JPH0921767A - 蛍光ｘ線分析方法 - Google Patents
蛍光ｘ線分析方法Info
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- JPH0921767A JPH0921767A JP19418195A JP19418195A JPH0921767A JP H0921767 A JPH0921767 A JP H0921767A JP 19418195 A JP19418195 A JP 19418195A JP 19418195 A JP19418195 A JP 19418195A JP H0921767 A JPH0921767 A JP H0921767A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 金属試料表面の仕上げ状態の影響を排除し、
ステンレス鋼中のＣｒ、Ｎｉのごとき高含有量成分の分
析精度を向上させる。 【解決手段】 金属等の試料表面に一次Ｘ線を照射し、
試料中の元素から発生する固有Ｘ線を分光結晶により分
光して固有Ｘ線の強度を測定し、元素の含有量を測定す
る蛍光Ｘ線分析方法において、予め試料表面粗さと各測
定元素の変化量との関係から各測定元素の粗さ回帰係数
演算式を求めておき、試料表面の表面粗さを予め計測
し、計測した表面粗さと各測定元素の粗さ回帰係数演算
式から計算される補正値によって、蛍光Ｘ線分析値を補
正する。
ステンレス鋼中のＣｒ、Ｎｉのごとき高含有量成分の分
析精度を向上させる。 【解決手段】 金属等の試料表面に一次Ｘ線を照射し、
試料中の元素から発生する固有Ｘ線を分光結晶により分
光して固有Ｘ線の強度を測定し、元素の含有量を測定す
る蛍光Ｘ線分析方法において、予め試料表面粗さと各測
定元素の変化量との関係から各測定元素の粗さ回帰係数
演算式を求めておき、試料表面の表面粗さを予め計測
し、計測した表面粗さと各測定元素の粗さ回帰係数演算
式から計算される補正値によって、蛍光Ｘ線分析値を補
正する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、金属等の固体試料中
に含有される元素、特にステンレス鋼中の高含有成分、
例えば、Ｃｒ、Ｎｉ等を高精度で定量できる蛍光Ｘ線分
析方法に関する。
に含有される元素、特にステンレス鋼中の高含有成分、
例えば、Ｃｒ、Ｎｉ等を高精度で定量できる蛍光Ｘ線分
析方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】鉄鋼、スラグ、鉄鉱石の分析およびめっ
き鋼板のめっき厚さの測定等に広く利用されている蛍光
Ｘ線分析法は、試料にＸ線管球から発する一次Ｘ線を照
射し、試料中の元素から発生する固有Ｘ線（特性Ｘ線）
を分光結晶により分光して固有Ｘ線の強度を測定し、元
素の定性および定量を行う分析方法である。
き鋼板のめっき厚さの測定等に広く利用されている蛍光
Ｘ線分析法は、試料にＸ線管球から発する一次Ｘ線を照
射し、試料中の元素から発生する固有Ｘ線（特性Ｘ線）
を分光結晶により分光して固有Ｘ線の強度を測定し、元
素の定性および定量を行う分析方法である。
【０００３】蛍光Ｘ線分析装置は、Ｘ線発生部、分光お
よび受光部、係数記録部その他から構成されている。Ｘ
線発生部は、試料を照射する一次Ｘ線を発生させるため
のＸ線管球と、これに高電圧を供給する電源装置からな
る。分光および受光部は、発生した蛍光Ｘ線を分光し、
検出器によって受光する部分である。係数記録部は、検
出された蛍光Ｘ線強度を記録および表示する部分であ
る。その他一般には、測定値の再現精度を高める目的
で、電源や装置の変動を補償するための手段が取られて
いる。
よび受光部、係数記録部その他から構成されている。Ｘ
線発生部は、試料を照射する一次Ｘ線を発生させるため
のＸ線管球と、これに高電圧を供給する電源装置からな
る。分光および受光部は、発生した蛍光Ｘ線を分光し、
検出器によって受光する部分である。係数記録部は、検
出された蛍光Ｘ線強度を記録および表示する部分であ
る。その他一般には、測定値の再現精度を高める目的
で、電源や装置の変動を補償するための手段が取られて
いる。
【０００４】蛍光Ｘ線分析に供する試料は、塊状試料の
場合は試料ホルダーに入る程度の大きさに切断または破
砕（切断ができない試料、例えばフェロアロイなど）し
て用意し、一次Ｘ線照射面の大きさは径２０ｍｍ以上が
必要である。定量に際しては、試料の平坦な面が必要な
ので測定面を６０番以上のベルトサンダまたは砥石によ
り測定面を研磨しなければならない。標準試料と分析試
料とは、誤差が許容される範囲の同じ粗さに調製する必
要がある。また、試料表面は、巣、ガスホールなどの表
面欠陥、研磨材からの汚染、研磨時の加熱による変色そ
の他がないようにする。
場合は試料ホルダーに入る程度の大きさに切断または破
砕（切断ができない試料、例えばフェロアロイなど）し
て用意し、一次Ｘ線照射面の大きさは径２０ｍｍ以上が
必要である。定量に際しては、試料の平坦な面が必要な
ので測定面を６０番以上のベルトサンダまたは砥石によ
り測定面を研磨しなければならない。標準試料と分析試
料とは、誤差が許容される範囲の同じ粗さに調製する必
要がある。また、試料表面は、巣、ガスホールなどの表
面欠陥、研磨材からの汚染、研磨時の加熱による変色そ
の他がないようにする。
【０００５】従来の試料調製において切断後の試料の研
磨には、通常ベルトサンダが用いられているが、回転す
るベルト状研磨布に試料の切断面を押し付け、試料の測
定面を研磨するのであるが、押し付け圧力あるいは時間
とかは、作業者の経験、カンにたよっていた。このよう
な研磨のやり方では、仕上げ状態に個人差が生じること
は避けられず、得られる分析値に対する信頼性が低いも
のとなるばかりでなく、ベルトサンダのベルト状研磨布
の取替え前後の仕上げ状態の間に急激な変化を及ぼさな
いようにする必要があり、ベルト状研磨布の寿命を縮め
る結果となっている。
磨には、通常ベルトサンダが用いられているが、回転す
るベルト状研磨布に試料の切断面を押し付け、試料の測
定面を研磨するのであるが、押し付け圧力あるいは時間
とかは、作業者の経験、カンにたよっていた。このよう
な研磨のやり方では、仕上げ状態に個人差が生じること
は避けられず、得られる分析値に対する信頼性が低いも
のとなるばかりでなく、ベルトサンダのベルト状研磨布
の取替え前後の仕上げ状態の間に急激な変化を及ぼさな
いようにする必要があり、ベルト状研磨布の寿命を縮め
る結果となっている。
【０００６】上記の試料調製における研磨の欠陥を解消
する方法としては、サンプリングした金属試料を切断し
たのち、この分析用切断面をショットブラストすること
によって、仕上げ状態の個人差を無くすると共に、長期
安定した分析値を得る方法（特公昭６０−１５０１８号
公報）が提案されている。
する方法としては、サンプリングした金属試料を切断し
たのち、この分析用切断面をショットブラストすること
によって、仕上げ状態の個人差を無くすると共に、長期
安定した分析値を得る方法（特公昭６０−１５０１８号
公報）が提案されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記特公昭６０−１５
０１８号公報に開示の方法は、ショットブラストするこ
とにより金属試料の表面状態を均一化せしめようとした
ものであるが、表面粗さが均一化しているかどうかは不
明である。また、この方法では、低含有領域（含有量１
％前後あるいは１％未満）の分析精度は従来法（ベルト
サンダ仕上げ）と変わらないことを確認しているが、表
面粗さの影響が顕著な高含有量成分の分析精度について
は言及されておらず、分析精度の向上はできない。
０１８号公報に開示の方法は、ショットブラストするこ
とにより金属試料の表面状態を均一化せしめようとした
ものであるが、表面粗さが均一化しているかどうかは不
明である。また、この方法では、低含有領域（含有量１
％前後あるいは１％未満）の分析精度は従来法（ベルト
サンダ仕上げ）と変わらないことを確認しているが、表
面粗さの影響が顕著な高含有量成分の分析精度について
は言及されておらず、分析精度の向上はできない。
【０００８】一般的には、分析精度維持のため、研磨作
業の標準化によって一定の精度内となるよう管理される
が、ステンレス鋼中のＣｒ、Ｎｉのごとく高含有量成分
については、製鋼過程での高価な合金鉄使用量の削減の
ため、分析精度の向上が望まれている。
業の標準化によって一定の精度内となるよう管理される
が、ステンレス鋼中のＣｒ、Ｎｉのごとく高含有量成分
については、製鋼過程での高価な合金鉄使用量の削減の
ため、分析精度の向上が望まれている。
【０００９】この発明の目的は、上記従来技術の欠点を
解消し、金属試料表面の仕上げ状態の影響を排除し、ス
テンレス鋼中のＣｒ、Ｎｉのごとき高含有量成分につい
ても高精度で定量できる蛍光Ｘ線分析方法を提供するこ
とにある。
解消し、金属試料表面の仕上げ状態の影響を排除し、ス
テンレス鋼中のＣｒ、Ｎｉのごとき高含有量成分につい
ても高精度で定量できる蛍光Ｘ線分析方法を提供するこ
とにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記目的
を達成すべく、より簡便な方法について実験検討を重
ね、同一試料で測定面の表面粗さを意図的に変化させた
場合の蛍光Ｘ線分析値が、前記測定面の表面粗さと強い
相関関係にあること、および試料が異なり測定対象元素
の含有量が変化した場合は、測定面の表面粗さと蛍光Ｘ
線分析値の回帰係数が変化するが、同様に強い相関関係
にあることを見い出し、かつ、回帰係数の変化は、蛍光
Ｘ線分析値レベルより一次回帰式によって求めることが
可能であるという知見に基づき、測定面の表面粗さによ
る蛍光Ｘ線分析値の補正を行うことによって、測定面の
表面粗さに起因する蛍光Ｘ線分析値のバラツキを低減で
きることを究明し、この発明に到達した。
を達成すべく、より簡便な方法について実験検討を重
ね、同一試料で測定面の表面粗さを意図的に変化させた
場合の蛍光Ｘ線分析値が、前記測定面の表面粗さと強い
相関関係にあること、および試料が異なり測定対象元素
の含有量が変化した場合は、測定面の表面粗さと蛍光Ｘ
線分析値の回帰係数が変化するが、同様に強い相関関係
にあることを見い出し、かつ、回帰係数の変化は、蛍光
Ｘ線分析値レベルより一次回帰式によって求めることが
可能であるという知見に基づき、測定面の表面粗さによ
る蛍光Ｘ線分析値の補正を行うことによって、測定面の
表面粗さに起因する蛍光Ｘ線分析値のバラツキを低減で
きることを究明し、この発明に到達した。
【００１１】すなわちこの発明は、金属等の試料表面に
一次Ｘ線を照射し、試料中の元素から発生する固有Ｘ線
を分光結晶により分光して固有Ｘ線の強度を測定し、元
素の含有量を測定する蛍光Ｘ線分析方法において、予め
試料表面粗さと各測定元素の変化量との関係から各測定
元素の粗さ回帰係数演算式を求めておき、試料表面の表
面粗さを予め計測し、計測した表面粗さと各測定元素の
粗さ回帰係数演算式から計算される補正値によって、蛍
光Ｘ線分析値を補正することを特徴とする蛍光Ｘ線分析
方法である。
一次Ｘ線を照射し、試料中の元素から発生する固有Ｘ線
を分光結晶により分光して固有Ｘ線の強度を測定し、元
素の含有量を測定する蛍光Ｘ線分析方法において、予め
試料表面粗さと各測定元素の変化量との関係から各測定
元素の粗さ回帰係数演算式を求めておき、試料表面の表
面粗さを予め計測し、計測した表面粗さと各測定元素の
粗さ回帰係数演算式から計算される補正値によって、蛍
光Ｘ線分析値を補正することを特徴とする蛍光Ｘ線分析
方法である。
【００１２】また、金属等の試料表面に一次Ｘ線を照射
し、試料中の元素から発生する固有Ｘ線を分光結晶によ
り分光して固有Ｘ線の強度を測定し、元素の含有量を測
定する蛍光Ｘ線分析方法において、前記金属等の試料表
面の表面粗さＲａを予め計測し、予め実験により求めた
各測定元素の下記（１）式の粗さ回帰係数Ａと計測した
表面粗さＲａによって、下記（２）式により蛍光Ｘ線分
析値を補正することを特徴とする蛍光Ｘ線分析方法であ
る。 Ａ＝ａ×［Ｘ］ｉ＋ｂ………………………………（１）式 ［Ｘ］ｆ＝Ａ×Ｒａ＋［Ｘ］ｉ…………………………（２）式 ただし、Ａ：粗さ回帰係数、ａ、ｂ：実験により求めら
れる元素毎の定数、［Ｘ］ｉ：蛍光Ｘ線分析値（％）、
［Ｘ］ｆ：補正後蛍光Ｘ線分析値（％）、Ｒａ：試料表
面粗さ（μｍ）
し、試料中の元素から発生する固有Ｘ線を分光結晶によ
り分光して固有Ｘ線の強度を測定し、元素の含有量を測
定する蛍光Ｘ線分析方法において、前記金属等の試料表
面の表面粗さＲａを予め計測し、予め実験により求めた
各測定元素の下記（１）式の粗さ回帰係数Ａと計測した
表面粗さＲａによって、下記（２）式により蛍光Ｘ線分
析値を補正することを特徴とする蛍光Ｘ線分析方法であ
る。 Ａ＝ａ×［Ｘ］ｉ＋ｂ………………………………（１）式 ［Ｘ］ｆ＝Ａ×Ｒａ＋［Ｘ］ｉ…………………………（２）式 ただし、Ａ：粗さ回帰係数、ａ、ｂ：実験により求めら
れる元素毎の定数、［Ｘ］ｉ：蛍光Ｘ線分析値（％）、
［Ｘ］ｆ：補正後蛍光Ｘ線分析値（％）、Ｒａ：試料表
面粗さ（μｍ）
【００１３】この発明においては、予め試料表面粗さと
各測定元素の変化量との関係から各測定元素の粗さ回帰
係数演算式を求めておき、試料表面の表面粗さを予め計
測し、計測した表面粗さと各測定元素の粗さ回帰係数演
算式から計算される補正値によって、蛍光Ｘ線分析値を
補正することによって、測定面の表面粗さに起因する蛍
光Ｘ線分析値のバラツキを低減でき、ステンレス鋼中の
Ｃｒ、Ｎｉのごとく高含有量成分についても高精度で定
量することができ、製鋼過程での高価な合金鉄使用量の
削減に寄与することができる。
各測定元素の変化量との関係から各測定元素の粗さ回帰
係数演算式を求めておき、試料表面の表面粗さを予め計
測し、計測した表面粗さと各測定元素の粗さ回帰係数演
算式から計算される補正値によって、蛍光Ｘ線分析値を
補正することによって、測定面の表面粗さに起因する蛍
光Ｘ線分析値のバラツキを低減でき、ステンレス鋼中の
Ｃｒ、Ｎｉのごとく高含有量成分についても高精度で定
量することができ、製鋼過程での高価な合金鉄使用量の
削減に寄与することができる。
【００１４】また、この発明においては、前記金属等の
試料表面の表面粗さＲａを予め計測し、予め実験により
求めた各測定元素の前記（１）式の粗さ回帰係数Ａと計
測した表面粗さＲａによって、前記（２）式により蛍光
Ｘ線分析値を補正することによって、測定面の表面粗さ
に起因する蛍光Ｘ線分析値のバラツキを低減でき、ステ
ンレス鋼中のＣｒ、Ｎｉのごとく高含有量成分について
も高精度で定量することができ、製鋼過程での高価な合
金鉄使用量の削減に寄与することができる。
試料表面の表面粗さＲａを予め計測し、予め実験により
求めた各測定元素の前記（１）式の粗さ回帰係数Ａと計
測した表面粗さＲａによって、前記（２）式により蛍光
Ｘ線分析値を補正することによって、測定面の表面粗さ
に起因する蛍光Ｘ線分析値のバラツキを低減でき、ステ
ンレス鋼中のＣｒ、Ｎｉのごとく高含有量成分について
も高精度で定量することができ、製鋼過程での高価な合
金鉄使用量の削減に寄与することができる。
【００１５】試料表面粗さの評価指標としては、ＪＩＳ
Ｂ ０６０１−１９８２ 表面粗さの定義と表示で
は、断面曲線、粗さ曲線の評価項目として微細な凹凸の
振幅に関する中心線平均粗さＲａ、最大高さＲｍａｘ、
十点平均粗さＲｚの３種類が採用されているが、実験よ
り中心線平均粗さＲａが最も蛍光Ｘ線分析値との相関が
強く、表面状態を的確に表しており、中心線平均粗さＲ
ａを採用するのが適当である。
Ｂ ０６０１−１９８２ 表面粗さの定義と表示で
は、断面曲線、粗さ曲線の評価項目として微細な凹凸の
振幅に関する中心線平均粗さＲａ、最大高さＲｍａｘ、
十点平均粗さＲｚの３種類が採用されているが、実験よ
り中心線平均粗さＲａが最も蛍光Ｘ線分析値との相関が
強く、表面状態を的確に表しており、中心線平均粗さＲ
ａを採用するのが適当である。
【００１６】表面粗さの測定方法としては、触針法、レ
ーザ光による反射光分布の利用、鏡面反射率法、対比光
沢度法、スペックルパターン法、シーン現象の利用など
多数あるが、触針法、レーザ光による反射光分布の利用
を採用するのが適している。この発明の実験では、触針
法を採用したが、その繰り返し測定精度は、中心線平均
粗さＲａ１．９μｍのときで±０．０５μｍであり、蛍
光Ｘ線分析値への影響は、表１に示すとおり、約Ｃｒ：
１８％のときで０．００６％程度と推定される。したが
って、中心線平均粗さＲａの補正によって蛍光Ｘ線分析
値のバラツキは、低減することができる。
ーザ光による反射光分布の利用、鏡面反射率法、対比光
沢度法、スペックルパターン法、シーン現象の利用など
多数あるが、触針法、レーザ光による反射光分布の利用
を採用するのが適している。この発明の実験では、触針
法を採用したが、その繰り返し測定精度は、中心線平均
粗さＲａ１．９μｍのときで±０．０５μｍであり、蛍
光Ｘ線分析値への影響は、表１に示すとおり、約Ｃｒ：
１８％のときで０．００６％程度と推定される。したが
って、中心線平均粗さＲａの補正によって蛍光Ｘ線分析
値のバラツキは、低減することができる。
【００１７】
【表１】
【００１８】
実施例１ 中心線平均粗さＲａと蛍光Ｘ線分析値との関係を調査す
るため、表２に示すとおり、標準試料（同一組成の試料
１２個）を３種類準備し、表３に示すとおり、研磨条件
を４段階に変更して各研磨条件で３個の研磨試料を調製
した。調製した試料Ｎｏ．１〜３の３６個について、触
針法により中心線平均粗さＲａを測定すると共に、表４
に示す条件でＣｒ、Ｎｉ、Ｍｎの蛍光Ｘ線分析を行い、
中心線平均粗さＲａと蛍光Ｘ線分析値の関係を調査し
た。その結果を図１〜図１２に示す。
るため、表２に示すとおり、標準試料（同一組成の試料
１２個）を３種類準備し、表３に示すとおり、研磨条件
を４段階に変更して各研磨条件で３個の研磨試料を調製
した。調製した試料Ｎｏ．１〜３の３６個について、触
針法により中心線平均粗さＲａを測定すると共に、表４
に示す条件でＣｒ、Ｎｉ、Ｍｎの蛍光Ｘ線分析を行い、
中心線平均粗さＲａと蛍光Ｘ線分析値の関係を調査し
た。その結果を図１〜図１２に示す。
【００１９】
【表２】
【００２０】
【表３】
【００２１】
【表４】
【００２２】図１〜図１２に示すとおり、中心線平均粗
さＲａの値が大きくなる（試料表面が粗くなる）ほど、
蛍光Ｘ線分析値は低い値を示し、かつ強い相関関係にあ
る。また、研磨紙＃１００新と古のプロットから多数回
使用によって中心線平均粗さＲａは低くなり、蛍光Ｘ線
分析値は高くなっている。さらに、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｍｎ共
に、含有量が低くなるほど表面粗さと蛍光Ｘ線分析値と
の回帰係数（Ａ）が小さくなっている。その関係を図示
したのが図４、図８、図１２であり、蛍光Ｘ線分析値で
上記回帰係数（Ａ）が計算できる。以上の結果から、下
記補正式を導き出した。 Ａ＝ａ×［Ｘ］ｉ＋ｂ………………………………（１）式 ［Ｘ］ｆ＝Ａ×Ｒａ＋［Ｘ］ｉ…………………………（２）式 ただし、Ａ：粗さ回帰係数、ａ、ｂ：実験により求めら
れる元素毎の定数、［Ｘ］ｉ：蛍光Ｘ線分析値（％）、
［Ｘ］ｆ：補正後蛍光Ｘ線分析値（％）、Ｒａ：試料表
面粗さ（μｍ）
さＲａの値が大きくなる（試料表面が粗くなる）ほど、
蛍光Ｘ線分析値は低い値を示し、かつ強い相関関係にあ
る。また、研磨紙＃１００新と古のプロットから多数回
使用によって中心線平均粗さＲａは低くなり、蛍光Ｘ線
分析値は高くなっている。さらに、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｍｎ共
に、含有量が低くなるほど表面粗さと蛍光Ｘ線分析値と
の回帰係数（Ａ）が小さくなっている。その関係を図示
したのが図４、図８、図１２であり、蛍光Ｘ線分析値で
上記回帰係数（Ａ）が計算できる。以上の結果から、下
記補正式を導き出した。 Ａ＝ａ×［Ｘ］ｉ＋ｂ………………………………（１）式 ［Ｘ］ｆ＝Ａ×Ｒａ＋［Ｘ］ｉ…………………………（２）式 ただし、Ａ：粗さ回帰係数、ａ、ｂ：実験により求めら
れる元素毎の定数、［Ｘ］ｉ：蛍光Ｘ線分析値（％）、
［Ｘ］ｆ：補正後蛍光Ｘ線分析値（％）、Ｒａ：試料表
面粗さ（μｍ）
【００２３】実施例２ 上記補正式の効果を確認するため、オンライン実試料１
０個の触針法による中心線平均粗さＲａ、前記表４に示
す条件でＣｒ、Ｎｉ、Ｍｎの蛍光Ｘ線分析および化学分
析を行い、蛍光Ｘ線分析値と化学分析値との差のバラツ
キを￣Ｒ／ｄ2で推定すると表５のとおりであった。
０個の触針法による中心線平均粗さＲａ、前記表４に示
す条件でＣｒ、Ｎｉ、Ｍｎの蛍光Ｘ線分析および化学分
析を行い、蛍光Ｘ線分析値と化学分析値との差のバラツ
キを￣Ｒ／ｄ2で推定すると表５のとおりであった。
【００２４】
【表５】
【００２５】表５に示すとおり、Ｃｒ、Ｎｉについて
は、中心線平均粗さＲａ補正した場合、蛍光Ｘ線分析の
分析精度が中心線平均粗さＲａ補正なしに比較して約４
０％向上している。Ｍｎについては、中心線平均粗さＲ
ａ補正の効果が認められなかったが、その要因は粗さ回
帰係数（Ａ）が小さいためである。したがって、この発
明における中心線平均粗さＲａ補正式の適用において
は、実験により求めた含有量の範囲にすべきであり、か
つ、Ｃｒ、Ｎｉのように高含有領域の元素に限られる。
は、中心線平均粗さＲａ補正した場合、蛍光Ｘ線分析の
分析精度が中心線平均粗さＲａ補正なしに比較して約４
０％向上している。Ｍｎについては、中心線平均粗さＲ
ａ補正の効果が認められなかったが、その要因は粗さ回
帰係数（Ａ）が小さいためである。したがって、この発
明における中心線平均粗さＲａ補正式の適用において
は、実験により求めた含有量の範囲にすべきであり、か
つ、Ｃｒ、Ｎｉのように高含有領域の元素に限られる。
【００２６】
【発明の効果】以上述べたとおり、この発明方法によれ
ば、オーステナイト系ステンレス鋼中のＣｒ、Ｎｉおよ
びフェライト系ステンレス鋼中のＣｒのような高含有量
領域の元素に対し、蛍光Ｘ線分析の分析精度を約４０％
向上させることができる。
ば、オーステナイト系ステンレス鋼中のＣｒ、Ｎｉおよ
びフェライト系ステンレス鋼中のＣｒのような高含有量
領域の元素に対し、蛍光Ｘ線分析の分析精度を約４０％
向上させることができる。
【図１】実施例１における試料Ｎｏ．１の中心線平均粗
さＲａとＣｒの蛍光Ｘ線分析値との関係を示すグラフで
ある。
さＲａとＣｒの蛍光Ｘ線分析値との関係を示すグラフで
ある。
【図２】実施例１における試料Ｎｏ．２の中心線平均粗
さＲａとＣｒの蛍光Ｘ線分析値との関係を示すグラフで
ある。
さＲａとＣｒの蛍光Ｘ線分析値との関係を示すグラフで
ある。
【図３】実施例１における試料Ｎｏ．３の中心線平均粗
さＲａとＣｒの蛍光Ｘ線分析値との関係を示すグラフで
ある。
さＲａとＣｒの蛍光Ｘ線分析値との関係を示すグラフで
ある。
【図４】実施例１におけるＣｒの蛍光Ｘ線分析値と中心
線平均粗さＲａ回帰係数との関係を示すグラフである。
線平均粗さＲａ回帰係数との関係を示すグラフである。
【図５】実施例１における試料Ｎｏ．１の中心線平均粗
さＲａとＮｉの蛍光Ｘ線分析値との関係を示すグラフで
ある。
さＲａとＮｉの蛍光Ｘ線分析値との関係を示すグラフで
ある。
【図６】実施例１における試料Ｎｏ．２の中心線平均粗
さＲａとＮｉの蛍光Ｘ線分析値との関係を示すグラフで
ある。
さＲａとＮｉの蛍光Ｘ線分析値との関係を示すグラフで
ある。
【図７】実施例１における試料Ｎｏ．３の中心線平均粗
さＲａとＮｉの蛍光Ｘ線分析値との関係を示すグラフで
ある。
さＲａとＮｉの蛍光Ｘ線分析値との関係を示すグラフで
ある。
【図８】実施例１におけるＮｉの蛍光Ｘ線分析値と中心
線平均粗さＲａ回帰係数との関係を示すグラフである。
線平均粗さＲａ回帰係数との関係を示すグラフである。
【図９】実施例１における試料Ｎｏ．１の中心線平均粗
さＲａとＭｎの蛍光Ｘ線分析値との関係を示すグラフで
ある。
さＲａとＭｎの蛍光Ｘ線分析値との関係を示すグラフで
ある。
【図１０】実施例１における試料Ｎｏ．２の中心線平均
粗さＲａとＭｎの蛍光Ｘ線分析値との関係を示すグラフ
である。
粗さＲａとＭｎの蛍光Ｘ線分析値との関係を示すグラフ
である。
【図１１】実施例１における試料Ｎｏ．３の中心線平均
粗さＲａとＭｎの蛍光Ｘ線分析値との関係を示すグラフ
である。
粗さＲａとＭｎの蛍光Ｘ線分析値との関係を示すグラフ
である。
【図１２】実施例１におけるＭｎの蛍光Ｘ線分析値と中
心線平均粗さＲａ回帰係数との関係を示すグラフであ
る。
心線平均粗さＲａ回帰係数との関係を示すグラフであ
る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 谷口 卓史 和歌山県和歌山市湊1850番地 住友金属工 業株式会社和歌山製鉄所内
Claims (2)
- 【請求項１】 金属等の試料表面に一次Ｘ線を照射し、
試料中の元素から発生する固有Ｘ線を分光結晶により分
光して固有Ｘ線の強度を測定し、元素の含有量を測定す
る蛍光Ｘ線分析方法において、予め試料表面粗さと各測
定元素の変化量との関係から各測定元素の粗さ回帰係数
演算式を求めておき、試料表面の表面粗さを予め計測
し、計測した表面粗さと各測定元素の粗さ回帰係数演算
式から計算される補正値によって、蛍光Ｘ線分析値を補
正することを特徴とする蛍光Ｘ線分析方法。 - 【請求項２】 金属等の試料表面に一次Ｘ線を照射し、
試料中の元素から発生する固有Ｘ線を分光結晶により分
光して固有Ｘ線の強度を測定し、元素の含有量を測定す
る蛍光Ｘ線分析方法において、前記金属等の試料表面の
表面粗さＲａを予め計測し、予め実験により求めた各測
定元素の下記（１）式の粗さ回帰係数Ａと計測した表面
粗さＲａによって、下記（２）式により蛍光Ｘ線分析値
を補正することを特徴とする蛍光Ｘ線分析方法。 Ａ＝ａ×［Ｘ］ｉ＋ｂ………………………………（１）式 ［Ｘ］ｆ＝Ａ×Ｒａ＋［Ｘ］ｉ…………………………（２）式 ただし、Ａ：粗さ回帰係数、ａ、ｂ：実験により求めら
れる元素毎の定数、［Ｘ］ｉ：蛍光Ｘ線分析値（％）、
［Ｘ］ｆ：補正後蛍光Ｘ線分析値（％）、Ｒａ：試料表
面粗さ（μｍ）
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19418195A JPH0921767A (ja) | 1995-07-05 | 1995-07-05 | 蛍光ｘ線分析方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19418195A JPH0921767A (ja) | 1995-07-05 | 1995-07-05 | 蛍光ｘ線分析方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0921767A true JPH0921767A (ja) | 1997-01-21 |
Family
ID=16320291
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19418195A Pending JPH0921767A (ja) | 1995-07-05 | 1995-07-05 | 蛍光ｘ線分析方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0921767A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103460030A (zh) * | 2011-01-31 | 2013-12-18 | 新日铁住金株式会社 | 钢材的钢种判定方法 |
| CN105928963A (zh) * | 2016-04-14 | 2016-09-07 | 梧州市产品质量检验所 | 一种检测原煤质量的方法 |
| CN106537123A (zh) * | 2014-07-09 | 2017-03-22 | 杰富意钢铁株式会社 | 金属试样中的氮的分析方法、金属试样中的氮的分析装置、钢水中的氮浓度调节方法和钢的制造方法 |
| CN107340379A (zh) * | 2017-06-21 | 2017-11-10 | 钢研纳克检测技术有限公司 | 一种基于特征元素定量分析的金属材料快速分类检测方法 |
-
1995
- 1995-07-05 JP JP19418195A patent/JPH0921767A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN103460030B (zh) * | 2011-01-31 | 2015-12-02 | 新日铁住金株式会社 | 钢材的钢种判定方法 |
| CN106537123A (zh) * | 2014-07-09 | 2017-03-22 | 杰富意钢铁株式会社 | 金属试样中的氮的分析方法、金属试样中的氮的分析装置、钢水中的氮浓度调节方法和钢的制造方法 |
| CN106537123B (zh) * | 2014-07-09 | 2019-06-21 | 杰富意钢铁株式会社 | 金属试样中的氮的分析方法、金属试样中的氮的分析装置、钢水中的氮浓度调节方法和钢的制造方法 |
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| CN107340379A (zh) * | 2017-06-21 | 2017-11-10 | 钢研纳克检测技术有限公司 | 一种基于特征元素定量分析的金属材料快速分类检测方法 |
| CN107340379B (zh) * | 2017-06-21 | 2019-07-23 | 钢研纳克检测技术股份有限公司 | 一种基于特征元素定量分析的金属材料快速分类检测方法 |
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