JPH09234672A

JPH09234672A - パウダービーム加工機におけるパウダーシール装置

Info

Publication number: JPH09234672A
Application number: JP8067427A
Authority: JP
Inventors: Minehisa Imazato; 峰久今里; Masahiro Otsuka; 正弘大塚; Kazuhiko Otsuka; 和彦大塚
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1996-02-29
Filing date: 1996-02-29
Publication date: 1997-09-09
Also published as: TW326415B; US5906536A; KR970061446A; SG77591A1; EP0793040A1; CN1159968A; CN1074704C

Abstract

(57)【要約】【課題】比較的簡易構成によりシール性を向上できる構
造にしたパウダービーム加工機におけるパウダーシール
装置を提供する。【解決手段】パウダービームを噴射して加工する加工
室１２を備え、加工室１２の周面に形成した開口部を貫
通して延ばされている操作軸３０と開口部３２との間を
薄膜筒部材を用いてシールするパウダービーム加工機に
おけるパウダーシール装置において、開口部３２に対し
加工室１２内へ通じる小室３７を有する略円筒状の取付
ブラケット３４を装着し、薄膜筒部材３６を可撓性薄膜
材で略円錐状に形成して、取付ブラケット３４の一端開
口側にその一端側を装着し、かつその他端側を操作軸３
０の外周側に装着することにより、加工室１２側を負圧
状態にしたときに、薄膜筒部材３６の中間部分が小室３
７の内側に吸引されて膨らまされた状態に保持される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、高速気流にパウダ
ー（微粒子）をのせた固気二相流を被加工物（ワーク）
に衝突させて、被加工物をパウダービーム加工するパウ
ダービーム加工機におけるパウダーシール装置に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】高速気流にパウダーをのせた固気二相流
をパレット上の被加工物に噴射させて加工を行うパウダ
ービーム加工機は従来より数多く知られている。これ
は、加工室内に、加工テーブルと、この加工テーブル上
に被加工物を載せるパレットと、パレット上に載せられ
た被加工物に対して固気二相流を噴射する加工ノズルと
が設けられ、加工テーブルと加工ノズルとの相対移動に
よりパレット上の被加工物表面の任意の位置に向けて加
工ノズルから固気二相流を噴射し、被加工物の加工を行
う。また、加工テーブルと加工ノズルの移動を行う場合
には、加工室を貫通して設けられた操作軸を介して、加
工室の外部より操作される。この場合、操作軸が貫通し
ている部分よりパウダーが外部に漏れないようにパウダ
ーシール手段が設けられる。

【０００３】図４は、従来のパウダービーム加工機にお
けるパウダーシール装置の一例を示す模式図である。図
４において、符号１０１は加工室の外壁面、符号１０２
は外壁面１０１の開口部を画成している矩形状をした筒
体であり、この筒体１０２を通して操作軸１０３が加工
室の内外に通じた状態になっている。符号１０４は可撓
性薄膜材で形成した薄膜筒部材で、この薄膜筒部材１０
４の一端は矩形をなし、筒体１０２の開口部における外
周に気密性を保って固定されて、他端は前記操作軸１０
３側に気密を持たせて取り付けられている。そして、こ
の薄膜筒部材１０４で操作軸１０３が筒体１０２の開口
部分におけるシールを行っている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、一般
に、パウダービーム加工機では、加工室内に発生する負
圧により薄膜筒部材１０４が加工室側に引き込まれる
が、筒体１０２の開口部が矩形状をしているため、その
角により薄膜筒部材１０４にしわが寄り、その部分が破
れ易くなる。また、開口部を通って薄膜筒部材１０４の
内部に入ったパウダーを排出する手段が設けられていな
いため、一度、薄膜筒部材１０４の内部にパウダーが入
ると、このパウダーの重量による負荷が薄膜筒部材１０
４にかかる。このため、この薄膜筒部材１０４が破けた
り、取付部分が外れたりする不具合があった。さらに、
この種のパウダービーム加工機では、薄膜筒部材１０４
の近傍にパウダー検出センサーを設け、例えば薄膜筒部
材１０４が破れたときにパウダーの漏れをパウダー検出
センサーにより検出するようにしている。しかしなが
ら、パウダー検出センサーは大気中に配設されており、
また大気中に漏れたパウダーは空中に舞ってしまうの
で、なかなか検出できず、検出精度が悪いと言う問題点
があった。

【０００５】本発明は上記問題点に鑑みてなされたもの
で、その目的はシール性を向上させることができる構造
にしたパウダービーム加工機におけるパウダーシール装
置を提供することにある。さらに、他の目的は、以下に
説明する内容の中で順次明らかにして行く。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために次の技術手段を講じたことを特徴とする。
すなわち、ワークにパウダービームを噴射して加工する
加工室を備え、前記加工室の周面に形成した開口部を貫
通して延ばされている操作軸と前記開口部との間を薄膜
筒部材を用いてシールするパウダービーム加工機におけ
るパウダーシール装置において、前記開口部に対し前記
加工室内へ通じる小室を有する略円筒状の取付ブラケッ
トを装着するとともに、前記薄膜筒部材を可撓性薄膜材
で略円錐状に形成して、前記取付ブラケットの一端開口
側にその一端側を装着し、かつその他端側を前記操作軸
の外周側に装着することにより、前記加工室側を負圧状
態にしたときに、前記薄膜筒部材の中間部分が前記小室
の内側に吸引されて膨らまされた状態に保持される構成
とした。

【０００７】以上の構成によれば、薄膜筒部材を円錐状
に形成しているので、負圧によって薄膜筒部材の中間部
分が加工室側に引き込まれると、薄膜筒部材が小室内側
にしわを作らずに膨らまされた状態にして保持される。
これにより、薄膜筒部材の破損を構造的に無くし、寿命
を延ばすことが可能となる。

【０００８】また、薄膜筒部材を、間に隙間を設けて二
重に配置された外側薄膜筒部材と内側薄膜筒部材とで形
成し、内側薄膜筒部材が前記小室内側に吸引されて膨ら
んだ状態に保持されるように構成にすると、内側薄膜筒
部材だけが負圧により小室内側に吸引されて膨らまさ
れ、外側薄膜筒部材はそのままの状態で保持される。こ
れにより、外観上の見栄えが良くなり、強度性も増し、
信頼性が向上する。

【０００９】さらに、内側薄膜筒部材が破損して前記パ
ウダーが外側薄膜筒部材と内側薄膜筒部材との間の隙間
内に侵入したとき、これを検出するためのセンサーを隙
間内に設けた構成にすると、空気中に拡散する前に隙間
内で漏れたパウダーを検出することができるので、僅か
なパウダーであっても確実に検出することができ、検出
精度の向上が図れる。また、内側薄膜筒部材が破損して
パウダーが外側に漏れても隙間内だけで、外側薄膜筒部
材の外側までは漏れないので、施設内を汚染するのを防
止することが可能となる。

【００１０】加えて、小室内側に流出されたパウダーを
順次排出することができる手段を設けた場合では、小室
内側に排出されたパウダーは排出されて貯まることがな
いので、パウダーが蓄積されて内側薄膜筒部材に負担を
かけて破損させたり、取付部分が外れたりするのを防止
することができ、信頼性が向上する。さらに、開口部の
形状を操作軸の動作範囲に合わせて最小限に形成した場
合では、加工室側から小室内側にパウダーが流出する量
を抑えることができる。

【００１１】

【発明の実施の形態】図３は本発明の一形態例として示
すパウダービーム加工機の系統図であり、以下の説明で
は図３を参照しつつ全体構成および作動を述べ、その
後、要部構造を説明する。図３のパウダービーム加工機
は、パウダーを高速で被加工物（ワーク）に噴射して、
その衝突エネルギーを利用して例えばフェライト、ガラ
ス、セラミックス等の硬脆材料のエッチングを、高速か
つ精密に行うものを一例としている。そして、図３にお
いて、符号１は排風機１で、この排風機１は、固気二相
流のパウダーとエアーを分離するための分離手段であ
る。この排風機１は、フィルタ２により小室１ａと小室
１ｂに分離されている。このうち、小室１ａの底部は、
接続部１ｃに接続されていて、その接続部１ｃにバタフ
ライ弁３が配設され、このバタフライ弁３を操作するこ
とにより接続部１ｃを開閉することができる構造になっ
ている。

【００１２】また、小室１ａはパウダービーム加工室１
２側に経路１６で接続されている。さらに、加工室１２
からは排風機１へパウダーとエアーの混合した固気二相
流が供給される。フィルタ２では、固気二相流のうちの
パウダーが止まるので、そのパウダーは接続部１ｃを介
してリザーブタンク５側に送られるようになっている。
エアーは、フィルタ２を通って小室１ｂ、経路１４を経
て加工室１２側に送られるとともに、その一部は外部へ
排出される。加えて、経路１４内で、加工室１２の直前
には、加工室１２内が正圧状態になった場合に、これを
検出して信号を発する検出器２０が取り付けられてい
る。

【００１３】検出器２０は、加工室１２に通じる筒部２
１と、この筒部２１の中間より分岐されて設けられた可
撓性を有したジャバラ部２２と、このジャバラ部２２の
外側に隣接して設けられているマイクロスイッチ２４と
で構成されている。そして、加工室１２内が負圧にある
ときには、ジャバラ部２２が縮んだ状態にあって、マイ
クロスイッチ２４はオフ（またはオン）になっている
が、加工室１２内が正圧になるとジャバラ部２２が膨ら
んでマイクロスイッチ２４がオン（またはオフ）とな
る。したがって、この検出器２０からの信号を知ること
によって、排風機１の故障等により加工室１２内が正圧
になると、これを速やかに検出することができる。

【００１４】リザーブタンク５は、排風機１で分離され
たパウダーを一時的に貯蔵する貯蔵手段である。このリ
ザーブタンク５の内部にはスクリュー６が配設されてい
る。排風機１の小室１ｂは、気体導入手段としての経路
１５を介してリザーブタンク５に接続されている。この
経路１５には開閉弁であるバタフライ弁４が配設されて
いる。このバタフライ弁４を操作することにより、経路
１５が開閉でき、また経路１５を開けることにより、高
圧のエアーは排風機１の小室１ｂからリザーブタンク５
内に供給される。そして、スクリュー６は、スクリュー
６ａにより回転することで、リザーブタンク５内に溜ま
ったパウダーをアイソレータ９を介して混合タンク８側
に送る。混合タンク８は、リザーブタンク５から送られ
て来るパウダーを高圧エアーと混合するための混合手段
である。混合タンク８内にあるパウダーは、電子天秤１
１によりその重さを精密に計測できるようになってい
る。すなわち、電子天秤１１は、混合タンク８内に貯蔵
されるパウダーの重量を測定でき、例えば電子天秤１１
の測定値が２ｋｇ・重になれば、約３０〜６０分のパウ
ダービーム加工が行える程度のパウダーの量である。

【００１５】アイソレータ９は、混合タンク８内のパウ
ダーＰの重量を測定するために、リザーブタンク５と混
合タンク８とを機械的に分離し（フローティングＬ）、
かつアイソレータ９の通路８ｂはパウダーをリザーブタ
ンク５から混合タンク８側に確実に送ることができる。

【００１６】混合タンク８は、その上部の開口部分に、
開閉弁としての三角弁１７を備えている。この混合タン
ク８内のパウダーＰは、所定の圧力の高圧エアーを下部
から供給することにより、上部の経路８ｃ側に吹き上げ
るような構造になっている。この所定の圧力の高圧エア
ーを供給する手段について説明する。供給エアー８ｄ
は、ドライエアーユニット８ｅ、流量センサー８ｆ、分
岐部８ｇ、レギュレータ８ｈを介して、混合タンク８の
下部８ｉに供給できるようになっている。ドライエアー
ユニット８ｅは、供給エアー８ｄを乾燥させるためのユ
ニットであり、流用センサー８ｆはその乾燥したエアー
の流量を計測する。分岐部８ｇは、乾燥した高圧のエア
ーを、レギュレータ８ｈと流量制御部８ｊに分けて送る
ようになっている。流量制御部８ｊに送られた乾燥した
高圧のエアーは、エゼクター８ｋに送られる。このエゼ
クター８ｋは、乾燥した高圧エアーと、混合タンク８側
から吹き上げて経路８ｃを介して送られて来るパウダー
を混合して加速して噴射ノズル１２ａに送るための手段
である。つまり、エゼクター８ｋから加速されて来る固
気二相流は、経路８ｍを介して、加工室１２内の噴射ノ
ズル１２ａに送られるようになっている。なお、この混
合タンク８の下部８ｉに供給される高圧エアーの圧力
は、例えば０．５〜３．５ｋｇ／平方センチメートルで
ある。また、三角弁１７は、パウダーをリザーブタンク
５から混合タンク８側に供給する場合のみ開けるように
なっている。

【００１７】次に、上述したパウダービーム加工機の動
作を説明する。なお、ここで用いるパウダーの平均粒径
は、例えば約３〜１１．５μｍである。まず、ワーク１
３は、例えばレジストパターンを有する基板であり、加
工室１２内の上部で図示せぬ加工テーブルにセットされ
る。一方、混合タンク８のパウダーＰはエゼクター８
ｋ、経路８ｍを介して噴射ノズル１２ａに対して送られ
る。この噴射ノズル１２ａは、加工室１２の周面に形成
されている開口部を通って、この加工室１２の内外に延
ばされている操作軸３０の先端に取り付けられており、
この操作軸３０の操作で噴射ノズル１２ａが移動される
と、この移動でパウダーＰを含むエアーを基板の所望す
る位置に当てることができ、これにより基板であるワー
ク１３の表面がレジストパターンの形状に基づいてパウ
ダービームエッチングされる。

【００１８】また、基板であるワーク１３に対して照射
されたパウダーは、加工室１２の底部に落下し、経路１
６を経て排風機１側に送られる。フィルタ２は、このパ
ウダーと高圧エアーを分離して、パウダーＰを小室１ａ
側にとどめる。また高圧エアーは、経路１４を経て加工
室１２に送られる。小室１ａで確保されたパウダーは、
バタフライ弁３を開け、かつバタフライ弁４を閉めた状
態で、接続部１ｃを介してリザーブタンク５側に送る。
この状態では、スクリュー６は停止しており、三角弁１
７も閉じている。

【００１９】このように、パウダーＰが排風機１からリ
ザーブタンク５側へ送られる際に、経路１５のバタフラ
イ弁４を閉じておくのは、次のような理由からである。
経路１５のバタフライ弁４をもし開けておくと、小室１
ｂへのエアーがリザーブタンク５と加工室１２の両方か
ら流れてしまうので、加工室１２側からの高圧エアーの
吸引量が減少してしまう。このことから、パウダーが排
風機１からリザーブタンク５側へ送られる場合には、バ
タフライ弁４を閉じておくことにより、パウダーの回収
量の減少を防ぐ。

【００２０】リザーブタンク５にパウダーＰが溜まる
と、リザーブタンク５から混合タンク８へパウダーＰを
送る準備をする。この準備段階では、バタフライ弁３は
閉じており、バタフライ弁４は開ける。そして、スクリ
ュー６は停止していて、三角弁１７が開く。また、リザ
ーブタンク５のスクリュー６を回転することにより、リ
ザーブタンク５内のパウダーＰが混合タンク８側に、ア
イソレータ９の経路８ｂを介して送られる。この際に
は、バタフライ弁３は閉じており、バタフライ弁４は開
いている。

【００２１】このように、バタフライ弁４が経路１５を
開けていることにより、次のような現象を防ぐことがで
きる。すなわち、もし経路１５のバタフライ弁４が閉じ
ていると、接続部１ｃのバタフライ弁３の僅かな隙間か
ら、リザーブタンク５内のパウダーＰが排風機１側に逆
流する現象が起こる。しかも、混合タンク８の三角弁１
７の上にあるアイソレータ９からパウダーＰが逆流して
外部に出てしまったり、混合タンク８内のパウダーＰが
リザーブタンク５側に戻ることがある。そこで、経路１
５のバタフライ弁４を開けることにより、排風機１の小
室１ｂからの高圧エアーをリザーブタンク５側に積極的
に導入し、バタフライ弁３の隙間からパウダーが逆流し
たり、混合タンク８のアイソレータ９からパウダーが逆
流してしまう等の問題を解消している。

【００２２】パウダーと高圧エアーを混合した固気二相
流は排風機１のフィルタ２を介して、パウダーとエアー
を分離し、分離したパウダーＰはリザーブタンク５を介
して混合タンク８に確実に回収することができる。そし
て、混合タンク８に回収した微粒子Ｐは再び加工室１２
の噴射ノズル１２ａを用いてワーク１３に対して吹き付
けることができる。

【００２３】図１及び図２は噴射ノズル１２ａを操作す
る操作軸３０が配設されている部分におけるパウダーシ
ール装置の細部構造を示すもので、図１はその要部拡大
断面図で、図２はその要部概略斜視図である。図１及び
図２において、加工室１２の外壁面３１には、操作軸３
０が通された開口部３２を画成している筒体３３が一体
に形成されている。この筒体３３は、操作軸３０のＸ−
Ｙ方向の動作に対応した最小限の大きさに設定し、この
開口部３２を通って加工室１２外に漏れ出すパウダーを
最小限に抑えることができる構造になっている。

【００２４】ここで、図２の符号３４は略短円筒状の取
付ブラケットである。この取付ブラケット３４は、内部
に小室３７を有した状態で形成されている。そして、そ
の一端は筒体３３の開口部３２に気密性を持たせて取り
付けられ、他端にはフランジ部材３５を介して薄膜筒部
材３６が気密性を持たせて取り付けられている。なお、
符号３８は取付ブラケット３４とフランジ部材３５との
間に介在されたシール用のＯリングである。また、取付
ブラケット３４の下面側の中央部分には、小室３７内側
に流出して沈降ないしは沈殿されたパウダーを排出する
ための排出口３９が形成され、この排出口３９の先端に
排気用のホース４０が取り付けられている。なお、この
ホース４０は不図示の開閉弁を有し、その開閉弁を介し
て小室３７内に連通する。

【００２５】符号４１は操作軸３０をスライド自在に保
持している筒状をしている軸受部材、符号４２は軸受部
材４１の外周に取り付けられている筒状のリテーナであ
る。このリテーナ４２は、軸受部材４１の端部に螺合さ
れるナット４３により着脱自在に取り付けられている。
そして、操作軸３０は、軸受部材４１の中心を貫通して
スライド自在に取り付けられ、加工室１２の外側に位置
している他端側には、この操作軸３０を噴射ノズル１２
ａ（図３参照）と共に移動させるための駆動機構４４が
取り付けられている。

【００２６】薄膜筒部材３６は、それぞれ可撓性薄膜材
で略円錐形をした筒状に作られている内側薄膜筒部材３
６Ａと外側薄膜筒部材３６Ｂとで構成されている。この
うち、内側薄膜筒部材３６Ａの一端はフランジ部材３５
の外周に気密性を持たせて取り付けられ、他端はリテー
ナ４２の一端外周に気密性を持たせて取り付けられてい
る。また、内側薄膜筒部材３６Ａの中間部分には弛みが
持たされている。したがって、加工室１２側は排風機１
の作用により通常、負圧の状態に置かれているが、この
負圧により、内側薄膜筒部材３６Ａの中間部分が図１の
如く小室３７の内部に吸引されて膨らまされた状態にな
っている。これに対して、外側薄膜筒部材３６Ｂの一端
はフランジ部材３５の外周に取り付けられているととも
に、他端はリテーナ４２の他端外周に取り付けられ、内
側薄膜筒部材３６Ａと外側薄膜筒部材３６Ｂとの間にあ
る程度の気密性を有した隙間（空間）４５が形成された
状態になっている。そして、この隙間４５内で、そのリ
テーナ４２の外周にはパウダーを検出するためのセンサ
ー４６が配設されている。このセンサー４６は粉検出用
のフォトセンサーであるが、他のランサー構造であって
もよい。なお、符号４７は軸受部材４１とリテーナ４２
との間に介装されたシート用のＯリングである。

【００２７】したがって、この形態例におけるパウダー
シール装置ないしは構造では、薄膜筒部材３６を略円錐
状に形成しているので、負圧によって内側薄膜筒部材３
６Ａが小室３７内にあって加工室１２側に引き込まれる
と、内側薄膜筒部材３６Ａが小室３７の内部にしわを作
らずに膨らませた状態（引き延ばされた状態）にして保
持される。これによって、内側薄膜筒部材３６Ａの破損
が構造的に生じ難くなって破損の虞を無くし、寿命を延
ばすことができる。なお、外側薄膜筒部材３６Ｂは、加
工室１２内が負圧化されても、引き込まれない。

【００２８】また、薄膜筒部材３６を、間に隙間４５を
設けて二重に配置された内側薄膜筒部材３６Ａと外側薄
膜筒部材３６Ｂとで形成し、内側薄膜筒部材３６Ａだけ
が負圧により小室３７の内部に吸引されて膨らまされ、
外側薄膜筒部材３６Ｂはそのままの状態で保持されるの
で、外観上の見栄えが良くなるとともに、強度性も増
し、信頼性が向上する。

【００２９】さらに、内側薄膜筒部材３６Ａが破損して
パウダーが外側薄膜筒部材３６Ｂと内側薄膜筒部材３６
Ａとの間の隙間４５内に侵入したとき、これを検出する
ためのセンサー４６を隙間４５内に設けているので、パ
ウダーが不用意に拡散する前に隙間４５内に漏れたパウ
ダーをフォトセンサーの受光部で確実に検出することが
できる。これにより僅かなパウダーであっても検出する
ことができ、検出精度の向上が図れる。また、内側薄膜
筒部材３６Ａが破損してパウダーが外側に漏れても隙間
４５内だけであり、外側薄膜筒部材３６Ｂの外側までは
漏れないので施設内を汚染するのを防止することができ
る。

【００３０】加えて、小室３７の内部に流出されたパウ
ダーを排出することができる排出口３９を設けているの
で、小室３７側に排出されたパウダーは排出口３９を通
って順次排出されて貯まることがない。このため、パウ
ダーが蓄積されて内側薄膜筒部材３６Ａに負担をかけて
破損させたり、取付部分が外れたりするのを防止するこ
とができ、信頼性が向上する。さらに、開口部３２の形
状を操作軸３０の動作範囲に合わせて最小限に形成して
いるので、加工室１２側から小室３７側にパウダーが流
出する量を抑えることができる。

【００３１】なお、気体としては、エアーに限ることな
く、他の種類の気体を適用しても差し支えないものであ
る。また、上記実施例では、検出器２０を経路１４内に
設けた構造を開示したが、これに限ることなく例えば取
付ブラケット３４の部分に設けたりしても差し支えな
い。この場合、前記検出器の例としては、取付ブラケッ
トの外周部分（例えば、上部側）に開口部を形成すると
ともに、前記開口部に対し薄いラバーを密封状態に貼着
しておく。また、前記ラバーの膨らみをマイクロリミッ
トスイッチ（例えば、金属箔を過電流センサーにより検
出する）にて、加工室１２内が正圧になったことを検出
するよう構成することができる。

【００３２】

【発明の効果】以上説明したとおり、本発明によれば、
構成簡易にパウダーのシール性を向上させることができ
るとともに、シール部材の寿命等も向上させることがで
きる。また、仮に、パウダーが漏れても、それが直ぐに
検出されて外部まで漏れ出すことがないので、信頼性の
高いシール構造が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態として示すパウダーシール
装置の要部拡大図である。

【図２】前記パウダーシール装置の要部概略斜視図であ
る。

【図３】本発明の一実施形態例として示すパウダービー
ム加工機の系統図である。

【図４】従来におけるパウダーシール装置の一例を示す
要部概略斜視図である。

【符号の説明】

１２加工室３０操作軸３１外壁面３２開口部３３筒体３４取付ブラケット３６薄膜筒部材３６Ａ内側薄膜筒部材３６Ｂ外側薄膜筒部材３７小室４５隙間４６センサー

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ワークにパウダービームを噴射して加工
する加工室を備え、前記加工室の周面に形成した開口部
を貫通して延ばされている操作軸と前記開口部との間を
薄膜筒部材を用いてシールするパウダービーム加工機に
おけるパウダーシール装置において、前記開口部に対し前記加工室内へ通じる小室を有する略
円筒状の取付ブラケットを装着するとともに、前記薄膜
筒部材を可撓性薄膜材で略円錐状に形成して、前記取付
ブラケットの一端開口側にその一端側を装着し、かつそ
の他端側を前記操作軸の外周側に装着することにより、前記加工室側を負圧状態にしたときに、前記薄膜筒部材
の中間部分が前記小室の内側に吸引されて膨らまされた
状態に保持されることを特徴とするパウダービーム加工
機におけるパウダーシール装置。
【請求項２】前記薄膜筒部材を、間に隙間を設けて二
重に配置した外側薄膜筒部材と内側薄膜筒部材とで形成
してなる請求項１に記載のパウダービーム加工機におけ
るパウダーシール装置。
【請求項３】前記内側薄膜筒部材が、破損して前記パ
ウダービームが前記外側薄膜筒部材と前記内側薄膜筒部
材との間の隙間内に侵入したとき、これを検出するため
のセンサーを前記隙間内に設けた請求項２に記載のパウ
ダービーム加工機におけるパウダーシール装置。
【請求項４】前記小室内側に流出された前記パウダー
を排出するための手段を設けた請求項１に記載のパウダ
ービーム加工機におけるパウダーシール装置。
【請求項５】前記開口部の大きさを、前記操作軸の動
作範囲に対応した最小限に形成した請求項１に記載のパ
ウダーシール装置。