JPH09226112A - インクジェット式記録ヘッド - Google Patents

インクジェット式記録ヘッド

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JPH09226112A
JPH09226112A JP3525196A JP3525196A JPH09226112A JP H09226112 A JPH09226112 A JP H09226112A JP 3525196 A JP3525196 A JP 3525196A JP 3525196 A JP3525196 A JP 3525196A JP H09226112 A JPH09226112 A JP H09226112A
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宣昭 岡沢
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    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14419Manifold

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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 インク吐出の応答性を犠牲にすることなく多
ノズル化を図り、印字速度が飛躍的に向上したインクジ
ェット式記録ヘッドを提供するものである。 【解決手段】 ノズル開口1が複数穿設されたノズル板
2と、その各々に隔壁を隔てて配列された複数の圧力室
4が連通し、各圧力室4の少なくとも一端は隔壁を隔て
て配列されたインク供給部5に連通して各々のインク供
給部5にインクを供給するための共通インク室6を有す
る流路形成板3と、圧電振動子10を接合して各圧力室
4に圧力変化を生じさせる弾性板8をそれぞれ積層して
なるインクジェット式記録ヘッドにおいて、共通インク
室6にインクを供給する経路として、インク供給部5に
対向する位置に弾性板8のインク導入口とインクを供給
するためのインク供給管12とを配置した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクをノズル開
口からインク滴を吐出させて画像や文字を記録媒体に記
録するインクジェット式記録装置に関し、より詳細には
インクジェット式記録ヘッドを多ノズル化したインク流
路構造に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、インクジェット式記録ヘッドは、
特開平7−323543号公報に提案されているよう
に、ノズルを有するノズル板と、圧力室と共通インク室
とインク流路が形成された流路形成板と、弾性板を積層
し、この弾性板を圧電振動子により加圧できるように配
置されている。弾性板には圧電振動子ユニットを内蔵し
たケースが接合されている。このケースにはインク供給
管が備えられている。ケースと弾性板を接合することに
より、ケースに備えられているインク供給管と弾性板に
備えられているインク供給用の穴を当接し共通インク室
(公報ではリザーバ)にインクを供給する。共通インク
室には流路形成板(公報ではスペーサ)の剛性確保のた
め、中央本体部と共通インク室を区画する隔壁とを接続
する接続隔壁を有する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
特開平7−323543号公報のような構造において、
インクジェット記録ヘッドの印字速度を向上させるた
め、ノズルの数を増加させた場合、共通インク室の長さ
がノズルの数だけ増大する。共通インク室の長さが長く
なると、共通インク室内の流路損失が増大する。このた
め、前述の公報のように1本のインク供給管でノズル配
列の一端から他端までインクを供給しようとすると、共
通インク室内に圧力勾配が生じることになる。これが原
因でインク供給管から遠いノズル程インク吐出の応答性
が低下し、高周波数で記録ヘッドを駆動した場合インク
吐出特性が不安定になり、結果として印字速度を低下さ
せざるを得ない。
【0004】共通インク室の幅を広げれば良いのだが、
ヘッドが大型化する。インクジェット式記録ヘッドを多
数個使用してカラーインクジェット式記録ヘッドとする
場合には、記録ヘッドを並べて配置することになり、走
査方向に往復させる距離が長くなり、高速印字の妨げと
なる。また、記録ヘッド間の距離が大きくなりノズル列
間隔が広がるので吐出インクの着弾位置精度が悪くな
り、印字品質が低下する。
【0005】そこで本発明は上述したような問題点を解
決するもので、その目的とするところは、インク吐出の
応答性を犠牲にすることなく多ノズル化を図り、印字速
度が飛躍的に向上したインクジェット式記録ヘッドを提
供するものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】ノズル開口が複数穿設さ
れたノズル板と、その各々に連通して圧力室隔壁を隔て
て配列された複数の圧力室と前記各圧力室の少なくとも
一端は前記各圧力室に連通して供給部隔壁を隔てて配列
されたインク供給部を通じて各々の前記インク供給部に
インクを供給するための共通インク室を有する流路形成
板と、圧電振動子を接合して前記各圧力室に圧力変化を
生じさせる弾性板をそれぞれ積層してなるインクジェッ
ト式記録ヘッドにおいて、前記共通インク室にインクを
供給する経路として、前記インク供給部に対向する位置
に前記弾性板のインク導入口とインクを供給するための
インク供給管とを配置した事を特徴とする。
【0007】また、前記流路形成板は、前記供給部隔壁
と共通インク室外周壁を接続することで、少なくとも1
つの共通インク室を分割する分離壁を有する事を特徴と
する。
【0008】更に、前記供給部隔壁は圧力室隔壁より広
げ、前記分離壁幅は、少なくとも前記供給部隔壁との接
続近傍において供給部隔壁幅より狭めたことを特徴とす
る。
【0009】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施例について図
面を参照して説明する。
【0010】図1は本発明の第1の実施例であり、イン
クジェット式記録ヘッドの全体構成の分解斜視図であ
る。図2は図1に示した流路形成板の共通インク室の分
離壁拡大図である。
【0011】本実施例について図1および図2を参照し
て説明する。2は複数のノズル開口1が穿設されている
ノズル板である。3は流路形成板であり、各ノズル開口
1に連通する圧力室4、インク供給部5と各々のインク
供給部5にインクを供給するための共通インク室6が形
成されている。7は共通インク室を分離する分離壁であ
る。8は弾性板である。弾性板8とノズル板2、流路形
成板3を積層接着しインク流路ユニット100と成す。
9はインク流路ユニット100を固定するケースであり
本実施例ではエポキシ系樹脂の射出成形により成形され
ている。ケース9に設けられたインク供給管12は分離
壁7をまたいで接続されているため、2分割された共通
インク室6にそれぞれインクを供給できるようになって
いる。PZT10は縦振動モードを備えた圧電振動子で
あり、積層型にすることで低い印加電圧で大きな変位が
発生するように構成している。PZT10は一端を取付
板11に接着され、取付板11を介してケース9に接合
されている。PZT10の他端は弾性板8に接合されて
いる。本実施例においては、このような構成でインクジ
ェット式記録ヘッドはPZT10の伸縮により弾性板8
を変形させ、圧力室4に圧力変化を与え、ノズル開口1
よりインクを吐出させることにより、記録媒体に記録す
る。
【0012】本実施例においては、流路形成板3は厚み
280μmのシリコン単結晶より成る。圧力室4、イン
ク供給部5、共通インク室6、分離壁7はKOHでノズ
ル板を接着する面及び弾性板を接着する面の両面からエ
ッチングして形成される。共通インク室6には分離壁7
が形成されている。
【0013】ここで、流路形成板3のエッチングについ
て述べる。流路形成板3のシリコン単結晶は、結晶方位
(110)面を弾性板8およびノズル板2の接合面と
し、ノズル板2側の表面の結晶方位(211)方向に沿
って流路形成板3の形状になるように補正したパターン
を形成する。なお保護膜としてはシリコン表面を酸化し
た二酸化珪素を用いている。この状態でKOHの80℃
・20%水溶液でエッチングするとシリコン単結晶板の
結晶方位(111)面がきれいに出現し、この面により
圧力室4およびインク供給部5、共通インク室6、分離
壁7が形成される。このように流路形成板3をシリコン
の異方性エッチングという方法を用いて製造することに
より、板厚150μm以上でノズル開口のピッチを14
0μm以下という高密度化を容易に実現することが可能
となるのである。
【0014】次に、本発明における第2の実施例を図3
を参照して説明する。
【0015】本発明が第1の実施例と異なる点は、ノズ
ル開口1の数が1列132個であり、そのピッチは1/
180インチである点である。この時共通インク室6
は、132×(1/180)インチの長さを有する。仮
にノズル開口1の列の一方の端部にインク供給管12を
配置した場合(図4参照)、共通インク室6内の流路損
失により、インク供給管12から最も遠いノズル開口よ
り吐出するインクの量とンク供給管12から最も近いノ
ズル開口より吐出するインクの量には差が生じる。
【0016】図5のグラフは実験結果である。インク供
給管12から最も遠いノズル開口とンク供給管12から
最も近いノズル開口の距離によって、インク供給管12
の近傍のノズル開口より吐出するインクの量と比べて、
20%以上の差が生じる。このため、インク供給管12
の配置をインク供給管12からインク供給部5までの距
離が最短になる場所に設置しなければならない。但し、
その距離は1/2インチ程度に抑さえなければ、5kH
zのインク吐出周波数において、供給管の近傍と最遠の
ノズル開口から吐出するインクの量が10%以上異なる
ことになる。
【0017】この為、本実施例では、分離壁7を共通イ
ンク室6に1本設け、図2中の12bに示す位置にイン
ク供給管12を接続している。この分離壁7は、ケース
9と弾性板8の接着支持の一つとなり、特にインク供給
管12と、弾性板8に開口しているインク供給穴8bを
確実に接合できるようになり、インクのリークの心配が
ない。さらにはインク供給室6を分離することで、図2
に示すように、インク供給管を挟んで図中の上下のノズ
ル開口から吐出するインクのスピード、重量のばらつき
を抑制できる。なぜなら、上下のインク吐出本数に偏り
が生じても、インクの流量の偏りを分離壁7によって抑
さえることができるからである。
【0018】次に、この分離壁7とインク供給部5の接
続部の形状について図6を参照して説明する。
【0019】本発明の実施例においてノズルピッチは1
/180インチであり圧力室4の隔壁4bの幅は0.0
41mm(図示せず)、供給口5の隔壁5bの幅は0.
09mm、分離壁7の幅は0.05mmで構成してい
る。
【0020】また、シリコン単結晶板異方性エッチング
の性質を積極的に使い、分離壁7に隣接する供給口5n
のインク導入口端部から分離壁7まで角度θ1、θ2
(約30度)でつなぐ事により、共通インク室6内部に
侵入した気泡の排出性能を向上させかつ分離壁7に隣接
する供給口5nのイナータンスを変化させることなく全
ノズルから一定のインク吐出特性を得られるようにする
ことが可能となる。
【0021】次に本発明の第3の実施例について説明す
る。
【0022】本発明が第1の実施例と異なる点は、図7
に示すようにノズル開口1の数をピッチ1/180イン
チで1列260個に増設し、共通インク室6は、260
×(1/180)インチの長さを有する点である。この
場合は分離壁7を共通インク室6に2本設け、図7に示
すa部にインク供給管を接続している。
【0023】次に本発明の第4の実施例について説明す
る。
【0024】図8は第4の実施例の分離壁17近傍の拡
大図である。本実施例が第2の実施例と異なる点は、分
離壁17を共通インク室外周壁に接続する形状を段付き
にした点である。このような形状にする事により、ケー
ス9と弾性板8の接着支持の機能を保持しつつ、更に共
通インク室6内部に侵入した気泡の排出性能を向上させ
ることが可能となる。
【0025】次に本発明の第5の実施例について説明す
る。
【0026】図9は第5の実施例の分離壁27近傍の拡
大図である。本実施例が第1の実施例と異なる点は、分
離壁27に貫通穴13を設けた点である。
【0027】弾性板8は分離壁27によって分割され
る。ゆえに分離壁27の近傍は弾性板8のコンプライア
ンスが局部的に小さくなっている。共通インク室6のコ
ンプライアンス不足は隣接の圧力室間の流体クロストー
クとして関わる。また、局部的にコンプライアンスが不
足する場合はインク吐出特性の不均一を招く事になる。
【0028】このため分離壁27に貫通穴13を設け、
コンプライアンスを増大させることで分離壁27近傍の
弾性板8のコンプライアンス不足を補うことができる。
【0029】図10は第6の実施例のインクジェット式
記録ヘッドの上面図である。
【0030】本実施例が他の実施例と異なる点は、分離
壁37で分割された共通インク室61、62、63、6
4にそれぞれ異なる色のインクを供給し、カラーインク
ジェット式記録ヘッドと成す点である。本実施例によれ
ば、ノズル開口が連続して異なる色を吐出でき、改行動
作のみでカラー印字ができ、高速印字ができる。なお、
本実施例においては、インクの供給は図10中のa部よ
りそれぞれ行なうが、共通インク室の長さが長くなった
場合は、実施例1,2,3に示したように、隔壁をまた
いでインク供給部aが配置される構造でインクを供給す
るものとする。
【0031】
【発明の効果】インク供給管12をインク供給部5の並
び途中に配置し、多ノズル化したインクジェット式記録
ヘッドの外形を肥大化することなくインク吐出の高応答
性を実現し、印字速度を飛躍的に向上させた多ノズルの
インクジェット式記録ヘッドを提供することが可能とな
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態におけるインクジェット式
記録ヘッドの全体構成の分解斜視図である。
【図2】本発明の実施の形態におけるインクジェット式
記録ヘッドの流路形成板の共通インク室の分離壁拡大図
である。
【図3】本発明の第2の実施の形態におけるインクジェ
ット式記録ヘッドの上面図である。
【図4】本発明の第2の実施の形態におけるインクジェ
ット式記録ヘッドの上面図の比較例である。
【図5】本発明の第2の実施の形態におけるインク供給
管近傍ノズルと最遠ノズル間距離とインク重量の関係図
である。
【図6】本発明の第2の実施の形態におけるインクジェ
ット式記録ヘッドの流路形成板の共通インク室の分離壁
拡大図である。
【図7】本発明の第3の実施の形態におけるインクジェ
ット式記録ヘッドの上面図である。
【図8】本発明の第4の実施の形態におけるインクジェ
ット式記録ヘッドの流路形成板の共通インク室の分離壁
拡大図である。
【図9】本発明の第5の実施の形態におけるインクジェ
ット式記録ヘッドの流路形成板の共通インク室の分離壁
拡大図である。
【図10】本発明の第6の実施の形態におけるインクジ
ェット式記録ヘッドの流路形成板の上面図である。
【符号の説明】
1 ノズル開口 2 ノズル板 3 流路形成基板 4 圧力室 5 インク供給部 6 共通インク室 7 分離壁 8 弾性板 9 ケース 11 取り付け板 10 圧電振動子 12 インク供給管

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ノズル開口が複数穿設されたノズル板
    と、前記ノズル開口と各々に連通して圧力室隔壁を隔て
    て列設された複数の圧力室と、前記各圧力室の少なくと
    も一端に連通して供給部隔壁を隔てて列設されたインク
    供給部が共通インク室に連通して成る流路形成板と、圧
    電振動子を接合して前記各圧力室に圧力変化を生じさせ
    る弾性板をそれぞれ積層してなるインクジェット式記録
    ヘッドにおいて、 前記共通インク室にインクを供給する経路として、前記
    インク供給部に対向する位置に前記弾性板のインク導入
    口とインクを供給するためのインク供給管とを配置した
    事を特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
  2. 【請求項2】 前記流路形成板は、前記供給部隔壁と前
    記共通インク室の外周壁を接続し、共通インク室を分割
    する少なくとも1つ以上の分離壁を有する事を特徴とす
    る請求項1記載のインクジェット式記録ヘッド。
  3. 【請求項3】 前記供給部隔壁の幅は前記圧力室隔壁の
    幅より広く、前記分離壁の幅は、少なくとも前記供給部
    隔壁との接続近傍において前記供給部隔壁の幅より狭い
    構成であることを特徴とする請求項1記載のインクジェ
    ット式記録ヘッド。
  4. 【請求項4】 前記流路形成板はシリコン基板であるこ
    とを特徴とする請求項1記載のインクジェット式記録ヘ
    ッド。
  5. 【請求項5】 前記圧電振動子は縦振動モードを備えた
    積層型圧電振動子である事を特徴とする請求項1または
    2記載のインクジェット式記録ヘッド。
  6. 【請求項6】 前記共通インク室の外周壁と前記供給部
    隔壁と前記分離壁は、前記弾性板を介してケースと剛体
    固定し、共通インク室に対応する前記弾性板上は前記ケ
    ースに空間を設けて非固定とした事を特徴とする請求項
    1記載のインクジェット式記録ヘッド。
  7. 【請求項7】 前記分離壁には前記ノズル板、前記流路
    形成板、前記弾性板を積層する方向に貫通溝を有する事
    を特徴とする請求項1乃至2、3記載のインクジェット
    式記録ヘッド。
  8. 【請求項8】 前記ケースに設けられたインク供給管が
    前記分離壁をまたいで接続されていることを特徴とする
    請求項1乃至2、3記載のインクジェット式記録ヘッ
    ド。
  9. 【請求項9】 前記分離壁で分割された前記共通インク
    室には、それぞれ異なる色のインクを充填させることを
    特徴とする請求項1乃至2、3記載のインクジェット式
    記録ヘッド。
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