JPH09212840A - Magnetic head slider and its production and magnetic disk device - Google Patents
Magnetic head slider and its production and magnetic disk deviceInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は磁気ヘッドスライダ
及びその製造方法並びに磁気ディスク装置に係り、特に
磁気ディスク面に対して微小距離浮上して情報信号を磁
気ディスクに記録し、再生する磁気ヘッドスライダ及び
その製造方法並びに磁気ディスク装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head slider, a method for manufacturing the same, and a magnetic disk device, and more particularly to a magnetic head slider for recording and reproducing an information signal on a magnetic disk by levitating a minute distance from the magnetic disk surface. And a manufacturing method thereof and a magnetic disk device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より大容量の外部記憶装置の一つと
して、固定ディスク装置が知られている。この固定ディ
スク装置では、複数枚の磁気ディスクのそれぞれに対し
て磁気ヘッドスライダが設けられ、これにより高速回転
している対応する磁気ディスクにそれぞれ情報信号を記
録又は再生する。2. Description of the Related Art A fixed disk device has been known as one of large-capacity external storage devices. In this fixed disk device, a magnetic head slider is provided for each of a plurality of magnetic disks, whereby information signals are recorded or reproduced on the corresponding magnetic disks rotating at high speed.
【０００３】ここで、磁気ヘッドスライダはその底面が
磁気ディスクの回転停止時には接触しているが、情報信
号を記録／再生するときには、磁気ディスクが高速で回
転され、このとき磁気ディスク表面に発生する粘性空気
流により磁気ヘッドスライダに揚力が発生し、この揚力
と磁気ヘッドスライダを磁気ディスク面方向へ力を付勢
している弾性部材の押圧力とが釣り合う位置まで磁気ヘ
ッドスライダが浮上し、この浮上状態で磁気ヘッドスラ
イダの電磁変換部により情報信号が磁気ディスクに対し
て記録され、あるいは記録されている情報信号が再生さ
れる。Here, the bottom surface of the magnetic head slider is in contact with the magnetic disk when the rotation of the magnetic disk is stopped, but when recording / reproducing an information signal, the magnetic disk is rotated at a high speed and is generated on the surface of the magnetic disk. The viscous air flow causes a lift force to the magnetic head slider, and the magnetic head slider floats to a position where the lift force and the pressing force of the elastic member for urging the magnetic head slider in the magnetic disk surface direction are balanced. An information signal is recorded on the magnetic disk by the electromagnetic conversion unit of the magnetic head slider in the floating state, or the recorded information signal is reproduced.
【０００４】かかる磁気ヘッドスライダの磁気ディスク
面と対向する底面（これを空気浮上面（ＡＢＳ）ともい
う）は、磁気ディスクの回転停止時には磁気ディスク面
上に接触するため、接触による摩耗や腐食の損傷が生じ
易く、それにより記録再生特性が劣化することから、こ
れら摩耗や腐食の損傷から保護するために従来より各種
の保護膜が堆積されている。The bottom surface of the magnetic head slider facing the magnetic disk surface (also referred to as an air bearing surface (ABS)) comes into contact with the magnetic disk surface when the rotation of the magnetic disk is stopped. Since damage is likely to occur and the recording / reproducing characteristics are deteriorated thereby, various kinds of protective films have been conventionally deposited in order to protect from such damages due to wear and corrosion.
【０００５】図４は従来の磁気ヘッドスライダのＡＢＳ
付近の断面図を示す。同図に示すように、磁気ヘッドス
ライダ１のＡＢＳにはポール部２が形成され、更に磁気
ディスクと対向するＡＢＳはアルミナで形成されたアル
ミナ面３とされ、このアルミナ面３上に、保護膜４が被
覆堆積されている。FIG. 4 shows the ABS of a conventional magnetic head slider.
A cross-sectional view of the vicinity is shown. As shown in the figure, a pole portion 2 is formed on the ABS of the magnetic head slider 1, and the ABS facing the magnetic disk is an alumina surface 3 made of alumina. On this alumina surface 3, a protective film is formed. 4 is overlaid.
【０００６】ここで、従来の磁気ヘッドスライダ１は、
保護膜４の成膜時にラップ条件などにより、磁気ヘッド
スライダ１のトレーリングエッジ側のアルミナ面３に対
するポール部２の高さが変動し、図４に示すように、ポ
ール部２がアルミナ面３に対して磁気ディスク側に突出
するように（凸状態になるように）製造されることが多
い。Here, the conventional magnetic head slider 1 is
When the protective film 4 is formed, the height of the pole portion 2 with respect to the alumina surface 3 on the trailing edge side of the magnetic head slider 1 varies depending on the lapping conditions and the like, and as shown in FIG. On the other hand, it is often manufactured so as to project toward the magnetic disk (in a convex state).
【０００７】なお、従来の他の例として、薄膜磁気ヘッ
ドスライダ面に所定の厚さの窒化膜または酸化膜等によ
る保護膜を設けた薄膜磁気ヘッドスライダ（特開昭６３
−９１８１４号公報）や、磁気ヘッドのレール面に薄い
接着層と薄いアモルファス水素添加炭素層とから成る保
護膜を備えた薄膜磁気ヘッドスライダ（特開平４−３６
４２１７号公報）などが知られている。As another conventional example, a thin film magnetic head slider in which a protective film of a predetermined thickness such as a nitride film or an oxide film is provided on the surface of the thin film magnetic head slider (Japanese Patent Laid-Open No. Sho 63-63)
-91814) or a thin film magnetic head slider provided with a protective film composed of a thin adhesive layer and a thin amorphous hydrogenated carbon layer on the rail surface of the magnetic head (JP-A-4-36).
No. 4217) and the like are known.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかるに、図４に示し
た従来の磁気ヘッドスライダでは、磁気ヘッドＡＢＳ上
に保護膜４を成膜するとき、ポール部２がアルミナ面３
に対し凸状態になっているので、磁気ディスク回転停止
時（ＣＳＳ（コンタクト・スタート・ストップ）後）に
ポール部２上のＡＢＳ保護膜４が磁気ディスク面との摺
動により磨耗し、腐食が発生しやすく、ポール部２にお
けるＡＢＳ保護膜４の腐食抑制効果及び磨耗低減効果が
あまり見られない。However, in the conventional magnetic head slider shown in FIG. 4, when the protective film 4 is formed on the magnetic head ABS, the pole portion 2 has the alumina surface 3
Since it is in a convex state, the ABS protective film 4 on the pole portion 2 is worn by sliding on the magnetic disk surface when the magnetic disk rotation is stopped (after CSS (contact start stop)), and corrosion occurs. It is likely to occur, and the effect of suppressing corrosion and the effect of reducing wear of the ABS protective film 4 in the pole portion 2 are hardly seen.
【０００９】また、後者の各公報記載の従来の薄膜磁気
ヘッドスライダは、保護膜の構成についてしか開示して
なく、ＣＳＳ後に保護膜が磨耗した場合の耐蝕性につい
ては開示されていない。Further, the conventional thin-film magnetic head sliders described in the latter publications disclose only the structure of the protective film and not the corrosion resistance when the protective film is worn after CSS.
【００１０】本発明は以上の点に鑑みなされたもので、
ポール部の耐蝕性に優れ、また磨耗によるポール部の劣
化を抑制する信頼性の高い磁気ヘッドスライダ及びその
製造方法並びに磁気ディスク装置を提供することを目的
とする。[0010] The present invention has been made in view of the above points,
An object of the present invention is to provide a magnetic head slider having excellent corrosion resistance of the pole portion and suppressing deterioration of the pole portion due to abrasion, a method of manufacturing the same, and a magnetic disk device.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成するため、磁気記録媒体の上方に浮上した状態で磁気
記録媒体の磁性膜に対して、情報を磁電変換素子を構成
するポール部で読み書きし、磁気記録媒体の表面に対向
する空気浮上面上に保護膜が被覆堆積された構成の磁気
ヘッドスライダにおいて、保護膜が被覆されたポール部
先端を、保護膜が被覆された空気浮上面に対して磁気記
録媒体の表面よりも遠ざかる位置に形成したものであ
る。In order to achieve the above object, the present invention has a pole portion which constitutes a magnetoelectric conversion element for information on a magnetic film of a magnetic recording medium in a state of being levitated above the magnetic recording medium. In a magnetic head slider having a structure in which a protective film is coated and deposited on the air bearing surface facing the surface of the magnetic recording medium, the tip of the pole portion covered with the protective film is floated on the air bearing surface covered with the protective film. It is formed at a position farther from the surface than the surface of the magnetic recording medium.
【００１２】本発明では、ポール部先端が空気浮上面よ
りも磁気記録媒体に対して離れた位置に形成されるた
め、磁気記録媒体に接触摺動したときでも、空気浮上面
よりも突設して形成されたポール部を有する従来の磁気
ヘッドスライダに比し、接触圧力を低減できる。In the present invention, since the tip of the pole portion is formed at a position farther from the magnetic recording medium than the air bearing surface, even if the pole portion protrudes from the air bearing surface even when it comes into contact with and slides on the magnetic recording medium. The contact pressure can be reduced as compared with the conventional magnetic head slider having the pole portion formed by the above.
【００１３】ここで、上記空気浮上面は ポール部先端
に対して１０ｎｍ未満の高さだけ、磁気記録媒体の表面
側に形成されることが、記録再生特性の低下をもたらせ
ることなく、所期の目的を達成する点で望ましい。Here, the fact that the air bearing surface is formed on the surface side of the magnetic recording medium by a height of less than 10 nm with respect to the tip of the pole portion does not deteriorate the recording / reproducing characteristics. It is desirable to achieve the purpose of the term.
【００１４】また、本発明製造方法は、空気浮上面及び
ポール部を逆スパッタし、ポール部先端を空気浮上面に
対して磁気記録媒体の表面よりも遠ざかる位置に形成す
る第１の工程と、ポール部先端及び空気浮上面上に連続
した保護膜を被覆堆積する第２の工程とを含む構成とし
たものである。Further, the manufacturing method of the present invention comprises a first step in which the air bearing surface and the pole portion are reverse-sputtered to form the tip of the pole portion at a position farther from the surface of the magnetic recording medium than the air bearing surface. The second step of coating and depositing a continuous protective film on the tip of the pole portion and the air bearing surface is adopted.
【００１５】これにより、本発明製造方法では、ポール
部先端が空気浮上面よりも磁気記録媒体に対して離れた
位置に形成された磁気ヘッドスライダを好適に製造する
ことができる。As a result, according to the manufacturing method of the present invention, it is possible to preferably manufacture the magnetic head slider in which the tip of the pole portion is formed at a position farther from the magnetic recording medium than the air bearing surface.
【００１６】また、本発明の磁気ディスク装置は、回転
する磁気ディスクの上方に浮上した状態で磁気ディスク
の磁性膜に対して、磁気ヘッドスライダの磁電変換素子
を構成するポール部で情報を読み書きする磁気ディスク
装置において、磁気ヘッドスライダとして、保護膜が被
覆されたポール部先端を、磁気ディスクに対向する保護
膜が被覆された空気浮上面に対して磁気ディスクの表面
よりも遠ざかる位置に形成した構成の磁気ヘッドスライ
ダを用いることを特徴とする。Further, in the magnetic disk device of the present invention, information is read from and written to the magnetic film of the magnetic disk in a state of being levitated above the rotating magnetic disk by the pole portion constituting the magnetoelectric conversion element of the magnetic head slider. In a magnetic disk device, as a magnetic head slider, a tip of a pole part covered with a protective film is formed at a position farther from the surface of the magnetic disk than an air-bearing surface covered with the protective film facing the magnetic disk. The magnetic head slider is used.
【００１７】本発明では、従来に比べて接触圧力を低減
できる磁気ヘッドスライダを用いて磁気ディスクに対し
て情報を記録再生できる。In the present invention, information can be recorded / reproduced on / from a magnetic disk by using a magnetic head slider capable of reducing the contact pressure as compared with the prior art.
【００１８】[0018]
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。Next, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
【００１９】図１は本発明になる磁気ヘッドスライダの
一実施の形態の要部の断面図、図２は磁気ヘッドスライ
ダの側面図を示す。図２に示すように、磁気ヘッドスラ
イダ１１は支持部材１６により支持され、磁気ヘッドス
ライダ１１の磁気ディスク１９に対向するＡＢＳ１７に
は保護膜が被覆堆積されている。磁気ディスク１９は矢
印Ａ方向に回転する。点線１８で囲んだ部分がトレーリ
ングエッジで、この部分を拡大したものが図１である。FIG. 1 is a sectional view of a main part of an embodiment of a magnetic head slider according to the present invention, and FIG. 2 is a side view of the magnetic head slider. As shown in FIG. 2, the magnetic head slider 11 is supported by a supporting member 16, and the ABS 17 facing the magnetic disk 19 of the magnetic head slider 11 is covered and deposited with a protective film. The magnetic disk 19 rotates in the direction of arrow A. The portion surrounded by the dotted line 18 is the trailing edge, and FIG. 1 is an enlarged view of this portion.
【００２０】図１に示すように、この磁気ヘッドスライ
ダ１１はそのＡＢＳ付近にはポール部１２が形成され、
更に磁気ディスク（図示せず）と対向するＡＢＳはアル
ミナで形成されたアルミナ面１３とされ、このアルミナ
面１３上に、保護膜１４が被覆堆積されている。As shown in FIG. 1, the magnetic head slider 11 has a pole portion 12 formed near its ABS.
Further, the ABS facing the magnetic disk (not shown) is an alumina surface 13 made of alumina, and a protective film 14 is deposited on the alumina surface 13 so as to cover it.
【００２１】ここで、磁気ヘッドスライダ１１は、従来
と異なり磁気ヘッドスライダ１１のトレーリングエッジ
側のアルミナ面１３の方がポール部１２の底部に対して
磁気ディスク側方向に位置するように（凹状態になるよ
うに）製造されている。これにより、磁気ディスク回転
停止時に磁気ヘッドスライダのＡＢＳが磁気ディスクに
接触摺動しても、ポール部１２に対する接触圧が従来よ
りも小さくなるようにできる。Here, unlike the conventional magnetic head slider 11, the alumina surface 13 on the trailing edge side of the magnetic head slider 11 is positioned in the magnetic disk side direction with respect to the bottom of the pole portion 12 (concave). Manufactured to the condition). As a result, even if the ABS of the magnetic head slider comes into contact with and slides on the magnetic disk when the magnetic disk rotation is stopped, the contact pressure on the pole portion 12 can be made smaller than before.
【００２２】次に、本発明の磁気ヘッドスライダの製造
方法の一実施の形態について説明する。まず、非磁性基
板上に磁性材料及び電気絶縁材料の層を堆積して、磁気
ディスク上の磁性膜の情報を読み書きするのに必要な周
知の磁電変換素子（ポール部）を形成する。また、磁気
ディスクに対向する面にはアルミナ面が形成される。こ
れにより、非磁性基板上には複数の磁気ヘッドが一連の
列をなして形成される。Next, an embodiment of the method of manufacturing the magnetic head slider according to the present invention will be described. First, a layer of a magnetic material and an electrically insulating material is deposited on a non-magnetic substrate to form a well-known magnetoelectric conversion element (pole portion) necessary for reading and writing information on a magnetic film on a magnetic disk. Further, an alumina surface is formed on the surface facing the magnetic disk. As a result, a plurality of magnetic heads are formed in a series on the non-magnetic substrate.
【００２３】次に、上記基板を切断し一列の磁気ヘッド
が並んだロー（列）を作製する。このロー状態で、薄膜
磁気ヘッドが所定のスロート高さの寸法になるようにラ
ップ仕上げされる。次に、ラップ仕上げされた面（ＡＢ
Ｓ）を洗浄し、磁気ディスクに対向する面側を逆スパッ
タ（真空度：５×１０-5、ＰW：２４０Ｗ、Ａｒ流量：
２５ｓｃｃｍ）を施すことによって、トレーリングエッ
ジ側にあるポール部１２をアルミナ面１３に対し凹状態
（〜10ｎｍ内）にする。Next, the substrate is cut to form rows (rows) in which a single row of magnetic heads are arranged. In this low state, the thin film magnetic head is lapped to have a predetermined throat height. Next, the lapped surface (AB
S) is washed, and the surface side facing the magnetic disk is subjected to reverse sputtering (vacuum degree: 5 × 10 −5 , P W : 240 W , Ar flow rate:
25 sccm) to make the pole portion 12 on the trailing edge side concave (within 10 nm) with respect to the alumina surface 13.
【００２４】続いて、凹状態に形成されたアルミナ面１
３上に連続した保護膜１４を成膜し、図１に示すような
凹状のギャップ１５を生じさせる。そして、上記の保護
膜１４が成膜されたＡＢＳ上に、レールのパターンを機
械的加工法、若しくはエッチングプロセスなどの乾式処
理技法を用いて作成する。このローを個別に磁気ヘッド
スライダに分離することにより、薄膜磁気ヘッドが完成
する。Subsequently, the alumina surface 1 formed in a concave state
A continuous protective film 14 is formed on the upper surface 3 to form a concave gap 15 as shown in FIG. Then, a rail pattern is formed on the ABS on which the protective film 14 is formed by a dry processing technique such as a mechanical processing method or an etching process. A thin film magnetic head is completed by individually separating the rows into magnetic head sliders.
【００２５】このようにして製造された薄膜磁気ヘッド
スライダでは、図１に示すようにポール部１２がアルミ
ナ面１３に対し、凹状態（〜10ｎｍ内）になっており、
かつ、その上に連続した保護膜１４を有する。この構造
の磁気ヘッドスライダ１１によれば、ポール部１２の耐
腐食性に優れ、また摺動特性も良好であることが、本発
明者により確認された。また、ポール部１２上の保護膜
１４の磨耗によるポール部１２の劣化を抑えることがで
きる。In the thin film magnetic head slider thus manufactured, the pole portion 12 is concave (within 10 nm) with respect to the alumina surface 13 as shown in FIG.
Further, it has a continuous protective film 14 thereon. The present inventor has confirmed that the magnetic head slider 11 having this structure has excellent corrosion resistance of the pole portion 12 and good sliding characteristics. Further, deterioration of the pole portion 12 due to abrasion of the protective film 14 on the pole portion 12 can be suppressed.
【００２６】図３は本発明の磁気ディスク装置の一実施
の形態の概略平面図を示す。同図において、磁気ディス
ク装置２１は磁気ディスク２２上に配置される磁気ヘッ
ドスライダ２３と、磁気ヘッドスライダ２３を先端に保
持するサスペンション２４と、サスペンション２４を保
持し、支点２６を中心として回動するアクチュエータ２
５と、磁気回路２７とコネクタ２８とから大略構成され
ている。FIG. 3 is a schematic plan view of an embodiment of the magnetic disk device of the present invention. In FIG. 1, a magnetic disk device 21 has a magnetic head slider 23 arranged on a magnetic disk 22, a suspension 24 holding the magnetic head slider 23 at its tip, a suspension 24, and a rotation around a fulcrum 26. Actuator 2
5, a magnetic circuit 27, and a connector 28.
【００２７】この磁気ディスク装置２１は大略従来装置
と同様であるが、磁気ヘッドスライダ２３が図１及び図
２と共に説明した磁気ヘッドスライダ１１を用いた点に
特徴がある。この磁気ヘッドスライダ２３は前記したよ
うにポール部１２の耐腐食性に優れ、また摺動特性も良
好であるため、信頼性の高い磁気ディスク装置を実現で
きる。The magnetic disk device 21 is substantially the same as the conventional device, but is characterized in that the magnetic head slider 23 uses the magnetic head slider 11 described with reference to FIGS. 1 and 2. Since the magnetic head slider 23 has excellent corrosion resistance of the pole portion 12 and good sliding characteristics as described above, a highly reliable magnetic disk device can be realized.
【００２８】[0028]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ポール部先端を空気浮上面よりも磁気記録媒体に対して
離れた位置に形成することにより、磁気記録媒体に接触
摺動したときでも、空気浮上面よりも突設して形成され
たポール部を有する従来の磁気ヘッドスライダに比し、
接触圧力を低減できるため、従来に比しポール部上の保
護膜の磨耗を低減できると共に、ポール部の耐腐食性を
向上させることができる。更に、本発明によれば、保護
膜が磨耗することによるポール部の削れ、劣化も抑える
ことができる。As described above, according to the present invention,
By forming the tip of the pole portion at a position farther from the air bearing surface than the magnetic recording medium, the pole portion formed so as to project from the air bearing surface even when the slider slides in contact with the magnetic recording medium. Compared with the conventional magnetic head slider that has,
Since the contact pressure can be reduced, the abrasion of the protective film on the pole portion can be reduced and the corrosion resistance of the pole portion can be improved as compared with the conventional case. Further, according to the present invention, it is possible to prevent the pole portion from being scraped and deteriorated due to wear of the protective film.
【００２９】また、本発明磁気ディスク装置によれば、
従来に比べて接触圧力を低減できる磁気ヘッドスライダ
を用いて磁気ディスクに対して情報を記録再生できるた
め、従来に比べて磁気ディスク装置の信頼性を向上する
ことができる。According to the magnetic disk device of the present invention,
Since information can be recorded / reproduced on / from a magnetic disk by using a magnetic head slider capable of reducing contact pressure as compared with the conventional one, reliability of the magnetic disk device can be improved as compared with the conventional one.
【図１】本発明の一実施の形態の要部の断面図である。FIG. 1 is a sectional view of an essential part of an embodiment of the present invention.
【図２】磁気ヘッドスライダの側面図である。FIG. 2 is a side view of a magnetic head slider.
【図３】本発明磁気ディスク装置の一実施の形態の概略
平面図である。FIG. 3 is a schematic plan view of an embodiment of a magnetic disk device of the present invention.
【図４】従来の一例の要部の断面図である。FIG. 4 is a sectional view of a main part of a conventional example.
１１ 磁気ヘッドスライダ １２ ポール部 １３ アルミナ面 １４ 保護膜 １５ ギャップ １９、２２ 磁気ディスク ２１ 磁気ディスク装置 ２３ 磁気ヘッドスライダ ２４ サスペンション ２５ アクチュエータ ２７ 磁気回路 ２８ コネクタ 11 Magnetic Head Slider 12 Pole Part 13 Alumina Surface 14 Protective Film 15 Gap 19, 22 Magnetic Disk 21 Magnetic Disk Device 23 Magnetic Head Slider 24 Suspension 25 Actuator 27 Magnetic Circuit 28 Connector
Claims (4)
磁気記録媒体の磁性膜に対して、情報を磁電変換素子を
構成するポール部で読み書きし、該磁気記録媒体の表面
に対向する空気浮上面上に保護膜が被覆堆積された構成
の磁気ヘッドスライダにおいて、 前記保護膜が被覆された前記ポール部先端を、前記保護
膜が被覆された前記空気浮上面に対して前記磁気記録媒
体の表面よりも遠ざかる位置に形成したことを特徴とす
る磁気ヘッドスライダ。1. A magnetic film of a magnetic recording medium in a state of being floated above the magnetic recording medium, information is read from and written to by a pole portion constituting a magnetoelectric conversion element, and air which faces the surface of the magnetic recording medium is read and written. In a magnetic head slider having a structure in which a protective film is coated and deposited on an air bearing surface, the tip of the pole portion coated with the protective film is attached to the magnetic air bearing surface covered with the protective film, and A magnetic head slider characterized by being formed at a position farther from the surface.
して１０ｎｍ未満の高さだけ、前記磁気記録媒体の表面
側に形成され、凹状のギャップを有することを特徴とす
る請求項１記載の磁気ヘッドスライダ。2. The air floating surface is formed on the surface side of the magnetic recording medium by a height of less than 10 nm with respect to the tip of the pole portion, and has a concave gap. Magnetic head slider.
磁気記録媒体の磁性膜に対して、情報を磁電変換素子を
構成するポール部で読み書きし、該磁気記録媒体の表面
に対向する空気浮上面上に保護膜が被覆堆積された構成
の磁気ヘッドスライダの製造方法において、 前記空気浮上面及びポール部を逆スパッタし、前記ポー
ル部先端を前記空気浮上面に対して前記磁気記録媒体の
表面よりも遠ざかる位置に形成する第１の工程と、 前記ポール部先端及び前記空気浮上面上に連続した保護
膜を被覆堆積する第２の工程とを含むことを特徴とする
磁気ヘッドスライダの製造方法。3. A magnetic film of the magnetic recording medium in a state of being floated above the magnetic recording medium, information is read from and written to by a pole portion which constitutes a magnetoelectric conversion element, and air which faces the surface of the magnetic recording medium is read and written. In a method of manufacturing a magnetic head slider having a structure in which a protective film is coated and deposited on an air bearing surface, the air bearing surface and a pole portion are reverse-sputtered, and a tip of the pole portion is attached to the air bearing surface of the magnetic recording medium. Manufacture of a magnetic head slider, characterized by including a first step of forming at a position farther from the surface, and a second step of coating and depositing a continuous protective film on the tip of the pole portion and on the air-bearing surface. Method.
状態で該磁気ディスクの磁性膜に対して、磁気ヘッドス
ライダの磁電変換素子を構成するポール部で情報を読み
書きする磁気ディスク装置において、 前記磁気ヘッドスライダとして、保護膜が被覆された前
記ポール部先端を、前記磁気ディスクに対向する前記保
護膜が被覆された空気浮上面に対して前記磁気ディスク
の表面よりも遠ざかる位置に形成した構成の磁気ヘッド
スライダを用いることを特徴とする磁気ディスク装置。4. A magnetic disk device in which information is read from and written to a magnetic film of the magnetic disk by a pole portion forming a magnetoelectric conversion element of a magnetic head slider while floating above the rotating magnetic disk. As a head slider, a magnetic pole having a structure in which the tip of the pole portion covered with a protective film is formed at a position farther from the surface of the magnetic disk with respect to the air bearing surface facing the magnetic disk covered with the protective film. A magnetic disk device characterized by using a head slider.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1511196A JPH09212840A (en) | 1996-01-31 | 1996-01-31 | Magnetic head slider and its production and magnetic disk device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1511196A JPH09212840A (en) | 1996-01-31 | 1996-01-31 | Magnetic head slider and its production and magnetic disk device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09212840A true JPH09212840A (en) | 1997-08-15 |
Family
ID=11879730
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1511196A Pending JPH09212840A (en) | 1996-01-31 | 1996-01-31 | Magnetic head slider and its production and magnetic disk device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09212840A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7286326B2 (en) | 2004-05-27 | 2007-10-23 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Magnetic head with air bearing surface protection film |
-
1996
- 1996-01-31 JP JP1511196A patent/JPH09212840A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7286326B2 (en) | 2004-05-27 | 2007-10-23 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Magnetic head with air bearing surface protection film |
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