JPH0592569A

JPH0592569A - 液体噴射記録ヘツド及びその製造方法

Info

Publication number: JPH0592569A
Application number: JP25381591A
Authority: JP
Inventors: Shoji Shiba; 昭二芝; Akio Kashiwazaki; 昭夫柏崎
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1991-10-01
Filing date: 1991-10-01
Publication date: 1993-04-16

Abstract

(57)【要約】【目的】信頼性が高い液体噴射記録ヘッドを少ない工
程数で製造する。【構成】基板上に第一感光層を設け露光し、次に、感
光波長の異なる第二感光層を積層し露光した後、第一感
光層をパターニング処理する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はインクジェット記録方式
に用いる記録液小滴を発生するための液体噴射記録ヘッ
ド及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット記録方式（液体噴射記録
方式）に適用される液体噴射記録ヘッドは一般に微細な
記録液吐出口（オリフィス）、液体流路および液体路の
一部に設けられる液体吐出エネルギー発生部を備えてい
る。従来このような液体噴射記録ヘッドを作成する方法
としては、例えば特開昭６１−１５４９４７、特開昭６
２−２５３４５７に記載の次のような工程が知られてい
る（図２参照）。（Ａ）被処理基板１上に感光性樹脂層（ポジ型フォトレ
ジスト６）を形成し（図２（ａ））、これをマスク３を
介して露光（図２（ｂ））、現像処理を施して感光性樹
脂層をパターニングし、被処理基板上に固体層を形成す
る工程（図２（ｃ））。（Ｂ）固体層上に活性エネルギー線硬化型材料あるいは
熱硬化型材料７を被覆し（図２（ｄ））、活性エネルギ
ー線照射、あるいは加熱により上記活性エネルギー線硬
化型材料あるいは熱硬化型材料を硬化させる工程（図２
（ｅ））、（Ｃ）上記パターニングされた固体層を含ハロゲン炭化
水素、ケトン、エステル、芳香族炭化水素、エーテル、
アルコール等の有機溶剤あるいは水酸化ナトリウム、水
酸化カリウム等のアルカリ水溶液を用いて溶解除去し、
液流路を形成する工程（図２（ｆ））。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】前述の工程において、
固体層を形成するための感光性樹脂材料としては、一般
的にｏ−ナフトキノンジアジド誘導体を含有するポジ型
の感光性樹脂が用いられている。ここで用いられるポジ
型の感光性樹脂中に含まれるｏ−ナフトキノンジアジド
誘導体は光照射により以下のような反応によりＮ₂ガス
を発生することが知られている。

【０００４】

【化１】ここで、パターニングされた固体層上に被覆される液流
路形成用材料として光硬化性樹脂を用いた場合、液流路
形成用材料を硬化させるために全面露光を行う必要があ
る。この際、露光された光はパターニングされたポジ型
フォトレジスト上にも照射される。このためパターニン
グされたポジ型フォトレジストよりＮ₂が発生し、パタ
ーン形に被覆された液流路形成用材料中入に侵入し、気
泡として残ったまま該液流路形成用材料が硬化してしま
うという問題がある。

【０００５】また、液流路形成用材料は固体層として形
成されている段差を有するパターニングされたポジ型フ
ォトレジスト上に被覆されるため、パターン間の空隙中
にすきまなく充てんすることは困難である。このため、
パターニングされたポジ型フォトレジストの除去により
最終的に形成された液流路が変形を生じているという問
題がある。

【０００６】そこで本発明は前述の問題を解決し信頼性
の高い液体噴射記録ヘッドを提供することを目的とす
る。さらに、感光性樹脂層をパターニングする必要のな
い工程数の少ない液体噴射記録ヘッドの製造方法を提供
することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】かかる目的は次に示す手
段により達成することができる。即ち、本発明は、液体
吐出エネルギー発生部を有する基板上にパターニング処
理された第一の感光性樹脂と第二の感光性樹脂からなる
蓋板よりなる液流路が形成された構造を有する液体噴射
記録ヘッドにおいて、第一の感光性樹脂と第二の感光性
樹脂の感光波長が異なり、液流路が、第一の感光性樹脂
のパターニング処理を第二の感光性樹脂の積層後に行い
形成されたものであることを特徴とする前記液体噴射記
録ヘッドである。又、本発明は、上記液体噴射記録ヘッ
ドの製造方法であって、液体吐出エネルギー発生部を有
する基板上に感光性樹脂層を形成し、パターニング処理
を行って液流路を作成する工程を有する液体噴射記録ヘ
ッドの製造方法において、感光性樹脂層が、基板上に、
各々感光波長の異なる第一の感光性樹脂層、第二の感光
性樹脂層を順に積層し、その後、第一の感光性樹脂層の
パターニング処理を行い液流路を作成することを特徴と
する液体噴射記録ヘッドの製造方法である。

【０００８】このように液流路の形成に感光波長の異な
る２種類の感光性樹脂層（以下、感光層という。）を用
い、両方の樹脂で液流路を構成する点は、従来の固体
層、即ち、パターニングをするのみに用いられ液流路自
体の構成材料とならない樹脂層を用いる方法と大きく相
違している。液流路形成用材料として２種類の感光層を
用いるため、積層が極めて容易でかつ、現像処理はパタ
ーニング処理の１回のみで足り、プロセスの簡略化を図
ることができるばかりでなく、信頼性の高い液体噴射記
録ヘッドを提供できる。

【０００９】上記製造方法の好ましい実施態様として
は、次のものを挙げることができる。すなわち、液体噴
射記録ヘッドの製造において、液流路を形成する際に互
に感光波長の異なる第一感光層と第二感光層を用い、ま
ず基板上の第一感光層をパターン露光した後、第一感光
層をパターニング処理することなく第二感光層を被覆
し、第一感光層のパターン露光に用いたものとは異なる
波長の光を用いて第二感光層を硬化処理し、その後、前
記、第一感光層を、パターニング処理（現像処理）する
方法である。この他の態様としては、第一と第二の感光
層を積層した後に第一の感光層のみが感光する波長によ
り露光し、ついで第二の感光層のみが感光する波長によ
り露光し、この後、第一感光層をパターニング処理する
方法が挙げられるが、この場合はプロセスの簡略化は図
れるものの、第一感光層の露光が第二感光層の被覆後な
ので、前述ガス発生による弊害が防止できない。

【００１０】以下、図面にそって本発明を説明する。図
１は本発明による液体噴射記録ヘッド用液流路の形成方
法を示したものである。

【００１１】本発明による液体噴射記録ヘッドの製造方
法においては第二感光層を形成する際に被処理基板上の
第一感光層がパターニングされている必要はない。この
ため、従来のようなパターニングに伴う現像工程（図２
（ｃ））を行う必要がなく、工程の簡略化が可能とな
る。さらに、第二感光層を形成する際に下地となる第一
感光層が平坦であるため、最終的に形成される液流路が
変形することはない。また、第一感光層と第二感光層の
感光波長が異なっているため、第二感光層の露光時に第
一感光層からのガスの発生、あるいは第一感光層の変質
等の弊害が発生することはない。このため信頼性の高い
液体噴射記録ヘッドを、少ない工程数で製造することが
可能となる。

【００１２】まず、被処理基板１上に第一感光層２を形
成し（図１（ａ））、所望のパターンになるようマスク
３を介してパターン露光（図１（ｂ））を行う。次い
で、第一感光層２上に、第一感光層とは感光波長の異な
る第二感光層４を形成（図（ｃ））し、第一感光層のパ
ターン露光に用いたものとは異なる波長の光を全面露光
することによって第二感光層を硬化させる（図１
（ｄ））。次に被処理基板を有機溶剤あるいはアルカリ
水溶液で処理し第一感光層の未露光部分（露光部分）を
溶解除去することにより液流路を形成する（図１
（ｅ））。

【００１３】本発明による液体噴射記録ヘッドの製造に
おいて用い得る感光性樹脂としては第一感光層と第二感
光層との界面における密着性を考慮した場合、第一およ
び第二感光層に用いられる感光性樹脂中の基材樹脂は同
一組成であることが好ましい。第一および第二感光層に
用い得る基材樹脂としてはエポキシ系樹脂、環化ポリイ
ソプレン、環化シス−１，４−ポリブタジエン、ノボラ
ック系樹脂、ポリスチレン系樹脂等が挙げられるが、こ
れらに限定されるものではない。

【００１４】また、第二感光層の露光時に第一感光層が
反応を起さないことが必須であり、第一感光層と第二感
光層の感光波長が異なるように感光性樹脂をそれぞれ選
択する必要がある。さらに第二感光層は露光により硬化
させる必要があることからネガ型の感光性樹脂を用いる
必要があるが、第一感光層としてはネガ型およびポジ型
の感光性樹脂を使用することができる。

【００１５】本発明に使用できる第一および第二感光層
に使用される光生成開始剤としては、短波長光用の開始
剤としては、４，４’−ジアジドジフェニルメタン、
４，４’−ジアジドジフェニルスルフィド等のアジド系
開始剤、α，α−ジメトキシ−α−フェニルアセトフェ
ノン等のアセトフェノン系開始剤、トリフェニルスルフ
ォニウム塩等のカチオン系開始剤等が挙げられる。ま
た、長波長光用の開始剤としては２，６−ビス（４’−
アジドベンザル）メチルシクロヘキサノン、２，６−ビ
ス（４’−アジドベンジリデン）−ｔ−ブチルシクロヘ
キサノン等のアジド系開始剤、１−ナフチル−ビス−ト
リクロロメチル−２−トリアジン、１−（４−メトキシ
アントラセニル）−ビス−トリクロロメチル−２−トリ
アジン等のトリアジン系開始剤、あるいは短波長光用の
開始剤をベリレン、アントラセン、フェノチアジン等の
色素で長波長増感する方法が挙げられるが、これらに限
定されるものではない。

【００１６】また露光処理において、露光光源として高
圧水銀燈のような種々の輝線を発生する光源を用いる場
合には、フィルターあるいはコールドミラー等の光学的
処理を施して波長分離を行うことが好ましい。この場
合、第一および第二感光層の感光波長の光源としてはｄ
ｅｅｐ−ＵＶ等の短波長領域の光とｉ線やｇ線といった
ＵＶから可視領域の光とに分離することが操作上簡単で
ある。

【００１７】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でもバブルジェット方式の記録ヘッド、記録装置に於
いて、優れた効果をもたらすものである。その代表的な
構成や原理については、例えば、米国特許第４７２３１
２９号明細書、同第４７４０７９６号明細書に開示され
ている基本的な原理を用いて行なうものが好ましい。こ
の方式は所謂オンデマンド型、コンティニュアス型のい
ずれにも適用可能であるが、特に、オンデマンド型の場
合には、液体（インク）が保持されているシートや液路
に対応して配置されている電気熱変換体に、記録情報に
対応していて核沸騰を越える急速な温度上昇を与える少
なくとも一つの駆動信号を印加することによって、電気
熱変換体に熱エネルギーを発生せしめ、記録ヘッドの熱
作用面に膜沸騰させて、結果的にこの駆動信号に一対一
対応し液体（インク）内の気泡を形成出来るので有効で
ある。この気泡の成長、収縮により吐出用開口を介して
液体（インク）を吐出させて、少なくとも一つの滴を形
成する。この駆動信号をパルス形状とすると、即時適切
に気泡の成長収縮が行なわれるので、特に応答性に優れ
た優れた液体（インク）の吐出が達成でき、より好まし
い、このパルス形状の駆動信号としては、米国特許第４
４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号明細書に
記載されているようなものが適している。尚、上記熱作
用面の温度上昇率に関する発明の米国特許第４３１３１
２４号明細書に記載されている条件を採用すると、更に
優れた記録を行なうことができる。記録ヘッドの構成と
しては、上述の各明細書に開示されている吐出口、液
路、電気熱変換体の組み合わせ構成（直線状液流路又は
直角液流路）の他に熱作用部が屈曲する領域に配置され
ている構成を開示する米国特許第４５５８３３３号明細
書、米国特許第４４５９６００号明細書を用いた構成も
本発明に含まれるものである。加えて、複数の電気熱変
換体に対して、共通するスリットを電気熱変換体の吐出
部とする構成を開示する特開昭５９年第１２３６７０号
公報や熱エネルギーの圧力波を吸収する開孔を吐出部に
対応させる構成を開示する特開昭５９年第１３８４６１
号公報に基づいた構成としても本発明は有効である。更
に、記録装置が記録できる最大記録媒体の幅に対応した
長さを有するフルラインタイプの記録ヘッドとしては、
上述した明細書に開示されているような複数記録ヘッド
の組み合わせによって、その長さを満たす構成や一体的
に形成された一個の記録ヘッドとしての構成のいずれで
も良いが、本発明は、上述した効果を一層有効に発揮す
ることができる。加えて、装置本体に装着されること
で、装置本体との電気的な接続や装置本体からのインク
の供給が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッ
ド、あるいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカー
トリッジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は
有効である。又、記録装置の構成として設けられる、記
録ヘッドに対しての回復手段、予備的な補助手段等を付
加することは本発明の効果を一層安定できるので好まし
いものである。これらを具体的に挙げれば、記録ヘッド
に対しての、キャピング手段、クリーニング手段、加圧
或は吸引手段、電気熱変換体或はこれとは別の加熱素子
或はこれらの組み合わせによる予備加熱手段、記録とは
別の吐出を行なう予備吐出モードを行なうことも安定し
た記録を行なうために有効である。更に、記録装置の記
録モードとしては黒色等の主流色のみの記録モードだけ
ではなく、記録ヘッドを一体的に構成するか複数個の組
み合わせによってでもよいが、異なる色の複色カラー又
は、混色によるフルカラーの少なくとも一つを備えた装
置にも本発明は極めて有効である。以上の説明において
は、インクを液体として説明しているが、室温やそれ以
下で固化するインクであって、室温でも軟化もしくは液
体となるもの、或いは、インクジェットにおいて一般的
に行なわれている温度調整の温度範囲である３０℃以上
７０℃以下の温度範囲で軟化もしくは液体となるもので
もよい。すなわち、使用記録信号付与時にインクが液状
をなすものであれば良い。加えて、積極的に熱エネルギ
ーによる昇温をインクの固形状態から液体状態への態変
化のエネルギーとして使用せしめることで防止するか又
は、インクの蒸発防止を目的として放置状態で固化する
インクを用いるかして、いずれにしても熱エネルギーの
記録信号に応じた付与によってインクが液化してインク
液状として吐出するものや記録媒体に到達する時点では
すでに固化すし始めるもの等のような、熱エネルギーに
よって初めて液化する性質のインク使用の場合も本発明
には適用可能である。このような場合インクは、特開昭
５４−５６８４７号公報あるいは特開昭６０−７１２６
０号公報に記載されるような、多孔質シート凹部または
貫通孔に液状または固形物として保持された状態で、電
気熱変換体に対して対向するような形態としても良い。
本発明においては、上述した各インクに対しても最も有
効なものは、上述した膜沸騰方式を実行するものであ
る。

【００１８】図３は上記処理のための機構を具えたイン
クジェット記録装置（ＩＪＲＡ）の一例を示す外観斜視
図である。図において、２０はプラテン２４上に送紙さ
れてきた記録紙の記録面に対向してインク吐出を行なう
ノズル群を具えたインクジェットヘッドカートリッジ
（ＩＪＣ）である。１６はＩＪＣ２０を保持するキャリ
ッジＨＣであり、駆動モータ１７の駆動力を伝達する駆
動ベルト１８の一部と連結し、互いに平行に配設された
２本のガイドシャフト１９Ａおよび１９Ｂと擢動可能と
することにより、ＩＪＣ２０の記録紙の全幅にわたる往
復移動が可能となる。２６はヘッド回復装置であり、Ｉ
ＪＣ２０の移動経路の一端、例えばホームポジションと
対向する位置に配設される。伝動機構２３を介したモー
タ２２の駆動力によって、ヘッド回復装置２６を動作せ
しめ、ＩＪＣ２０のキャッピングを行なう。このヘッド
回復装置２６のキャップ部２６Ａによる記録ＩＪＣ２０
へのキャッピングに関連させて、ヘッド回復装置２６内
に設けた適宜の吸引手段によるインク吸引もしくはＩＪ
Ｃ２０へのインク供給経路に設けた適宜の加圧手段によ
るインク圧送を行ない、インクを吐出口より強制的に排
出させることによりノズル内の増粘インクを除去する等
の吐出回復処理を行なう。また、記録終了時等にキャッ
ピングを施すことによりＩＪＣが保護される。３１はヘ
ッド回復装置２６の側面に配設され、シリコンゴムで形
成されるワイピング部材としてのブレードである。ブレ
ード３１はブレード保持部材３１Ａにカンチレバー形態
で保持され、ヘッド回復装置２６と同様、モータ２２お
よび伝動機構２３によって動作し、ＩＪＣ２０の吐出面
との係合が可能となる。これにより、ＩＪＣ２０の記録
動作における適切なタイミングで、あるいはヘッド回復
装置２６を用いた吐出回復処理後に、ブレード３１をＩ
ＪＣ２０の移動経路中に突出させ、ＩＪＣ２０の移動動
作に伴ってＩＪＣ２０の吐出面における結露、濡れある
いは塵埃等をふきとる。

【００１９】

【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。

【００２０】実施例１日本ユニオンカーバイド社製エポキシ樹脂ＣｙｒａｃｕｒｅＵＶＲ−６１１０４０ｇＣｙｒａｃｕｒｅＵＶＲ−６２００２０ｇＣｙｒａｃｕｒｅＵＶＲ−６３５１４０ｇおよびトリフェニルホニウムヘキサフルオロアンチモネート１ｇをメチルイソブチルケトン１００ｇに溶解して樹脂溶液
１を調整した。

【００２１】さらに、日本ユニオンカーバイド社製エポ
キシ樹脂ＣｙｒａｃｕｒｅＵＶＲ−６１１０４０ｇＣｙｒａｃｕｒｅＵＶＲ−６２００２０ｇＣｙｒａｃｕｒｅＵＶＲ−６３５１４０ｇおよび１−（４−メトキシアントラセニル）−ビス− トリクロロメチル−２−トリアジン１ｇをメチルイソブチルケトン１００ｇに溶解して樹脂溶液
２を調整した。

【００２２】液体吐出エネルギー発生素子としての電気
熱変換体を形成したガラス基板上に樹脂溶液１を膜厚２
０μｍとなるようスピンコートし、第一感光層を形成し
た。この感光層上にノズルパターンのマスクを介して２
４８ｎｍのエキシマレーザ光を１００ｍＪ／ｃｍ²の露
光量で露光した。次いで被処理基板上に樹脂溶液２を膜
厚３０μｍとなるようスピンコートし、第二感光層を形
成した。この感光層上に高圧水銀燈の３５０ｎｍ以下の
光をカットした光を全面露光（露光量２００ｍＪ／ｃｍ
²，ｇ−線相当）し、感光層２を硬化させた。次いで被
処理基板をトリエタン中に浸漬し、第一感光層の未露光
部分を溶解除去した。このようにして作成された微細ノ
ズルを光学顕微鏡により観察したところノズル中に残渣
は全く観察されず、第一感光層と第二感光層の密着性も
良好であった。また、ノズルの精度も非常に高く信頼性
の高いものが作成された。さらに、このようにして作成
された液体噴射記録ヘッドは安定な印字が可能であっ
た。

【００２３】実施例２ポリパラ−ｔ−ブトキシスチレン２５ｇトリフェニルスルフォニウムクロライド０．５ｇをシクロヘキサノン２５ｇに溶解して樹脂溶液３を調整
した。

【００２４】ポリパラ−ｔ−ブトキシスチレン２５ｇ２，６−ビス（４’−アジドベンジリデン）−ｔ− ブチルシクロヘキサノン１ｇをシクロヘキサノン２５ｇに溶解して樹脂溶液４を調整
した。

【００２５】液体吐出エネルギー発生素子としての電気
熱変換体を形成したガラス基板上に樹脂溶液３を膜厚２
０μｍとなるようスピンコートし、第一感光層を形成し
た。この感光層上にノズルパターンのマスクを介して２
４８ｎｍのエキシマレーザ光を１００ｍＪ／ｃｍ²の露
光量で露光した。次いで被処理基板上に樹脂溶液４を膜
厚３０μｍとなるようスピンコートし、第二感光層を形
成した。この感光層上に高圧水銀燈の３５０ｎｍ以下の
光をカットした光を全面露光（露光量２００ｍＪ／ｃｍ
²，ｇ−線相当）し、感光層２を硬化させた。次いで被
処理基板をＮａＯＨ溶液中に浸漬し、第一感光層の露光
部分を溶解除去した。このようにして作成された微細ノ
ズルを光学顕微鏡により観察したところ、ノズル中に残
渣は全く観察されず、第一感光層と第二感光層の密着性
も良好であった。また、ノズルの精度も非常に高く、信
頼性の高いものが作成された。さらに、このようにして
作成された液体噴射記録ヘッドは安定な印字が可能であ
った。

【００２６】実施例３環化ポリイソプレン２５ｇ４，４’−ジアジドジフェニルメタン１ｇをキシレン２５ｇに溶解して樹脂溶液５を調整した。

【００２７】環化ポリイソプレン２５ｇ２，６−ビス（４’−アジドベンジリデン） −ｔ−ブチル−シクロヘキサノン１ｇをキシレン２５ｇに溶解して樹脂溶液６を調整した。液
体吐出エネルギー発生素子としての電気熱変換体を形成
したガラス基板上に樹脂溶液５を膜厚２０μｍとなるよ
うスピンコートし、第一感光層を形成した。この感光層
上にノズルパターンのマスクを介して２４８ｎｍのエキ
シマレーザ光を３００ｍＪ／ｃｍ²の露光量で露光し
た。次いで被処理基板上に樹脂溶液６を膜厚３０μｍと
なるようスピンコートし、第二感光層を形成した。この
感光層上に高圧水銀燈の３５０ｎｍ以下の光をカットし
た光を全面露光（露光量３００ｍＪ／ｃｍ²，ｇ−線相
当）し、感光層２を硬化させた。次いで被処理基板をア
セトン中に浸漬し、第一感光層の未露光部分を溶解除去
した。このようにして作成された微細ノズルを光学顕微
鏡により観察したところ、ノズル中に残渣は全く観察さ
れず、第一感光層と第二感光層の密着性も良好であっ
た。また、ノズルの精度も非常に高く信頼性の高いもの
が作成された。さらに、このようにして作成された液体
噴射記録ヘッドは安定な印字が可能であった。

【００２８】

【発明の効果】本発明による液体噴射記録ヘッドの製造
方法を採用すれば信頼性の高い微細ノズルを有する液体
噴射記録ヘッドを少ない工程数で製造することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による液体噴射記録ヘッドの製造方法を
示す。

【図２】従来技術による液体噴射記録ヘッドの製造方法
を示す。

【図３】記録ヘッドを組み込んだインクジェット記録装
置（ＩＪＲＡ）の概略図を示す。

【符号の説明】

１被処理基板２第一感光層３フォトマスク４第二感光層５液流路６ポジ型フォトレジスト７光硬化型材料１６キャリッジＨＣ１７駆動モータ１８駆動ベルト１９Ａ，１９Ｂガイドシャフト２０インクジェットヘッドカートリッジ（ＩＪＣ）２２モータ２３伝動機構２４プラテン２６ヘッド回復装置２６Ａチャップ部３１ブレード３１Ａブレード保持材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｇ０３Ｆ 7/023 7124−2Ｈ 7/028 9019−2Ｈ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】液体吐出エネルギー発生部を有する基板
上にパターニング処理された第一の感光性樹脂と第二の
感光性樹脂からなる蓋板よりなる液流路が形成された構
造を有する液体噴射記録ヘッドにおいて、第一の感光性
樹脂と第二の感光性樹脂の感光波長が異なり、液流路
が、第一の感光性樹脂のパターニング処理を第二の感光
性樹脂の積層後に行い形成されたものであることを特徴
とする前記液体噴射記録ヘッド。
【請求項２】第一の感光性樹脂と第二の感光性樹脂の
基材樹脂が同一組成であることを特徴とする請求項１に
記載の液体噴射記録ヘッド。
【請求項３】液体吐出エネルギー発生部が、熱エネル
ギーを発生する電気熱変換体であることを特徴とする請
求項１に記載の液体噴射記録ヘッド。
【請求項４】記録媒体の記録領域の全幅にわたって吐
出口が複数設けられているフルラインタイプのものであ
ることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射記録ヘッ
ド。
【請求項５】記録媒体の被記録面に対向してインクを
吐出する吐出口が設けられている請求項１に記載の液体
噴射記録ヘッドと、該ヘッドを載置するための部材とを
少なくとも具備することを特徴とする液体噴射記録装
置。
【請求項６】液体吐出エネルギー発生部を有する基板
上に感光性樹脂層を形成し、パターニング処理を行って
液流路を作成する工程を有する液体噴射記録ヘッドの製
造方法において、感光性樹脂層が、基板上に、各々感光
波長の異なる第一の感光性樹脂層、第二の感光性樹脂層
を順に積層し、その後、第一の感光性樹脂層のパターニ
ング処理を行い液流路を作成することを特徴とする液体
噴射記録ヘッドの製造方法。
【請求項７】第一の感光性樹脂層の露光後に第一の感
光性樹脂層上に第二の感光性樹脂層を形成し、この後、
第一の感光性樹脂層を感光させず第二の感光性樹脂層を
感光させる波長を用いて第二の感光性樹脂層を露光し、
次に第一の感光性樹脂層のパターニング処理を行うこと
を特徴とする請求項５に記載の液体噴射記録ヘッドの製
造方法。
【請求項８】第一の感光性樹脂層と第二の感光性樹脂
層中に含まれる基材樹脂が同一組成であることを特徴と
する請求項５に記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。