JPH09216366A - 液体噴射記録ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
液体噴射記録ヘッド及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH09216366A JPH09216366A JP2659796A JP2659796A JPH09216366A JP H09216366 A JPH09216366 A JP H09216366A JP 2659796 A JP2659796 A JP 2659796A JP 2659796 A JP2659796 A JP 2659796A JP H09216366 A JPH09216366 A JP H09216366A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- recording head
- liquid jet
- solid layer
- jet recording
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 液体の吐出の安定性を長期間保持できるよう
にする。 【解決手段】 ポジ型レジストによりノズルパターンの
固体層が設けられた基板上を、硬化型の撥インク性のノ
ズル形成材料で被覆してこれを硬化させ、その後に、前
記ノズルパターンの固体層を除去することにより液体噴
射用ノズルを形成し、かつそのノズル内に液体吐出エネ
ルギー発生部を設けた液体噴射記録ヘッドであって、相
溶化処理により、前記ノズル形成材料と前記固体層の界
面に相溶化部分を設けたことを特徴とするもの。
にする。 【解決手段】 ポジ型レジストによりノズルパターンの
固体層が設けられた基板上を、硬化型の撥インク性のノ
ズル形成材料で被覆してこれを硬化させ、その後に、前
記ノズルパターンの固体層を除去することにより液体噴
射用ノズルを形成し、かつそのノズル内に液体吐出エネ
ルギー発生部を設けた液体噴射記録ヘッドであって、相
溶化処理により、前記ノズル形成材料と前記固体層の界
面に相溶化部分を設けたことを特徴とするもの。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はインクジェット記録方式
に用いる、記録小滴を発生する液体噴射記録ヘッド及び
その製造方法に関するものである。
に用いる、記録小滴を発生する液体噴射記録ヘッド及び
その製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】インクジェット記録方式（液体噴射記録
方式）に適用される液体噴射記録ヘッドは、一般に微細
なインクの吐出口とインク流路（以下、ノズルとい
う。）及びこのインク流路の一部に設けられる液体吐出
エネルギー発生部とを備えている。従来のこのような液
体噴射記録ヘッドを作成する方法としては、次のような
方法が知られている。以下に、これを図６〜図１０によ
って工程順に説明する。
方式）に適用される液体噴射記録ヘッドは、一般に微細
なインクの吐出口とインク流路（以下、ノズルとい
う。）及びこのインク流路の一部に設けられる液体吐出
エネルギー発生部とを備えている。従来のこのような液
体噴射記録ヘッドを作成する方法としては、次のような
方法が知られている。以下に、これを図６〜図１０によ
って工程順に説明する。
【０００３】まず、基板１上に感光性樹脂層（ポジ型フ
ォトレジスト）２を形成し、これをマスク３を介して露
光（図６）現像し、もう一度、今度はマスク５を介して
露光（図７）現像することにより、基板１上にパターニ
ングされた固体層を形成する。次いで、パターニングさ
れた固体層を設けた基板１の上を、活性エネルギー線硬
化型のノズル形成材料４で被覆し（図８）、このノズル
形成材料４をマスク５を介してパターニングし硬化させ
る。次に、未露光部のノズル形成材料４及びパターニン
グされた固体層を、含ハロゲン炭化水素，ケトン，エス
テル，アルコール等の有機溶媒等を用いて溶解除去し、
ノズル６を形成する（図９）。最後に、インクの吐出口
の周面部に撥インク剤を転写等により塗布して塗膜７を
形成し（図１０）、液体噴射記録ヘッドを作成する。
ォトレジスト）２を形成し、これをマスク３を介して露
光（図６）現像し、もう一度、今度はマスク５を介して
露光（図７）現像することにより、基板１上にパターニ
ングされた固体層を形成する。次いで、パターニングさ
れた固体層を設けた基板１の上を、活性エネルギー線硬
化型のノズル形成材料４で被覆し（図８）、このノズル
形成材料４をマスク５を介してパターニングし硬化させ
る。次に、未露光部のノズル形成材料４及びパターニン
グされた固体層を、含ハロゲン炭化水素，ケトン，エス
テル，アルコール等の有機溶媒等を用いて溶解除去し、
ノズル６を形成する（図９）。最後に、インクの吐出口
の周面部に撥インク剤を転写等により塗布して塗膜７を
形成し（図１０）、液体噴射記録ヘッドを作成する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな方法によって作成される液体噴射記録ヘッドは、ノ
ズル形成後に、ノズル６の吐出口の周面部に撥インク性
塗膜７を形成するので、吐出口に撥インク剤が入り込ん
だり、吐出口付近に撥インク剤よりなるバリなどが発生
した。このため、インク滴の飛翔方向が乱れたり、イン
クが吐出しないことがあった。また、塗膜７が薄いた
め、耐久性に欠けるところがあった。
うな方法によって作成される液体噴射記録ヘッドは、ノ
ズル形成後に、ノズル６の吐出口の周面部に撥インク性
塗膜７を形成するので、吐出口に撥インク剤が入り込ん
だり、吐出口付近に撥インク剤よりなるバリなどが発生
した。このため、インク滴の飛翔方向が乱れたり、イン
クが吐出しないことがあった。また、塗膜７が薄いた
め、耐久性に欠けるところがあった。
【０００５】塗膜７を形成しないで済むようにするに
は、ノズル形成材料として撥インク性材料を使用すれば
よいが、今度は、ノズル内にインクが入らないため、印
字ができない。
は、ノズル形成材料として撥インク性材料を使用すれば
よいが、今度は、ノズル内にインクが入らないため、印
字ができない。
【０００６】勿論、この場合、ノズル内の撥インク性を
ＵＶオゾン処理，レザー処理，プラズマ処理，グロー放
電処理等で、親インク性にすることはできる。しかし、
装置が高価であり、大がかりになるし、ノズルのような
細管の場合は、処理できない場合がでてくる。
ＵＶオゾン処理，レザー処理，プラズマ処理，グロー放
電処理等で、親インク性にすることはできる。しかし、
装置が高価であり、大がかりになるし、ノズルのような
細管の場合は、処理できない場合がでてくる。
【０００７】薬品などで処理することもできるが、ナト
リウムやクロム酸−酢酸，塩素酢酸−硫酸系等の薬品を
使うので、ノズルに設けた電気熱変換体やノズル形成材
料に悪影響を与え、実用的でない。
リウムやクロム酸−酢酸，塩素酢酸−硫酸系等の薬品を
使うので、ノズルに設けた電気熱変換体やノズル形成材
料に悪影響を与え、実用的でない。
【０００８】本発明は、このような従来の問題点を解決
するためになされたもので、液体の吐出が安定し、かつ
この安定性を長期にわたって保持できる液体噴射記録ヘ
ッド及びその製造方法を提供することを目的とする。
するためになされたもので、液体の吐出が安定し、かつ
この安定性を長期にわたって保持できる液体噴射記録ヘ
ッド及びその製造方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明が提供する液体噴
射記録ヘッドは、ポジ型レジストによりノズルパターン
の固体層が設けられた基板上を、硬化型の撥インク性の
ノズル形成材料で被覆してこれを硬化させ、その後に、
前記ノズルパターンの固体層を除去することにより液体
噴射用ノズルを形成し、かつそのノズル内に液体吐出エ
ネルギー発生部を設けた液体噴射記録ヘッドであって、
相溶化処理により、前記ノズル形成材料と前記固体層の
界面に相溶化部分を設けたことを特徴とするものであ
る。
射記録ヘッドは、ポジ型レジストによりノズルパターン
の固体層が設けられた基板上を、硬化型の撥インク性の
ノズル形成材料で被覆してこれを硬化させ、その後に、
前記ノズルパターンの固体層を除去することにより液体
噴射用ノズルを形成し、かつそのノズル内に液体吐出エ
ネルギー発生部を設けた液体噴射記録ヘッドであって、
相溶化処理により、前記ノズル形成材料と前記固体層の
界面に相溶化部分を設けたことを特徴とするものであ
る。
【００１０】また、発明が提供する液体噴射記録ヘッド
の製造方法は、ポジ型レジストによりノズルパターンの
固体層が設けられた基板上を、硬化型の撥インク性のノ
ズル形成材料で被覆してこれを硬化させ、その後に、ノ
ズルパターンの固体層を除去することにより液体噴射用
ノズルを形成する液体噴射記録ヘッドの製造方法であっ
て、相溶化処理により、前記ノズル形成材料と前記固体
層の界面に相溶化部分を設けることを特徴とするもので
ある。
の製造方法は、ポジ型レジストによりノズルパターンの
固体層が設けられた基板上を、硬化型の撥インク性のノ
ズル形成材料で被覆してこれを硬化させ、その後に、ノ
ズルパターンの固体層を除去することにより液体噴射用
ノズルを形成する液体噴射記録ヘッドの製造方法であっ
て、相溶化処理により、前記ノズル形成材料と前記固体
層の界面に相溶化部分を設けることを特徴とするもので
ある。
【００１１】上記相溶化部分の幅は、１μｍ以下である
のが好ましい。１μｍを超えると、液体の吐出時に液滴
の変曲が出はじめるためである。
のが好ましい。１μｍを超えると、液体の吐出時に液滴
の変曲が出はじめるためである。
【００１２】ここにいう液体噴射記録ヘッドとしては、
前記液体吐出エネルギー発生部に熱エネルギーを発生す
る電気熱変換体を使用したもの、及びノズルの吐出口を
複数個有するフルラインタイプのものを含む。
前記液体吐出エネルギー発生部に熱エネルギーを発生す
る電気熱変換体を使用したもの、及びノズルの吐出口を
複数個有するフルラインタイプのものを含む。
【００１３】
【作用】本発明においては、相溶化処理により、ノズル
形成材料とノズルパターンの固体層の界面に相溶化部分
を設けるので、ノズル内の濡れ性がよくなり、ノズル内
での液体の流れが円滑になる。
形成材料とノズルパターンの固体層の界面に相溶化部分
を設けるので、ノズル内の濡れ性がよくなり、ノズル内
での液体の流れが円滑になる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、イ
ンクジェット記録ヘッドを例にして説明する。同ヘッド
は、次の手順で作成した。これを図１〜図５により工程
順に説明する。
ンクジェット記録ヘッドを例にして説明する。同ヘッド
は、次の手順で作成した。これを図１〜図５により工程
順に説明する。
【００１５】（１）図１に示すように、基板８上にポジ
型フォトレジストＰＭＥＲ ＡＲ−９００（商品名）
（東京応化製）を塗布して感光性樹脂層（固体層）９を
形成し、これをマスク１０を介して露光し、現像した。
図示しないが、基板８上には、あらかじめノズル１３
（後述）内に表出する電気熱変換体が設けられている。
型フォトレジストＰＭＥＲ ＡＲ−９００（商品名）
（東京応化製）を塗布して感光性樹脂層（固体層）９を
形成し、これをマスク１０を介して露光し、現像した。
図示しないが、基板８上には、あらかじめノズル１３
（後述）内に表出する電気熱変換体が設けられている。
【００１６】（２）ついで、図２に示すように、再度、
感光性樹脂層９をマスク１２を介して露光し、現像し
て、図３に示すように、パターニングされた多段形状の
固体層を形成した。
感光性樹脂層９をマスク１２を介して露光し、現像し
て、図３に示すように、パターニングされた多段形状の
固体層を形成した。
【００１７】（３）図４に示すように、パターニングさ
れた固体層を設けた基板８の上を、表１の樹脂組成から
なる活性エネルギー線硬化型の撥インク性のノズル形成
材料１１で被覆し、３０℃で１時間放置して相溶化処理
をした後、この材料１１にマスク１２を介して８ＪのＵ
Ｖ光を照射し、これをパターニングして硬化させた。
れた固体層を設けた基板８の上を、表１の樹脂組成から
なる活性エネルギー線硬化型の撥インク性のノズル形成
材料１１で被覆し、３０℃で１時間放置して相溶化処理
をした後、この材料１１にマスク１２を介して８ＪのＵ
Ｖ光を照射し、これをパターニングして硬化させた。
【００１８】
【表１】
【００１９】（４）ついで、７０℃で３０分熱処理後、
図５に示すように、未露光部のノズル形成材料１１及び
パターニングされた固体層をシクロヘキサノンで除去し
て、ノズル１３を形成した。
図５に示すように、未露光部のノズル形成材料１１及び
パターニングされた固体層をシクロヘキサノンで除去し
て、ノズル１３を形成した。
【００２０】（５）最後に、１５０℃で３０分熱キュア
ーを行いインクジェット記録ヘッドを作成した。
ーを行いインクジェット記録ヘッドを作成した。
【００２１】比較のために、従来の方法（図６〜図１
０）により、実施例のインクジェット記録ヘッドと同形
の記録ヘッドを作成した。その工程を図６〜図１０を引
用しながら説明する。
０）により、実施例のインクジェット記録ヘッドと同形
の記録ヘッドを作成した。その工程を図６〜図１０を引
用しながら説明する。
【００２２】（比較例１）図１に示すように、基板１上
にポジ型レジスト ＰＭＥＲ ＡＲ−９００（商品名）
（東京応化製）により感光性樹脂層（ポジ型フォトレジ
スト）２を形成し、これをマスク３を介して露光（図
２）、現像し、もう一度露光（図７）、現像処理を施し
て、基板１上に固体層を形成した。次に、パターニング
された固体層の上を、表２に示す樹脂組成の活性エネル
ギー線硬化型のノズル形成材料４で被覆し、これをマス
ク５を介しパターニングし硬化させた（図８）。
にポジ型レジスト ＰＭＥＲ ＡＲ−９００（商品名）
（東京応化製）により感光性樹脂層（ポジ型フォトレジ
スト）２を形成し、これをマスク３を介して露光（図
２）、現像し、もう一度露光（図７）、現像処理を施し
て、基板１上に固体層を形成した。次に、パターニング
された固体層の上を、表２に示す樹脂組成の活性エネル
ギー線硬化型のノズル形成材料４で被覆し、これをマス
ク５を介しパターニングし硬化させた（図８）。
【００２３】次いで、７０℃ ３０分の熱処理後に、未
露光部のノズル形成材料とパターニングされた固体層
を、シクロヘキサノンを用いて溶解除去し、ノズル６を
形成した（図９）。そして、インク吐出口の周面部に撥
インク剤、ＣＹＴＯＰ ＣＴＬ−８０７Ｍ（商品名）
（旭硝子製）をシリコンゴムにスピンコートし、吐出口
の周面部に転写により塗布し、１５０℃で３０分熱キュ
アーを行い液体噴射記録ヘッドを作成した（図１０）。
露光部のノズル形成材料とパターニングされた固体層
を、シクロヘキサノンを用いて溶解除去し、ノズル６を
形成した（図９）。そして、インク吐出口の周面部に撥
インク剤、ＣＹＴＯＰ ＣＴＬ−８０７Ｍ（商品名）
（旭硝子製）をシリコンゴムにスピンコートし、吐出口
の周面部に転写により塗布し、１５０℃で３０分熱キュ
アーを行い液体噴射記録ヘッドを作成した（図１０）。
【００２４】
【表２】
【００２５】（比較例２）図１に示すように、基板１上
にポジ型レジスト ＰＭＥＲ ＡＲ−９００（商品名）
（東京応化製）により感光性樹脂層（ポジ型フォトレジ
スト）２を形成し、これをマスク３を介して露光（図
２）、現像し、もう一度露光（図７）、現像処理を施し
て、基板１上に固体層を形成した。
にポジ型レジスト ＰＭＥＲ ＡＲ−９００（商品名）
（東京応化製）により感光性樹脂層（ポジ型フォトレジ
スト）２を形成し、これをマスク３を介して露光（図
２）、現像し、もう一度露光（図７）、現像処理を施し
て、基板１上に固体層を形成した。
【００２６】次に、パターニングされた固体層の上を、
前記表１に示す樹脂組成の活性エネルギー線硬化型のノ
ズル形成材料４で被覆し、これをマスク５を介しパター
ニングし硬化させた（図３）。７０℃ ３０分の熱処理
後に、未露光部のノズル形成材料とパターニングされた
固体層を、シクロヘキサノンを用いて溶解除去し、ノズ
ル６を形成した（図９）。最後に、１５０℃で３０分熱
キュアーを行いインクジェット記録ヘッドを作成した。
前記表１に示す樹脂組成の活性エネルギー線硬化型のノ
ズル形成材料４で被覆し、これをマスク５を介しパター
ニングし硬化させた（図３）。７０℃ ３０分の熱処理
後に、未露光部のノズル形成材料とパターニングされた
固体層を、シクロヘキサノンを用いて溶解除去し、ノズ
ル６を形成した（図９）。最後に、１５０℃で３０分熱
キュアーを行いインクジェット記録ヘッドを作成した。
【００２７】得られた記録ヘッドについて、ＢＣ−０２
インクジェットヘッドカートリッジのインクを用いて長
期印字耐久テストを行ったところ、本発明方法によるイ
ンクジェット記録ヘッドでは、印字の乱れは生じなかっ
た。
インクジェットヘッドカートリッジのインクを用いて長
期印字耐久テストを行ったところ、本発明方法によるイ
ンクジェット記録ヘッドでは、印字の乱れは生じなかっ
た。
【００２８】しかし、比較例１では、耐久テスト時に撥
インク剤が磨耗してなくなり、印字が乱れた。比較例２
で作ったヘッドを観察したところ、廃インク性のノズル
形成材料のために、インクがノズルに入っていかないた
め、吐出ができなかった。
インク剤が磨耗してなくなり、印字が乱れた。比較例２
で作ったヘッドを観察したところ、廃インク性のノズル
形成材料のために、インクがノズルに入っていかないた
め、吐出ができなかった。
【００２９】ちなみに、実施の形態の記録ヘッドと比較
例２の記録ヘッドのノズル内の上記インクでの前進接触
角を測定したところ、前者では６０、後者では９１であ
った。確認のため、相溶化処理の時間、すなわち放置時
間を長くしたところ、相溶化部分の幅が大きくなり、ノ
ズルが変形した。また、吐出口の周面部に相溶化部分が
ある場合は、相溶化部分が１μｍを超えると、吐出のと
きのインク滴の変曲がではじめた。
例２の記録ヘッドのノズル内の上記インクでの前進接触
角を測定したところ、前者では６０、後者では９１であ
った。確認のため、相溶化処理の時間、すなわち放置時
間を長くしたところ、相溶化部分の幅が大きくなり、ノ
ズルが変形した。また、吐出口の周面部に相溶化部分が
ある場合は、相溶化部分が１μｍを超えると、吐出のと
きのインク滴の変曲がではじめた。
【００３０】本実施の形態では、相溶化処理は放置であ
ったが、固体層と硬化型撥インク性のノズル形成材料の
種類によっては、加熱，ＵＶ照射処理等を採用できる。
ったが、固体層と硬化型撥インク性のノズル形成材料の
種類によっては、加熱，ＵＶ照射処理等を採用できる。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
上述のような構成としたので、液体の吐出が安定し、か
つこの安定性を長期間にわたって保持することができ
る。
上述のような構成としたので、液体の吐出が安定し、か
つこの安定性を長期間にわたって保持することができ
る。
【図１】 本発明の実施の形態に係るインクジェット記
録ヘッドの製造工程の一工程を示す図で、同図（ａ）は
平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断面図
録ヘッドの製造工程の一工程を示す図で、同図（ａ）は
平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断面図
【図２】 上記製造工程の一工程を示す図で、同図
（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断面
図
（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断面
図
【図３】 上記製造工程の一工程を示す図で、同図
（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断面
図
（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断面
図
【図４】 上記製造工程の一工程を示す図で、同図
（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断面
図
（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断面
図
【図５】 上記製造工程の一工程を示す図で、同図
（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断面
図
（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断面
図
【図６】 従来の液体噴射記録ヘッドの製造工程の一工
程を示す図で、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図
（ａ）のＡ−Ａ断面図
程を示す図で、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図
（ａ）のＡ−Ａ断面図
【図７】 上記製造工程の一工程を示す図で、同図
（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断面
図
（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断面
図
【図８】 上記製造工程の一工程を示す図で、同図
（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断面
図
（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断面
図
【図９】 上記製造工程の一工程を示す図で、同図
（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断面
図
（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断面
図
【図１０】 上記製造工程の一工程を示す図で、同図
（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断面
図
（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断面
図
８ 基板 ９ 固体層（ポジ型フォトレジスト） １０ マスク １１ ノズル形成材料（撥インク性） １２ マスク １３ ノズル
Claims (6)
- 【請求項１】 ポジ型レジストによりノズルパターンの
固体層が設けられた基板上を、硬化型の撥インク性のノ
ズル形成材料で被覆してこれを硬化させ、その後に、前
記ノズルパターンの固体層を除去することにより液体噴
射用ノズルを形成し、かつそのノズル内に液体吐出エネ
ルギー発生部を設けた液体噴射記録ヘッドであって、相
溶化処理により、前記ノズル形成材料と前記固体層の界
面に相溶化部分を設けたことを特徴とする液体噴射記録
ヘッド。 - 【請求項２】 前記相溶化部分の幅が１μｍ以下である
ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射記録ヘッ
ド。 - 【請求項３】 前記液体吐出エネルギー発生部が、熱エ
ネルギーを発生する電気熱変換体であることを特徴とす
る請求項１または２に記載の液体噴射記録ヘッド。 - 【請求項４】 前記ノズルの吐出口が、記録媒体の記録
領域にわたって複数個設けられているフルラインタイプ
のものであることを特徴とする請求項１または２に記載
の液体噴射記録ヘッド。 - 【請求項５】 ポジ型レジストによりノズルパターンの
固体層が設けられた基板上を、硬化型の撥インク性のノ
ズル形成材料で被覆してこれを硬化させ、その後に、ノ
ズルパターンの固体層を除去することにより液体噴射用
ノズルを形成する液体噴射記録ヘッドの製造方法であっ
て、相溶化処理により、前記ノズル形成材料と前記固体
層の界面に相溶化部分を設けることを特徴とする液体噴
射記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項６】 前記相溶化部分の幅が１μｍ以下である
ことを特徴とする請求項５に記載の液体噴射記録ヘッド
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2659796A JPH09216366A (ja) | 1996-02-14 | 1996-02-14 | 液体噴射記録ヘッド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2659796A JPH09216366A (ja) | 1996-02-14 | 1996-02-14 | 液体噴射記録ヘッド及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09216366A true JPH09216366A (ja) | 1997-08-19 |
Family
ID=12197948
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2659796A Withdrawn JPH09216366A (ja) | 1996-02-14 | 1996-02-14 | 液体噴射記録ヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09216366A (ja) |
-
1996
- 1996-02-14 JP JP2659796A patent/JPH09216366A/ja not_active Withdrawn
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| Date | Code | Title | Description |
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| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030506 |