JPH0921784A - ガス成分監視装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】広い範囲に亙る標準ガスを使っての感度校正を
可能にして原子炉格納容器内雰囲気の監視能力を改善す
ること。 【解決手段】監視対象容器１から取り出された測定ガス
を測定ラインに導入し、該測定ラインに設けた検出器２
６で監視ガスの濃度を検出し、その検出結果に基づいて
ガス濃度を監視し、測定終了後の測定ガスを監視対象容
器１内へ放出するガス成分監視装置である。このガス成
分監視装置が水素ガスを吸着する機能を備えた水素吸蔵
タンク３７に測定ラインを流れる測定ガスがバイパスさ
れるように水素吸蔵タンク３７を測定ラインにバイパス
弁３８，３９を介して並列に接続する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、原子炉計装分野で
利用される監視装置に係り、特に原子炉格納容器内の雰
囲気に含まれる酸素・水素の濃度を測定する格納容器内
雰囲気監視装置（以下、「ＣＡＭＳ」と呼ぶ）に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】原子力発電プラントは、原子炉格納容器
内の雰囲気を監視するためにＣＡＭＳを備えている。Ｃ
ＡＭＳでは安全性を確認するための一つの指標として格
納容器雰囲気中の水素及び酸素を測定している。ＣＡＭ
Ｓの水素・酸素濃度測定系は、酸素検出器及び水素検出
器の耐環境性、保守点検上の理由から格納容器外に設置
されたサンプリングラックの中に配設される。格納容器
内から雰囲気ガスをサンプリングしてサンプリングラッ
クへ導入することからサンプリング方式と呼ばれてい
る。

【０００３】図４は、サンプリング方式を採用した水素
・酸素濃度測定系の構成例を示している。原子炉格納容
器１とサンプリングラック２とを配管で接続し、ラック
内の吸引ポンプ３で原子炉格納容器１内の雰囲気ガスを
サンプリングラック２へ引き込む。このサンプリングガ
スに含まれる湿分を除湿器４で除去した後、酸素検出器
５，水素検出器６でそれぞれ水素、酸素濃度を測定す
る。測定したドライガスは排気ポンプ７により引かれて
逆止弁８を介して再び原子炉格納容器１の中へ戻され
る。一方、除湿器４でサンプリングガスから除去した水
分はドレン測定器９で測定された後、ドレン弁１０を介
して再び原子炉格納容器１へ戻される。

【０００４】サンプリングラック２とＣＡＭＳ盤１２と
を信号線及び電源線で接続し、ＣＡＭＳ盤１２からサン
プリングラック２の各構成要素に電源を供給すると共
に、サンプリングラック２の各構成要素からＣＡＭＳ盤
１２へ測定データを伝送する。

【０００５】ＣＡＭＳ盤１２は、サンプリングラック２
との間のデータの送受信をインターフェース１３を介し
て行う。計算機１４が測定値の湿分補正演算を実行す
る。ここで、酸素検出器５，水素検出器６で測定した濃
度値はドライベースであるのに対して、実際の原子炉格
納容器１内の雰囲気ガスはウエットベースである。従っ
て、計算機１４はレベル計１１から送信されて来るドレ
ン量測定値を使用してドライベースの水素・酸素測定値
をウエットベースに換算して雰囲気監視を実行してい
る。

【０００６】また、水素標準ガスが入った校正ガスボン
ベをサンプリングラック内の測定ラインに対して校正ガ
ス用弁１６を介して接続し、ライン弁１７を閉じると共
に校正ガス用弁１６を開けて、水素標準ガスを測定ライ
ンへ供給できるように構成している。校正用の水素標準
ガスは水素検出器６での測定終了後に原子炉格納容器１
へ排気している。

【０００７】上記した水素・酸素濃度測定系による水素
・酸素の測定の他に、原子炉格納容器１の雰囲気ガスの
微量ガス分析を行っている。原子炉格納容器１の雰囲気
ガスをサンプル容器に採集し、サンプル容器を微量ガス
分析設備の整った場所まで運び込んでいた。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た水素・酸素濃度測定系は、校正用の水素標準ガスを測
定終了後に原子炉格納容器１へ排気しているので、水素
標準ガスとして高濃度の水素ガスを使用することができ
ない。その結果、低濃度の水素標準ガスによる試験結果
に基づいて検出器の感度校正を行っており、低濃度から
高濃度までの広い範囲に亙る標準ガスを使っての感度校
正ができなかった。

【０００９】また、原子炉格納容器１の雰囲気ガスの微
量ガス分析は、雰囲気ガスをサンプル容器に集めて設備
の整った別の場所へ運んで実施していたので、常時微量
ガス分析を実行するような設備にはなっていなかった。

【００１０】本発明は、以上のような実情に鑑みてなさ
れたもので、低濃度から高濃度までの広い範囲に亙る標
準ガスを使っての感度校正を可能にし、また常時微量ガ
ス分析を可能にすることにより、原子炉格納容器内雰囲
気の監視能力を改善することのできる格納容器内雰囲気
監視装置を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために以下のような手段を講じた。請求項１に対
応する本発明は、監視対象容器から取り出された測定ガ
スを測定ラインに導入し、該測定ラインに設けた水素検
出器で測定ガス中の水素濃度を検出し、その検出結果に
基づいて測定ガス中の水素濃度を監視し、測定終了後の
測定ガスを前記監視対象容器内へ放出するガス成分監視
装置において、水素ガスを吸着する機能を備えた水素吸
蔵タンクに前記測定ラインを流れる測定ガスがバイパス
されるように前記水素吸蔵タンクを前記測定ラインにバ
イパス弁を介して並列に接続し、前記測定ラインに標準
ガスを導入して前記水素検出器の校正試験を行うときは
前記測定ラインを流れる測定ガスが前記水素吸蔵タンク
を通過するように構成した。

【００１２】請求項１に対応する本発明によれば、水素
ガスを吸着する機能を備えた水素吸蔵タンクが測定ライ
ンにバイパス弁を介して並列に接続される。測定ライン
に標準ガスを導入して水素検出器の校正試験を行うとき
は、バイパス弁を切替えることにより測定ラインを流れ
る測定ガスが水素吸蔵タンクを通過するようになる。測
定ラインから水素吸蔵タンクに流れ込んだ標準ガス中の
水素成分はタンク内において吸着されるため標準ガス中
の水素濃度は大幅に低下する。この水素濃度を低下させ
た標準ガスが測定ラインへ戻された後に監視対象容器内
へ放出される。

【００１３】請求項２に対応する本発明は、監視対象容
器から取り出された測定ガスを測定ラインに導入し、該
測定ラインに設けた酸素検出器で測定ガス中の酸素濃度
を検出し、その検出結果に基づいて測定ガス中の酸素濃
度を監視し、測定終了後の測定ガスを前記監視対象容器
内へ放出するガス成分監視装置において、酸素ガスと化
合する化合材が充填された酸素化合材タンクに前記測定
ラインを流れる測定ガスがバイパスされるように前記酸
素化合材タンクを前記測定ラインにバイパス弁を介して
並列に接続し、前記測定ラインに標準ガスを導入して前
記酸素検出器の校正試験を行うときは前記測定ラインを
流れる測定ガスが前記酸素化合材タンクを通過するよう
に構成した。

【００１４】請求項２に対応する本発明によれば、酸素
ガスを化合する化合材が充填された酸素化合材タンクが
測定ラインにバイパス弁を介して並列に接続される。測
定ラインに標準ガスを導入して酸素検出器の校正試験を
行うときは、バイパス弁を切替えることにより測定ライ
ンを流れる測定ガスが酸素化合材タンクを通過するよう
になる。測定ラインから酸素化合材タンクに流れ込んだ
標準ガス中の酸素成分はタンク内において化合して除去
されるため標準ガス中の酸素濃度は大幅に低下する。こ
の酸素濃度を低下させた標準ガスが測定ラインへ戻され
た後に監視対象容器内へ放出される。

【００１５】請求項３に対応する本発明は、監視対象容
器から取り出された測定ガスを測定ラインに導入し、該
測定ラインに設けた酸素検出器及び水素検出器で測定ガ
ス中の酸素濃度及び水素濃度を検出し、その検出結果に
基づいて測定ガス中の酸素濃度及び水素濃度を監視し、
測定終了後の測定ガスを前記監視対象容器内へ放出する
ガス成分監視装置において、質量分析によりガス成分の
ガス分圧比を求めることのできる微量ガス分析機能を備
えた分析ラックに前記測定ラインを流れる測定ガスの一
部が流れ込むように前記分析ラックを前記測定ラインに
分岐弁を介して接続し、前記分析ラックで求めた測定ガ
スのガス分圧比と前記酸素検出器及び前記水素検出器の
検出結果とを計算機に入力して定量的な微量ガス分析を
行うように構成した。

【００１６】請求項３に対応する本発明によれば、微量
ガス分析機能を備えた分析ラックが測定ラインに分岐弁
を介して接続され、測定ラインを流れる測定ガスの一部
が分岐弁を介して流れ込む。前記分析ラックでは測定ガ
スの質量分析により各ガスのガス分圧比が求められる。
計算機に分析ラックで求めたガス分圧比データと酸素検
出器及び水素検出器の検出結果とが入力されて定量的な
微量ガス分析が行われる。

【００１７】請求項４に対応する本発明は、請求項３記
載のガス成分監視装置において、前記分岐弁から前記分
析ラックに前記測定ガスの一部を導くためのガス通路上
に計算機から開度を調節可能なバリァブルリーク弁を設
けた。

【００１８】請求項４に対応する本発明によれば、分岐
弁から分析ラックに測定ガスの一部を導くためのガス通
路上に設けられたバリァブルリーク弁の開度が計算機か
ら調節可能である。従って、バリァブルリーク弁の開度
を変化させて感度を調整できる。

【００１９】請求項５に対応する本発明は、請求項３ま
たは請求項４記載のガス成分監視装置において、前記計
算機に、前記酸素検出器及び前記水素検出器の検出結果
から求められる水素と酸素の濃度比と、前記分析ラック
で求めた測定ガスのガス分圧比に基づく水素と酸素の濃
度比とを比較して健全性を診断する機能を備えた。

【００２０】請求項５に対応する本発明によれば、計算
機において酸素検出器及び水素検出器の検出結果から求
められる水素と酸素の濃度比と、分析ラックで求めた測
定ガスのガス分圧比に基づく水素と酸素の濃度比とが比
較される。両者の値が所定範囲を越えて相違していれば
異常であると診断でき、両者ほぼ一致していれば正常で
あると診断できる。

【００２１】

【実施の形態】以下、本発明の実施形態について説明す
る。 （第１実施形態）図１は、本実施形態のＣＡＭＳにおけ
る主に水素・酸素濃度測定系部分の構成を示している。
本実施形態は、原子炉格納容器１に配管を介して接続さ
れるサンプリングラック２０と、このサンプリングラッ
ク２０に信号線及び電源線を介して接続されたＣＡＭＳ
盤２１とを備えている。

【００２２】サンプリングラック２０は、原子炉格納容
器１から配管を介してラック内に導入されるサンプリン
グガスから湿分を除去する除湿器２２を有する。除湿器
２２にライン弁２３を介して吸引ポンプ２４を接続し、
吸引ポンプ２４の出側に形成された測定ライン上に酸素
検出器２５、水素検出器２６を配置してサンプリングガ
ス中の酸素、水素の濃度をそれぞれ測定するようにして
いる。水素検出器２６の出側に延設される測定ラインに
逆止弁２７、バイパス用ライン弁２８を介挿すると共
に、該測定ラインを排気ポンプ２９を介してラック外へ
引き出し、原子炉格納容器１のサンプル出口に接続して
いる。また、除湿器２２にサンプリングガスから除去し
た水分を貯留するドレン測定器３１を設置している。ド
レン測定器３１に併設したレベル計３２でドレン測定器
３１の水位を検出している。ドレン測定器３１はドレン
弁３３を介して原子炉格納容器１のドレン排出口に連結
している。校正ガスボンベ３４は校正用弁３５を介して
吸引ポンプ２４の前段の測定ラインに接続される。

【００２３】本実施形態は、測定ライン上における逆止
弁２７と排気ポンプとの間にバイパス路３６を併設して
いる。バイパス路３６の途中に水素及び酸素をそれぞれ
吸着するタンク設備３７を設け、タンク設備３７の入側
及び出側のそれぞれにバイパス弁３８、３９を設けてい
る。タンク設備３７は、水素吸蔵タンクと酸素化合材タ
ンクとを直列に配列した構成としている。水素吸蔵タン
クにはパラジウムまたはチタン等の水素を吸蔵できる金
属が収納されている。酸素化合材タンクには酸素と化合
して酸素を吸収する鉄粉等の酸素化合材が収納されてい
る。

【００２４】ＣＡＭＳ盤２１に設置される計算機４０は
インターフェース４１を介してサンプリングラック２０
内の各構成要素とデータの送受信を実行する。以上のよ
うに構成された本実施形態の動作について説明する。

【００２５】水素・酸素の測定時は、計算機４０が信号
線を通じてサンプリングラック２０の構成要素に指令を
与え、ライン弁２３、２８を開くと共に校正用弁３５、
バイパス弁３８，３９を閉じる。吸引ポンプ２４で原子
炉格納容器１からサンプリングラック２０へ吸引したサ
ンプリングガスが除湿器２２で湿分を除去された後、酸
素検出器２５，水素検出器２６へ導入されサンプリング
ガス中の酸素濃度、水素濃度が測定される。酸素検出器
２５，水素検出器２６での測定値は信号線を介して計算
機４０へ伝送される。一方、除湿器２２でサンプリング
ガスから除去した水分はドレン測定器３１に溜まり、そ
の水位がレベル計３２から計算機４０へ伝送される。計
算機４０では、検出器から受信した酸素濃度、水素濃度
をレベル計３２から受信した水分データで湿分補正演算
を実行する。

【００２６】水素検出器２６（又は酸素検出器２５）の
校正試験を行う場合は、計算機４０が信号線を通じてサ
ンプリングラック２０の構成要素に指令を与え、ライン
弁２３、２８を閉じると共に校正用弁３５、バイパス弁
３８，３９を開ける。校正ガスボンベ３４から校正用弁
３５を通って測定ランイに導入された水素標準ガスは水
素検出器２６でその濃度が測定され、測定値が信号線を
介して計算機４０へ伝送される。

【００２７】水素検出器２６で濃度測定した後の水素標
準ガスは、ライン弁２８が閉じているのでバイパス弁３
６を通ってバイパス路３６に導入されてタンク設備３７
の水素吸蔵タンクに入れられる。水素吸蔵タンクで水素
が吸着されるため水素標準ガスの水素濃度が大幅に下げ
られる。校正試験に利用した水素標準ガスよりも大幅に
水素濃度の低下したガスとなって水素吸蔵タンクから出
て、さらに酸素化合材タンクに入りガス中の酸素が吸収
される。ここで、酸素化合材タンクでの酸素化合反応で
は発熱を伴うが、水素濃度が大幅に低下されているため
問題はない。

【００２８】酸素化合材タンクを通過する際に水素濃度
及び酸素濃度の下げられたガスはバイパス弁３９を通り
排気ポンプ２９により原子炉格納容器１内へ放出され
る。このように本実施形態によれば、サンプリングラッ
ク２０に形成している測定ライン上において検出器より
も後側にバイパス路３６を設け、このバイパス路３６に
水素吸蔵タンク及び酸素化合材タンクを設けたので、校
正ガスボンベ３４から高い濃度の水素標準ガス、又は酸
素標準ガスを測定ラインに導入してもタンク設備３７で
問題ないレベルまで濃度を下げてから原子炉格納容器１
へ放出することができる。従って、高い濃度の水素標準
ガス、酸素標準ガスを使って検出器の校正試験を実施す
ることができ、より広い範囲での校正が可能になる。

【００２９】（第２実施形態）図２は、本実施形態のＣ
ＡＭＳにおける主に水素・酸素濃度測定系部分の構成を
示している。尚、上記した第１実施形態と同一部分には
同一符号を付している。

【００３０】本実施形態は、微量ガス分析機能を備えた
分析ラック５０を、サンプリングラック２０に形成した
測定ラインに分岐弁５１，５２を介して接続している。
分岐弁５１は測定ラインにおいて逆止弁２７の前段に設
けられ、分析ラック５０へサンプリングガスの一部を導
入する。分岐弁５２は測定ラインにおいて逆止弁２７の
後段に設けられ、分析ラック５０のサンプリングガスを
測定ラインへ戻す。

【００３１】図３は、分析ラック５０の構成例を示して
いる。分析ラック５０は、ラック内に備えた真空容器５
３がバリャブルリーク弁５４を介して分岐弁５１に接続
されている。バリャブルリーク弁５４の開度を、計算機
４０からの指令で動作するバリャブルリーク弁コントロ
ーラ５５が制御する。真空容器５３の内部圧力は圧力計
５６で測定してバリャブルリーク弁５４へ与えている。
一方、真空容器５３の内部に連通する排気管に、真空用
雰囲気を破壊することなくガス抜きをするためターボ分
子ポンプ５７、ロータリポンプ５８を連設している。真
空容器５３に引き込まれたサンプリングガスの質量分析
を実施する質量分析器ヘッド５９が分析ラック５０に設
けられている。質量分析器ヘッド５９は、計算機４０か
らの指令で動作するコントローラ６０により制御され
る。符号１６は真空容器５３の温度を検出する温度計で
ある。

【００３２】以上のように構成された本実施形態の動作
について説明する。分析ラック５０で微量ガス分析を行
う場合、計算機４０からの指令により測定ライン上にあ
る分岐弁５１，５２を開き、コントローラ５５がバリャ
アブルリーク弁５４を開いて測定ラインからバリャアブ
ルリーク弁５４を介して真空容器５３内に測定ガスを導
入する。また、真空容器５３の測定ガスがターボ分子真
空ポンプ５７、ロータリーポンプ５８により真空容器５
３から抜き取られ、分岐弁５２を通って測定ラインに返
される。

【００３３】このとき、バリャアブルリーク弁５４を介
して真空容器５３内へ導入する測定ガスの量は極めて少
なくてすむので、測定ラインのガス流量にはほとんど影
響を与えない。

【００３４】真空容器５３へ導入された測定ガスは質量
分析ヘッド５９で質量分析され、測定ガスに含まれてい
る各ガスの分圧比が正確に求められる。この測定データ
はコントローラ６０から信号線を介してＣＡＭＳ盤２１
へ伝送されインターフェース４１を介して計算機４０に
取り込まれる。

【００３５】計算機４０は、分析ラック５０からの微量
ガス分析と同時にサンプリングラック２０で実施されて
いる水素・酸素濃度測定の測定データが入力されてい
る。質量分析ヘッド５９のフィラメントが劣化すると測
定ガスのイオン化量が変化するため質量分析ヘッド５９
から受信する測定値はその絶対値について補正が必要で
ある。計算機４０では、イオン化量が変化しても測定ガ
スの組成比は同じであることに着目して、質量分析ヘッ
ド５９から受信した測定ガスに含まれている各ガスの分
圧比と、同時期に酸素検出器２５、水素検出器２６から
受信した水素・酸素の分圧比とを基にして測定ガスに含
まれている各ガスの絶対値を求める演算を実行する。こ
の演算の結果、測定ガスに含まれている各ガスが定量測
定されたことになる。

【００３６】また、計算機４０において、質量分析ヘッ
ド５９から受信した水素・酸素の分圧比と、サンプリン
グラック２０から受信した水素・酸素の分圧比とを比較
することにより、測定系の健全性を診断する。両者が正
常であれば、２つの分圧比は一致することになる。両者
の値が所定範囲を越えて相違していれば、いずれかに異
常が発生していると判断して、弁切替えなどの操作を実
行し、異常部分を切り離す。例えば、分岐弁５１，５２
を計算機４０からの指令で閉じてガス経路を分離する。

【００３７】なお、定量的に微量ガスを測定する場合、
ガス流量の安定度が測定精度に影響する。本実施形態
は、計算機４０においてガス流量の変動に応じた補正演
算を加えることによりガス流量の変化による測定誤差を
除去している。

【００３８】バリャブルリーク弁５４の開度は、通常は
質量分析ヘッド５９のフィラメントの劣化を抑制するた
め比較的小さく設定されるが、微量ガス分析の時は開度
を大きく取って感度を向上させることも可能である。

【００３９】このように本実施形態によれば、サンプリ
ングラック２０に形成されている測定ラインに微量ガス
分析機能を備えた分析ラック５０を常に接続するように
したので、微量ガス分析の定量的測定が常に可能とな
る。

【００４０】本実施形態によれば、計算機４０において
測定ガスの分圧比測定データを定量値に補正するように
したので、微量ガスの定量分析に必要なガス流量安定化
機構が不要となり、装置の簡素化及びコストダウンを図
ることができる。

【００４１】本実施形態によれば、微量ガス分析結果か
ら、水素・酸素の分圧比が求められるので、ＣＡＭＳの
測定系の健全性を診断することができる。本発明は上記
実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸
脱しない範囲内で種々変形実施可能である。例えば、第
１実施形態に第２実施形態の分析ラック５０を取り付け
てＣＡＭＳを構成することができる。

【００４２】

【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、低
濃度から高濃度までの広い範囲に亙る標準ガスを使って
の感度校正を可能にし、原子炉格納容器内雰囲気の監視
能力を改善することのできる格納容器内雰囲気監視装置
を提供できる。

【００４３】また、本発明によれば、常時微量ガス分析
を可能にすることにより、原子炉格納容器内雰囲気の監
視能力を改善することのできる格納容器内雰囲気監視装
置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態に係るＣＡＭＳの構成図
である。

【図２】本発明の第２実施形態に係るＣＡＭＳの構成図
である。

【図３】第２実施形態のＣＡＭＳに備えた分析ラックの
構成図である。

【図４】従来のＣＡＭＳの構成図である。

【符号の説明】

１…原子炉格納容器、２０…サンプリングラック、２１
…ＣＡＭＳ盤、２２…除湿器、２３…ライン弁、２４…
吸引ポンプ、２５…酸素検出器、２６…水素検出器、２
７…逆止弁、２８…バイパス用ライン弁、２９…排気ポ
ンプ、３１…ドレン測定器、３２…レベル計、３３…ド
レン弁、３４…校正ガスボンベ、３５…校正用弁、３６
…バイパス路、３７…タンク設備、３８，３９…バイパ
ス弁、４０…計算機、５０…分析ラック、５１，５２…
分岐弁、５３…真空容器、５４…バリャブルリーク弁、
５５…バリャブルリーク弁コントローラ、５９…質量分
析器ヘッド。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 遠藤 順政 東京都府中市東芝町１番地 株式会社東芝 府中工場内 (72)発明者 鈴木 茂 東京都府中市東芝町１番地 株式会社東芝 府中工場内

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 監視対象容器から取り出された測定ガス
   を測定ラインに導入し、該測定ラインに設けた水素検出
   器で測定ガス中の水素濃度を検出し、その検出結果に基
   づいて測定ガス中の水素濃度を監視し、測定終了後の測
   定ガスを前記監視対象容器内へ放出するガス成分監視装
   置において、 水素ガスを吸着する機能を備えた水素吸蔵タンクに前記
   測定ラインを流れる測定ガスがバイパスされるように前
   記水素吸蔵タンクを前記測定ラインにバイパス弁を介し
   て並列に接続し、前記測定ラインに標準ガスを導入して
   前記水素検出器の校正試験を行うときは前記測定ライン
   を流れる測定ガスが前記水素吸蔵タンクを通過するよう
   にしたことを特徴とするガス成分監視装置。
2. 【請求項２】 監視対象容器から取り出された測定ガス
   を測定ラインに導入し、該測定ラインに設けた酸素検出
   器で測定ガス中の酸素濃度を検出し、その検出結果に基
   づいて測定ガス中の酸素濃度を監視し、測定終了後の測
   定ガスを前記監視対象容器内へ放出するガス成分監視装
   置において、 酸素ガスと化合する化合材が充填された酸素化合材タン
   クに前記測定ラインを流れる測定ガスがバイパスされる
   ように前記酸素化合材タンクを前記測定ラインにバイパ
   ス弁を介して並列に接続し、前記測定ラインに標準ガス
   を導入して前記酸素検出器の校正試験を行うときは前記
   測定ラインを流れる測定ガスが前記酸素化合材タンクを
   通過するようにしたことを特徴とするガス成分監視装
   置。
3. 【請求項３】 監視対象容器から取り出された測定ガス
   を測定ラインに導入し、該測定ラインに設けた酸素検出
   器及び水素検出器で測定ガス中の酸素濃度及び水素濃度
   を検出し、その検出結果に基づいて測定ガス中の酸素濃
   度及び水素濃度を監視し、測定終了後の測定ガスを前記
   監視対象容器内へ放出するガス成分監視装置において、 質量分析によりガス成分のガス分圧比を求めることので
   きる微量ガス分析機能を備えた分析ラックに前記測定ラ
   インを流れる測定ガスの一部が流れ込むように前記分析
   ラックを前記測定ラインに分岐弁を介して接続し、前記
   分析ラックで求めた測定ガスのガス分圧比と前記酸素検
   出器及び前記水素検出器の検出結果とを計算機に入力し
   て定量的な微量ガス分析を行うことを特徴とするガス成
   分監視装置。
4. 【請求項４】 前記分岐弁から前記分析ラックに前記測
   定ガスの一部を導くためのガス通路上に計算機から開度
   を調節可能なバリァブルリーク弁を設けたことを特徴と
   する請求項３記載のガス成分監視装置。
5. 【請求項５】 前記計算機は、前記酸素検出器及び前記
   水素検出器の検出結果から求められる水素と酸素の濃度
   比と、前記分析ラックで求めた測定ガスのガス分圧比に
   基づく水素と酸素の濃度比とを比較して健全性を診断す
   る機能を備えたことを特徴とする請求項３または請求項
   ４記載のガス成分監視装置。