JPH09211278A - 光結像装置の偏光調整方法 - Google Patents
光結像装置の偏光調整方法Info
- Publication number
- JPH09211278A JPH09211278A JP4206196A JP4206196A JPH09211278A JP H09211278 A JPH09211278 A JP H09211278A JP 4206196 A JP4206196 A JP 4206196A JP 4206196 A JP4206196 A JP 4206196A JP H09211278 A JPH09211278 A JP H09211278A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- polarization
- optical
- optical fiber
- emitted
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Laser Beam Printer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 光ファイバーを用いた光結像装置では、ファ
イバーの偏光特性により、光ファイバーからの射出光の
偏光状態を一定に保つことができず、射出光を導く光学
素子の偏光依存性によりビームスポットの光量が変化す
る。 【解決手段】 複数の光ファイバー121〜128のう
ちの1つから射出するレーザー光の偏光状態を検出する
第1のステップ(ステップ4)と、第1のステップで検出
された偏光状態の所定の基準状態からの誤差が所定の許
容範囲内に入るか否かを判定する第2のステップ(ステ
ップ5)と、第1のステップで検出対象とされた光ファ
イバーの姿勢を、その光ファイバーから射出されるレー
ザー光の偏光状態が所定の基準状態に近づくよう調整す
る第3のステップ(ステップ6)とを有し、全ての光ファ
イバーについて、各レーザー光の偏光状態の基準状態か
らの誤差が所定の許容範囲内に入るまで第1、第2、第
3のステップを繰り返し実行する。
イバーの偏光特性により、光ファイバーからの射出光の
偏光状態を一定に保つことができず、射出光を導く光学
素子の偏光依存性によりビームスポットの光量が変化す
る。 【解決手段】 複数の光ファイバー121〜128のう
ちの1つから射出するレーザー光の偏光状態を検出する
第1のステップ(ステップ4)と、第1のステップで検出
された偏光状態の所定の基準状態からの誤差が所定の許
容範囲内に入るか否かを判定する第2のステップ(ステ
ップ5)と、第1のステップで検出対象とされた光ファ
イバーの姿勢を、その光ファイバーから射出されるレー
ザー光の偏光状態が所定の基準状態に近づくよう調整す
る第3のステップ(ステップ6)とを有し、全ての光ファ
イバーについて、各レーザー光の偏光状態の基準状態か
らの誤差が所定の許容範囲内に入るまで第1、第2、第
3のステップを繰り返し実行する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体レーザー
から発した光束を光ファイバーを通して結像光学系に入
射させ、結像面にスポットを形成する光結像装置におけ
る偏光調整方法に関する。
から発した光束を光ファイバーを通して結像光学系に入
射させ、結像面にスポットを形成する光結像装置におけ
る偏光調整方法に関する。
【0002】
【従来の技術】この種の光結像装置としては、例えばレ
ーザープリンター等の走査光学装置がある。従来から、
一走査で複数の走査線を形成するいわゆるマルチビーム
の走査光学装置の分野では、光ファイバーを利用して互
いに近接した複数の点光源を形成し、この点光源からの
光束により結像面上に複数のスポットを形成する技術が
知られている。
ーザープリンター等の走査光学装置がある。従来から、
一走査で複数の走査線を形成するいわゆるマルチビーム
の走査光学装置の分野では、光ファイバーを利用して互
いに近接した複数の点光源を形成し、この点光源からの
光束により結像面上に複数のスポットを形成する技術が
知られている。
【0003】走査光学系を構成する殆どの光学素子は、
反射率、あるいは透過率に偏光依存性を有しているた
め、走査対象面に形成されるビームスポットの光量を一
定に保つためには、光ファイバーからの射出光の偏光状
態を揃える必要がある。
反射率、あるいは透過率に偏光依存性を有しているた
め、走査対象面に形成されるビームスポットの光量を一
定に保つためには、光ファイバーからの射出光の偏光状
態を揃える必要がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、一般の
光ファイバーは主として旋光性に代表される偏光特性を
有しており、偏波面をランダムに変えて伝搬させるた
め、光ファイバーからの射出光の偏光状態を一定に保つ
ことができない。一方、偏波面保存ファイバーを利用す
れば、光ファイバーへの入射光の偏光状態を揃えること
により射出光の偏光状態を揃えることができるが、この
ようなファイバーの利用は装置のコストアップを招く。
光ファイバーは主として旋光性に代表される偏光特性を
有しており、偏波面をランダムに変えて伝搬させるた
め、光ファイバーからの射出光の偏光状態を一定に保つ
ことができない。一方、偏波面保存ファイバーを利用す
れば、光ファイバーへの入射光の偏光状態を揃えること
により射出光の偏光状態を揃えることができるが、この
ようなファイバーの利用は装置のコストアップを招く。
【0005】この発明は、偏波面をランダムに変化させ
る一般の光ファイバーを用いつつ、複数の光ファイバー
から射出するレーザー光の偏光状態を揃えることができ
る光結像装置の偏光調整方法を提供することを目的とす
る。
る一般の光ファイバーを用いつつ、複数の光ファイバー
から射出するレーザー光の偏光状態を揃えることができ
る光結像装置の偏光調整方法を提供することを目的とす
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明にかかる光結像
装置の偏光調整方法は、複数の光ファイバーのうちの1
つから射出するレーザー光の偏光状態を検出する第1の
ステップと、第1のステップで検出された偏光状態の所
定の基準状態からの誤差が所定の許容範囲内に入るか否
かを判定する第2のステップと、第2のステップにおい
て基準状態からの誤差が許容範囲を越えると判断された
際に、第1のステップで検出対象とされた光ファイバー
の姿勢を、その光ファイバーから射出されるレーザー光
の偏光状態が所定の基準状態に近づくよう調整する第3
のステップとを有し、全ての光ファイバーについて、各
レーザー光の偏光状態の基準状態からの誤差が所定の許
容範囲内に入るまで第1、第2、第3のステップを繰り
返し実行することを特徴とする。
装置の偏光調整方法は、複数の光ファイバーのうちの1
つから射出するレーザー光の偏光状態を検出する第1の
ステップと、第1のステップで検出された偏光状態の所
定の基準状態からの誤差が所定の許容範囲内に入るか否
かを判定する第2のステップと、第2のステップにおい
て基準状態からの誤差が許容範囲を越えると判断された
際に、第1のステップで検出対象とされた光ファイバー
の姿勢を、その光ファイバーから射出されるレーザー光
の偏光状態が所定の基準状態に近づくよう調整する第3
のステップとを有し、全ての光ファイバーについて、各
レーザー光の偏光状態の基準状態からの誤差が所定の許
容範囲内に入るまで第1、第2、第3のステップを繰り
返し実行することを特徴とする。
【0007】光ファイバーが持つ旋光性は、光ファイバ
ーにかかる応力の変化に伴って変化するため、上記の方
法により光ファイバーの姿勢を調整することにより光フ
ァイバーの旋光性を変化させることができ、結果的に光
ファイバーから射出されるレーザー光の偏光状態を調整
することができる。
ーにかかる応力の変化に伴って変化するため、上記の方
法により光ファイバーの姿勢を調整することにより光フ
ァイバーの旋光性を変化させることができ、結果的に光
ファイバーから射出されるレーザー光の偏光状態を調整
することができる。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、この発明にかかる偏光調整
方法が適用される光結像装置の実施形態を説明する。実
施形態として示される光結像装置は、8本のレーザ光を
同時に走査させることにより、一回の走査で8本の走査
線を同時に形成するマルチビーム走査光学装置に適用さ
れている。まず、走査光学装置全体の斜視図である図
1、その光学系の配置を示す図2、断面図である図3、
そして平面図である図4に基づき、この装置の概略構成
を説明する。なお、以下の説明において「主走査方向」
は、光軸に垂直な面内で光束の走査方向に相当する方
向、「副走査方向」は、光軸に垂直な面内で主走査方向
に直行する方向をいうものとする。
方法が適用される光結像装置の実施形態を説明する。実
施形態として示される光結像装置は、8本のレーザ光を
同時に走査させることにより、一回の走査で8本の走査
線を同時に形成するマルチビーム走査光学装置に適用さ
れている。まず、走査光学装置全体の斜視図である図
1、その光学系の配置を示す図2、断面図である図3、
そして平面図である図4に基づき、この装置の概略構成
を説明する。なお、以下の説明において「主走査方向」
は、光軸に垂直な面内で光束の走査方向に相当する方
向、「副走査方向」は、光軸に垂直な面内で主走査方向
に直行する方向をいうものとする。
【0009】走査光学装置は、図1に示されるように、
ほぼ直方体状の偏平なケーシング1内に走査光学系を配
して構成されている。ケーシング1の上部開口は、使用
時には上部蓋体2により閉成される。
ほぼ直方体状の偏平なケーシング1内に走査光学系を配
して構成されている。ケーシング1の上部開口は、使用
時には上部蓋体2により閉成される。
【0010】走査光学系の光源部100は、図1および
図2に示されるように、それぞれ支持基板300に取り
付けられた8つのレーザーブロック310a〜310h
と、これらのレーザーブロックに1つづつ取り付けられ
た半導体レーザー101〜108と、半導体レーザーか
ら発する光束を伝達する8本の石英ガラス製の光ファイ
バー121〜128と、これらの光ファイバーの射出側
の端部を直線上に並べて保持することにより直線上に配
列する8つの点光源を形成するファイバーアライメント
ブロック130とから構成されている。なお、光ファイ
バー121〜128の入射側の端部は、レーザーブロッ
ク310a〜310hに固定されたファイバー支持体3
19a〜319hにより保持されている。
図2に示されるように、それぞれ支持基板300に取り
付けられた8つのレーザーブロック310a〜310h
と、これらのレーザーブロックに1つづつ取り付けられ
た半導体レーザー101〜108と、半導体レーザーか
ら発する光束を伝達する8本の石英ガラス製の光ファイ
バー121〜128と、これらの光ファイバーの射出側
の端部を直線上に並べて保持することにより直線上に配
列する8つの点光源を形成するファイバーアライメント
ブロック130とから構成されている。なお、光ファイ
バー121〜128の入射側の端部は、レーザーブロッ
ク310a〜310hに固定されたファイバー支持体3
19a〜319hにより保持されている。
【0011】光源部100のファイバーアライメントブ
ロック130から射出される発散光束は、円筒状のコリ
メートレンズホルダー340により保持されたコリメー
トレンズ140により平行光束とされ、絞り142を透
過してハーフミラー144に入射する。ハーフミラー1
44の透過率は、5〜10%である。
ロック130から射出される発散光束は、円筒状のコリ
メートレンズホルダー340により保持されたコリメー
トレンズ140により平行光束とされ、絞り142を透
過してハーフミラー144に入射する。ハーフミラー1
44の透過率は、5〜10%である。
【0012】ハーフミラー144を透過したモニター光
束は、APC(オートパワーコントロール)信号検出部1
50に入射する。APC信号検出部150は、透過光束
を収束させるコンデンサレンズ151と、この光束を受
光するAPC用受光素子155とから構成されている。
半導体レーザー101〜108は、各走査毎に描画領域
に入る前に1つづつ順に発光する。そしてこの際の受光
素子155の出力信号は、同一の駆動信号に対する各半
導体レーザーの出力かほぼ同一となるようフィードバッ
ク制御する(APC制御)ために利用される。
束は、APC(オートパワーコントロール)信号検出部1
50に入射する。APC信号検出部150は、透過光束
を収束させるコンデンサレンズ151と、この光束を受
光するAPC用受光素子155とから構成されている。
半導体レーザー101〜108は、各走査毎に描画領域
に入る前に1つづつ順に発光する。そしてこの際の受光
素子155の出力信号は、同一の駆動信号に対する各半
導体レーザーの出力かほぼ同一となるようフィードバッ
ク制御する(APC制御)ために利用される。
【0013】一方、ハーフミラー144で反射された主
光束は、副走査方向の角度を逐次制御するダイナミック
プリズム160により角度制御された後、副走査方向に
のみ正のパワーを持つシリンドリカルレンズ170によ
りポリゴンミラー180のミラー面の近傍で線状に結像
される。ダイナミックプリズム160は、後述の感光体
ドラムの回転ムラ等に起因する走査対象面上でのスポッ
トの副走査方向の位置ズレを補正するために利用され
る。シリンドリカルレンズ170は、円筒状のシリンド
リカルレンズホルダー361により保持されており、図
2に示されるように、副走査方向においてそれぞれ正・
負のパワーを持つ2枚のレンズ171、173から構成
される。
光束は、副走査方向の角度を逐次制御するダイナミック
プリズム160により角度制御された後、副走査方向に
のみ正のパワーを持つシリンドリカルレンズ170によ
りポリゴンミラー180のミラー面の近傍で線状に結像
される。ダイナミックプリズム160は、後述の感光体
ドラムの回転ムラ等に起因する走査対象面上でのスポッ
トの副走査方向の位置ズレを補正するために利用され
る。シリンドリカルレンズ170は、円筒状のシリンド
リカルレンズホルダー361により保持されており、図
2に示されるように、副走査方向においてそれぞれ正・
負のパワーを持つ2枚のレンズ171、173から構成
される。
【0014】ポリゴンミラー180は、図3に示される
ようにケーシング1に固定されたポリゴンモータ371
により駆動され、図4中の矢印で示したように時計回り
方向に回転する。また、ポリゴンミラー180は、回転
による風切り音の発生や、空気中の塵埃との衝突による
ミラー面の損傷を避けるため、図1に示されるようにカ
ップ状のポリゴンカバー373により外気から遮断され
て配置されている。
ようにケーシング1に固定されたポリゴンモータ371
により駆動され、図4中の矢印で示したように時計回り
方向に回転する。また、ポリゴンミラー180は、回転
による風切り音の発生や、空気中の塵埃との衝突による
ミラー面の損傷を避けるため、図1に示されるようにカ
ップ状のポリゴンカバー373により外気から遮断され
て配置されている。
【0015】ポリゴンカバー373には、その側面に光
路孔373eが形成されており、この光路孔373eに
はカバーガラス375がはめ込まれている。シリンドリ
カルレンズ170を透過した光束は、カバーガラス37
5を通してカバー内に入射し、ポリゴンミラー180に
より反射、偏向されて再びカバーガラス375を通して
外部に射出される。なお、ポリゴンカバー373の上面
には、ポリゴンミラー180の上面に付されたマークM
を検出するためのポリゴンセンサ(図示せず)を含むセン
サブロック376が設けられている。
路孔373eが形成されており、この光路孔373eに
はカバーガラス375がはめ込まれている。シリンドリ
カルレンズ170を透過した光束は、カバーガラス37
5を通してカバー内に入射し、ポリゴンミラー180に
より反射、偏向されて再びカバーガラス375を通して
外部に射出される。なお、ポリゴンカバー373の上面
には、ポリゴンミラー180の上面に付されたマークM
を検出するためのポリゴンセンサ(図示せず)を含むセン
サブロック376が設けられている。
【0016】ポリゴンミラー180の反射面には例えば
主走査方向の湾曲等の加工誤差があり、一般に各反射面
の加工誤差量にはバラツキが生じる。そこで、各面の誤
差量を予め測定して記憶させておき、使用時にセンサの
出力に応じていずれの反射面が使用されているかを識別
することにより、反射面毎の固有の誤差量に応じてビー
ム位置やビーム強度等を補正することができる。
主走査方向の湾曲等の加工誤差があり、一般に各反射面
の加工誤差量にはバラツキが生じる。そこで、各面の誤
差量を予め測定して記憶させておき、使用時にセンサの
出力に応じていずれの反射面が使用されているかを識別
することにより、反射面毎の固有の誤差量に応じてビー
ム位置やビーム強度等を補正することができる。
【0017】ポリゴンミラー180で反射された光束
は、結像光学系であるfθレンズ190を透過した後、
図3に示されるように折り返しミラー200により反射
されて感光体ドラム210上に達し、8つのビームスポ
ットを形成する。これらのビームスポットは、ポリゴン
ミラー180の回転に伴って同時に走査され、感光体ド
ラム210上には一回の走査で8本の走査線が形成され
る。
は、結像光学系であるfθレンズ190を透過した後、
図3に示されるように折り返しミラー200により反射
されて感光体ドラム210上に達し、8つのビームスポ
ットを形成する。これらのビームスポットは、ポリゴン
ミラー180の回転に伴って同時に走査され、感光体ド
ラム210上には一回の走査で8本の走査線が形成され
る。
【0018】感光体ドラム210は、ビームスポットの
走査に同期して矢印R方向に回転駆動され、これにより
感光体ドラム210上に静電潜像が形成される。この潜
像は、公知の電子写真プロセスにより、図示せぬ用紙に
転写される。
走査に同期して矢印R方向に回転駆動され、これにより
感光体ドラム210上に静電潜像が形成される。この潜
像は、公知の電子写真プロセスにより、図示せぬ用紙に
転写される。
【0019】fθレンズ190は、ポリゴンミラー18
0側から折り返しミラー200側に向けて順に、主走査
方向、副走査方向の両方向に関してそれぞれ負、正、
正、負のパワーを有する第1、第2、第3、第4レンズ
191,193,195,197が配列して構成され、副
走査方向においてポリゴンミラー180のミラー面近傍
で線状に結像された光束を感光体ドラム210上に楕円
形状に再結像させるパワーを有する。fθレンズ190
の4枚のレンズは、図3および図4に示されるように単
一のレンズ台380上に固定されている。なお、fθレ
ンズ190は、単一波長での使用を前提としているた
め、色収差は補正されていない。
0側から折り返しミラー200側に向けて順に、主走査
方向、副走査方向の両方向に関してそれぞれ負、正、
正、負のパワーを有する第1、第2、第3、第4レンズ
191,193,195,197が配列して構成され、副
走査方向においてポリゴンミラー180のミラー面近傍
で線状に結像された光束を感光体ドラム210上に楕円
形状に再結像させるパワーを有する。fθレンズ190
の4枚のレンズは、図3および図4に示されるように単
一のレンズ台380上に固定されている。なお、fθレ
ンズ190は、単一波長での使用を前提としているた
め、色収差は補正されていない。
【0020】図1〜図4中のx軸は、fθレンズ190
の光軸と平行な軸、y軸およびz軸は、x軸に垂直な面
内で互いに直行する軸である。y軸は主走査方向に一致
し、z軸はポリゴンミラー180と折り返しミラー20
0との間の光路中では副走査方向に一致する。
の光軸と平行な軸、y軸およびz軸は、x軸に垂直な面
内で互いに直行する軸である。y軸は主走査方向に一致
し、z軸はポリゴンミラー180と折り返しミラー20
0との間の光路中では副走査方向に一致する。
【0021】なお、fθレンズ190を透過した光束
は、各走査毎に、すなわちポリゴンミラーの1つの反射
面による走査毎に、描画範囲に入る前に同期信号検出用
光学系220により検出される。同期信号検出用光学系
220は、fθレンズ190の第4レンズ197と折り
返しミラー200との間の光路中に配置されて感光体ド
ラム210上のビームスポットが描画範囲にへ入る前の
偏光角で光束を反射させる第1ミラー221と、この第
1ミラー221で反射された光束を順に反射させる第
2、第3ミラー223,225と、これらのミラーによ
り導かれた光束を受光する受光素子230とから構成さ
れている。
は、各走査毎に、すなわちポリゴンミラーの1つの反射
面による走査毎に、描画範囲に入る前に同期信号検出用
光学系220により検出される。同期信号検出用光学系
220は、fθレンズ190の第4レンズ197と折り
返しミラー200との間の光路中に配置されて感光体ド
ラム210上のビームスポットが描画範囲にへ入る前の
偏光角で光束を反射させる第1ミラー221と、この第
1ミラー221で反射された光束を順に反射させる第
2、第3ミラー223,225と、これらのミラーによ
り導かれた光束を受光する受光素子230とから構成さ
れている。
【0022】受光素子230は、感光体ドラム210と
光学的に等価な位置に配置されている。8本のビーム
は、走査に伴って1本づつ順番に受光素子230に入射
し、受光素子230からは1走査毎に8つのパルスが出
力される。パルスが検出されると、そのパルスに対応す
る半導体レーザーを駆動するレーザー駆動部に1ライン
分の画像データが転送され、パルスの検出から一定時間
経過後に書き込みが開始される。
光学的に等価な位置に配置されている。8本のビーム
は、走査に伴って1本づつ順番に受光素子230に入射
し、受光素子230からは1走査毎に8つのパルスが出
力される。パルスが検出されると、そのパルスに対応す
る半導体レーザーを駆動するレーザー駆動部に1ライン
分の画像データが転送され、パルスの検出から一定時間
経過後に書き込みが開始される。
【0023】また、ケーシング1には、折り返しミラー
200で反射された光束を透過させる描画用開口11が
形成されると共に、折り返しミラー200の背後に光学
調整用開口12が形成されている。描画用開口11に
は、カバーガラス201が装着されている。光学調整用
開口12は、折り返しミラー200を除く光学素子を組
み付けた後に、これらの光学素子を調整する際に使用さ
れ、描画のための使用時には図3に示されるように蓋板
13により閉成される。
200で反射された光束を透過させる描画用開口11が
形成されると共に、折り返しミラー200の背後に光学
調整用開口12が形成されている。描画用開口11に
は、カバーガラス201が装着されている。光学調整用
開口12は、折り返しミラー200を除く光学素子を組
み付けた後に、これらの光学素子を調整する際に使用さ
れ、描画のための使用時には図3に示されるように蓋板
13により閉成される。
【0024】続いて、図5〜図8に基づいてレーザーブ
ロック部分の構成と、光ファイバーの姿勢の変化による
偏光状態の変化とについて説明する。前述したように、
光ファイバーは主として旋光性に代表される偏光特性を
有しているため、実施態様の装置のように複数の半導体
レーザーからの光束を光ファイバーを用いて導く場合、
入射側で半導体レーザーの偏光方向を同一方向に揃えた
としても、光ファイバーから射出する光束の偏光方向は
互いに異なる。
ロック部分の構成と、光ファイバーの姿勢の変化による
偏光状態の変化とについて説明する。前述したように、
光ファイバーは主として旋光性に代表される偏光特性を
有しているため、実施態様の装置のように複数の半導体
レーザーからの光束を光ファイバーを用いて導く場合、
入射側で半導体レーザーの偏光方向を同一方向に揃えた
としても、光ファイバーから射出する光束の偏光方向は
互いに異なる。
【0025】一方、走査光学系を構成する殆どの光学素
子は、反射率、あるいは透過率に偏光依存性を有してい
る。特に光束が斜めに入射する反射面、例えば、ハーフ
ミラー144は大きな偏光依存性を持つ。ハーフミラー
144の透過率は、例えばP偏光(入射面に対して平行
な振動面をもつ偏光成分)については10%、S偏光(入
射面に対して垂直な振動面をもつ偏光成分)については
5%となる。
子は、反射率、あるいは透過率に偏光依存性を有してい
る。特に光束が斜めに入射する反射面、例えば、ハーフ
ミラー144は大きな偏光依存性を持つ。ハーフミラー
144の透過率は、例えばP偏光(入射面に対して平行
な振動面をもつ偏光成分)については10%、S偏光(入
射面に対して垂直な振動面をもつ偏光成分)については
5%となる。
【0026】したがって、例えば第1の半導体レーザー
101から発して光ファイバー121から射出する光束
がハーフミラー144に対してP偏光として入射し、第
2の半導体レーザー102から発して光ファイバー12
2から射出する光束がハーフミラー144に対してS偏
光として入射する場合には、第1、第2の半導体レーザ
ー101、102の光量が同一であるとしても、ハーフ
ミラー144を透過した光束の光量の比は2:1とな
る。
101から発して光ファイバー121から射出する光束
がハーフミラー144に対してP偏光として入射し、第
2の半導体レーザー102から発して光ファイバー12
2から射出する光束がハーフミラー144に対してS偏
光として入射する場合には、第1、第2の半導体レーザ
ー101、102の光量が同一であるとしても、ハーフ
ミラー144を透過した光束の光量の比は2:1とな
る。
【0027】そして、このモニター光束を受光した受光
素子155の出力信号に基づいて半導体レーザーの発光
量をフィードバック制御すると、第1の半導体レーザー
の発光量は第2の半導体レーザーの発光量の1/2とな
る。ここでハーフミラーから感光体ドラム210までの
光学素子の偏光依存性を無視して考えると、APC制御
をかけることにより感光体ドラム上のビームスポットの
光量に最大で2倍の開きが生じることとなる。
素子155の出力信号に基づいて半導体レーザーの発光
量をフィードバック制御すると、第1の半導体レーザー
の発光量は第2の半導体レーザーの発光量の1/2とな
る。ここでハーフミラーから感光体ドラム210までの
光学素子の偏光依存性を無視して考えると、APC制御
をかけることにより感光体ドラム上のビームスポットの
光量に最大で2倍の開きが生じることとなる。
【0028】このような不具合を避けるためには、光フ
ァイバー121〜128から発した光束のAPC用受光
素子155上、および感光体ドラム210上での強度の
バラツキを共に抑える必要があるが、これらの2カ所で
の光量バランスを同時にとることは困難である。そこ
で、実施形態の装置では、各光ファイバー121〜12
8の姿勢を個別に調整することにより各光ファイバーか
ら射出される光束の偏光状態を所定の許容幅に納めるよ
う調整している。強度のバラツキは上述のように光ファ
イバーの射出光の偏光状態のバラツキに依存するため、
これを均一化することにより上記の2カ所での光量バラ
ンスを同時にとることができる。
ァイバー121〜128から発した光束のAPC用受光
素子155上、および感光体ドラム210上での強度の
バラツキを共に抑える必要があるが、これらの2カ所で
の光量バランスを同時にとることは困難である。そこ
で、実施形態の装置では、各光ファイバー121〜12
8の姿勢を個別に調整することにより各光ファイバーか
ら射出される光束の偏光状態を所定の許容幅に納めるよ
う調整している。強度のバラツキは上述のように光ファ
イバーの射出光の偏光状態のバラツキに依存するため、
これを均一化することにより上記の2カ所での光量バラ
ンスを同時にとることができる。
【0029】図5および図6に示されるように、レーザ
ーブロック310aは、半導体レーザー101、カップ
リングレンズ111、半導体レーザーへの戻り光を阻止
する光アイソレータを構成する偏光ビームスプリッター
312aおよび1/4波長板316a、そして、光ファ
イバー121の入射側の端部を保持するファイバー支持
体319aを備える。他のレーザーブロック310b〜
310hも、全て310aと同一の構造を有している。
ーブロック310aは、半導体レーザー101、カップ
リングレンズ111、半導体レーザーへの戻り光を阻止
する光アイソレータを構成する偏光ビームスプリッター
312aおよび1/4波長板316a、そして、光ファ
イバー121の入射側の端部を保持するファイバー支持
体319aを備える。他のレーザーブロック310b〜
310hも、全て310aと同一の構造を有している。
【0030】半導体レーザー101から発する発散光束
は、カップリングレンズ111により収束され、偏光ビ
ームスプリッター312a、1/4波長板316aを介
して光ファイバー121に入射する。光ファイバー12
1は、ファイバー支持体319aの中心軸に沿って形成
された貫通孔に挿入されて接着剤により支持体319a
に固定されている。
は、カップリングレンズ111により収束され、偏光ビ
ームスプリッター312a、1/4波長板316aを介
して光ファイバー121に入射する。光ファイバー12
1は、ファイバー支持体319aの中心軸に沿って形成
された貫通孔に挿入されて接着剤により支持体319a
に固定されている。
【0031】上記の構成によれば、半導体レーザー10
1から発して偏光ビームスプリッター312aを透過し
た直線偏光成分は、1/4波長板316aを透過するこ
とにより円偏光に変換される。この光束の一部が光ファ
イバー121の入射端面で反射されると、戻り光は電界
ベクトルの振動方向が入射時とは逆方向に回転する円偏
光となリ、1/4波長板316aを再び透過すると入射
時とは90゜偏光方向が異なる直線偏光となる。
1から発して偏光ビームスプリッター312aを透過し
た直線偏光成分は、1/4波長板316aを透過するこ
とにより円偏光に変換される。この光束の一部が光ファ
イバー121の入射端面で反射されると、戻り光は電界
ベクトルの振動方向が入射時とは逆方向に回転する円偏
光となリ、1/4波長板316aを再び透過すると入射
時とは90゜偏光方向が異なる直線偏光となる。
【0032】したがって、ファイバー端面からの戻り光
は偏光ビームスプリッター312aで反射されて半導体
レーザー101側に戻ることがない。反射光が半導体レ
ーザーに戻ると、半導体レーザーの発振モードが単一モ
ードから多モードに変化し、あるいは発振波長の幅が広
がるため、fθレンズの持つ倍率色収差によりスポット
径が増加して、描画精度か劣化する。この実施形態で
は、上記のように戻り光を防ぐことにより、半導体レー
ザーの発光モードの変化等による軸外の結像位置での倍
率色収差の発生を抑えている。
は偏光ビームスプリッター312aで反射されて半導体
レーザー101側に戻ることがない。反射光が半導体レ
ーザーに戻ると、半導体レーザーの発振モードが単一モ
ードから多モードに変化し、あるいは発振波長の幅が広
がるため、fθレンズの持つ倍率色収差によりスポット
径が増加して、描画精度か劣化する。この実施形態で
は、上記のように戻り光を防ぐことにより、半導体レー
ザーの発光モードの変化等による軸外の結像位置での倍
率色収差の発生を抑えている。
【0033】なお、図5および図6においては、光ファ
イバー121の射出側に、ファイバーの中心軸回りに回
転可能な偏光子400と、ファイバー121から射出し
て偏光子400を透過した光束の光量を検出するパワー
メータ410とが配置されている。これらの偏光子40
0およびパワーメータ410は、偏光調整時にのみ利用
される。調整時には、偏光子400を回転させつつ透過
光量を測定し、偏光子400の透過軸の回転角度に対す
る透過光量の変化を調べることにより、射出光の偏光状
態を判断する。
イバー121の射出側に、ファイバーの中心軸回りに回
転可能な偏光子400と、ファイバー121から射出し
て偏光子400を透過した光束の光量を検出するパワー
メータ410とが配置されている。これらの偏光子40
0およびパワーメータ410は、偏光調整時にのみ利用
される。調整時には、偏光子400を回転させつつ透過
光量を測定し、偏光子400の透過軸の回転角度に対す
る透過光量の変化を調べることにより、射出光の偏光状
態を判断する。
【0034】また、光ファイバーを射出したレーザー光
の偏光状態は、上記の偏光子400を用いて測定する方
法の他、射出光を偏光ビームスプリッターにより電界ベ
クトルの振動面が互いに直交する2つの偏光成分に分離
し、分離された光の強度をそれぞれパワーメータにより
測定し、測定されたパワーの比率を調べることによって
も検出することができる。
の偏光状態は、上記の偏光子400を用いて測定する方
法の他、射出光を偏光ビームスプリッターにより電界ベ
クトルの振動面が互いに直交する2つの偏光成分に分離
し、分離された光の強度をそれぞれパワーメータにより
測定し、測定されたパワーの比率を調べることによって
も検出することができる。
【0035】この例では、光ファイバーへの入射光は円
偏光であるため、光ファイバーが偏光を変化させる特性
を持たない場合には射出光も円偏光となり、偏光子を回
転させても光量は変化しないはずである。したがって、
偏光子の角度に依存して検出光量が変化する場合には、
光ファイバーが入射光の偏光状態を変化させたものと考
えることができる。
偏光であるため、光ファイバーが偏光を変化させる特性
を持たない場合には射出光も円偏光となり、偏光子を回
転させても光量は変化しないはずである。したがって、
偏光子の角度に依存して検出光量が変化する場合には、
光ファイバーが入射光の偏光状態を変化させたものと考
えることができる。
【0036】図7および図8は、同一の光ファイバーが
姿勢の変化によってどのように偏光状態を変化させるか
を実測データに基づいて示すグラフである。図7は、光
ファイバー121の湾曲状態の変化が偏光状態に与える
影響を調べるために、光ファイバー121の中間部を図
5に示すように「コ」字状に湾曲させた例、図6に示す
ように光ファイバーを1回ループさせた例、同様に2
回、3回ループさせた例について測定した結果を示して
いる。出力の変動幅が小さいものは射出光の偏光楕円の
長軸と短軸との比が1に近いこと、変動幅が大きいもの
は射出光の偏光楕円の長軸に対する短軸の比率が小さい
ことを意味する。図中の横軸は偏光子400の回転角
(単位:deg.)、縦軸はパワーメータ410により検
出された光強度(単位:mW)を示す。この結果から、光
強度の変動幅が最も小さいのが「コ」字状に湾曲させた
例であり、最も大きいのがループ2回の例であることが
わかる。
姿勢の変化によってどのように偏光状態を変化させるか
を実測データに基づいて示すグラフである。図7は、光
ファイバー121の湾曲状態の変化が偏光状態に与える
影響を調べるために、光ファイバー121の中間部を図
5に示すように「コ」字状に湾曲させた例、図6に示す
ように光ファイバーを1回ループさせた例、同様に2
回、3回ループさせた例について測定した結果を示して
いる。出力の変動幅が小さいものは射出光の偏光楕円の
長軸と短軸との比が1に近いこと、変動幅が大きいもの
は射出光の偏光楕円の長軸に対する短軸の比率が小さい
ことを意味する。図中の横軸は偏光子400の回転角
(単位:deg.)、縦軸はパワーメータ410により検
出された光強度(単位:mW)を示す。この結果から、光
強度の変動幅が最も小さいのが「コ」字状に湾曲させた
例であり、最も大きいのがループ2回の例であることが
わかる。
【0037】また、図8は、光ファイバー121のねじ
れによる変化が偏光状態に与える影響を測定するため
に、図6に示すように1回ループさせた光ファイバー1
21のループ部分SRを、ループ部分の入射側、射出側
の直線部分を通る軸Axsを中心に回転させた際の各回
転角度(0゜、45゜、90゜、135゜、180゜)に
おいて測定した結果を示している。この結果からは、光
強度の変動幅が最も小さいのが回転角度135゜の例、
最も大きいのが0゜の例であることがわかる。
れによる変化が偏光状態に与える影響を測定するため
に、図6に示すように1回ループさせた光ファイバー1
21のループ部分SRを、ループ部分の入射側、射出側
の直線部分を通る軸Axsを中心に回転させた際の各回
転角度(0゜、45゜、90゜、135゜、180゜)に
おいて測定した結果を示している。この結果からは、光
強度の変動幅が最も小さいのが回転角度135゜の例、
最も大きいのが0゜の例であることがわかる。
【0038】上記の測定結果は、光ファイバーの姿勢を
変更した場合の偏光状態の変化を示しているが、このよ
うな光ファイバーの特性を積極的に利用することによ
り、姿勢の変更によって射出光の偏光状態を調整するこ
とができる。偏光調整方法の手順は、図9に示される通
りである。まず、ステップ1で調整対象となっている光
ファイバーのナンバーをカウントするためのカウンタn
を1に初期化する。
変更した場合の偏光状態の変化を示しているが、このよ
うな光ファイバーの特性を積極的に利用することによ
り、姿勢の変更によって射出光の偏光状態を調整するこ
とができる。偏光調整方法の手順は、図9に示される通
りである。まず、ステップ1で調整対象となっている光
ファイバーのナンバーをカウントするためのカウンタn
を1に初期化する。
【0039】続いて、ステップ2においてn番目の半導
体レーザーを発光させ、ステップ3で偏光子400を回
転させつつパワーメータ410の出力を検出する。ステ
ップ4では、ステップ3での検出結果に基づいてn番目
の光ファイバーからの射出光の偏光状態、すなわち偏光
板の透過軸の回転角度に対する光量変化の変動幅と位相
とを測定する。ステップ4は、複数の光ファイバーのう
ちの1つから射出するレーザー光の偏光状態を検出する
ステップである。
体レーザーを発光させ、ステップ3で偏光子400を回
転させつつパワーメータ410の出力を検出する。ステ
ップ4では、ステップ3での検出結果に基づいてn番目
の光ファイバーからの射出光の偏光状態、すなわち偏光
板の透過軸の回転角度に対する光量変化の変動幅と位相
とを測定する。ステップ4は、複数の光ファイバーのう
ちの1つから射出するレーザー光の偏光状態を検出する
ステップである。
【0040】ステップ5では、ステップ4で測定された
偏光状態の基準状態からの誤差が所定の許容範囲内に入
っているか否かが判断される。基準状態が円偏光である
場合、すなわち射出光を円偏光として揃えたい場合に
は、偏光子400の透過軸の回転角度に対するパワーメ
ータ410の出力の変化が所定の基準値を中心とする所
定の範囲に収まる際に許容範囲に入ったものと判定され
る。例えば、偏光子の回転に伴う出力の変動が0.35
±0.1mWの範囲内にある場合に、許容範囲にあるも
のと判定される。
偏光状態の基準状態からの誤差が所定の許容範囲内に入
っているか否かが判断される。基準状態が円偏光である
場合、すなわち射出光を円偏光として揃えたい場合に
は、偏光子400の透過軸の回転角度に対するパワーメ
ータ410の出力の変化が所定の基準値を中心とする所
定の範囲に収まる際に許容範囲に入ったものと判定され
る。例えば、偏光子の回転に伴う出力の変動が0.35
±0.1mWの範囲内にある場合に、許容範囲にあるも
のと判定される。
【0041】一方、基準状態が直線偏光である場合に
は、偏光子400の透過軸の回転角度に対するパワーメ
ータ410の出力の変化幅が所定の値より大きく、か
つ、基準状態の直線偏光に対する光量変化の位相の差が
所定の範囲に収まる際に許容範囲に入ったものと判定さ
れる。例えば、出力の変動幅が例えば0.5mWより大
きくなるように、かつ、その位相が例えば基準となる直
線偏光の位相に対して±10゜の範囲内にある場合に、
許容範囲にあるものと判定される。
は、偏光子400の透過軸の回転角度に対するパワーメ
ータ410の出力の変化幅が所定の値より大きく、か
つ、基準状態の直線偏光に対する光量変化の位相の差が
所定の範囲に収まる際に許容範囲に入ったものと判定さ
れる。例えば、出力の変動幅が例えば0.5mWより大
きくなるように、かつ、その位相が例えば基準となる直
線偏光の位相に対して±10゜の範囲内にある場合に、
許容範囲にあるものと判定される。
【0042】ステップ5において許容範囲に入っていな
いと判断された場合には、ステップ6でn番目の光ファ
イバーの姿勢を、その光ファイバーから射出されるレー
ザー光の偏光状態が所定の基準状態に近づくよう調整す
る。ステップ6では、ループの径、該ループの数、ルー
プを含む面の角度、湾曲部の湾曲の度合いの少なくとも
1つの要素が変更される。
いと判断された場合には、ステップ6でn番目の光ファ
イバーの姿勢を、その光ファイバーから射出されるレー
ザー光の偏光状態が所定の基準状態に近づくよう調整す
る。ステップ6では、ループの径、該ループの数、ルー
プを含む面の角度、湾曲部の湾曲の度合いの少なくとも
1つの要素が変更される。
【0043】上記の姿勢の変更と偏光状態の測定とは、
誤差が許容範囲に入るまで繰り返し実行される。誤差が
許容範囲内に入ると、ステップ7でカウンタの値が7よ
り大きいか否かが判断され、大きくなければステップ8
でインクリメントされ、次の光ファイバーについてステ
ップ2〜6の処理が同様に実行される。この例では、半
導体レーザーおよび光ファイバーの数は8であるため、
カウンタnの値が8以上となれば全ての光ファイバーに
ついて調整が終了したこととなるため、その場合には処
理を終了する。
誤差が許容範囲に入るまで繰り返し実行される。誤差が
許容範囲内に入ると、ステップ7でカウンタの値が7よ
り大きいか否かが判断され、大きくなければステップ8
でインクリメントされ、次の光ファイバーについてステ
ップ2〜6の処理が同様に実行される。この例では、半
導体レーザーおよび光ファイバーの数は8であるため、
カウンタnの値が8以上となれば全ての光ファイバーに
ついて調整が終了したこととなるため、その場合には処
理を終了する。
【0044】上記の手順に従って8本の光ファイバーの
姿勢を調整することにより、各光ファイバーから射出さ
れる光束の偏光状態を所定の範囲に収めることができ、
ハーフミラー144、ポリゴンミラー180、fθレン
ズ190等の光ファイバー121〜128より感光体ド
ラム210側の光学素子の偏光依存性によるAPC用受
光素子155上の光量のバラツキ、そして感光体ドラム
面210上のスポットの強度のバラツキを抑えることが
できる。
姿勢を調整することにより、各光ファイバーから射出さ
れる光束の偏光状態を所定の範囲に収めることができ、
ハーフミラー144、ポリゴンミラー180、fθレン
ズ190等の光ファイバー121〜128より感光体ド
ラム210側の光学素子の偏光依存性によるAPC用受
光素子155上の光量のバラツキ、そして感光体ドラム
面210上のスポットの強度のバラツキを抑えることが
できる。
【0045】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、複数の半導体レーザーからの光束をそれぞれ導く複
数の光ファイバーの姿勢を変更することにより、各射出
光の偏光状態の基準状態に対する誤差が所定の許容範囲
に入るよう調整することができ、光ファイバーを射出し
た光束が入射する結像光学系の各光学素子の偏光依存性
による結像面上でのスポットの強度差を小さく抑えるこ
とができる。
ば、複数の半導体レーザーからの光束をそれぞれ導く複
数の光ファイバーの姿勢を変更することにより、各射出
光の偏光状態の基準状態に対する誤差が所定の許容範囲
に入るよう調整することができ、光ファイバーを射出し
た光束が入射する結像光学系の各光学素子の偏光依存性
による結像面上でのスポットの強度差を小さく抑えるこ
とができる。
【図1】 この発明にかかる偏光調整方法が適用される
走査光学装置の実施形態を示す斜視図である。
走査光学装置の実施形態を示す斜視図である。
【図2】 図1の装置の副走査方向の断面図である。
【図3】 図1の装置の主走査方向の平面図である。
【図4】 図1の装置の光学系のみを取り出して示す主
走査方向の説明図である。
走査方向の説明図である。
【図5】 図1の装置のレーザーブロック部分の概略構
成を示し、光ファイバーを湾曲させた例を示す説明図で
ある。
成を示し、光ファイバーを湾曲させた例を示す説明図で
ある。
【図6】 光ファイバーを1回ループさせた状態を示す
図5と同様の説明図である。
図5と同様の説明図である。
【図7】 光ファイバーの湾曲、ループによる偏光の変
化を示すグラフである。
化を示すグラフである。
【図8】 光ファイバーのループを回転させた場合の偏
光の変化を示すグラフである。
光の変化を示すグラフである。
【図9】 この発明にかかる偏光調整方法の手順を示す
フローチャートである。
フローチャートである。
100 光源部 101〜108 半導体レーザー 121〜128 光ファイバー 130 ファイバーアライメントブロック 140 コリメートレンズ 144 ハーフミラー 180 ポリゴンミラー 190 fθレンズ 210 感光体ドラム
フロントページの続き (72)発明者 飯間 光規 東京都板橋区前野町2丁目36番9号 旭光 学工業株式会社内
Claims (10)
- 【請求項1】複数の半導体レーザーから発する光束をそ
れぞれ光ファイバーを通して結像光学系に入射させ、結
像面にスポットを形成する光結像装置の偏光調整方法に
おいて、 前記複数の光ファイバーのうちの1つから射出するレー
ザー光の偏光状態を検出する第1のステップと、 前記第1のステップで検出された偏光状態の所定の基準
状態からの誤差が所定の許容範囲内に入るか否かを判定
する第2のステップと、 前記第2のステップにおいて前記基準状態からの誤差が
許容範囲を越えると判断された際に、前記第1のステッ
プで検出対象とされた光ファイバーの姿勢を、当該光フ
ァイバーから射出されるレーザー光の偏光状態が前記基
準状態に近づくよう調整する第3のステップとを有し、 全ての前記光ファイバーについて、前記誤差が前記許容
範囲に入ると判定されるまで、前記第1、第2、第3の
ステップを繰り返し実行することを特徴とする光結像装
置の偏光調整方法。 - 【請求項2】複数の半導体レーザーから発する光束をそ
れぞれ光ファイバーを通して偏向器に入射させ、偏向器
により偏向された複数の光束を走査レンズにより収束さ
せて走査対象面にスポットを形成する走査型の光結像装
置の偏光調整方法において、前記複数の光ファイバーの
うちの1つから射出するレーザー光の偏光状態を検出す
る第1のステップと、 前記第1のステップで検出された偏光状態の所定の基準
状態からの誤差が所定の許容範囲内に入るか否かを判定
する第2のステップと、 前記第2のステップにおいて前記基準状態からの誤差が
許容範囲を越えると判断された際に、前記第1のステッ
プで検出対象とされた光ファイバーの姿勢を、当該光フ
ァイバーから射出されるレーザー光の偏光状態が前記基
準状態に近づくよう調整する第3のステップとを有し、 全ての前記光ファイバーについて、前記誤差が前記許容
範囲に入ると判定されるまで、前記第1、第2、第3の
ステップを繰り返し実行することを特徴とする光結像装
置の偏光調整方法。 - 【請求項3】前記第1のステップでは、前記光ファイバ
ーから射出されるレーザー光を偏光子に入射させ、該偏
光子の透過軸を回転させつつ該偏光子を透過するレーザ
ー光の光量を検出し、透過軸の回転角度に対する光量変
化から前記レーザー光の偏光状態を判断することを特徴
とする請求項1または2のいずれかに記載の光結像装置
の偏光調整方法。 - 【請求項4】前記第3のステップでは、前記光ファイバ
ーのループの径、該ループの数、ループを含む面の角
度、湾曲部の湾曲の度合いの少なくとも1つの要素を変
更することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載
の光結像装置の偏光調整方法。 - 【請求項5】前記第2のステップでは、前記基準状態が
円偏光である場合には、透過軸の回転角度に対する光量
の変化が所定の基準値を中心とする所定の範囲に収まる
際に前記許容範囲に入ったものと判定されることを特徴
とする請求項3または4のいずれかに記載の光結像装置
の偏光調整方法。 - 【請求項6】前記第2のステップでは、前記基準状態が
直線偏光である場合には、透過軸の回転角度に対する光
量の変化幅が所定の値より大きく、かつ、前記基準状態
の直線偏光に対する光量変化の位相の差が所定の範囲に
収まる際に前記許容範囲に入ったものと判定されること
を特徴とする請求項3または4のいずれかに記載の光結
像装置の偏光調整方法。 - 【請求項7】複数の半導体レーザーから発する光束を偏
光状態を揃えてそれぞれ光ファイバーに入射させ、該光
ファイバーからの射出光を結像光学系に入射させ、結像
面にスポットを形成する光結像装置の偏光調整方法にお
いて、前記複数の光ファイバーのうちの1つから射出す
るレーザー光の偏光状態を検出する第1のステップと、 前記第1のステップで検出された偏光状態が所定の条件
を満たすか否かを判定する第2のステップと、 前記第2のステップにおいて前記条件を満たさないと判
断された際に、前記第1のステップで検出対象とされた
光ファイバーの姿勢を、当該光ファイバーから射出され
るレーザー光の偏光状態が前記条件を満たすよう調整す
る第3のステップとを有し、 全ての前記光ファイバーについて、前記条件を満たすと
判定されるまで、前記第1、第2、第3のステップを繰
り返し実行することを特徴とする光結像装置の偏光調整
方法。 - 【請求項8】前記第1のステップでは、前記光ファイバ
ーから射出されるレーザー光を偏光子に入射させ、該偏
光子の透過軸を回転させつつ該偏光子を透過するレーザ
ー光の光量を検出し、透過軸の回転角度に対する光量変
化から前記レーザー光の偏光状態を判断することを特徴
とする請求項5に記載の光結像装置の偏光調整方法。 - 【請求項9】前記条件は、前記光ファイバーからの射出
光を円偏光を基準として揃える場合には、透過軸の回転
角度に対する光量の変化幅が所定の値より小さくなるよ
う定められることを特徴とする請求項8に記載の光結像
装置の偏光調整方法。 - 【請求項10】前記条件は、前記光ファイバーからの射
出光を直線偏光を基準として揃える場合には、透過軸の
回転角度に対する光量の変化幅が所定の値より大きくな
り、かつ、光量変化の位相の差が所定の範囲より小さく
なるよう定められることを特徴とする請求項8に記載の
光結像装置の偏光調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4206196A JPH09211278A (ja) | 1996-02-05 | 1996-02-05 | 光結像装置の偏光調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4206196A JPH09211278A (ja) | 1996-02-05 | 1996-02-05 | 光結像装置の偏光調整方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09211278A true JPH09211278A (ja) | 1997-08-15 |
Family
ID=12625596
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4206196A Pending JPH09211278A (ja) | 1996-02-05 | 1996-02-05 | 光結像装置の偏光調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09211278A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006019178A1 (ja) * | 2004-08-20 | 2006-02-23 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | 露光方法および装置 |
| JP2009211037A (ja) * | 2008-02-05 | 2009-09-17 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置及び画像形成装置 |
| JP2015018984A (ja) * | 2013-07-12 | 2015-01-29 | ウシオ電機株式会社 | ファイバーレーザ光源装置 |
-
1996
- 1996-02-05 JP JP4206196A patent/JPH09211278A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006019178A1 (ja) * | 2004-08-20 | 2006-02-23 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | 露光方法および装置 |
| JP2009211037A (ja) * | 2008-02-05 | 2009-09-17 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置及び画像形成装置 |
| JP2015018984A (ja) * | 2013-07-12 | 2015-01-29 | ウシオ電機株式会社 | ファイバーレーザ光源装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6011250A (en) | Light intensity controlling device | |
| KR100264761B1 (ko) | 광학 스캐닝 장치 | |
| US5009472A (en) | Light scanning device with polarizing device to make light transmission more uniform | |
| US5834766A (en) | Multi-beam scanning apparatus and multi-beam detection method for the same | |
| JP2002040350A (ja) | 光走査装置 | |
| JP2009211037A (ja) | 光走査装置及び画像形成装置 | |
| JPH09211277A (ja) | 光結像装置 | |
| US5952649A (en) | Optical write apparatus with an operation for even charging of photosensitive element | |
| JPH09211352A (ja) | 走査光学装置 | |
| JP3363218B2 (ja) | 光ビーム走査装置 | |
| JP4677657B2 (ja) | 走査光学装置 | |
| US5341212A (en) | Wave front interferometer | |
| US6580052B1 (en) | Method for assembling a miser laser with fibre coupling | |
| JPH08110488A (ja) | 光走査装置 | |
| JPH09211357A (ja) | 走査光学装置における点光源列の角度調節機構及び調節方法 | |
| JP3283217B2 (ja) | 走査光学系の走査位置補正装置 | |
| JP3283179B2 (ja) | 光強度制御装置および光強度制御方法 | |
| JP3548319B2 (ja) | 走査光学装置 | |
| JP2580824Y2 (ja) | 焦点調整装置 | |
| JP3283177B2 (ja) | 走査光学装置およびポリゴンミラーカバー | |
| JP2001116957A (ja) | 光モジュール及び光源ユニット | |
| JP3222755B2 (ja) | 走査光学装置 | |
| JPH09218367A (ja) | 走査光学装置 | |
| JP3238648B2 (ja) | 光強度制御装置および光強度制御方法 | |
| JP2870667B2 (ja) | レーザダイオードモジュール |