やロボット
アームなど３次元を移動する物体の位置検出時に問題と
なる傾き成分による位置変化量の誤りを補正することが
でき、精度の高い位置検出を行うことが可能となる。
【００２１】〔実施の形態２：第１発明、第３発明〕実
施の形態１では、軸片部４−１，４−２，４−３の先端
部ＳＴ１，ＳＴ２，ＳＴ３をそれぞれ二叉とし、この二
叉の一方に励振部Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３を構築し、他方にセ
ンサ部Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３を構築した。これに対して、実
施の形態２では、図３に示すように、軸片部４−１，４
−２，４−３の先端部ＳＴ１，ＳＴ２，ＳＴ３に励振部
Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３を構築し、基端部ＢＴ１，ＢＴ２，Ｂ
Ｔ３にセンサ部Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３を構築する。このよう
にすることによっても、Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３軸方向の回り
に作用する回転角速度を一挙に検出することができる。
施の形態１では、軸片部４−１，４−２，４−３の先端
部ＳＴ１，ＳＴ２，ＳＴ３をそれぞれ二叉とし、この二
叉の一方に励振部Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３を構築し、他方にセ
ンサ部Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３を構築した。これに対して、実
施の形態２では、図３に示すように、軸片部４−１，４
−２，４−３の先端部ＳＴ１，ＳＴ２，ＳＴ３に励振部
Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３を構築し、基端部ＢＴ１，ＢＴ２，Ｂ
Ｔ３にセンサ部Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３を構築する。このよう
にすることによっても、Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３軸方向の回り
に作用する回転角速度を一挙に検出することができる。
【００２２】〔実施の形態３：第１発明、第４発明〕実
施の形態１では、軸片部４−１，４−２，４−３の先端
部ＳＴ１，ＳＴ２，ＳＴ３をそれぞれ二叉とし、この二
叉の一方に励振部Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３を構築し、他方にセ
ンサ部Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３を構築した。これに対して、実
施の形態３では、図４に示すように、先端部ＳＴ１，Ｓ
Ｔ２，ＳＴ３の二叉の一方および他方に各個に励振部Ｒ
１およびＳ１を構築する。
施の形態１では、軸片部４−１，４−２，４−３の先端
部ＳＴ１，ＳＴ２，ＳＴ３をそれぞれ二叉とし、この二
叉の一方に励振部Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３を構築し、他方にセ
ンサ部Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３を構築した。これに対して、実
施の形態３では、図４に示すように、先端部ＳＴ１，Ｓ
Ｔ２，ＳＴ３の二叉の一方および他方に各個に励振部Ｒ
１およびＳ１を構築する。
【００２３】すなわち、先端部ＳＴ１については、その
二叉の一方に励振部Ｒ１1 およびセンサ部Ｓ１1 を構築
し、他方に励振部Ｒ１2 およびセンサ部Ｓ１2 を構築す
る。先端部ＳＴ２については、その二叉の一方に励振部
Ｒ２1 およびセンサ部Ｓ２1を構築し、他方に励振部Ｒ
２2 およびセンサ部Ｓ２2 を構築する。先端部ＳＴ３に
ついては、その二叉の一方に励振部Ｒ３1 およびセンサ
部Ｓ３1 を構築し、他方に励振部Ｒ３2 およびセンサ部
Ｓ３2 を構築する。なお、この場合、励振部Ｒ１1 およ
びＲ１2 、センサ部Ｓ１1 およびＳ１2 は、それぞれ並
列に接続する（図５参照）。また、同様に、励振部Ｒ２
1 およびＲ２2 、センサ部Ｓ２1 およびＳ２2 、励振部
Ｒ３1 およびＲ３2 、センサ部Ｓ３1 およびＳ３2 も、
ぞれぞれ並列に接続する。
二叉の一方に励振部Ｒ１1 およびセンサ部Ｓ１1 を構築
し、他方に励振部Ｒ１2 およびセンサ部Ｓ１2 を構築す
る。先端部ＳＴ２については、その二叉の一方に励振部
Ｒ２1 およびセンサ部Ｓ２1を構築し、他方に励振部Ｒ
２2 およびセンサ部Ｓ２2 を構築する。先端部ＳＴ３に
ついては、その二叉の一方に励振部Ｒ３1 およびセンサ
部Ｓ３1 を構築し、他方に励振部Ｒ３2 およびセンサ部
Ｓ３2 を構築する。なお、この場合、励振部Ｒ１1 およ
びＲ１2 、センサ部Ｓ１1 およびＳ１2 は、それぞれ並
列に接続する（図５参照）。また、同様に、励振部Ｒ２
1 およびＲ２2 、センサ部Ｓ２1 およびＳ２2 、励振部
Ｒ３1 およびＲ３2 、センサ部Ｓ３1 およびＳ３2 も、
ぞれぞれ並列に接続する。
【００２４】〔実施の形態４：第５発明〕実施の形態１
では、水晶板４は、その外周方向に１２０゜間隔で放射
状に伸びた第１の軸片部４−１，第２の軸片部４−２お
よび第３の軸片部４−３を一体的に有するものとした。
これに対して、実施の形態４では、図６に示すように、
第１の軸片部４−１，第２の軸片部４−２および第３の
軸片部４−３に加え、この軸片部４−１，４−２および
４−３に対してその延伸方向とは逆の方向に伸びた第４
の軸片部４−４，第５の軸片部４−５および第６の軸片
部４−６を一体的に有する水晶板４’としている。すな
わち、水晶板４’は、その外周方向に６０゜間隔で放射
状に伸びた軸片部４−１〜４−６を有している。
では、水晶板４は、その外周方向に１２０゜間隔で放射
状に伸びた第１の軸片部４−１，第２の軸片部４−２お
よび第３の軸片部４−３を一体的に有するものとした。
これに対して、実施の形態４では、図６に示すように、
第１の軸片部４−１，第２の軸片部４−２および第３の
軸片部４−３に加え、この軸片部４−１，４−２および
４−３に対してその延伸方向とは逆の方向に伸びた第４
の軸片部４−４，第５の軸片部４−５および第６の軸片
部４−６を一体的に有する水晶板４’としている。すな
わち、水晶板４’は、その外周方向に６０゜間隔で放射
状に伸びた軸片部４−１〜４−６を有している。
【００２５】そして、軸片部４−４，４−５，４−６の
先端部ＳＴ４，ＳＴ５，ＳＴ６をそれぞれ二叉とし、こ
の二叉の一方に励振部Ｒ４，Ｒ５，Ｒ６を構築し、他方
にセンサ部Ｓ４，Ｓ５，Ｓ６を構築している。但し、こ
の実施の形態では、励振部Ｒ４，Ｒ５，Ｒ６へ交流電圧
を印加することによって、先端部ＳＴ４，ＳＴ５，ＳＴ
６の二叉の一方を、更に他方も連動してＺ軸方向へ振動
させるようにしている。また、励振部Ｒ４，Ｒ５，Ｒ６
においては、その各電極を先端部ＳＴ４，ＳＴ５，ＳＴ
６の二叉の一方の上下の面に設け、センサ部Ｓ４，Ｓ
５，Ｓ６においては、その各電極を先端部ＳＴ４，ＳＴ
５，ＳＴ６の二叉の他方の上下左右の面に設けている。
先端部ＳＴ４，ＳＴ５，ＳＴ６をそれぞれ二叉とし、こ
の二叉の一方に励振部Ｒ４，Ｒ５，Ｒ６を構築し、他方
にセンサ部Ｓ４，Ｓ５，Ｓ６を構築している。但し、こ
の実施の形態では、励振部Ｒ４，Ｒ５，Ｒ６へ交流電圧
を印加することによって、先端部ＳＴ４，ＳＴ５，ＳＴ
６の二叉の一方を、更に他方も連動してＺ軸方向へ振動
させるようにしている。また、励振部Ｒ４，Ｒ５，Ｒ６
においては、その各電極を先端部ＳＴ４，ＳＴ５，ＳＴ
６の二叉の一方の上下の面に設け、センサ部Ｓ４，Ｓ
５，Ｓ６においては、その各電極を先端部ＳＴ４，ＳＴ
５，ＳＴ６の二叉の他方の上下左右の面に設けている。
【００２６】この角速度検出センサにおいては、励振部
Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３へ交流電圧を印加することにより、軸
片部４−１，４−２，４−３の先端部ＳＴ１，ＳＴ２，
ＳＴ３の二叉がＸ１，Ｘ２，Ｘ３軸方向に振動する。こ
こで、Ｙ１軸，Ｙ２軸，Ｙ３軸方向の回りに回転角速度
が作用すると、Ｚ軸方向にコリオリの力が生じる。これ
により、センサ部Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３よりコリオリの力に
応じた電圧信号が得られ、Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３軸方向の回
りに作用する回転角速度を一挙に知ることができる。
Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３へ交流電圧を印加することにより、軸
片部４−１，４−２，４−３の先端部ＳＴ１，ＳＴ２，
ＳＴ３の二叉がＸ１，Ｘ２，Ｘ３軸方向に振動する。こ
こで、Ｙ１軸，Ｙ２軸，Ｙ３軸方向の回りに回転角速度
が作用すると、Ｚ軸方向にコリオリの力が生じる。これ
により、センサ部Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３よりコリオリの力に
応じた電圧信号が得られ、Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３軸方向の回
りに作用する回転角速度を一挙に知ることができる。
【００２７】また、励振部Ｒ４，Ｒ５，Ｒ６へ交流電圧
を印加することにより、軸片部４−４，４−５，４−６
の先端部ＳＴ４，ＳＴ５，ＳＴ６の二叉がＺ軸方向に振
動する。ここで、Ｚ軸方向の回りに回転角速度が作用す
ると、その回転角速度によりＸ４，Ｘ５，Ｘ６軸方向に
コリオリの力が生じる。これにより、センサ部Ｓ４，Ｓ
５，Ｓ６よりコリオリの力に応じた電圧信号が得られ、
Ｚ軸方向の回りに作用する回転角速度を知ることができ
る。なお、当素子は質量バランスの関係からＳＴ４、Ｓ
Ｔ５、ＳＴ６の３枝にしているが、センサとしてはこの
内のひとつでも計測は可能である。
を印加することにより、軸片部４−４，４−５，４−６
の先端部ＳＴ４，ＳＴ５，ＳＴ６の二叉がＺ軸方向に振
動する。ここで、Ｚ軸方向の回りに回転角速度が作用す
ると、その回転角速度によりＸ４，Ｘ５，Ｘ６軸方向に
コリオリの力が生じる。これにより、センサ部Ｓ４，Ｓ
５，Ｓ６よりコリオリの力に応じた電圧信号が得られ、
Ｚ軸方向の回りに作用する回転角速度を知ることができ
る。なお、当素子は質量バランスの関係からＳＴ４、Ｓ
Ｔ５、ＳＴ６の３枝にしているが、センサとしてはこの
内のひとつでも計測は可能である。
【００２８】なお、この実施の形態では、軸片部４−１
〜４−６の先端部ＳＴ１〜ＳＴ６をそれぞれ二叉とし、
この二叉の一方に励振部Ｒ１〜Ｒ６を構築し、他方にセ
ンサ部Ｓ１〜Ｓ６を構築したが、図３や図４に示したよ
うな構築方式としてもよい。また、この実施の形態で
は、励振部Ｒ４，Ｒ５，Ｒ６において、その各電極を先
端部ＳＴ４，ＳＴ５，ＳＴ６の二叉の一方の上下の面に
図７（ｂ）に示すように配置したが、図７（ａ）や図７
（ｃ）に示すような配置としてもよい。この場合、その
接続構造は同じとし、どれも同じように振動する。
〜４−６の先端部ＳＴ１〜ＳＴ６をそれぞれ二叉とし、
この二叉の一方に励振部Ｒ１〜Ｒ６を構築し、他方にセ
ンサ部Ｓ１〜Ｓ６を構築したが、図３や図４に示したよ
うな構築方式としてもよい。また、この実施の形態で
は、励振部Ｒ４，Ｒ５，Ｒ６において、その各電極を先
端部ＳＴ４，ＳＴ５，ＳＴ６の二叉の一方の上下の面に
図７（ｂ）に示すように配置したが、図７（ａ）や図７
（ｃ）に示すような配置としてもよい。この場合、その
接続構造は同じとし、どれも同じように振動する。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したことから明らかなように本
発明によれば、水晶のＺ板をエッチング加工して形成し
た１つの水晶板を用いて、第１〜第４発明では、１２０
゜間隔で放射状に伸びた第１，第２および第３の軸片部
の延伸方向（Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３軸方向）の回りに作用す
る回転角速度を一挙に検出することができ、第５発明で
は、１２０゜間隔で放射状に伸びた第１，第２および第
３の軸片部の延伸方向（Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３軸方向）の回
りに作用する回転角速度と、水晶板の板面に垂直な方向
（Ｚ軸方向）の回りに作用する回転角速度とを一挙に検
出することができ、色々な方向に作用する回転角速度を
簡単かつ安価な構成で検出することができるようにな
る。
発明によれば、水晶のＺ板をエッチング加工して形成し
た１つの水晶板を用いて、第１〜第４発明では、１２０
゜間隔で放射状に伸びた第１，第２および第３の軸片部
の延伸方向（Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３軸方向）の回りに作用す
る回転角速度を一挙に検出することができ、第５発明で
は、１２０゜間隔で放射状に伸びた第１，第２および第
３の軸片部の延伸方向（Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３軸方向）の回
りに作用する回転角速度と、水晶板の板面に垂直な方向
（Ｚ軸方向）の回りに作用する回転角速度とを一挙に検
出することができ、色々な方向に作用する回転角速度を
簡単かつ安価な構成で検出することができるようにな
る。
【図１】 本発明の一実施の形態を示す角速度検出セン
サの要部を示す平面図である。
サの要部を示す平面図である。
【図２】 この角速度検出センサの軸片部の先端部を拡
大して示す図である。
大して示す図である。
【図３】 この角速度検出センサの他の実施の形態（実
施の形態２）の要部を示す平面図である。
施の形態２）の要部を示す平面図である。
【図４】 この角速度検出センサの他の実施の形態（実
施の形態３）の要部を示す平面図である。
施の形態３）の要部を示す平面図である。
【図５】 図４における励振部Ｒ１1 ，Ｒ１2 およびセ
ンサ部Ｓ１1 ，Ｓ１2 それぞれの並列接続状況を示す図
である。
ンサ部Ｓ１1 ，Ｓ１2 それぞれの並列接続状況を示す図
である。
【図６】 この角速度検出センサの他の実施の形態（実
施の形態４）の要部を示す平面図である。
施の形態４）の要部を示す平面図である。
【図７】 図６における励振部Ｒ４，Ｒ５，Ｒ６におけ
る各電極の配置例を示す図である。
る各電極の配置例を示す図である。
【図８】 従来の「片持ちばり」の角速度検出センサの
要部を示す図である。
要部を示す図である。
４，４’…水晶板、４−１〜４−６…軸片部、ＳＴ（Ｓ
Ｔ１〜ＳＴ６）…先端部、ＢＴ（ＢＴ１〜ＢＴ３）…基
端部、Ｒ（Ｒ１〜Ｒ６）…励振部、Ｓ（Ｓ１〜Ｓ６）…
センサ部、５−１〜５−４…励振用の電極、６−１〜６
−４…検出用の電極。
Ｔ１〜ＳＴ６）…先端部、ＢＴ（ＢＴ１〜ＢＴ３）…基
端部、Ｒ（Ｒ１〜Ｒ６）…励振部、Ｓ（Ｓ１〜Ｓ６）…
センサ部、５−１〜５−４…励振用の電極、６−１〜６
−４…検出用の電極。
Claims (5)
- 【請求項１】 水晶のＺ板をエッチング加工して形成さ
れ、その外周方向に１２０゜間隔で放射状に伸びた第
１，第２および第３の軸片部を一体的に有する水晶板
と、 この水晶板の第１，第２および第３の軸片部にそれぞれ
構築された励振部およびセンサ部とを備え、 この第１，第２および第３の軸片部に構築された励振部
およびセンサ部によって、その軸片部の延伸方向の回り
に作用する回転角速度を検出することを特徴とする角速
度検出センサ。 - 【請求項２】 水晶のＺ板をエッチング加工して形成さ
れ、その外周方向に１２０゜間隔で放射状に伸びた第
１，第２および第３の軸片部を一体的に有し、この第
１，第２および第３の軸片部の先端部がそれぞれ二叉と
された水晶板と、 この水晶板の第１，第２および第３の軸片部の先端部の
二叉の一方に構築された励振部および他方に構築された
センサ部とを備え、 この第１，第２および第３の軸片部に構築された励振部
およびセンサ部によって、その軸片部の延伸方向の回り
に作用する回転角速度を検出することを特徴とする角速
度検出センサ。 - 【請求項３】 水晶のＺ板をエッチング加工して形成さ
れ、その外周方向に１２０゜間隔で放射状に伸びた第
１，第２および第３の軸片部を一体的に有する水晶板
と、 この水晶板の第１，第２および第３の軸片部の先端部に
構築された励振部および基端部に構築されたセンサ部と
を備え、 この第１，第２および第３の軸片部に構築された励振部
およびセンサ部によって、その軸片部の延伸方向の回り
に作用する回転角速度を検出することを特徴とする角速
度検出センサ。 - 【請求項４】 水晶のＺ板をエッチング加工して形成さ
れ、その外周方向に１２０゜間隔で放射状に伸びた第
１，第２および第３の軸片部を一体的に有し、この第
１，第２および第３の軸片部の先端部がそれぞれ二叉と
された水晶板と、 この水晶板の第１，第２および第３の軸片部の先端部の
二叉の一方および他方に各個に構築された励振部および
センサ部とを備え、 この第１，第２および第３の軸片部に構築された励振部
およびセンサ部によって、その軸片部の延伸方向の回り
に作用する回転角速度を検出することを特徴とする角速
度検出センサ。 - 【請求項５】 水晶のＺ板をエッチング加工して形成さ
れ、その外周方向に１２０゜間隔で放射状に伸びた第
１，第２および第３の軸片部、およびこの第１，第２お
よび第３の軸片部に対してその延伸方向とは逆の方向に
伸びた第４，第５および第６の軸片部を一体的に有する
水晶板と、 この水晶板の第１〜第６の軸片部にそれぞれ構築された
励振部およびセンサ部とを備え、 前記第１，第２および第３の軸片部に構築された励振部
およびセンサ部によって、その軸片部の延伸方向の回り
に作用する回転角速度を検出し、 前記第４，第５および第６の軸片部に構築された励振部
およびセンサ部によって、前記水晶板の板面に垂直な方
向の回りに作用する回転角速度を検出することを特徴と
する角速度検出センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8014025A JPH09210690A (ja) | 1996-01-30 | 1996-01-30 | 角速度検出センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8014025A JPH09210690A (ja) | 1996-01-30 | 1996-01-30 | 角速度検出センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09210690A true JPH09210690A (ja) | 1997-08-12 |
Family
ID=11849646
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8014025A Pending JPH09210690A (ja) | 1996-01-30 | 1996-01-30 | 角速度検出センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09210690A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005172542A (ja) * | 2003-12-10 | 2005-06-30 | Murata Mfg Co Ltd | 音叉型振動子、音叉型振動子の製造方法、および角速度センサ |
| JP2006017538A (ja) * | 2004-06-30 | 2006-01-19 | Kyocera Kinseki Corp | 振動子及び角速度センサ |
| JP2006084193A (ja) * | 2004-09-14 | 2006-03-30 | Kyocera Kinseki Corp | 振動子及び角速度センサ |
| JP2006267094A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-10-05 | Kyocera Kinseki Corp | 慣性センサ素子 |
| JP2006337111A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Kyocera Kinseki Corp | 慣性センサー素子 |
| JP2007033371A (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-08 | Kyocera Kinseki Corp | 慣性センサ素子 |
| JP2012042479A (ja) * | 2010-01-12 | 2012-03-01 | Sony Corp | 角速度センサ、電子機器及び角速度の検出方法 |
-
1996
- 1996-01-30 JP JP8014025A patent/JPH09210690A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005172542A (ja) * | 2003-12-10 | 2005-06-30 | Murata Mfg Co Ltd | 音叉型振動子、音叉型振動子の製造方法、および角速度センサ |
| JP2006017538A (ja) * | 2004-06-30 | 2006-01-19 | Kyocera Kinseki Corp | 振動子及び角速度センサ |
| JP2006084193A (ja) * | 2004-09-14 | 2006-03-30 | Kyocera Kinseki Corp | 振動子及び角速度センサ |
| JP2006267094A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-10-05 | Kyocera Kinseki Corp | 慣性センサ素子 |
| JP2006337111A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Kyocera Kinseki Corp | 慣性センサー素子 |
| JP2007033371A (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-08 | Kyocera Kinseki Corp | 慣性センサ素子 |
| JP2012042479A (ja) * | 2010-01-12 | 2012-03-01 | Sony Corp | 角速度センサ、電子機器及び角速度の検出方法 |
| US8910517B2 (en) | 2010-01-12 | 2014-12-16 | Sony Corporation | Angular velocity sensor, electronic apparatus, and method of detecting an angular velocity |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040518 |