JPH09225816A - 研磨用薄板 - Google Patents
研磨用薄板Info
- Publication number
- JPH09225816A JPH09225816A JP3638696A JP3638696A JPH09225816A JP H09225816 A JPH09225816 A JP H09225816A JP 3638696 A JP3638696 A JP 3638696A JP 3638696 A JP3638696 A JP 3638696A JP H09225816 A JPH09225816 A JP H09225816A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin plate
- polishing
- polishing thin
- fiber
- reinforced plastics
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims abstract description 28
- 229920002430 Fibre-reinforced plastic Polymers 0.000 claims abstract description 9
- 239000011151 fibre-reinforced plastic Substances 0.000 claims abstract description 9
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 claims 1
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 4
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 4
- 229920000297 Rayon Polymers 0.000 description 3
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 2
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 239000012783 reinforcing fiber Substances 0.000 description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920001431 Long-fiber-reinforced thermoplastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 229920006231 aramid fiber Polymers 0.000 description 1
- 239000004918 carbon fiber reinforced polymer Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 125000000816 ethylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- -1 polyfluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 239000002964 rayon Substances 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920006305 unsaturated polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920001567 vinyl ester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000002759 woven fabric Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来、繊維強化プラスチックス製研磨用薄板
で問題となっていた耐久性の低さを改善した研磨用薄板
を提供する。 【解決手段】 疑似等方に積層した繊維強化プラスチッ
クス層からなる研磨用薄板である。
で問題となっていた耐久性の低さを改善した研磨用薄板
を提供する。 【解決手段】 疑似等方に積層した繊維強化プラスチッ
クス層からなる研磨用薄板である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、シリコンウエハを
研磨する際に使用する、耐久性が良好で、高剛性な研磨
用薄板に関し、さらに詳しくは、駆動用歯車の剛性斑を
少なくした研磨用薄板に関する。
研磨する際に使用する、耐久性が良好で、高剛性な研磨
用薄板に関し、さらに詳しくは、駆動用歯車の剛性斑を
少なくした研磨用薄板に関する。
【０００２】
【従来の技術】シリコンウエハ製造の研磨工程において
は、未研磨のシリコンウェハを研磨用薄板と呼ばれる外
周を歯車状に加工した金属薄板や繊維強化プラスチック
製薄板に固定し、回転する研磨材上で前記歯車を金属歯
車で駆動し回転することにより研磨を行っている。
は、未研磨のシリコンウェハを研磨用薄板と呼ばれる外
周を歯車状に加工した金属薄板や繊維強化プラスチック
製薄板に固定し、回転する研磨材上で前記歯車を金属歯
車で駆動し回転することにより研磨を行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、研磨用
薄板が金属製薄板の場合は、研磨加工中に生じる研磨粉
に錆の発生があるために、製品表面を汚したり、製品の
精度を損なう等の問題点があるし、また、研磨用薄板が
繊維強化プラスチック製薄板の場合であっても短繊維強
化の場合は全体の剛性が低いし、剛性を高めるため長繊
維強化プラスチックスとした場合でも、駆動用歯車の歯
の１つ１つで繊維の配向角が異なるため、歯の１つ１つ
の剛性が大きく異なり、剛性が低い歯で破損が起こりや
すく頻繁に薄板を交換することが必要となっている。
薄板が金属製薄板の場合は、研磨加工中に生じる研磨粉
に錆の発生があるために、製品表面を汚したり、製品の
精度を損なう等の問題点があるし、また、研磨用薄板が
繊維強化プラスチック製薄板の場合であっても短繊維強
化の場合は全体の剛性が低いし、剛性を高めるため長繊
維強化プラスチックスとした場合でも、駆動用歯車の歯
の１つ１つで繊維の配向角が異なるため、歯の１つ１つ
の剛性が大きく異なり、剛性が低い歯で破損が起こりや
すく頻繁に薄板を交換することが必要となっている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、疑似等
方に積層した繊維強化プラスチックス層からなる研磨用
薄板にある。
方に積層した繊維強化プラスチックス層からなる研磨用
薄板にある。
【０００５】
【発明の実施の形態】本発明の研磨用薄板は、繊維強化
プラスチックスから構成されるが、使用される繊維とし
ては、繊維強化プラスチックスの補強繊維として従来か
ら用いられているものであればよく特に限定しないが、
炭素繊維、ガラス繊維、アラミド繊維等が挙げられる。
前記補強繊維の形態も特に限定しないが、一方向引き揃
え、織布、不織布等が挙げられる。
プラスチックスから構成されるが、使用される繊維とし
ては、繊維強化プラスチックスの補強繊維として従来か
ら用いられているものであればよく特に限定しないが、
炭素繊維、ガラス繊維、アラミド繊維等が挙げられる。
前記補強繊維の形態も特に限定しないが、一方向引き揃
え、織布、不織布等が挙げられる。
【０００６】また、マトリックス樹脂としては、不飽和
ポリエステル、ビニルエステル樹脂、エポキシ樹脂等の
熱硬化性樹脂やポリアミド、アクリル樹脂等の熱可塑性
樹脂が挙げられ，、耐磨耗性を向上させるためには、フ
ッ素樹脂のような摩擦係数が低い成分を混合することが
効果的である。
ポリエステル、ビニルエステル樹脂、エポキシ樹脂等の
熱硬化性樹脂やポリアミド、アクリル樹脂等の熱可塑性
樹脂が挙げられ，、耐磨耗性を向上させるためには、フ
ッ素樹脂のような摩擦係数が低い成分を混合することが
効果的である。
【０００７】本発明の研磨用薄板においては、各層が疑
似等方に積層されていることが必要である。ここで疑似
等方とは、たとえば財団法人東京大学出版界発行「材料
テクノロジー１７複合材料」５１頁に示されるように各
層の繊維が１８０゜／ｎ（ただし、ｎは３以上の整数）
で示される等角に積層することをいう。この構成により
研磨用薄板の周囲に歯切り加工したとき歯の１つ１つの
剛性の差が小さくなり、研磨用薄板の耐久性が向上す
る。研磨用薄板の積層構成を鏡面対称の疑似等方とする
ことで上記の耐久性はさらに向上する。
似等方に積層されていることが必要である。ここで疑似
等方とは、たとえば財団法人東京大学出版界発行「材料
テクノロジー１７複合材料」５１頁に示されるように各
層の繊維が１８０゜／ｎ（ただし、ｎは３以上の整数）
で示される等角に積層することをいう。この構成により
研磨用薄板の周囲に歯切り加工したとき歯の１つ１つの
剛性の差が小さくなり、研磨用薄板の耐久性が向上す
る。研磨用薄板の積層構成を鏡面対称の疑似等方とする
ことで上記の耐久性はさらに向上する。
【０００８】研磨用薄板の外周部への歯切り加工は、打
ち抜き、レーザー光線による熔断等の方法で実施可能で
あるが、ウォータージェットにより歯切り加工すると低
摩擦係数の端面が得られ、シリコンウェハの研磨加工時
のかみ合う金属歯車によりめくれが少なくなり好まし
い。
ち抜き、レーザー光線による熔断等の方法で実施可能で
あるが、ウォータージェットにより歯切り加工すると低
摩擦係数の端面が得られ、シリコンウェハの研磨加工時
のかみ合う金属歯車によりめくれが少なくなり好まし
い。
【０００９】
【実施例】以下実施例により、本発明を更に具体的に説
明する。 （実施例１）平らな鉄板の上にポリフッ化エチレンから
なるフィルムを配置し、その上に弾性率２４ｔｏｎ／ｍ
ｍ2の１０００フィラメント炭素繊維を２２本／インチ
の密度で平織りにした炭素繊維クロスに１３０℃硬化タ
イプのエポキシ樹脂組成物を含浸した炭素繊維クロスプ
リプレグ（三菱レイヨン株式会社製ＴＲ１１２０ ３４
０ＫＭＰ）を４枚を（０゜／９０゜）／（４５゜／１３
５゜）／（１３５゜／４５゜）／（９０゜／０゜）なる
積層構成で積層した。その上にポリフッ化エチレンフィ
ルム、ガラス繊維織布のブリーダークロスをかぶせ、Ｐ
ＥＴフィルムで全体を密封した後、内部を真空に減圧し
た。これをオートクレーブ中に移し、１３０℃、４ｋｇ
／ｃｍ2に１時間加熱加圧して成形した。
明する。 （実施例１）平らな鉄板の上にポリフッ化エチレンから
なるフィルムを配置し、その上に弾性率２４ｔｏｎ／ｍ
ｍ2の１０００フィラメント炭素繊維を２２本／インチ
の密度で平織りにした炭素繊維クロスに１３０℃硬化タ
イプのエポキシ樹脂組成物を含浸した炭素繊維クロスプ
リプレグ（三菱レイヨン株式会社製ＴＲ１１２０ ３４
０ＫＭＰ）を４枚を（０゜／９０゜）／（４５゜／１３
５゜）／（１３５゜／４５゜）／（９０゜／０゜）なる
積層構成で積層した。その上にポリフッ化エチレンフィ
ルム、ガラス繊維織布のブリーダークロスをかぶせ、Ｐ
ＥＴフィルムで全体を密封した後、内部を真空に減圧し
た。これをオートクレーブ中に移し、１３０℃、４ｋｇ
／ｃｍ2に１時間加熱加圧して成形した。
【００１０】得られた炭素繊維強化プラスチック板は、
厚みが０．５７ｍｍであった。これをウォータジェット
で歯切り加工しシリコンウェハの研磨に使用したとこ
ろ、耐久性が約３割向上した。
厚みが０．５７ｍｍであった。これをウォータジェット
で歯切り加工しシリコンウェハの研磨に使用したとこ
ろ、耐久性が約３割向上した。
【００１１】
【発明の効果】本発明の研磨用薄板は、従来、繊維強化
プラスチックス製研磨用薄板で問題となっていた耐久性
の低さを改善した研磨用薄板である。
プラスチックス製研磨用薄板で問題となっていた耐久性
の低さを改善した研磨用薄板である。
フロントページの続き (72)発明者 中川 高彰 東京都中央区京橋二丁目３番19号 三菱レ イヨン株式会社内 (72)発明者 前田 豊 東京都練馬区貫井２丁目７号146号三菱レ イヨン
Claims (3)
- 【請求項１】 疑似等方に積層した繊維強化プラスチッ
クス層からなる研磨用薄板。 - 【請求項２】 研磨用薄板の中立面に対称な積層構成を
有する請求項１記載の研磨用薄板。 - 【請求項３】 歯切り端面加工をウォータージェット加
工により行った請求項１又は２記載の研磨用薄板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3638696A JPH09225816A (ja) | 1996-02-23 | 1996-02-23 | 研磨用薄板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3638696A JPH09225816A (ja) | 1996-02-23 | 1996-02-23 | 研磨用薄板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09225816A true JPH09225816A (ja) | 1997-09-02 |
Family
ID=12468420
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3638696A Pending JPH09225816A (ja) | 1996-02-23 | 1996-02-23 | 研磨用薄板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09225816A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10249719A (ja) * | 1997-03-05 | 1998-09-22 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 繊維強化プラスチック製キャリアプレート |
| US6291373B1 (en) | 1997-10-20 | 2001-09-18 | Shin-Kobe Electric Machinery Co., Ltd. | Polished-piece holder |
-
1996
- 1996-02-23 JP JP3638696A patent/JPH09225816A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10249719A (ja) * | 1997-03-05 | 1998-09-22 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 繊維強化プラスチック製キャリアプレート |
| US6291373B1 (en) | 1997-10-20 | 2001-09-18 | Shin-Kobe Electric Machinery Co., Ltd. | Polished-piece holder |
| US6566286B1 (en) | 1997-10-20 | 2003-05-20 | Shin-Kobe Electric Machinery Co., Ltd. | Polished-piece holder |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6739861B2 (en) | High pressure co-cure of lightweight core composite article utilizing a core having a plurality of protruding pins | |
| KR0139217B1 (ko) | 복합된 합성 물품을 형성하기 위한 반경질의 공구 및 방법 | |
| JP7526026B2 (ja) | 炭素繊維強化プラスチック板、加工品および炭素繊維強化プラスチック板の製造方法 | |
| CA3077669A1 (en) | Manufacturing method for fiber-reinforced plastic composite | |
| JPH09225816A (ja) | 研磨用薄板 | |
| JP2006051813A (ja) | 強化繊維基材、繊維強化プラスチック部材および繊維強化プラスチック部材の製造方法 | |
| US20050227560A1 (en) | Flexible carbon-fiber laminates | |
| JP5045330B2 (ja) | 繊維強化プラスチック構造体の製造方法 | |
| JP2008266373A (ja) | 繊維強化複合材料 | |
| JP3127947B2 (ja) | 複合成形物 | |
| JPH06165842A (ja) | ゴルフクラブヘッド | |
| JPH0618359Y2 (ja) | Ｘ線フイルムカセツテ用表板 | |
| US3663333A (en) | Method of bonding material having a low coefficient of friction to a substrate | |
| JPH0615687A (ja) | 炭素繊維複合成形品の製法 | |
| JP2010099767A (ja) | 被研磨物保持材及び研磨物の製造方法 | |
| JPH05237954A (ja) | 曲面ハニカムパネルの製造方法 | |
| JPH08118381A (ja) | Ｃｆｒｐ成形物の製造方法 | |
| JP2004035604A (ja) | セミ含浸プリプレグ | |
| JPH10156881A (ja) | 炭素繊維複合成形品の製法 | |
| JP2000254859A (ja) | 繊維強化プラスチックス製研磨用薄板 | |
| JP3233971B2 (ja) | 曲面ハニカムパネルの製造方法 | |
| JPH09226011A (ja) | 成形用パッド及びそれを用いた繊維強化樹脂成形物の成形方法 | |
| JPH07227939A (ja) | ハニカムコキュア成形方法 | |
| JP2830232B2 (ja) | 研磨研削材料 | |
| JP3303442B2 (ja) | プリプレグ |