JPH09212840A - 磁気ヘッドスライダ及びその製造方法並びに磁気ディスク装置 - Google Patents
磁気ヘッドスライダ及びその製造方法並びに磁気ディスク装置Info
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- JPH09212840A JPH09212840A JP1511196A JP1511196A JPH09212840A JP H09212840 A JPH09212840 A JP H09212840A JP 1511196 A JP1511196 A JP 1511196A JP 1511196 A JP1511196 A JP 1511196A JP H09212840 A JPH09212840 A JP H09212840A
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Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＣＳＳ後にポール部上の保護膜が磁気ディス
ク面との摺動により磨耗し、腐食が発生しやすく、ポー
ル部における保護膜の腐食抑制効果及び磨耗低減効果が
あまり見られない。 【解決手段】 磁気ヘッドスライダ１１は、従来と異な
り磁気ヘッドスライダ１１のトレーリングエッジ側のア
ルミナ面１３の方がポール部１２の先端に対して磁気デ
ィスク側方向に位置するように（凹状態になるよう
に）、保護膜１４の成膜前にアルミナ面１３及びポール
部１２を逆スパッタして形成される。これにより、磁気
ディスク回転停止時に磁気ヘッドスライダのＡＢＳが磁
気ディスクに接触摺動しても、ポール部１２に対する接
触圧が従来よりも小さくなるようにできる。
ク面との摺動により磨耗し、腐食が発生しやすく、ポー
ル部における保護膜の腐食抑制効果及び磨耗低減効果が
あまり見られない。 【解決手段】 磁気ヘッドスライダ１１は、従来と異な
り磁気ヘッドスライダ１１のトレーリングエッジ側のア
ルミナ面１３の方がポール部１２の先端に対して磁気デ
ィスク側方向に位置するように（凹状態になるよう
に）、保護膜１４の成膜前にアルミナ面１３及びポール
部１２を逆スパッタして形成される。これにより、磁気
ディスク回転停止時に磁気ヘッドスライダのＡＢＳが磁
気ディスクに接触摺動しても、ポール部１２に対する接
触圧が従来よりも小さくなるようにできる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は磁気ヘッドスライダ
及びその製造方法並びに磁気ディスク装置に係り、特に
磁気ディスク面に対して微小距離浮上して情報信号を磁
気ディスクに記録し、再生する磁気ヘッドスライダ及び
その製造方法並びに磁気ディスク装置に関する。
及びその製造方法並びに磁気ディスク装置に係り、特に
磁気ディスク面に対して微小距離浮上して情報信号を磁
気ディスクに記録し、再生する磁気ヘッドスライダ及び
その製造方法並びに磁気ディスク装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より大容量の外部記憶装置の一つと
して、固定ディスク装置が知られている。この固定ディ
スク装置では、複数枚の磁気ディスクのそれぞれに対し
て磁気ヘッドスライダが設けられ、これにより高速回転
している対応する磁気ディスクにそれぞれ情報信号を記
録又は再生する。
して、固定ディスク装置が知られている。この固定ディ
スク装置では、複数枚の磁気ディスクのそれぞれに対し
て磁気ヘッドスライダが設けられ、これにより高速回転
している対応する磁気ディスクにそれぞれ情報信号を記
録又は再生する。
【０００３】ここで、磁気ヘッドスライダはその底面が
磁気ディスクの回転停止時には接触しているが、情報信
号を記録／再生するときには、磁気ディスクが高速で回
転され、このとき磁気ディスク表面に発生する粘性空気
流により磁気ヘッドスライダに揚力が発生し、この揚力
と磁気ヘッドスライダを磁気ディスク面方向へ力を付勢
している弾性部材の押圧力とが釣り合う位置まで磁気ヘ
ッドスライダが浮上し、この浮上状態で磁気ヘッドスラ
イダの電磁変換部により情報信号が磁気ディスクに対し
て記録され、あるいは記録されている情報信号が再生さ
れる。
磁気ディスクの回転停止時には接触しているが、情報信
号を記録／再生するときには、磁気ディスクが高速で回
転され、このとき磁気ディスク表面に発生する粘性空気
流により磁気ヘッドスライダに揚力が発生し、この揚力
と磁気ヘッドスライダを磁気ディスク面方向へ力を付勢
している弾性部材の押圧力とが釣り合う位置まで磁気ヘ
ッドスライダが浮上し、この浮上状態で磁気ヘッドスラ
イダの電磁変換部により情報信号が磁気ディスクに対し
て記録され、あるいは記録されている情報信号が再生さ
れる。
【０００４】かかる磁気ヘッドスライダの磁気ディスク
面と対向する底面（これを空気浮上面（ＡＢＳ）ともい
う）は、磁気ディスクの回転停止時には磁気ディスク面
上に接触するため、接触による摩耗や腐食の損傷が生じ
易く、それにより記録再生特性が劣化することから、こ
れら摩耗や腐食の損傷から保護するために従来より各種
の保護膜が堆積されている。
面と対向する底面（これを空気浮上面（ＡＢＳ）ともい
う）は、磁気ディスクの回転停止時には磁気ディスク面
上に接触するため、接触による摩耗や腐食の損傷が生じ
易く、それにより記録再生特性が劣化することから、こ
れら摩耗や腐食の損傷から保護するために従来より各種
の保護膜が堆積されている。
【０００５】図４は従来の磁気ヘッドスライダのＡＢＳ
付近の断面図を示す。同図に示すように、磁気ヘッドス
ライダ１のＡＢＳにはポール部２が形成され、更に磁気
ディスクと対向するＡＢＳはアルミナで形成されたアル
ミナ面３とされ、このアルミナ面３上に、保護膜４が被
覆堆積されている。
付近の断面図を示す。同図に示すように、磁気ヘッドス
ライダ１のＡＢＳにはポール部２が形成され、更に磁気
ディスクと対向するＡＢＳはアルミナで形成されたアル
ミナ面３とされ、このアルミナ面３上に、保護膜４が被
覆堆積されている。
【０００６】ここで、従来の磁気ヘッドスライダ１は、
保護膜４の成膜時にラップ条件などにより、磁気ヘッド
スライダ１のトレーリングエッジ側のアルミナ面３に対
するポール部２の高さが変動し、図４に示すように、ポ
ール部２がアルミナ面３に対して磁気ディスク側に突出
するように（凸状態になるように）製造されることが多
い。
保護膜４の成膜時にラップ条件などにより、磁気ヘッド
スライダ１のトレーリングエッジ側のアルミナ面３に対
するポール部２の高さが変動し、図４に示すように、ポ
ール部２がアルミナ面３に対して磁気ディスク側に突出
するように（凸状態になるように）製造されることが多
い。
【０００７】なお、従来の他の例として、薄膜磁気ヘッ
ドスライダ面に所定の厚さの窒化膜または酸化膜等によ
る保護膜を設けた薄膜磁気ヘッドスライダ（特開昭６３
−９１８１４号公報）や、磁気ヘッドのレール面に薄い
接着層と薄いアモルファス水素添加炭素層とから成る保
護膜を備えた薄膜磁気ヘッドスライダ（特開平４−３６
４２１７号公報）などが知られている。
ドスライダ面に所定の厚さの窒化膜または酸化膜等によ
る保護膜を設けた薄膜磁気ヘッドスライダ（特開昭６３
−９１８１４号公報）や、磁気ヘッドのレール面に薄い
接着層と薄いアモルファス水素添加炭素層とから成る保
護膜を備えた薄膜磁気ヘッドスライダ（特開平４−３６
４２１７号公報）などが知られている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、図４に示し
た従来の磁気ヘッドスライダでは、磁気ヘッドＡＢＳ上
に保護膜４を成膜するとき、ポール部２がアルミナ面３
に対し凸状態になっているので、磁気ディスク回転停止
時（ＣＳＳ（コンタクト・スタート・ストップ）後）に
ポール部２上のＡＢＳ保護膜４が磁気ディスク面との摺
動により磨耗し、腐食が発生しやすく、ポール部２にお
けるＡＢＳ保護膜４の腐食抑制効果及び磨耗低減効果が
あまり見られない。
た従来の磁気ヘッドスライダでは、磁気ヘッドＡＢＳ上
に保護膜４を成膜するとき、ポール部２がアルミナ面３
に対し凸状態になっているので、磁気ディスク回転停止
時（ＣＳＳ（コンタクト・スタート・ストップ）後）に
ポール部２上のＡＢＳ保護膜４が磁気ディスク面との摺
動により磨耗し、腐食が発生しやすく、ポール部２にお
けるＡＢＳ保護膜４の腐食抑制効果及び磨耗低減効果が
あまり見られない。
【０００９】また、後者の各公報記載の従来の薄膜磁気
ヘッドスライダは、保護膜の構成についてしか開示して
なく、ＣＳＳ後に保護膜が磨耗した場合の耐蝕性につい
ては開示されていない。
ヘッドスライダは、保護膜の構成についてしか開示して
なく、ＣＳＳ後に保護膜が磨耗した場合の耐蝕性につい
ては開示されていない。
【００１０】本発明は以上の点に鑑みなされたもので、
ポール部の耐蝕性に優れ、また磨耗によるポール部の劣
化を抑制する信頼性の高い磁気ヘッドスライダ及びその
製造方法並びに磁気ディスク装置を提供することを目的
とする。
ポール部の耐蝕性に優れ、また磨耗によるポール部の劣
化を抑制する信頼性の高い磁気ヘッドスライダ及びその
製造方法並びに磁気ディスク装置を提供することを目的
とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成するため、磁気記録媒体の上方に浮上した状態で磁気
記録媒体の磁性膜に対して、情報を磁電変換素子を構成
するポール部で読み書きし、磁気記録媒体の表面に対向
する空気浮上面上に保護膜が被覆堆積された構成の磁気
ヘッドスライダにおいて、保護膜が被覆されたポール部
先端を、保護膜が被覆された空気浮上面に対して磁気記
録媒体の表面よりも遠ざかる位置に形成したものであ
る。
成するため、磁気記録媒体の上方に浮上した状態で磁気
記録媒体の磁性膜に対して、情報を磁電変換素子を構成
するポール部で読み書きし、磁気記録媒体の表面に対向
する空気浮上面上に保護膜が被覆堆積された構成の磁気
ヘッドスライダにおいて、保護膜が被覆されたポール部
先端を、保護膜が被覆された空気浮上面に対して磁気記
録媒体の表面よりも遠ざかる位置に形成したものであ
る。
【００１２】本発明では、ポール部先端が空気浮上面よ
りも磁気記録媒体に対して離れた位置に形成されるた
め、磁気記録媒体に接触摺動したときでも、空気浮上面
よりも突設して形成されたポール部を有する従来の磁気
ヘッドスライダに比し、接触圧力を低減できる。
りも磁気記録媒体に対して離れた位置に形成されるた
め、磁気記録媒体に接触摺動したときでも、空気浮上面
よりも突設して形成されたポール部を有する従来の磁気
ヘッドスライダに比し、接触圧力を低減できる。
【００１３】ここで、上記空気浮上面は ポール部先端
に対して１０ｎｍ未満の高さだけ、磁気記録媒体の表面
側に形成されることが、記録再生特性の低下をもたらせ
ることなく、所期の目的を達成する点で望ましい。
に対して１０ｎｍ未満の高さだけ、磁気記録媒体の表面
側に形成されることが、記録再生特性の低下をもたらせ
ることなく、所期の目的を達成する点で望ましい。
【００１４】また、本発明製造方法は、空気浮上面及び
ポール部を逆スパッタし、ポール部先端を空気浮上面に
対して磁気記録媒体の表面よりも遠ざかる位置に形成す
る第１の工程と、ポール部先端及び空気浮上面上に連続
した保護膜を被覆堆積する第２の工程とを含む構成とし
たものである。
ポール部を逆スパッタし、ポール部先端を空気浮上面に
対して磁気記録媒体の表面よりも遠ざかる位置に形成す
る第１の工程と、ポール部先端及び空気浮上面上に連続
した保護膜を被覆堆積する第２の工程とを含む構成とし
たものである。
【００１５】これにより、本発明製造方法では、ポール
部先端が空気浮上面よりも磁気記録媒体に対して離れた
位置に形成された磁気ヘッドスライダを好適に製造する
ことができる。
部先端が空気浮上面よりも磁気記録媒体に対して離れた
位置に形成された磁気ヘッドスライダを好適に製造する
ことができる。
【００１６】また、本発明の磁気ディスク装置は、回転
する磁気ディスクの上方に浮上した状態で磁気ディスク
の磁性膜に対して、磁気ヘッドスライダの磁電変換素子
を構成するポール部で情報を読み書きする磁気ディスク
装置において、磁気ヘッドスライダとして、保護膜が被
覆されたポール部先端を、磁気ディスクに対向する保護
膜が被覆された空気浮上面に対して磁気ディスクの表面
よりも遠ざかる位置に形成した構成の磁気ヘッドスライ
ダを用いることを特徴とする。
する磁気ディスクの上方に浮上した状態で磁気ディスク
の磁性膜に対して、磁気ヘッドスライダの磁電変換素子
を構成するポール部で情報を読み書きする磁気ディスク
装置において、磁気ヘッドスライダとして、保護膜が被
覆されたポール部先端を、磁気ディスクに対向する保護
膜が被覆された空気浮上面に対して磁気ディスクの表面
よりも遠ざかる位置に形成した構成の磁気ヘッドスライ
ダを用いることを特徴とする。
【００１７】本発明では、従来に比べて接触圧力を低減
できる磁気ヘッドスライダを用いて磁気ディスクに対し
て情報を記録再生できる。
できる磁気ヘッドスライダを用いて磁気ディスクに対し
て情報を記録再生できる。
【００１８】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。
て図面を参照して詳細に説明する。
【００１９】図１は本発明になる磁気ヘッドスライダの
一実施の形態の要部の断面図、図２は磁気ヘッドスライ
ダの側面図を示す。図２に示すように、磁気ヘッドスラ
イダ１１は支持部材１６により支持され、磁気ヘッドス
ライダ１１の磁気ディスク１９に対向するＡＢＳ１７に
は保護膜が被覆堆積されている。磁気ディスク１９は矢
印Ａ方向に回転する。点線１８で囲んだ部分がトレーリ
ングエッジで、この部分を拡大したものが図１である。
一実施の形態の要部の断面図、図２は磁気ヘッドスライ
ダの側面図を示す。図２に示すように、磁気ヘッドスラ
イダ１１は支持部材１６により支持され、磁気ヘッドス
ライダ１１の磁気ディスク１９に対向するＡＢＳ１７に
は保護膜が被覆堆積されている。磁気ディスク１９は矢
印Ａ方向に回転する。点線１８で囲んだ部分がトレーリ
ングエッジで、この部分を拡大したものが図１である。
【００２０】図１に示すように、この磁気ヘッドスライ
ダ１１はそのＡＢＳ付近にはポール部１２が形成され、
更に磁気ディスク（図示せず）と対向するＡＢＳはアル
ミナで形成されたアルミナ面１３とされ、このアルミナ
面１３上に、保護膜１４が被覆堆積されている。
ダ１１はそのＡＢＳ付近にはポール部１２が形成され、
更に磁気ディスク（図示せず）と対向するＡＢＳはアル
ミナで形成されたアルミナ面１３とされ、このアルミナ
面１３上に、保護膜１４が被覆堆積されている。
【００２１】ここで、磁気ヘッドスライダ１１は、従来
と異なり磁気ヘッドスライダ１１のトレーリングエッジ
側のアルミナ面１３の方がポール部１２の底部に対して
磁気ディスク側方向に位置するように（凹状態になるよ
うに）製造されている。これにより、磁気ディスク回転
停止時に磁気ヘッドスライダのＡＢＳが磁気ディスクに
接触摺動しても、ポール部１２に対する接触圧が従来よ
りも小さくなるようにできる。
と異なり磁気ヘッドスライダ１１のトレーリングエッジ
側のアルミナ面１３の方がポール部１２の底部に対して
磁気ディスク側方向に位置するように（凹状態になるよ
うに）製造されている。これにより、磁気ディスク回転
停止時に磁気ヘッドスライダのＡＢＳが磁気ディスクに
接触摺動しても、ポール部１２に対する接触圧が従来よ
りも小さくなるようにできる。
【００２２】次に、本発明の磁気ヘッドスライダの製造
方法の一実施の形態について説明する。まず、非磁性基
板上に磁性材料及び電気絶縁材料の層を堆積して、磁気
ディスク上の磁性膜の情報を読み書きするのに必要な周
知の磁電変換素子（ポール部）を形成する。また、磁気
ディスクに対向する面にはアルミナ面が形成される。こ
れにより、非磁性基板上には複数の磁気ヘッドが一連の
列をなして形成される。
方法の一実施の形態について説明する。まず、非磁性基
板上に磁性材料及び電気絶縁材料の層を堆積して、磁気
ディスク上の磁性膜の情報を読み書きするのに必要な周
知の磁電変換素子（ポール部）を形成する。また、磁気
ディスクに対向する面にはアルミナ面が形成される。こ
れにより、非磁性基板上には複数の磁気ヘッドが一連の
列をなして形成される。
【００２３】次に、上記基板を切断し一列の磁気ヘッド
が並んだロー（列）を作製する。このロー状態で、薄膜
磁気ヘッドが所定のスロート高さの寸法になるようにラ
ップ仕上げされる。次に、ラップ仕上げされた面（ＡＢ
Ｓ）を洗浄し、磁気ディスクに対向する面側を逆スパッ
タ（真空度：５×１０-5、ＰW：２４０Ｗ、Ａｒ流量：
２５ｓｃｃｍ）を施すことによって、トレーリングエッ
ジ側にあるポール部１２をアルミナ面１３に対し凹状態
（〜10ｎｍ内）にする。
が並んだロー（列）を作製する。このロー状態で、薄膜
磁気ヘッドが所定のスロート高さの寸法になるようにラ
ップ仕上げされる。次に、ラップ仕上げされた面（ＡＢ
Ｓ）を洗浄し、磁気ディスクに対向する面側を逆スパッ
タ（真空度：５×１０-5、ＰW：２４０Ｗ、Ａｒ流量：
２５ｓｃｃｍ）を施すことによって、トレーリングエッ
ジ側にあるポール部１２をアルミナ面１３に対し凹状態
（〜10ｎｍ内）にする。
【００２４】続いて、凹状態に形成されたアルミナ面１
３上に連続した保護膜１４を成膜し、図１に示すような
凹状のギャップ１５を生じさせる。そして、上記の保護
膜１４が成膜されたＡＢＳ上に、レールのパターンを機
械的加工法、若しくはエッチングプロセスなどの乾式処
理技法を用いて作成する。このローを個別に磁気ヘッド
スライダに分離することにより、薄膜磁気ヘッドが完成
する。
３上に連続した保護膜１４を成膜し、図１に示すような
凹状のギャップ１５を生じさせる。そして、上記の保護
膜１４が成膜されたＡＢＳ上に、レールのパターンを機
械的加工法、若しくはエッチングプロセスなどの乾式処
理技法を用いて作成する。このローを個別に磁気ヘッド
スライダに分離することにより、薄膜磁気ヘッドが完成
する。
【００２５】このようにして製造された薄膜磁気ヘッド
スライダでは、図１に示すようにポール部１２がアルミ
ナ面１３に対し、凹状態（〜10ｎｍ内）になっており、
かつ、その上に連続した保護膜１４を有する。この構造
の磁気ヘッドスライダ１１によれば、ポール部１２の耐
腐食性に優れ、また摺動特性も良好であることが、本発
明者により確認された。また、ポール部１２上の保護膜
１４の磨耗によるポール部１２の劣化を抑えることがで
きる。
スライダでは、図１に示すようにポール部１２がアルミ
ナ面１３に対し、凹状態（〜10ｎｍ内）になっており、
かつ、その上に連続した保護膜１４を有する。この構造
の磁気ヘッドスライダ１１によれば、ポール部１２の耐
腐食性に優れ、また摺動特性も良好であることが、本発
明者により確認された。また、ポール部１２上の保護膜
１４の磨耗によるポール部１２の劣化を抑えることがで
きる。
【００２６】図３は本発明の磁気ディスク装置の一実施
の形態の概略平面図を示す。同図において、磁気ディス
ク装置２１は磁気ディスク２２上に配置される磁気ヘッ
ドスライダ２３と、磁気ヘッドスライダ２３を先端に保
持するサスペンション２４と、サスペンション２４を保
持し、支点２６を中心として回動するアクチュエータ２
５と、磁気回路２７とコネクタ２８とから大略構成され
ている。
の形態の概略平面図を示す。同図において、磁気ディス
ク装置２１は磁気ディスク２２上に配置される磁気ヘッ
ドスライダ２３と、磁気ヘッドスライダ２３を先端に保
持するサスペンション２４と、サスペンション２４を保
持し、支点２６を中心として回動するアクチュエータ２
５と、磁気回路２７とコネクタ２８とから大略構成され
ている。
【００２７】この磁気ディスク装置２１は大略従来装置
と同様であるが、磁気ヘッドスライダ２３が図１及び図
２と共に説明した磁気ヘッドスライダ１１を用いた点に
特徴がある。この磁気ヘッドスライダ２３は前記したよ
うにポール部１２の耐腐食性に優れ、また摺動特性も良
好であるため、信頼性の高い磁気ディスク装置を実現で
きる。
と同様であるが、磁気ヘッドスライダ２３が図１及び図
２と共に説明した磁気ヘッドスライダ１１を用いた点に
特徴がある。この磁気ヘッドスライダ２３は前記したよ
うにポール部１２の耐腐食性に優れ、また摺動特性も良
好であるため、信頼性の高い磁気ディスク装置を実現で
きる。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ポール部先端を空気浮上面よりも磁気記録媒体に対して
離れた位置に形成することにより、磁気記録媒体に接触
摺動したときでも、空気浮上面よりも突設して形成され
たポール部を有する従来の磁気ヘッドスライダに比し、
接触圧力を低減できるため、従来に比しポール部上の保
護膜の磨耗を低減できると共に、ポール部の耐腐食性を
向上させることができる。更に、本発明によれば、保護
膜が磨耗することによるポール部の削れ、劣化も抑える
ことができる。
ポール部先端を空気浮上面よりも磁気記録媒体に対して
離れた位置に形成することにより、磁気記録媒体に接触
摺動したときでも、空気浮上面よりも突設して形成され
たポール部を有する従来の磁気ヘッドスライダに比し、
接触圧力を低減できるため、従来に比しポール部上の保
護膜の磨耗を低減できると共に、ポール部の耐腐食性を
向上させることができる。更に、本発明によれば、保護
膜が磨耗することによるポール部の削れ、劣化も抑える
ことができる。
【００２９】また、本発明磁気ディスク装置によれば、
従来に比べて接触圧力を低減できる磁気ヘッドスライダ
を用いて磁気ディスクに対して情報を記録再生できるた
め、従来に比べて磁気ディスク装置の信頼性を向上する
ことができる。
従来に比べて接触圧力を低減できる磁気ヘッドスライダ
を用いて磁気ディスクに対して情報を記録再生できるた
め、従来に比べて磁気ディスク装置の信頼性を向上する
ことができる。
【図１】本発明の一実施の形態の要部の断面図である。
【図２】磁気ヘッドスライダの側面図である。
【図３】本発明磁気ディスク装置の一実施の形態の概略
平面図である。
平面図である。
【図４】従来の一例の要部の断面図である。
１１ 磁気ヘッドスライダ １２ ポール部 １３ アルミナ面 １４ 保護膜 １５ ギャップ １９、２２ 磁気ディスク ２１ 磁気ディスク装置 ２３ 磁気ヘッドスライダ ２４ サスペンション ２５ アクチュエータ ２７ 磁気回路 ２８ コネクタ
Claims (4)
- 【請求項１】 磁気記録媒体の上方に浮上した状態で該
磁気記録媒体の磁性膜に対して、情報を磁電変換素子を
構成するポール部で読み書きし、該磁気記録媒体の表面
に対向する空気浮上面上に保護膜が被覆堆積された構成
の磁気ヘッドスライダにおいて、 前記保護膜が被覆された前記ポール部先端を、前記保護
膜が被覆された前記空気浮上面に対して前記磁気記録媒
体の表面よりも遠ざかる位置に形成したことを特徴とす
る磁気ヘッドスライダ。 - 【請求項２】 前記空気浮上面は前記ポール部先端に対
して１０ｎｍ未満の高さだけ、前記磁気記録媒体の表面
側に形成され、凹状のギャップを有することを特徴とす
る請求項１記載の磁気ヘッドスライダ。 - 【請求項３】 磁気記録媒体の上方に浮上した状態で該
磁気記録媒体の磁性膜に対して、情報を磁電変換素子を
構成するポール部で読み書きし、該磁気記録媒体の表面
に対向する空気浮上面上に保護膜が被覆堆積された構成
の磁気ヘッドスライダの製造方法において、 前記空気浮上面及びポール部を逆スパッタし、前記ポー
ル部先端を前記空気浮上面に対して前記磁気記録媒体の
表面よりも遠ざかる位置に形成する第１の工程と、 前記ポール部先端及び前記空気浮上面上に連続した保護
膜を被覆堆積する第２の工程とを含むことを特徴とする
磁気ヘッドスライダの製造方法。 - 【請求項４】 回転する磁気ディスクの上方に浮上した
状態で該磁気ディスクの磁性膜に対して、磁気ヘッドス
ライダの磁電変換素子を構成するポール部で情報を読み
書きする磁気ディスク装置において、 前記磁気ヘッドスライダとして、保護膜が被覆された前
記ポール部先端を、前記磁気ディスクに対向する前記保
護膜が被覆された空気浮上面に対して前記磁気ディスク
の表面よりも遠ざかる位置に形成した構成の磁気ヘッド
スライダを用いることを特徴とする磁気ディスク装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1511196A JPH09212840A (ja) | 1996-01-31 | 1996-01-31 | 磁気ヘッドスライダ及びその製造方法並びに磁気ディスク装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1511196A JPH09212840A (ja) | 1996-01-31 | 1996-01-31 | 磁気ヘッドスライダ及びその製造方法並びに磁気ディスク装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09212840A true JPH09212840A (ja) | 1997-08-15 |
Family
ID=11879730
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1511196A Pending JPH09212840A (ja) | 1996-01-31 | 1996-01-31 | 磁気ヘッドスライダ及びその製造方法並びに磁気ディスク装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09212840A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7286326B2 (en) | 2004-05-27 | 2007-10-23 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Magnetic head with air bearing surface protection film |
-
1996
- 1996-01-31 JP JP1511196A patent/JPH09212840A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7286326B2 (en) | 2004-05-27 | 2007-10-23 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Magnetic head with air bearing surface protection film |
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