JPH09213251A - 真空チャンバ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】機械加工が容易で、かつチャンバ内部に収納さ
せるＸＹステージの組み立てが簡単にできる真空チャン
バを提供する。 【解決手段】真空チャンバは上蓋１，本体２および底板
３より構成される。上蓋１には中央部分に電子線が通過
する孔４があけられている。また、上蓋１の周囲には本
体２に固定するためのねじ孔５が複数個あけられてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は半導体ウエハ等の測
定試料を、電子線を用いて分析、或いは測定を行う走査
型電子顕微鏡等の分析器において、測定試料を収納させ
る真空チャンバに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の技術を、図５と図６により説明す
る。

【０００３】図５は走査電子顕微鏡の側面図を示す。５
０は電子線を放射する電子銃、５１は電子線を偏向させ
る電子レンズ鏡体、５２は真空チャンバを示す。真空チ
ャンバ内には半導体ウエハ５３をＸ，Ｙ方向に移動させ
るＸＹステージ５４が収納されている。５６は真空チャ
ンバ５２を真空状態にする真空ポンプ、５５は装置を支
える架台を示す。

【０００４】真空チャンバの詳細を図６に示す。６１は
真空チャンバの本体で、底板６２を有する箱状の容器で
その上部には蓋６０が複数個のねじ６３で締め付けられ
ている。６４は真空をシールするためにＯリングを示
す。５４は測定試料を移動させるＸＹステージである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術は、真
空チャンバ６１は箱状容器で深みがあり、その底面の機
械加工には大型の工作機械を必要とする。また研削作業
により精密に仕上げることが難しい。さらにＸＹステー
ジ５４を組み立てたり、調整する場合には側面から作業
ができず作業能率を低下させていた。

【０００６】本発明の目的は、機械加工が容易で、かつ
チャンバ内部に収納させるＸＹステージの組み立てが簡
単にできる真空チャンバを提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、従来技術の箱状部材の底を取り外して
筒状の部材とし、底の部分には別の平板を用意する。

【０００８】平板は機械加工が容易で、かつＸＹステー
ジの組み立てもこの平板の上で行うことができるので作
業能率が向上する。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図１，
図２，図３と図４により説明する。

【００１０】図１は真空チャンバの斜視図である。真空
チャンバは上蓋１，本体２および底板３より構成され
る。上蓋１には中央部分に電子線が通過する孔４があけ
られている。また、上蓋１の周囲には本体２に固定する
ためのねじ孔５が複数個あけられている。

【００１１】図２は真空チャンバの本体を示し、図３は
本体２の断面図である。図３に示すように、本体２は角
型の断面を有し底のない筒状をした部材で、材質は純鉄
で製作される。７は本体２を底板３にねじで固定するた
めのフランジである。また、本体２の上部端面には上蓋
１との真空をシールするためのＯリング溝８が設けられ
ている。

【００１２】次に、底板３の詳細を図４に示す。底板３
は純鉄で製作され、平坦部１０は研削により精密に仕上
げられて、半導体ウエハを移動させるＸＹステージ１１
が取り付けられる。１２は真空シールのためのＯリング
をはめ込む溝である。

【００１３】

【発明の効果】本発明によれば真空チャンバの本体を構
成する部材には従来のような底板がなく、機械加工が容
易である。底板に相当する部材は平板であるので機械加
工が容易で、またＸＹステージを乗せる面は研削により
精密に加工することができる。かつ、ＸＹステージは平
板上で組み立てをすることができるので、作業能率が向
上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す斜視図。

【図２】本発明の本体の説明図。

【図３】本発明の本体の断面図。

【図４】本発明の底板とＸＹステージを組み込んだ説明
図。

【図５】装置の概略図と従来技術を示す説明図。

【図６】従来技術を示す断面図。

【符号の説明】

１…上蓋、２…本体、３…底板、１１…ＸＹステージ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】真空中において分析試料をＸ，Ｙ方向に移
   動させるステージ上に乗せて分析を行う分析器におい
   て、断面が角形で筒状をした部材の上下面を平板でふさ
   いで密閉容器とすることを特徴とする真空チャンバ。