JPH09229642A - 電子部品の外観検査方法 - Google Patents
電子部品の外観検査方法Info
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- JPH09229642A JPH09229642A JP8039764A JP3976496A JPH09229642A JP H09229642 A JPH09229642 A JP H09229642A JP 8039764 A JP8039764 A JP 8039764A JP 3976496 A JP3976496 A JP 3976496A JP H09229642 A JPH09229642 A JP H09229642A
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- Japan
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- contour line
- electronic component
- contour
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
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- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
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- Image Processing (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 輪郭線上の凹凸の有無を常に適正に検出でき
る信頼性の高い電子部品の外観検査方法を提供する。 【解決手段】 検査対象の電子部品の矩形形状の輪郭線
を抽出し、その輪郭線を微分し、微分値の極小極大値と
中央値との差の絶対値の大きさによって輪郭線上の凹凸
の有無を判定する。
る信頼性の高い電子部品の外観検査方法を提供する。 【解決手段】 検査対象の電子部品の矩形形状の輪郭線
を抽出し、その輪郭線を微分し、微分値の極小極大値と
中央値との差の絶対値の大きさによって輪郭線上の凹凸
の有無を判定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品の輪郭上
の凹凸を検出する電子部品の外観検査方法に関するもの
である。
の凹凸を検出する電子部品の外観検査方法に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】コンデンサなどの電子部品の検査におい
て、外面の色々な凹凸、特にコブ・バリなどと呼ばれる
凹凸（以下、本明細書では単にコブと称する）を検出す
る検査がある。なお、コブはあらゆる部位で発生し得る
が、カメラを複数用いることによってすべて輪郭上の凹
凸として検出することができる。或いは、特にコブの発
生頻度の高い部位を輪郭として検出できる方向がカメラ
の光軸となるようにカメラを配置することにより輪郭上
の凹凸として検出することができる。
て、外面の色々な凹凸、特にコブ・バリなどと呼ばれる
凹凸（以下、本明細書では単にコブと称する）を検出す
る検査がある。なお、コブはあらゆる部位で発生し得る
が、カメラを複数用いることによってすべて輪郭上の凹
凸として検出することができる。或いは、特にコブの発
生頻度の高い部位を輪郭として検出できる方向がカメラ
の光軸となるようにカメラを配置することにより輪郭上
の凹凸として検出することができる。
【０００３】従来の電子部品のコブを輪郭上の凹凸とし
て検出する外観検査方法を、図８〜図１０を参照して説
明する。
て検出する外観検査方法を、図８〜図１０を参照して説
明する。
【０００４】図８は検査対象のコンデンサの画像を示
し、１はコンデンサの輪郭、２はコブの部位であり、θ
はコブの角度である。
し、１はコンデンサの輪郭、２はコブの部位であり、θ
はコブの角度である。
【０００５】図９に外観検査装置の構成を示す。３はテ
レビカメラ、４はデータ処理ユニットであり、テレビカ
メラ３から送られたアナログ画像信号のＡ／Ｄ変換部
５、デジタル画像信号用の画像メモリ６、汎用メモリ
７、及びＣＰＵ８（データ処理部）にて構成されてい
る。汎用メモリ７は、画像信号から抽出された輪郭線、
輪郭線の微分、輪郭の角度などが格納される。
レビカメラ、４はデータ処理ユニットであり、テレビカ
メラ３から送られたアナログ画像信号のＡ／Ｄ変換部
５、デジタル画像信号用の画像メモリ６、汎用メモリ
７、及びＣＰＵ８（データ処理部）にて構成されてい
る。汎用メモリ７は、画像信号から抽出された輪郭線、
輪郭線の微分、輪郭の角度などが格納される。
【０００６】次に、ＣＰＵ８におけるコブ検査を行なう
ためのデータ処理を図１０を参照して説明する。予め、
検査対象であるコンデンサがテレビカメラ３により撮像
され、そのＡ／Ｄ変換された画像信号が画像メモリ６中
に格納されている。そして、その画像を一方向順次走査
して濃度変化量が最も大きい点を輪郭点として抽出し
（ステップ＃１１）、そのエッジ点列を関数に変換して
輪郭線を得る（ステップ＃１２）。次に、エッジ点列の
関数の勾配を求める。ここで、もしコブがあれば、勾配
（水平軸との勾配であり、角度θ）が大きくなるので、
予め基準値として一定の勾配を定め、絶対値としてこれ
よりも大きなものがあればコブと判定する（ステップ＃
１３）。コンデンサの下辺、右辺、左辺でも同じ考え方
でコブを検出する。なお、右辺、左辺の場合は勾配とし
て垂直軸との角度を採用する。
ためのデータ処理を図１０を参照して説明する。予め、
検査対象であるコンデンサがテレビカメラ３により撮像
され、そのＡ／Ｄ変換された画像信号が画像メモリ６中
に格納されている。そして、その画像を一方向順次走査
して濃度変化量が最も大きい点を輪郭点として抽出し
（ステップ＃１１）、そのエッジ点列を関数に変換して
輪郭線を得る（ステップ＃１２）。次に、エッジ点列の
関数の勾配を求める。ここで、もしコブがあれば、勾配
（水平軸との勾配であり、角度θ）が大きくなるので、
予め基準値として一定の勾配を定め、絶対値としてこれ
よりも大きなものがあればコブと判定する（ステップ＃
１３）。コンデンサの下辺、右辺、左辺でも同じ考え方
でコブを検出する。なお、右辺、左辺の場合は勾配とし
て垂直軸との角度を採用する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の方法では、コンデンサが傾いている場合にはコブの
ない部位でも勾配が大きくなってコブとして検出する恐
れがあり、誤った検査結果が得られて信頼性が低いとい
う問題があった。
来の方法では、コンデンサが傾いている場合にはコブの
ない部位でも勾配が大きくなってコブとして検出する恐
れがあり、誤った検査結果が得られて信頼性が低いとい
う問題があった。
【０００８】本発明は、上記従来の問題点に鑑み、輪郭
線の凹凸の有無を常に適正に検出できる信頼性の高い電
子部品の外観検査方法を提供することを目的としてい
る。
線の凹凸の有無を常に適正に検出できる信頼性の高い電
子部品の外観検査方法を提供することを目的としてい
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の電子部品の外観
検査方法は、検査対象の電子部品の略矩形状の輪郭線を
抽出する工程と、輪郭線を微分する工程と、微分値の系
列の中央値を抽出する工程と、微分値の極大極小を検出
する工程と、微分値の極小極大値と中央値との差の絶対
値の大きさによって輪郭線の凹凸を判定する工程とから
成り、輪郭線の微分値の極大、極小の大きさから凹凸の
存在を検出することによって、検査対象の傾きによらず
に安定して輪郭の凹凸を検出できるようにしている。
検査方法は、検査対象の電子部品の略矩形状の輪郭線を
抽出する工程と、輪郭線を微分する工程と、微分値の系
列の中央値を抽出する工程と、微分値の極大極小を検出
する工程と、微分値の極小極大値と中央値との差の絶対
値の大きさによって輪郭線の凹凸を判定する工程とから
成り、輪郭線の微分値の極大、極小の大きさから凹凸の
存在を検出することによって、検査対象の傾きによらず
に安定して輪郭の凹凸を検出できるようにしている。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態につい
て図１〜図７を参照して説明する。なお、検査対象の電
子部品であるコンデンサの形状は、従来例で用いた図８
と同一のものであり、また外観検査装置の全体構成も、
従来例で説明した図９と同じ構成であり、その説明を援
用する。
て図１〜図７を参照して説明する。なお、検査対象の電
子部品であるコンデンサの形状は、従来例で用いた図８
と同一のものであり、また外観検査装置の全体構成も、
従来例で説明した図９と同じ構成であり、その説明を援
用する。
【００１１】本実施形態におけるＣＰＵ８によるコンデ
ンサのコブ検査時のデータ処理方法を図１を参照して説
明する。予め、検査対象であるコンデンサがテレビカメ
ラ３により撮像され、そのＡ／Ｄ変換された画像信号が
画像メモリ６中に格納されている。図２に画像メモリ６
に格納された画像を示す。そして、まず図２に矢印９で
示す方向に画像を走査し、濃度変化量が最も大きい点を
輪郭点として抽出する（ステップ＃１）。次に、そのエ
ッジ点列を関数に変換することにより、図３に示すよう
な輪郭の関数を得る（ステップ＃２）。次に、輪郭の関
数から図４に示すようにその微分を計算する（ステップ
＃３）。
ンサのコブ検査時のデータ処理方法を図１を参照して説
明する。予め、検査対象であるコンデンサがテレビカメ
ラ３により撮像され、そのＡ／Ｄ変換された画像信号が
画像メモリ６中に格納されている。図２に画像メモリ６
に格納された画像を示す。そして、まず図２に矢印９で
示す方向に画像を走査し、濃度変化量が最も大きい点を
輪郭点として抽出する（ステップ＃１）。次に、そのエ
ッジ点列を関数に変換することにより、図３に示すよう
な輪郭の関数を得る（ステップ＃２）。次に、輪郭の関
数から図４に示すようにその微分を計算する（ステップ
＃３）。
【００１２】微分の具体方法は、以下の通りである。一
例として、オペレータ（−１，＋１）を用いる。このオ
ペレータを用いた場合は、｛ａi ｝という輪郭線の座標
列に対して、 Δａi ＝ａi+1 −ａi という式により微分値Δａi を求める。さらに、上記オ
ペレータに平準化を加味したオペレータを用いると効果
がある。具体的には、 （−１，１）＊（１，１）2 ＝（−１，＋１）＊（１，３，３，１） ＝（１，２，０，−２，−１） などのオペレータを用いることができ、このようなオペ
レータを用いれば、サンプリングによる見かけのエッジ
を平準化する効果が得られ、コンデンサなどのように焼
結させて製造したものなど、表面が滑らかである場合に
（−１，＋１）オペレータよりよい場合がある。
例として、オペレータ（−１，＋１）を用いる。このオ
ペレータを用いた場合は、｛ａi ｝という輪郭線の座標
列に対して、 Δａi ＝ａi+1 −ａi という式により微分値Δａi を求める。さらに、上記オ
ペレータに平準化を加味したオペレータを用いると効果
がある。具体的には、 （−１，１）＊（１，１）2 ＝（−１，＋１）＊（１，３，３，１） ＝（１，２，０，−２，−１） などのオペレータを用いることができ、このようなオペ
レータを用いれば、サンプリングによる見かけのエッジ
を平準化する効果が得られ、コンデンサなどのように焼
結させて製造したものなど、表面が滑らかである場合に
（−１，＋１）オペレータよりよい場合がある。
【００１３】こうして、微分を求めた後、次に極大値、
極小値、及び中央値を求める（ステップ＃４、＃５）。
図４において、１０が極大値、１１が極小値、１２が中
央値であり、１３が最大値、１４が最小値である。極大
値は、その両側の微分値よりある一定値以上大きな値で
あり、極小値はその両側の微分値よりある一定値以上小
さな値である。それぞれ最大値、最小値とは異なる。ま
た、中央値１２は全微分値を大小の順番に並べた時の真
ん中の値である。図４の例では、中央値は０（水平軸）
の近傍の値を取ることになる。
極小値、及び中央値を求める（ステップ＃４、＃５）。
図４において、１０が極大値、１１が極小値、１２が中
央値であり、１３が最大値、１４が最小値である。極大
値は、その両側の微分値よりある一定値以上大きな値で
あり、極小値はその両側の微分値よりある一定値以上小
さな値である。それぞれ最大値、最小値とは異なる。ま
た、中央値１２は全微分値を大小の順番に並べた時の真
ん中の値である。図４の例では、中央値は０（水平軸）
の近傍の値を取ることになる。
【００１４】次に、上記極大値と極小値と中央値を求め
た後、｜極大値−中央値｜、｜極小値−中央値｜につい
て、それぞれ基準値（コブの勾配を示す）と比較し（ス
テップ＃６）、どちらかが基準値より大ならばコブと見
なし（ステップ＃７）、基準値より小ならばコブなしと
見なす（ステップ＃８）。なお、極大・極小値を用いる
理由は、単純に最大・最小を用いると、コンデンサの肩
の勾配の大きくなったところを誤ってコブとして検出す
ることがあるが、極大値、極小値を用いることによって
コブを適正に検出できるからである。
た後、｜極大値−中央値｜、｜極小値−中央値｜につい
て、それぞれ基準値（コブの勾配を示す）と比較し（ス
テップ＃６）、どちらかが基準値より大ならばコブと見
なし（ステップ＃７）、基準値より小ならばコブなしと
見なす（ステップ＃８）。なお、極大・極小値を用いる
理由は、単純に最大・最小を用いると、コンデンサの肩
の勾配の大きくなったところを誤ってコブとして検出す
ることがあるが、極大値、極小値を用いることによって
コブを適正に検出できるからである。
【００１５】また、中央値を用いる効果は次の通りであ
る。図５は、傾いて置かれたコンデンサを示し、図６は
その輪郭から検出された輪郭点の関数、図７はその微分
値を示す。コンデンサの傾きのため、微分値は全体に下
方にシフトしている（図示例では、コンデンサが右下が
りなので微分は下にシフトしているが、右上がりの場合
は上にシフトする。）。中央値１２は、コンデンサの傾
きによって０（水平軸）よりもマイナス側にシフトした
値を取ることになり、上式においてこの中央値との差を
取っていることによってコンデンサの傾きを補正してい
ることになる。
る。図５は、傾いて置かれたコンデンサを示し、図６は
その輪郭から検出された輪郭点の関数、図７はその微分
値を示す。コンデンサの傾きのため、微分値は全体に下
方にシフトしている（図示例では、コンデンサが右下が
りなので微分は下にシフトしているが、右上がりの場合
は上にシフトする。）。中央値１２は、コンデンサの傾
きによって０（水平軸）よりもマイナス側にシフトした
値を取ることになり、上式においてこの中央値との差を
取っていることによってコンデンサの傾きを補正してい
ることになる。
【００１６】なお、全微分値を大小の順番に並べたとき
の真ん中の値である中央値を用いているが、全微分値の
平均値を用いると、コンデンサの肩の微分値の非常に大
きい部分の影響を強く受けるために、傾きを正しく反映
しない場合がある。微分値を順番に並べるということ
は、大きな値を無視することであり、肩の部分の影響を
受けない。
の真ん中の値である中央値を用いているが、全微分値の
平均値を用いると、コンデンサの肩の微分値の非常に大
きい部分の影響を強く受けるために、傾きを正しく反映
しない場合がある。微分値を順番に並べるということ
は、大きな値を無視することであり、肩の部分の影響を
受けない。
【００１７】また、このようにして得られた傾きが適切
かどうかを、上下左右辺の傾きを比較（９０°おきにな
ればよい）することによりチェックすることもできる。
最終的に４辺の平均を用いても良いし、一辺だけ大きく
外れたものがあれば、他の３辺の値又はその平均を用い
てもよい。
かどうかを、上下左右辺の傾きを比較（９０°おきにな
ればよい）することによりチェックすることもできる。
最終的に４辺の平均を用いても良いし、一辺だけ大きく
外れたものがあれば、他の３辺の値又はその平均を用い
てもよい。
【００１８】
【発明の効果】本発明の電子部品の外観検査方法によれ
ば、以上の説明から明らかなように、検査対象の電子部
品の略矩形状の輪郭線を抽出し、その輪郭線を微分し、
微分値の極小極大値と中央値との差の絶対値の大きさに
よって輪郭線の凹凸を判定するようにしているので、検
査対象の傾きによらずに安定して輪郭の凹凸を検出する
ことができる。
ば、以上の説明から明らかなように、検査対象の電子部
品の略矩形状の輪郭線を抽出し、その輪郭線を微分し、
微分値の極小極大値と中央値との差の絶対値の大きさに
よって輪郭線の凹凸を判定するようにしているので、検
査対象の傾きによらずに安定して輪郭の凹凸を検出する
ことができる。
【図１】本発明の一実施形態の外観検査方法のフローチ
ャートである。
ャートである。
【図２】同実施形態における検査対象のコンデンサの画
像と輪郭線抽出時の走査方向の説明図である。
像と輪郭線抽出時の走査方向の説明図である。
【図３】図２の画像から抽出した輪郭線を示す図であ
る。
る。
【図４】図３の輪郭線の微分値を示す図である。
【図５】同実施形態において、傾いて置かれたコンデン
サの画像を示す図である。
サの画像を示す図である。
【図６】図５の画像から抽出した輪郭線を示す図であ
る。
る。
【図７】図６の輪郭線の微分値を示す図である。
【図８】検査対象のコンデンサの画像を示す図である。
【図９】従来例の外観検査装置の構成を示すブロック図
である。
である。
【図１０】従来例における電子部品の外観検査方法のフ
ローチャートである。
ローチャートである。
３ テレビカメラ ４ データ処理ユニット ６ 画像メモリ ８ ＣＰＵ １０ 極大値 １１ 極小値 １２ 中央値
Claims (1)
- 【請求項１】 検査対象の電子部品の略矩形状の輪郭線
を抽出する工程と、輪郭線を微分する工程と、微分値の
系列の中央値を抽出する工程と、微分値の極大極小を検
出する工程と、微分値の極小極大値と中央値との差の絶
対値の大きさによって輪郭線の凹凸を判定する工程とを
備えたことを特徴とする電子部品の外観検査方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8039764A JPH09229642A (ja) | 1996-02-27 | 1996-02-27 | 電子部品の外観検査方法 |
| US09/125,341 US6240202B1 (en) | 1996-02-27 | 1997-02-26 | Appearance inspection method for electronic parts |
| CN97192537.2A CN1082181C (zh) | 1996-02-27 | 1997-02-26 | 电子元器件的外观检查方法 |
| PCT/JP1997/000540 WO1997032183A1 (en) | 1996-02-27 | 1997-02-26 | Appearance inspection method for electronic parts |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8039764A JPH09229642A (ja) | 1996-02-27 | 1996-02-27 | 電子部品の外観検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09229642A true JPH09229642A (ja) | 1997-09-05 |
Family
ID=12562016
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8039764A Pending JPH09229642A (ja) | 1996-02-27 | 1996-02-27 | 電子部品の外観検査方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6240202B1 (ja) |
| JP (1) | JPH09229642A (ja) |
| CN (1) | CN1082181C (ja) |
| WO (1) | WO1997032183A1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002131029A (ja) * | 2000-10-25 | 2002-05-09 | Taiko Denki Co Ltd | 成形部品の検査方法及び検査装置並びに端子高さ検査装置 |
| JP2009236825A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-15 | Fujifilm Corp | 欠陥検出装置及び方法 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4901254B2 (ja) * | 2006-03-22 | 2012-03-21 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パターンマッチング方法、及びパターンマッチングを行うためのコンピュータプログラム |
| JP5681224B2 (ja) * | 2013-03-07 | 2015-03-04 | ファナック株式会社 | 部品点検時期通知機能を有する機械の数値制御装置 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59125176A (ja) * | 1982-12-30 | 1984-07-19 | インタ−ナシヨナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−シヨン | ビデオイメ−ジのシエ−ジング効果の補正装置 |
| US4974261A (en) * | 1988-11-15 | 1990-11-27 | Matsushita Electric Works, Ltd. | Optical surface inspection method |
| US5185812A (en) * | 1990-02-14 | 1993-02-09 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Optical pattern inspection system |
| JPH0412209A (ja) | 1990-05-02 | 1992-01-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 画像処理による位置測定方法 |
| JPH0450713A (ja) | 1990-06-20 | 1992-02-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 位置認識方法及びその装置 |
| JPH05166904A (ja) | 1991-12-16 | 1993-07-02 | Fujitsu Ltd | パターン検査装置 |
| JP2851022B2 (ja) * | 1992-06-09 | 1999-01-27 | 株式会社鷹山 | Ｉｃの傾き検査方法 |
| JP2851023B2 (ja) * | 1992-06-29 | 1999-01-27 | 株式会社鷹山 | Ｉｃの傾き検査方法 |
-
1996
- 1996-02-27 JP JP8039764A patent/JPH09229642A/ja active Pending
-
1997
- 1997-02-26 WO PCT/JP1997/000540 patent/WO1997032183A1/ja not_active Ceased
- 1997-02-26 CN CN97192537.2A patent/CN1082181C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1997-02-26 US US09/125,341 patent/US6240202B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002131029A (ja) * | 2000-10-25 | 2002-05-09 | Taiko Denki Co Ltd | 成形部品の検査方法及び検査装置並びに端子高さ検査装置 |
| JP2009236825A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-15 | Fujifilm Corp | 欠陥検出装置及び方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO1997032183A1 (en) | 1997-09-04 |
| CN1212049A (zh) | 1999-03-24 |
| US6240202B1 (en) | 2001-05-29 |
| CN1082181C (zh) | 2002-04-03 |
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