JPH09229909A

JPH09229909A - 移動被検体の検査方法および検査装置

Info

Publication number: JPH09229909A
Application number: JP8038351A
Authority: JP
Inventors: Yoshihiko Takishita; 芳彦瀧下
Original assignee: Hitachi Construction Machinery Co Ltd
Current assignee: Hitachi Construction Machinery Co Ltd
Priority date: 1996-02-26
Filing date: 1996-02-26
Publication date: 1997-09-05

Abstract

(57)【要約】【課題】移動している被検体の欠陥の詳細情報を得る
ことができるとともに、誤判定を防止して検査の信頼性
を向上させることができる移動被検体の検査方法および
検査装置を提供すること。【解決手段】被検体３はアンコイラー１からコイラー
２へ巻取られ、その間に超音波探傷器４０の探触子４０
ａから放射される焦点のない超音波で検査される。欠陥
が見出されたとき制御部６０は被検体３の駆動を停止
し、欠陥位置まで被検体３を戻した後、今度は探触子４
０ｂから放射される焦点をもつ超音波で、かつ、当該超
音波を被検体３上で走査させる支持機構１０で欠陥の詳
細情報が採取され、記録計８に記録される。これが終了
すると被検体３は再び移動され、欠陥部位がマーキング
装置７にきたとき、制御部はマーキング装置７に指令し
て当該部位にマークを付与する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、移動中の種々の被
検体の内部や表面の欠陥を検査する移動被検体の検査方
法および装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】工業製品又は半製品の内部欠陥又は表面
欠陥の有無の検査は、超音波検査手段、放射線検査手
段、磁気検査手段、渦電流検査手段、テレビジョンカメ
ラを用いた外観検査手段等の非破壊検査手段により行な
われ、又、しばしばそれら製品の移動中に行なわれる。
このように製品の移動中に行なわれる検査は、例えば特
公平７−３６００３号公報に記載されて公知である。そ
の概略を図６により説明する。

【０００３】図６は巻取り中の帯状の被検体の検査装置
の構成を示す図である。この図で、１はアンコイラー、
２はコイラー、３はアンコイラー１から送り出されてコ
イラー２に巻取られる被検体、４は被検体３の欠陥の有
無を検査する探傷器、４ａは探傷器４のプローブ、５は
被検体３の長さ又は移動速度を検出する測長器である。
測長器５は、例えば被検体３に接触して回転するローラ
とそのローラの所定の回転角（例えば１／１０００回
転）で１つのパルスを出力する構成を有し、このパルス
をカウントすることにより、被検体３の移動の長さ又は
速さが測定される。６は制御部、７は制御部６からの指
令により動作するマーキング装置、８は記録計である。
なお、図中、Ｘ、Ｙは座標軸を示す。

【０００４】被検体３がＸ軸方向へ矢印Ａに示すように
巻取られているとき、探傷器４はそのプローブ４ａによ
り被検体３の欠陥の有無を検査し、設定レベル以上の欠
陥信号を検出したとき制御部６に信号を出力する。制御
部６はこれを記録計８に記録するとともに、測長器５の
パルス信号に基づいて被検体３の検出された欠陥部位が
マーキング装置７に到達したときこれを作動させて被検
体３の当該部位にマークを付す。このような被検体３の
検査において、被検体３のＸ軸方向の検査ピッチＰ（ｍ
ｍ）は、被検体３のＸ軸方向の速度をＶ（ｍｍ／ｓ）、
探傷器４の探傷時間間隔をＴ（ｓ）とすると、Ｐ＝Ｖ・
Ｔで表わされる。帯状の被検体３が適宜の長さに切断し
て使用されるものである場合には、マークが付された部
分を避けて使用することになる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、製造装置に
より製造された製品や半製品（被検体）の欠陥は、当該
製造装置の構造的な欠陥に負うことが多く、この場合、
被検体の欠陥の長さ、深さ、方向等の詳細情報を参照す
ることにより製造装置の構造的な欠陥を推定できる場合
があり、被検体の欠陥の詳細情報を得ることは極めて重
要である。しかしながら、上記従来の検査装置では、欠
陥部位にマークを付すだけであり、欠陥の詳細情報を得
ることはできなかった。さらに、従来の検査で欠陥と判
定された場合でも、判定時のノイズ等の影響により誤判
定であることがあり、実際には欠陥ではないのに欠陥で
あるとしてしまうおそれがあった。

【０００６】本発明の目的は、上記従来技術における課
題を解決し、移動している被検体の欠陥の詳細情報を得
ることができるとともに、誤判定を防止して検査の信頼
性を向上させることができる移動被検体の検査方法およ
び検査装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、請求項１の発明は、所定のルートを移動してゆく被
検体の欠陥の有無を検査する移動被検体の検査方法にお
いて、前記被検体を検査する検査手段およびこの検査手
段による検査とは異なる検査を行なう少なくとも１つの
再検査手段を備え、前記検査手段により前記被検体に欠
陥が存在すると判断されたとき前記被検体の移動を停止
させた後、前記被検体を、前記欠陥が存在すると判断さ
れた当該被検体の部位が再検査を行なうための前記再検
査手段の設置位置に達するまで戻し、当該再検査手段を
用いて前記検査手段による検査とは異なる態様で検査を
行なうことを特徴とする。

【０００８】又、請求項２の発明は、所定のルートを移
動してゆく被検体の欠陥の有無を検査する移動被検体の
検査装置において、前記被検体を検査する検査手段と、
この検査手段とは異なる態様の検査が可能な少なくとも
１つの再検査手段と、前記検査手段により前記被検体に
欠陥が存在すると判断されたとき前記被検体の移動を停
止させる停止手段と、この停止手段による被検体の停止
後、前記被検体を、前記欠陥が存在すると判断された当
該被検体の部位が再検査を行なうための前記再検査手段
の設置位置に達するまで戻す逆方向移動手段とを備え、
当該再検査手段を用いて前記欠陥が存在すると判断され
た当該被検体の部位の検査を行なうことを特徴とする。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図示の実施例に基
づいて説明する。図１は本発明の実施の形態に係る被検
体の検査装置の構成を示す図である。この図で、図６に
示す部分と同一又は等価な部分には同一符号を付して説
明を省略する。本実施の形態では、探傷器として超音波
探傷器４０を用いる。４０ａ、４０ｂは超音波探傷器４
０のプローブ（探触子）、１０は探触子４０ａ、４０ｂ
の支持機構、６０はマイクロコンピュータで構成される
制御部を示す。この支持機構１０の詳細を図２および図
３を参照して説明する。

【００１０】図２は図１に示す支持機構１０の平面図、
図３は図２の線ＩＩＩ−ＩＩＩ方向に沿う断面図であ
る。これらの図で、１１は被検体３の両側に固定された
４つの支持脚を示す。図３で、他の２つの支持脚１１は
図示された２つの支持脚１１の後方に隠れて見えない。
１２はＸ軸方向の２つの支持脚１１に固定された各固定
案内、１３は両側の固定案内１２上にＸ軸方向に移動可
能に装架された可動案内、１４は可動案内１３にＹ軸方
向に移動可能に装着された支持体である。支持体１４に
探触子４０ａ、４０ｂが固定されている。支持体１４を
可動案内１３に沿って移動させることにより、探触子４
０ｂによるＸ軸方向の超音波走査を行なうことができ、
可動案内１３を固定案内１２に沿って移動させることに
より、探触子４０ｂによるＹ軸方向の超音波走査を行な
うことができる。このような支持機構１０は例えば特公
平５−５８５０２号公報に提示されていて公知である。

【００１１】ここで、本実施の形態の動作を上記図２、
図３、および図４に示すフローチャートを参照して説明
する。本実施の形態では、図２に示す破線に挟まれた領
域３０を被検体３の検査対象領域とする。又、図３に示
すように、探触子４０ａはＺ軸方向（Ｘ、Ｙ軸方向に直
交する方向、被検体３の板厚方向）に円柱状の焦点をも
たない超音波ビームＢ_a を放射し、一方、探触子４０ｂ
は音響レンズを用いた焦点をもつ超音波ビームＢ_b を放
射するように構成されている。探触子４０ａの超音波ビ
ームＢ_a の径は、検査対象領域の幅を充分にカバーでき
る径とされている。

【００１２】最初に、制御部６０は被検体３の欠陥部を
特定する番号ｎを０とし（図４に示す手順Ｓ₀ ）、被検
体３の超音波検査を行なう探触子として探触子４０ａを
選択し（手順Ｓ₁ ）、探触子４０ａによる被検体３の検
査が行なわれる。この検査は、探触子４０ａからの反射
信号の大きさを所定のしきい値と比較し、しきい値以上
の反射信号が入力されたとき欠陥と判断することにより
行なわれる。次に、アンコイラー１およびコイラー２を
駆動して被検体３のＸ軸方向の連続移動を開始し（手順
Ｓ₂ ）、測長器５からのパルスを入力して既入力パルス
数に加算する（手順Ｓ₃ ）。次いで、探触子４０ａによ
り被検体３に欠陥が見出されたか否か、即ち、超音波探
傷器４０から欠陥信号が出力されたか否かを判断し（手
順Ｓ₄ ）、欠陥が見出されなければ検査が終了したか否
かを判断し（手順Ｓ₂₅）、検査が終了していなければ処
理を再び手順Ｓ₃ へ移行する。

【００１３】上記の手順Ｓ₃ 、Ｓ₄ 、Ｓ₂₅、Ｓ₃ の繰り
返し処理中、制御部６０は手順Ｓ₄で欠陥が見出された
と判断すると、アンコイラー１およびコイラー２に停止
指令を出力し（手順Ｓ₅ ）、そのときの測長器５からの
パルスの加算値を記憶し（手順Ｓ₆ ）、被検体３が停止
したか否かを判断する（手順Ｓ₇ ）。この判断は、測長
器５からのパルスの入力がなくなることにより判断でき
る。被検体３が停止すると、制御部６０はさきの手順Ｓ
₆ の処理と同様、そのときの測長器５からのパルスの加
算値を記憶し（手順Ｓ₈ ）、番号ｎ（この場合はｎ＝
０）に「１」を加えて（ｎ＝１となる）、手順Ｓ₄ で検
出された欠陥をＦ_n （Ｆ₁ ）に特定し（手順Ｓ₉ 、
Ｓ₁₀）、停止指令出力から停止までの被検体３の移動距
離Ｌを演算する（手順Ｓ₁₁）。この演算は、手順Ｓ₈ で
記憶したパルス数から手順Ｓ₆ で記憶したパルス数を減
算することにより得られる。

【００１４】次に、制御部６０は、アンコイラー１およ
びコイラー２を逆方向に駆動して、被検体３を、手順Ｓ
₁₁で演算した距離Ｌだけ戻す（手順Ｓ₁₂）。これによ
り、欠陥Ｆ₁ は探触子４０ａの真下に位置せしめられ
る。この状態で、制御部６０は記録計８を作動させて
（手順Ｓ₁₃）、これを記録可能な状態とした後、探触子
４０ｂを選択し、支持機構１０の支持体１４および可動
案内１３を駆動して焦点をもつ超音波ビームＢ_b によ
り、欠陥Ｆ₁ の周辺を走査する検査を開始する（手順Ｓ
₁₄）。この場合の検査も探触子４０ａによる検査と同じ
く、探触子４０ｂからの反射信号の大きさを所定のしき
い値と比較し、しきい値以上の反射信号が入力されたと
き欠陥と判断することにより行なわれる。この検査中、
検査データは記録計８に記録される。探触子４０ｂを用
いた検査が終了したと判断すると（手順Ｓ₁₅）、制御部
６０は探触子４０ｂを用いた検査において欠陥があった
か否かを判断し（手順Ｓ₁₆）、欠陥がなければさきに探
触子４０ａでの検査に誤判定があったとしてさきの欠陥
番号から「１」を減算し、即ち、欠陥番号を取消し（手
順Ｓ₁₇）、処理を手順Ｓ₁ へ戻す。手順Ｓ₁₆の処理で欠
陥があると判断された場合、制御部６０は再び探触子４
０ａを選択して検査を再開し（手順Ｓ₁₈）、アンコイラ
ー１およびコイラー２を駆動して被検体３の移動も再開
し（手順Ｓ₁₉）、手順Ｓ₃ の処理と同様に測長器５から
のパルスを入力して既パルス数に加算してゆく（手順Ｓ
₂₀）。

【００１５】次いで、制御部６０は、当該探触子４０ａ
による検査において欠陥が見出されたか否か判断し（手
順Ｓ₂₁）、欠陥が見出された場合には処理を手順Ｓ₅ へ
移行させる。又、欠陥が見出されなければマーキングす
べき欠陥でまだマーキングが終了していない欠陥がある
か否か判断し（手順Ｓ₂₂）、そのような欠陥があればマ
ーキング位置に達したか否か判断する（手順Ｓ₂₃）。マ
ーキング位置に達していなければ、手順Ｓ₂₁Ｓ₂₂Ｓ₂₃の
処理を繰り返す。手順Ｓ₂₃の処理は探触子４０ａとマー
キング装置７との距離が既知であることから、手順Ｓ₁₈
で加算されたパルス数が、当該距離に相当するパルス数
と手順Ｓ₆ で記憶したパルス数との和になったか否かを
見ることにより行なわれる。欠陥部位がマーキング位置
に到達したときにはマーキング指令を出力する（手順Ｓ
₂₄）。これにより、マーキング装置７が作動して被検体
３の欠陥が存在する位置にマークが付される。手順Ｓ₂₂
の処理でマーキング未終了の欠陥がなければ、又は手順
Ｓ₂₄の処理でマーキング指令を出力した後、制御部６０
は全検査が終了したか否か判断し（手順Ｓ₂₅）、終了し
ていなければ処理を手順Ｓ₃ へ戻して正常時の処理を行
ない、又、検査が終了していると判断するとアンコイラ
ー１およびコイラー２（被検体３）を停止させて（手順
Ｓ₂₆）処理を終了する。

【００１６】このように、本実施の形態では、通常時に
は円柱状の焦点をもたない超音波ビームＢ_a により広い
領域をカバーする検査を行ない、この検査で欠陥が検出
されたとき、焦点をもつ超音波ビームＢ_b で欠陥周辺を
走査するようにしたので、欠陥の詳細情報を得ることが
でき、ひいては、製造装置の欠陥対策等に役立てること
ができる。又、最初の検査で欠陥があると判断されたと
き、その後さらに詳細な検査を行なうので、もし、最初
の検査における欠陥ありの判断が誤っていても、これを
チェックすることができ、検査の信頼性を向上させるこ
とができ、ひいては、製品が無駄になるのを防止するこ
とができる。

【００１７】ところで、被検体が欠陥発生率の多いもの
である場合、欠陥の検出の都度被検体の移動を停止して
詳細な検査を行なうことは製品の製造工程を頻繁に停止
させることになり、単にマークを付すだけの方が生産性
向上の観点から見ると優れている。しかし、一般的に、
移動させながら欠陥の有無をチェックする被検体では、
欠陥が生じることはそれ程多くはなく、このため、本実
施の形態におけるように、欠陥が検出されたときわざわ
ざ被検体の移動を停止させて詳細な検査を行なうこと
は、生産性を犠牲にしたとしても、製造装置の欠陥対策
等を考慮すると充分に効果のあることである。

【００１８】又、本実施の形態では、欠陥が検出された
とき、被検体を、その欠陥部位が探触子に対向する位置
まで戻すようにしたので、超音波ビームＢ_a を放射する
探触子４０ａと超音波ビームＢ_b を放射する探触子４０
ｂとを同一位置に配置することができ、種々の装置が配
置されている被検体３の移動空間を有効に使用すること
ができ、かつ、支持機構１０を共通化できるため装置を
安価に製造することができる。

【００１９】なお、上記実施の形態の説明では、被検体
３上の領域３０が１つである場合について説明したが、
検査領域が複数又は全面である場合には、それらをカバ
ーする数の探触子４０ａを支持体１４にＹ軸方向に配列
すればよい。この場合も、探触子４０ｂは１つ設ければ
よいのは明らかである。又、上記実施の形態の説明で
は、二度目の詳細な検査において欠陥の有無の判断を行
なうようにしたが、この場合、詳細なデータを記憶して
おき、全検査終了後に当該記憶された詳細なデータに基
づいて欠陥の有無を判断しても良い。さらに、上記実施
の形態の説明では、マーキングの付与処理を検査の処理
内に含める場合について説明したが、これに限ることは
なく、検査の処理とマーキング付与の処理をそれぞれ独
立した処理系統で並行して行なうこともできる。

【００２０】次に本発明の他の実施の形態について説明
する。この実施の形態では、アレイ探触子を用いた超音
波検査装置が使用される。このような超音波検査装置
は、例えば特公平６−２３７４２号公報に記載されてい
る。図５は本実施の形態におけるアレイ探触子を用いた
超音波検査装置の使用方法を説明する図である。図５の
（ａ）はこの超音波検査装置の通常の使用方法を説明す
る図であり、９０はアレイ探触子を示す。アレイ探触子
９０は横方向（図１に示すＹ軸方向）に配列された多数
のアレイ振動子９０ａ₁ 、９０ａ₂ 、……９０ａ₈ 、９
０ａ₉ 、…………で構成されている。これらアレイ振動
子のうち、所定数（図では８個）のアレイ振動子９０ａ
₁ 〜９０ａ₈ を選択し、これらアレイ振動子に所定の遅
延時間でパルス電圧を印加する。この遅延時間は、上記
公報第９図に示される送信遅延回路で与えられ、両端の
アレイ振動子９０ａ₁ 、９０ａ₈ に与えられる遅延時間
が最も短く、中央のアレイ振動子９０ａ₄ 、９０ａ₅ に
与えられる遅延時間が最も長い。このように、時間差を
もって各アレイ振動子にパルスが印加されると、各アレ
イ振動子から放射される各超音波ビームの合成は、図示
のように１つの点Ｐ₁に集束する１つの超音波ビームＢ₁
とみなすことができる。各アレイ振動子からの超音波
の反射波は同じアレイ振動子で受信され、各アレイ振動
子の受信信号は上記公報第９図に示される波形加算回路
で加算され、この加算結果が点Ｐ₁ の超音波情報とな
る。

【００２１】次に、上記公報第９図に示されるシフトレ
ジスタ回路により、選択するアレイ振動子を１つずらせ
て、８個のアレイ振動子９０ａ₂ 〜９０ａ₉ を選択し、
同様の遅延を与えてパルスを印加すると、点Ｐ₂ に集束
する超音波ビームＢ₂ を得る。このような動作を順次繰
り返すことにより、点Ｐ₁ 〜Ｐ_n まで、アレイ振動子の
配列ピッチで超音波ビームによる走査が行なわれること
になる。アレイ振動子の選択切換、パルスの送信、反射
波の受信等は電子的に行なわれ、極めて迅速な走査（電
子走査）がなされる。

【００２２】ここで、上記アレイ探触子９０を用いて図
１に示す移動する被検体３を、さきの実施の形態におけ
る探触子４０ａと同様な態様で検査する方法を図５の
（ｂ）、（ｃ）を参照して説明する。上記アレイ探触子
９０の構成において、上記シフトレジスタ回路でアレイ
振動子の選択を変化させると特殊な走査を行なわせるこ
とができる。これを図５の（ｂ）に示す。最初は、上記
通常の方法と同様に８個のアレイ振動子９０ａ₁ 〜９０
ａ₈ を選択して超音波ビームＢ₁ を発生させてその反射
波を受信するが、次にアレイ振動子を１つずらせて選択
するのではなく、（ｉ−１）個ずらせて選択する。この
ようなアレイ振動子のシフトは、シフトレジスタ回路に
より簡単に行なうことができる。この結果、アレイ振動
子９０ａ_i から８個が選択され、図示のように点Ｐ_i に
集束する超音波ビームＢ_i が得られる。このように、シ
フトレジスタ回路のシフト数を変更することにより、次
に選択するアレイ振動子を任意の数だけシフトさせるこ
とができる。

【００２３】又、上記送信遅延回路に設定された全ての
遅延時間を０にすると、選択されている各アレイ振動子
には同時にパルスが印加されることになり、この結果、
図５の（ｃ）に示すように、各アレイ振動子から放射さ
れる超音波は１つの点に集束することはなく、選択され
たアレイ振動子の配列寸法にほぼ等しい幅の焦点をもた
ない超音波ビームとなる。

【００２４】そこで、図５の（ｂ）、（ｃ）に示すよう
な手段を用いることにより、さきの実施の形態における
探触子４０ａと同様な態様で検査を行なうことができ
る。これを図５の（ｄ）に示す。まず、上記送信遅延回
路の遅延時間を全て０に設定し、任意の数のアレイ振動
子を選択する。図５の（ｄ）に示す例ではその数はｋ個
である。又、上記シフトレジスタ回路には、アレイ振動
子をずらす数が与えられる。図５の（ｄ）に示す例では
その数は上記ｋ個より１つ少ないｊ（ｋ−１）個であ
る。

【００２５】この状態で、最初に、アレイ振動子９０ａ
₁ 〜９０ａ_k が選択され、それらアレイ振動子にパルス
が印加されると、図示の焦点をもたない超音波ビームＢ
₁₀が放射され、その反射波が対応するアレイ探触子で受
信される。次に、シフトレジスタ回路は、アレイ振動子
９０ａ_j から始まるｋ個のアレイ振動子を選択し、これ
らにパルスを印加すると、図示の焦点をもたない超音波
ビームＢ₁₁が放射される。同様の方法により順次、焦点
をもたない超音波ビームＢ₁₂、…………が放射されてゆ
く。

【００２６】このように、アレイ探触子９０を用いるこ
とにより、所定幅の焦点をもたない超音波ビームが図１
に示すＹ軸方向に順次放射されて被検体３の欠陥の有無
が検査される。そして、この超音波ビームによる電子走
査の速度は被検体３の移動速度に比較して格段に早いの
で、当該電子走査は検査に対しては何等の支障も生じな
い。なお、図５の（ｄ）に示す例では、被検体３の全面
を隙間なく走査するが、図２に示す検査領域３０のよう
に、１つ又は複数の特定領域のみ検査を行なう場合で
も、シフトレジスタ回路のシフト数の設定により自由に
対応できることは、上記の説明から明らかである。

【００２７】図５の（ｄ）に示すような超音波ビームに
よる検査において欠陥が見出された場合には、図４のフ
ローチャートに示すさきの実施の形態と同様に、当該欠
陥部位をアレイ探触子９０の対向位置まで戻した後、今
度は図５の（ａ）に示す焦点をもつ超音波ビームで検査
を行ない、欠陥の再度の判断を行ない、かつ、詳細情報
を記録計に記録することになる。又、マーキング装置に
よるマークの付与も行なわれる。なお、欠陥の再度の判
断の手法、およびマークの付与の手法はさきの実施の形
態における手法と同じである。

【００２８】このように、本実施の形態では、アレイ探
触子を用いて検査を行なうようにしたので、さきの実施
の形態と同じ効果を奏するばかりでなく、次のような効
果も発揮する。即ち、近年、被検体３の移動速度は著し
く早くなり、Ｘ軸方向の検査ピッチＰ（ｍｍ）は、上述
のＰ＝Ｖ・Ｔの式から明らかなように、被検体３の移動
速度に比例して大きな間隔となる。この場合には、欠陥
の大部分がピッチ間に存在し、欠陥の端部が僅かに超音
波ビームに触れるような状態でも当該欠陥を検出できる
ように、受信信号に対する判断レベルを低下させて被検
体３の移動速度の増大に対処している。しかし、このよ
うな判断レベルの低下は、欠陥ではない小さいノイズも
欠陥と誤って判断することが多く、欠陥がないにもかか
わらず、欠陥があるものとして処理されてしまい、製品
に無駄が生じる。これに対して本実施の形態では、アレ
イ探触子による電子走査は、被検体３の移動速度に比し
てはるかに早いので、被検体３の移動速度がどれだけ早
くなっても必要な検査ピッチを維持することができ、適
正な判断レベルで欠陥の有無の判断を行なうことがで
き、製品の無駄を防止することができる。又、１つのア
レイ探触子を用いて超音波ビームの発信受信等を制御す
るだけで第１の検査と第２の検査を行なうことができ
る。

【００２９】なお、上記各実施の形態の説明では、超音
波検査装置を用いる例について説明したが、これに限る
ことはなく、Ｘ線、γ線等の放射線を用いる検査装置、
磁気や渦電流を用いる検査装置、テレビカメラを用いる
表面形状の検査装置等を用いることができる。放射線を
用いる検査装置では、通常時には透過強度の強弱を用い
る検査を行ない、欠陥の詳細情報を得る場合には放射線
像による画像処理手段を用いる検査を行なう。又、磁気
や渦電流を用いる検査装置では、超音波の場合と同じく
通常時には広い領域をカバーするように、詳細情報を得
る場合には狭い領域に磁気又は渦電流を集中する手段を
用いる検査を行なう。さらに、テレビカメラを用いる検
査では、通常時には粗い画素による検査を行ない、詳細
情報を得る場合には微細な画素による検査を行なう。な
お又、被検体として帯状のものを例示して説明したが、
これに限ることはなく、ブロック状の被検体をコンベア
ベルトで搬送する場合等、種々の形態の被検体、種々の
移送形態に本発明を適用することができる。

【００３０】さらに、同一の検査形態であっても、第２
の検査結果に基づいてさらに詳細な第３の検査を行なう
こともできる。例えば、さきの各実施の形態における超
音波検査の場合、第２の検査においてあるピッチで検査
を行ない、第３の検査においてはさらに欠陥個所を中心
とする狭い範囲を細かいピッチで詳細な検査を行なう。
これにより、さらに詳細な欠陥個所のデータを得ること
ができ、製造装置の欠陥対策等により有効に役立てるこ
とができる。又、第３の検査において焦点距離を変えて
被検体の深さの異なる位置の検査を行なう等、種々の態
様で検査を行なうことができる。

【００３１】又、上記実施の形態の説明では、各検査を
同一種類の検査（超音波検査）により行なう例について
説明したが、必ずしも同一種類の検査に限ることはな
く、上記超音波検査Ｘ線、γ線等の放射線を用いる検
査、磁気や渦電流を用いる検査、テレビカメラを用いる
表面形状の検査等のうち適宜のものを２つ以上組み合わ
せて２回以上の検査を行なうこともできる。このような
検査を行なう場合、これら検査を行なう装置を図２、３
に示す支持機構１０の支持体１４に、被検体の移動方向
に対して直交する方向に一列に配置しておけば、容易に
異なる種類の検査を行なうことができる。

【００３２】

【発明の効果】以上述べたように、本発明では、最初の
検査手段により被検体に欠陥が存在すると判断されたと
き被検体の移動を停止させ、被検体を、当該欠陥が存在
すると判断された部位が再検査手段の設置位置にくるま
で戻し、この再検査手段で異なる検査を行なうようにし
たので、被検体の欠陥の詳細情報を得ることができ、ひ
いては、製造装置の欠陥探索に役立てることができる。
又、最初の検査手段で欠陥があると判断されたとき、そ
の後さらに再検査手段で詳細な検査を行なうので、も
し、最初の検査手段における欠陥ありの判断が誤ってい
ても、これをチェックすることができ、検査の信頼性を
向上させることができ、ひいては、製品が無駄になるの
を防止することができる。さらに、欠陥が検出されたと
き、被検体を、その欠陥部位が再検査手段に対向する位
置まで戻すようにしたので、最初の検査手段と再検査手
段をほぼ同一位置に配置することができ、種々の装置が
配置されている被検体の移動空間を有効に使用すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係る被検体の検査装置の
構成を示す図である。

【図２】図１に示す支持機構１０の平面図である。

【図３】図２の線ＩＩＩ−ＩＩＩ方向に沿う断面図であ
る。

【図４】図１に示す制御部の動作を説明するフローチャ
ートである。

【図５】他の実施の形態におけるアレイ探触子を用いた
超音波検査装置の使用方法を説明する図である。

【図６】従来の検査装置を示す図である。

【符号の説明】１アンコイラー２コイラー３被検体５測長器７マーキング装置８記録計１０支持機構４０超音波探傷器４０ａ、４０ｂ探触子６０制御部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】所定のルートを移動してゆく被検体の欠
陥の有無を検査する移動被検体の検査方法において、前
記被検体を検査する検査手段およびこの検査手段による
検査とは異なる検査を行なう少なくとも１つの再検査手
段を備え、前記検査手段により前記被検体に欠陥が存在
すると判断されたとき前記被検体の移動を停止させた
後、前記被検体を、前記欠陥が存在すると判断された当
該被検体の部位が再検査を行なうための前記再検査手段
の設置位置に達するまで戻し、当該再検査手段を用いて
前記検査手段による検査とは異なる態様で検査を行なう
ことを特徴とする移動被検体の検査方法。
【請求項２】所定のルートを移動してゆく被検体の欠
陥の有無を検査する移動被検体の検査装置において、前
記被検体を検査する検査手段と、この検査手段とは異な
る態様の検査が可能な少なくとも１つの再検査手段と、
前記検査手段により前記被検体に欠陥が存在すると判断
されたとき前記被検体の移動を停止させる停止手段と、
この停止手段による被検体の停止後、前記被検体を、前
記欠陥が存在すると判断された当該被検体の部位が再検
査を行なうための前記再検査手段の設置位置に達するま
で戻す逆方向移動手段とを備え、当該再検査手段を用い
て前記欠陥が存在すると判断された当該被検体の部位の
検査を行なうことを特徴とする移動被検体の検査装置。
【請求項３】請求項１において、前記検査手段、前記
再検査手段は、超音波検査手段、放射線検査手段、磁気
検査手段、渦電流検査手段、およびテレビジョンカメラ
のうちのいずれかであることを特徴とする移動被検体の
検査方法。
【請求項４】請求項２において、前記検査手段、前記
再検査手段は、超音波検査手段、放射線検査手段、磁気
検査手段、渦電流検査手段、およびテレビジョンカメラ
のうちのいずれかであることを特徴とする移動被検体の
検査装置。
【請求項５】請求項１において、前記検査手段は、焦
点をもたない超音波ビームを発生する超音波探触子を備
え、前記再検査手段は、焦点をもった超音波ビームを発
生する超音波探触子およびこれを走査する走査手段を備
えていることを特徴とする移動被検体の検査方法。
【請求項６】請求項２において、前記検査手段は、焦
点をもたない超音波ビームを発生する超音波探触子を備
え、前記再検査手段は、焦点をもった超音波ビームを発
生する超音波探触子およびこれを走査する走査手段を備
えていることを特徴とする移動被検体の検査装置。
【請求項７】請求項１において、前記検査手段および
前記再検査手段は、１つのアレイ探触子で構成され、前
記検査手段は焦点をもたない超音波ビームを発生するビ
ーム発生手段を備え、前記再検査手段は焦点をもった超
音波ビームで走査を行なうビーム走査手段を備えている
ことを特徴とする移動被検体の検査方法。
【請求項８】請求項２において、前記検査手段および
前記再検査手段は、１つのアレイ探触子で構成され、前
記検査手段は焦点をもたない超音波ビームを発生するビ
ーム発生手段を備え、前記再検査手段は焦点をもった超
音波ビームで走査を行なうビーム走査手段を備えている
ことを特徴とする移動被検体の検査装置。