JPH09229794A - 圧力検出器 - Google Patents
圧力検出器Info
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- JPH09229794A JPH09229794A JP6200696A JP6200696A JPH09229794A JP H09229794 A JPH09229794 A JP H09229794A JP 6200696 A JP6200696 A JP 6200696A JP 6200696 A JP6200696 A JP 6200696A JP H09229794 A JPH09229794 A JP H09229794A
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- stem
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ガラス材料によりステムと一体にダイアフラ
ムを構成する場合であっても、流体の圧力を良好に検出
する圧力検出器を提供する。 【解決手段】 ガラス材料からなるステム７と一体にダ
イアフラム（受圧面）８を形成するとともに、ダイアフ
ラム８の周縁に補強部材９を形成し、ダイアフラム容器
10を形成する。
ムを構成する場合であっても、流体の圧力を良好に検出
する圧力検出器を提供する。 【解決手段】 ガラス材料からなるステム７と一体にダ
イアフラム（受圧面）８を形成するとともに、ダイアフ
ラム８の周縁に補強部材９を形成し、ダイアフラム容器
10を形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、気体や液体等の媒
体の圧力を検出する圧力検出器に関し、特に、圧力検出
チップを受圧部に接着する所謂ＣＯＤ（Chip On Diaphr
agm ）型の圧力検出器に関する。
体の圧力を検出する圧力検出器に関し、特に、圧力検出
チップを受圧部に接着する所謂ＣＯＤ（Chip On Diaphr
agm ）型の圧力検出器に関する。
【０００２】
【従来の技術】抵抗ブリッジＩＣチップ等の圧力検出チ
ップをダイアフラム等の受圧部の片面上に接着剤や低融
点ガラスにて接着するＣＯＤ型の圧力検出器は、例えば
特開平４−１９４７１６号公報で知られている。
ップをダイアフラム等の受圧部の片面上に接着剤や低融
点ガラスにて接着するＣＯＤ型の圧力検出器は、例えば
特開平４−１９４７１６号公報で知られている。
【０００３】かかる圧力検出器は、図５で示したよう
に、円筒状のステム１に一体形成された薄肉状の受圧起
歪ダイアフラム（受圧部）２の片面上に接着されたフル
ブリッジ抵抗ＩＣチップ（圧力検出チップ）３と、この
チップ３の電極部からワイヤボンデングによるリード線
４の引き出し用プリント基板５と、この基板５から圧力
に応じた電気信号を外部へ出力するために半田付けによ
り引き出された導線６とから構成されている。そして、
チップ３はダイアフラム２と接着により一体化されてい
るので、圧力によりダイアフラム２が微小歪みを生じる
と、その歪みが伝達されてチップ３のブリッジ抵抗の平
衡が崩れ、圧力に比例した電気信号が発生し、基板５に
形成された増幅回路で増幅されて導線６により外部へ出
力されるものである。
に、円筒状のステム１に一体形成された薄肉状の受圧起
歪ダイアフラム（受圧部）２の片面上に接着されたフル
ブリッジ抵抗ＩＣチップ（圧力検出チップ）３と、この
チップ３の電極部からワイヤボンデングによるリード線
４の引き出し用プリント基板５と、この基板５から圧力
に応じた電気信号を外部へ出力するために半田付けによ
り引き出された導線６とから構成されている。そして、
チップ３はダイアフラム２と接着により一体化されてい
るので、圧力によりダイアフラム２が微小歪みを生じる
と、その歪みが伝達されてチップ３のブリッジ抵抗の平
衡が崩れ、圧力に比例した電気信号が発生し、基板５に
形成された増幅回路で増幅されて導線６により外部へ出
力されるものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】例えば、ステム１とダ
イアフラム２とをガラス材料を用いて形成した場合、金
属材料に比べ材質的に柔らかいため、媒体の圧力がダイ
アフラム２に伝わるとダイアフラム２が変位するととも
にステム１も変形してしまい、圧力検出チップ３に良好
に圧力が伝達されないと言った問題点があった。また、
ステム１はガラス材料であるため、このステム１を取り
付け固定する際の取付歪みや取付部との熱膨張差によっ
て発生する歪みがダイヤフラム２に影響を与えるため、
正確な圧力が検出できないと言った問題点があった。本
発明は前記問題点に着目し、ガラス材料によりステムと
一体にダイアフラムを構成する場合であっても、媒体の
圧力を良好に検出する圧力検出器を提供するものであ
る。
イアフラム２とをガラス材料を用いて形成した場合、金
属材料に比べ材質的に柔らかいため、媒体の圧力がダイ
アフラム２に伝わるとダイアフラム２が変位するととも
にステム１も変形してしまい、圧力検出チップ３に良好
に圧力が伝達されないと言った問題点があった。また、
ステム１はガラス材料であるため、このステム１を取り
付け固定する際の取付歪みや取付部との熱膨張差によっ
て発生する歪みがダイヤフラム２に影響を与えるため、
正確な圧力が検出できないと言った問題点があった。本
発明は前記問題点に着目し、ガラス材料によりステムと
一体にダイアフラムを構成する場合であっても、媒体の
圧力を良好に検出する圧力検出器を提供するものであ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するため、媒体の圧力により変位する受圧部の片面上
に圧力検出チップを接着した圧力検出器において、ガラ
ス材料からなるステムと一体に前記受圧部を形成すると
ともに、前記受圧部の周縁に補強部材を形成してなるも
のである。
決するため、媒体の圧力により変位する受圧部の片面上
に圧力検出チップを接着した圧力検出器において、ガラ
ス材料からなるステムと一体に前記受圧部を形成すると
ともに、前記受圧部の周縁に補強部材を形成してなるも
のである。
【０００６】また、媒体の圧力により変位する受圧部の
片面上に圧力検出チップを接着した圧力検出器におい
て、ガラス材料からなるステムと一体成形される前記受
圧部と、前記受圧部の周縁に形成される第１の補強部材
とによりダイアフラム容器を形成するとともに、前記ダ
イアフラム容器に連接され前記ステムの歪みを抑制する
接続部材を配設してなるものである。
片面上に圧力検出チップを接着した圧力検出器におい
て、ガラス材料からなるステムと一体成形される前記受
圧部と、前記受圧部の周縁に形成される第１の補強部材
とによりダイアフラム容器を形成するとともに、前記ダ
イアフラム容器に連接され前記ステムの歪みを抑制する
接続部材を配設してなるものである。
【０００７】また、前記接続部材は、前記ダイアフラム
容器の第１の補強部材に当接する第２の補強部材と、前
記ステムと同等材料からなり前記ステムから所定の長さ
を有する延長部とを形成するとともに、前記第２の補強
部材及び前記延長部の下端に取付片を形成してなるもの
である。
容器の第１の補強部材に当接する第２の補強部材と、前
記ステムと同等材料からなり前記ステムから所定の長さ
を有する延長部とを形成するとともに、前記第２の補強
部材及び前記延長部の下端に取付片を形成してなるもの
である。
【０００８】
【発明の実施の形態】ガラス材料からなる円筒状のステ
ムに肉薄部のダイアフラム（受圧部）を一体成形し、こ
のダイアフラムの片面上に圧力検出器チップを配設する
とともに、前記ダイアフラムの周縁に金属製材料（例え
ば、コバール金属）からなる第１の補強部材を配設し、
ダイアフラム容器を構成することにより、媒体の圧力を
受けた際に前記ダイアフラム容器の前記ステムの変形が
前記第１の補強部材により抑制されとともに、前記圧力
検出チップ近傍のダイアフラムが良好に変位できるた
め、媒体の圧力を良好に検出することができる。
ムに肉薄部のダイアフラム（受圧部）を一体成形し、こ
のダイアフラムの片面上に圧力検出器チップを配設する
とともに、前記ダイアフラムの周縁に金属製材料（例え
ば、コバール金属）からなる第１の補強部材を配設し、
ダイアフラム容器を構成することにより、媒体の圧力を
受けた際に前記ダイアフラム容器の前記ステムの変形が
前記第１の補強部材により抑制されとともに、前記圧力
検出チップ近傍のダイアフラムが良好に変位できるた
め、媒体の圧力を良好に検出することができる。
【０００９】また、前記ダイアフラム容器の前記第１の
補強部材に当接し、前記第１の補強部材と同等材料から
なる第２の補強部材と、前記第２の補強部材を覆う前記
ステムと同材料からなる延長部とを形成するとともに、
前記第２の補強部材と前記延長部との下端に取付片を形
成する接続部材を前記ダイアフラム容器に連接させるこ
とにより、前記ダイヤフラム容器を取り付ける際の取付
歪みを前記第１，第２の補強部材により抑制し、また、
前記ダイヤフラム容器を取付固定する取付部と前記取付
片との熱膨張差によって発生する歪みも、材質的に柔ら
かく所定の長さを有する前記延長部により減衰すること
になり、前記ステムの歪みを抑制することができるた
め、媒体の圧力による前記ダイヤフラムの変位を良好に
前記圧力検出チップに伝達することが可能となるため、
正確な圧力の検出が可能となる。
補強部材に当接し、前記第１の補強部材と同等材料から
なる第２の補強部材と、前記第２の補強部材を覆う前記
ステムと同材料からなる延長部とを形成するとともに、
前記第２の補強部材と前記延長部との下端に取付片を形
成する接続部材を前記ダイアフラム容器に連接させるこ
とにより、前記ダイヤフラム容器を取り付ける際の取付
歪みを前記第１，第２の補強部材により抑制し、また、
前記ダイヤフラム容器を取付固定する取付部と前記取付
片との熱膨張差によって発生する歪みも、材質的に柔ら
かく所定の長さを有する前記延長部により減衰すること
になり、前記ステムの歪みを抑制することができるた
め、媒体の圧力による前記ダイヤフラムの変位を良好に
前記圧力検出チップに伝達することが可能となるため、
正確な圧力の検出が可能となる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明を添付図面に記載した実施例に
基づき説明するが、従来例と同一または相当箇所には同
一符号を付してその詳細な説明は省く。
基づき説明するが、従来例と同一または相当箇所には同
一符号を付してその詳細な説明は省く。
【００１１】図１から図３は第１実施例を示す要部断面
図であり、図１において、７は円筒形状からなり例えば
コバールガラス（ガラス材料）からなるステム、８はス
テム７に一体形成され薄肉状のダイアフラム（受圧
部）、９はダイアフラム８に媒体の圧力が加わった場合
にステム７の変形を防止するため、例えばコバール金
属、鉄・ニッケル合金（42合金）等からなる第１の補強
部材であり、この補強部材９は後述する回路基板を配設
するための段差部９ａが形成され、回路基板がこの段差
部９ａに接着剤もしくは低融点ガラスにより接着固定さ
れるものである。以上の各部７，８，９によりダイアフ
ラム容器10を構成する。
図であり、図１において、７は円筒形状からなり例えば
コバールガラス（ガラス材料）からなるステム、８はス
テム７に一体形成され薄肉状のダイアフラム（受圧
部）、９はダイアフラム８に媒体の圧力が加わった場合
にステム７の変形を防止するため、例えばコバール金
属、鉄・ニッケル合金（42合金）等からなる第１の補強
部材であり、この補強部材９は後述する回路基板を配設
するための段差部９ａが形成され、回路基板がこの段差
部９ａに接着剤もしくは低融点ガラスにより接着固定さ
れるものである。以上の各部７，８，９によりダイアフ
ラム容器10を構成する。
【００１２】３はダイアフラム８の片面上に配設される
圧力検出チップ、11は圧力検出チップ３から出力される
電気信号を増幅したり、圧力検出チップ３の温度補償等
を行う回路基板であり、この回路基板11と圧力検出チッ
プ３とはワイヤボンディング等の手段により電気的に固
定され、回路基板11で処理された電気信号は、回路基板
11に配設されたコネクタ12から配線コード13を介し外部
に引き出されている。
圧力検出チップ、11は圧力検出チップ３から出力される
電気信号を増幅したり、圧力検出チップ３の温度補償等
を行う回路基板であり、この回路基板11と圧力検出チッ
プ３とはワイヤボンディング等の手段により電気的に固
定され、回路基板11で処理された電気信号は、回路基板
11に配設されたコネクタ12から配線コード13を介し外部
に引き出されている。
【００１３】図２，図３において、14はダイヤフラム容
器10に連接され、ダイアフラム容器10と略同等な円筒形
状からなる接続部材であり、この接続部材14はステム７
と同材料（コバールガラス）からなる延長部15と、第１
の補強部材９と同材料（コバール金属または鉄・ニッケ
ル合金）からなる第２の補強部材16とが所定の長さを有
するように形成されている。延長部15及び第２の補強部
材16をダイヤフラム容器10と同等材料にすることは、熱
膨張による歪みを同等レベルにするためである。第２の
補強部材16は、ステム７と延長部15との各対向面を当接
させた際に、第１の補強部材９と第２の補強部材16との
各対向面が当接するように第２の補強部材16がダイアフ
ラム容器10方向に向かって延長される突出部17を形成し
ている。この突出部17はステム７の歪みを防止するとと
もに、ダイアフラム容器10と接続部材14との位置決めの
役割を果たしている。
器10に連接され、ダイアフラム容器10と略同等な円筒形
状からなる接続部材であり、この接続部材14はステム７
と同材料（コバールガラス）からなる延長部15と、第１
の補強部材９と同材料（コバール金属または鉄・ニッケ
ル合金）からなる第２の補強部材16とが所定の長さを有
するように形成されている。延長部15及び第２の補強部
材16をダイヤフラム容器10と同等材料にすることは、熱
膨張による歪みを同等レベルにするためである。第２の
補強部材16は、ステム７と延長部15との各対向面を当接
させた際に、第１の補強部材９と第２の補強部材16との
各対向面が当接するように第２の補強部材16がダイアフ
ラム容器10方向に向かって延長される突出部17を形成し
ている。この突出部17はステム７の歪みを防止するとと
もに、ダイアフラム容器10と接続部材14との位置決めの
役割を果たしている。
【００１４】また、接続部材14の略中心には配線コード
13を外部に引き出すための挿通孔18が設けられており、
この挿通孔18の最終端には挿通孔18をエポキシ等からな
る充填剤19により封止するための段差部20が形成されて
いる。また、段差部20の側方には、延長部15及び第２の
補強部材16が外方に引き出され（延長部15及び第２の補
強部材16の下端）、ダイアフラム容器10を接続部材14を
介して図示しない取付部へ取り付ける際の取付片21を形
成し、この取付片21は、取付片21の上面にＯリング等の
弾性部材22を付設して前記取付部に取り付けられるよう
に構成されている。
13を外部に引き出すための挿通孔18が設けられており、
この挿通孔18の最終端には挿通孔18をエポキシ等からな
る充填剤19により封止するための段差部20が形成されて
いる。また、段差部20の側方には、延長部15及び第２の
補強部材16が外方に引き出され（延長部15及び第２の補
強部材16の下端）、ダイアフラム容器10を接続部材14を
介して図示しない取付部へ取り付ける際の取付片21を形
成し、この取付片21は、取付片21の上面にＯリング等の
弾性部材22を付設して前記取付部に取り付けられるよう
に構成されている。
【００１５】前述したダイアフラム容器10と接続部材14
とは、第２の補強部材16に延長形成される突出部17及び
第１の補強部材９と、ステム７及び延長部15との各当接
面にフッ素系もしくはシリコン系等の接着剤を塗布して
接着固定させる。以上により圧力検出器Ａが構成されて
いる。
とは、第２の補強部材16に延長形成される突出部17及び
第１の補強部材９と、ステム７及び延長部15との各当接
面にフッ素系もしくはシリコン系等の接着剤を塗布して
接着固定させる。以上により圧力検出器Ａが構成されて
いる。
【００１６】かかる第１実施例によると、媒体の圧力を
受けた際のステム７の変形を第１の補強部材９及び第２
の補強部材16に延長形成された突出部17により抑制する
とともに、ダイアフラム容器10を図示しない取付部に取
付固定する場合でも、第２の補強部材16により、ダイア
フラム容器10の取付歪みを抑制することができ、また、
前記取付部と取付片21との熱膨張差により発生する歪み
も材質的に柔らかく所定の長さを有する延長部15により
減衰することになり、ステム７の歪みを抑制することが
できるため、媒体の圧力によるダイヤフラム８の変位を
良好に圧力検出チップ３に伝達することが可能となるた
め正確な圧力の検出が可能となる。
受けた際のステム７の変形を第１の補強部材９及び第２
の補強部材16に延長形成された突出部17により抑制する
とともに、ダイアフラム容器10を図示しない取付部に取
付固定する場合でも、第２の補強部材16により、ダイア
フラム容器10の取付歪みを抑制することができ、また、
前記取付部と取付片21との熱膨張差により発生する歪み
も材質的に柔らかく所定の長さを有する延長部15により
減衰することになり、ステム７の歪みを抑制することが
できるため、媒体の圧力によるダイヤフラム８の変位を
良好に圧力検出チップ３に伝達することが可能となるた
め正確な圧力の検出が可能となる。
【００１７】次に第４図を用いて本発明の第２実施例を
説明する、第１実施例と同様もしくは相当箇所には同一
符号を付してその詳細な説明は省く。
説明する、第１実施例と同様もしくは相当箇所には同一
符号を付してその詳細な説明は省く。
【００１８】図４は第２実施例を示す要部断面図であ
り、第２実施例はダイアフラム容器10の第１の補強部材
９と接続部材14の第２の補強部材16に形成する突出部17
との各対向面を当接させた際に、ダイアフラム容器10の
ステム７と接続部材14の延長部23との各対向面にＯリン
グ等の弾性部材22を配設するための間隙24を構成し、突
出部14と第１の補強部材９との当接面に接着剤等を塗布
し接続固定して、圧力検出器Ａ’を構成するものであ
る。
り、第２実施例はダイアフラム容器10の第１の補強部材
９と接続部材14の第２の補強部材16に形成する突出部17
との各対向面を当接させた際に、ダイアフラム容器10の
ステム７と接続部材14の延長部23との各対向面にＯリン
グ等の弾性部材22を配設するための間隙24を構成し、突
出部14と第１の補強部材９との当接面に接着剤等を塗布
し接続固定して、圧力検出器Ａ’を構成するものであ
る。
【００１９】かかる構成の第２実施例は、第１の補強部
材９と第２の補強部材16の突出部17との各対向面を確実
に当接させることを考慮し、ステム７と延長部23との各
対向面に所定の間隔24を有するように延長部23を形成
し、弾性部材22によりこの間隔24を密閉するものであ
る。また、このような、弾性部材22を備えることによ
り、測定する媒体が腐食性（例えば、酸等）であったと
しても、間隙24からの侵入を防ぐことができ、第１の補
強部材９と第２の補強部材16を接着する接着剤の劣化を
防止することができる。
材９と第２の補強部材16の突出部17との各対向面を確実
に当接させることを考慮し、ステム７と延長部23との各
対向面に所定の間隔24を有するように延長部23を形成
し、弾性部材22によりこの間隔24を密閉するものであ
る。また、このような、弾性部材22を備えることによ
り、測定する媒体が腐食性（例えば、酸等）であったと
しても、間隙24からの侵入を防ぐことができ、第１の補
強部材９と第２の補強部材16を接着する接着剤の劣化を
防止することができる。
【００２０】尚、第１，第２実施例では接続部材14を備
える圧力検出器Ａ,Ａ’を説明したが、本発明は必ずし
も接続部材14を必要とするものでなく、例えば接続部材
14を用いない場合には、ダイヤフラム容器のダイアフラ
ム面からステムの下端面に達するように補強部材を形成
することで、媒体の圧力を受けた際のステムの変形や、
取付時のステムの変形等によるダイヤフラムへの影響を
抑制することができるため、前述した実施例同様に圧力
を良好に検出することが可能となる。
える圧力検出器Ａ,Ａ’を説明したが、本発明は必ずし
も接続部材14を必要とするものでなく、例えば接続部材
14を用いない場合には、ダイヤフラム容器のダイアフラ
ム面からステムの下端面に達するように補強部材を形成
することで、媒体の圧力を受けた際のステムの変形や、
取付時のステムの変形等によるダイヤフラムへの影響を
抑制することができるため、前述した実施例同様に圧力
を良好に検出することが可能となる。
【００２１】また、第１，第２実施例における取付片21
は延長部15，23及び第２の補強部材16とともに外方に引
き出されるように形成されているが、第２の補強部材16
のみを外方に引き出し取付片を構成するようにしても良
い。
は延長部15，23及び第２の補強部材16とともに外方に引
き出されるように形成されているが、第２の補強部材16
のみを外方に引き出し取付片を構成するようにしても良
い。
【００２２】また、第１実施例において、ダイアフラム
容器10と接続部材14との各当接面を接着剤をもちいて接
着固定したが、接着強度に信頼性を向上させるために、
ステム７と延長部15とをレーザ溶接により溶着させても
良い。
容器10と接続部材14との各当接面を接着剤をもちいて接
着固定したが、接着強度に信頼性を向上させるために、
ステム７と延長部15とをレーザ溶接により溶着させても
良い。
【００２３】
【発明の効果】本発明は、媒体の圧力により変位する受
圧部の片面上に圧力検出チップを接着した圧力検出器に
おいて、ガラス材料からなるステムと一体に前記受圧部
を形成するとともに、前記受圧部の周縁に補強部材を形
成してなるものであり、圧力を受けた際に前記ステムの
変形が前記補強部材により抑制されとともに、前記圧力
検出チップ近傍のダイアフラムが良好に変位できるた
め、媒体の圧力を良好に検出することができる。
圧部の片面上に圧力検出チップを接着した圧力検出器に
おいて、ガラス材料からなるステムと一体に前記受圧部
を形成するとともに、前記受圧部の周縁に補強部材を形
成してなるものであり、圧力を受けた際に前記ステムの
変形が前記補強部材により抑制されとともに、前記圧力
検出チップ近傍のダイアフラムが良好に変位できるた
め、媒体の圧力を良好に検出することができる。
【００２４】また、媒体の圧力により変位する受圧部の
片面上に圧力検出チップを接着した圧力検出器におい
て、ガラス材料からなるステムと一体成形される前記受
圧部と、前記受圧部の周縁に形成される第１の補強部材
とによりダイアフラム容器を形成するとともに、前記ダ
イアフラム容器に連接され前記ステムの歪みを抑制する
接続部材を配設してなるものであり、特に、前記接続部
材は、前記ダイアフラム容器の第１の補強部材に当接す
る第２の補強部材と、前記ステムと同等材料からなり前
記ステムから所定の長さを有する延長部とを形成すると
ともに、前記第２の補強部材及び前記延長部の下端に取
付片を形成してなるなるもので、前記ダイヤフラム容器
を取り付ける際の取付歪みを前記第１，第２の補強部材
により前記ステムの変形が抑制され、また、前記ダイヤ
フラム容器を取付固定する取付部と前記取付片との熱膨
張差によって発生する歪みも、材質的に柔らかく所定の
長さを有する前記延長部により減衰することになり、前
記ステムの歪みを抑制することができるため、媒体の圧
力による前記ダイヤフラムの変位を良好に前記圧力検出
チップに伝達することが可能となるため、正確な圧力の
検出が可能となる。
片面上に圧力検出チップを接着した圧力検出器におい
て、ガラス材料からなるステムと一体成形される前記受
圧部と、前記受圧部の周縁に形成される第１の補強部材
とによりダイアフラム容器を形成するとともに、前記ダ
イアフラム容器に連接され前記ステムの歪みを抑制する
接続部材を配設してなるものであり、特に、前記接続部
材は、前記ダイアフラム容器の第１の補強部材に当接す
る第２の補強部材と、前記ステムと同等材料からなり前
記ステムから所定の長さを有する延長部とを形成すると
ともに、前記第２の補強部材及び前記延長部の下端に取
付片を形成してなるなるもので、前記ダイヤフラム容器
を取り付ける際の取付歪みを前記第１，第２の補強部材
により前記ステムの変形が抑制され、また、前記ダイヤ
フラム容器を取付固定する取付部と前記取付片との熱膨
張差によって発生する歪みも、材質的に柔らかく所定の
長さを有する前記延長部により減衰することになり、前
記ステムの歪みを抑制することができるため、媒体の圧
力による前記ダイヤフラムの変位を良好に前記圧力検出
チップに伝達することが可能となるため、正確な圧力の
検出が可能となる。
【図１】本発明の第１実施例のダイアフラム容器を示す
要部断面図。
要部断面図。
【図２】同上第１実施例の接続部材を示す要部断面図。
【図３】同上第１実施例の圧力検出器を示す要部断面
図。
図。
【図４】本発明の第２実施例の圧力検出器を示す要部断
面図。
面図。
【図５】従来例を示す要部断面図。
３ 圧力検出チップ ７ ステム ８ ダイアフラム（受圧部） ９ 第１の補強部材 10 ダイアフラム容器 14 接続部材 15，23 延長部 16 第２の補強部材 17 突出部 Ａ，Ａ’圧力検出器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 若井 仁資 新潟県長岡市藤橋１丁目190番地１ 日本 精機株式会社アールアンドデイセンター内
Claims (3)
- 【請求項１】 媒体の圧力により変位する受圧部の片面
上に圧力検出チップを接着した圧力検出器において、ガ
ラス材料からなるステムと一体に前記受圧部を形成する
とともに、前記受圧部の周縁に補強部材を形成してなる
ことを特徴とする圧力検出器。 - 【請求項２】 媒体の圧力により変位する受圧部の片面
上に圧力検出チップを接着した圧力検出器において、ガ
ラス材料からなるステムと一体成形される前記受圧部
と、前記受圧部の周縁に形成される第１の補強部材とに
よりダイアフラム容器を形成するとともに、前記ダイア
フラム容器に連接され前記ステムの歪みを抑制する接続
部材を配設してなることを特徴とする圧力検出器。 - 【請求項３】 前記接続部材は、前記ダイアフラム容器
の第１の補強部材に当接する第２の補強部材と、前記ス
テムと同等材料からなり前記ステムから所定の長さを有
する延長部とを形成するとともに、前記第２の補強部材
及び前記延長部の下端に取付片を形成してなることを特
徴とする請求項２に記載の圧力検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6200696A JPH09229794A (ja) | 1996-02-23 | 1996-02-23 | 圧力検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6200696A JPH09229794A (ja) | 1996-02-23 | 1996-02-23 | 圧力検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09229794A true JPH09229794A (ja) | 1997-09-05 |
Family
ID=13187647
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6200696A Pending JPH09229794A (ja) | 1996-02-23 | 1996-02-23 | 圧力検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09229794A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010145277A (ja) * | 2008-12-19 | 2010-07-01 | Bridgestone Corp | センサモジュール、及びセンサモジュールを備えたタイヤ・ホイール組立体 |
-
1996
- 1996-02-23 JP JP6200696A patent/JPH09229794A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010145277A (ja) * | 2008-12-19 | 2010-07-01 | Bridgestone Corp | センサモジュール、及びセンサモジュールを備えたタイヤ・ホイール組立体 |
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