JPH0921981A

JPH0921981A - 平行光調整装置

Info

Publication number: JPH0921981A
Application number: JP7169932A
Authority: JP
Inventors: Junichi Kitabayashi; 淳一北林
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1995-07-05
Filing date: 1995-07-05
Publication date: 1997-01-21

Abstract

(57)【要約】【課題】構成が簡便で測定精度が高く非点収差の少ない
コリメート光の調整がしやすい平行光調整装置を実現す
る。【解決手段】本発明の平行光調整装置は、ビーム整形機
能を持った光学系ａから平面ミラー１０により取り出し
た可干渉な光束を２方向へ分離するビームスプリッタ１
１と、分離した一方の光束を元来た方向へ反射する平面
ミラー１２あるいはコーナキューブプリズム１５と、他
方の光束の上下を反転させて元来た方向へ反射する屋根
型プリズム１３と、前記ビームスプリッタ１１により再
び重なりあった２つの光束の干渉縞を観察するモニター
１４とを備えたことを特徴としており、モニター１４を
観察しながら干渉縞が無くなるように半導体レーザ１と
コリメータレンズ２の間隔調整を行なうことにより光束
の非点収差を無くすことができ、短時間にコリメート光
の調整ができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスクドライ
ブにおける光ピックアップや、レーザプリンタ、デジタ
ル複写機、干渉計等の、レーザコリメート光を用いる全
ての機器のコリメート光の調整に応用される平行光調整
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】光ピックアップ等におけるコリメート光
の調整方法としては、従来から様々な方法が提案されて
いる。例えば、ディスク反射光束の平行度を干渉縞により検出し、光
学系のフォーカス調整を行なう方法（特公昭５５−１５
６８５号公報）、電歪素子を用いてナイフエッヂを高速振動させ、その
移動量を非接触変位計で計測してスポット径を測定する
方法（特開昭５７−１７９６２９号公報）、２枚のナイフエッヂを用い、それぞれの位置でのスポ
ットサイズが等しくなるよう、すなわち、光束の集光点
が２枚の中間位置となるようにコリメート光を調整する
方法、上記の構成で２枚のナイフエッヂを直交させて、光
束の集光点前後の直交する方向のスポットサイズが等し
くなるよう、すなわち、非点収差のないようにコリメー
ト光を調整する方法、等がある。

【０００３】しかし、の方法では、ディスク反射光は
グルーブパターンにより干渉縞が不明瞭となる欠点があ
り、さらに、干渉縞の状態を判断して回転するディスク
に対物レンズを追従させるのは現実的に不可能である。
また、，のナイフエッヂを用いる方法では、集光レ
ンズの位置調整や収差によりコリメート光の平行性が狂
うという欠点があり、ビームの光量分布により誤差がで
る。また、の方法では、半導体レーザ（ＬＤ）などに
よる楕円ビームには使えないという欠点があり、また、
ビーム整形をしても通常の設計では完全な円形ビームと
はしないので、その分の誤差を発生する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】前述したように、光ピ
ックアップにおけるコリメート光の調整は、従来から様
々な方式が提案されており、近年、装置の小型化、高速
化に伴いコリメータレンズの焦点距離が短くなり、本調
整の重要性が注目されるようになった。光ピックアップ
におけるコリメート光の調整において重要なことは、コ
リメート波面をフラットにすることよりも、対物レンズ
に入射する直前の波面が非点収差を持たないように調整
することである。何故なら、多少の均等な曲率をもった
球面波は対物レンズの光軸方向（フォーカス方向）の動
きによりキャンセルされるが、非点収差はそのまま集光
スポットに悪影響を与え、信号特性が劣化するからであ
る。

【０００５】半導体レーザ（ＬＤ）からの光束の強度分
布（ビーム形状）は一般的に楕円形状となるが、光ピッ
クアップにおいて、対物レンズを用いてこの楕円形状の
ビームをディスク面に集光すると、集光スポットも楕円
となってしまい読み取り、書き込み性能が劣化する。こ
のために通常はビーム整形が行なわれるが、以下の欠点
があった。コリメータレンズにより、光束をけってビー
ム形状を円形にする方法があるが、この方法では光量損
失が大きい。また、プリズムやシリンダレンズにより、
一方向の形状を拡大して円形にする方法は、光量損失は
少ないが、コリメート光の平行性が僅かでもずれるとプ
リズムやシリンダレンズにより非点収差を発生してしま
う。

【０００６】従来、非点収差の測定方法としては、対物
レンズで集光したスポットの前後を顕微鏡で観察する
か、従来例ののようにダブルナイフエッヂで光束の集
光点の直交する２方向の径を測定するかであった。しか
し、顕微鏡で観察する手段では光軸方向の移動やスポッ
トを探すのに時間がかかり、実用的ではない。また、ダ
ブルナイフエッヂ法は原理的にＬＤなどによる楕円ビー
ムには使えない。すなわち、ビーム整形をした時にも、
直交する２方向の光量分布に違いがあると測定誤差とな
る。また、対物レンズと開口数（ＮＡ）の違う長焦点の
集光レンズを使わざるをえないので、集光レンズの収差
がのりやすく、異なる集光状態での調整となってしま
う。

【０００７】本発明は上記事情に鑑みなされたものであ
って、その第一の目的は、以上の欠点を克服し、構成が
簡便で測定精度が高く、非点収差の少ないコリメート光
の調整がしやすい平行光調整装置を提供することであ
る。本発明の第二の目的は、上記の装置を応用し、コリ
メート光の平行性を簡便に測定することのできる平行光
調整装置を提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の請求項１記載の平行光調整装置は、ビーム
整形機能を持った光学系（ａ）から到来する可干渉な光
束を２方向へ分離するビームスプリッタ（１１）と、分
離した一方の光束を元来た方向へ反射する平面ミラー
（１２）と、他方の光束の上下を反転させて元来た方向
へ反射する屋根型プリズム（１３）と、前記ビームスプ
リッタ（１１）により再び重なりあった２つの光束の干
渉縞を観察するモニター（１４）とを備えたことを特徴
としている（図１）。

【０００９】請求項２記載の平行光調整装置は、請求項
１記載の平行光調整装置において、平面ミラー（１２）
の代わりにコーナキューブプリズム（１５）を用いたこ
とを特徴としている。

【００１０】請求項３記載の平行光調整装置は、請求項
１記載の平行光調整装置において、λ／４板を平面ミラ
ー（１２）か屋根型プリズム（１３）の手前位置に配置
したことを特徴としている。

【００１１】請求項４記載の平行光調整装置は、ビーム
整形機能を持った光学系（ａ）から到来する可干渉な光
束を２方向へ分離する第一のビームスプリッタ（２１）
と、分離した一方の光束の上下を反転させる像回転プリ
ズム（２３）と、その反転された光束と他方の光束を再
び重なりあわせる第二のビームスプリッタ（２５）と、
該第二のビームスプリッタ（２５）により再び重なりあ
った２つの光束の干渉縞を観察するモニター（１４）と
を備えたことを特徴としている（図２）。

【００１２】請求項５記載の平行光調整装置は、請求項
４記載の平行光調整装置において、第一のビームスプリ
ッタ（２１）により２方向へ分離された光束の何れか片
方の光路中にλ／２板を配置したことを特徴としてい
る。

【００１３】請求項６記載の平行光調整装置は、請求項
１から５記載の平行光調整装置の何れかにおいて、ビー
ム整形機能を持たない光学系（ａ’）から到来する光束
の入射側に、少なくとも１方向のビーム径を拡大または
縮小するビーム整形光学系（１１’）を備えたことを特
徴としている（図３）。

【００１４】

【発明の実施の形態】請求項１記載の平行光調整装置
は、図１に示すように、ビーム整形機能を持った光学系
ａから到来する可干渉な光束をビームスプリッタ１１で
２方向に分離し、分離した一方の光束を平面ミラー１２
で元来た方向へ反射し、他方の光束を屋根型プリズム１
３で上下を反転させて元来た方向へ反射し、ビームスプ
リッタ１１により２つの光束を再び重ねあわせてモニタ
ー１４でその干渉縞を観察する構成であり、集光レンズ
を使わずに干渉縞だけによる測定法なので、被検ビーム
の強度分布や形状によらず高精度かつ簡便な装置構成で
短時間にコリメート光の調整が可能となる。

【００１５】請求項２記載の平行光調整装置では、上記
平面ミラー１２の代わりにコーナキューブプリズム１５
を用いることにより、干渉縞はプリズムの設置回転角度
に依存しなくなるので、安定した測定が可能となる。

【００１６】請求項３記載の平行光調整装置では、λ／
４板を上記平面ミラー１２か屋根型プリズム１３の手前
位置に配置することにより、被検ビームが直線偏光の場
合でも、モニター１４上で２つの光束の偏光方向を揃え
ることができるので、さらに安定した測定が可能とな
る。

【００１７】請求項４記載の平行光調整装置では、図２
に示すように、ビーム整形機能を持った光学系ａから到
来する可干渉な光束を第一のビームスプリッタ２１で２
方向へ分離し、分離した一方の光束の上下を像回転プリ
ズム２３で反転させ、その反転された光束と他方の光束
を第二のビームスプリッタ２５で再び重なりあわせてモ
ニター１４で２つの光束の干渉縞を観察する構成とした
ことにより、回転させる光束に、屋根型プリズムやコー
ナキューブプリズムを用いたときのような稜線の影響が
現れず、綺麗な干渉縞を観測することが可能となる。

【００１８】請求項５記載の平行光調整装置では、上記
第一のビームスプリッタ２１により２方向へ分離された
光束の何れか片方の光路中にλ／２板を配置することに
より、被検ビームが直線偏光の場合でも、モニター１４
上で２つの光束の偏光方向を揃えることができるので、
さらに安定した測定が可能となる。

【００１９】請求項６記載の平行光調整装置では、図３
に示すように、ビーム整形機能を持たない光学系ａ’か
ら到来する光束の入射側に、少なくとも１方向のビーム
径を拡大または縮小するビーム整形光学系１１’を備え
たことにより、ビーム整形機能を持たない光学系の平行
光を調整することが可能となる。

【００２０】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細
に説明する。図１に本発明の第一の実施例を示す。図１
（Ａ）において、ａはコリメート調整の対象となる光ピ
ックアップ装置であり、この光ピックアップ装置は、半
導体レーザ（ＬＤ）１、コリメータレンズ２、ビームス
プリッタ３、ビーム整形プリズム３’、対物レンズ４、
対物レンズアクチュエータ５、集光レンズ７、シリンダ
レンズ８、４分割受光素子９を備えた構成となってお
り、半導体レーザ（ＬＤ）１からの出射光束はコリメー
タレンズ２によって平行光となり、ビーム整形プリズム
３’によりビーム形状を楕円から円形に近い形状（図１
（Ｂ））に整形されてビームスプリッタ３に入射され、
ビームスプリッタ３により対物レンズ４に向けて反射さ
れ、対物レンズ４により情報記録媒体である光ディスク
６にスポット状に集光される。そして、光ディスク６か
らの戻り光は対物レンズ４により再び平行光とされ、ビ
ームスプリッタ３を透過し、集光レンズ７により集光光
となり、シリンダレンズ８を介して４分割受光素子９の
受光面上に集光される。

【００２１】図１（Ａ）において、ｂは本発明による平
行光（コリメート光）調整装置であり、この平行光調整
装置ｂは、ビーム整形機能を持った光ピックアップ光学
系ａから到来する可干渉な光束を２方向へ分離するビー
ムスプリッタ１１と、分離した一方の光束を元来た方向
へ反射する平面ミラー１２と、他方の光束の上下を反転
させて元来た方向へ反射する屋根型プリズム１３と、前
記ビームスプリッタ１１により再び重なりあった２つの
光束の干渉縞を観察するモニター１４とを備えた構成と
なっている。

【００２２】いま、光ピックアップａの半導体レーザ１
とコリメータレンズ２の間隔を変えてコリメート光の調
整を行なうとする。この時、ビームスプリッタ３と対物
レンズ４との間の光路中に平面ミラー１０を挿入し、対
物レンズ４に入射する前の光束を平面ミラー１０でコリ
メート光調整装置ｂの方へ反射させる。この時のＢ点の
ビーム形状はビーム整形プリズム３’により図１（Ｂ）
のように円形に近い形状に整形されている。尚、コリメ
ート光調整装置ｂは実際には平面ミラー１０からの反射
光の光軸を中心に、矢印方向に４５度回転して配置され
ている。

【００２３】さて、平面ミラー１０からの反射光はコリ
メート光調整装置ｂのビームスプリッタ１１で２方向に
分割され、一方の光束は平面ミラー１２により元来た方
向に反射され、他方の光束は屋根型プリズム１３により
上下を反転させて元来た方向に反射され、ビームスプリ
ッタ１１を介してモニター１４面上で図１（Ｃ）のよう
に重ねあわされる。

【００２４】いま、コリメート光の平行度がずれるとビ
ーム整形プリズム３’により、Ｙ，Ｚ方向に非点収差を
発生する。すなわち波面の曲率がＹ，Ｚ方向で異なる。
この時、モニター１４面上には図１（Ｄ）のような干渉
縞が発生する。従って、モニター１４を観察しながら干
渉縞が無くなるように半導体レーザ１とコリメータレン
ズ２の間隔調整を行なうことにより、光束の非点収差を
無くすことができる。尚、波面の非点収差は、前述のコ
リメート光の非平行性だけでなく、半導体レーザ自身や
光学部品の面精度劣化などでも発生する。このような時
にも本方式は対物レンズ４に入射する光束が最小の非点
収差となるように調整することができる。

【００２５】次に、図１（Ａ）に示すコリメート光調整
装置ｂおいては、平面ミラー１２の代わりにコーナキュ
ーブプリズム１５を用いることができる。すなわち、平
面ミラー１２の代わりにコーナキューブプリズム１５を
用いると、反射ビーム角度はプリズムの設置回転精度に
依存しないので、安定した干渉縞を観察できるという利
点がある。

【００２６】また、図１（Ａ）に示すコリメート光調整
装置ｂおいて、λ／４板を平面ミラー１２か屋根型プリ
ズム１３の手前位置に配置してもよい。すなわち、λ／
４板を平面ミラー１２か屋根型プリズム１３の何れかの
手前に配置すれば、被検ビームが直線偏光の場合でも、
ビームスプリッタ１１で分割された２光束のうち、一方
の光束はλ／４板を２回通過して（偏光方向が９０度回
転して）モニター１４上で他方の光束と重ねられること
になり、２光束の偏光方向を揃えることができるので、
さらに安定した干渉縞を観察することができる。

【００２７】次に、図２に本発明の第二の実施例を示
す。図２（Ａ）は、図１（Ａ）に示した光ピックアップ
光学系ａのコリメート調整を行なうコリメート光調整装
置ｂのみを示しており、このコリメート光調整装置ｂ
は、ビーム整形機能を持った光学系ａから到来する可干
渉な光束を２方向へ分離する第一のビームスプリッタ２
１と、分離した一方の光束の上下を反転させる像回転プ
リズム２３と、その反転された光束と他方の光束を再び
重なりあわせる第二のビームスプリッタ２５と、該第二
のビームスプリッタ２５により再び重なりあった２つの
光束の干渉縞を観察するモニター１４とを備えた構成と
なっている。

【００２８】このコリメート光調整装置ｂでは、像回転
プリズム２３を図中の矢印方向へ回転させることによ
り、第二のビームスプリッタ２５で再び重なりあわせて
モニター１４で観察される２光束の重なり角度を変化さ
せることができる。すなわち、ａの光学系から入射され
る光束のビーム形状を図２（Ｂ）とすると、像回転プリ
ズム２３を矢印方向へ回転させることにより、図２
（Ａ）のＣ点でのビーム形状を図２（Ｃ）のように回転
することができる。これにより、回転させる光束に、図
１のような屋根型プリズムやコーナキューブプリズムを
用いたときのような稜線の影響が現れず、綺麗な干渉縞
を観測することが可能となる。

【００２９】尚、図２（Ａ）に示すコリメート光調整装
置ｂにおいて、第一のビームスプリッタ２１により２方
向へ分離された光束の何れか片方の光路中にλ／２板を
配置してもよい。すなわち、第一のビームスプリッタ２
１により２方向へ分離された光束の何れか片方の光路中
にλ／２板を配置することにより、被検ビームが直線偏
光の場合でも、モニター１４上で２つの光束の偏光方向
を揃えることができるので、さらに安定した干渉縞を観
測することが可能となる。

【００３０】次に、図３に本発明の第三の実施例を示
す。図３（Ａ）において、ａ’はコリメート調整の対象
となる光ピックアップ装置であるが、この光ピックアッ
プ装置は図１（Ａ）に示した光ピックアップ装置のビー
ム整形プリズム３’が無い場合の例であり、その他の構
成は同じである。図３（Ａ）に示すコリメート光調整装
置ｂは、ビーム整形機能を持たない光ピックアップ光学
系ａ’から到来する光束の入射側に、少なくとも１方向
のビーム径を拡大または縮小するビーム整形プリズム１
１’を設けたものであり、その他の構成は図１（Ａ）と
同様である。この構成の場合、図３（Ａ）のＢ点でのビ
ーム形状が図３（Ｂ）の場合、コリメート光調整装置ｂ
側のビーム整形プリズム３’によりビーム形状が円形に
近い形状に整形されるため、Ｃ点でのビーム形状は図３
（Ｃ）のようになる。

【００３１】図３（Ａ）に示すコリメート光調整装置ｂ
は、ビーム整形プリズム１１’による非平行光の非点収
差発生作用を利用したものであり、この装置の目的は前
述のものとは異なり、コリメート光の平行性を検出する
ことである。すなわち、被検ピックアップａ’からの光
束は、コリメート光調整装置ｂのビーム整形プリズム１
１’により非平行の時には非点収差を発生するので、図
１（Ｄ）と同様な干渉縞が観察される。

【００３２】尚、ビーム整形手段としては、ビーム整形
プリズムの他に、シリンダレンズなどでもよい。また、
図３（Ａ）のコリメート光調整装置ｂで、平面ミラー１
２の代わりにコーナキューブプリズム１５を用いること
ができ、また、λ／４板を平面ミラー１２か屋根型プリ
ズム１３の手前位置に配置してもよく、これらの作用は
第一の実施例での説明と同様である。

【００３３】さらに、図３（Ａ）のコリメート光調整装
置の代わりに、図２（Ａ）に示したコリメート光調整装
置の第一のビームスプリッタ２１にビーム整形光学系を
設けた構成でもよく、この場合には、第二の実施例と同
様にビームを回転することができ、また、第一のビーム
スプリッタ２１により２方向へ分離された光束の何れか
片方の光路中にλ／２板を配置してもよく、これらの作
用は第二の実施例での説明と同様である。

【００３４】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１記載の平
行光調整装置は、ビーム整形機能を持った光学系から到
来する可干渉な光束をビームスプリッタで２方向に分離
し、分離した一方の光束を平面ミラーで元来た方向へ反
射し、他方の光束を屋根型プリズムで上下を反転させて
元来た方向へ反射し、ビームスプリッタにより２つの光
束を再び重ねあわせてモニターでその干渉縞を観察する
構成であり、集光レンズを使わずに干渉縞だけによる測
定法なので、被検ビームの強度分布や形状によらず高精
度かつ簡便な装置構成で短時間にコリメート光の調整が
できる。この時のコリメート光は、非点収差が最小にな
るように調整されるので、光ピックアップの調整に最適
である。

【００３５】請求項２記載の平行光調整装置では、上記
平面ミラーの代わりにコーナキューブプリズムを用いた
ことにより、干渉縞はプリズムの設置回転角度に依存し
なくなるので、安定した測定ができ、コリメート光の調
整を容易に行なうことができる。

【００３６】請求項３記載の平行光調整装置では、λ／
４板を平面ミラーか屋根型プリズムの手前位置に配置し
たことにより、被検ビームが直線偏光の場合でも、モニ
ター上で２つの光束の偏光方向を揃えることができるの
で、さらに安定した干渉縞の観察ができ、コリメート光
の調整を容易に行なうことができる。

【００３７】請求項４記載の平行光調整装置では、ビー
ム整形機能を持った光学系から到来する可干渉な光束を
第一のビームスプリッタで２方向へ分離し、分離した一
方の光束の上下を像回転プリズムで反転させ、その反転
された光束と他方の光束を第二のビームスプリッタで再
び重なりあわせてモニターで２つの光束の干渉縞を観察
する構成としたことにより、回転させる光束に、屋根型
プリズムやコーナキューブプリズムを用いたときのよう
な稜線の影響が現れず、綺麗な干渉縞を観測することが
でき、コリメート光の調整を容易に行なうことができ
る。

【００３８】請求項５記載の平行光調整装置では、第一
のビームスプリッタにより２方向へ分離された光束の何
れか片方の光路中にλ／２板を配置したことにより、被
検ビームが直線偏光の場合でも、モニター上で２つの光
束の偏光方向を揃えることができるので、さらに安定し
た干渉縞の観察ができ、コリメート光の調整を容易に行
なうことができる。

【００３９】請求項６記載の平行光調整装置では、請求
項１から５記載の平行光調整装置の何れかにおいて、ビ
ーム整形機能を持たない光学系から到来する光束の入射
側に、少なくとも１方向のビーム径を拡大または縮小す
るビーム整形光学系を備えたことにより、ビーム整形機
能を持たない光学系の平行光を調整することができる。
この時のコリメート光は、波面が平面になるように調整
され、オートコリメータなどで行なう従来の平行光調整
よりも、より高精度となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一の実施例の説明図であって、
（Ａ）は被検光学系である光ピックアップ装置と平行光
調整装置の概略構成を示す図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ点に
おけるビーム形状の例を示す図、（Ｃ）は（Ａ）のＣ点
におけるビーム形状の例を示す図、（Ｄ）はモニター面
上で観察される干渉縞の例を示す図である。

【図２】本発明の第二の実施例の説明図であって、
（Ａ）は平行光調整装置の概略構成を示す図、（Ｂ）は
（Ａ）のＢ点におけるビーム形状の例を示す図、（Ｃ）
は（Ａ）のＣ点におけるビーム形状の例を示す図であ
る。

【図３】本発明の第三の実施例の説明図であって、
（Ａ）は被検光学系である光ピックアップ装置と平行光
調整装置の概略構成を示す図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ点に
おけるビーム形状の例を示す図、（Ｃ）は（Ａ）のＣ点
におけるビーム形状の例を示す図である。

【符号の説明】

１：半導体レーザ（ＬＤ）２：コリメータレンズ３：ビームスプリッタ３’ ：ビーム整形プリズム４：対物レンズ５：対物レンズアクチュエータ６：光ディスク７：集光レンズ８：シリンダレンズ９：４分割受光素子１０：平面ミラー１１：ビームスプリッタ１１’：ビーム整形プリズム１２：平面ミラー１３：屋根型プリズム１４：モニター１５：コーナキューブプリズム２１：第一のビームスプリッタ２２：ミラー２３：像回転プリズム２４：ミラー２５：第二のビームスプリッタ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ビーム整形機能を持った光学系から到来す
る可干渉な光束を２方向へ分離するビームスプリッタ
と、分離した一方の光束を元来た方向へ反射する平面ミ
ラーと、他方の光束の上下を反転させて元来た方向へ反
射する屋根型プリズムと、前記ビームスプリッタにより
再び重なりあった２つの光束の干渉縞を観察するモニタ
ーとを備えたことを特徴とする平行光調整装置。
【請求項２】請求項１記載の平行光調整装置において、
平面ミラーの代わりにコーナキューブプリズムを用いた
ことを特徴とする平行光調整装置。
【請求項３】請求項１記載の平行光調整装置において、
λ／４板を平面ミラーか屋根型プリズムの手前位置に配
置したことを特徴とする平行光調整装置。
【請求項４】ビーム整形機能を持った光学系から到来す
る可干渉な光束を２方向へ分離する第一のビームスプリ
ッタと、分離した一方の光束の上下を反転させる像回転
プリズムと、その反転された光束と他方の光束を再び重
なりあわせる第二のビームスプリッタと、該第二のビー
ムスプリッタにより再び重なりあった２つの光束の干渉
縞を観察するモニターとを備えたことを特徴とする平行
光調整装置。
【請求項５】請求項４記載の平行光調整装置において、
第一のビームスプリッタにより２方向へ分離された光束
の何れか片方の光路中にλ／２板を配置したことを特徴
とする平行光調整装置。
【請求項６】請求項１から５記載の平行光調整装置の何
れかにおいて、ビーム整形機能を持たない光学系から到
来する光束の入射側に、少なくとも１方向のビーム径を
拡大または縮小するビーム整形光学系を備えたことを特
徴とする平行光調整装置。